JPH08236020A - Manufacture of filter pattern - Google Patents

Manufacture of filter pattern

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Publication number
JPH08236020A
JPH08236020A JP7327747A JP32774795A JPH08236020A JP H08236020 A JPH08236020 A JP H08236020A JP 7327747 A JP7327747 A JP 7327747A JP 32774795 A JP32774795 A JP 32774795A JP H08236020 A JPH08236020 A JP H08236020A
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JP
Japan
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pigment
layer
pigment layer
substrate
pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP7327747A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuzo Matsuda
秀三 松田
Takeo Ito
武夫 伊藤
Tomoko Nakazawa
知子 中澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP7327747A priority Critical patent/JPH08236020A/en
Publication of JPH08236020A publication Critical patent/JPH08236020A/en
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PURPOSE: To easily manufacture a filter pattern by applying rinse treatment to remove the second pigment layer formed on the first pigment layer obtained by means of exposure-hardening-treatment, by using a pigment solution containing an adhesion controlling agent at least in one part. CONSTITUTION: A silica or aluminosilane film is formed in a whole surface of a glass substrate 1. A photoabsorptive layer 2 of prescribed pattern of graphite particle is formed on this substrate 1. Next on this layer, after applying a blue pigment dispersed solution dried, exposure hardening and rinsing is performed through a color select filter, to form a blue color pigment layer 3. Then, by using a green color pigment dispersed solution, a green color pigment layer 5 is formed by means of exposure hardening and rinse treatment. A red color pigment dispersed solution is applied to be dried to form a red color pigment layer 6 on this substrate 1. Here, in each pigment dispersed solution, an adhesion controlling agent of silica, Li-silicate, alumina, etc., of 0.1μm or less grain size is contained. Next, by rinse treatment, each color pigment layer 3, 5, 6 of prescribed pattern is obtained. Thereafter, each color fluorescent material layer 7 to 9 is provided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は例えば2層構造を
有するフィルター付き蛍光体層におけるフィルターパタ
ーンの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a filter pattern in a phosphor layer with a filter having a two-layer structure, for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】陰極線管やカラー受像機のフェースプレ
ート内面には赤、青、緑色をしたドット状やストライプ
状等の蛍光体層が形成されている。この蛍光体層に電子
ビームが衝突することにより、蛍光体層が発光して画像
表示がなされる。コントラストや色純度等の画像表示特
性を向上させるために、従来より蛍光体層の改善がなさ
れている。例えば、フェースプレートと蛍光体層との間
に、蛍光体層の発光色と同色の体色を持つ顔料層を設け
るフィルター付き蛍光体層がある。このフィルター付き
蛍光体層は、入射した外光のうち赤色顔料は緑や青成分
の光を、青色顔料は緑や赤成分の光を、緑色顔料は青や
赤成分の光を選択的に、それぞれ吸収するためコントラ
ストや色純度が向上する。
2. Description of the Related Art A red, blue, green dot-shaped or stripe-shaped phosphor layer is formed on the inner surface of a face plate of a cathode ray tube or a color image receiver. When the electron beam collides with the phosphor layer, the phosphor layer emits light to display an image. In order to improve image display characteristics such as contrast and color purity, the phosphor layer has been conventionally improved. For example, there is a phosphor layer with a filter in which a pigment layer having a body color similar to the emission color of the phosphor layer is provided between the face plate and the phosphor layer. The filter-attached phosphor layer selectively selects the green or blue component light for the red pigment, the green or red component light for the blue pigment, and the blue or red component light for the green pigment among the incident external light. Since they are absorbed respectively, the contrast and color purity are improved.

【0003】このフィルター付き蛍光体層の製造方法
は、例えば特開平5−275008号公報に示されてい
る。この従来例は、レジストを塗布・所定位置以外を露
光しレジストのパターンをつけ、その上に顔料液を塗布
した後、酸分解によりレジストとその上の顔料層を剥離
して所定位置に顔料パターンを得る方法を利用して、各
色の顔料層を得ている。
A method for manufacturing the phosphor layer with a filter is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-275008. In this conventional example, a resist is applied and a pattern other than a predetermined position is exposed to form a resist pattern, and then a pigment liquid is applied thereon, and then the resist and the pigment layer on the resist are peeled off by acid decomposition to remove the pigment pattern at a predetermined position. Is used to obtain the pigment layer of each color.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来例には、レジストのパターンを各色の顔料層を得るご
とに形成する必要があり、工程数が多く、より簡単にフ
ィルターパターンを製造することが望まれる。
However, in this conventional example, it is necessary to form a resist pattern each time a pigment layer of each color is obtained, and the number of steps is large, and a filter pattern can be manufactured more easily. desired.

【0005】また、顔料層を形成する方法として例えば
特開平5−275007号公報に示されているように、
ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリド
ン(PVP)等の水溶性高分子と重クロム酸アンモニウ
ム(ADC)、ジアゾニウム塩等の架橋剤とを混ぜた顔
料分散液を塗布し、露光及び温水による現像を行って所
定パターンの顔料層を得ることも考えられる。
Further, as a method of forming a pigment layer, as disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 275007/1993,
A pigment dispersion prepared by mixing a water-soluble polymer such as polyvinyl alcohol (PVA) or polyvinylpyrrolidone (PVP) with a crosslinking agent such as ammonium dichromate (ADC) or a diazonium salt is applied, and exposure and development with warm water are performed. It is also conceivable that a pigment layer having a predetermined pattern is obtained.

【0006】しかしながら、この方法も、各色の顔料層
を得るごとに、所定のパターンでの露光・現像を繰り返
すことになるため、前述の従来例と同様の問題をかかえ
ていた。この発明はこのような課題に対処するためにな
されたもので、より簡単な工程によるフィルターパター
ンの製造方法を提供することを目的とする。
However, this method also has the same problem as the above-mentioned conventional example because the exposure and development with a predetermined pattern are repeated each time a pigment layer of each color is obtained. The present invention has been made to address such a problem, and an object thereof is to provide a method for manufacturing a filter pattern by simpler steps.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明は、基板上に第
1の顔料粒子を含む溶液を塗布乾燥し、所定のパターン
に露光して硬化させた後に現像して第1の顔料層のパタ
ーンを形成する第1の工程と、第2の顔料粒子を含む溶
液を基板及びパターン上に塗布乾燥する第2の工程とを
備えたフィルターパターンの製造方法についてのもので
あり、第1の顔料粒子を含む溶液と第2の顔料粒子を含
む溶液の少なくとも一方に付着力調整剤を含ませてお
り、第2の工程の後にリンスして、パターン上の第2の
顔料層を除去することにより、第1及び第2の顔料層を
形成する工程を備えている。
According to the present invention, a solution containing first pigment particles is applied and dried on a substrate, exposed to a predetermined pattern, cured, and then developed to develop a pattern of the first pigment layer. And a second step of coating and drying a solution containing second pigment particles on a substrate and a pattern, the first pigment particles At least one of the solution containing and the solution containing the second pigment particles contains an adhesiveness adjusting agent, and rinsed after the second step to remove the second pigment layer on the pattern, The method includes a step of forming first and second pigment layers.

【0008】この発明に係わる顔料は、無機系及び有機
系のいずれの顔料も使用することができる。特に、フィ
ルター層中に均一に分散でき、光の散乱を起こすことな
くフィルター層が充分な透明性を有することのできる顔
料が好ましい。
The pigment according to the present invention may be either an inorganic pigment or an organic pigment. Particularly preferred is a pigment that can be uniformly dispersed in the filter layer and can have sufficient transparency in the filter layer without causing light scattering.

【0009】具体的な例として以下の顔料を例示するこ
とができる。無機系では、赤の顔料として、酸化第二鉄
系である商品名シコトランスレッドL−2817(粒子
径0.01〜0.02μm、BASF社製)、アンスラ
キノン系である商品名クロモファータルレッドA2B
(粒子径0.01μm、チバガイギー社製)、青の顔料
として、アルミン酸コバルト(Al23 −CoO)系
である商品名コバルトブルーX(粒子径0.01〜0.
02μm、東洋顔料社製)、群青系である商品名群青N
o.8000(粒子径0.3μm、第一化成社製)、フ
タロシアニンブルー系である商品名リオノールブルーF
G−7370(粒子径0.01μm、東洋インキ社
製)、緑の顔料として、TiO2 −NiO−CoO−Z
nO系である商品名ダイピロキサイドTM−グリーン#
3320(粒子径0.01〜0.02μm、大日精化社
製)、CoO−Al23 −Cr23−TiO2 系で
ある商品名ダイピロキサイドTM−グリーン#3340
(粒子径0.01〜0.02μm、大日精化社製)、C
oO−Al23 −Cr23 系である商品名ダイピロ
キサイドTM−グリーン#3420(粒子径0.01〜
0.02μm、大日精化社製)、Cr23 系である商
品名ND−801(粒子径0.35μm、日本電工社
製)、塩素化フタロシアニングリーン系である商品名フ
ァーストゲングリーンS(粒子径0.01μm、大日本
インキ社製)、臭素化フタロシアニングリーン系である
商品名ファーストゲングリーン2YK(粒子径0.01
μm、大日本インキ社製)を例示することができる。
The following pigments can be given as specific examples. In the inorganic type, as red pigments, ferric oxide type trade name Sicotrans Red L-2817 (particle diameter 0.01 to 0.02 μm, manufactured by BASF), anthraquinone type trade name Chromophartal Red A2B
(Particle diameter 0.01 μm, manufactured by Ciba Geigy), and as a blue pigment, cobalt aluminate (Al 2 O 3 —CoO) -based cobalt cobalt X (particle diameter 0.01 to 0.
02 μm, manufactured by Toyo Pigment Co., Ltd.)
o. 8000 (particle size 0.3 μm, manufactured by Daiichi Kasei Co., Ltd.), phthalocyanine blue-based product name Rionol Blue F
G-7370 (particle diameter 0.01 μm, manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.), as a green pigment, TiO 2 —NiO—CoO—Z
Product name of nO type Dipiroxide TM-Green #
3320 (particle size 0.01 to 0.02 μm, manufactured by Dainichiseika Co., Ltd.), CoO—Al 2 O 3 —Cr 2 O 3 —TiO 2 system, trade name Dipyroxide TM-Green # 3340.
(Particle diameter 0.01 to 0.02 μm, manufactured by Dainichiseika Co., Ltd.), C
oO-Al 2 O 3 is a -Cr 2 O 3 system product name die Piroki side TM- Green # 3420 (particle diameter: 0.01
0.02 μm, manufactured by Dainichiseika Co., Ltd., Cr 2 O 3 type trade name ND-801 (particle size 0.35 μm, manufactured by Nippon Denko KK), chlorinated phthalocyanine green type trade name First Gen Green S ( Particle diameter 0.01 μm, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., brominated phthalocyanine green type trade name Fastgen Green 2YK (particle diameter 0.01)
μm, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.).

【0010】有機系では、赤の顔料として、アゾレーキ
系である商品名レーキレッドC(大日精化社製)、青の
顔料として、銅フタロシアニン系である商品名ファスト
ゲンプルーGNPS(大日本インキ社製)、緑の顔料と
して、塩素臭素化銅フタロシアニン系である商品名リオ
ノールグリーン2Y−301(東洋インキ社製)を例示
することができる。
Among the organic pigments, the red pigment is the azo lake type trade name Lake Red C (manufactured by Dainichiseika Co., Ltd.), and the blue pigment is the copper phthalocyanine type trade name Fast Genpur GNPS (Dainippon Ink and Chemicals Co., Ltd.). As a green pigment, there can be exemplified a chlorine-brominated copper phthalocyanine-based product name, Rionol Green 2Y-301 (manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.).

【0011】この顔料を、これを分散させるための分散
剤、付着力調整剤、フォトレジスト及び純水とともに混
合撹拌することにより、顔料層を形成する分散液が得ら
れる。なお、純水中に5重量%以下であれば、水溶性の
有機溶媒例えばアルコール等を含ませることができる。
By mixing and stirring this pigment with a dispersant for dispersing the pigment, an adhesion control agent, a photoresist and pure water, a dispersion liquid for forming a pigment layer can be obtained. If the pure water is 5% by weight or less, a water-soluble organic solvent such as alcohol can be included.

【0012】分散剤の例として、アニオン系ナトリウム
塩分散剤、アニオン系アンモニウム塩分散剤及びノニオ
ン系分散剤等がある。アニオン系ナトリウム塩分散剤と
しては、アクリル系、アクリル−スチレン系、アクリル
共重合物、ポリカルボン酸型、ナフタレンスルホン酸ホ
ルマリン縮合物等がある。具体例としては、アクリル系
として、ディスペックN−40(アライド・コロイド社
製)、高分子ポリカルボン酸型として、デモールEP
(花王社製)、ポイズ520(花王社製)、ナフタレン
スルホン酸ホルマリン縮合物として、デモールN(花王
社製)、特殊芳香族スルホン酸ホルマリン縮合物とし
て、デモールMS(花王社製)、オクチルフォスフェー
トモノエタノールアミノ塩として、エレノンNo.19
Mが挙げられる。アニオン系アンモニウム塩分散剤とし
ては、アクリル系、アクリル−スチレン系、アクリル共
重合物、ポリカルボン酸型、ポリオキシエチレンアルキ
ルエーテルサルフェート等がある。具体例としては、ア
クリル系として、ディスペックA−40(アライド・コ
ロイド社製)、高分子ポリカルボン酸型として、ディス
コートN−14(第一工業製薬社製)、ポリオキシエチ
レンアルキルエーテルサルフェートのアンモニウム塩と
してハイテノール08(第一工業製薬社製)、縮合ナフ
タレンスルホン酸として、Lomer PWA(サンノ
ブコ社製)が挙げられる。ノニオン系分散剤として、ポ
リオキシエチレンラウリエーテル、ポリオキシエチレン
誘導体、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、ポリ
オキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエ
チレンソルビタンモノラウレート等が挙げられる。具体
例としては、ノイゲンEA−140(第一工業製薬社
製)、エマルゲン106(花王社製)、レオドールTW
−L120(花王社製)がある。
Examples of dispersants include anionic sodium salt dispersants, anionic ammonium salt dispersants, and nonionic dispersants. Examples of the anionic sodium salt dispersant include acrylic type, acrylic-styrene type, acrylic copolymer, polycarboxylic acid type, and naphthalenesulfonic acid formalin condensate. As a specific example, as an acrylic type, Despec N-40 (manufactured by Allied Colloid Co., Ltd.), and as a polymer polycarboxylic acid type, Demol EP
(Manufactured by Kao), Poise 520 (manufactured by Kao), Naphthalenesulfonic acid formalin condensate, Demol N (manufactured by Kao), Special aromatic sulfonic acid formalin condensate, Demol MS (manufactured by Kao), Octylphos As Fate Monoethanol amino salt, Elenone No. 19
M is mentioned. Examples of the anionic ammonium salt dispersant include acrylic type, acrylic-styrene type, acrylic copolymer, polycarboxylic acid type, and polyoxyethylene alkyl ether sulfate. As a specific example, as the acrylic type, Despec A-40 (manufactured by Allied Colloid), as the high-molecular polycarboxylic acid type, DISCOTE N-14 (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.), polyoxyethylene alkyl ether sulfate. Examples of the ammonium salt include Hitenol 08 (manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.), and condensed naphthalene sulfonic acid includes Lomer PWA (manufactured by San Nobuco). Examples of nonionic dispersants include polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene derivatives, polyoxyalkylene alkyl ethers, polyoxyethylene nonylphenyl ethers, and polyoxyethylene sorbitan monolaurate. Specific examples thereof include Neugen EA-140 (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.), Emulgen 106 (manufactured by Kao Corporation), and Leodol TW.
-L120 (manufactured by Kao Corporation) is available.

【0013】付着力調整剤の例として、微粒子シリカ、
Li−シリケート、微粒子アルミナ等があり、固形分で
10〜60重量%添加すればよい。また、微粒子シリカ
と微粒子アルミナについては、粒子径0.1μm以下と
することが望ましい。
As an example of the adhesion control agent, fine particle silica,
There are Li-silicate, fine particle alumina, and the like, and the solid content may be added in an amount of 10 to 60% by weight. Further, it is desirable that the particle diameter of the fine particle silica and the fine particle alumina be 0.1 μm or less.

【0014】フォトレジストとしては、重クロム酸アン
モニウム(ADC)/ポリビニルアルコール(PV
A)、重クロム酸ナトリウム(SDC)/PVA、ジア
ゾニウム塩等/PVA、スチゾバル系、ADC/カゼイ
ン等の水溶性フォトレジスト各種を使用できる。
As the photoresist, ammonium dichromate (ADC) / polyvinyl alcohol (PV
A), various types of water-soluble photoresists such as sodium dichromate (SDC) / PVA, diazonium salts, etc./PVA, stizobal, ADC / casein, etc. can be used.

【0015】分散剤に分散させる顔料濃度は、0.1重
量%〜50重量%、好ましくは1重量%〜50重量%の
範囲である。顔料濃度が0.1重量%未満であると、顔
料層の着色が認められなくなる。1重量%を超えると、
より明瞭に着色が認められる。また、50重量%を超え
ると、分散液の粘度が急激に増加してしまうため、均一
な膜が塗布できなくなる。
The concentration of the pigment dispersed in the dispersant is in the range of 0.1% by weight to 50% by weight, preferably 1% by weight to 50% by weight. If the pigment concentration is less than 0.1% by weight, coloring of the pigment layer will not be recognized. If it exceeds 1% by weight,
Coloring is more clearly seen. On the other hand, if it exceeds 50% by weight, the viscosity of the dispersion liquid increases sharply, making it impossible to apply a uniform film.

【0016】次に、顔料層を現像する工程における現像
液及びリンスに用いる液について説明する。現像液及び
リンスに用いる液として、温水又はアルカリ水溶液を好
ましく使用することができる。
Next, the developer used in the step of developing the pigment layer and the solution used for rinsing will be described. Warm water or an aqueous alkali solution can be preferably used as the developer and the rinse solution.

【0017】この発明は、例えばカラーブラウン管パネ
ルにフィルターを形成する場合、以下のような手順でな
される。まず、第1の顔料層の顔料分散液をフェースプ
レート内面に塗布し乾燥する。塗布方法としては、フェ
ースプレート内面を上向き、横向き、下向き等にて塗布
する。顔料分散液の固形分、粘度、塗り方等のパラメー
ターをコントロールし均一な塗布が行えるように選択す
ることができる。塗布方法はスピンコート法以外にも浸
漬法、フローコート法等を用いることができる。均一で
所定の膜厚を得るために、スピンコート法が特に好まし
い。乾燥方法としては、例えば振り切りによる乾燥、ヒ
ーターによる乾燥、熱風による乾燥、ドライエアーによ
る乾燥、室温における長時間の乾燥等があり、これによ
り顔料層を形成することができる。なお、顔料層の形成
前にフェースプレート内面にパターニングされた光吸収
層を形成しておくこともできる。続いて、シャドウマス
クを介して所望のパターンに、例えば高圧水銀灯等を利
用して露光する。その後、フェースプレート内面に現像
液を数秒間浸漬して現像を行う。次に、第2の顔料層の
顔料分散液をフェースプレート内面に塗布し乾燥した
後、例えば水をスプレーしてリンスすることにより、最
終的に第1及び第2の顔料層が完成する。
The present invention is carried out in the following procedure when forming a filter on a color cathode ray tube panel, for example. First, the pigment dispersion liquid of the first pigment layer is applied to the inner surface of the face plate and dried. As a coating method, the inner surface of the face plate is coated upward, sideways, downward, or the like. The parameters such as solid content, viscosity and coating method of the pigment dispersion can be controlled and selected so that uniform coating can be performed. As a coating method, a dipping method, a flow coating method or the like can be used other than the spin coating method. The spin coating method is particularly preferable in order to obtain a uniform and predetermined film thickness. Examples of the drying method include drying by shaking off, drying by a heater, drying by hot air, drying by dry air, and drying at room temperature for a long time. With this, a pigment layer can be formed. It is also possible to form a patterned light absorbing layer on the inner surface of the face plate before forming the pigment layer. Subsequently, a desired pattern is exposed through the shadow mask using, for example, a high pressure mercury lamp. After that, the developing solution is immersed in the inner surface of the face plate for a few seconds to perform development. Next, the pigment dispersion liquid of the second pigment layer is applied to the inner surface of the face plate and dried, and then, for example, water is sprayed and rinsed to finally complete the first and second pigment layers.

【0018】この発明によれば、第2の顔料粒子を含む
溶液を基板上に塗布乾燥した後は、特に、この塗布膜を
所定のパターンに露光することを行わなくても、単なる
リンス処理により第2の顔料層を形成することが可能と
なる。このためには、第2の顔料層の塗布膜と基板との
間及び第2の顔料層の塗布膜と第1の顔料層との間の密
着性に充分な差をつけることが重要である。そこで、発
明者等は種々の実験を繰り返し、次のような点に気付い
た。
According to the present invention, after the solution containing the second pigment particles is applied and dried on the substrate, it is possible to perform a simple rinsing treatment without particularly exposing the applied film to a predetermined pattern. It becomes possible to form the second pigment layer. For this purpose, it is important to provide sufficient differences in adhesion between the coating film of the second pigment layer and the substrate and between the coating film of the second pigment layer and the first pigment layer. . Therefore, the inventors repeated various experiments and noticed the following points.

【0019】基板がガラスのような無機材である場合、
第1及び第2の顔料層の塗布膜の少なくとも一方に付着
力調整剤を含ませることにより、単なるリンス処理によ
る第2の顔料層の塗布膜のパターニングが可能となるこ
とが分かった。付着力調整剤の働きについては、次のよ
うに考えられている。即ち、顔料層中に付着力調整剤を
含ませることにより、顔料層を所定の電荷(例えば微粒
子シリカでは−の電荷、Li−シリケートと微粒子アル
ミナでは+の電荷)にチャージすることができる。一
方、基板も顔料層の形成前にシリカやアミノシランを形
成することにより、所定の電荷(例えばシリカでは−の
電荷、アミノシランでは+の電荷)にチャージすること
ができる。従って、付着力調整剤の働きで、第1及び第
2の顔料層にチャージされる電荷量を所定の値とするこ
とにより、第2の顔料層と基板との間及び第2の顔料層
と第1の顔料層との間の密着性に充分な差をつけること
が可能になる。
When the substrate is an inorganic material such as glass,
It has been found that the coating film of the second pigment layer can be patterned by a simple rinsing treatment by including the adhesiveness adjusting agent in at least one of the coating films of the first and second pigment layers. The function of the adhesion control agent is considered as follows. That is, by including an adhesion control agent in the pigment layer, the pigment layer can be charged to a predetermined charge (for example, negative charge for fine particle silica and positive charge for Li-silicate and fine particle alumina). On the other hand, by forming silica or aminosilane before forming the pigment layer, the substrate can be charged to a predetermined charge (for example, silica has a negative charge and aminosilane has a positive charge). Therefore, by the action of the adhesion control agent, the charge amount charged in the first and second pigment layers is set to a predetermined value, so that the space between the second pigment layer and the substrate and between the second pigment layer and It becomes possible to make a sufficient difference in the adhesiveness with the first pigment layer.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を第1の顔
料層が青色顔料層及び緑色顔料層、第2の顔料層が赤色
顔料層である場合について、図面を参照して説明する。
図1乃至図3はこの発明の一実施例を示す工程図であ
る。まず、図1(a)に示すように、例えばガラスから
なる基板1上の全面にアミノシランからなる膜(図示せ
ず)を形成した後、例えば黒鉛微粒子からなる所定パタ
ーンの光吸収層2を形成する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The details of the present invention will be described below with reference to the drawings in which the first pigment layer is a blue pigment layer and a green pigment layer and the second pigment layer is a red pigment layer.
1 to 3 are process drawings showing an embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 1A, a film (not shown) made of aminosilane is formed on the entire surface of a substrate 1 made of, for example, glass, and then a light absorption layer 2 having a predetermined pattern made of, for example, graphite fine particles is formed. To do.

【0021】次に、青、緑、赤のフィルターを形成する
ための顔料分散液として、次の組成のものを準備した。 <青顔料分散液> 青顔料粒子:アルミン酸コバルト 30重量% (商品名コバルトブルーX(粒子径0.01〜0.02μm、東洋顔料社製) 分散剤:ポリアクリル酸共重合体のアンモニウム塩 0.7重量% (ディスペックGA−40(アライド・コロイド社製)) 付着力調整剤:微粒子シリカ(粒子径0.08μm) 3重量% (スノーテックス(日産化学社製)) フォトレジスト:重クロム酸アンモニウム(ADC)+ ポリビニルアルコール(PVA) 0.5重量% それぞれ純水中に分散 <緑顔料分散液> 緑顔料粒子:TiO2 −NiO−CoO−ZnO 30重量% (商品名ダイピロキサイドTM−グリーン#3320(粒子径0.01〜0.0 2μm、大日精化社製) 分散剤:アクリル酸のナトリウム塩 0.7重量% (ディスペックN−40) 付着力調整剤:微粒子シリカ(粒子径0.08μm) 3重量% (スノーテックス(日産化学社製)) フォトレジスト:ADC+PVA 0.5重量% それぞれ純水中に分散 <赤顔料分散液> 赤顔料粒子:Fe23 の微粒子 20重量% (粒子径0.01〜0.02μm) 分散剤:ポリオキシエチレンアルキルエーテルサルフェートのアンモニウム塩 (ハイテノール08(第一工業製薬社製)) 0.7重量% 付着力調整剤:微粒子シリカ(粒子径0.08μm) 3重量% (スノーテックス(日産化学社製)) フォトレジスト:ADC+PVA 0.5重量% それぞれ純水中に分散 次に、基板1を温度30℃に保持して、図1(b)に示
すように、青色顔料層3の顔料分散液を塗布した。基板
1を100〜300rpmで回転させ、過剰の顔料分散
液を振り切った。ヒーター温度120℃にて3〜4分間
乾燥した。そして、例えば色選別電極4を介して、高圧
水銀灯を用いて図1(c)に示すように、所定のパター
ンに露光した。続いて、霧状にした例えば水を液圧2〜
10kg/cm2 でスプレーしてリンスすることによ
り、図1(d)に示すように、所定のパターンを有する
青色顔料層3を形成した。
Next, a pigment dispersion having the following composition was prepared as a pigment dispersion for forming blue, green and red filters. <Blue pigment dispersion> Blue pigment particles: Cobalt aluminate 30% by weight (trade name: Cobalt Blue X (particle size 0.01 to 0.02 µm, manufactured by Toyo Pigment Co., Ltd.) Dispersant: ammonium salt of polyacrylic acid copolymer 0.7% by weight (Despec GA-40 (manufactured by Allied Colloid)) Adhesion control agent: Fine particle silica (particle size 0.08 μm) 3% by weight (Snowtex (manufactured by Nissan Chemical Industries)) Photoresist: heavy ammonium chromate (ADC) + polyvinyl alcohol (PVA) 0.5 wt% respectively dispersed in pure water <green pigment dispersion> green pigment particles: TiO 2 -NiO-CoO-ZnO 30 wt% (trade name die Piroki side TM-Green # 3320 (particle diameter 0.01 to 0.02 μm, manufactured by Dainichiseika Co., Ltd.) Dispersant: sodium salt of acrylic acid 0.7% by weight Adhesion control agent: Fine particle silica (particle diameter 0.08 μm) 3% by weight (Snowtex (manufactured by Nissan Kagaku)) Photoresist: ADC + PVA 0.5% by weight Dispersed in pure water <Red Pigment dispersion> Red pigment particles: Fine particles of Fe 2 O 3 20% by weight (particle diameter 0.01 to 0.02 μm) Dispersant: ammonium salt of polyoxyethylene alkyl ether sulfate (Hitenol 08 (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd. 0.7% by weight Adhesion control agent: Fine particle silica (particle diameter 0.08 μm) 3% by weight (Snowtex (manufactured by Nissan Kagaku)) Photoresist: ADC + PVA 0.5% by weight Dispersed in pure water Next, the substrate 1 was kept at a temperature of 30 ° C. and the pigment dispersion liquid of the blue pigment layer 3 was applied as shown in FIG. Then, the excess pigment dispersion was shaken off and dried for 3 to 4 minutes at a heater temperature of 120 ° C. Then, for example, as shown in FIG. Then, the liquid was exposed to a predetermined pattern.
By spraying at 10 kg / cm 2 and rinsing, a blue pigment layer 3 having a predetermined pattern was formed as shown in FIG.

【0022】次に、基板1を温度30℃に保持して、図
2(a)に示すように、緑色顔料層5の顔料分散液を塗
布した。基板1を100〜300rpmで回転させ、過
剰の顔料分散液を振り切った。ヒーター温度120℃に
て3〜4分間乾燥した。そして、例えば色選別電極4を
介して、高圧水銀灯を用いて図2(b)に示すように、
所定のパターンに露光した。続いて、霧状にした例えば
水を液圧2〜10kg/cm2 でスプレーしてリンスす
ることにより、図2(c)に示すように、所定のパター
ンを有する緑色顔料層5を形成した。
Next, the substrate 1 was kept at a temperature of 30 ° C., and as shown in FIG. 2A, the pigment dispersion liquid of the green pigment layer 5 was applied. The substrate 1 was rotated at 100 to 300 rpm to shake off excess pigment dispersion. It was dried at a heater temperature of 120 ° C. for 3 to 4 minutes. Then, as shown in FIG. 2B, for example, using a high pressure mercury lamp through the color selection electrode 4,
It was exposed to a predetermined pattern. Subsequently, atomized water, for example, was sprayed at a liquid pressure of 2 to 10 kg / cm 2 and rinsed to form a green pigment layer 5 having a predetermined pattern as shown in FIG. 2C.

【0023】次に、基板1を温度30℃に保持して、図
3(a)に示すように、赤色顔料層6の顔料分散液を塗
布した。基板1を100〜300rpmで回転させ、過
剰の顔料分散液を振り切った。ヒーター温度120℃に
て3〜4分間乾燥した。そして、例えば霧状にした例え
ば水を液圧2〜10kg/cm2 でスプレーしてリンス
することにより、図3(b)に示すように、所定のパタ
ーンを有する赤色顔料層6を形成した。
Next, the substrate 1 was kept at a temperature of 30 ° C., and the pigment dispersion liquid of the red pigment layer 6 was applied as shown in FIG. The substrate 1 was rotated at 100 to 300 rpm to shake off excess pigment dispersion. It was dried at a heater temperature of 120 ° C. for 3 to 4 minutes. Then, for example, atomized water was sprayed at a liquid pressure of 2 to 10 kg / cm 2 and rinsed to form a red pigment layer 6 having a predetermined pattern as shown in FIG. 3B.

【0024】こうして、基板1上に青色顔料層3、緑色
顔料層5及び赤色顔料層6からなる顔料層を得た。この
実施例では、基板1上の全面にアミノシランからなる膜
を形成し且つ青色顔料層3、緑色顔料層5及び赤色顔料
層6に微粒子シリカを含ませることにより、基板1は+
の電荷、青色顔料層3、緑色顔料層5及び赤色顔料層6
は−の電荷にチャージする。この結果、赤色顔料層6と
基板1との間の付着力が赤色顔料層6と青色顔料層3及
び緑色顔料層5との間の付着力に比べて充分に大きくな
って、リンス処理により青色顔料層3及び緑色顔料層5
上の赤色顔料層6は完全にリンスされ、図4に示すよう
に、基板1上の青色顔料層3及び緑色顔料層5が位置し
ている部分以外は赤色顔料層6で覆われる。従って、従
来から必要であった赤色顔料層6の形成の際の露光工程
が不要になり、フィルターの製造工程を簡略化すること
ができた。
Thus, a pigment layer consisting of the blue pigment layer 3, the green pigment layer 5 and the red pigment layer 6 was obtained on the substrate 1. In this example, by forming a film made of aminosilane on the entire surface of the substrate 1 and incorporating fine particle silica into the blue pigment layer 3, the green pigment layer 5 and the red pigment layer 6, the substrate 1 is
Charge, blue pigment layer 3, green pigment layer 5 and red pigment layer 6
Charges to the negative charge. As a result, the adhesive force between the red pigment layer 6 and the substrate 1 becomes sufficiently larger than the adhesive force between the red pigment layer 6, the blue pigment layer 3 and the green pigment layer 5, and the blue color is obtained by the rinsing process. Pigment layer 3 and green pigment layer 5
The upper red pigment layer 6 is completely rinsed, and is covered with the red pigment layer 6 except the portions where the blue pigment layer 3 and the green pigment layer 5 are located on the substrate 1, as shown in FIG. Therefore, the exposure process for forming the red pigment layer 6 which has been conventionally required is not necessary, and the filter manufacturing process can be simplified.

【0025】次に、通常の方法により、図3(c)に示
すように青色蛍光体層7、緑色蛍光体層8及び赤色蛍光
体層9をそれぞれ青色顔料層3、緑色顔料層5及び赤色
顔料層6と対応するように形成した。
Next, as shown in FIG. 3C, the blue phosphor layer 7, the green phosphor layer 8 and the red phosphor layer 9 are respectively replaced by a conventional method with the blue pigment layer 3, the green pigment layer 5 and the red pigment layer 5, respectively. It was formed so as to correspond to the pigment layer 6.

【0026】こうして、基板1上に顔料層及び蛍光体層
を有する所望のフィルター付き蛍光体層が得られ、これ
を用いたカラーブラウン管はコントラストや色純度が優
れたものとなる。また、フィルターパターンが所定の位
置、例えば青蛍光体層が形成されるべき位置に対応して
青フィルターを形成し、他色の位置には青フィルターの
顔料が残渣として残ることがなく、混色がなく色純度特
性の優れたフィルターとなる。
In this way, a desired phosphor layer with a filter having a pigment layer and a phosphor layer on the substrate 1 is obtained, and a color cathode ray tube using this is excellent in contrast and color purity. Further, the filter pattern forms a blue filter corresponding to a predetermined position, for example, a position where the blue phosphor layer is to be formed, and the pigment of the blue filter does not remain as a residue at the position of another color, resulting in a mixed color. The filter has excellent color purity characteristics.

【0027】この発明の効果が得られる他の実施例を挙
げれば、 (a)基板1上にアミノシランからなる膜を形成した場
合 青顔料分散液と緑顔料分散液には付着力調整剤を含ま
せず、赤顔料分散液にのみ微粒子シリカを含ませる (b)基板1上にシリカからなる膜を形成した場合 青顔料分散液、緑顔料分散液及び赤顔料分散液にLi
−シリケート或いは微粒子アルミナを含ませる 青顔料分散液と緑顔料分散液には付着力調整剤を含ま
せず、赤顔料分散液にのみLi−シリケート或いは微粒
子アルミナを含ませる なお、今までの実施例では、顔料層における第1の顔料
層を青色顔料層及び緑色顔料層、第2の顔料層を赤色顔
料層としていたがこれに限られず、第2の顔料層は青色
顔料層或いは緑色顔料層のうちのいずれかであってもよ
いことは言うまでもない。また、この発明は、液晶表示
素子用カラーフィルター等にも適用することが可能であ
る。更に、各顔料層のパターニングに際し、霧状にした
水をスプレーする前に、基板を例えばアルカリ現像液に
浸漬することにより、各顔料層の不要部の剥離をより確
実に行うことができる。
Other examples in which the effects of the present invention can be obtained are as follows: (a) When a film made of aminosilane is formed on the substrate 1 The blue pigment dispersion liquid and the green pigment dispersion liquid contain an adhesion control agent. Of course, the fine particle silica is included only in the red pigment dispersion (b) When a film made of silica is formed on the substrate 1. The blue pigment dispersion, the green pigment dispersion, and the red pigment dispersion have Li
-Incorporating silicate or fine particle alumina Blue pigment dispersion liquid and green pigment dispersion liquid do not contain an adhesion control agent, and only the red pigment dispersion liquid contains Li-silicate or fine particle alumina. In the above, the first pigment layer in the pigment layer is the blue pigment layer and the green pigment layer, and the second pigment layer is the red pigment layer. However, the present invention is not limited to this, and the second pigment layer may be a blue pigment layer or a green pigment layer. It goes without saying that either of them may be used. Further, the present invention can be applied to a color filter for a liquid crystal display device and the like. Furthermore, when patterning each pigment layer, the unnecessary portion of each pigment layer can be more surely peeled off by immersing the substrate in, for example, an alkali developing solution before spraying atomized water.

【0028】[0028]

【発明の効果】この発明は、第1の顔料粒子を含む溶液
と第2の顔料粒子を含む溶液の少なくとも一方に付着力
調整剤を含ませており、リンス処理で第1の顔料層上の
第2の顔料層を除去することにより、第1及び第2の顔
料層を形成する工程とを備えているので、従来に比べ簡
単な工程で確実に顔料層の所定パターンを得ることがで
きる。
According to the present invention, the adhesiveness modifier is contained in at least one of the solution containing the first pigment particles and the solution containing the second pigment particles, and the rinse treatment is performed on the first pigment layer. Since the step of forming the first and second pigment layers by removing the second pigment layer is provided, it is possible to reliably obtain the predetermined pattern of the pigment layer by a simpler step than in the past.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例における青色顔料層の形成
工程を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a process of forming a blue pigment layer in an example of the present invention.

【図2】この発明の一実施例における緑色顔料層の形成
工程を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a step of forming a green pigment layer in an example of the present invention.

【図3】この発明の一実施例における赤色顔料層の形成
工程を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a step of forming a red pigment layer in one example of the present invention.

【図4】この発明の一実施例における顔料層の形成後の
構造を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing the structure after formation of a pigment layer in one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1……基板 3……青色顔料層 5……緑色顔料層 6……赤色顔料層 1 ... Substrate 3 ... Blue pigment layer 5 ... Green pigment layer 6 ... Red pigment layer

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に第1の顔料粒子を含む溶液を塗
布乾燥し、所定のパターンに露光して硬化させた後に現
像して第1の顔料層のパターンを形成する第1の工程
と、第2の顔料粒子を含む溶液を前記基板及び前記パタ
ーン上に塗布乾燥する第2の工程とを備えたフィルター
パターンの製造方法において、前記第1の顔料粒子を含
む溶液と前記第2の顔料粒子を含む溶液の少なくとも一
方に付着力調整剤を含ませており、前記第2の工程の後
にリンスして、前記パターン上の前記第2の顔料層を除
去することにより、前記第1及び第2の顔料層を形成す
る工程を備えたことを特徴とするフィルターパターンの
製造方法。
1. A first step of forming a pattern of a first pigment layer by applying a solution containing a first pigment particle on a substrate, drying it, exposing it to a predetermined pattern to cure it, and then developing it. And a second step of applying and drying a solution containing second pigment particles on the substrate and the pattern, wherein the solution containing the first pigment particles and the second pigment At least one of the solutions containing particles contains an adhesion modifier, which is rinsed after the second step to remove the second pigment layer on the pattern to remove the first and the second pigment layers. 2. A method of manufacturing a filter pattern, comprising the step of forming the pigment layer of 2.
【請求項2】 請求項1記載のフィルターパターンの製
造方法において、前記基板の全面にはシリカ或いはアミ
ノシランが形成されていることを特徴とするフィルター
パターンの製造方法。
2. The method of manufacturing a filter pattern according to claim 1, wherein silica or aminosilane is formed on the entire surface of the substrate.
【請求項3】 請求項1記載のフィルターパターンの製
造方法において、前記付着力調整剤は粒子径0.1μm
以下の微粒子シリカ、Li−シリケート、粒子径0.1
μm以下の微粒子アルミナのいずれかであることを特徴
とするフィルターパターンの製造方法。
3. The method for producing a filter pattern according to claim 1, wherein the adhesion control agent has a particle diameter of 0.1 μm.
The following fine particle silica, Li-silicate, particle size 0.1
A method for producing a filter pattern, which is one of fine particle alumina having a particle size of not more than μm.
JP7327747A 1994-12-26 1995-12-18 Manufacture of filter pattern Pending JPH08236020A (en)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32206594 1994-12-26
JP6-322065 1994-12-26
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6140758A (en) * 1994-12-26 2000-10-31 Kabushiki Kaisha Toshiba Cathode ray tube with color filter

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6140758A (en) * 1994-12-26 2000-10-31 Kabushiki Kaisha Toshiba Cathode ray tube with color filter

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