JPH08236025A - Gas filling method, gas filling structure and manufacture of gas discharge display panel - Google Patents
Gas filling method, gas filling structure and manufacture of gas discharge display panelInfo
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- JPH08236025A JPH08236025A JP7039605A JP3960595A JPH08236025A JP H08236025 A JPH08236025 A JP H08236025A JP 7039605 A JP7039605 A JP 7039605A JP 3960595 A JP3960595 A JP 3960595A JP H08236025 A JPH08236025 A JP H08236025A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、表示放電に先立って
行うエージング処理を施すガス放電表示パネルのガス充
填方法、ガス充填およびパネルの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas filling method for a gas discharge display panel, a gas filling method and a panel manufacturing method for performing an aging treatment prior to a display discharge.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ガス放電表示パネル（以下、単にパネル
と称することがある。）は、一般に、安定した表示放電
動作を得る目的で、エージング処理を施してパネルを完
成させる。この場合、エージング処理とは、組立を終了
して所望の構造体となったパネルを、表示放電に先立っ
て、表示放電とは別の条件下で放電させることにより、
パネルの電極表面に付着している不純物等の除去を行
い、電極表面を活性化させることである。このようなガ
ス放電表示パネルの製造方法の典型的な例として、例え
ば特開昭５７−１３６４９号公報（以下、公報１）、特
開平４−２７４１３４号公報（以下、公報２）に開示さ
れているものがある。公報１には、組み立て終了後のパ
ネルの基板間の空隙（公報１ではガス空間）にエージン
グ用ガスを充填してエージング処理を施した後、このエ
ージング用ガスを所定濃度の放電ガスと入れ換えて封止
することにより、パネルを製造する方法が記載されてい
る。また、公報２には、組み立て終了後のパネルの基板
間の空隙にエージング用ガスをエージング処理に応じた
ガス圧で充填してエージング処理を施した後、このエー
ジング用ガスを表示放電に応じたガス圧の表示放電用ガ
スと入れ換えて封止することによりパネルを製造する方
法が記載されている。いずれの方法においても、エージ
ング用ガスをエージング処理に使用した後、パネル外に
排気してから表示放電用のガスと入れ換えて表示放電用
のパネルを製造している。2. Description of the Related Art In general, a gas discharge display panel (hereinafter sometimes simply referred to as a panel) is subjected to an aging treatment to complete the panel for the purpose of obtaining a stable display discharge operation. In this case, the aging treatment is to discharge the panel having the desired structure after the assembly is completed under a condition different from the display discharge, prior to the display discharge,
The purpose is to remove impurities adhering to the electrode surface of the panel and activate the electrode surface. Typical examples of the method for manufacturing such a gas discharge display panel are disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-13649 (hereinafter, referred to as Publication 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-274134 (hereinafter, referred to as Publication 2). There is something. In the publication 1, the aging gas is filled in the space between the substrates of the panel (the gas space in the publication 1) after the assembly is completed, and then the aging gas is replaced with the discharge gas having a predetermined concentration. A method of manufacturing a panel by sealing is described. In addition, in Japanese Patent Laid-Open No. 2-212069, after gaps between substrates of a panel after assembly are filled with an aging gas at a gas pressure according to the aging treatment and the aging treatment is performed, the aging gas is subjected to display discharge. A method for manufacturing a panel by replacing a gas for display discharge with a gas pressure and sealing is described. In either method, after the aging gas is used for the aging treatment, it is exhausted to the outside of the panel and then replaced with the display discharge gas to manufacture the display discharge panel.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなガスの充填方法でガス放電表示パネルの製造を
行うことには、以下に示すような問題点があった。However, there are the following problems in manufacturing a gas discharge display panel by the gas filling method as described above.
【０００４】通常、パネルにガスを充填あるいはパネル
からガスを排気するとき、パネルは排気台に据えつけ
て、さらに加熱炉で覆われた状態で処理される。排気台
とは、ここではガスの充填および排気を行うときパネル
を固定させておく装置のことをいう。このため、パネル
は、エージング用ガスを充填する工程から最終ガス（表
示放電用ガスともいう。）を充填して封止する工程ま
で、すべて排気台に据えつけられた状態で行われてい
た。したがって、エージング処理のときには、排気台に
据えつけられたパネルに、さらにエージング装置を接続
させる必要があった。しかし、エージング装置は回路装
置であるため熱に弱く、このため、エージング処理を行
うときは一旦加熱炉を排気台から取りはずしてパネルと
エージング装置とを接続し、エージング処理後再び加熱
炉を取りつける必要があった。Usually, when the panel is filled with gas or the gas is exhausted from the panel, the panel is mounted on an exhaust base and further processed while being covered with a heating furnace. The exhaust base here refers to a device that fixes the panel when the gas is filled and exhausted. For this reason, the panel has been installed in the exhaust base from the step of filling the aging gas to the step of filling and sealing the final gas (also referred to as the display discharge gas). Therefore, during the aging process, it was necessary to further connect the aging device to the panel installed on the exhaust base. However, since the aging device is a circuit device, it is vulnerable to heat.Therefore, when performing the aging process, it is necessary to remove the heating furnace from the exhaust base once, connect the panel and the aging device, and then attach the heating furnace again after the aging process. was there.
【０００５】一方、パネルを排気台から取りはずしてエ
ージング処理をする場合、ガスの充填および排気は、基
板に設けられたガス流路を覆う管、いわゆるチップ管を
介して行うのが一般的である。チップ管は普通ガラス製
である。エージング用ガスを充填した後に、チップ管か
らエージング用ガスが漏れないように、このチップ管の
先端の細長くなった部分を加熱処理等を施して一旦閉じ
る。これをチップオフという。そして、エージング処理
後のこのエージング用ガスの排気および最終ガスの充填
の目的で、チップ管の先端部分を、ガス流通を可能にす
るために除去する。このとき、チップ管の先端は開口し
ていて、排気台の装置に接続されるまで一時的に外気に
触れてしまうため、外気がチップ管の開口部からガス流
路を通って、パネルの空隙に入り込んでしまう。このた
め、エージング処理によって活性化された電極に再度不
純物が付着する機会を作ってしまうという問題点もあっ
た。On the other hand, when the panel is removed from the exhaust base and subjected to the aging process, it is common to fill and exhaust the gas through a so-called chip pipe that covers the gas passage provided in the substrate. . The tip tube is usually made of glass. After the aging gas is filled, the elongated portion at the tip of the tip pipe is subjected to heat treatment or the like and temporarily closed so that the aging gas does not leak from the tip pipe. This is called tip off. Then, for the purpose of exhausting the aging gas and filling the final gas after the aging treatment, the tip portion of the tip tube is removed to enable gas flow. At this time, the tip of the tip tube is open, and it temporarily touches the outside air until it is connected to the device on the exhaust table. Get in. For this reason, there is a problem in that impurities are created again on the electrodes activated by the aging treatment.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上述した問題を解決する
ため、この発明のガス充填方法によれば、ガス放電表示
パネルにエージング用ガスを充填した後に、表示放電用
の最終ガスを充填するガス充填方法において、表示放電
に適切な組成および圧力を有するガスとするため必要な
付加ガスを気密封止した容器をガス放電表示パネルの外
側に設けておき、このガス放電表示パネルをエージング
した後に上述した容器を開封して付加ガスをガス放電表
示パネル内に充填して最終ガスを得ることを特徴とす
る。In order to solve the above-mentioned problems, according to the gas filling method of the present invention, a gas for filling an aging gas in a gas discharge display panel and then filling a final gas for display discharge. In the filling method, a container hermetically sealed with an additional gas necessary for obtaining a gas having a composition and pressure suitable for display discharge is provided outside the gas discharge display panel, and after the gas discharge display panel is aged, the above-mentioned The container is opened and the additional gas is filled in the gas discharge display panel to obtain the final gas.
【０００７】また、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、第１基板上に複数列の第１電極を形成
し、かつ第２基板上に複数行の第２電極を形成して、第
１および第２電極を対向させて配置すると共に第１およ
び第２基板間の空隙に、これら二つの基板のうち一方の
基板に設けられたガス流路を介してエージング用ガスを
充填した後、第１および第２電極間に電圧を印加してエ
ージング処理を施してガス放電表示パネルの製造をする
に当り、次の（ａ）〜（ｄ）の工程を行うことを特徴と
する。Further, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, the plurality of columns of the first electrodes are formed on the first substrate, and the plurality of rows of the second electrodes are formed on the second substrate. , The first and second electrodes are arranged so as to face each other, and the gap between the first and second substrates is filled with an aging gas through a gas passage provided in one of the two substrates. After that, when a voltage is applied between the first and second electrodes to perform aging treatment to manufacture a gas discharge display panel, the following steps (a) to (d) are performed.
【０００８】（ａ）第１および第２基板間の空隙にエー
ジング用ガスを充填する。 （ｂ）ガス流路と連通し得る位置に、障壁によりこのガ
ス流路を流れないように付加ガスを封入した容器を設置
する。 （ｃ）（ａ）および（ｂ）処理の後にエージング処理を
施す。 （ｄ）エージング処理後、障壁を除去して、ガス流路と
容器とを連通させることにより、付加ガスを空隙に充填
させてエージング用ガスと混合させた混合ガスを、表示
放電用の最終ガスとして得る。(A) An aging gas is filled in the space between the first and second substrates. (B) A container in which an additional gas is enclosed is installed at a position where it can communicate with the gas flow passage so that the barrier does not flow through the gas flow passage. (C) Aging treatment is performed after the treatments (a) and (b). (D) After the aging treatment, the barrier is removed, and the gas flow path and the container are communicated with each other to fill the voids with the additional gas and mix the mixed gas with the aging gas to obtain the final gas for display discharge. Get as.
【０００９】また、上記の方法でガス放電表示パネルを
製造するとき、エージング用ガスをエージング処理に応
じた組成および圧力で空隙に充填し、さらに付加ガス
を、エージング用ガスの体積、組成および圧力に応じて
変化させた体積、組成および圧力で、充填するのが良
い。When the gas discharge display panel is manufactured by the above method, the aging gas is filled in the voids with the composition and pressure according to the aging treatment, and the additional gas is further added with the volume, composition and pressure of the aging gas. It is preferable to fill with a volume, a composition and a pressure which are changed according to the above.
【００１０】また、この発明のガス充填構造によれば、
ガス放電表示パネルの基板に設けられていて表示放電用
の最終ガスを形成するための付加ガスを流すガス流路
と、この基板に気密封止されていて、かつ付加ガスを収
容している容器と、この容器内に収容された付加ガスが
ガス流路に流れるのを防止している障壁とを具えること
を特徴とする。このとき、この容器は、付加ガスを直接
気密封止して収容してもよいし、別の入れ物に気密封止
してある付加ガスを収容するような形にしてもよい。According to the gas filling structure of the present invention,
A gas channel provided on the substrate of the gas discharge display panel for flowing an additional gas for forming a final gas for display discharge, and a container hermetically sealed in the substrate and containing the additional gas. And a barrier which prevents the additional gas contained in the container from flowing into the gas flow path. At this time, this container may directly contain the additional gas in an airtight manner, or may have a shape in which another container contains the additional gas in an airtight manner.
【００１１】[0011]
【作用】上述したこの発明のガス充填方法によれば、ガ
ス放電表示パネルにエージング用ガスを充填してエージ
ング処理を行う前の時点で付加ガスを気密封止した容器
をガス放電表示パネルの外側に設けてあるような状態に
しておき、パネルにエージング処理を施した後に容器を
開封して、さらにこの付加ガスをパネル内に充填するこ
とで最終ガスを得る。すなわち、エージング用ガスは、
エージング処理に使用されるだけでなく、付加ガスと混
合させて最終ガスを得るための予備ガスとしても働く。
したがって、エージング用ガスを排気させる必要も、最
終ガスを改めて充填する必要もないため、エージング用
ガスをパネル内に充填する工程よりも後の工程で、排気
台を用いる作業を不要とする。また、エージング処理に
はエージング処理に適した組成および圧力を有するガス
（エージング用ガス）を使用し、このガスに応じて、付
加ガスの体積、組成および圧力を決め、この付加ガスを
エージング用ガスと混合させることにより、最終的に得
たいガス、即ち表示放電に適した組成および圧力を有す
る最終ガスを得ることができる。According to the above-described gas filling method of the present invention, the container in which the additional gas is hermetically sealed is filled outside the gas discharge display panel before the aging treatment by filling the gas discharge display panel with the aging gas. In this state, the panel is aged, the container is opened, and the additional gas is filled in the panel to obtain the final gas. That is, the aging gas is
Not only is it used in the aging process, but it also acts as a reserve gas to be mixed with additional gas to obtain the final gas.
Therefore, since it is not necessary to exhaust the aging gas or to refill the final gas, it is not necessary to use the exhaust base in a step subsequent to the step of filling the panel with the aging gas. A gas having a composition and pressure suitable for the aging treatment (aging gas) is used for the aging treatment, and the volume, composition and pressure of the additional gas are determined according to the gas, and the additional gas is used as the aging gas. The final desired gas, that is, the final gas having a composition and a pressure suitable for display discharge can be obtained by mixing with.
【００１２】また、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、パネルを構成する２枚の基板間の空隙
に、一方の基板に設けられたガス流路を介してガス流路
と連通し得る位置に障壁によりガス流路を流れないよう
に付加ガスを封入した容器を設置する。次に、これらの
処理の後にエージング処理を施して、エージング処理後
に障壁を除去し、ガス流路と容器とを連通させて付加ガ
スを空隙中のエージング用ガスと混合させることによ
り、この混合ガスを最終ガスとして得る。このように、
予め用意していた付加ガスを、障壁を取り除くことでエ
ージング用ガスと混合させて容易に最終ガスを得られる
ので、エージング処理以降は排気台を用いる作業を不要
とする。また、エージング用ガス充填後に排気台を取り
はずしておけば、エージング装置とパネルを接続するだ
けでエージング処理を行うことができ、全体の装置が小
型化する。Further, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, the gas flow path provided in one of the substrates communicates with the gas flow path in the gap between the two substrates forming the panel. A container in which an additional gas is sealed is installed at a position where it is possible so as not to flow through the gas passage due to the barrier. Next, after these treatments, an aging treatment is performed, the barrier is removed after the aging treatment, the gas flow passage and the container are communicated with each other, and the additional gas is mixed with the aging gas in the voids to obtain the mixed gas. As the final gas. in this way,
Since the additional gas prepared in advance can be mixed with the aging gas by removing the barrier to easily obtain the final gas, it is not necessary to use an exhaust stand after the aging treatment. Also, if the exhaust base is removed after filling the aging gas, the aging process can be performed simply by connecting the aging device and the panel, and the entire device is downsized.
【００１３】また、この発明のガス充填構造によれば、
ガス放電表示パネルの基板に設けられたガス流路と、こ
の基板に気密封止されていて、かつ付加ガスを収容して
いる容器と、この容器内に収容された付加ガスがガス流
路に流れるのを防止している障壁とを具えている。この
ため、パネル外部から改めてガスを充填させることな
く、外気に触れずに付加ガスを加えて最終ガスの充填を
行うため、エージング処理の目的をさらに高める作用が
ある。According to the gas filling structure of the present invention,
The gas flow path provided on the substrate of the gas discharge display panel, the container hermetically sealed to this substrate and containing the additional gas, and the additional gas housed in this container is the gas flow path. It has a barrier that prevents it from flowing. Therefore, the final gas is filled by adding the additional gas without touching the outside air again without refilling the gas from the outside of the panel, which has the effect of further enhancing the purpose of the aging treatment.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。各図は、発明が理解できるように各構
成成分の大きさや形状、および位置関係を概略的に示し
てあり、断面を表すハッチング等は一部分を除き省略し
てある。また、各図において、同一の構成成分には同一
の符号を付して示してある。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Each figure schematically shows the size, shape, and positional relationship of each component so that the invention can be understood, and hatching and the like showing the cross section are omitted except for a part. Further, in each drawing, the same components are denoted by the same reference numerals.
【００１５】図１は、この発明の第一、第二、および第
三実施例に係るガス放電表示パネル１０の概略的な斜視
図であり、一部を切り欠いて示してある。このようなパ
ネルは、図１に示すように一般的に第１電極１３が設け
られた第１基板１１と、第２電極１７が設けられた第２
基板１５とを対向させて配置し、これら第１および第２
基板間に誤放電を防止するための隔壁１９が設けられて
構成されている。２０は第１基板および第２基板１１お
よび１５の空隙である。また、この図では示していない
が、実際には第１基板１１にガスを流通させるガス流路
２１が設けられており、このガス流路２１を覆うように
パネル１０の外側にチップ管２３が設けられている。図
２は第一、第二、第三実施例に係るガス放電表示パネル
１０の概略的な断面図であり、図１と同様、パネルが組
み立てられたときの、基本的なパネルの形状を示す。特
に、図１に示すパネル１０の断面のうち、ガス流路２１
およびこれを覆うチップ管２３が設けられている辺り、
すなわち、ガス充填構造を含む断面を示し、図１に示さ
れていないが、発明に係る重要な部分を補ったものであ
る。図２に示されるように第１基板１１にはガス流路２
１およびチップ管２３が設けられている。ここで、各図
面においてチップ管２３、またはその他のチップ管の形
状は、すべてチップオフした後の形状を示してあるが、
実際に組み立てられた時点では、管の部分が細長くなっ
ている。また、第１基板１１および第２基板１５はシー
ル材２２によって封止され、貼り合わせてある。以上が
基本的な組立後のパネル１０の形状である。このように
組み立てられた構造のパネルを、実施例ではすべてパネ
ル１０と称した。詳細には、各実施例でガス充填構造の
部分において相違している。なお、これらの発明はすべ
て同一の実施例において共通に説明を行うものとする。
また、図４で示されるガス放電表示パネルの製造方法の
フロー工程図も、各実施例で共通に用いるものとする。FIG. 1 is a schematic perspective view of a gas discharge display panel 10 according to the first, second and third embodiments of the present invention, with a part cut away. Such a panel generally comprises a first substrate 11 provided with a first electrode 13 and a second substrate 11 provided with a second electrode 17, as shown in FIG.
The first and second substrates 15 are arranged so as to face each other.
Partition walls 19 for preventing erroneous discharge are provided between the substrates. Reference numeral 20 is a gap between the first substrate and the second substrates 11 and 15. Further, although not shown in this figure, a gas channel 21 for actually circulating a gas is provided in the first substrate 11, and a chip tube 23 is provided outside the panel 10 so as to cover the gas channel 21. It is provided. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the gas discharge display panel 10 according to the first, second and third embodiments, and shows the basic shape of the panel when the panel is assembled like FIG. . Particularly, in the cross section of the panel 10 shown in FIG.
And around the chip tube 23 that covers the same,
That is, a cross section including a gas filling structure is shown and is not shown in FIG. 1 but supplements an important part according to the invention. As shown in FIG. 2, the gas flow path 2 is formed in the first substrate 11.
1 and a tip tube 23 are provided. Here, in each drawing, the shape of the tip tube 23 or other tip tubes is the shape after chip-off,
At the time of actual assembly, the tube section is elongated. In addition, the first substrate 11 and the second substrate 15 are sealed with a sealing material 22 and bonded together. The above is the basic shape of the panel 10 after assembly. The panel thus constructed is referred to as panel 10 in the examples. In detail, the gas filling structure is different in each embodiment. It should be noted that all of these inventions will be commonly described in the same embodiment.
Further, the flow process diagram of the method for manufacturing the gas discharge display panel shown in FIG. 4 is also used in common in each embodiment.
【００１６】＜第一実施例＞図３の（Ａ）、（Ｂ）はこ
の発明の第一実施例のガス充填方法およびガス充填構造
の説明に供する概略的な断面図であり、図２に示される
パネル１０のうちののガス流路２１およびこれを覆うチ
ップ管２３が設けられた辺りの断面を拡大して示した図
である。特に図３の（Ａ）でこの発明のガス充填構造を
示し、図３の（Ｂ）で付加ガスを充填するときのこの構
造の状態を示す。<First Embodiment> FIGS. 3A and 3B are schematic sectional views for explaining the gas filling method and the gas filling structure of the first embodiment of the present invention, and FIG. It is the figure which expanded and showed the cross section of the vicinity of the gas flow path 21 of the panel 10 shown, and the chip tube 23 which covers this. Particularly, FIG. 3A shows the gas filling structure of the present invention, and FIG. 3B shows the state of this structure when the additional gas is filled.
【００１７】この発明のガス充填方法によれば、ガス放
電表示パネルにエージング用ガスを充填した後に、表示
放電用の最終ガスを充填するガス充填方法において、表
示放電に必要な組成および圧力を有するガスとするため
必要な付加ガスを気密封止した容器をガス放電表示パネ
ルの外側に設けておき、ガス放電表示パネルをエージン
グした後に、容器を開封して付加ガスをパネル内に充填
して最終ガスを得る。このため、この実施例では、以下
に示すこの発明のガス充填構造を適用した。ここで、先
にこの発明のガス充填構造の説明をしてから、この発明
のガス充填方法の説明をする。According to the gas filling method of the present invention, the gas discharge display panel is filled with the aging gas, and then the final gas for the display discharge is filled with the composition and pressure required for the display discharge. A container in which the additional gas required to be used as a gas is hermetically sealed is provided outside the gas discharge display panel, and after the gas discharge display panel has been aged, the container is opened and the additional gas is filled into the panel to finish. Get the gas. Therefore, in this example, the gas filling structure of the present invention shown below was applied. Here, the gas filling structure of the present invention will be described first, and then the gas filling method of the present invention will be described.
【００１８】この発明のガス充填構造によれば、ガス放
電表示パネルの基板に設けられていて表示放電用の最終
ガスを形成するための付加ガスを流すガス流路と、基板
に気密封止されていて付加ガスを収容している容器と、
容器内に収容された付加ガスがガス流路に流れるのを防
止している障壁とを具えている。この実施例では、図３
の（Ａ）に示す構造体のように、パネル１０の第１基板
１１に、この基板１１の内外を連通させるためのガス流
路２１が設けられており、このガス流路２１を覆うよう
に第１基板１１の外側にチップ管２３ａが気密封着され
て設けられている。チップ管２３ａは、付加ガスを収容
する容器としての役割を果たすため、このチップ管２３
ａを第１容器２３ａと称する。既に述べてあるように、
容器は、付加ガスを直接気密封止して収容してもよい
し、別の入れ物に気密封止してある付加ガスを収容する
ような形にしてもよい。この実施例では、ガスカプセル
２５ａに気密封止した付加ガスを第１容器２３ａに収容
するような構造にした（図３の（Ａ））。このガスカプ
セル２５ａは、付加ガスがガス流路２１を流れないため
の障壁としての役割を果たす。したがって、この実施例
では、付加ガスを収容している第１容器２３ａは、ガス
カプセル２５ａによって、封をされているということが
できる。以下、ガスカプセル２５ａを第１障壁２５ａと
も称する。障壁の材料としては様々なものが考えられる
が、後に何らかの方法で障壁を取り除くのが可能なもの
とするのが良い。第１障壁２５ａはガラス製である。ま
た付加ガスは、表示放電に適切な組成および圧力を有す
る最終ガスを得るために必要なものであり、パネルのエ
ージング処理に使われるエージング用ガスの体積、組成
および圧力に応じて、この付加ガスの体積および圧力を
決める。これについてはこの後詳しく述べる。According to the gas filling structure of the present invention, the gas flow path is provided on the substrate of the gas discharge display panel and the additional gas for forming the final gas for the display discharge is flowed, and the substrate is hermetically sealed. And a container containing additional gas,
And a barrier preventing additional gas contained in the container from flowing into the gas flow path. In this example, FIG.
As in the structure shown in (A) above, the first substrate 11 of the panel 10 is provided with a gas flow channel 21 for communicating the inside and outside of the substrate 11, and the gas flow channel 21 is covered. A chip tube 23a is provided on the outer side of the first substrate 11 in a hermetically sealed manner. Since the tip tube 23a serves as a container for containing the additional gas, the tip tube 23a
a is referred to as a first container 23a. As already mentioned,
The container may be directly hermetically sealed to contain the additional gas, or may be shaped to contain the additional gas hermetically sealed in another container. In this embodiment, the additional gas hermetically sealed in the gas capsule 25a is contained in the first container 23a ((A) of FIG. 3). The gas capsule 25a serves as a barrier for preventing the additional gas from flowing through the gas passage 21. Therefore, in this embodiment, it can be said that the first container 23a containing the additional gas is sealed by the gas capsule 25a. Hereinafter, the gas capsule 25a is also referred to as the first barrier 25a. Although various materials can be considered as the material of the barrier, it is preferable that the barrier can be removed by some method later. The first barrier 25a is made of glass. Further, the additional gas is necessary to obtain a final gas having a composition and pressure suitable for display discharge, and depending on the volume, composition and pressure of the aging gas used for the aging treatment of the panel, this additional gas is added. Determine the volume and pressure of. This will be described in detail later.
【００１９】以上のようなガス充填構造を有するパネル
１０を用いて既に述べたこの発明のガス充填方法につい
て説明をする。まず、エージング用ガスを、第１容器２
３ａを介してパネルの空隙に充填する。このとき付加ガ
スはガスカプセル２５ａに気密封止された状態で第１容
器２３ａに収容されているため、エージングガスと混合
することはない。このとき、エージング用ガスとしてＨ
ｅ−Ｘｅ（１０％：体積％）、即ちＨｅが９０％、Ｘｅ
が１０％の組成のガスをエージングに適した２００Ｔｏ
ｒｒのガス圧で封入するとする。このとき、エージング
用ガスの体積をＶ1 とし、付加ガスの体積をＶ2 とす
る。仮にＶ1 ：Ｖ2 ＝３：２とし、最終的に得たい表示
放電用のガス圧が表示放電に適したガス圧、例えば、４
００Ｔｏｒｒのガス圧のＨｅ−Ｘｅ（１０％）であれ
ば、最終ガスの体積はＶ1 ＋Ｖ2 であるから、付加ガス
の圧力Ｐは次のような式で決定できる。The gas filling method of the present invention described above using the panel 10 having the above-described gas filling structure will be described. First, the aging gas is supplied to the first container 2
Fill the voids of the panel through 3a. At this time, since the additional gas is housed in the first container 23a while being hermetically sealed in the gas capsule 25a, it does not mix with the aging gas. At this time, H as the aging gas
e-Xe (10%: volume%), that is, He is 90%, Xe
200To suitable for aging gas with 10% composition
Suppose that the gas pressure is rr. At this time, the volume of the aging gas is V 1 and the volume of the additional gas is V 2 . Suppose V 1 : V 2 = 3: 2, and the gas pressure for display discharge to be finally obtained is a gas pressure suitable for display discharge, for example, 4
If the gas pressure is He-Xe (10%) of 00 Torr, the volume of the final gas is V 1 + V 2 , so the pressure P of the additional gas can be determined by the following equation.
【００２０】 ２００Ｖ1 ＝ｎ1 ｋＴ ……………… ＰＶ2 ＝ｎ2 ｋＴ ……………… ４００（Ｖ1 ＋Ｖ2 ）＝（ｎ1 ＋ｎ2 ）ｋＴ … このとき、ｎ1 およびｎ2 はモル数、ｋは比例定数、Ｔ
は絶対温度である。200V 1 = n 1 kT ··· PV 2 = n 2 kT ··· 400 (V 1 + V 2 ) = (n 1 + n 2 ) kT ··· At this time, n 1 and n 2 is the number of moles, k is the proportional constant, T
Is the absolute temperature.
【００２１】、、より、 Ｐ＝２００（Ｖ1 ＋２Ｖ2 ）／Ｖ2 であり、Ｖ1 ：Ｖ2 ＝３：２であるから、Ｐ＝７００で
ある。よって、この場合付加ガスはＨｅ−Ｘｅ（１０
％）を７００Ｔｏｒｒのガス圧で、第１障壁２５ａに封
止して第１容器２３ａに収容しておけば、最終的に得た
いガス圧の最終ガスを得ることができる。From the above, P = 200 (V 1 + 2V 2 ) / V 2 and V 1 : V 2 = 3: 2, so P = 700. Therefore, in this case, the additional gas is He-Xe (10
%) At a gas pressure of 700 Torr and sealed in the first barrier 25a and housed in the first container 23a, the final gas having the desired gas pressure can be finally obtained.
【００２２】次に、この発明のガス充填方法によれば、
パネルをエージングした後に、容器を開封する。エージ
ング処理については後のガス放電表示パネルの製造方法
の説明で述べる。付加ガスを収容している第１容器２３
ａは、第１障壁であるガスカプセル２５ａにより封をさ
れているので、付加ガスをガス流路２１に流れるように
するために、好適な方法で開封をする。この実施例で
は、パネルを振動させて第１障壁であるガスカプセル２
５ａを破壊することにより、付加ガスをガス流路２１を
介してパネル１０の内側の空隙２０に流して充填させ、
最終ガスを得る。図３の（Ｂ）にガスカプセル２５ａを
破壊し、付加ガスを空隙２０に充填する様子を示した。
図中の矢印は、付加ガスがガス流路２１に流れ込んで基
板間の空隙２０に流れ込む様子を模式的に表したもので
ある。こうして、表示放電に適した４００Ｔｏｒｒのガ
ス圧である最終ガスＨｅ−Ｘｅ（１０％）を得る。Next, according to the gas filling method of the present invention,
After aging the panel, open the container. The aging treatment will be described later in the description of the method for manufacturing the gas discharge display panel. First container 23 containing additional gas
Since a is sealed by the gas capsule 25a which is the first barrier, it is opened by a suitable method in order to allow the additional gas to flow into the gas passage 21. In this embodiment, the panel is vibrated so that the first barrier gas capsule 2
By destroying 5a, the additional gas is caused to flow and fill the void 20 inside the panel 10 through the gas flow path 21,
Get the final gas. FIG. 3B shows a state in which the gas capsule 25a is broken and the additional gas is filled in the void 20.
The arrows in the figure schematically show how the additional gas flows into the gas flow path 21 and into the gap 20 between the substrates. Thus, the final gas He-Xe (10%) having a gas pressure of 400 Torr suitable for display discharge is obtained.
【００２３】次に、以上述べたガス充填方法を適用し
て、この発明のガス放電表示パネルの製造方法を説明す
る。Next, a method for manufacturing the gas discharge display panel of the present invention will be described by applying the above-described gas filling method.
【００２４】図４は、この発明のガス放電表示パネルの
製造方法の基本的なフロー工程図であり、実施例の工程
をＳ１〜Ｓ８で示している。また、図５の（Ａ）および
（Ｂ）はパネル１０を各工程で用いる装置と接続したと
きの状態を示す。この発明は、基本的には、以下のよう
にしてパネルを製造する方法に対して適用されるもので
ある。即ち、第１基板上に複数列の第１電極を形成し、
かつ第２基板上に複数行の第２電極を形成して、第１お
よび第２電極を対向させて配置すると共に第１および第
２基板間の空隙に、これら二つの基板のうち一方の基板
に設けられたガス流路を介してエージング用ガスを充填
した後、第１および第２電極間に電圧を印加してエージ
ング処理を施してガス放電表示パネルの製造をする方法
である。FIG. 4 is a basic flow step diagram of the method for manufacturing a gas discharge display panel according to the present invention, and steps of the embodiment are shown by S1 to S8. 5A and 5B show a state in which the panel 10 is connected to the device used in each step. The present invention is basically applied to a method of manufacturing a panel as follows. That is, a plurality of rows of first electrodes are formed on the first substrate,
In addition, a plurality of rows of second electrodes are formed on the second substrate, the first and second electrodes are arranged to face each other, and one of the two substrates is provided in the space between the first and second substrates. Is a method of manufacturing a gas discharge display panel by filling an aging gas through a gas flow path provided in the first passage and then applying a voltage between the first and second electrodes to perform an aging treatment.
【００２５】この発明のガス放電表示パネルの製造方法
によれば、まず、第１および第２基板間の空隙にエージ
ング用ガスを充填する。また、エージング用ガスの充填
の前後に、一方の基板に設けられたガス流路を介してガ
ス流路と連通し得る位置に障壁によりガス流路を流れな
いように付加ガスを封入した容器を設置する。このた
め、この実施例では、まず、既に説明してあるこの発明
のガス充填構造を有するパネル１０を組み立てる（図４
のＳ１）。まず、第１基板１１上に設けられた第１電極
１３と、第２基板１５上に設けられた第２電極１７とを
直交させて、対向させる。このとき、第１電極１３と第
２電極１７とが直交している一つ一つの放電部を区分け
する隔壁１９も基板１１および１５間の空隙２０に形成
されている。こうして、図２に概形を示されるようなパ
ネル１０が完成する。また、パネル１０は基板１１およ
び１５間の空隙２０にガスを充填させる構造を具えてい
るが、これは既に説明した図３の（Ａ）に示す構造であ
る。ここでも簡単に説明すると、第１基板１１にガス流
路２１が設けられており、ガス流路２１を覆うようにパ
ネル外すなわち第１基板１１の外側に突出した第１容器
（チップ管）２３ａが設置されている。この容器２３ａ
は基板１１に気密封着させてある。このとき、第１容器
２３ａ内には、第１障壁（この実施例ではガスカプセ
ル）２５に気密封止された付加ガスが入っている。以上
のように組み立てられたパネル１０を、排気台２７に据
えつける（図４のＳ２）。ここでいう、排気台とは、パ
ネルにガス充填または排気処理を行うときに、パネルを
固定する台のことであるが、排気装置およびガス充填装
置をも含めて指す場合もある。このとき、図５の（Ａ）
に示されるように、パネル１０は加熱炉２９で覆われた
状態で排気台２７に据えつけられる。排気台２７には、
パネル１０の外部に取りつけられた第１容器２３ａを通
す孔３１が設けられており、ここから覗いた容器２３の
先端部分をガス充填装置３３および排気装置３５をつな
ぐ連絡路３７に接続している。このガス充填装置３３お
よび排気装置３５と、容器２３との付近に取り付けられ
た開閉バルブ３９（３９ａ、３９ｂ、３９ｃ）を開閉さ
せることによって、パネル１０のガスの充填や排気を行
う。なお、３９ａは排気装置３５用の開閉バルブ、３９
ｂはガス充填装置３３用の開閉バルブ、３９ｃはパネル
１０用の開閉バルブである。次に、開閉バルブ３９ａお
よび３９ｃを開閉してパネル１０の排気処理を行い、そ
の後、ベーキング処理を施す（図４のＳ３）。次に、ガ
ス充填装置３３用の開閉バルブ３９ｂとパネル１０用の
開閉バルブ３９ｃとを開閉して第１および第２基板１１
および１５間の空隙（放電空間内）に、エージング用の
ガスとして前述のＨｅ−Ｘｅ（１０％）を、エージング
処理に適した２００Ｔｏｒｒのガス圧で充填する（図２
のＳ４）。According to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, first, the aging gas is filled in the gap between the first and second substrates. In addition, before and after filling with the aging gas, a container in which an additional gas is sealed so as not to flow through the gas flow path by a barrier is provided at a position where it can communicate with the gas flow path through the gas flow path provided on one of the substrates. Install. Therefore, in this embodiment, first, the panel 10 having the gas filling structure of the present invention which has already been described is assembled (FIG. 4).
S1). First, the first electrode 13 provided on the first substrate 11 and the second electrode 17 provided on the second substrate 15 are orthogonal to each other and face each other. At this time, a partition wall 19 for partitioning each of the discharge parts in which the first electrode 13 and the second electrode 17 are orthogonal to each other is also formed in the space 20 between the substrates 11 and 15. In this way, the panel 10 whose outline is shown in FIG. 2 is completed. Further, the panel 10 has a structure for filling the gap 20 between the substrates 11 and 15 with gas, which is the structure shown in FIG. To briefly explain here, the gas flow path 21 is provided in the first substrate 11, and the first container (chip tube) 23a protruding to the outside of the panel, that is, the outside of the first substrate 11 so as to cover the gas flow path 21. Is installed. This container 23a
Is hermetically sealed to the substrate 11. At this time, the additional gas hermetically sealed in the first barrier (gas capsule in this embodiment) 25 is contained in the first container 23a. The panel 10 assembled as described above is installed on the exhaust base 27 (S2 in FIG. 4). The exhaust stand here is a stand that fixes the panel when the panel is filled with gas or exhausted, but it may also include an exhaust device and a gas filling device. At this time, (A) of FIG.
As shown in FIG. 3, the panel 10 is installed on the exhaust base 27 while being covered with the heating furnace 29. In the exhaust stand 27,
A hole 31 for inserting the first container 23a attached to the outside of the panel 10 is provided, and the tip end portion of the container 23 seen from this is connected to a communication path 37 connecting the gas filling device 33 and the exhaust device 35. . The opening and closing valves 39 (39a, 39b, 39c) mounted near the gas filling device 33 and the exhaust device 35 and the container 23 are opened and closed to fill and exhaust the gas in the panel 10. Note that 39a is an opening / closing valve for the exhaust device 35,
Reference numeral b is an opening / closing valve for the gas filling device 33, and 39c is an opening / closing valve for the panel 10. Next, the opening / closing valves 39a and 39c are opened / closed to exhaust the panel 10, and then a baking process is performed (S3 in FIG. 4). Next, the opening / closing valve 39b for the gas filling device 33 and the opening / closing valve 39c for the panel 10 are opened / closed to open the first and second substrates 11.
He-Xe (10%) described above as a gas for aging is filled in the gap (in the discharge space) between 15 and 15 at a gas pressure of 200 Torr suitable for the aging treatment (FIG. 2).
S4).
【００２６】次に、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、以上の処理を施したパネル１０にエー
ジング処理を施す。このため、この実施例では、第１障
壁としてのガスカプセル２５ａ入りのチップ管２３ａの
先端部を加熱して、チップオフし、封止する（図４のＳ
５）。そして、パネル１０を排気台２７から取りはずす
（図４のＳ６）。その後、図５の（Ｂ）に示されるよう
に、パネル１０をエージング装置４１に、接続ケーブル
４３を介して接続し、エージング処理を行う（図４のＳ
７）。エージング処理は、例えば、第１および第２電極
１３および１７間に２６０Ｖの電圧を印加して、所定の
時間、例えば、２時間程度パネル１０を点灯させること
により、電極表面に付着していた不純物等を除去して電
極表面を活性化させる処理である。Next, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, the panel 10 which has been subjected to the above-mentioned treatment is subjected to an aging treatment. Therefore, in this embodiment, the tip portion of the tip tube 23a containing the gas capsule 25a as the first barrier is heated to chip off and seal (S in FIG. 4).
5). Then, the panel 10 is removed from the exhaust base 27 (S6 in FIG. 4). Thereafter, as shown in FIG. 5B, the panel 10 is connected to the aging device 41 via the connection cable 43, and the aging process is performed (S in FIG. 4).
7). In the aging treatment, for example, a voltage of 260 V is applied between the first and second electrodes 13 and 17, and the panel 10 is lit for a predetermined time, for example, for about 2 hours, so that impurities attached to the surface of the electrode are removed. This is a process for activating the electrode surface by removing the above.
【００２７】次に、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、エージング処理後、障壁を除去して、
ガス流路と容器とを連通させることにより、付加ガスを
空隙に充填させてエージング用ガスと混合させた混合ガ
スを、表示放電用の最終ガスとして得る。このため、こ
の実施例では、エージング処理後のパネル１０を例えば
振動させて、第１障壁であるガスカプセル２５ａを破壊
し、付加ガスを第１容器２３ａ内に流出させることによ
り、さらにこの付加ガスがガス流路２１を流れてパネル
の空隙内に充填するようにし、エージング用ガスと混合
させる。こうして得た混合ガスを表示放電用の最終ガス
とし、ガス放電表示パネル１０を表示放電用のパネルと
して完成させる（図４のＳ８）。Next, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, the barrier is removed after the aging treatment,
By communicating the gas flow path with the container, a mixed gas in which the additional gas is filled in the gap and mixed with the aging gas is obtained as the final gas for display discharge. Therefore, in this embodiment, the panel 10 after the aging treatment is vibrated, for example, to destroy the gas capsule 25a which is the first barrier, and the additional gas is caused to flow into the first container 23a. Flow through the gas flow path 21 to fill the voids of the panel and mix with the aging gas. The gas mixture thus obtained is used as the final gas for display discharge, and the gas discharge display panel 10 is completed as a panel for display discharge (S8 in FIG. 4).
【００２８】このガス放電表示パネルを製造するとき、
エージング用ガスをエージング処理に応じた組成および
圧力で空隙に充填し、さらに付加ガスを、エージング用
ガスの体積、組成およびガス圧に応じて変化させた体
積、組成およびガス圧で、充填するのが良いため、この
実施例では既述のように、まず、エージング用ガスとし
てＨｅ−Ｘｅ（１０％）を２００Ｔｏｒｒで充填し、エ
ージング用ガスの体積を３としたとき付加ガスの体積が
２となるようにして付加ガス（Ｈｅ−Ｘｅ（１０％））
を７００Ｔｏｒｒのガス圧で第１障壁であるガスカプセ
ル２５ａに充填した。そうすればこれらのガスを混合さ
せると表示放電に適した４００Ｔｏｒｒのガス圧の最終
ガス（Ｈｅ−Ｘｅ（１０％））を得ることができる。When manufacturing this gas discharge display panel,
The aging gas is filled into the voids with a composition and pressure according to the aging treatment, and the additional gas is filled with the volume of the aging gas, and the volume, composition and gas pressure changed according to the composition and gas pressure. Therefore, in this example, as described above, first, He-Xe (10%) was charged as the aging gas at 200 Torr, and when the volume of the aging gas was set to 3, the volume of the additional gas was set to 2. So that additional gas (He-Xe (10%))
Was filled into the gas capsule 25a serving as the first barrier at a gas pressure of 700 Torr. Then, when these gases are mixed, a final gas (He-Xe (10%)) having a gas pressure of 400 Torr suitable for display discharge can be obtained.
【００２９】図６は、発明の効果を説明するための比較
図である。エージング用ガスと表示放電用の最終ガスを
パネル内に入れ換える充填方法では、この図６に示すよ
うに、エージング処理のときには図５の（Ａ）および
（Ｂ）を組み合わせた、大型の装置になってしまう。こ
こで、図中のパネルはパネル１００とする。また、エー
ジング装置４１を熱から守るため、加熱炉２９を取りは
ずしてから接続ケーブル４３を介してパネルと接続させ
なければならない。加熱炉２９の、パネル１００を覆っ
た時の状態を破線で示した。さらに、ガスを入れ換えて
充填するので、エージング後にどうしても一旦パネル内
に外気を侵入させる機会を作ってしまうことになった。FIG. 6 is a comparative diagram for explaining the effect of the invention. In the filling method in which the aging gas and the final gas for display discharge are exchanged in the panel, as shown in FIG. 6, a large-sized device is obtained by combining (A) and (B) of FIG. 5 during the aging process. Will end up. Here, the panel in the drawing is a panel 100. In order to protect the aging device 41 from heat, the heating furnace 29 must be removed and then connected to the panel via the connection cable 43. The broken line shows the state of the heating furnace 29 when the panel 100 is covered. Furthermore, since the gas is replaced and filled, it is inevitable that the outside air will once enter the panel after aging.
【００３０】以上の説明により、この発明のガス充填構
造、ガス充填方法およびこれらを応用したガス放電表示
パネルの製造方法によれば、エージング処理後に排気台
２７を用いる作業を不要とできるため、その後の作業を
操作性よく行うことが可能である。特に、熱に弱いエー
ジング装置は、パネルに接続するだけでエージング処理
を行うことが可能であり、加熱炉２９の取りはずしなど
も不要であるため、作業効率も向上する。また、付加ガ
スを、エージング用ガスの体積、組成およびガス圧に応
じて変化させた体積、組成およびガス圧で充填すること
により、エージング処理や表示放電のそれぞれに適した
組成および圧力のガスを充填できる。また、容器に気密
封止した付加ガスを排気台２７を用いずに障壁を取り除
くことでエージング用ガスと混合させて最終ガスを得る
ので、外気がパネル内に侵入する機会が一度もなく、よ
りよい放電特性を示すパネルとすることができる。As described above, according to the gas filling structure, the gas filling method, and the method for manufacturing a gas discharge display panel to which the present invention is applied, the work of using the exhaust base 27 after the aging treatment can be eliminated, and thereafter, Can be performed with good operability. In particular, an aging device that is weak against heat can perform the aging treatment only by connecting it to the panel, and it is not necessary to remove the heating furnace 29, so that the work efficiency is improved. In addition, by filling the additional gas with a volume, composition and gas pressure changed according to the volume, composition and gas pressure of the aging gas, a gas having a composition and pressure suitable for each of the aging treatment and the display discharge can be obtained. Can be filled. Further, since the additional gas hermetically sealed in the container is mixed with the aging gas by removing the barrier without using the exhaust base 27 to obtain the final gas, there is no chance that the outside air enters the panel, The panel can exhibit good discharge characteristics.
【００３１】＜第二実施例＞図７の（Ａ）および（Ｂ）
はこの発明のガス充填方法、ガス充填構造およびガス放
電表示パネルの製造方法の第二実施例に係る説明図であ
り、図３の（Ａ）および（Ｂ）に倣って示したものであ
る。即ち、ガス放電表示パネル１０のうちガス充填構造
が設けられた辺りの断面図である。なお、この第二実施
例についての説明は第一実施例と相違する点のみを詳し
く述べ、その他については簡潔にあるいは省略して記載
する。<Second Embodiment> (A) and (B) of FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram according to a second embodiment of the gas filling method, the gas filling structure, and the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, and is shown in accordance with FIGS. 3 (A) and 3 (B). That is, it is a cross-sectional view of a portion of the gas discharge display panel 10 where the gas filling structure is provided. In the description of the second embodiment, only the points different from the first embodiment will be described in detail, and the others will be described briefly or omitted.
【００３２】まず、第二実施例のガス充填構造について
説明する。第一実施例で説明してあるように、この発明
のガス充填構造によれば、ガス放電表示パネルの基板に
設けられていて表示放電用の最終ガスを形成するための
付加ガスを流すガス流路と、基板に気密封止されていて
付加ガスを収容している容器と、容器内に収容された付
加ガスがガス流路に流れるのを防止している障壁とを具
えている。この実施例では図７の（Ａ）に示すように、
第１基板１１にガス流路２１が二つ（２１ａ、２１ｂ）
設けられており、第１ガス流路２１ａの口を覆うように
パネルの外部すなわち基板１１の外側に、チップ管２４
が気密封着されて設けられている。このチップ管２４は
エージング用ガスを充填するためのものである。また、
第２ガス流路２１ｂの口を覆うように第２容器２３ｂと
してチップ管が気密封着されて設けられている。また、
第２容器２３ｂ内に、第２ガス流路２１ｂの出入り口の
周囲に固着されて、しかもこの出入り口と空間的に連通
するように第２障壁２５ｂとして、中空で試験管状のス
トッパー管が設けられている。この第２障壁（ストッパ
ー管）２５ｂにより、第２容器２３ｂに付加ガスを充填
したときにこの付加ガスが第２ガス流路２１ｂに流れる
ことがない。このストッパー管２５ｂには金属線２６が
巻きつけられている。金属線２６には、様々なものを用
いるのが可能であるが、例えば鉄やクロム等を使用する
とよい。図７の（Ａ）に示すこのようなガス充填構造を
具えたパネルに、この発明のガス充填方法を適用する
と、以下のようになる。First, the gas filling structure of the second embodiment will be described. As described in the first embodiment, according to the gas filling structure of the present invention, the gas flow provided in the substrate of the gas discharge display panel and flowing the additional gas for forming the final gas for the display discharge. A channel, a container hermetically sealed to the substrate for containing the additional gas, and a barrier for preventing the additional gas contained in the container from flowing into the gas flow path. In this embodiment, as shown in FIG.
Two gas flow paths 21 in the first substrate 11 (21a, 21b)
The chip tube 24 is provided outside the panel, that is, outside the substrate 11 so as to cover the opening of the first gas flow path 21a.
Are hermetically sealed. The tip tube 24 is used to fill the aging gas. Also,
A chip tube is provided in a hermetically sealed manner as a second container 23b so as to cover the mouth of the second gas flow path 21b. Also,
In the second container 23b, a hollow test tube stopper tube is provided as a second barrier 25b that is fixed around the inlet / outlet port of the second gas flow path 21b and is spatially connected to the inlet / outlet port. There is. The second barrier (stopper tube) 25b prevents the additional gas from flowing into the second gas flow passage 21b when the second container 23b is filled with the additional gas. A metal wire 26 is wound around the stopper tube 25b. Although various kinds of metal wires 26 can be used, it is preferable to use, for example, iron or chrome. When the gas filling method of the present invention is applied to the panel having such a gas filling structure shown in FIG. 7 (A), it is as follows.
【００３３】この発明のガス充填方法によれば、表示放
電に適切な組成および圧力を有するガスとするため必要
な付加ガスを気密封止した容器をガス放電表示パネルの
外側に設けておき、このガス放電表示パネルをエージン
グした後に上述した容器を開封して付加ガスをガス放電
表示パネル内に充填して最終ガスを得る。第二実施例で
はチップ管２４を介して第１ガス流路２１ａからパネル
の空隙に、エージング用ガスとしてＨｅ−Ｘｅ（１０
％）を、エージング処理に適した２００Ｔｏｒｒのガス
圧で充填する。また、このとき充填したエージング用ガ
スの体積を３とすると、これに対して２の割合になるよ
うな体積で、後に表示放電に適した組成および圧力を有
する最終ガスを得るために付加ガスとしてＨｅ−Ｘｅ
（１０％）を、７００Ｔｏｒｒのガス圧で第２容器２３
ｂに充填しておく。そして、エージングを行った後、金
属線２６に対して高周波加熱を行い、ストッパー管を破
壊することにより第２障壁２５ｂを除去し、実質的に第
２容器２３ｂは開封されて付加ガスをパネル内に充填
し、表示放電に適した４００Ｔｏｒｒのガス圧の最終ガ
ス（Ｈｅ−Ｘｅ（１０％））を得ることができる。既に
述べてあるように、第２障壁２５ｂは中空であったた
め、付加ガスはこの破壊された第２障壁２５ｂの中を通
ってガス流路２１ｂに流れ、パネル１０の基板１１およ
び１５間の空隙２０内に充填される。図７の（Ｂ）に、
ストッパー管２５ａが破壊されて、付加ガスがガス流路
２５ｂを流れる様子を示した。矢印は付加ガスの流れを
模式的に表したものである。According to the gas filling method of the present invention, a container hermetically sealed with an additional gas necessary for obtaining a gas having a composition and pressure suitable for display discharge is provided outside the gas discharge display panel. After aging the gas discharge display panel, the above-mentioned container is opened and an additional gas is filled in the gas discharge display panel to obtain a final gas. In the second embodiment, He-Xe (10) is used as an aging gas from the first gas flow path 21a to the gap of the panel through the tip tube 24.
%) At a gas pressure of 200 Torr suitable for the aging treatment. In addition, when the volume of the aging gas filled at this time is 3, the volume is such that the ratio becomes 2, and as a supplementary gas to obtain a final gas having a composition and pressure suitable for display discharge later. He-Xe
(10%) at a gas pressure of 700 Torr in the second container 23.
Fill in b. Then, after aging, the metal wire 26 is subjected to high-frequency heating to break the stopper tube to remove the second barrier 25b, and the second container 23b is substantially opened to allow additional gas to be discharged into the panel. The final gas (He-Xe (10%)) having a gas pressure of 400 Torr suitable for display discharge can be obtained. As already mentioned, since the second barrier 25b was hollow, the additional gas flows through the destroyed second barrier 25b to the gas flow path 21b, and the space between the substrates 11 and 15 of the panel 10 is increased. Filled in 20. In FIG. 7B,
It is shown that the stopper pipe 25a is broken and the additional gas flows through the gas flow path 25b. Arrows schematically show the flow of the additional gas.
【００３４】また、以上のガス充填方法およびガス充填
構造をこの発明のガス放電表示パネルの製造方法に適用
すると、以下のようになる。When the above gas filling method and gas filling structure are applied to the method for manufacturing a gas discharge display panel of the present invention, the following is obtained.
【００３５】既に説明してあるようにこの発明のガス放
電表示パネルの製造方法によれば、まず、第１および第
２基板間の空隙にエージング用ガスを充填する。また、
エージング用ガスの充填の前後に、一方の基板に設けら
れたガス流路を介してガス流路と連通し得る位置に障壁
によりガス流路を流れないように付加ガスを封入した容
器を設置する。第二実施例では、まず、上述したような
ガス充填構造を具えたパネルの組立を完了させる（図４
のＳ１）。その後、このパネルを図５の（Ａ）で示され
るような排気台に取り付ける（図４のＳ２）。基本的
に、パネルが排気台に設置された時の状態は、図５の
（Ａ）に示した状態と同様であるが、このパネルは二つ
のチップ管（チップ管２４および第２容器２３ａ）を有
するため、図示しないが、排気台にはチップ管を通す孔
３１が二つ具えられており、排気台にパネル１０を据え
つけたとき、ここから二つのチップ管が覗くような形に
なる。次に、排気およびベーキング処理を行い（図４の
Ｓ３）、エージング用ガスをチップ管２４を介してパネ
ルの空隙２０に充填する。エージングガス充填のとき、
第二実施例では、同時に付加ガスを充填し、容器に付加
ガスを直接収容するような形にしておく（図４のＳ
４）。As described above, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, the aging gas is first filled in the gap between the first and second substrates. Also,
Before and after filling with the aging gas, a container enclosing the additional gas is installed at a position where it can communicate with the gas passage through the gas passage provided on one of the substrates so as not to flow through the gas passage due to the barrier. . In the second embodiment, first, the assembly of the panel having the gas filling structure as described above is completed (see FIG. 4).
S1). Then, this panel is attached to the exhaust base as shown in FIG. 5A (S2 in FIG. 4). Basically, the state when the panel is installed on the exhaust base is similar to the state shown in FIG. 5A, but this panel has two tip tubes (tip tube 24 and second container 23a). Although not shown in the figure, the exhaust base is provided with two holes 31 through which the tip pipes pass, and when the panel 10 is installed on the exhaust base, the two tip pipes can be seen from here. . Next, evacuation and baking processing is performed (S3 in FIG. 4), and the aging gas is filled in the gap 20 of the panel through the tip tube 24. When filling with aging gas,
In the second embodiment, the additional gas is filled at the same time, and the additional gas is directly contained in the container (S in FIG. 4).
4).
【００３６】次に、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、以上の処理を施したパネル１０にエー
ジング処理を施す。第二実施例では、チップ管２４およ
び第２容器２３ｂをともにチップオフして（図４のＳ
５）、パネル１０を排気台２７から取りはずし（図４の
Ｓ６）、図５の（Ｂ）に示されるように、接続ケーブル
４３を介してパネル１０とエージング装置４１とを接続
し、パネル１０の第１および第２電極１３および１７間
に、例えば２６０Ｖの電圧を２時間印加し、エージング
処理を施す（図４のＳ７）。Next, according to the method of manufacturing a gas discharge display panel of the present invention, the panel 10 which has been subjected to the above-mentioned treatment is subjected to an aging treatment. In the second embodiment, the tip tube 24 and the second container 23b are both tipped off (S in FIG. 4).
5), the panel 10 is removed from the exhaust base 27 (S6 in FIG. 4), and the panel 10 and the aging device 41 are connected via the connection cable 43 as shown in FIG. A voltage of 260 V, for example, is applied between the first and second electrodes 13 and 17 for 2 hours to perform an aging treatment (S7 in FIG. 4).
【００３７】次に、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、エージング処理後、障壁を除去して、
ガス流路と容器とを連通させることにより、付加ガスを
空隙に充填させてエージング用ガスと混合させた混合ガ
スを、表示放電用の最終ガスとして得る。第二実施例で
は、既に説明してあるように、金属線２６に高周波加熱
処理をして第２障壁２５ｂを除去して、第２ガス流路２
１ｂと第２容器２３ｂとを連通させることにより、付加
ガスを空隙に充填させてエージング用ガスと混合させ、
表示放電に適した４００Ｔｏｒｒのガス圧の最終ガス
（Ｈｅ−Ｘｅ（１０％））を得る（図４のＳ８）。こう
して、パネル１０を表示放電用のパネルとして完成させ
る。Next, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, the barrier is removed after the aging treatment,
By communicating the gas flow path with the container, a mixed gas in which the additional gas is filled in the gap and mixed with the aging gas is obtained as the final gas for display discharge. In the second embodiment, as already described, the metal wire 26 is subjected to high frequency heat treatment to remove the second barrier 25b, and the second gas flow path 2 is removed.
By connecting 1b and the second container 23b, the additional gas is filled in the voids and mixed with the aging gas,
A final gas (He-Xe (10%)) having a gas pressure of 400 Torr suitable for display discharge is obtained (S8 in FIG. 4). In this way, the panel 10 is completed as a panel for display discharge.
【００３８】第二実施例でも、この発明のガス充填構
造、ガス充填方法およびこれらを応用したガス放電表示
パネルの製造方法によれば、エージング処理後に排気台
２７を用いる作業を不要とできるため、その後の作業を
操作性よく行うことが可能であることが理解できる。ま
た、エージング装置をパネルに接続するだけでエージン
グ処理を行うことが可能である。また、付加ガスを、エ
ージング用ガスの体積、組成および圧力に応じて変化さ
せた体積、組成および圧力で充填することにより、エー
ジング処理や表示放電のそれぞれに適した組成および圧
力のガスを充填することができる。さらに、容器に気密
封止した付加ガスを、障壁を取り除くことでエージング
用ガスと混合させて最終ガスを得るので、外気がパネル
内に侵入する機会が一度もなく、よりよい放電特性を示
すパネルとすることができる。Also in the second embodiment, according to the gas filling structure, the gas filling method and the gas discharge display panel manufacturing method to which these are applied, the work of using the exhaust base 27 after the aging treatment can be omitted, It can be understood that the subsequent work can be performed with good operability. Moreover, it is possible to perform the aging process only by connecting the aging device to the panel. Further, by filling the additional gas with a volume, composition and pressure which are changed according to the volume, composition and pressure of the aging gas, a gas having a composition and pressure suitable for aging treatment and display discharge is filled. be able to. Furthermore, since the additional gas hermetically sealed in the container is mixed with the aging gas by removing the barrier to obtain the final gas, there is no chance that the outside air will enter the panel, and the panel showing better discharge characteristics. Can be
【００３９】＜第三実施例＞図８の（Ａ）および（Ｂ）
はこの発明のガス充填方法、ガス充填構造およびガス放
電表示パネルの製造方法の第二実施例に係る説明図であ
り、図３の（Ａ）および（Ｂ）に倣って示したものであ
る。即ち、ガス放電表示パネル１０のガス充填構造が設
けられた辺りの断面図である。なお、この第三実施例に
ついての説明は第一実施例と相違する点のみを詳しく述
べ、その他については第二実施例と同様簡潔にあるいは
省略して記載する。<Third Embodiment> FIGS. 8A and 8B.
FIG. 4 is an explanatory diagram according to a second embodiment of the gas filling method, the gas filling structure, and the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, and is shown in accordance with FIGS. 3 (A) and 3 (B). That is, it is a cross-sectional view of a portion of the gas discharge display panel 10 where the gas filling structure is provided. It should be noted that the description of the third embodiment will be described in detail only on the points that are different from the first embodiment, and the other points will be simply or omitted like the second embodiment.
【００４０】まず、第三実施例のガス充填構造について
説明する。第一および第二実施例で説明してあるよう
に、この発明のガス充填構造によれば、ガス放電表示パ
ネルの基板に設けられていて表示放電用の最終ガスを形
成するための付加ガスを流すガス流路と、基板に気密封
止されていて付加ガスを収容している容器と、容器内に
収容された付加ガスがガス流路に流れるのを防止してい
る障壁とを具えている。この実施例では図８の（Ａ）に
示すように、第１基板１１にガス流路２１が設けられて
おり、ガス流路２１を覆うようにパネルの外部に、第３
容器としてチップ管２３ｃが設けられている。このチッ
プ管２３ｃは付加ガスを充填しておくためのものであ
る。また、第３容器２３ｃ内に、ガス流路２１の出入り
口の周りに固着されて、この出入り口と連通するように
して、第３障壁２５ｃとして、中空で試験管状のストッ
パー管が設けられている。このストッパー管２５ｃは、
第３容器２３ｃを突き破るような形で設けられており、
先端部は第３容器２３ｃの外部に突出している。また、
第３容器２３ｃのガス封入部である先端は、ストッパー
管２５ｃの先端部を避けるように斜めの位置に設けられ
ている。このストッパー管２５ｃは、付加ガスを第３容
器２３ｃに充填したときに、この付加ガスがガス流路２
１に流れないようにする第３障壁２５ｃであるととも
に、第３容器２３ｃから突出している先端部よりエージ
ング用ガスを充填させるためのものである。このストッ
パー管２５ｃには金属線２６が巻きつけられている。First, the gas filling structure of the third embodiment will be described. As described in the first and second embodiments, according to the gas filling structure of the present invention, the additional gas which is provided on the substrate of the gas discharge display panel and forms the final gas for the display discharge is used. The gas flow path, the container that is hermetically sealed to the substrate and contains the additional gas, and the barrier that prevents the additional gas contained in the container from flowing into the gas flow path are provided. . In this embodiment, as shown in FIG. 8A, a gas flow path 21 is provided in the first substrate 11, and the third flow path 21 is provided outside the panel so as to cover the gas flow path 21.
A chip tube 23c is provided as a container. The tip tube 23c is for filling the additional gas. In addition, a hollow test tube stopper tube is provided as a third barrier 25c in the third container 23c so as to be fixed around the inlet / outlet of the gas flow path 21 and communicate with the inlet / outlet. This stopper tube 25c
It is provided so as to break through the third container 23c,
The tip portion projects outside the third container 23c. Also,
The tip of the third container 23c, which is a gas filled portion, is provided at an oblique position so as to avoid the tip of the stopper tube 25c. The stopper pipe 25c allows the additional gas to flow when the additional gas is filled in the third container 23c.
The third barrier 25c prevents the gas from flowing into No. 1 and is used to fill the aging gas from the tip portion protruding from the third container 23c. A metal wire 26 is wound around the stopper tube 25c.
【００４１】図８の（Ａ）に示すこのようなガス充填構
造を具えたパネルに、この発明のガス充填方法を適用す
ると、以下のようになる。When the gas filling method of the present invention is applied to a panel having such a gas filling structure as shown in FIG. 8A, it is as follows.
【００４２】この発明のガス充填方法によれば、表示放
電に適切な組成および圧力を有するガスとするため必要
な付加ガスを気密封止した容器をガス放電表示パネルの
外側に設けておき、このガス放電表示パネルをエージン
グした後に上述した容器を開封して付加ガスをガス放電
表示パネル内に充填して最終ガスを得る。第三実施例で
はストッパー管２５ｃを介してガス流路２１からパネル
の空隙に、エージング用ガスとしてＨｅ−Ｘｅ（１０
％）を、エージング処理に適した２００Ｔｏｒｒのガス
圧で充填する。また、このとき充填したエージング用ガ
スの体積を３とすると、これに対して２の割合になるよ
うな体積で、後に表示放電に適した組成および圧力を有
する最終ガスを得るために付加ガスとしてＨｅ−Ｘｅ
（１０％）を、７００Ｔｏｒｒのガス圧で第３容器２３
ｃに充填しておく。そして、エージングを行った後、金
属線２６に対して高周波加熱を行い、ストッパー管を破
壊することにより第３障壁としてのストッパー管２５ｃ
を除去し、実質的に第３容器２３ｃは開封されて付加ガ
スをパネル内に充填し、表示放電に適した４００Ｔｏｒ
ｒのガス圧の最終ガス（Ｈｅ−Ｘｅ（１０％））を得る
ことができる。ストッパー管２５ｃは既に説明してある
ように中空であるため、破壊されると第３容器２３ｃ内
に充填されていた付加ガスがこの中を通ってガス流路２
１を流れ、パネル１０内に充填される。このときの様子
を図８の（Ｂ）に示した。矢印は付加ガスの流れを模式
的に表したものである。According to the gas filling method of the present invention, a container hermetically sealed with an additional gas necessary to obtain a gas having a composition and pressure suitable for display discharge is provided outside the gas discharge display panel. After aging the gas discharge display panel, the above-mentioned container is opened and an additional gas is filled in the gas discharge display panel to obtain a final gas. In the third embodiment, He-Xe (10) is used as the aging gas from the gas flow path 21 to the gap of the panel through the stopper pipe 25c.
%) At a gas pressure of 200 Torr suitable for the aging treatment. In addition, when the volume of the aging gas filled at this time is 3, the volume is such that the ratio becomes 2, and as a supplementary gas to obtain a final gas having a composition and pressure suitable for display discharge later. He-Xe
(10%) at a gas pressure of 700 Torr in the third container 23
Fill c. Then, after aging, the metal wire 26 is subjected to high frequency heating to break the stopper tube, so that the stopper tube 25c as the third barrier is formed.
Then, the third container 23c is substantially opened and the additional gas is filled in the panel, which is suitable for display discharge at 400 Torr.
A final gas (He-Xe (10%)) with a gas pressure of r can be obtained. Since the stopper pipe 25c is hollow as already described, when destroyed, the additional gas filled in the third container 23c passes through this and the gas passage 2
1 to fill the panel 10. The state at this time is shown in FIG. Arrows schematically show the flow of the additional gas.
【００４３】また、以上のガス充填方法およびガス充填
構造をこの発明のガス放電表示パネルの製造方法に適用
すると、以下のようになる。When the above gas filling method and gas filling structure are applied to the method for manufacturing a gas discharge display panel of the present invention, the following is obtained.
【００４４】既に説明してあるようにこの発明のガス放
電表示パネルの製造方法によれば、まず、第１および第
２基板間の空隙にエージング用ガスを充填する。また、
エージング用ガスの充填の前後に、一方の基板に設けら
れたガス流路を介してガス流路と連通し得る位置に障壁
によりガス流路を流れないように付加ガスを封入した容
器を設置する。第三実施例では、まず、上述したような
ガス充填構造を具えたパネルの組立を完了させる（図４
のＳ１）。その後、このパネルを排気台２７に取り付け
る（図４のＳ２）。次に、排気およびベーキング処理を
行い（図４のＳ３）、エージング用ガスをストッパー管
２５ｃを介してパネルの空隙に充填する。エージングガ
ス充填のとき、第三実施例では、同時に第３容器２３ｃ
に付加ガスを充填し、容器に付加ガスを直接収容するよ
うな形にしておく（図４のＳ４）。As described above, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, first, the aging gas is filled in the gap between the first and second substrates. Also,
Before and after filling with the aging gas, a container enclosing the additional gas is installed at a position where it can communicate with the gas passage through the gas passage provided on one of the substrates so as not to flow through the gas passage due to the barrier. . In the third embodiment, first, the assembly of the panel having the gas filling structure as described above is completed (see FIG. 4).
S1). Then, this panel is attached to the exhaust base 27 (S2 in FIG. 4). Next, evacuation and baking are performed (S3 in FIG. 4), and the aging gas is filled in the gap of the panel through the stopper pipe 25c. In the third embodiment, at the time of filling the aging gas, the third container 23c
Is filled with additional gas, and the container is made to have a shape in which the additional gas is directly contained (S4 in FIG. 4).
【００４５】次に、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、以上の処理を施したパネル１０にエー
ジング処理を施す。第三実施例では、ストッパー管２５
ｃおよび第３容器２３ｃをともにチップオフして（図４
のＳ５）、パネルを排気台２７から取りはずし（図４の
Ｓ６）、図５の（Ｂ）に示されるように、接続ケーブル
４３を介してパネルとエージング装置４１とを接続し、
パネル１０の第１および第２電極１３および１７間に、
例えば２６０Ｖの電圧を２時間印加し、エージング処理
を施す（図４のＳ７）。Next, according to the method of manufacturing a gas discharge display panel of the present invention, the panel 10 which has been subjected to the above-mentioned treatment is subjected to an aging treatment. In the third embodiment, the stopper tube 25
c and the third container 23c are both chipped off (see FIG.
S5), the panel is removed from the exhaust base 27 (S6 in FIG. 4), and the panel and the aging device 41 are connected via the connection cable 43 as shown in FIG. 5B.
Between the first and second electrodes 13 and 17 of the panel 10,
For example, a voltage of 260 V is applied for 2 hours to perform an aging treatment (S7 in FIG. 4).
【００４６】次に、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、エージング処理後、障壁を除去して、
ガス流路と容器とを連通させることにより、付加ガスを
空隙に充填させてエージング用ガスと混合させた混合ガ
スを、表示放電用の最終ガスとして得る。第三実施例で
は、既に説明してあるように、金属線２６に高周波加熱
処理をして第３障壁（ストッパー管）２５ｃを除去し
て、ガス流路２１と第３容器２３ｃとを連通させること
により、付加ガスを空隙に充填させてエージング用ガス
と混合させ、表示放電に適した４００Ｔｏｒｒのガス圧
の最終ガス（Ｈｅ−Ｘｅ（１０％））を得る（図４のＳ
８）。こうして、パネル１０を表示放電用のパネルとし
て完成させる。Next, according to the method of manufacturing a gas discharge display panel of the present invention, after the aging treatment, the barrier is removed,
By communicating the gas flow path with the container, a mixed gas in which the additional gas is filled in the gap and mixed with the aging gas is obtained as the final gas for display discharge. In the third embodiment, as already described, the metal wire 26 is subjected to high-frequency heat treatment to remove the third barrier (stopper tube) 25c, thereby connecting the gas flow path 21 and the third container 23c. As a result, the additional gas is filled in the gap and mixed with the aging gas to obtain a final gas (He-Xe (10%)) having a gas pressure of 400 Torr suitable for display discharge (S in FIG. 4).
8). In this way, the panel 10 is completed as a panel for display discharge.
【００４７】第三実施例でも、この発明のガス充填構
造、ガス充填方法およびこれらを応用したガス放電表示
パネルの製造方法によれば、エージング処理後に排気台
２７を用いる作業を不要とできるため、その後の作業を
操作性よく行うことが可能であることが理解できる。ま
た、エージング装置をパネルに接続するだけでエージン
グ処理を行うことが可能である。また、付加ガスを、エ
ージング用ガスの体積、組成および圧力に応じて変化さ
せた体積、組成および圧力で充填することにより、エー
ジング処理や表示放電のそれぞれに適した組成および圧
力を有するガスを充填できる。さらに、容器に気密封止
した付加ガスを、障壁を取り除くことでエージング用ガ
スと混合させて最終ガスを得るので、外気がパネル内に
侵入する機会が一度もなく、よりよい放電特性を示すパ
ネルとすることができる。Also in the third embodiment, according to the gas filling structure, the gas filling method and the method for manufacturing a gas discharge display panel to which the present invention is applied, the work of using the exhaust base 27 after the aging treatment can be dispensed with. It can be understood that the subsequent work can be performed with good operability. Moreover, it is possible to perform the aging process only by connecting the aging device to the panel. In addition, by filling the additional gas with a volume, composition and pressure that are changed according to the volume, composition and pressure of the aging gas, a gas having a composition and pressure suitable for aging treatment and display discharge is filled. it can. Furthermore, since the additional gas hermetically sealed in the container is mixed with the aging gas by removing the barrier to obtain the final gas, there is no chance that the outside air will enter the panel, and the panel showing better discharge characteristics. Can be
【００４８】この発明は、上述した実施例にのみ限定さ
れるものではないことは明らかである。例えば、各実施
例では、パネル１０に充填するガスをすべてＨｅ−Ｘｅ
（１０％）、即ちＨｅが９０％、Ｘｅが１０％（体積
％）の組成のガスとした。これは、圧力を変化させれば
エージング処理にも、また表示放電動作用にも適する組
成のガスを使用したためであって、付加ガスを考慮する
ことで、エージング用ガスと最終ガスとのそれぞれに適
した、異なる組成のガスにしてもよい。例えば、エージ
ング用ガスとしてＮｅ１００％を用い、このガスの体積
および圧力に応じて付加ガスの体積、組成および圧力を
決定し、最終ガスを表示放電動作に適したＮｅ−Ｘｅ
（０．２％）となるようにしてもよい。その他、エージ
ング処理に適した組成および圧力を有するエージング用
ガスを用いてエージング処理を行い、あらかじめ用意し
ておいた付加ガスをエージング用ガスに加えて混合させ
る、しかもあらためてガス充填装置を使用することな
く、もともと付加ガスがガス流路を流れないように設け
ていた障壁を取り除くことで容易に混合させることで、
その結果、この混合ガスを表示放電に適した組成および
圧力の最終ガスとして得る、というこの発明のガス充填
方法を用いることが可能であれば、上述のガスに限定さ
れない。また、容器２３や障壁２５は基板１１に封入ガ
スが漏れないように、気密に、取りつけてあれば良い。Obviously, the invention is not limited to the embodiments described above. For example, in each of the embodiments, all the gas filling the panel 10 is He-Xe.
(10%), that is, a gas having a composition of 90% He and 10% Xe (volume%). This is because a gas having a composition suitable for the aging process and the display discharge operation was used if the pressure was changed, and by considering the additional gas, the aging gas and the final gas can be separated. There may be suitable different gas compositions. For example, Ne100% is used as the aging gas, the volume, composition and pressure of the additional gas are determined according to the volume and pressure of this gas, and the final gas is Ne-Xe suitable for display discharge operation.
(0.2%) may be set. In addition, aging treatment is performed using an aging gas having a composition and pressure suitable for aging treatment, the additional gas prepared in advance is added to the aging gas and mixed, and the gas filling device is used again. By removing the barrier that was originally provided so that the additional gas does not flow through the gas flow path, it is easy to mix,
As a result, the gas is not limited to the above-mentioned gases as long as the gas filling method of the present invention in which this mixed gas is obtained as a final gas having a composition and pressure suitable for display discharge can be used. Further, the container 23 and the barrier 25 may be hermetically attached so that the enclosed gas does not leak to the substrate 11.
【００４９】[0049]
【発明の効果】上述した説明からも明らかなように、こ
の発明のガス充填方法によれば、エージング用ガスを最
終ガスを得るための予備ガスとしても利用し、エージン
グ用ガスと付加ガスとの混合ガスを最終ガスとすること
により、エージング用ガスを充填するときよりも後の工
程で排気台を用いる作業を不要とでき、操作性良くガス
の充填を行うことができる。また、エージング処理には
エージング処理に適した組成および圧力を有するガス
（エージング用ガス）を使用し、このガスに応じて、付
加ガスの体積、組成および圧力を決め、この付加ガスを
エージング用ガスと混合させることにより、最終的に得
たいガス、即ち、表示放電に適した組成および圧力を有
する最終ガスを得ることができる。As is apparent from the above description, according to the gas filling method of the present invention, the aging gas is also used as a preliminary gas for obtaining the final gas, and the aging gas and the additional gas are combined. By using the mixed gas as the final gas, it is possible to eliminate the work of using an exhaust stand in a later step than when the aging gas is filled, and it is possible to fill the gas with good operability. A gas having a composition and pressure suitable for the aging treatment (aging gas) is used for the aging treatment, and the volume, composition and pressure of the additional gas are determined according to the gas, and the additional gas is used as the aging gas. By mixing with, it is possible to obtain the final desired gas, that is, the final gas having a composition and pressure suitable for display discharge.
【００５０】また、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、パネルを構成する２枚の基板間の空隙
に、エージング用ガスを充填し、また、ガス流路と連通
し得る位置に障壁により、このガス流路を流れないよう
に付加ガスを封入した容器を設置しておく。こうしてエ
ージング処理をした後障壁を取り除いて付加ガスとエー
ジング用ガスを混合させることで容易に表示放電用の最
終ガスを得ることができるため、排気台を用いる作業を
不要とし、エージング処理もパネルをエージング装置に
接続するだけで作業できる。Further, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the present invention, the aging gas is filled in the gap between the two substrates constituting the panel, and the gas discharge display panel is communicated with the gas flow path. A container in which an additional gas is sealed is installed so that the barrier does not allow the gas flow. In this way, after the aging treatment, the barrier is removed and the additional gas and the aging gas are mixed to easily obtain the final gas for display discharge. You can work simply by connecting it to the aging device.
【００５１】さらに、この発明のガス充填構造によれ
ば、ガス放電表示パネルの基板に設けられたガス流路
と、この基板に気密封止されていて、かつ付加ガスを収
容している容器と、付加ガスがガス流路に流れるのを防
止している障壁とを具えている。このため、パネル外部
から改めてガスを充填させることなく、外気に触れずに
付加ガスを加えて最終ガスの充填を行える。このことに
より、エージング後に不純物を再び付着させる機会を作
らず、放電電極が活性化されたままの状態で最終ガスを
得ることができる。Further, according to the gas filling structure of the present invention, a gas channel provided in the substrate of the gas discharge display panel, and a container hermetically sealed in the substrate and containing an additional gas. , A barrier that prevents additional gas from flowing into the gas flow path. Therefore, the final gas can be filled by adding the additional gas without touching the outside air again without refilling the gas from the outside of the panel. This allows the final gas to be obtained with the discharge electrode still activated, without creating an opportunity to reattach the impurities after aging.
【図１】この発明の各実施例に係るパネルの概略的な斜
視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a panel according to each embodiment of the present invention.
【図２】図１のパネルのうち、ガス充填構造を含む辺り
の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the panel of FIG. 1 including a gas filling structure.
【図３】（Ａ）および（Ｂ）はこの発明のガス充填方法
およびガス充填構造の第一実施例の説明に供する図であ
る。3 (A) and 3 (B) are diagrams for explaining a first embodiment of a gas filling method and a gas filling structure according to the present invention.
【図４】この発明のガス放電表示パネルの製造方法の各
実施例に係るフロー工程図である。FIG. 4 is a flow process chart according to each embodiment of the method for manufacturing a gas discharge display panel of the present invention.
【図５】（Ａ）および（Ｂ）は、パネルを各工程で用い
る装置と接続したときの状態を示す概略的な断面図であ
る。5A and 5B are schematic cross-sectional views showing a state in which the panel is connected to an apparatus used in each step.
【図６】発明の効果を説明する比較図である。FIG. 6 is a comparative diagram for explaining the effect of the invention.
【図７】（Ａ）および（Ｂ）は、この発明の第二実施例
の説明に供する断面図である。7A and 7B are sectional views for explaining a second embodiment of the present invention.
【図８】（Ａ）および（Ｂ）は、この発明の第三実施例
の説明に供する断面図である。8 (A) and 8 (B) are sectional views for explaining a third embodiment of the present invention.
【符号の説明】１０ ：ガス放電表示パネル １１：第１基板 １３：第１電極 １５：第２基板 １７：第２電極 １９：隔壁 ２１：ガス流路 ２２：シール材 ２３：容器 ２４：チップ管 ２５：障壁 ２６：金属線 ２７：排気台 ２９：加熱炉 ３１：孔 ３３：ガス充填装置 ３５：排気装置 ３７：連絡路 ３９：開閉バルブ ４１：エージング装置 ４３：接続ケーブル[Explanation of Codes] 10 : Gas Discharge Display Panel 11: First Substrate 13: First Electrode 15: Second Substrate 17: Second Electrode 19: Partition 21: Gas Flow Channel 22: Sealing Material 23: Container 24: Chip Tube 25: Barrier 26: Metal wire 27: Exhaust stand 29: Heating furnace 31: Hole 33: Gas filling device 35: Exhaust device 37: Communication path 39: Open / close valve 41: Aging device 43: Connection cable
Claims (4)
を充填した後に、表示放電用の最終ガスを充填するガス
充填方法において、 表示放電に適切な組成および圧力を有するガスとするた
め必要な付加ガスを気密封止した容器をガス放電表示パ
ネルの外側に設けておき、前記ガス放電表示パネルにエ
ージング処理を施した後に前記容器を開封して前記付加
ガスを前記ガス放電表示パネル内に充填して最終ガスを
得ることを特徴とするガス充填方法。1. A gas filling method of filling a gas discharge display panel with a gas for aging and then filling a final gas for display discharge with an additional gas required to obtain a gas having a composition and pressure suitable for display discharge. An airtightly sealed container is provided outside the gas discharge display panel, and after the gas discharge display panel is subjected to an aging treatment, the container is opened and the additional gas is filled into the gas discharge display panel. A gas filling method characterized by obtaining a final gas.
し、かつ第２基板上に複数行の第２電極を形成して、前
記第１および第２電極を対向させて配置すると共に前記
第１および第２基板間の空隙に、これら二つの基板のう
ち一方の基板に設けられたガス流路を介してエージング
用ガスを充填した後、前記第１および第２電極間に電圧
を印加してエージング処理を施してガス放電表示パネル
の製造をするに当り、 （ａ）前記第１および第２基板間の空隙にエージング用
ガスを充填し、 （ｂ）前記ガス流路と連通し得る位置に障壁により該ガ
ス流路を流れないように付加ガスを封入した容器を設置
し、 （ｃ）前記（ａ）および（ｂ）処理の後に前記エージン
グ処理を施し、 （ｄ）該エージング処理後、前記障壁を除去して、前記
ガス流路と前記容器とを連通させることにより前記付加
ガスを前記空隙に充填させて前記エージング用ガスと混
合させた混合ガスを、表示放電用の最終ガスとして得る
ことを特徴とするガス放電表示パネルの製造方法。2. A plurality of columns of first electrodes are formed on a first substrate, and a plurality of rows of second electrodes are formed on a second substrate, and the first and second electrodes are arranged to face each other. At the same time, after filling the space between the first and second substrates with an aging gas through a gas flow path provided in one of these two substrates, a voltage is applied between the first and second electrodes. When a gas discharge display panel is manufactured by applying an aging treatment, (a) filling the space between the first and second substrates with an aging gas, and (b) communicating with the gas flow path. A container in which an additional gas is enclosed is installed at a possible position so as not to flow through the gas flow path by a barrier, (c) the aging treatment is performed after the treatments (a) and (b), and (d) the aging treatment is performed. After the treatment, the barrier is removed, and the gas flow path and the The addition of mixed gas obtained by mixing with the aging gas by filling the voids of gas, production method for a gas discharge display panel, characterized in that to obtain a final gas for the display discharge by communicating the vessel.
製造方法において、前記エージング用ガスをエージング
処理に応じた組成および圧力で前記空隙に充填し、さら
に前記付加ガスを、前記エージング用ガスの体積、組成
および圧力に応じて変化させた体積、組成および圧力
で、充填することを特徴とするガス放電表示パネルの製
造方法。3. The method for manufacturing a gas discharge display panel according to claim 1, wherein the aging gas is filled in the voids with a composition and a pressure according to an aging treatment, and the additional gas is further added to the aging gas. A method for manufacturing a gas discharge display panel, which comprises filling with a volume, a composition and a pressure which are changed according to the volume, the composition and the pressure.
いて表示放電用の最終ガスを形成するための付加ガスを
流すガス流路と、 該基板に気密封止されていて前記付加ガスを収容してい
る容器と、 該容器内に収容された付加ガスが前記ガス流路に流れる
のを防止している障壁とを具えることを特徴とするガス
放電表示パネルのガス充填構造。4. A gas flow path provided on a substrate of a gas discharge display panel for flowing an additional gas for forming a final gas for display discharge, and the substrate being hermetically sealed to accommodate the additional gas. A gas filling structure for a gas discharge display panel, comprising: a container that holds the gas, and a barrier that prevents an additional gas contained in the container from flowing into the gas flow path.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7039605A JPH08236025A (en) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | Gas filling method, gas filling structure and manufacture of gas discharge display panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7039605A JPH08236025A (en) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | Gas filling method, gas filling structure and manufacture of gas discharge display panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08236025A true JPH08236025A (en) | 1996-09-13 |
Family
ID=12557753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7039605A Withdrawn JPH08236025A (en) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | Gas filling method, gas filling structure and manufacture of gas discharge display panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH08236025A (en) |
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1995
- 1995-02-28 JP JP7039605A patent/JPH08236025A/en not_active Withdrawn
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