JPH08244233A - Surface treating method for ink jet recording head - Google Patents

Surface treating method for ink jet recording head

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JPH08244233A
JPH08244233A JP5574995A JP5574995A JPH08244233A JP H08244233 A JPH08244233 A JP H08244233A JP 5574995 A JP5574995 A JP 5574995A JP 5574995 A JP5574995 A JP 5574995A JP H08244233 A JPH08244233 A JP H08244233A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
plating
layer
recording head
ink jet
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP5574995A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Motoaki Sato
元昭 佐藤
Shigeo Togano
滋雄 戸叶
Akihiko Shimomura
明彦 下村
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP5574995A priority Critical patent/JPH08244233A/en
Publication of JPH08244233A publication Critical patent/JPH08244233A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To obtain a liquid-repellent layer having excellent liquid repellency, wear resistance and adhesive properties with a base material by filling meltable solid material in a discharge port, providing a conductive layer at least at the peripheral edge of the port, melting the solid layer formed by filling the solid material, and then providing an electrolytic plating layer. CONSTITUTION: Positive type liquid resist is poured in the discharge port 14 of an ink jet recording head 1, and cured. Then, it is masked with a mechanical mask except the port 14 and the surface for surrounding it, and UV-O2 -treated. Then, a first conductive layer is provided at least at the peripheral edge of the port 14 by electroless plating. Thereafter, after the resist poured in the port 14 is removed, a second layer of composite eutectoid plating in which fluorine polymer is dispersed is provided by electrolytic plating. Thus, the introduction of the plating to the port 14 is prevented, and the plating thickness is suitably regulated to obtain the ink jet recording head having a liquid- repellent layer 20 having excellent water repellency, wear resistance and adhesive properties with a base material.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、一般にインクと呼ばれ
る記録液を吐出口から小滴として吐出、飛翔させ、この
小滴の被記録面への付着によって記録を行うインクジェ
ット記録装置のインクジェット記録ヘッドの表面処理方
法に関し、特にインク吐出口が設けられているインク吐
出口及びその周辺部の表面処理方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head of an ink jet recording apparatus for ejecting and ejecting a recording liquid, generally called ink, as small droplets from an ejection port, and adhering the droplets to a recording surface for recording. The present invention particularly relates to a surface treatment method for an ink ejection port provided with an ink ejection port and its peripheral portion.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、記録ヘッドのオリフィス(吐
出口)から記録液(インク)を吐出することにより情報
記録を行うインクジェット記録装置が、低騒音,高速記
録等の点で優れた記録装置として知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet recording apparatus for recording information by ejecting a recording liquid (ink) from an orifice (ejection port) of a recording head has been used as a recording apparatus excellent in low noise and high speed recording. Are known.

【0003】図2は、通常のインクジェット記録ヘッド
の構成を示す展開斜視図である。
FIG. 2 is a developed perspective view showing the structure of a normal ink jet recording head.

【0004】この記録ヘッドにおいてはガラスやセラミ
ックス等で形成された基板11の上に、吐出圧発生素子
12が設置され、感光性樹脂硬化膜13をフォトリソグ
ラフィー法でパターニングすることにより吐出圧発生素
子12に対応する液流路15及びオリフィス14、さら
には液室16が形成されている。
In this recording head, a discharge pressure generating element 12 is installed on a substrate 11 formed of glass, ceramics or the like, and the discharge pressure generating element is formed by patterning the photosensitive resin cured film 13 by photolithography. A liquid passage 15 and an orifice 14 corresponding to 12 and a liquid chamber 16 are formed.

【0005】感光性樹脂硬化膜13の上には、例えばガ
ラス,セラミックス,金属層で形成された天板17が、
接着剤19により積層固着されている。また、その天板
17には記録液供給口18が形成されている。
A top plate 17 formed of, for example, glass, ceramics, or a metal layer is formed on the photosensitive resin cured film 13.
It is laminated and fixed by the adhesive 19. A recording liquid supply port 18 is formed on the top plate 17.

【0006】このような構成の記録ヘッドにおいて、オ
リフィス14を囲む基板11,感光性樹脂硬化膜13及
び天板17の表面の物理的性質(物理特性)は、オリフ
ィス14から記録液を常時安定して吐出させる上で、極
めて重要である。即ち、オリフィス14の外回り表面部
(オリフィス周縁部)に記録液が回り込んで、その一部
にでも液溜りが生じると、流路15の記録液がオリフィ
ス14から吐出される際に、その飛翔方向が正規の所定
方向から離脱するようになり、さらには、液溜り状態の
不安定さから、吐出されるごとにその飛翔方向が乱れる
という不都合が生じ、そのため安定した液吐出が行えず
良好な記録が行えなくなる。
In the recording head having such a structure, the physical properties (physical characteristics) of the surface of the substrate 11, the photosensitive resin cured film 13, and the top plate 17 surrounding the orifice 14 make the recording liquid always stable from the orifice 14. It is extremely important for discharging. That is, when the recording liquid flows around the outer peripheral surface portion (orifice peripheral portion) of the orifice 14 and a liquid pool is generated in a part of the recording liquid, the flying of the recording liquid in the flow path 15 when the recording liquid is discharged from the orifice 14. The direction is separated from the regular predetermined direction, and further, due to the instability of the liquid pool state, the flight direction is disturbed each time it is ejected, which causes a problem that stable liquid ejection cannot be performed. Cannot record.

【0007】また更に、オリフィス14の外回り表面全
体が記録液の膜で覆われると、いわゆるスプラッシュ現
象が生じて記録液の散乱が起こり、安定した記録が行え
なくなる。また、オリフィスの外回り表面部を覆う液溜
りが大きくなると、記録ヘッドの液吐出が不能状態に陥
ることすらある。
Furthermore, if the entire outer peripheral surface of the orifice 14 is covered with a film of the recording liquid, a so-called splash phenomenon occurs and the recording liquid is scattered, so that stable recording cannot be performed. Further, if the liquid pool covering the outer peripheral surface of the orifice becomes large, the liquid ejection of the recording head may even become impossible.

【0008】また、図2に示したような通常の記録ヘッ
ドでは、シリコン(基板1)、ガラス(天板17)、樹
脂(感光性樹脂硬化膜13)のように異なる材料が使用
されることが多い。そして記録液はオリフィス周縁部に
おいて、それら三種の中で最も漏れやすい材質の部分か
ら漏れる。通常のインク(記録液)に対しては、上記の
三種の材料のうちガラスが一番インクとの界面張力が低
いので、その部分からインクは漏れる。そのガラス部分
は、ヘッドの製造上や性能が好ましいので通常使用され
る材料であり、インク漏れを防ぐ目的で別の材料を使用
することは製造上,性能上,コスト上望ましくない。
Further, in the ordinary recording head as shown in FIG. 2, different materials such as silicon (substrate 1), glass (top plate 17) and resin (photosensitive resin cured film 13) are used. There are many. Then, the recording liquid leaks from the most leaky material of the three types at the peripheral edge of the orifice. With respect to ordinary ink (recording liquid), glass has the lowest interfacial tension with the ink among the above three materials, and the ink leaks from that portion. The glass portion is a material which is usually used because the manufacturing and performance of the head are preferable, and it is not preferable in terms of manufacturing, performance and cost to use another material for the purpose of preventing ink leakage.

【0009】以上説明したように、従来の記録ヘッドに
おいては、オリフィスの周縁部に記録液の液溜りが生じ
ると、安定な吐出が行えなくなる。しかも、この傾向は
ノズル密度を上げて、高精細な記録を行う場合や、高周
波数で駆動する、すなわち高速記録をねらう場合に、非
常に顕著に現れるので、記録ヘッドの性能を向上させる
上で大きな問題となっている。
As described above, in the conventional recording head, if the recording liquid pools at the peripheral portion of the orifice, stable ejection cannot be performed. Moreover, this tendency becomes extremely remarkable when high-definition recording is performed by increasing the nozzle density or when driving at a high frequency, that is, when high-speed recording is aimed at, in order to improve the performance of the recording head. It's a big problem.

【0010】そこで、図1に示すように、少なくともオ
リフィス14の周縁部にいわゆる撥液処理を施すことに
より、インクをはじく撥液処理層20を形成し、上記の
問題を解決せんとする提案が、従来より数多く公開され
ている。
Therefore, as shown in FIG. 1, a so-called liquid-repellent treatment is applied to at least the peripheral portion of the orifice 14 to form a liquid-repellent treatment layer 20 that repels ink, and there is a proposal to solve the above problem. , Has been published a lot from the past.

【0011】これらの問題を解決する方法の1つとし
て、従来から吐出口を囲む外表面をシリコーンオイル,
アラビヤゴム等で処理して撥水または撥油性(撥液性)
にする方法が実公昭48−36188号公報等に記載さ
れている。
As one of the methods for solving these problems, conventionally, the outer surface surrounding the discharge port is made of silicone oil,
Water repellency or oil repellency (liquid repellency) by treating with arabic rubber etc.
The method described in JP-B-48-36188 is disclosed.

【0012】しかし、これらの方法は記録ヘッドを形成
するガラス,金属,樹脂等の基材との密着性が悪いため
に耐久性がなく、硬化は不十分なものに過ぎなかった。
また撥液性を十分ではなく、例えばシリコーン系の物質
では水系のインクに対して撥液性を示しても、アルコー
ル系,ケトン系,エステル系等の有機溶剤系インクに対
しては、ほとんど撥液性を示さなかった。
However, these methods have poor durability because of poor adhesion to the glass, metal, resin or other base material forming the recording head, and the curing is only insufficient.
In addition, the liquid repellency is not sufficient. For example, even if a silicone-based substance exhibits liquid repellency with respect to water-based ink, it is hardly repelled with respect to organic solvent-based ink such as alcohol-based, ketone-based, or ester-based ink. It was not liquid.

【0013】さらにフルオロアルキルアルコキシシラン
等でインクジェット記録ヘッドの吐出口周縁部を処理し
て撥液性にした例(特開昭56−895669号公報)
もあるが、処理を完全にするには高温(150℃以上)
で長時間加熱するか、高phの溶液(例えばアミノ溶
液)中で加熱する等、吐出口を形成する材料を破壊する
恐れのある処理が必要であった。また、従来から知られ
ている撥液処理を施したインクジェット記録ヘッドでは
吐出口の周縁部に付着するゴミ,残存インクなどをふき
払うために行う、例えばゴムなどを用いた拭き取り操作
等の摩擦に対して耐久性が不十分である場合があった。
Further, an example in which the peripheral portion of the ejection port of the ink jet recording head is treated with fluoroalkylalkoxysilane to make it liquid repellent (Japanese Patent Laid-Open No. 56-895669).
There is also a high temperature (150 ℃ or more) to complete the treatment
Therefore, it is necessary to perform a treatment that may destroy the material forming the discharge port, such as heating for a long time in a high temperature or heating in a high ph solution (for example, an amino solution). In addition, in a conventionally known inkjet recording head that has been subjected to a liquid-repellent treatment, it is performed to wipe off dust and residual ink adhering to the peripheral portion of the ejection port, for example, for rubbing such as wiping operation using rubber or the like. On the other hand, the durability was sometimes insufficient.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】インクジェット記録ヘ
ッドに形成する撥液処理層20は、単に撥水性のみが良
好であるだけでなく、通常のインクジェット記録装置と
記録を行う際における撥液処理層の耐久性の点について
も十分でなければ実用的ではない。以下、その耐久性に
ついて述べる。
The liquid-repellent treatment layer 20 formed on the ink jet recording head is not only good in water repellency, but is not the only liquid-repellent treatment layer that is used for recording with an ordinary ink jet recording apparatus. If it is not sufficient in terms of durability, it is not practical. The durability will be described below.

【0015】インクジェット記録法を実施する場合に
は、たとえオリフィス周縁部に撥液処理が施されていて
も、オリフィス周縁部は常に記録液と接しているので、
ポリウレタンフォーム等の吸収体でオリフィス面を拭
き、付着したインクを吸い取るという回復操作がなされ
るのが通常である。したがって、撥液処理層は、吸収体
によりこすられても剥離しない程度の密着性や層が破壊
しない程度の耐摩耗性が必要とされる。これらの耐久性
が不十分であると、初期はともかく、ヘッドを使用して
いるうちに撥液処理層が徐々に剥離したり、抜け落ちた
りして撥液効果を示さなくなり、安定な吐出印字ができ
なくなってしまう。
When the ink jet recording method is carried out, the peripheral edge of the orifice is always in contact with the recording liquid even if the peripheral edge of the orifice is subjected to liquid repellent treatment.
It is usual to perform a recovery operation of wiping the orifice surface with an absorber such as polyurethane foam and absorbing the adhered ink. Therefore, the liquid-repellent treatment layer is required to have such adhesiveness that it is not peeled off even if it is rubbed by the absorber and abrasion resistance that is not broken. If the durability is insufficient, the liquid-repellent treatment layer gradually peels off or falls off while the head is in use, so that the liquid-repellent effect is not exhibited, and stable ejection printing is not possible at all in the initial stage. I can not do it.

【0016】このようなインクジェット記録ヘッドに必
要とされる耐久性において、従来の撥液処理剤にて形成
した撥液処理層では十分ではない場合があった。
In the durability required for such an ink jet recording head, a liquid repellent treatment layer formed of a conventional liquid repellent treatment agent may not be sufficient.

【0017】さらには、図2に示したインクジェット記
録ヘッドのように、オリフィスを取り囲む部材が複数の
異なる材質からなっている場合には、そのどの材質とも
密着性が良い撥液処理剤にて形成した撥液処理層を形成
しなければならない。従来の撥液処理剤にて形成した撥
水処理層は、特に、この点について不十分な場合があっ
た。
Further, when the member surrounding the orifice is made of a plurality of different materials like the ink jet recording head shown in FIG. 2, it is formed of a liquid repellent treatment agent having good adhesion to any of the materials. The liquid-repellent treatment layer must be formed. The water-repellent treatment layer formed of the conventional liquid-repellent treatment agent may be insufficient particularly in this respect.

【0018】本出願人は、そのような課題を解決する撥
液処理剤を先に出願した。その出願明細書には、非晶性
熱可塑性フッ素樹脂撥液処理層を樹脂上にシランカップ
リング剤あるいは有機チタネート化合物を介して被覆し
たインクジェット記録ヘッドが記載されている。
The present applicant first applied for a liquid repellent treatment agent that solves such a problem. The specification of the application describes an inkjet recording head in which an amorphous thermoplastic fluororesin liquid-repellent layer is coated on a resin via a silane coupling agent or an organic titanate compound.

【0019】例えば前記ヘッド(基板11がシリコン、
天板17がガラス、樹脂硬化膜13)の撥液処理層、上
記の組成物により形成すれば、従来の撥液水処理剤を用
いたよりも撥液持続性及び耐摩耗性が向上した撥液処理
層が得られる。
For example, the head (the substrate 11 is silicon,
When the top plate 17 is formed of glass, a liquid-repellent treatment layer of the resin cured film 13), and the above composition, the liquid-repellent durability and abrasion resistance are improved as compared with the conventional liquid-repellent water-treating agent. A treated layer is obtained.

【0020】しかしながら、上記の組成物は、撥液持続
性、ブレード拭きに対する耐久性は十分ながら、紙詰ま
り時の紙による擦りに対しては撥液性が低下してしまう
場合もあった。
However, although the above composition has sufficient liquid repellency and durability against wiping with a blade, the liquid repellency may be deteriorated against rubbing with paper when a paper jam occurs.

【0021】そこでオリフィス面に複合メッキを行った
インクジェット記録ヘッドを形成した。これは樹脂の撥
液処理より遥かに耐摩耗性は向上した。しかし吐出口周
縁部のみのメッキはときにメッキ外端に剥れを生じたり
欠けや割れを生じたりした。
Therefore, an ink jet recording head having a composite plating on the orifice surface was formed. This is far more improved in abrasion resistance than the liquid repellent treatment of the resin. However, plating only on the peripheral portion of the discharge port sometimes caused peeling or chipping or cracking on the outer edge of the plating.

【0022】また吐出口形成後にメッキを行うときにノ
ズル内にメッキが入り込んで不吐出やインク滴の飛翔方
向が不安定になったりする。またレジスト材料等をノズ
ル内に詰めてメッキ後にレジスト材料を除去して撥液層
を形成する場合は、メッキ層が厚過ぎるとポジ型レジス
トがうまく抜けなくなるという問題があった。
Further, when plating is performed after forming the discharge ports, the plating may enter the nozzles, resulting in non-discharge or unstable flight direction of ink droplets. Further, when the resist material is filled in the nozzle and the resist material is removed after plating to form the liquid repellent layer, there is a problem that the positive resist cannot be properly removed if the plating layer is too thick.

【0023】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたものであり、その目的は、少なくともオ
リフィス周辺部及びその外周部分の表面処理により、撥
液性及び耐摩耗性、基材との密着性に優れた撥液処理層
を有するインクジェット記録ヘッドの表面処理方法を提
供することにある。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to provide liquid repellency, abrasion resistance, and basic property by surface treatment of at least the peripheral portion of the orifice and its outer peripheral portion. It is an object of the present invention to provide a surface treatment method of an inkjet recording head having a liquid repellent treatment layer having excellent adhesion to a material.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】このため、本発明に係る
インクジェット記録ヘッドの表面処理方法は、少なくと
も吐出口の周縁部が表面処理されているインクジェット
記録ヘッドの表面処理方法において、第1に吐出口内に
溶解可能の固体を詰め、第2に少なくとも吐出口の周縁
部に導電性層を設け、第3に前記固体層を溶解し、その
後に電解メッキ層を設けることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッドの表面処理方法によって、前記目的を達
成しようとするのである。
Therefore, in the surface treatment method for an ink jet recording head according to the present invention, at least in the surface treatment method for an ink jet recording head in which at least the peripheral portion of the ejection port is surface treated, the first ejection is performed. An ink jet recording head, characterized in that the mouth is filled with a dissolvable solid, secondly a conductive layer is provided at least at the peripheral portion of the ejection port, thirdly the solid layer is dissolved, and then an electrolytic plating layer is provided. The above-mentioned object is to be achieved by the surface treatment method described above.

【0025】また、前記電解メッキ層はフッ素系高分子
を分散した複合共析メッキによりなることを特徴とする
前記のインクジェット記録ヘッドの表面処理方法によっ
て、前記目的を達成しようとするものである。
Further, the electrolytic plating layer is formed by complex eutectoid plating in which a fluoropolymer is dispersed, and the object of the present invention is to achieve the above object by the method for surface treatment of an ink jet recording head.

【0026】[0026]

【作用】上記の表面処理方法の構成により、少なくとも
オリフィス周辺部及びその外周部分に下地処理を施し無
電解メッキにより導電性の第一層を設け、ついでポジ型
レジスト除去後に電解メッキでフッ素高分子分散した複
合共析メッキ第2層を設け、ノズルへのメッキの入り込
みを防止すると共にメッキ厚を適切に調整することで、
撥液性及び耐摩耗性、基材との密着性に優れた撥液処理
層を有するインクジェット記録ヘッドが得られる。
With the above-described surface treatment method, at least the peripheral portion of the orifice and the outer peripheral portion thereof are subjected to a base treatment, a conductive first layer is provided by electroless plating, and then a fluoropolymer is formed by electrolytic plating after removing the positive resist. By providing a dispersed composite eutectoid plating second layer, preventing the penetration of plating into the nozzle and adjusting the plating thickness appropriately,
An ink jet recording head having a liquid repellent treatment layer that is excellent in liquid repellency, abrasion resistance, and adhesion to a substrate can be obtained.

【0027】本表面処理はフッ素系高分子微粒子を均一
に分散共析させた複合メッキなので表面に析出したフッ
素系高分子微粒子によって優れた撥液性を示すと共に、
マトリックスが金属であるため樹脂に比較して遥かに傷
つきにくく、剥れたりしない。更にメッキ層の厚みを2
段階のメッキで厚くできることにより適切なメッキ層の
耐久性が得られる。
Since this surface treatment is a composite plating in which fluorine-based polymer particles are uniformly dispersed and co-deposited, the fluorine-based polymer particles deposited on the surface show excellent liquid repellency.
Since the matrix is a metal, it is much less likely to be damaged than a resin and does not peel off. Furthermore, the thickness of the plating layer is 2
Appropriate durability of the plating layer can be obtained by being able to increase the thickness of the step plating.

【0028】[0028]

【実施例】本発明の実施例は、少なくともオリフィス周
辺部及びその外周部分に下地処理を施し無電解メッキに
より導電性の第一層を設け、ついでポジ型レジスト除去
後に電解メッキでフッ素高分子分散した複合共析メッキ
第2層を設け、ノズルへのメッキの入り込みを防止する
と共にメッキ厚を適切に調整することにより、撥液性及
び耐摩耗性、基材との密着性に優れた撥液処理層を有す
るインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
EXAMPLE In the example of the present invention, at least the peripheral portion of the orifice and the outer peripheral portion thereof are subjected to a base treatment, a conductive first layer is provided by electroless plating, and then a fluoropolymer dispersion is performed by electrolytic plating after removing the positive resist. By providing a second layer of the composite eutectoid plating to prevent the penetration of the plating into the nozzle and to adjust the plating thickness appropriately, the liquid repellency and abrasion resistance, and the liquid repellency excellent in the adhesion to the base material. An inkjet recording head having a treatment layer can be provided.

【0029】上記の本表面処理は、フッ素系高分子微粒
子を均一に分散共析させた複合メッキなので表面に析出
したフッ素系高分子微粒子によって優れた撥液性を示す
と共に、マトリックスが金属であるため樹脂に比較して
遥かに傷つきにくく、剥れたりしない。また本発明では
メッキ層の厚みを2段階のメッキで厚くできることによ
り適切なメッキ層の耐久性が得られる。
Since the above surface treatment is a composite plating in which the fluorine-based polymer particles are uniformly dispersed and co-deposited, the fluorine-based polymer particles deposited on the surface exhibit excellent liquid repellency, and the matrix is a metal. Therefore, it is much less likely to be damaged than a resin and does not peel off. Further, in the present invention, since the thickness of the plated layer can be increased by two-step plating, appropriate durability of the plated layer can be obtained.

【0030】(実施例1)図2に示すようなインクジェ
ット記録ヘッドのノズル内にポジ型液体レジストOFP
R800(東京応化株式会社製品)を注入して120℃
で2時間硬化させた。続いてメカニカルマスクにて吐出
口とそれを囲む面を除きマスクし、UV/O3 処理を5
〜10分行う。このときプラズマアッシャー(100ワ
ット、1Torr、1min)を行っても同様な効果が
得られる。次いで無電解メッキ液ニボジュールHXS
(上村工業株式会社製品)を用い操作温度90℃で膜厚
0.2〜1.0μmとなるようにメッキ時間を調節しメ
ッキを施した。その後アセトンにてノズル内に注入した
ポジ型レジストを溶解除去した。真空乾燥5分後さらに
フッ化黒鉛を分散させたメッキ液メタフロン(上村工業
株式会社製品)CWで操作温度40〜50℃でメッキ処
理を施した。なお、膜厚はメッキ時間と電流密度を調整
することにより1.0〜25.0μmとした。このよう
にしてインクジェット吐出ヘッドを形成した。
Example 1 A positive type liquid resist OFP is provided in the nozzle of an ink jet recording head as shown in FIG.
120 ℃ after injecting R800 (Tokyo Ohka Co., Ltd. product)
Cured for 2 hours. Subsequently, a mechanical mask is used to mask the discharge port and the surface surrounding it, and UV / O 3 treatment is applied to 5
Do for 10 minutes. At this time, the same effect can be obtained by performing plasma asher (100 watt, 1 Torr, 1 min). Next, electroless plating solution Nivodur HXS
(Product of Uemura Kogyo Co., Ltd.) was used at an operating temperature of 90 ° C. and the plating time was adjusted so that the film thickness was 0.2 to 1.0 μm. After that, the positive resist injected into the nozzle was dissolved and removed with acetone. After vacuum drying for 5 minutes, plating treatment was further performed with a plating solution Metaflon (product of Uemura Kogyo Co., Ltd.) CW in which fluorinated graphite was dispersed at an operating temperature of 40 to 50 ° C. The film thickness was set to 1.0 to 25.0 μm by adjusting the plating time and the current density. In this way, an inkjet discharge head was formed.

【0031】(比較例1)図1に示すようなインクジェ
ット記録ヘッドのノズル内にポジ型液体レジストOFP
R800(東京応化株式会社製品)を注入して120℃
で2時間硬化させた。ついでメッキ液ニボジュールHX
S(上村工業株式会社製品)中に静かに浸漬し、操作温
度90℃で膜厚0.2〜1.0μmとなるようにメッキ
時間を調節しメッキを施した。さらにフッ化黒鉛を分散
させたメッキ液メタフロン(上村工業株式会社製品)C
Wで操作温度40〜50℃でメッキ処理を施した。な
お、膜厚はメッキ時間と電流密度を調整することにより
1.0〜25.0μmとした。最後にアセトンにてノズ
ル内に注入したポジ型レジストを溶解除去しインクジェ
ット吐出ヘッドを形成した。なお、溝の代わりに凸部を
外周に設けても同様な効果が得られる。
(Comparative Example 1) A positive type liquid resist OFP is provided in the nozzle of an ink jet recording head as shown in FIG.
120 ℃ after injecting R800 (Tokyo Ohka Co., Ltd. product)
Cured for 2 hours. Next, plating solution Nivodur HX
It was gently dipped in S (product of Uemura Kogyo Co., Ltd.) and plated at an operating temperature of 90 ° C. by controlling the plating time so that the film thickness was 0.2 to 1.0 μm. Further, plating solution Metaflon (product of Uemura Kogyo Co., Ltd.) in which fluorinated graphite is dispersed C
The plating treatment was performed at W at an operating temperature of 40 to 50 ° C. The film thickness was set to 1.0 to 25.0 μm by adjusting the plating time and the current density. Finally, the positive resist injected into the nozzle was dissolved and removed with acetone to form an inkjet discharge head. It should be noted that the same effect can be obtained by providing a convex portion on the outer periphery instead of the groove.

【0032】このようにしてインクジェット吐出ヘッド
を形成した。
In this way, an ink jet ejection head was formed.

【0033】次に本発明実施例の表面処理方法で処理し
た吐出口を囲む面の接液性を含む耐摩耗性を調べるため
に行った『ブレード擦り耐久試験』の結果を表1に示
す。『ブレード擦り耐久試験』は撥水処理を施した面に
インクを吹きかけその上をポリウレタンブレードで擦っ
て行った。インクはキャノワードα−75のもので行
い、耐久試験を30万回行った。
Next, Table 1 shows the results of the "blade rubbing durability test" conducted to examine the abrasion resistance including the liquid contact property of the surface surrounding the discharge port treated by the surface treatment method of the embodiment of the present invention. The "blade rubbing durability test" was carried out by spraying ink on the surface treated with water repellent and rubbing it with a polyurethane blade. The ink was Canoword α-75, and the durability test was performed 300,000 times.

【0034】評価は擦り後処理した面の試験前後の表面
状態の金属顕微鏡による観察及び印字状態で行った。○
は印字の状態が良好であることを示し、△は印字の状態
が普通であることを示し、×は印字の状態が悪いことを
示す。
The evaluation was carried out by observing the surface state of the surface treated after rubbing before and after the test with a metallurgical microscope and by printing. ○
The mark indicates that the print condition is good, the mark indicates that the print condition is normal, and the mark indicates that the print condition is bad.

【0035】[0035]

【表1】 [Table 1]

【0036】表1に示す結果から明らかなように、比較
例の記録ヘッドは、電解メッキ層の厚みが15ミクロン
以上になるとレジストが抜けなくなる場合もあった。ま
た30万回擦りを行なった後はやや印字品位の低下が見
られた。これは、撥水処理層がやや剥離してしまうこと
が原因である。しかし現在のヘッド寿命に対しては十分
な耐久性と印字品位レベルにある。また熱処理を120
℃2時間ほどかけることで初期の性能を回復できる。実
施例1に関してはまったく印字の劣化はなく耐久性は半
永久的であり、今後より印字速度の高速化、ヘッドの長
寿命化に対し十分に対応できる性能である。
As is clear from the results shown in Table 1, in the recording head of the comparative example, the resist could not be removed when the thickness of the electrolytic plating layer was 15 μm or more. After rubbing 300,000 times, the print quality was slightly degraded. This is because the water repellent layer is slightly peeled off. However, it has sufficient durability and print quality level for the current head life. In addition, heat treatment 120
The initial performance can be recovered by applying the temperature for about 2 hours. In Example 1, the printing is not deteriorated at all and the durability is semi-permanent, which is a performance capable of sufficiently coping with the increase of the printing speed and the prolongation of the life of the head.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の表面処理
方法によって、常時所定の方向に実質的に均一液体量を
持って安定した吐出が行え、高速記録に十分使用し得る
ヘッドを容易な処理で形成できる。またレジスト等固体
を除去後に電解メッキの第2層を設けることによりトー
タルのメッキ層の厚みを増すことができ耐久性を向上さ
せることができる。
As described above, according to the surface treatment method of the present invention, stable ejection can be always performed with a substantially uniform liquid amount in a predetermined direction, and a head which can be sufficiently used for high speed recording can be easily formed. It can be formed by processing. Further, by providing the second layer of electrolytic plating after removing the solid such as resist, the total thickness of the plated layer can be increased and the durability can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 インクジェット記録ヘッドの外観を例示する
斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view illustrating the appearance of an inkjet recording head.

【図2】 インクジェット記録ヘッドの構成を例示する
展開斜視図である。
FIG. 2 is a developed perspective view illustrating the configuration of an inkjet recording head.

【図3】 実施例1及び比較例1で用いたインクジェッ
ト記録ヘッドのメッキ部の断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a plated portion of the inkjet recording head used in Example 1 and Comparative Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 インクジェット記録ヘッド(溝天樹脂型) 11 基板 12 吐出圧発生素子 13 感光性樹脂硬化膜 14 オリフィス 15 流路 16 液室 17 天板 18 インク供給口 19 接着剤 20 撥液処理層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ink jet recording head (groove top resin type) 11 Substrate 12 Ejection pressure generating element 13 Photosensitive resin cured film 14 Orifice 15 Flow path 16 Liquid chamber 17 Top plate 18 Ink supply port 19 Adhesive 20 Liquid repellent treatment layer

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも吐出口の周縁部が表面処理さ
れているインクジェット記録ヘッドの表面処理方法にお
いて、第1に吐出口内に溶解可能の固体を詰め、第2に
少なくとも吐出口の周縁部に導電性層を設け、第3に前
記固体層を溶解し、その後に電解メッキ層を設けること
を特徴とするインクジェット記録ヘッドの表面処理方
法。
1. A method for surface treatment of an ink jet recording head, wherein at least a peripheral portion of an ejection port is surface-treated, first, a soluble solid is filled in the ejection port, and secondly, at least a peripheral portion of the ejection port is electrically conductive. A surface treatment method for an ink jet recording head, comprising providing a conductive layer, thirdly dissolving the solid layer, and then providing an electrolytic plating layer.
【請求項2】 前記電解メッキ層はフッ素系高分子を分
散した複合共析メッキによりなることを特徴とする請求
項1記載のインクジェット記録ヘッドの表面処理方法。
2. The surface treatment method for an ink jet recording head according to claim 1, wherein the electrolytic plating layer is formed by complex eutectoid plating in which a fluoropolymer is dispersed.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6341836B1 (en) 1999-03-17 2002-01-29 Fujitsu Limited Water-repellent coating and method for forming same on the surface of liquid jet
US6739026B2 (en) * 2000-05-26 2004-05-25 Seiko Instruments Inc. Method of manufacturing a head chip

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