JPH08129959A - Mercury diffusing method of gas discharge panel - Google Patents
Mercury diffusing method of gas discharge panelInfo
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- JPH08129959A JPH08129959A JP6264171A JP26417194A JPH08129959A JP H08129959 A JPH08129959 A JP H08129959A JP 6264171 A JP6264171 A JP 6264171A JP 26417194 A JP26417194 A JP 26417194A JP H08129959 A JPH08129959 A JP H08129959A
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ガス放電パネルの水
銀拡散方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for diffusing mercury in a gas discharge panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のガス放電パネルとして
は、文献（信学技報、ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ ＲＥＰＯＲ
Ｔ ＯＦ ＩＥＩＣＥ、ＥＩＤ９３−１２２（１９９４
−０１）、ｐｐ６１〜６６）に開示されたものがある。2. Description of the Related Art Conventionally, as a gas discharge panel of this type, reference has been made to the literature (Technical Report, TECHNICAL REPORT)
T OF IEICE, EID93-122 (1994
-01) and pp61-66).
【０００３】従来のパネルでは、パネル内、特に表示セ
ルの部分に設けてある陰極がむき出しになっている。こ
のため、陰極部分の放電を安定化させるためには、放電
ガスとともに水銀をパネル内に導入した後、パネル内を
加熱処理して水銀をパネル内全体に拡散させ、その後パ
ネルのガス供給部分を封入してエージングを行ってい
た。In the conventional panel, the cathode provided in the panel, particularly in the display cell portion, is exposed. Therefore, in order to stabilize the discharge of the cathode part, after introducing mercury into the panel together with the discharge gas, the inside of the panel is heat-treated to diffuse the mercury throughout the panel, and then the gas supply part of the panel is changed. It was sealed and aged.
【０００４】また、従来のパネルの水銀拡散方法は、以
下のような方法により行われていた。まず、ブースタ管
を用いてパネル内のガスを一旦真空排気する。その後、
ガス導入系統から放電ガス（例えばＨｅ−Ｘｅの混合ガ
ス）をパネル内に充填した後、ブースタ管のチップオフ
部を封入して初期エージングを行う。このとき、用いる
ブースタ管は、ガラス管で出来ており、パネルと真空排
気及びガス導入系との間とを結ぶ連結管の役目をしてい
る。一方、ブースタ管とパネル側に設けられたカプセル
管（Ｐ管ともいう）とは接続されている。また、このＰ
管中には予め水銀を封じたカプセルを収納せてあるの
で、このカプセルを例えば加熱して破壊し、水銀を取り
出し、その後、パネルの全体を加熱して水銀をパネル内
に拡散させていた。また、初期エージングは、パネル内
に配設されている電極表面のクリーニングを行うもので
あり、水銀拡散後の安定化エージングは、実駆動での放
電を安定させるために行うものである。The conventional method for diffusing mercury in a panel has been carried out by the following method. First, the gas in the panel is temporarily evacuated using the booster tube. afterwards,
After the panel is filled with a discharge gas (for example, a mixed gas of He-Xe) from the gas introduction system, the tip-off portion of the booster tube is sealed and initial aging is performed. The booster tube used at this time is made of a glass tube, and functions as a connecting tube connecting the panel and the vacuum exhaust and gas introduction system. On the other hand, the booster tube and the capsule tube (also referred to as P tube) provided on the panel side are connected. Also, this P
Since the tube previously contains a capsule in which mercury is sealed, the capsule is heated and destroyed to take out the mercury, and then the entire panel is heated to diffuse the mercury into the panel. The initial aging is for cleaning the surface of the electrodes arranged in the panel, and the stabilizing aging after diffusion of mercury is for stabilizing the discharge in actual driving.
【０００５】上述した文献によれば、ガス放電パネルの
放電を安定化させるための安定化エージングを行い、パ
ネル内の水銀拡散の有無による寿命特性の測定結果につ
いて開示されている。これによると、パネル内に水銀を
拡散させることによりパネルの長寿命化が達成できると
報告されている。According to the above-mentioned documents, the results of measurement of the life characteristics depending on the presence or absence of diffusion of mercury in the panel by performing the stabilizing aging for stabilizing the discharge of the gas discharge panel are disclosed. According to this, it is reported that the life of the panel can be extended by diffusing mercury in the panel.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
水銀拡散方法では、水銀拡散処理に要する拡散時間及び
水銀拡散後のエージングに時間がかかり過ぎるという問
題がある。However, the conventional mercury diffusion method has a problem that the diffusion time required for the mercury diffusion treatment and the aging after the mercury diffusion takes too long.
【０００７】更に、従来の水銀拡散処理では、水銀を拡
散させるための加熱処理時間を長くしてもパネル内に放
電ガスが存在するため、水銀の拡散状態にむらが生じて
しまうという問題があった。このため、パネルの放電特
性（例えば、放電波形や放電電圧）が不安定となり、こ
れを安定させるには長時間のエージングを必要としてい
た。今後、ガス放電パネルがますます大型化に向かうと
予想されので、このエージングに要する時間は、一層、
問題になると考えられる。Further, in the conventional mercury diffusion treatment, even if the heat treatment time for diffusing mercury is lengthened, the discharge gas exists in the panel, so that there is a problem that the diffusion state of mercury is uneven. It was For this reason, the discharge characteristics of the panel (for example, the discharge waveform and the discharge voltage) become unstable, and long-term aging is required to stabilize this. It is expected that the gas discharge panel will become larger and larger in the future, so the time required for this aging will be
It seems to be a problem.
【０００８】一方、パネル内を真空状態にして水銀拡散
を行えば、パネル内の拡散抵抗が小さくなるため、水銀
の拡散が容易になることは予想できる。しかし、従来の
水銀拡散方法では、パネル内に、一旦、放電ガスを封入
した後、このパネル内に水銀を拡散させるためにブース
タ管の封じた部分を破壊する。このため、パネル内が大
気に曝されパネル内が汚染されてしまう。このため、パ
ネル内に対し、再度、高温排気処理を行う必要があるの
で、水銀拡散処理後のエージングに時間がかかるという
問題があった。このように、従来はパネル内を大気に曝
さずに真空状態で水銀拡散するための有効な手段がなか
った。On the other hand, if mercury is diffused while the inside of the panel is in a vacuum state, it can be expected that diffusion of mercury will be facilitated because the diffusion resistance in the panel becomes small. However, in the conventional mercury diffusion method, after the discharge gas is once enclosed in the panel, the sealed portion of the booster tube is destroyed to diffuse the mercury in the panel. For this reason, the inside of the panel is exposed to the atmosphere and the inside of the panel is contaminated. For this reason, since it is necessary to perform high-temperature exhaust treatment on the inside of the panel again, there is a problem that aging after the mercury diffusion treatment takes time. Thus, conventionally, there has been no effective means for diffusing mercury in a vacuum state without exposing the inside of the panel to the atmosphere.
【０００９】そこで、パネル内部が外気に触れずに水銀
拡散させることができ、かつエージング時間も短縮でき
るガス放電パネルの水銀拡散方法が望まれていた。Therefore, there has been a demand for a method for diffusing mercury in a gas discharge panel, which can diffuse mercury without touching the inside of the panel with the outside air and can also shorten the aging time.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】このため、この発明のガ
ス充填方法は、ガス放電パネル内をクリーニングするた
めの初期エージング後にガス放電パネルの放電を安定化
するための安定化エージングを行うためにブースタ管を
用いてガス放電パネル内に水銀を拡散するに当たり、初
期エージングと安定化エージングとの間はガス放電パネ
ル内を大気に曝さない条件のもとで、ガス放電パネル内
を真空状態にして水銀拡散を行うものである。Therefore, in the gas filling method of the present invention, the stabilizing aging for stabilizing the discharge of the gas discharge panel is performed after the initial aging for cleaning the inside of the gas discharge panel. When the mercury is diffused in the gas discharge panel using the booster tube, the gas discharge panel is evacuated under the condition that the gas discharge panel is not exposed to the atmosphere between the initial aging and the stabilizing aging. It diffuses mercury.
【００１１】また、この発明の実施に当たり、ガス放電
パネル内に水銀を拡散させる方法として、（ａ）水銀ゲ
ッターを収納したガラスカプセルと、このガラスカプセ
ルに連結された第１ガラス管と、この第１ガラス管の外
径より大きい内径を有しかつ一端側を第１ガラス管の外
周に気密封着した第２ガラス管からなる２重構造のブー
スタ管を、ガラスカプセルによりガス放電パネルに連通
接続する工程と、（ｂ）第１ガラス管を介して前記ガス
放電パネルに放電ガスを充填した後、第１ガラス管の、
第２ガラス管の開口端側を封じてエージングを行う工程
と、（ｃ）その後、第２ガラス管の前記開口端側からこ
の第２ガラス管内を真空排気した後、第１ガラス管の封
じた部分を破壊してガス放電パネル内を真空排気する工
程と、（ｄ）水銀ゲッターを加熱し、この水銀ゲッター
の水銀を取り出し、真空状態で加熱してガス放電パネル
内に水銀ガスを拡散する工程と、（ｅ）その後、パネル
内に放電ガスを充填する工程と、（ｆ）第１ガラス管及
び第２ガラス管の前記気密封着の部分とガラスカプセル
との間の当該第１ガラス管の領域部分を封じる工程と、
（ｇ）その後、ガス放電パネルのエージングを行う工程
とを含んでいる。In implementing the present invention, as a method of diffusing mercury in a gas discharge panel, (a) a glass capsule containing a mercury getter, a first glass tube connected to the glass capsule, and a first glass tube connected to the glass capsule. (1) A double-structured booster tube consisting of a second glass tube having an inner diameter larger than the outer diameter of the glass tube and one end of which is hermetically bonded to the outer circumference of the first glass tube is connected to a gas discharge panel by a glass capsule And (b) filling the gas discharge panel with a discharge gas through the first glass tube,
A step of performing aging by closing the opening end side of the second glass tube, and (c) after that, evacuating the inside of the second glass tube from the opening end side of the second glass tube, and then closing the first glass tube A step of evacuating the inside of the gas discharge panel by destroying a portion, and a step of (d) heating the mercury getter, taking out the mercury of this mercury getter, and heating it in a vacuum state to diffuse the mercury gas into the gas discharge panel And (e) after that, a step of filling a discharge gas into the panel, and (f) the first glass tube between the first glass tube and the second glass tube and the glass capsule. The process of sealing the area part,
(G) After that, a step of aging the gas discharge panel is included.
【００１２】また、この発明の実施に当たり、好ましく
は水銀ゲッターを、高周波加熱によって加熱するのが良
い。Further, in carrying out the present invention, it is preferable to heat the mercury getter by high frequency heating.
【００１３】また、この発明の実施に当たり、好ましく
は真空状態での加熱温度を２００℃〜３５０℃の範囲内
の温度で行うのが良い。In carrying out the present invention, it is preferable that the heating temperature in a vacuum state is a temperature within the range of 200 ° C to 350 ° C.
【００１４】[0014]
【作用】この発明のガス放電パネルの水銀拡散方法によ
れば、初期エージングと安定化エージングの間はガス放
電パネル内を大気に曝さない条件の下で、ガス放電パネ
ル内を真空状態にして水銀の拡散を行っている。このよ
うに、ガス放電パネル内を真空状態にしてあるので、水
銀の拡散抵抗が小さくなりガス放電パネル内を水銀ガス
は短時間で拡散する。しかも、初期エージングと安定化
エージングとの間は大気に曝さない条件で、ガス放電パ
ネル内に水銀及び放電ガスを充填することができるの
で、水銀拡散後のエージング時間が短縮できる。According to the method for diffusing mercury in a gas discharge panel of the present invention, the mercury in the gas discharge panel is evacuated under the condition that the gas discharge panel is not exposed to the atmosphere during the initial aging and the stabilizing aging. Is spreading. As described above, since the inside of the gas discharge panel is in a vacuum state, the diffusion resistance of mercury becomes small, and the mercury gas diffuses within the gas discharge panel in a short time. Moreover, since the gas discharge panel can be filled with mercury and the discharge gas under the condition that the gas is not exposed to the atmosphere between the initial aging and the stabilizing aging, the aging time after the diffusion of mercury can be shortened.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、図面を参照して、この発明のガス放電
パネル（以下、パネルと称する。）の水銀拡散方法につ
いて説明する。なお、図２〜図５は、この発明の構成が
理解できる程度に構成成分の形状、大きさ及び配置関係
を概略的に示してあるにすぎない。したがって、この発
明は以下に述べる実施例にのみに限定されるものではな
い。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A mercury diffusion method for a gas discharge panel (hereinafter referred to as a panel) of the present invention will be described below with reference to the drawings. It should be noted that FIGS. 2 to 5 merely schematically show the shapes, sizes, and arrangement relationships of the constituent components to the extent that the structure of the present invention can be understood. Therefore, the present invention is not limited to only the embodiments described below.
【００１６】この発明のガス放電パネルの水銀拡散方法
の説明に先立ち、図２及び図３の（Ａ）を参照して、こ
の発明の水銀拡散に用いる装置及びブースタ管の構造に
ついて説明する。Prior to the description of the method for diffusing mercury in the gas discharge panel of the present invention, the structure of the apparatus and booster tube used for diffusing mercury of the present invention will be described with reference to FIGS.
【００１７】図２は、この実施例に用いる装置の概略的
構成を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the schematic structure of the apparatus used in this embodiment.
【００１８】この実施例の装置は、大別するとパネル１
０を加熱するための加熱装置１６と、パネル１０内を真
空排気するための真空排気装置２６と、パネル１０内に
ガスを導入するためのガス導入装置２８とから構成され
ている。The apparatus of this embodiment is roughly classified into a panel 1
It is composed of a heating device 16 for heating 0, a vacuum evacuation device 26 for evacuating the inside of the panel 10, and a gas introduction device 28 for introducing a gas into the panel 10.
【００１９】そして、加熱装置１６には、パネル１０を
搭載するための試料台１２が設けてある。更に、パネル
１０に設けられたブースタ管部１４と真空排気装置２６
及びガス導入装置２８とは配管１８によって接続されて
いる。また、配管１８中には、バルブ２０、２２及び２
４が設けてあり、このバルブ２０、２２及び２４によっ
て排気装置２６及びガス導入装置２８の切替えを行って
いる。The heating device 16 is provided with a sample table 12 for mounting the panel 10. Further, the booster pipe portion 14 and the vacuum exhaust device 26 provided on the panel 10 are provided.
And the gas introduction device 28 are connected by the pipe 18. In the pipe 18, valves 20, 22, and 2 are provided.
4 is provided, and the valves 20, 22, and 24 switch the exhaust device 26 and the gas introduction device 28.
【００２０】ブースタ管部１４は、水銀ゲッター３８を
収納したガラスカプセル３０と、このガラスカプセル３
０に連結された第１ガラス管３２と、この第１ガラス管
３２の外径より大きい内径を有しかつ一端側を第１ガラ
ス管３２の外周に気密封着した第２ガラス管４０とから
なっている。したがって、第１ガラス管と第２ガラス管
とで２重構造としてある。そして、ガラスカプセル３０
内には、ゲッター保持金具３６が取りつけてあり、この
金具３６の先端部にリング状の水銀ゲッター３８を設置
させてある。The booster tube portion 14 includes a glass capsule 30 containing a mercury getter 38, and the glass capsule 3.
A first glass tube 32 connected to 0, and a second glass tube 40 having an inner diameter larger than the outer diameter of the first glass tube 32 and one end side of which is hermetically sealed to the outer circumference of the first glass tube 32. Has become. Therefore, the first glass tube and the second glass tube have a double structure. And the glass capsule 30
A getter holding metal fitting 36 is attached inside, and a ring-shaped mercury getter 38 is installed at the tip of the metal fitting 36.
【００２１】また、第２ガラス管４０と気密封着されて
いる部分の第２ガラス管４０の開口端４０ａ側の領域部
分３３を第１次チップオフ部と称し、気密封着部分とガ
ラスカプセル３０との間の領域部分３４を第２次チップ
オフ部と称する。The area 33 on the side of the open end 40a of the second glass tube 40 that is hermetically sealed with the second glass tube 40 is called the primary tip-off section, and the hermetically sealed section and the glass capsule are provided. A region portion 34 between 30 and 30 is referred to as a secondary chip-off portion.
【００２２】次に、図１、図２、図３の（Ａ）及び
（Ｂ）、図４の（Ａ）及び（Ｂ）、及び図５を参照し
て、この発明の水銀拡散方法について説明する。Next, the mercury diffusion method of the present invention will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 3A and 3B, FIGS. 4A and 4B, and FIG. To do.
【００２３】図１は、製造工程のフローチャート図であ
る。なお、この実施例に用いたテストパネルの構成は、
以下の通りとする。FIG. 1 is a flow chart of the manufacturing process. The configuration of the test panel used in this example is
It is as follows.
【００２４】表示セルの大きさ：０．４２×０．５８ｍ
ｍ／セル 封入ガス：Ｈｅ−Ｘｅガス 陰極面積：０．１×０．４３ｍｍ 陰極材料：ニッケル（Ｎｉ） 走査線数：６４本 まず、既に説明した図３の（Ａ）のブースタ管を用意す
る（図１の（Ｉ）工程）。そして、ガラスカプセル３０
側とパネル１０側とを接続する（図３の（Ｂ））。この
とき、ガラスカプセル４０とパネル１０側に設けてある
ガラス管（図示せず）とを酸素バーナを用いて両者を接
続する。このとき、ガラスカプセル３０中にはゲッター
金具３６を設けて、この金具３６に水銀ゲッター３８を
設置しておくのが良い。なお、この水銀ゲッタ３８は、
例えば、リング状のガラスカプセル管中に水銀を充填さ
せたものであり、例えば、サエス社製（商品番号：Ｓｔ
１０１−５０５／０／１２−１２）を用いるのが好適で
ある。Display cell size: 0.42 × 0.58 m
m / cell Filled gas: He—Xe gas Cathode area: 0.1 × 0.43 mm Cathode material: Nickel (Ni) Number of scanning lines: 64 First, the booster tube of FIG. (Step (I) of FIG. 1). And the glass capsule 30
The side and the panel 10 side are connected ((B) of FIG. 3). At this time, the glass capsule 40 and the glass tube (not shown) provided on the panel 10 side are connected to each other using an oxygen burner. At this time, a getter metal fitting 36 is preferably provided in the glass capsule 30, and a mercury getter 38 is preferably installed on the metal fitting 36. In addition, this mercury getter 38
For example, a ring-shaped glass capsule tube is filled with mercury. For example, a product manufactured by SAES (product number: St
101-505 / 12 / 12-12) is preferably used.
【００２５】また、第１ガラス管３２の第１次チップオ
フ部３３の開口端側を、配管１８に接続して、ブースタ
管部１４と配管１８との接続を行う。なお、このときの
配管１８としてガラス管を用いるのが良い。その後、バ
ルブ２４は閉じておき、バルブ２０及び２２を開いてパ
ネル１０内を真空排気する。その後、バルブ２２を閉じ
ておき、バルブ２４を開いてガス導入装置２８から放電
ガスをブースタ管部１４を介してパネル１０内に充填す
る。このときの放電ガスをエージング用ガスともいう。
また、このときの放電ガスの充填条件は、以下の通りと
する。Further, the open end side of the primary tip-off portion 33 of the first glass tube 32 is connected to the pipe 18 to connect the booster pipe portion 14 and the pipe 18. A glass tube is preferably used as the piping 18 at this time. Then, the valve 24 is closed and the valves 20 and 22 are opened to evacuate the inside of the panel 10. After that, the valve 22 is closed and the valve 24 is opened to fill the panel 10 with the discharge gas from the gas introduction device 28 through the booster tube portion 14. The discharge gas at this time is also referred to as an aging gas.
The conditions for filling the discharge gas at this time are as follows.
【００２６】ガスの種類：Ｈｅ−５体積％Ｘｅガス ガス圧：２００Ｔｏｒｒ その後、第１ガラス管３２の第１次チップオフ部３３を
例えばガスバーナを用いて封じて配管１８との接続を断
つ（図４の（Ａ）参照）。このとき、封じた部分（チッ
プオフ部分ともいう。）３２ａをチップオフ先端部と称
する。Gas type: He-5% by volume Xe gas Gas pressure: 200 Torr After that, the primary tip-off part 33 of the first glass tube 32 is sealed with, for example, a gas burner to disconnect the connection with the pipe 18 (Fig. 4 (A)). At this time, the sealed portion (also referred to as a tip-off portion) 32a is referred to as a tip-off tip portion.
【００２７】このように第１ガラス管３２の第１次チッ
プオフ部３３を封じた状態で、水銀拡散前のエージング
を行う（図１の（ＩＩ）工程）。このときのエージング
条件を以下の通りとする。In this way, the aging before the diffusion of mercury is performed in the state where the primary tip-off portion 33 of the first glass tube 32 is sealed (step (II) in FIG. 1). The aging conditions at this time are as follows.
【００２８】陰極と陽極との間に電流を流したときの放
電電流：１００μＡ／セル 表示セルで発光するデューテイ比：１／６４ エージング時間：２０〜３０分 このとき、エージング時間は、放電電圧が一旦高くな
り、その後、電圧変動が少なくなった時点までの期間を
水銀拡散前のエージング時間とする。Discharge current when a current is applied between the cathode and the anode: 100 μA / cell Duty ratio for emitting light in the display cell: 1/64 Aging time: 20 to 30 minutes At this time, the discharge voltage is the discharge voltage. The aging time before mercury diffusion is defined as the period until the voltage rises once and then the voltage fluctuation becomes small.
【００２９】次に、第２ガラス管４０の開口端４０ａに
第３ガラス管４２を接続して図４の（Ａ）の構造体を得
る。このとき、第２ガラス管４０と第３ガラス管４２と
の接続部分を接続部４４として示す。なお、ここでは、
第３ガラス管中に振動体４６を挿入しておくのが良い。Next, the third glass tube 42 is connected to the open end 40a of the second glass tube 40 to obtain the structure shown in FIG. 4 (A). At this time, a connecting portion between the second glass tube 40 and the third glass tube 42 is shown as a connecting portion 44. In addition, here
It is preferable to insert the vibrating body 46 in the third glass tube.
【００３０】次に、第３ガラス管４２の開口端４２ａ側
を今度は口広の配管１８に接続し、この第２ガラス管４
０及び第３ガラス管４２内を真空排気した後、第１ガラ
ス管３２の封じた部分（チップオフ先端部３２ａ）を破
壊する。この破壊により真空排気系の作用によりパネル
内を真空排気する（図１の（ＩＩＩ）工程）。このとき
の真空排気方法について図２及び図４の（Ｂ）を参照し
て説明する。Next, the open end 42a side of the third glass tube 42 is connected to the wide pipe 18 this time, and the second glass tube 4 is connected.
After evacuating the inside of the 0 and third glass tubes 42, the sealed portion (tip-off tip portion 32a) of the first glass tube 32 is broken. Due to this destruction, the inside of the panel is evacuated by the action of the evacuation system (step (III) in FIG. 1). A vacuum exhaust method at this time will be described with reference to FIGS. 2 and 4B.
【００３１】真空排気装置２６を用いて配管１８内を十
分に排気する。第２ガラス管４０及び第３ガラス管４２
内も真空排気した後、第３ガラス管４２内に挿入されて
いる振動体４６を、例えば電磁石４８を用いて振動させ
る。そのときの振動体４６の移動及び衝突運動によりこ
の振動体４６をチップオフ先端部３２ａにぶつけるか衝
突させて第１ガラス管３２の第１次チップオフ部３３の
封じてあるチップオフ先端部３２ａを破壊する（図４の
（Ｂ））。このようにして、形成された破壊された第１
ガラス管３２の部分を開口部３２ｂと称する。なお、こ
のときの振動体４６は、予め鉄片を含んだガラス塊を用
いるのが良い。The inside of the pipe 18 is sufficiently exhausted using the vacuum exhaust device 26. Second glass tube 40 and third glass tube 42
After the inside is also evacuated, the vibrating body 46 inserted in the third glass tube 42 is vibrated by using, for example, an electromagnet 48. Due to the movement and collision movement of the vibrating body 46 at this time, the vibrating body 46 is struck or collided with the tip-off tip portion 32a so that the tip-off tip portion 32a of the primary tip-off portion 33 of the first glass tube 32 is sealed. Is destroyed ((B) of FIG. 4). In this way, the destroyed first formed
The portion of the glass tube 32 is referred to as an opening 32b. In addition, as the vibrating body 46 at this time, it is preferable to use a glass lump containing iron pieces in advance.
【００３２】また、このとき、破壊したガラス破片など
が真空排気装置２６に混入するのを防止するためにバル
ブ２０を閉じておくのが望ましい。At this time, it is desirable to close the valve 20 in order to prevent broken glass fragments and the like from entering the vacuum evacuation device 26.
【００３３】その後、バルブ２０を徐々に開いてパネル
内の放電ガスを排気する。Then, the valve 20 is gradually opened to discharge the discharge gas in the panel.
【００３４】次に、ガラスカプセル３０内に収納されて
いる水銀ゲッター３８を局所加熱し、水銀ゲッターの水
銀をガラスカプセル内に取り出し、真空状態で加熱処理
してパネル１０内に水銀を拡散する（図１の（ＩＶ）工
程）。このときの水銀を拡散する方法は、以下のように
して行う。Next, the mercury getter 38 contained in the glass capsule 30 is locally heated, the mercury of the mercury getter is taken out into the glass capsule, and heat-treated in a vacuum state to diffuse the mercury in the panel 10 ( Step (IV) of FIG. 1). The method of diffusing mercury at this time is as follows.
【００３５】まず、バルブ２４は、閉じておき、バルブ
２０及び２２を開いてパネル１０内を例えば１×１０-6
Ｔｏｒｒに真空排気する。その後、高周波加熱により水
銀ゲッター領域を選択的に加熱する。このときの加熱温
度を８５０℃程度とする。このような加熱処理により水
銀ゲッター３６から水銀を取り出すことができる。な
お、パネルが大型化した場合、水銀ゲッターの個数を増
やす必要があるときは、水銀を入れたガラスカプセル３
０をゲッター金具３６に取りつけるか、あるいは水銀ゲ
ッター３８の個数を増やすことにより多量の水銀をパネ
ル内に導入することができる。このような状態にして水
銀ゲッター３８を有するカプセル部３０及びパネル１０
とを加熱装置１６内に設置して装置１６内を加熱する。First, the valve 24 is closed, the valves 20 and 22 are opened, and the inside of the panel 10 is, for example, 1 × 10 -6.
Evacuate to Torr. Then, the mercury getter region is selectively heated by high frequency heating. The heating temperature at this time is about 850 ° C. By such heat treatment, mercury can be taken out from the mercury getter 36. In addition, when the size of the panel is increased and it is necessary to increase the number of mercury getters, the glass capsule 3 containing mercury is used.
A large amount of mercury can be introduced into the panel by attaching 0 to the getter metal fitting 36 or increasing the number of mercury getters 38. In this state, the capsule portion 30 and the panel 10 having the mercury getter 38 are formed.
And are installed in the heating device 16 to heat the inside of the device 16.
【００３６】また、このときのカプセル部及びパネル部
の加熱条件は以下の通りとする。なお、このときの加熱
温度は、加熱装置のほぼ中央に設置した熱電対（図示せ
ず）を設けて測定した。The heating conditions of the capsule part and the panel part at this time are as follows. In addition, the heating temperature at this time was measured by providing a thermocouple (not shown) installed substantially in the center of the heating device.
【００３７】加熱温度：２００℃〜３５０℃ 保持時間：約５分 また、この実施例では、加熱温度を２００℃とし、保持
時間を５分とするのが最適である。このような加熱によ
り、パネル１０中に水銀ガスを拡散することができる。Heating temperature: 200 ° C. to 350 ° C. Holding time: about 5 minutes Further, in this embodiment, it is optimum that the heating temperature is 200 ° C. and the holding time is 5 minutes. By such heating, mercury gas can be diffused in the panel 10.
【００３８】次に、加熱装置１６の温度を、室温（約２
５℃）まで一旦下げた後、バルブ２２を閉じておき、バ
ルブ２０を開いてガス導入装置２８から放電ガス（Ｈｅ
−１０体積％Ｘｅ）を流した状態で、バルブ２０を徐々
に開いてパネル１０内に放電ガスを充填する（図１の
（Ｖ）工程）。このとき、放電ガスのガス圧を例えば３
５０Ｔｏｒｒとする。Next, the temperature of the heating device 16 is set to room temperature (about 2
After the temperature is once lowered to 5 ° C., the valve 22 is closed and the valve 20 is opened to discharge the discharge gas (He) from the gas introduction device 28.
The valve 20 is gradually opened with the flow of −10% by volume Xe) to fill the discharge gas into the panel 10 (step (V) in FIG. 1). At this time, the gas pressure of the discharge gas is set to, for example, 3
It is set to 50 Torr.
【００３９】次に、バルブ２０を閉じた後、第１ガラス
管３２及び第２ガラス管４０の気密封着した部分とガラ
スカプセル３０との間の第１ガラス管３２の第２次チッ
プオフ部３４を封じる（図１の（ＶＩ）工程）。このと
きの第１ガラス管３２を封じる方法は、既に述べたガス
バーナによる方法を用いれば良い。Next, after the valve 20 is closed, the secondary tip-off portion of the first glass tube 32 between the glass capsule 30 and the air-sealed portion of the first glass tube 32 and the second glass tube 40. 34 is sealed ((VI) process of FIG. 1). As a method of sealing the first glass tube 32 at this time, the method using the gas burner described above may be used.
【００４０】次に、水銀拡散した後のパネルをエージン
グする（図１の（ＶＩＩ）工程）。このときのエージン
グ条件は、以下の通りとする。Next, the panel after the diffusion of mercury is aged (step (VII) in FIG. 1). The aging conditions at this time are as follows.
【００４１】陰極と陽極との間に電流を流したときの放
電電流：１００μＡ／セル 表示セルを発光するデューテイ比：１／６４ このようなエージング条件で放電波形及び放電電圧を測
定した結果、エージング時間は１０分で放電が安定し
た。Discharge current when current is passed between the cathode and the anode: 100 μA / cell Duty ratio for emitting light from the display cell: 1/64 The discharge waveform and discharge voltage were measured under such aging conditions, and as a result, aging was performed. The discharge was stable in 10 minutes.
【００４２】また、この発明の実施例で作製されたパネ
ル内には、水銀が全域に渡って均一に拡散されるので、
良好な放電特性が得られる。また、真空状態で水銀を拡
散するため、水銀の拡散速度も速くなるので、水銀拡散
に要する時間も短縮できる。したがって、水銀拡散に要
する時間と水銀拡散後のエージングに要する時間とを合
わせた前処理工程時間が大幅に短縮できる。Further, since mercury is uniformly diffused in the entire area in the panel manufactured in the embodiment of the present invention,
Good discharge characteristics can be obtained. Further, since mercury is diffused in a vacuum state, the diffusion rate of mercury is also increased, so that the time required for diffusion of mercury can be shortened. Therefore, the pretreatment process time including the time required for mercury diffusion and the time required for aging after diffusion of mercury can be significantly reduced.
【００４３】また、この実施例では、水銀拡散前のエー
ジングを行った後の水銀拡散工程を大気に曝すことなく
行うことができるので、水銀拡散前のエージング後に従
来のような高温排気をする必要がなくなり、その分、工
程時間も短縮される。Further, in this embodiment, since the mercury diffusion step after the aging before the diffusion of mercury can be performed without exposing to the atmosphere, it is necessary to perform the conventional high temperature exhaust after the aging before the diffusion of mercury. Is eliminated, and the process time is shortened accordingly.
【００４４】また、パネル内に水銀を充填してあるの
で、パネルの長寿命化が期待できる。Further, since the panel is filled with mercury, the life of the panel can be expected to be extended.
【００４５】また、この発明の実施例では、水銀拡散時
の真空度を１×１０-6Ｔｏｒｒとしたが、この真空度に
なんら限定されるものではなく、例えば１Ｔｏｒｒであ
っても何ら支障はない。Further, in the embodiment of the present invention, the degree of vacuum during diffusion of mercury is set to 1 × 10 -6 Torr, but the degree of vacuum is not limited to this, and even if it is 1 Torr, there is no problem. Absent.
【００４６】また、この実施例では、水銀拡散前のエー
ジングを行った後のパネル内のガス排気を行うとき、一
旦、第１ガラス管の第１次チップオフ部を封じ、その
後、この封じた部分を破壊してガス排気した。しかし、
この方法に何ら限定されるものではなく、例えばブース
タ管を加熱装置の中に設置しておき、排気系及びガス充
填系につながった状態で、まず、パネルに放電ガスを充
填してエージングを行い、その後パネル内部の排気を行
って水銀拡散を行っても良い。Further, in this embodiment, when the gas in the panel after the aging before the diffusion of mercury was exhausted, the primary tip-off portion of the first glass tube was temporarily sealed, and then this sealing was performed. The part was destroyed and gas was exhausted. But,
This method is not limited in any way.For example, a booster tube is installed in a heating device, and in a state where it is connected to an exhaust system and a gas filling system, first, a panel is filled with a discharge gas to perform aging. After that, the mercury may be diffused by exhausting the inside of the panel.
【００４７】[0047]
【発明の効果】上述した説明から明らかなように、この
発明では、水銀の拡散を行う際に、パネル内部を大気に
さらさない条件の下で、真空状態でパネル内を加熱して
水銀を拡散させることができるので、従来に比べ水銀拡
散時間及び水銀拡散後にエージング時間が大幅に短縮で
きる。また、ガス放電パネル内に水銀を充填してあるの
で、ガス放電パネルの長寿命化が実現できる。As is apparent from the above description, according to the present invention, when diffusing mercury, the inside of the panel is heated in a vacuum state to diffuse the mercury under the condition that the inside of the panel is not exposed to the atmosphere. Therefore, the mercury diffusion time and the aging time after the mercury diffusion can be significantly shortened as compared with the conventional case. Further, since the gas discharge panel is filled with mercury, the life of the gas discharge panel can be extended.
【図１】この発明の実施例による水銀拡散方法を説明す
るために供する工程フローチャート図である。FIG. 1 is a process flow chart provided for explaining a mercury diffusion method according to an embodiment of the present invention.
【図２】この発明のガス導入、排気及び水銀拡散に用い
る装置構成を概略的に説明するために供する装置図であ
る。FIG. 2 is an apparatus diagram provided for schematically explaining the apparatus configuration used for gas introduction, exhaust and mercury diffusion of the present invention.
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）は、この発明のブースタ管構
造及び水銀拡散方法を説明するために供する工程図であ
る。3 (A) and 3 (B) are process drawings provided for explaining a booster tube structure and a mercury diffusion method of the present invention.
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、図３の（Ｂ）に続く、こ
の発明の工程図である。4A and 4B are process diagrams of the present invention following FIG. 3B.
【図５】図４の（Ｂ）に続く、この発明の工程図であ
る。FIG. 5 is a process drawing of the present invention following FIG. 4 (B).
１０：ガス放電パネル １２：試料台 １４：ブースタ管部 １６：加熱装置 １８：配管 ２０、２２、２４：バルブ ２６：真空排気装置 ２８：ガス導入装置 ３０：ガラスカプセル ３２：第１ガラス管 ３２ａ、３２ｃ：チップオフ先端部 ３２ｂ：開口部 ３３：第１次チップオフ部 ３４：第２次チップオフ部 ３６：ゲッター保持金具 ３８：水銀ゲッター ４０：第２ガラス管 ４０ａ：開口端 ４２：第３ガラス管 ４２ａ：開口端 ４４：接続部 ４６：振動体 ４８：電磁石 10: Gas discharge panel 12: Sample stand 14: Booster pipe part 16: Heating device 18: Piping 20, 22, 24: Valve 26: Vacuum exhaust device 28: Gas introduction device 30: Glass capsule 32: First glass pipe 32a, 32c: Tip off tip 32b: Opening 33: Primary tip off 34: Secondary tip off 36: Getter holding metal 38: Mercury getter 40: Second glass tube 40a: Open end 42: Third glass Tube 42a: Open end 44: Connection part 46: Vibrating body 48: Electromagnet
Claims (4)
めの初期エージング後に前記ガス放電パネルの放電を安
定化するための安定化エージングを行うためにブースタ
管を用いて前記ガス放電パネル内に水銀を拡散するに当
たり、 前記初期エージングと前記安定化エージングとの間は前
記ガス放電パネル内を大気に曝さない条件の下で、前記
ガス放電パネル内を真空状態にして前記水銀拡散を行う
ことを特徴とするガス放電パネルの水銀拡散方法。1. Diffusion of mercury into the gas discharge panel using a booster tube for stabilizing aging for stabilizing discharge of the gas discharge panel after initial aging for cleaning the inside of the gas discharge panel. In doing so, between the initial aging and the stabilizing aging, under the condition that the inside of the gas discharge panel is not exposed to the atmosphere, the inside of the gas discharge panel is vacuumed to perform the mercury diffusion. Method for diffusing mercury in gas discharge panel.
当たり、 （ａ）水銀ゲッターを収納したガラスカプセルと、該カ
プセルに連結された第１ガラス管と、該第１ガラス管の
外径より大きい内径を有しかつ一端側を該第１ガラス管
の外周に気密封着した第２ガラス管とからなる２重構造
のブースタ管を、前記パネル内により前記ガス放電パネ
ルに連通接続する工程と、 （ｂ）前記第１ガラス管を介して前記ガス放電パネルに
放電ガスを充填した後、前記第１ガラス管の、前記第２
ガラス管の開口端側を封じてエージングを行う工程と、 （ｃ）その後、前記第２ガラス管の前記開口端側から該
第２ガラス管内を真空排気した後、前記第１ガラス管の
封じた部分を破壊して前記ガス放電パネル内を真空排気
する工程と、 （ｄ）前記水銀ゲッターを加熱し、該水銀ゲッターの水
銀を取り出し、真空状態で加熱処理して前記ガス放電パ
ネル内に水銀を拡散する工程と、 （ｅ）その後、前記ガス放電パネル内に放電ガスを充填
する工程と、 （ｆ）前記第１ガラス管及び前記第２ガラス管の前記気
密封着した部分と前記ガラスカプセルとの間の当該第１
ガラス管の領域部分を封じる工程と、 （ｇ）その後、前記ガス放電パネルのエージングを行う
工程とを含むことを特徴とするガス放電パネルの水銀拡
散方法。2. When diffusing mercury in a gas discharge panel, (a) a glass capsule containing a mercury getter, a first glass tube connected to the capsule, and an outer diameter larger than the outer diameter of the first glass tube. Connecting a booster tube having a double structure, which has an inner diameter and one end side of which is hermetically sealed to the outer periphery of the first glass tube, to the gas discharge panel in the panel, (B) After filling the gas discharge panel with a discharge gas through the first glass tube, the second glass of the first glass tube
A step of sealing the opening end side of the glass tube and performing aging; and (c) thereafter, evacuating the inside of the second glass tube from the opening end side of the second glass tube, and then sealing the first glass tube. A step of evacuating the inside of the gas discharge panel by destroying a portion, and (d) heating the mercury getter, taking out the mercury of the mercury getter, and subjecting it to heat treatment in a vacuum state to remove the mercury in the gas discharge panel A step of diffusing, (e) a step of thereafter filling a discharge gas in the gas discharge panel, and (f) a hermetically sealed portion of the first glass tube and the second glass tube and the glass capsule. The first between
A method for diffusing mercury in a gas discharge panel, comprising: a step of sealing a region part of a glass tube; and (g) a step of aging the gas discharge panel.
拡散方法において、 前記（ｄ）工程の前記水銀ゲッターを、高周波加熱によ
って加熱することを特徴とするガス放電パネルの水銀拡
散方法。3. The mercury diffusion method for a gas discharge panel according to claim 1, wherein the mercury getter in the step (d) is heated by high frequency heating.
拡散方法において、 前記（ｄ）工程の前記加熱温度を、２００℃〜３５０℃
の範囲内の温度とすることを特徴とするガス放電パネル
の水銀拡散方法。4. The mercury diffusion method for a gas discharge panel according to claim 1, wherein the heating temperature in the step (d) is 200 ° C. to 350 ° C.
A method for diffusing mercury in a gas discharge panel, characterized in that the temperature is within the range.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6264171A JPH08129959A (en) | 1994-10-27 | 1994-10-27 | Mercury diffusing method of gas discharge panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6264171A JPH08129959A (en) | 1994-10-27 | 1994-10-27 | Mercury diffusing method of gas discharge panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08129959A true JPH08129959A (en) | 1996-05-21 |
Family
ID=17399449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6264171A Withdrawn JPH08129959A (en) | 1994-10-27 | 1994-10-27 | Mercury diffusing method of gas discharge panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08129959A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103311070A (en) * | 2013-06-19 | 2013-09-18 | 家雄灯饰（濮阳）有限公司 | Mercury diffusing device for tubes of spiral energy-saving lamps |
-
1994
- 1994-10-27 JP JP6264171A patent/JPH08129959A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103311070A (en) * | 2013-06-19 | 2013-09-18 | 家雄灯饰（濮阳）有限公司 | Mercury diffusing device for tubes of spiral energy-saving lamps |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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