JPH08233505A - Spherical-surface measuring apparatus - Google Patents
Spherical-surface measuring apparatusInfo
- Publication number
- JPH08233505A JPH08233505A JP7036848A JP3684895A JPH08233505A JP H08233505 A JPH08233505 A JP H08233505A JP 7036848 A JP7036848 A JP 7036848A JP 3684895 A JP3684895 A JP 3684895A JP H08233505 A JPH08233505 A JP H08233505A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- die
- shaft
- receiving member
- hole
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光学素子であるレンズ
研削・加工の際、光学表面の曲率半径を測定する球面測
定装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spherical surface measuring apparatus for measuring the radius of curvature of an optical surface when grinding and processing a lens which is an optical element.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、レンズの光学表面の曲率半径を測
定する球面測定装置としては、特開平3ー115901
号公報記載の発明がある。上記発明は、図10に示すよ
うに、一体に取り付けられているレンズ受け部材50と
測定子51とはベース部材52にバネ53を介して支持
されている。測定子51には嵌合部51bが設けられ、
その先端には無接触端子51aが設けられている。一
方、ベース部材52には測定子51の嵌合部51bと嵌
合する嵌合穴52aが設けられている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a spherical measuring device for measuring a radius of curvature of an optical surface of a lens, Japanese Patent Laid-Open No. 3-115901 has been known.
There is an invention described in the publication. In the above invention, as shown in FIG. 10, the lens receiving member 50 and the tracing stylus 51, which are integrally mounted, are supported by the base member 52 via the spring 53. The probe 51 is provided with a fitting portion 51b,
A contactless terminal 51a is provided at the tip thereof. On the other hand, the base member 52 is provided with a fitting hole 52a for fitting with the fitting portion 51b of the tracing stylus 51.
【0003】上記構成の装置は、ある一定の圧力でレン
ズ54がレンズ受け部材50に圧接されると、バネ53
が縮んでベース部材52と測定子51とが自由に動く。
これにより、偏心や傾きを有する被測定レンズ54の表
面に倣ってレンズ受け部材50が傾動する。In the apparatus having the above structure, when the lens 54 is pressed against the lens receiving member 50 with a certain pressure, the spring 53
Contracts, and the base member 52 and the tracing stylus 51 move freely.
As a result, the lens receiving member 50 tilts following the surface of the measured lens 54 having eccentricity and inclination.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術においてはレンズ受け部材50が被測定レンズ54の
表面を倣わせるのにバネ53の弾性力を利用している。
しかしながら、被測定レンズ54の偏心や傾きに倣う
際、バネ53には縮みの大きい箇所と小さい箇所とが生
じるため、レンズ受け部材50全周に亘って均一な弾性
力を与えることができなくなる。In the prior art, however, the elastic force of the spring 53 is used for the lens receiving member 50 to follow the surface of the lens 54 to be measured.
However, when following the eccentricity and inclination of the lens to be measured 54, a large contraction portion and a small contraction portion occur in the spring 53, so that it is not possible to apply a uniform elastic force over the entire circumference of the lens receiving member 50.
【0005】従って、レンズ受け部材50は被測定レン
ズ54全面に亘って均一な圧力を与えることができなく
なり、測定値の再現性がでにくくなる。これは、被測定
レズ54の偏心や傾きが大きくなるにつれてその傾向が
顕著に現れる。また、バネ53の老巧化による測定値の
再現性の低下も避けられない。Therefore, the lens receiving member 50 cannot apply a uniform pressure over the entire surface of the lens to be measured 54, and the reproducibility of measured values becomes difficult. This tendency becomes remarkable as the eccentricity or inclination of the measured lesbian 54 increases. Further, deterioration of the reproducibility of the measured value due to the aging of the spring 53 cannot be avoided.
【0006】請求項1の目的は、均一な圧力で誤差なく
測定できる球面測定装置の提供にある。An object of claim 1 is to provide a spherical surface measuring device capable of measuring with a uniform pressure without error.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、位置
決め部を有するベース部材と、軸方向移動により前記位
置決め部に契合する位置決め位置および前記ベース部材
に対しての傾動を許容する位置決め解除位置を取り得る
測定子と、前記測定子へ一体に取り付けられた光学素子
受け部材と、前記測定子を位置決め解除位置から位置決
め位置に復元させる弾性体とからなる球面測定装置にお
いて、前記光学素子受け部材に直交する2軸の各軸方向
へスライド移動および回動する機構を設けたことを特徴
とする球面測定装置である。According to a first aspect of the present invention, there is provided a base member having a positioning portion, a positioning position which engages with the positioning portion by axial movement, and a positioning release which allows tilting with respect to the base member. A spherical measuring device comprising a measuring element that can take a position, an optical element receiving member that is integrally attached to the measuring element, and an elastic body that restores the measuring element from the positioning cancellation position to the positioning position. The spherical measuring device is provided with a mechanism that slides and rotates in two axial directions of two axes orthogonal to the member.
【0008】図1および図2は本発明を示す概念図であ
る。レンズ受け部材1はカップ状をしており、カップの
縁がレンズ面に当接する。レンズ受け部材1の中心部に
は測定子2と嵌合する孔が穿設されており、該孔に嵌合
した測定子2は固定部材15によってレンズ受け部材1
と一体化している。レンズ受け部材1の外周面には中心
軸を通り中心軸と直交する横孔11が貫通している。横
孔11の径は軸受け3をガタなく固定できる径になって
いる。1 and 2 are conceptual views showing the present invention. The lens receiving member 1 has a cup shape, and the edge of the cup contacts the lens surface. The lens receiving member 1 has a hole formed in the center thereof for fitting with the probe 2, and the probe 2 fitted in the hole is fixed by the fixing member 15 to the lens receiving member 1.
It is integrated with. A lateral hole 11 passing through the central axis and orthogonal to the central axis penetrates the outer peripheral surface of the lens receiving member 1. The diameter of the lateral hole 11 is such that the bearing 3 can be fixed without play.
【0009】Xダイ4はレンズ受け部材1の外周近傍に
位置している。Xダイの中心部には測定子2の径よりも
大きな孔が穿設されている。Xダイ4の外周には中心軸
を通り中心軸と直交し、かつ相互にも直交する2つの横
孔12,13が貫通している。この横孔12と13は同
一平面上にある。横孔12は軸16と嵌合し、結合部材
でXダイ4と軸16とは一体化している。軸16はレン
ズ受け部材1の横孔11に固定された軸受け3に嵌合し
ている。横孔13の径は軸受け5をガタなく固定できる
径になっている。The X die 4 is located near the outer periphery of the lens receiving member 1. A hole larger than the diameter of the tracing stylus 2 is formed in the center of the X die. On the outer periphery of the X die 4, two lateral holes 12 and 13 that pass through the central axis, are orthogonal to the central axis, and are also orthogonal to each other. The lateral holes 12 and 13 are on the same plane. The lateral hole 12 is fitted with the shaft 16, and the X die 4 and the shaft 16 are integrated by a connecting member. The shaft 16 is fitted to the bearing 3 fixed to the lateral hole 11 of the lens receiving member 1. The diameter of the lateral hole 13 is such that the bearing 5 can be fixed without play.
【0010】Yダイ6はXダイ4の外周近傍に位置して
いる。Yダイ6の中心部には測定子2の径よりも大きい
孔が穿設されている。Yダイ6の外周には中心軸を通り
中心軸と直交する横孔14が貫通している。横孔14は
軸17と嵌合し、結合部材でYダイ6と軸17は一体化
している。軸17はXダイ4の横孔13に固定された軸
受け5に嵌合している。軸受け9はYダイ6上面に立設
され、シャフト9aは摺動可能になっている。シャフト
9aは固定ダイ8の孔8bと嵌合し、結合部材でシャフ
ト9aと固定ダイ8は一体化している。シャフト9aの
外周にはバネ7が巻回されている。なお、測定子2には
嵌合部2aが設けられている。一方、固定ダイ8には嵌
合部2aと嵌合する嵌合孔8aが設けられている。The Y die 6 is located near the outer periphery of the X die 4. A hole larger than the diameter of the probe 2 is formed in the center of the Y die 6. A lateral hole 14 passing through the central axis and orthogonal to the central axis penetrates the outer periphery of the Y die 6. The lateral hole 14 is fitted to the shaft 17, and the Y die 6 and the shaft 17 are integrated by a connecting member. The shaft 17 is fitted to the bearing 5 fixed to the lateral hole 13 of the X die 4. The bearing 9 is erected on the upper surface of the Y die 6, and the shaft 9a is slidable. The shaft 9a is fitted in the hole 8b of the fixed die 8, and the shaft 9a and the fixed die 8 are integrated by a connecting member. A spring 7 is wound around the outer circumference of the shaft 9a. It should be noted that the probe 2 is provided with a fitting portion 2a. On the other hand, the fixed die 8 is provided with a fitting hole 8a for fitting with the fitting portion 2a.
【0011】[0011]
【作用】上記構成によれば、Yダイ6と固定ダイ8との
間にあるバネ7は軸受け9およびシャフト9aをガイド
として常にYダイ6を下方に付勢し、測定子2の嵌合部
2aを固定ダイ8の嵌合孔8aに嵌合させ、測定子2を
常に同一位置へ位置決めする。また、ある一定圧力で被
測定レンズ10がレンズ受け部材1の縁に圧接される
と、レンズ受け部材1と一体化した測定子2は計測と同
時に上へ持ち上がる。According to the above construction, the spring 7 between the Y die 6 and the fixed die 8 always urges the Y die 6 downward by using the bearing 9 and the shaft 9a as guides, and the fitting portion of the probe 2 is fitted. 2a is fitted in the fitting hole 8a of the fixed die 8, and the probe 2 is always positioned at the same position. Further, when the lens 10 to be measured is pressed against the edge of the lens receiving member 1 with a certain constant pressure, the tracing stylus 2 integrated with the lens receiving member 1 is lifted up simultaneously with the measurement.
【0012】すると、バネ7が縮んで固定ダイ8の嵌合
孔8aに位置決めされていた測定子2の嵌合部2aは離
れるために位置決めが解除され、測定子2は自由に動く
ようになる。つまり、レンズ受け部材1は軸受け3をガ
イドとしてスライド移動および回動する。また、レンズ
受け部材1を支持しているXダイ4は軸受け5をガイド
としてスライド移動および回動する。すなわち、チルト
機構を持ったレンズ受け部材1はレンズ10の曲率面に
倣い、安定した測定が可能となる。Then, the spring 7 is contracted, and the fitting portion 2a of the probe 2 positioned in the fitting hole 8a of the fixed die 8 is released so that the positioning is released and the probe 2 can move freely. . That is, the lens receiving member 1 slides and rotates using the bearing 3 as a guide. Further, the X die 4 supporting the lens receiving member 1 slides and rotates using the bearing 5 as a guide. That is, the lens receiving member 1 having the tilt mechanism follows the curved surface of the lens 10 and stable measurement is possible.
【0013】[0013]
【実施例1】図3から図6は本実施例を示し、図3は分
解斜視図、図4は図3のア−ア横断面図、図5は図4の
A−B−C縦断面図、図6は図4のB−D縦断面図であ
る。[Embodiment 1] FIGS. 3 to 6 show the present embodiment, FIG. 3 is an exploded perspective view, FIG. 4 is a lateral cross sectional view of FIG. 3, and FIG. 5 is a vertical cross sectional view of FIG. 6 and 6 are vertical sectional views taken along the line B-D of FIG.
【0014】球欠リング1aはリング状に形成されてお
り、リングの縁がレンズ面に当接する。球欠リング1a
の外周面にはV溝が設けられ、結合部材19でレンズ受
け部材1に固定されている。レンズ受け部材1の中心部
には、測定子2を嵌合する孔が穿設され、固定部材15
によりレンズ受け部材1と測定子2とは一体化されてい
る。レンズ受け部材1の外周面には中心軸を通り中心軸
と直交する横孔11が貫通している。横孔11の径には
軸受け3がガタなく固定されている。軸受け3は円筒形
をしており、軸16との組み合わせにより回転動とスラ
イド動との両方の機能を有している。The ball lacking ring 1a is formed in a ring shape, and the edge of the ring contacts the lens surface. Missing ring 1a
A V-shaped groove is provided on the outer peripheral surface of and is fixed to the lens receiving member 1 by a coupling member 19. A hole for fitting the tracing stylus 2 is formed in the center of the lens receiving member 1, and the fixing member 15
Thus, the lens receiving member 1 and the tracing stylus 2 are integrated. A lateral hole 11 passing through the central axis and orthogonal to the central axis penetrates the outer peripheral surface of the lens receiving member 1. The bearing 3 is fixed to the diameter of the lateral hole 11 without backlash. The bearing 3 has a cylindrical shape, and has a function of both a rotary motion and a sliding motion by being combined with the shaft 16.
【0015】Xダイ4はレンズ受け部材1の外側に位置
している。Xダイ4の中心部には測定子2の径よりも大
きな孔が穿設されている。Xダイ4の外周には中心軸を
通り中心軸と直交する2つの横孔12,13が貫通して
いる。この横孔12と13は同一平面上で直交する位置
にある。横孔12は軸16と嵌合し、結合部材18でX
ダイ4と軸16とは一体化している。横孔13の径には
軸受け5がガタなく固定されている。軸受け5は円筒形
をしており、軸17との組み合わせにより回転動とスラ
イド動との両方の機能を有している。The X die 4 is located outside the lens receiving member 1. A hole larger than the diameter of the tracing stylus 2 is formed in the center of the X die 4. Two lateral holes 12 and 13 passing through the central axis and orthogonal to the central axis pass through the outer periphery of the X die 4. The lateral holes 12 and 13 are located at right angles on the same plane. The lateral hole 12 is fitted with the shaft 16, and the connecting member 18 makes X
The die 4 and the shaft 16 are integrated. The bearing 5 is fixed to the diameter of the lateral hole 13 without backlash. The bearing 5 has a cylindrical shape, and has a function of both rotating and sliding when combined with the shaft 17.
【0016】Yダイ6はXダイ4の外側に位置してい
る。Yダイ6の中心部には測定子2の径よりも大きな孔
が穿設されている。Yダイ6の外周面には中心軸を通り
中心軸と直交する横孔14が貫通している。横孔14は
軸17と嵌合し、結合部材18でYダイ6と軸17とは
一体化している。軸受け9はYダイ6に固設され、シャ
フト9aは摺動可能になっている。シャフト9aは固定
ダイ8の孔8bと嵌合し、結合部材でシャフト9と固定
ダイ8とは一体化している。シャフト9aの外周にはバ
ネ7が巻回されている。なお、測定子2には嵌合部2a
が設けられている。一方、固定ダイ8には嵌合部2aが
嵌合する嵌合孔8aが設けられている。カバー30は固
定ダイ8のネジ部で固定され、外観美化および軸受けへ
のホコリやゴミ等の侵入を防止している。The Y die 6 is located outside the X die 4. A hole larger than the diameter of the probe 2 is bored in the center of the Y die 6. A lateral hole 14 passing through the central axis and orthogonal to the central axis penetrates the outer peripheral surface of the Y die 6. The lateral hole 14 is fitted with the shaft 17, and the Y die 6 and the shaft 17 are integrated with each other by the connecting member 18. The bearing 9 is fixed to the Y die 6, and the shaft 9a is slidable. The shaft 9a is fitted in the hole 8b of the fixed die 8, and the shaft 9 and the fixed die 8 are integrated by a connecting member. A spring 7 is wound around the outer circumference of the shaft 9a. It should be noted that the probe 2 has a fitting portion 2a.
Is provided. On the other hand, the fixed die 8 is provided with a fitting hole 8a into which the fitting portion 2a is fitted. The cover 30 is fixed by the screw portion of the fixed die 8 to beautify the appearance and prevent dust and dirt from entering the bearing.
【0017】以上の構成からなる装置は、Yダイ6と固
定ダイ8との間にあるバネ7が軸受け9,シャフト9a
をガイドとして常にYダイ6を下方へ付勢し、測定子2
の嵌合部2aを固定ダイ8の嵌合孔8aに嵌合し、測定
子2を常に同一位置に位置決めさせる。また、ある一定
圧力で被測定レンズ10が球欠リング1aの縁に圧接さ
れると、球欠リング1aと一体化した測定子2は圧接さ
れると同時に上へ持ち上がる。In the apparatus having the above structure, the spring 7 between the Y die 6 and the fixed die 8 has a bearing 9 and a shaft 9a.
The Y die 6 is always urged downward by using the
The fitting portion 2a of 1 is fitted into the fitting hole 8a of the fixed die 8 so that the probe 2 is always positioned at the same position. Further, when the lens 10 to be measured is pressed against the edge of the ball lacking ring 1a with a certain constant pressure, the tracing stylus 2 integrated with the ball lacking ring 1a is pressed and simultaneously lifted up.
【0018】この状態ではバネ7が縮み、固定ダイ8の
嵌合孔8aに位置決めされていた測定子2の嵌合部2a
が離れるために位置決めが解除され、測定子2は自由に
動くようになる。すると、レンズ受け部材1は軸受け3
をガイドとしてスライド移動と回動をする。すなわち、
チルト機構を持った球欠リング1aはレンズの曲率面に
倣い、安定した測定が可能となる。測定後は、Yダイ6
を下方に付勢するバネ7により、測定子2の嵌合部2a
は固定ダイ8の嵌合孔8aに嵌合して位置決め状態とな
る。In this state, the spring 7 contracts and the fitting portion 2a of the probe 2 positioned in the fitting hole 8a of the fixed die 8 is positioned.
Is released, the positioning is released, and the probe 2 can move freely. Then, the lens receiving member 1 receives the bearing 3
Using the as a guide, it slides and rotates. That is,
The ball lacking ring 1a having a tilt mechanism follows the curvature surface of the lens, and stable measurement is possible. After measurement, Y die 6
By the spring 7 for urging the downward direction,
Is fitted into the fitting hole 8a of the fixed die 8 and is in a positioning state.
【0019】本実施例によれば、レンズに対してレンズ
受け部材1の偏心および傾きがあっても、球欠リング1
aの下端に倣ってレンズが当接し、均一な圧力で測定誤
差無く計測できる。しかも、転がり軸受けは摩擦抵抗が
少ないため、複合移動に抵抗無く動くことができる。According to the present embodiment, even if the lens receiving member 1 is decentered and tilted with respect to the lens, the ball-missing ring 1 is formed.
The lens comes into contact with the lower end of a and the measurement can be performed with a uniform pressure without a measurement error. Moreover, since the rolling bearing has little frictional resistance, it can move without resistance to compound movement.
【0020】[0020]
【実施例2】図7〜図9は本実施例を示し、図7は要部
横断面図、図8は図7のA−B−C縦断面図、図9は図
7のB−D縦断面図である。本実施例は、前記実施例1
における軸受け3,5および軸16,17を廃止し、代
わりに軸21,25で構成した点が異なり、他の構成は
同一な構成部分からなるもので、同一構成部分には同一
番号を付してその説明を省略する。[Embodiment 2] FIGS. 7 to 9 show the present embodiment, FIG. 7 is a lateral cross-sectional view of a main portion, FIG. 8 is a vertical cross-sectional view taken along the line ABC of FIG. 7, and FIG. FIG. This embodiment is the same as the first embodiment.
The bearings 3 and 5 and the shafts 16 and 17 in FIG. 2 are abolished and replaced by shafts 21 and 25, and the other components are the same components, and the same components are designated by the same reference numerals. And its description is omitted.
【0021】レンズ受け部材1の外周面には中心軸を通
り中心軸と直交する横孔20が貫通している。横孔20
の径は軸21が遊嵌するように形成されている。また、
Xダイ4の外周面には中心軸を通り中心軸と直交する2
つの横孔22,23が貫通している。横孔22と23と
は同一平面上で直交する位置にある。横孔22は軸21
と嵌合し、結合部材18でXダイ4と軸21とは一体化
している。横孔23の径は軸25が遊嵌するように形成
されている。A lateral hole 20 passing through the central axis and orthogonal to the central axis penetrates the outer peripheral surface of the lens receiving member 1. Side hole 20
The diameter of is such that the shaft 21 is loosely fitted. Also,
The outer peripheral surface of the X die 4 passes through the central axis and is orthogonal to the central axis 2
Two lateral holes 22, 23 pass through. The lateral holes 22 and 23 are in a position orthogonal to each other on the same plane. The lateral hole 22 is the shaft 21.
The X die 4 and the shaft 21 are integrated with each other by the connecting member 18. The diameter of the lateral hole 23 is formed so that the shaft 25 is loosely fitted.
【0022】Yダイ6の外周面には中心軸を通り中心軸
と直交する横孔26が貫通している。横孔26は軸25
と嵌合し、結合部材18でYダイ6と軸25とは一体化
している。その他の構成は前記実施例1と同様な構成で
ある。A lateral hole 26 passing through the central axis and orthogonal to the central axis penetrates the outer peripheral surface of the Y die 6. The horizontal hole 26 is the shaft 25
And the Y die 6 and the shaft 25 are integrated by the connecting member 18. The other structure is the same as that of the first embodiment.
【0023】以上の構成からなる装置は、ある一定圧力
で被測定レンズが球欠リング1aの縁に圧接されると、
バネ7が縮んで固定ダイ8の嵌合孔8aに位置決めされ
ていた測定子2の嵌合部2aが離れるため、位置決めが
解除されて測定子2は自由に動くようになる。すると、
レンズ受け部材1は軸21をガイドとしてスライド移動
と回動をする。また、レンズ受け部材1を支持している
Xダイ4は軸25をガイドとしてスライド移動と回動を
する。すなわち、チルト機構を持った球欠リング1aは
レンズの曲率面に倣い、安定した測定が可能となる。測
定の前後は、Yダイ6を下方に付勢しているバネ7によ
り、測定子2の嵌合部2aは固定第8の嵌合孔8aに嵌
合して位置決め状態となる。In the apparatus having the above-mentioned structure, when the lens to be measured is pressed against the edge of the spherical ring 1a with a certain constant pressure,
Since the spring 7 contracts and the fitting portion 2a of the tracing stylus 2 positioned in the fitting hole 8a of the fixed die 8 separates, the positioning is released and the tracing stylus 2 moves freely. Then
The lens receiving member 1 slides and rotates using the shaft 21 as a guide. Further, the X die 4 supporting the lens receiving member 1 slides and rotates using the shaft 25 as a guide. That is, the ball lacking ring 1a having the tilt mechanism follows the curvature surface of the lens, and stable measurement is possible. Before and after the measurement, the fitting portion 2a of the tracing stylus 2 is fitted into the fixed eighth fitting hole 8a by the spring 7 that urges the Y die 6 downward to be in the positioning state.
【0024】本実施例によれば、回転動とスライド動す
る面が滑り摩擦になるため、転がり摩擦である前記実施
例1に比べて精度面では若干劣るものの、安価に製造す
ることができる。According to the present embodiment, since the surface that rotates and slides has sliding friction, the precision is slightly inferior to that of the first embodiment, which is rolling friction, but it can be manufactured at low cost.
【0025】[0025]
【発明の効果】請求項1の効果は、光学素子受け部材に
直交する2軸の各軸方向へスライド移動および回動する
機構を設けているので、弾性体の弾性力を利用した傾動
機構とは異なり、無理な抵抗力をかけることなく測定す
ることができる。According to the first aspect of the present invention, since the optical element receiving member is provided with the mechanism for sliding and rotating in the directions of the two axes orthogonal to each other, a tilting mechanism utilizing the elastic force of the elastic body is provided. In contrast, it can be measured without applying excessive resistance.
【図1】本発明を示す概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram showing the present invention.
【図2】本発明を示す概念図である。FIG. 2 is a conceptual diagram showing the present invention.
【図3】実施例1を示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing the first embodiment.
【図4】図3のアーア横断面図である。FIG. 4 is a transverse cross-sectional view of FIG.
【図5】図4のA−B−C縦断面図である。5 is a vertical cross-sectional view taken along the line ABC of FIG.
【図6】図4のB−D縦断面図である。6 is a vertical sectional view taken along the line B-D in FIG.
【図7】実施例2を示す要部横断面図である。FIG. 7 is a lateral cross-sectional view of a main part showing a second embodiment.
【図8】図7のA−B−C縦断面図である。8 is a vertical cross-sectional view taken along the line ABC of FIG.
【図9】図7のB−D縦断面図である。9 is a vertical sectional view taken along the line B-D in FIG. 7.
【図10】従来例を示す縦断面図である。FIG. 10 is a vertical cross-sectional view showing a conventional example.
1 レンズ受け部材 2 測定子 3,5 軸受け 4 Xダイ 6 Yダイ 7 バネ 8 固定ダイ 9a シャフト 10 レンズ 11,12,13,14 横孔 15 固定部材 16,17 軸 1 Lens Receiving Member 2 Measuring Element 3,5 Bearing 4 X Die 6 Y Die 7 Spring 8 Fixing Die 9a Shaft 10 Lens 11, 12, 13, 14 Side Hole 15 Fixing Member 16, 17 Axis
Claims (1)
向移動により前記位置決め部に契合する位置決め位置お
よび前記ベース部材に対しての傾動を許容する位置決め
解除位置を取り得る測定子と、前記測定子へ一体に取り
付けられた光学素子受け部材と、前記測定子を位置決め
解除位置から位置決め位置に復元させる弾性体とからな
る球面測定装置において、前記光学素子受け部材に直交
する2軸の各軸方向へスライド移動および回動する機構
を設けたことを特徴とする球面測定装置。1. A base member having a positioning portion, a tracing stylus capable of having a positioning position engaged with the positioning portion by axial movement and a positioning cancellation position allowing tilting with respect to the base member, and the tracing stylus. In a spherical measuring device including an optical element receiving member integrally attached to the optical element receiving member and an elastic body that restores the tracing stylus from a positioning cancellation position to a positioning position, in each axial direction of two axes orthogonal to the optical element receiving member. A spherical surface measuring device provided with a mechanism for sliding and rotating.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03684895A JP3431330B2 (en) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | Spherical measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03684895A JP3431330B2 (en) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | Spherical measuring device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08233505A true JPH08233505A (en) | 1996-09-13 |
JP3431330B2 JP3431330B2 (en) | 2003-07-28 |
Family
ID=12481191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03684895A Expired - Fee Related JP3431330B2 (en) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | Spherical measuring device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3431330B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002228403A (en) * | 2001-01-30 | 2002-08-14 | Olympus Optical Co Ltd | Apparatus and method for measuring spherical surface |
JP2003004405A (en) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Olympus Optical Co Ltd | Spherical surface measuring apparatus for optical element |
-
1995
- 1995-02-24 JP JP03684895A patent/JP3431330B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002228403A (en) * | 2001-01-30 | 2002-08-14 | Olympus Optical Co Ltd | Apparatus and method for measuring spherical surface |
JP2003004405A (en) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Olympus Optical Co Ltd | Spherical surface measuring apparatus for optical element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3431330B2 (en) | 2003-07-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5739286B2 (en) | Probe head | |
JPS61207902A (en) | Multi-coordinate touch sensor | |
JP2009150687A (en) | Apparatus for measuring rotational accuracy of bearing | |
US4581826A (en) | Sensing pin mounting arrangement for multicoordinate sensing head | |
JPH0224442B2 (en) | ||
CN111716308B (en) | Rotary table and roundness measuring machine | |
JPH0269612A (en) | Support section for probe head in coordinate measuring machine | |
JP3428264B2 (en) | Rotational accuracy measuring device for rolling bearings | |
US7891111B2 (en) | Goniometer | |
US4455758A (en) | Bearing means for angle measuring instruments | |
JP2001194270A (en) | Rotation accuracy and dynamic torque measuring device for rolling bearing | |
JPH08233505A (en) | Spherical-surface measuring apparatus | |
JP3256124B2 (en) | Shape measuring instruments | |
KR100806831B1 (en) | Multi-coordinate sensing measuring device | |
JPH0575337B2 (en) | ||
JP3141994B2 (en) | Spherical bearing | |
EP0771003A2 (en) | Compound bearing assembly for the swing arm of a hard disc drive | |
US6247676B1 (en) | High resolution rotary positioning apparatus | |
US6018114A (en) | Rotary valve of brass instrument | |
JPS5944576B2 (en) | Assembly width measuring device for conical roller bearings | |
JP3272500B2 (en) | Spherical measuring device | |
JPH05312504A (en) | Touch probe | |
JPS6254102A (en) | Measurer supporting mechanism for screw shaft effective diameter measuring instrument | |
JP3415323B2 (en) | Auto tensioner | |
WO2013017834A1 (en) | Metrological apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030430 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080523 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090523 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100523 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |