JP2709084B2 - Method of manufacturing ink jet recording head - Google Patents
Method of manufacturing ink jet recording headInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、オリフィス周縁部に撥水処理がなされたイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an ink jet recording head having a water-repellent treatment at a peripheral edge of an orifice.
従来より、記録ヘッドのオリフィス（吐出口）から記
録液（インク）を吐出することにより記録を行なうイン
クジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点で優
れた記録装置として知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet recording apparatus that performs recording by discharging a recording liquid (ink) from an orifice (discharge port) of a recording head has been known as a recording apparatus excellent in terms of low noise, high speed recording, and the like.
第２図は、通常のインクジェット記録ヘッドの構成を
例示する展開斜視図である。FIG. 2 is a developed perspective view illustrating the configuration of a normal ink jet recording head.
この記録ヘッドにおいては、ガラスやセラミックスな
どで形成された基板11の上に、吐出圧発生素子12が設置
され、感光性樹脂硬化膜13をフォトリソグラフィー法で
パターニングすることにより、吐出圧発生素子12に対応
する液流路15およびオリフィス14、更には液室16が形成
されている。その感光性樹脂硬化膜13の上には、例えば
ガラス、セラミックス、金属などで形成された天板17
が、接着剤19により積層固着されている。また、その天
板17には記録液供給口18が形成されている。In this recording head, an ejection pressure generating element 12 is provided on a substrate 11 formed of glass, ceramics, or the like, and the photosensitive resin cured film 13 is patterned by a photolithography method. A liquid flow path 15 and an orifice 14, and further a liquid chamber 16 are formed. On top of the cured photosensitive resin film 13, a top plate 17 made of, for example, glass, ceramics, metal, or the like.
Are laminated and fixed by the adhesive 19. A recording liquid supply port 18 is formed in the top plate 17.
このような構成の記録ヘッドにおいて、オリフィス14
を囲む基板11、感光性樹脂硬化膜13および天板17のの表
面の物理的性質（物理特性）は、オリフィス14から記録
液を常時安定して吐出させる上で、極めて重要である。
すなわち、オリフィス14の外廻り表面部（オリフィス周
縁部）に記録液が廻り込んで、その一部にでも液溜りが
生じると、流路15の記録液がオリフィス14から吐出され
る際に、その飛翔方向が正規の所定方向から離脱するよ
うになり、更には、液溜りの状態の不安定さから、吐出
される毎にその飛翔方向が乱れるという不都合が生じ、
そのため安定した液吐出が行なえずに良好な記録が行な
えなくなる。In a recording head having such a configuration, the orifice 14
The physical properties (physical properties) of the surfaces of the substrate 11, the photosensitive resin cured film 13, and the top plate 17 surrounding the substrate 11 are extremely important for constantly and stably discharging the recording liquid from the orifice 14.
In other words, if the recording liquid wraps around the outer peripheral surface of the orifice 14 (peripheral edge of the orifice) and a liquid pool occurs even in a part of the recording liquid, when the recording liquid in the flow path 15 is discharged from the orifice 14, The flight direction comes to deviate from the normal predetermined direction, and furthermore, due to the instability of the state of the liquid pool, the inconvenience that the flight direction is disturbed every time discharge is caused,
Therefore, stable recording cannot be performed and good recording cannot be performed.
また、更に、オリフィス14の外廻り表面部全体が記録
液の膜で覆われると、いわゆるスプラッシュ現象が生じ
て記録液の散乱が起り、安定した記録が行なえなくな
る。また、オリフィスの外廻り表面部を覆う液溜りが大
きくなると、記録ヘッドの液吐出が不能状態に陥ること
すらある。Further, when the entire outer surface of the orifice 14 is covered with the recording liquid film, a so-called splash phenomenon occurs, and the recording liquid is scattered, so that stable recording cannot be performed. Also, if the liquid pool covering the outer surface of the orifice becomes large, the recording head may even become unable to discharge liquid.
また、第２図に示したような通常の記録ヘッドでは、
オリフィスをとり囲む部材として、例えば、シリコン
（基板１）、ガラス（天板17）、樹脂（感光性樹脂硬化
膜13）のように異なる材料が使用される場合が多い。そ
して記録液は、オリフィス周縁部において、それら三種
の中で最も漏れ易い材質の部分から漏れる。通常のイン
ク（記録液）に対しては、上述の三種の材料のうちガラ
スが一番インクとの間の界面張力が低いので、その部分
からインクは漏れる。そのガラス部分は、ヘッドの製造
上や性能上好ましいので通常使用されている材料であ
り、インクが漏れを防ぐ目的で別の材料を使用すること
は製造上、性能上、コスト上望ましくない。Further, in a normal recording head as shown in FIG. 2,
As a member surrounding the orifice, for example, different materials such as silicon (substrate 1), glass (top plate 17), and resin (photosensitive resin cured film 13) are often used. Then, the recording liquid leaks from the most leaky material portion among the three types at the periphery of the orifice. With respect to ordinary ink (recording liquid), among the above three materials, glass has the lowest interfacial tension with the ink, so that ink leaks from that portion. The glass portion is a commonly used material because it is preferable in terms of manufacturing and performance of the head, and using another material for the purpose of preventing ink leakage is not desirable in terms of manufacturing, performance, and cost.
以上説明したように、従来の記録ヘッドにおいては、
オリフィスの周縁部に記録液の液溜りが生じると、安定
な吐出が行なえなくなる。しかも、この傾向はノズル密
度を上げて、高精細な記録を行なう場合や、高周波数で
駆動する、すなわち高速記録を狙う場合に、非常に顕著
に表れるので、記録ヘッドの性能を向上させる上で大き
な問題となっている。As described above, in the conventional recording head,
If a liquid pool of the recording liquid occurs at the peripheral portion of the orifice, stable ejection cannot be performed. In addition, this tendency is very noticeable when performing high-definition printing by increasing the nozzle density or when driving at a high frequency, that is, when aiming for high-speed printing. It is a big problem.
そこで、第１図に示すように、少なくともオリフィス
14の周縁部に、いわゆる撥水処理を施すことにより、イ
ンクを弾く撥水処理層20を形成し、上述の問題を解決せ
んとする提案が、従来より数多く公開されている。この
撥水処理に用いる撥水処理剤として、例えばシリコンオ
イルなどの種々のものが挙げられている。Therefore, as shown in FIG.
Many proposals have been made to solve the above-mentioned problem by forming a water-repellent treatment layer 20 for repelling ink by applying a so-called water-repellent treatment to the peripheral portion of the substrate 14. As the water repellent agent used in the water repellent treatment, for example, various agents such as silicone oil are mentioned.
インクジェット記録ヘッドに形成する撥水処理層20
は、単に撥水性のみが良好であるだけでなく、通常のイ
ンクジェット記録を行なう際における撥水処理層の耐久
性の点についても十分でなければ実用的でない。以下、
その耐久性について述べる。Water repellent treatment layer 20 formed on inkjet recording head
Is not only not only good in water repellency, but also impractical unless the durability of the water repellent layer during normal ink jet recording is sufficient. Less than,
The durability will be described.
インクジェット記録法を実施する場合には、たとえオ
リフィス周縁部に撥水処理が施されていても、オリフィ
ス周縁部は常に記録液と接しているので、ポリウレタン
フォーム等の吸収体でオリフィス面を拭き、付着したイ
ンクを吸い取るという回復操作が為されるのが通常であ
る。したがって、撥水処理層は、吸収体によりこすられ
ても剥離しない程度の密着性や層が破壊しない程度の耐
摩耗性等が必要とされる。これらの耐久性が不十分であ
ると、初期はともかく、ヘッドを使用しているうちに撥
水処理層が徐々に剥離したり、抜け落たりして撥水効果
を示さなくなり、安定な吐出印字ができなくなってしま
う。When performing the ink jet recording method, even if the orifice peripheral portion is subjected to a water-repellent treatment, since the orifice peripheral portion is always in contact with the recording liquid, wipe the orifice surface with an absorbent such as polyurethane foam, Normally, a recovery operation of absorbing the attached ink is performed. Therefore, the water-repellent treatment layer is required to have such adhesion as not to be peeled off even when rubbed by the absorber, and to have wear resistance to such an extent that the layer is not broken. If the durability is not sufficient, the water-repellent layer will gradually peel off or fall off during the use of the head, aside from the initial stage, and will not exhibit the water-repellent effect. Can not be done.
このようなインクジェット記録ヘッドに必要とされる
耐久性において、従来の撥水処理剤にて形成した撥水処
理層では十分ではない場合が有った。In some cases, the durability required for such an ink jet recording head is not sufficient with a water-repellent layer formed with a conventional water-repellent agent.
更には、第２図に示したインクジェットヘッドのよう
に、オリフィスをとり囲む部材が複数の異なる材質から
成っている場合には、そのどの材質とも密着が良い撥水
処理層を形成しなければならない。従来の撥水処理剤に
て形成した撥水処理層は、特に、この点において不十分
である場合が有った。Further, when the member surrounding the orifice is made of a plurality of different materials as in the ink jet head shown in FIG. 2, a water-repellent treatment layer having good adhesion to any of the materials must be formed. . The water-repellent layer formed with the conventional water-repellent agent may be insufficient in this point in particular.
本件出願人は、そのような課題を解決する撥水処理剤
を先に出願した。その出願明細書には、実質的に水不溶
性で有機溶剤可溶性の平均分子量2,000以上のフッ素系
重合体および分子中に２個以上の（メタ）アクリロイル
基を有する多官能性モノマーまたは多官能性オリゴマー
を含む紫外線重合硬化性組成物により撥水処理層が形成
されたインクジェット記録ヘッドが記載されている。The present applicant has previously filed an application for a water-repellent agent that solves such a problem. The specification of the application includes a substantially water-insoluble and organic solvent-soluble fluoropolymer having an average molecular weight of 2,000 or more, and a polyfunctional monomer or oligomer having two or more (meth) acryloyl groups in the molecule. Describes an ink jet recording head in which a water-repellent treatment layer is formed by an ultraviolet polymerization curable composition containing
例えば前記ヘッド（基板11がシリコン、天板17がガラ
ス、樹脂硬化膜13）の撥水処理層を、上記の組成物によ
り形成すれば、従来の撥水処理剤を用いた場合よりも耐
久性が向上した撥水処理層が得られる。For example, if the water-repellent treatment layer of the head (the substrate 11 is silicon, the top plate 17 is glass, and the resin cured film 13) is formed of the above composition, the durability is higher than when a conventional water-repellent treatment agent is used. Thus, a water-repellent layer having an improved water repellency can be obtained.
しかしながら、上記の組成物は、感光性樹脂硬化膜の
部分に対しては特に優れた密着性を示すのであるが、ガ
ラスおよびシリコンなどの無機材料部分に対しては、密
着性の点でまだ十分とはいえず、より長期間使用すると
剥離してきて、撥水効果が低下してしまう場合もあっ
た。However, the above composition shows particularly excellent adhesion to the portion of the cured photosensitive resin film, but still has sufficient adhesion to inorganic materials such as glass and silicon. However, in some cases, when used for a longer period of time, they peel off and the water-repellent effect may be reduced.
本発明は、そのような課題を解決するために成された
ものであり、その目的は、撥水性および耐久性に優れた
撥水処理層を有するインクジェット記録ヘッドの製造方
法を提供することにあり、特に本願出人が先に出願した
前記明細書に記載の発明について、更に無機材料に対す
る撥水処理層の密着性を改善したインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法を提供することにある。The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an ink jet recording head having a water-repellent treatment layer having excellent water repellency and durability. In particular, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an ink jet recording head in which the adhesion of a water-repellent treatment layer to an inorganic material is further improved, particularly in the invention described in the above specification, which was previously filed by the present applicant.
本発明は、少なくともオリフィス周縁部に撥水処理が
なされたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、 前記オリフィス周縁部をUV/O3処理する工程と、 UV/O3処理されたオリフィス周縁部にシランカップリ
ング剤を塗布する工程と、 シランカップリング剤の塗布面に撥水処理層を形成す
る工程と、 を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド
の製造方法である。The present invention provides a method of manufacturing the ink jet recording head water-repellent treatment has been performed at least on orifice periphery, a step of the orifice periphery UV / O 3 treatment for, UV / O 3 treated silane coupling the orifice periphery A method for manufacturing an ink jet recording head, comprising: a step of applying a ring agent; and a step of forming a water-repellent layer on a surface to which a silane coupling agent is applied.
本発明においては、オリフィス周縁部にUV/O3処理を
施した後に、シランカップリング剤を少なくともオリフ
ィス周縁部に塗布し、無機材料とシランカップリング剤
とをまず結合させ、その塗布面に上記の紫外線重合硬化
性組成物による撥水処理を行なうので、例えばガラスや
シリコン等をヘッドの構成部材として使用した場合であ
っても、撥水処理層の耐久性は十分であり、それ故に安
定な吐出印字ができる記録ヘッドである。In the present invention, after the orifice peripheral edge is subjected to UV / O 3 treatment, a silane coupling agent is applied at least to the orifice peripheral edge, and the inorganic material and the silane coupling agent are first bonded to each other. Since the water-repellent treatment with the ultraviolet-curable composition is performed, the durability of the water-repellent treatment layer is sufficient even when, for example, glass, silicon, or the like is used as a constituent member of the head, and is therefore stable. This is a recording head that can perform ejection printing.
なお、ここでいう撥水処理層とは、本発明における撥
水処理がなされた部分の表面の硬化物が形成された部位
をいい、層状ではない場合、例えばその硬化物が均一ま
たは不均一に点在している場合などをも含む。The water-repellent treatment layer referred to herein means a portion where a cured product on the surface of the portion subjected to the water-repellent treatment in the present invention is formed, and when the composition is not a layer, for example, the cured product is uniform or non-uniform. This includes the case where it is scattered.
本発明における撥水処理に用いるシランカップリング
剤には、オリフィス周縁部を構成する材質と良好に結合
し、かつ撥水処理層とも良好に結合するようなもの、つ
まりオリフィスを構成する材質と撥水処理層との密着性
を十分に補助できるようなものであれば特に限定されな
いが、例えばアクリル系シランカップリング剤としてＡ
−174（商品名、日本ユニカー製）、メルカプト系シラ
ンカップリング剤としてＡ−189（商品名、日本ユニカ
ー製）などを好適な例として挙げることができる。The silane coupling agent used for the water-repellent treatment in the present invention is one that is well bonded to the material constituting the orifice peripheral portion and is also well bonded to the water-repellent treatment layer, that is, the material constituting the orifice. The material is not particularly limited as long as it can sufficiently assist the adhesion to the water treatment layer.
Preferred examples include -174 (trade name, manufactured by Nippon Unicar) and A-189 (trade name, manufactured by Nippon Unicar) as a mercapto-based silane coupling agent.
本発明における撥水処理に用いる撥水処理剤として
は、上述したフッ素重合体やモノマーなどを含む組成物
であれば特に限定されないが、先に述べたようなインク
ジェット記録ヘッドのオリフィス周縁部に必要な撥水性
等について優れた撥水処理層を容易に形成できるものが
望ましく、例えば、光ラジカル重合型樹脂組成物DEFENS
A7702（大日本インキ化学工業、商品名）などを好適な
例として挙げることができる。The water-repellent treatment agent used for the water-repellent treatment in the present invention is not particularly limited as long as it is a composition containing the above-mentioned fluoropolymer or monomer, but is necessary for the orifice peripheral portion of the inkjet recording head as described above. Desirable is a layer which can easily form a water-repellent layer excellent in water repellency and the like.
A7702 (Dainippon Ink and Chemicals, trade name) and the like can be mentioned as suitable examples.
以下、実施例により、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples.
実施例１ まず、第２図に示すように、シリコン製の基板11上に
発熱素子（吐出圧発生素子）12を設けた。なお、第２図
には図示していないが、この発熱素子12の両端には、こ
の発熱素子へ信号を送るための導体配線がなされてい
る。次に、この基板11の上に感光性のドラムフィルム13
（東京応化製、オーディル）をラミネートした後、周知
のフォトリソグラフィーの加工法で、オリフィス14、流
路15および液室16を形成した。更に、ガラス製の天板17
に記録液の供給口18を開口したものを、接着剤19を介し
て感光性樹脂硬化膜13上に積層して接着した。Example 1 First, as shown in FIG. 2, a heating element (discharge pressure generating element) 12 was provided on a silicon substrate 11. Although not shown in FIG. 2, at both ends of the heating element 12, conductor wiring for transmitting a signal to the heating element is provided. Next, a photosensitive drum film 13 is placed on the substrate 11.
After laminating (Odil, manufactured by Tokyo Ohka), an orifice 14, a flow path 15, and a liquid chamber 16 were formed by a known photolithography processing method. In addition, a glass top plate 17
A recording liquid supply port 18 was opened, and the photosensitive resin cured film 13 was laminated and bonded via an adhesive 19.
以上のようにして構成したインクジェット記録ヘッド
を、UV/O3洗浄槽に入れ、オリフィス14を含む面を洗浄
した。The ink jet recording head configured as described above was placed in a UV / O 3 cleaning tank, and the surface including the orifice 14 was cleaned.
次いで、アクリル系シランカップリング剤であるＡ−
174（日本ユニカー、商品名）をエタノールに溶かして
２重量％溶液とした。この溶液をオリフィス14を含む面
にハケ塗りし、80℃、10分間加熱した。Next, the acrylic silane coupling agent A-
174 (Nihon Unicar, trade name) was dissolved in ethanol to prepare a 2% by weight solution. This solution was brush-coated on the surface including the orifice 14 and heated at 80 ° C. for 10 minutes.
次いで、流路15内へ蒸留水を充填し、撥水処理剤とし
ての光ラジカル重合型樹脂組成物DEFENSA7702（大日本
インキ化学工業、商品名）をフレオンTF（ダイキン
（株）製、ダイフロンＳ−３）で100倍に希釈した溶液
の中に浸漬し、引き上げ、風乾させた。その後、10J/cm
2のUV光を照射し、樹脂組成物を硬化させて、第１図に
示すような本発明のインクジェット記録ヘッドを完成し
た。Then, the flow path 15 is filled with distilled water, and a photo-radical polymerization type resin composition DEFENSA7702 (Dainippon Ink Chemical Industry, trade name) as a water-repellent agent is added to Freon TF (Daikin Co., Ltd., Daiflon S- It was immersed in the solution diluted 100 times in 3), pulled up, and air-dried. Then 10J / cm
2 was irradiated with UV light, to cure the resin composition, thus completing the ink jet recording head of the present invention as shown in Figure 1.
実施例２ アクリル系シランカップリング剤溶液の代わりに、メ
ルカプト系シランカップリング剤Ａ−189（日本ユニカ
ー、商品名）をエタノールに溶かした２重量％溶液を使
用した以外は、実施例１と同様にして本発明のインクジ
ェット記録ヘッドを作製した。Example 2 In the same manner as in Example 1 except that a 2% by weight solution of a mercapto silane coupling agent A-189 (Nihon Unicar, trade name) dissolved in ethanol was used instead of the acrylic silane coupling agent solution. Thus, an ink jet recording head of the present invention was produced.
比較例１ シランカップリング剤処理を行なわなかった以外は実
施例１と同様にしてインクジェット記録ヘッドを作製し
た。Comparative Example 1 An ink jet recording head was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the silane coupling agent treatment was not performed.
耐久性の評価： 実施例１、２および比較例１において作製したインク
ジェット記録ヘッドについて以下のようにして摩耗耐久
試験を行なった。Evaluation of durability: Abrasion durability tests were performed on the ink jet recording heads manufactured in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 as follows.
第３図（ａ）および（ｂ）は、その摩耗耐久試験の概
要を示す斜視図および平面図である。3 (a) and 3 (b) are a perspective view and a plan view showing the outline of the wear durability test.
この図に示すように、シリコンゴム板21が部材22によ
り保持されており、回転軸23を中心として部材22が回転
することにより、シリコンゴム板21が約10g/cm2の圧力
でインクジェット記録ヘッド１の撥水処理層20が摺擦さ
れる。また、その摺擦を実使用状態に近い状態となるよ
うに、インク滴下装置24からインク滴25を摺擦部分に滴
下できるようになっている。As shown in this figure, a silicon rubber plate 21 is held by a member 22, and when the member 22 rotates about a rotation axis 23, the silicon rubber plate 21 is pressed at a pressure of about 10 g / cm 2 by an ink jet recording head. One water-repellent treatment layer 20 is rubbed. In addition, an ink drop 25 can be dropped from the ink dropping device 24 onto the rubbing portion so that the rubbing is close to the actual use state.
この装置を用い、インクの滴下速度を１滴／秒として
耐久性試験を、1,000回〜２万回行なった。その際に、
1,000回、5,000回、１万回、２万回後にそれぞれヘッド
を取り外し、印字させて、その状態を観察した。その結
果を、表−１に示す。なお、表−１に示す各マークは、
得られた印字の状態を示すものであり、○は印字の状態
が良好であることを示し、△は印字の状態が普通である
ことを示し、×は印字の状態が悪いことを示す。その印
字の状態の良悪の判断は、ドット着弾点のズレ量を測定
することと、目視による官能検査の双方にて行なった。Using this apparatus, the durability test was performed 1,000 to 20,000 times at an ink dropping rate of 1 drop / sec. At that time,
After 1,000 times, 5,000 times, 10,000 times, and 20,000 times, the heads were removed, printed, and the state was observed. Table 1 shows the results. Each mark shown in Table 1 is
The obtained printing state is shown, ○ indicates that the printing state is good, Δ indicates that the printing state is normal, and X indicates that the printing state is bad. The quality of the printed state was determined by both measuring the amount of deviation of the dot landing points and by visual sensory inspection.
表−１に示す結果から明らかなように、比較例１の記
録ヘッドは、5,000回摺擦すると印字の状態が悪くなっ
てしまう。これは、撥水処理層が剥離してしまうことが
原因である。それと比較して実施例１および２のヘッド
は、２万回まで摺擦しても印字の状態は良好または普通
である。 As is clear from the results shown in Table 1, the printing state of the recording head of Comparative Example 1 deteriorated after rubbing 5,000 times. This is because the water-repellent layer is peeled off. In contrast, the heads of Examples 1 and 2 showed good or normal printing even after rubbing up to 20,000 times.
以上説明したように、本発明のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法によれば、オリフィス周縁部に撥水性お
よび耐久性に優れた撥水処理部が形成されるので、常時
安定した吐出印字ができ、良好な印字が得られるインク
ジェット記録ヘッドを製造できる。As described above, according to the method of manufacturing an ink jet recording head of the present invention, a water-repellent portion having excellent water repellency and durability is formed at the peripheral portion of the orifice, so that stable ejection printing can be performed at all times. It is possible to manufacture an ink jet recording head capable of obtaining an excellent print.
また、その撥水処理層は、無機材料に対する密着性に
も優れており、それ故に無機材料をオリフィスの構成材
料の一つとして使用する記録ヘッドとして用いるに特に
有用である。Further, the water-repellent layer has excellent adhesion to an inorganic material, and is therefore particularly useful as a recording head using the inorganic material as one of the constituent materials of the orifice.
第１図は、インクジェット記録ヘッドの外観を例示する
斜視図、第２図はインクジェット記録ヘッドの構成を例
示する展開斜視図、第３図（ａ）および（ｂ）は、本実
施例および比較例のインクジェット記録ヘッドについて
行なった耐久性試験の概要を示す斜視図および平面図で
ある。 １……インクジェット記録ヘッド 11……基板、12……吐出圧発生素子 13……感光性樹脂硬化膜、14……オリフィス 15……流路、16……液室 17……天板、19……接着剤 20……撥水処理層、21……シリコンゴム板 22……保持部材、23……回転軸 24……インク滴下装置、25……インクFIG. 1 is a perspective view illustrating the appearance of an ink jet recording head, FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the configuration of the ink jet recording head, and FIGS. 3 (a) and (b) are the present example and a comparative example. 3A and 3B are a perspective view and a plan view showing an outline of a durability test performed on the inkjet recording head of FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ink jet recording head 11 ... Substrate, 12 ... Discharge pressure generating element 13 ... Photosensitive resin cured film, 14 ... Orifice 15 ... Flow path, 16 ... Liquid chamber 17 ... Top plate, 19 ... Adhesive 20 Water-repellent treatment layer 21, Silicon rubber plate 22 Holding member 23 Rotating shaft 24 Ink dropping device 25 Ink
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 隆 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−291148（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−249765（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−243850（ＪＰ，Ａ) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Takashi Watanabe 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (56) References JP-A-61-291148 (JP, A) JP-A-61 -249765 (JP, A) JP-A-61-243850 (JP, A)
Claims (3)
なされたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、 前記オリフィス周縁部をUV/O3処理する工程と、 UV/O3処理されたオリフィス周縁部にシランカップリン
グ剤を塗布する工程と、 シランカップリング剤の塗布面に撥水処理層を形成する
工程と、 を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
製造方法。1. A method of manufacturing an ink jet recording head in which at least a peripheral portion of an orifice is subjected to a water-repellent treatment, a step of subjecting the peripheral portion of the orifice to UV / O 3 treatment, and a step of applying a silane to the peripheral portion of the orifice treated by UV / O 3 treatment. A method for manufacturing an ink jet recording head, comprising: a step of applying a coupling agent; and a step of forming a water-repellent treatment layer on a surface to which a silane coupling agent is applied.
溶性の平均分子量2000以上のフッ素系重合体および分子
中に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する多官能
性モノマーおよび／または多官能性オリゴマーを含む組
成物を重合硬化させたものである特許請求の範囲第１項
に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。2. The water-repellent treatment layer comprises a water-insoluble, organic solvent-soluble fluoropolymer having an average molecular weight of 2,000 or more, a polyfunctional monomer having two or more (meth) acryloyl groups in the molecule, and / or The method for producing an ink jet recording head according to claim 1, wherein the composition containing a polyfunctional oligomer is polymerized and cured.
で構成されている特許請求の範囲第１項に記載のインク
ジェット記録ヘッドの製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the peripheral portion of the orifice is made of a plurality of different materials.
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP63180312A JP2709084B2 (en) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | Method of manufacturing ink jet recording head |
| US07/512,606 US5017946A (en) | 1988-07-21 | 1990-04-24 | Ink jet recording head having surface treatment layer and recording equipment having the head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP63180312A JP2709084B2 (en) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | Method of manufacturing ink jet recording head |
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| JPH02153744A JPH02153744A (en) | 1990-06-13 |
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ID=16081012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP63180312A Expired - Lifetime JP2709084B2 (en) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | Method of manufacturing ink jet recording head |
Country Status (1)
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- 1988-07-21 JP JP63180312A patent/JP2709084B2/en not_active Expired - Lifetime
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