JPH08220064A - Carbon dioxide gas sensor - Google Patents
Carbon dioxide gas sensorInfo
- Publication number
- JPH08220064A JPH08220064A JP7029693A JP2969395A JPH08220064A JP H08220064 A JPH08220064 A JP H08220064A JP 7029693 A JP7029693 A JP 7029693A JP 2969395 A JP2969395 A JP 2969395A JP H08220064 A JPH08220064 A JP H08220064A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- gas
- dioxide gas
- solid electrolyte
- concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ガス中等の炭酸ガス濃
度を測定する炭酸ガスセンサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carbon dioxide sensor for measuring the concentration of carbon dioxide in gas or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従前、ガス中の炭酸ガスの濃度を測定す
る方法として、ガスクロマトグラフ及び赤外分光法等が
知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, gas chromatographs and infrared spectroscopy have been known as methods for measuring the concentration of carbon dioxide in gas.
【０００３】しかし、このような炭酸ガスの濃度測定に
おいては、大掛かりな装置が必要であると共に、連続し
て測定することができないという問題点がある。However, in measuring the concentration of carbon dioxide gas, there is a problem that a large-scale device is required and continuous measurement cannot be performed.
【０００４】そこで、近年、上述した問題点を解決する
ため数多くの炭酸ガスセンサが提案されている。Therefore, in recent years, many carbon dioxide gas sensors have been proposed to solve the above-mentioned problems.
【０００５】従来の炭酸ガスセンサとしては、例えば、
固体電解質にＮＡＳＩＣＯＮ又はβ−アルミナのような
ナトリウムイオン導電体を用いて板状の電解質表面に炭
酸ナトリウムを補助電極として取付け、更に金電極をそ
の上に取付け、これを隔壁として２つのガス室を設けた
炭酸ガス濃淡電池を構成し、一方のガス室の炭酸ガス濃
度を一定にして他方の炭酸ガス濃度を炭酸ガス濃淡電池
の起電力により求めるものである。また、上記ナトリウ
ムイオン導電性固体電解質に安定化ジルコニア等の酸化
物イオン導電体を張り付け、ナトリウムイオン導電体の
表面には、炭酸ナトリウムの補助電極と金電極を取付
け、安定化ジルコニア側の表面には白金電極を取付て両
端の電極間の電位差からガス中の炭酸ガス濃度を求める
１室式のセンサ等も提案されている。As a conventional carbon dioxide sensor, for example,
Using sodium ion conductor such as NASICON or β-alumina for the solid electrolyte, sodium carbonate is attached to the plate-like electrolyte surface as an auxiliary electrode, and further a gold electrode is attached thereon, and this is used as a partition to form two gas chambers. The provided carbon dioxide gas concentration cell is configured so that the concentration of carbon dioxide gas in one gas chamber is constant and the concentration of carbon dioxide gas in the other gas chamber is determined by the electromotive force of the carbon dioxide gas concentration cell. Further, an oxide ion conductor such as stabilized zirconia is attached to the sodium ion conductive solid electrolyte, the auxiliary electrode of sodium carbonate and a gold electrode are attached to the surface of the sodium ion conductor, and the surface of the stabilized zirconia side is attached. Also proposes a one-chamber type sensor or the like in which a platinum electrode is attached and the concentration of carbon dioxide in the gas is determined from the potential difference between the electrodes at both ends.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の炭酸ガスセンサには以下のような問題点があ
る。即ち、センサに用いられている構成材料の化学的安
定性が悪いために、長期間に亘って高精度で炭酸ガス濃
度を測定することができない。また、センサの構成材料
が雰囲気中の水蒸気と反応しやすく、このようにセンサ
の構成材料が水蒸気と反応して組成が変化すると、炭酸
ガスセンサの測定精度が低下してしまう。従って、従来
の炭酸ガスセンサは長時間に亘って炭酸ガス濃度を精度
良く測定することができないという難点がある。However, the above-mentioned conventional carbon dioxide gas sensor has the following problems. That is, since the constituent materials used for the sensor have poor chemical stability, the carbon dioxide concentration cannot be measured with high accuracy over a long period of time. Further, the constituent material of the sensor is likely to react with water vapor in the atmosphere, and if the constituent material of the sensor reacts with the water vapor and the composition is changed, the measurement accuracy of the carbon dioxide sensor is deteriorated. Therefore, the conventional carbon dioxide gas sensor has a drawback that it cannot accurately measure the carbon dioxide gas concentration for a long time.
【０００７】また、従来の炭酸ガスセンサは、基準極に
基準ガスを供給したり、基準極に固体基準物質を塗布し
たりする必要があり、製造上、煩雑であり、製造コスト
が高いという難点がある。Further, the conventional carbon dioxide gas sensor has a drawback in that it is necessary to supply a reference gas to the reference electrode or apply a solid reference substance to the reference electrode, which is complicated in manufacturing and the manufacturing cost is high. is there.
【０００８】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、長時間に亘ってガス中の炭酸ガス濃度を高
安定性且つ高精度で測定することができると共に、セン
サ構造が簡素で、小型化が可能であり、製造が容易であ
る炭酸ガスセンサを提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to measure the concentration of carbon dioxide gas in a gas for a long time with high stability and high accuracy, and the sensor structure is simple. An object of the present invention is to provide a carbon dioxide gas sensor that can be miniaturized and is easy to manufacture.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明に係る炭酸ガスセ
ンサは、１又は２以上のアルカリ土類金属の炭酸塩を主
成分としたセラミックスからなる固体電解質と、この固
体電解質の炭酸塩の解離分解により生じた炭酸ガスから
なる基準ガスとを有することを特徴とする。A carbon dioxide sensor according to the present invention is a solid electrolyte composed of ceramics containing one or more carbonates of alkaline earth metals as main components, and dissociative decomposition of the carbonates of the solid electrolyte. And a reference gas composed of carbon dioxide gas generated by the above method.
【００１０】前記基準ガスは、固体電解質の解離分解に
より生成したものであるので、この基準ガスを固体電解
質内部に位置させることが容易である。Since the reference gas is generated by dissociative decomposition of the solid electrolyte, it is easy to locate the reference gas inside the solid electrolyte.
【００１１】また、前記固体電解質にはアルカリ土類金
属のハロゲン化物が固溶されていることが好ましい。Further, it is preferable that a halide of an alkaline earth metal is solid-dissolved in the solid electrolyte.
【００１２】[0012]
【作用】本発明においては、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａ
等のアルカリ土類金属の１又は２以上の炭酸塩を主成分
としたセラミックスを固体電解質として使用する。この
ような材料は炭酸ガスを含む雰囲気中において長期間に
亘って化学的に安定であるため、これを固体電解質に使
用することにより、本発明に係る炭酸ガスセンサは長期
間に亘って高安定性で且つ高精度で測定することができ
る。In the present invention, Mg, Ca, Sr and Ba are used.
A ceramic containing, as a main component, one or more carbonates of alkaline earth metals such as the following is used as a solid electrolyte. Since such a material is chemically stable for a long period of time in an atmosphere containing carbon dioxide, the carbon dioxide sensor according to the present invention has high stability over a long period of time by using this material as a solid electrolyte. It is also possible to measure with high accuracy.
【００１３】本発明は、更に、前記固体電解質を構成す
る炭酸塩の解離分解により発生させた炭酸ガス（平衡炭
酸ガス）を基準ガスとして使用する。この基準ガスはセ
ンサが使用温度に昇温したときに固体電解質内部にて炭
酸塩が解離分離することにより発生するので、格別基準
ガス又は固体基準物質を収納するための部屋を設ける必
要はない。従って、本発明は従来のセンサに比べて構造
を簡素化し、センサ素子を小型化することができる。ま
た、本発明の炭酸ガスセンサは、構造が簡素である分、
製造が容易である。In the present invention, carbon dioxide gas (equilibrium carbon dioxide gas) generated by dissociative decomposition of carbonate constituting the solid electrolyte is further used as a reference gas. Since this reference gas is generated by the dissociation and separation of carbonate inside the solid electrolyte when the temperature of the sensor rises to the use temperature, it is not necessary to provide a room for accommodating the special reference gas or the solid reference substance. Therefore, the present invention can simplify the structure and downsize the sensor element as compared with the conventional sensor. Further, the carbon dioxide sensor of the present invention has a simple structure,
Easy to manufacture.
【００１４】なお、前記固体電解質にＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ
及びＢａ等のアルカリ土類金属のハロゲン化物を固溶す
ると、ハロゲンイオンがイオン導電種となるイオン導電
性を示す。従って、イオン導電種としてはこれらのアル
カリ土類金属のハロゲン化物を使用することができる。The solid electrolyte may contain Mg, Ca, Sr.
When a halide of an alkaline earth metal such as Ba and Ba is solid-solved, the halogen ion exhibits ionic conductivity as an ionic conductive species. Therefore, halides of these alkaline earth metals can be used as the ion conductive species.
【００１５】また、固体電解質の特性に大きく影響を及
ぼさない範囲でその他の物質を添加してもよい。このよ
うな固体電解質の例として、（ＳｒＣＯ3）0.9（ＳｒＣ
ｌ2）0.1及び（ＣａＣＯ3）0.9（ＣａＣｌ2）0.1等があ
る。Further, other substances may be added within a range that does not significantly affect the characteristics of the solid electrolyte. As an example of such a solid electrolyte, (SrCO 3 ) 0.9 (SrC
l 2 ) 0.1 and (CaCO 3 ) 0.9 (CaCl 2 ) 0.1 .
【００１６】[0016]
【実施例】次に本発明の実施例について添付の図面を参
照して説明する。図１は、本発明の実施例に係る炭酸ガ
スセンサを示す断面図である。固体電解質２の内部にＰ
ｔ線等の基準極３の一端が埋め込まれ、その先端が固体
電解質２の中心部に位置している。また、この基準極３
は固体電解質２の一方の側から外部に導出されており、
この基準極が導出された側の固体電解質の略半分の部分
はガラスコーティング層４により被覆されている。これ
により、固体電解質２が空気と接触しないようにしてい
る。そして、固体電解質２における反対側の部分には、
金等の多孔質材料からなる測定極１が固体電解質２の表
面に設けられている。また、この測定極１の表面には金
メッシュの集電体５が被覆されている。この集電体５に
はＰｔ線等のリード線６が接続されている。そして、こ
のリード線６と基準極３に接続されたリード線との間に
ガルバニ起電力を測定するための電位差計７が接続され
ている。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a carbon dioxide sensor according to an embodiment of the present invention. P inside the solid electrolyte 2
One end of the reference electrode 3 such as a t-line is embedded, and its tip is located at the center of the solid electrolyte 2. Also, this reference pole 3
Is led to the outside from one side of the solid electrolyte 2,
The glass coating layer 4 covers approximately half of the solid electrolyte on the side where the reference electrode is led out. This prevents the solid electrolyte 2 from coming into contact with air. And, in the part on the opposite side in the solid electrolyte 2,
A measuring electrode 1 made of a porous material such as gold is provided on the surface of a solid electrolyte 2. The surface of the measuring electrode 1 is covered with a gold mesh current collector 5. A lead wire 6 such as a Pt wire is connected to the current collector 5. A potentiometer 7 for measuring galvanic electromotive force is connected between the lead wire 6 and the lead wire connected to the reference electrode 3.
【００１７】そして、本実施例においては、固体電解質
２内に埋め込まれた部分の基準極３の先端部に、固体電
解質を構成する炭酸塩の解離分解により生成した炭酸ガ
スが基準ガス８として閉じこめられている。In this embodiment, the carbon dioxide gas generated by the dissociative decomposition of the carbonate constituting the solid electrolyte is trapped as the reference gas 8 at the tip of the reference electrode 3 embedded in the solid electrolyte 2. Has been.
【００１８】この炭酸ガスは電解質を意図的に分解する
のではなく、センサを使用温度に昇温したときに熱解離
平衝で生じる下記の反応により生成するものである。This carbon dioxide gas does not intentionally decompose the electrolyte, but is generated by the following reaction that occurs in the thermal dissociation equilibrium when the temperature of the sensor is raised to the working temperature.
【００１９】ＳｒＣＯ3＝ＳｒＯ＋ＣＯ2 この解離平衝の反応により、電解質全体がほんの僅かに
解離分解する。SrCO 3 = SrO + CO 2 Due to this dissociative equilibrium reaction, the whole electrolyte is dissociated and decomposed only slightly.
【００２０】このように構成された炭酸ガスセンサにお
いては、測定極１を炭酸ガス濃度を測定しようとする雰
囲気に曝し、炭酸ガス基準ガス８と測定ガスとの濃度差
に基づく起電力を電位差計７により測定することによ
り、測定ガス中の炭酸ガス濃度を測定することができ
る。In the carbon dioxide gas sensor thus constructed, the measuring electrode 1 is exposed to the atmosphere in which the carbon dioxide gas concentration is to be measured, and the electromotive force based on the concentration difference between the carbon dioxide gas reference gas 8 and the measurement gas is measured by the potentiometer 7. The concentration of carbon dioxide gas in the measurement gas can be measured by measuring with.
【００２１】而して、本実施例においては、固体電解質
２の内部に、固体電解質２を構成する炭酸塩の解離分解
により生じる炭酸ガスを基準ガスとして閉じこめている
ので、固体基準物質を設けたり、基準極内への基準ガス
の供給が不要である。このため、構造が簡素であると共
に、安定して炭酸ガス濃度を高精度で測定することがで
きる。また、格別基準ガス用の部屋等を設ける必要がな
いので、その製造が容易である。Thus, in this embodiment, since the carbon dioxide gas generated by the dissociative decomposition of the carbonate constituting the solid electrolyte 2 is confined inside the solid electrolyte 2 as a reference gas, a solid reference substance may be provided. It is not necessary to supply the reference gas into the reference electrode. Therefore, the structure is simple and the carbon dioxide concentration can be stably measured with high accuracy. Further, since it is not necessary to provide a room or the like for the special reference gas, it is easy to manufacture.
【００２２】次に、本実施例のセンサを実際に製作し、
そのセンシング特性を調べた結果について説明する。先
ず、出発原料として、炭酸ストロンチウムと塩化ストロ
ンチウムの六水和物とを乳鉢内で粉砕混合し、均一な混
合粉末を得た。次に、この粉末を炭酸ガス雰囲気中で７
００℃以上の温度に５時間以上加熱して仮焼し、焼結体
を得た。この焼結体を乳鉢内で再度粉砕した後、ボール
ミルを使用し、アセトンを溶媒として２０時間以上粉砕
し、粒径４０μｍ以下の細かい粉末にした。Next, the sensor of this embodiment was actually manufactured,
The results of examining the sensing characteristics will be described. First, as starting materials, strontium carbonate and strontium chloride hexahydrate were ground and mixed in a mortar to obtain a uniform mixed powder. Next, this powder is mixed in a carbon dioxide gas atmosphere
It was heated to a temperature of 00 ° C. or higher for 5 hours or longer and calcined to obtain a sintered body. The sinter was pulverized again in a mortar and then pulverized with a ball mill using acetone as a solvent for 20 hours or more to obtain a fine powder having a particle size of 40 μm or less.
【００２３】この粉末をゴム型内に充填した後に、その
充填された微粉末の中にＰｔ線の電極リードからなる基
準極３の一端部を埋め込み、２トン／ｃｍ2 の圧力で静
水圧処理し、直径が５ｍｍ、長さが１０ｍｍの柱状に成
形した。After filling this powder in a rubber mold, one end of a reference electrode 3 composed of an electrode lead of a Pt wire is embedded in the filled fine powder, and hydrostatic treatment is performed at a pressure of 2 ton / cm 2. Then, it was formed into a columnar shape having a diameter of 5 mm and a length of 10 mm.
【００２４】次に、この成形体を炭酸ガス雰囲気中で７
００乃至７５０℃の温度に５時間以上焼成して、ガス透
過性のない緻密な固体電解質４を得た。その後、基準極
が導出されている部分の固体電解質２にガラスコーティ
ング層４を設けた。このコーティングにより、基準極３
が導出されている部分の固体電解質２が空気と接触しな
いようにした。Next, the molded body was placed in a carbon dioxide gas atmosphere for 7 hours.
Firing at a temperature of 00 to 750 ° C. for 5 hours or more gave a dense solid electrolyte 4 having no gas permeability. After that, the glass coating layer 4 was provided on the portion of the solid electrolyte 2 where the reference electrode was derived. With this coating, the reference electrode 3
The solid electrolyte 2 in the portion where the is extracted is prevented from coming into contact with air.
【００２５】次に、その反対側の固体電解質２の表面
に、金ペーストを塗布し、空気中で７００℃の温度に１
時間焼成して、金を焼き付けることにより測定極１を形
成した。その後、測定極１の表面に金メッシュからなる
集電体５を取り付けた。次に、この集電体５の表面にリ
ード線６を接続してセンサ素子とした。そして、リード
線６と基準極３との間に電位差計７を取り付け、本発明
に係る炭酸ガスセンサを完成した。Next, a gold paste is applied to the surface of the solid electrolyte 2 on the opposite side, and the temperature is raised to 700 ° C. in air at a temperature of 1 ° C.
The measurement electrode 1 was formed by baking for a period of time and baking gold. Then, a current collector 5 made of a gold mesh was attached to the surface of the measuring electrode 1. Next, the lead wire 6 was connected to the surface of the current collector 5 to form a sensor element. Then, a potentiometer 7 was attached between the lead wire 6 and the reference electrode 3 to complete the carbon dioxide sensor according to the present invention.
【００２６】次に、本実施例のセンサのセンシング特性
を調べた結果について説明する。図２は、横軸に炭酸ガ
スの濃度をとり、縦軸に起電力をとって、７００℃で作
動させたときの炭酸ガス濃度とセンサ素子の起電力との
関係を示したグラフ図である。図中の測定点はこのセン
サの実測結果であり、実線はガルバニ電池式炭酸ガスセ
ンサの７００℃における炭酸ガス濃度と理論起電力値と
の関係を示したものである。この図２から明らかなよう
に、炭酸ガス濃度が１０-3乃至１％の測定環境におい
て、実測起電力と理論起電力は良い一致を示した。Next, the results of examining the sensing characteristics of the sensor of this embodiment will be described. FIG. 2 is a graph showing the relationship between the carbon dioxide concentration and the electromotive force of the sensor element when operating at 700 ° C., with the horizontal axis representing the carbon dioxide concentration and the vertical axis representing the electromotive force. . The measurement points in the figure are the actual measurement results of this sensor, and the solid line shows the relationship between the carbon dioxide concentration at 700 ° C. and the theoretical electromotive force value of the galvanic cell type carbon dioxide sensor. As is clear from FIG. 2, the measured electromotive force and the theoretical electromotive force showed a good agreement in the measurement environment in which the carbon dioxide concentration was 10 −3 to 1%.
【００２７】次に、センサ素子の起電力の経時変化につ
いて調べた結果について説明する。図３は、横軸に時間
をとり、縦軸に起電力をとって、空気中で炭酸ガス濃度
を測定したときのセンサ素子の起電力の経時変化を示し
たグラフ図である。この図３に示すように、本実施例の
センサは１００００時間以上の長期間に亘って安定した
起電力を発生していることがわかる。Next, the result of examining the change with time of the electromotive force of the sensor element will be described. FIG. 3 is a graph showing a change with time of the electromotive force of the sensor element when the carbon dioxide concentration is measured in air, with the horizontal axis representing time and the vertical axis representing electromotive force. As shown in FIG. 3, it can be seen that the sensor of this embodiment generates a stable electromotive force over a long period of 10,000 hours or more.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明によれば、固体電解質がアルカリ
土類金属の炭酸塩を主成分とするセラミックスであるた
め、炭酸ガスを含む雰囲気中において化学的に安定であ
る。このため、本発明により、長期間に亘ってガス中の
炭酸ガス濃度を安定して且つ高精度で測定することがで
きる。According to the present invention, since the solid electrolyte is a ceramic containing a carbonate of an alkaline earth metal as a main component, it is chemically stable in an atmosphere containing carbon dioxide gas. Therefore, according to the present invention, the carbon dioxide concentration in the gas can be stably and highly accurately measured over a long period of time.
【００２９】また、本発明においては、固体電解質の内
部を解離分解して基準ガスとなる炭酸ガスを生成するの
で、従来のように、基準ガスを基準極に供給したり、固
体基準物質を基準極に接触させる必要がない。このた
め、本発明は、基準ガス又は固体基準物質用の部屋を設
ける必要がなく、構造が簡素で小型化が可能であり、製
造が容易である。Further, in the present invention, since the inside of the solid electrolyte is dissociated and decomposed to generate the carbon dioxide gas as the reference gas, the reference gas is supplied to the reference electrode or the solid reference substance is used as the reference as in the conventional case. No need to touch the pole. Therefore, in the present invention, it is not necessary to provide a room for the reference gas or the solid reference material, the structure is simple, the size can be reduced, and the manufacturing is easy.
【図１】本発明の実施例に係る炭酸ガスセンサを示す断
面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a carbon dioxide sensor according to an embodiment of the present invention.
【図２】本実施例に係る炭酸ガスセンサにおける炭酸ガ
ス濃度とセンサ素子の起電力との関係を示すグラフ図で
ある。FIG. 2 is a graph showing the relationship between the carbon dioxide concentration and the electromotive force of the sensor element in the carbon dioxide sensor according to the present embodiment.
【図３】本実施例に係る炭酸ガスセンサにおけるセンサ
素子の起電力の経時変化を示すグラフ図である。FIG. 3 is a graph showing changes with time of electromotive force of a sensor element in the carbon dioxide sensor according to the present embodiment.
【符号の説明】 １；測定極 ２；固体電解質 ３；基準極 ４；ガラスコーティング層 ５；集電体 ６；リード線 ７；電位差計 ８：基準ガス[Explanation of symbols] 1; Measuring electrode 2; Solid electrolyte 3; Reference electrode 4; Glass coating layer 5; Current collector 6; Lead wire 7; Potentiometer 8: Reference gas
Claims (3)
塩を主成分としたセラミックスからなる固体電解質と、
この固体電解質の炭酸塩の解離分解により生じた炭酸ガ
スからなる基準ガスとを有することを特徴とする炭酸ガ
スセンサ。1. A solid electrolyte composed of ceramics containing, as a main component, one or more carbonates of alkaline earth metals,
A carbon dioxide gas sensor, comprising a reference gas composed of carbon dioxide gas generated by dissociative decomposition of a carbonate of the solid electrolyte.
とを特徴とする請求項１に記載の炭酸ガスセンサ。2. The carbon dioxide gas sensor according to claim 1, wherein the reference gas is located inside the electrolyte.
ハロゲン化物が固溶されていることを特徴とする請求項
１又は２に記載の炭酸ガスセンサ。3. The carbon dioxide gas sensor according to claim 1, wherein a halide of an alkaline earth metal is solid-dissolved in the solid electrolyte.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7029693A JPH08220064A (en) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | Carbon dioxide gas sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7029693A JPH08220064A (en) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | Carbon dioxide gas sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08220064A true JPH08220064A (en) | 1996-08-30 |
Family
ID=12283196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7029693A Pending JPH08220064A (en) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | Carbon dioxide gas sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08220064A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006127410A1 (en) * | 2005-05-24 | 2006-11-30 | Honeywell International Inc. | Carbon dioxide sensor comprising co2 calibration gas generator |
| US8826724B2 (en) | 2010-12-24 | 2014-09-09 | Honeywell International Inc. | Carbon dioxide sensor |
-
1995
- 1995-02-17 JP JP7029693A patent/JPH08220064A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006127410A1 (en) * | 2005-05-24 | 2006-11-30 | Honeywell International Inc. | Carbon dioxide sensor comprising co2 calibration gas generator |
| US7174766B2 (en) | 2005-05-24 | 2007-02-13 | Honeywell International Inc. | Calibration device for carbon dioxide sensor |
| US8826724B2 (en) | 2010-12-24 | 2014-09-09 | Honeywell International Inc. | Carbon dioxide sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5322612A (en) | Carbon dioxide gas detection element | |
| JPS63738B2 (en) | ||
| US4828671A (en) | Unitary self-referencing combined dual gas sensor | |
| US4792752A (en) | Sensor for measuring partial pressures of gases | |
| US4313810A (en) | Oxygen concentration sensing apparatus | |
| JPH0131586B2 (en) | ||
| JPH08220064A (en) | Carbon dioxide gas sensor | |
| JPH08278278A (en) | Hydrogen sensor probe and its manufacturing method | |
| JPH08220063A (en) | Carbon dioxide gas sensor | |
| JPH033181B2 (en) | ||
| JP5035853B2 (en) | Oxygen concentration sensor, method for forming the same, and method for measuring oxygen concentration in high-temperature high-pressure water | |
| JP2005520766A (en) | Insulating material and gas sensor | |
| JPH1062380A (en) | Oxygen partial pressure measuring sensor having two measuring areas | |
| US4828672A (en) | Unitary self-generating reference gas sensor | |
| GB2117121A (en) | Electrochemical chlorine sensor | |
| JPH08220058A (en) | Oxygen sensor probe and its manufacture | |
| JPH03120456A (en) | Oxygen sensor | |
| JPS5944649A (en) | Electrochemical device for measuring partial pressure of oxygen in gas or liquid atmosphere | |
| RU2694275C1 (en) | Electrochemical device for oxygen dosing in gas medium and simultaneous control of oxygen content of gas at inlet and outlet of oxygen pump | |
| Cobb et al. | A novel humidity sensor using yb-doped SrCeO 3 ionic conductor with a au-pd filter | |
| JP3865498B2 (en) | Limit current type oxygen sensor and oxygen detection method | |
| KR970003284B1 (en) | Electro-chemical measurement sensor | |
| JP2001221771A (en) | Solid electrolyte type gas sensor element | |
| JPH05240833A (en) | Oxygen sensor element | |
| JP3305446B2 (en) | Solid reference electrode type CO2 gas sensor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080426 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090426 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090426 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100426 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |