JPH0821731B2 - Infrared detector - Google Patents

Infrared detector

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JPH0821731B2
JPH0821731B2 JP1068096A JP6809689A JPH0821731B2 JP H0821731 B2 JPH0821731 B2 JP H0821731B2 JP 1068096 A JP1068096 A JP 1068096A JP 6809689 A JP6809689 A JP 6809689A JP H0821731 B2 JPH0821731 B2 JP H0821731B2
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gate
detection element
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effect transistor
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和久 宮口
安司 星野
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Hamamatsu Photonics KK
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は焦電型検出素子を用いて赤外線を検出する赤
外線検出装置に関し、特に装置の回路構成の改善に関す
るものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an infrared detection device for detecting infrared rays using a pyroelectric detection element, and more particularly to improvement of the circuit configuration of the device.

〔従来の技術〕 従来、この種の赤外線検出装置としては、例えば、第
4図の回路図に示されるものである。
[Prior Art] Conventionally, an infrared detection device of this type is shown in, for example, the circuit diagram of FIG.

焦電型検出素子1は赤外線が照射されると分極電荷を
発生し、回路にはこの分極電荷を中和する電流が流れ
る。この電流変化は、焦電型検出素子1に並列に接続さ
れた高抵抗値を有する抵抗R1および接合型電界効果トラ
ンジスタ(J−FET)2の入力インピーダンスにより電
圧変化としてとらえられる。そして、発生した電圧はJ
−FET2のゲートに印加され、J−FET2のドレイン・ソー
ス間にはゲートに印加された電圧に比例した電流が流れ
る。この電流により負荷抵抗R2の端子間には電圧が発生
し、この電圧は出力端子Voutを介して出力される。
The pyroelectric detection element 1 generates polarized charges when irradiated with infrared rays, and a current that neutralizes the polarized charges flows through the circuit. This current change is captured as a voltage change by the input impedance of the resistor R1 having a high resistance value and the junction type field effect transistor (J-FET) 2 connected in parallel to the pyroelectric detection element 1. And the generated voltage is J
-A current proportional to the voltage applied to the gate of FET-2 and the drain-source of J-FET2 flows. A voltage is generated between the terminals of the load resistance R2 by this current, and this voltage is output via the output terminal V out .

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

しかしながら、上記従来の装置には以下のような課題
が含まれている。
However, the above conventional device includes the following problems.

第1に、抵抗R1の抵抗値は非常に高い値に設定しなけ
ればならないため、抵抗R1の形状が大形化して、装置を
小形化することが出来ないという課題が有った。例え
ば、人体から発生する赤外線を検出する場合には、抵抗
R1の抵抗値としては数十MΩから数十GΩ程度の非常に
高い値の抵抗値でなければならない。従って、上記従来
の回路はモノリシックに集積化することは不可能であ
り、J−FET2等の回路が配線されたセラミック等に抵抗
R1が一体化される構造になっている。
First, since the resistance value of the resistor R1 must be set to a very high value, the shape of the resistor R1 becomes large and there is a problem that the device cannot be downsized. For example, when detecting infrared rays emitted from the human body, the resistance
The resistance value of R1 must be a very high resistance value of several tens of MΩ to several tens of GΩ. Therefore, it is impossible to monolithically integrate the above-mentioned conventional circuit, and resistance to ceramics or the like on which the circuit such as J-FET2 is wired.
It has a structure in which R1 is integrated.

第2に、このような高抵抗値の抵抗R1は、微少な粉塵
や汚れ等が抵抗表面に付着すると抵抗値が変化するた
め、抵抗R1の取り扱いに注意が必要とされ、また、安定
化した出力が得られないで感度が低下するという課題も
有った。
Secondly, the resistance R1 having such a high resistance value changes its resistance value when minute dust or dirt adheres to the resistance surface. Therefore, it is necessary to handle the resistance R1 with care, and the resistance R1 is stabilized. There was also a problem that the sensitivity was lowered because no output was obtained.

第3に、このような高抵抗値の抵抗R1は高価なものと
なり、装置全体の価格が高くなるという課題も有った。
Thirdly, there is also a problem that such a high resistance resistor R1 becomes expensive and the cost of the entire apparatus becomes high.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明はこのような課題を解消するためになされたも
ので、焦電型検出素子に並列に接続されたダイオード
と、このカソードがゲートに接続された電界効果トラン
ジスタとから構成されたものである。また、焦電型検出
素子に逆並列に接続されたダイオードと、この各一端の
カソードおよびアノードがゲートに接続された電界効果
トランジスタとから構成されたものである。
The present invention has been made to solve such a problem, and is composed of a diode connected in parallel to a pyroelectric detection element and a field effect transistor having its cathode connected to its gate. . Further, it is composed of a diode connected in antiparallel to the pyroelectric detection element, and a field effect transistor having a cathode and an anode at each end thereof connected to a gate.

〔作用〕[Action]

電界効果トランジスタのゲートリーク電流はダイオー
ドに流れ、焦電型検出素子にはほとんど電流が流れない
ため、焦電型検出素子から電界効果トランジスタのゲー
ト側を見た入力インピーダンスは高くなる。また、電界
効果トランジスタのゲートリーク電流およびアノードが
ゲートに接続されたダイオードのリーク電流の和の電流
はカソードがゲートに接続されたダイオードに流れ、同
様にして入力インピーダンスは高くなる。
Since the gate leak current of the field effect transistor flows in the diode and almost no current flows in the pyroelectric detection element, the input impedance when the gate side of the field effect transistor is viewed from the pyroelectric detection element becomes high. Further, the sum of the gate leak current of the field effect transistor and the leak current of the diode whose anode is connected to the gate flows into the diode whose cathode is connected to the gate, and similarly the input impedance becomes high.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明の一実施例による赤外線検出装置の回
路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram of an infrared detector according to an embodiment of the present invention.

J−FET3のドレインは正の電源電圧VDD(+6V)に吊
り上げられ、ゲートにはダイオード4のカソードが接続
され、ソースには負荷抵抗R3の一端が接続されている。
このソースと負荷抵抗R3との接続点は出力端子Voutに接
続されており、負荷抵抗R3の他端は接地されている。ま
た、ダイオード4のアノードは接地され、このカソード
は入力端子Aを介して焦電型検出素子5の一端に接続さ
れ、この焦電型検出素子5の他端は接地されている。な
お、J−FET3とダイオード4は同一半導体基板上に形成
されてモノリシック化されており、このようなJ−FET3
の接続態様は一般的にソースフォロアと呼ばれる。
The drain of J-FET3 is lifted to a positive power supply voltage V DD (+ 6V), the cathode of diode 4 is connected to the gate, and one end of load resistor R3 is connected to the source.
The connection point between the source and the load resistor R3 is connected to the output terminal V out , and the other end of the load resistor R3 is grounded. The anode of the diode 4 is grounded, the cathode is connected to one end of the pyroelectric detection element 5 via the input terminal A, and the other end of the pyroelectric detection element 5 is grounded. The J-FET 3 and the diode 4 are formed on the same semiconductor substrate and are monolithic.
The connection mode of is generally called a source follower.

また、J−FET3のドレイン・ゲート間にはこのJ−FE
T3の動作点において図示のようにIGSSなるゲートリーク
電流が流れ、また、ダイオード4のカソード・アノード
間にはこの動作点において図示のようにIGDなるリーク
電流が流れるが、これら各電流値は等しくなるように
(IGSS=IGD)、ダイオード4は形成されている。
In addition, this J-FE is placed between the drain and gate of J-FET3.
At the operating point of T3, a gate leakage current of I GSS flows as shown in the figure, and a leakage current of I GD flows at the operating point between the cathode and the anode of the diode 4 as shown in the figure. The diodes 4 are formed so that the two are equal (I GSS = I GD ).

このように形成された回路の入力端子AからJ−FET3
のゲート側を見た入力インピーダンスの等価回路は、入
力信号の低周波数帯域においては第2図のように表され
る。すなわち、抵抗Rshと容量Cjとが並列に接続された
構成になる。抵抗Rshは各リーク電流の微少変化に起因
するものであり、容量CjはJ−FET3の動作点におけるダ
イオード4の接合容量およびJ−FET3の入力容量の和の
容量に相当するものである。従って、この入力インピー
ダンスをZとすると、このZは次式に表される。
From the input terminal A of the circuit thus formed to the J-FET 3
The equivalent circuit of the input impedance viewed from the gate side of is shown in FIG. 2 in the low frequency band of the input signal. That is, the resistance R sh and the capacitance C j are connected in parallel. The resistance R sh is caused by a minute change in each leak current, and the capacitance C j corresponds to the sum of the junction capacitance of the diode 4 and the input capacitance of J-FET 3 at the operating point of J-FET 3. . Therefore, when this input impedance is Z, this Z is expressed by the following equation.

Z=1/[(I/Rsh)+ωCj] … さらにこの式を実部と虚部とに分けると以下のように
表される。
Z = 1 / [(I / R sh ) + j ωCj] ... Further, if this equation is divided into a real part and an imaginary part, it is expressed as follows.

Z=Rsh/[1+(ωCjRsh] −jωCjRsh 2/[1+(ωCjRsh] … これを極座標表示を用いて表すと以下のようになる。Z = R sh / [1+ (ωC j R sh ) 2 ] -jωC j R sh 2 / [1+ (ωC j R sh ) 2 ] ... This is expressed in polar coordinates as follows.

Z=|Z|e-j θ … ただし、|Z|は入力インピーダンスZの絶対値,θは
この位相角を表し、以下のように示される。
Z = | Z | e −j θ , where | Z | represents the absolute value of the input impedance Z, and θ represents this phase angle, which is expressed as follows.

ここで、J−FET3の動作点において、J−FET3のゲー
トリーク電流IGSSは全てダイオード4のリーク電流IGD
になり、焦電型検出素子5には全く電流が流れないた
め、リーク電流の微少変化に起因する抵抗Rshの抵抗値
は無限大に近づく。また、焦電型検出素子5によって検
出される赤外線の周波数は非常に低く、入力信号により
定まる角周波数ωの値は小さいものとなる。このため、
上記入力インピーダンスZの式における実部の分母の
項「(ωCjRsh」は、項「1」に比較して非常に小
さくなってこの実部の値はRshに近づく。
Here, at the operating point of J-FET3, the gate leakage current I GSS of J-FET3 is all leakage current I GD of diode 4.
Therefore, since no current flows through the pyroelectric detection element 5, the resistance value of the resistance R sh due to a minute change in leak current approaches infinity. Further, the frequency of infrared rays detected by the pyroelectric detection element 5 is very low, and the value of the angular frequency ω determined by the input signal is small. For this reason,
The real part denominator term “(ωC j R sh ) 2 ” in the above equation of the input impedance Z becomes much smaller than the term “1”, and the real part value approaches R sh .

この結果、動作点における入力インピーダンスZの値
は非常に大きくなる。
As a result, the value of the input impedance Z at the operating point becomes very large.

このような構成において、焦電型検出素子5に赤外線
が照射されるとこの焦電型検出素子5の電極間には分極
電荷が発生する。このため、回路にはこの分極電荷を中
和する電流が発生し、この電流変化は上述した高入力イ
ンピーダンスにより電圧変化に変換される。変換された
この電圧はJ−FET3のゲートに印加され、J−FET3のド
レイン・ソース間にはこの電圧に比例したドレイン電流
が流れる。従って、負荷抵抗R3の端子間にはドレイン電
流に応じた電圧が生じ、端子Voutを介して出力される。
そして、端子Voutに電圧が生じることにより、焦電型検
出素子5に赤外線が照射されたことが検出される。
In such a configuration, when the pyroelectric detection element 5 is irradiated with infrared rays, polarization charge is generated between the electrodes of the pyroelectric detection element 5. Therefore, a current that neutralizes this polarization charge is generated in the circuit, and this current change is converted into a voltage change by the above-mentioned high input impedance. This converted voltage is applied to the gate of J-FET3, and a drain current proportional to this voltage flows between the drain and source of J-FET3. Therefore, a voltage corresponding to the drain current is generated between the terminals of the load resistor R3 and is output via the terminal V out .
When a voltage is generated at the terminal V out , it is detected that the pyroelectric type detection element 5 is irradiated with infrared rays.

このように上記実施例によれば、従来、J−FETのゲ
ートに接続された高い抵抗値を必要とする抵抗は不要と
なり、単なるダイオード4により高入力インピダーンス
を実現することが可能になる。このため、本装置は容易
にモノリシック化することが可能になり、さらには回路
を多数個集積してアレイ化することも可能になる。従っ
て、得られる赤外線検出装置は非常に小形化されたもの
になり、かつ、安価なものになる。しかも、抵抗値の安
定しない従来の抵抗とは異なり、集積された半導体素子
によって得られるダイオード4は特性の安定したものと
なる。従って、J−FET3は安定して駆動され、出力端子
Voutに現れる電圧も安定したものとなって装置の赤外線
検出感度特性は向上する。
As described above, according to the above-described embodiment, conventionally, a resistor which requires a high resistance value and is connected to the gate of the J-FET is not required, and it is possible to realize a high input impedance by the simple diode 4. Therefore, this device can be easily made monolithic, and further, a large number of circuits can be integrated to form an array. Therefore, the obtained infrared detecting device becomes very small and inexpensive. Moreover, unlike the conventional resistor whose resistance value is not stable, the diode 4 obtained by the integrated semiconductor element has stable characteristics. Therefore, J-FET3 is driven stably and the output terminal
The voltage appearing at V out is also stable, and the infrared detection sensitivity characteristics of the device are improved.

なお、上記実施例の説明においては、ゲードリーク電
流IGSSがリーク電流IGDに等しくなるようにダイオード
4を形成したが、これは理想的な状態であり、特に各リ
ーク電流を等しくするように形成しなくても等価抵抗R
shの値は十分大きなものになり、上記実施例と同様な効
果を奏する。
In the description of the above embodiment, the diode 4 is formed so that the gated leakage current I GSS becomes equal to the leakage current I GD , but this is an ideal state, and in particular, the respective leakage currents are formed so as to be equal. Equivalent resistance R without
The value of sh becomes sufficiently large, and the same effect as that of the above embodiment is obtained.

第3図は本発明の他の一実施例による赤外線検出装置
の回路図であり、第1図と同一または相当する部分につ
いては同符号を用いてその説明は省略する。
FIG. 3 is a circuit diagram of an infrared detection device according to another embodiment of the present invention. The same or corresponding parts as in FIG. 1 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

同図に示された回路と第1図に示された回路との相違
は、ダイオード6,7が逆並列に接続され、ダイオード6,7
の各一端のカソード,アノードがJ−FET3のゲートに接
続されている点である。J−FET3の動作点において、ア
ノードがゲートに接続されたダイオード7には図示のよ
うにリーク電流IGD1が流れ、カソードがゲートに接続さ
れたダイオード6には図示のようにリーク電流IGD2が流
れる。ダイオード7のリーク電流IGD1とJ−FET3のゲー
トリーク電流1GSSとの和は、ダイオード6のリーク電流
IGD2と等しくなるように(IGD1+IGSS=IGD2)、各ダイ
オード6,7は形成されている。
The difference between the circuit shown in the figure and the circuit shown in FIG. 1 is that the diodes 6 and 7 are connected in antiparallel and the diodes 6 and 7 are connected.
That is, the cathode and the anode at each end are connected to the gate of J-FET3. At the operating point of the J-FET 3, the leakage current I GD1 flows through the diode 7 whose anode is connected to the gate as shown in the figure, and the leakage current I GD2 flows through the diode 6 whose cathode is connected to the gate as shown in the figure. Flowing. The sum of the leak current I GD1 of the diode 7 and the gate leak current 1 GSS of the J-FET 3 is the leak current of the diode 6.
Each diode 6 and 7 is formed so as to be equal to I GD2 (I GD1 + I GSS = I GD2 ).

このように形成された本回路においても、入力信号の
低周波数帯域においては入力インピーダンスZの等価回
路は第2図と同様に表される。このため、J−FET3の動
作点における入力インピーダンスは高インピーダンスに
なり、焦電型検出素子5に検出される赤外線は上記実施
例と同様にして検出される。従って、本実施例において
も上記実施例と同様な効果を奏する。
Also in the circuit thus formed, the equivalent circuit of the input impedance Z is represented in the low frequency band of the input signal as in FIG. Therefore, the input impedance at the operating point of the J-FET 3 becomes high impedance, and the infrared rays detected by the pyroelectric detection element 5 are detected in the same manner as in the above embodiment. Therefore, also in this embodiment, the same effect as that of the above embodiment is obtained.

なお、本実施例はダイオード6のリーク電流IGD2が大
きい場合に実益があり、J−FET3のゲートリーク電流I
GSSの不足分はダイオード7のリーク電流IGD1によって
補われる。また、本実施例においても、ゲートリーク電
流IGSSおよびリーク電流IGD1の和がリーク電流IGD2と等
しくなるように、特に各ダイオード6,7を形成するよう
にしなくても、上記実施例と同様な効果を奏する。
It should be noted that this embodiment is practically advantageous when the leakage current I GD2 of the diode 6 is large, and the gate leakage current I of the J-FET 3 is
The shortage of GSS is compensated by the leak current I GD1 of the diode 7. Further, also in the present embodiment, so that the sum of the gate leakage current I GSS and the leakage current I GD1 becomes equal to the leakage current I GD2 , without particularly forming each diode 6, 7, and the above embodiment Has the same effect.

また、上記各実施例において、J−FET3はnチャネル
型のものとして説明したが、pチャネル型のものであっ
ても良い。また、上記各実施例の説明において、電界効
果トランジスタとして接合型の電界効果トランジスタを
用いた場合について説明したが、これに限定される必要
はなく、MOS構造の電界効果トランジスタやMIS構造の電
界効果トランジスタ等であっても良く、上記実施例と同
様な効果を奏する。
Further, in each of the above-mentioned embodiments, the J-FET 3 is described as an n-channel type, but it may be a p-channel type. Further, in the description of each of the above embodiments, the case where a junction field effect transistor is used as the field effect transistor has been described, but the field effect transistor is not limited to this, and a field effect transistor having a MOS structure or a field effect transistor having a MIS structure is used. It may be a transistor or the like and has the same effect as that of the above embodiment.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明は、電界効果トランジスタ
のゲートリーク電流はダイオードに流れ、焦電型検出素
子にはほとんど電流が流れないため、焦電型検出素子か
ら電界効果トランジスタのゲート側を見た入力インピー
ダンスは高くなる。また、電界効果トランジスタのゲー
トリーク電流およびアノードがゲートに接続されたダイ
オートのリーク電流の和の電流はカソードがゲートに接
続されたダイオードに流れ、同様にして入力インピーダ
ンスは高くなる。
As described above, according to the present invention, the gate leak current of the field effect transistor flows through the diode and almost no current flows through the pyroelectric detection element. Therefore, the gate side of the field effect transistor is viewed from the pyroelectric detection element. Input impedance is high. Further, the sum of the leak current of the gate of the field effect transistor and the leak current of the die auto in which the anode is connected to the gate flows into the diode in which the cathode is connected to the gate, and similarly the input impedance becomes high.

このため、従来の高抵抗値の抵抗は不要になり、安定
化した出力が得られて感度の高い装置を小形で、かつ、
安価に提供することが可能になるという効果を有する。
For this reason, the conventional high resistance resistor is not required, a stable output can be obtained and a highly sensitive device can be made compact and
It has an effect that it can be provided at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例の構成を表す回路図、第2図
は第1図に示された回路の入力インピーダンスの等価回
路図、第3図は本発明の他の一実施例の構成を表す回路
図、第4図は従来の構成を表す回路図である。 3……接合型電界効果トランジスタ(J−FET)、4,6,7
……ダイオード、5……焦電型検出素子、R3……負荷抵
抗。
FIG. 1 is a circuit diagram showing the configuration of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of the input impedance of the circuit shown in FIG. 1, and FIG. 3 is another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a circuit diagram showing the configuration, and FIG. 4 is a circuit diagram showing the conventional configuration. 3 ... Junction type field effect transistor (J-FET), 4, 6, 7
...... Diode, 5 ・ ・ ・ Pyroelectric detection element, R3 ・ ・ ・ Load resistance.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】赤外線が照射されると分極電荷を発生する
焦電型検出素子と、この焦電型検出素子に並列に接続さ
れたダイオードと、ゲートにこのダイオードのカソード
が接続されドレインおよびソース間に所定の電圧が印加
される電界効果トランジスタとから構成され、 前記ダイオードはリーク電流が前記電界効果トランジス
タのゲートリーク電流にほぼ等しく形成され、 前記焦電型検出素子に生じた電流を電圧変換して前記電
界効果トランジスタを駆動することを特徴とする赤外線
検出装置。
1. A pyroelectric detection element that generates polarized charges when irradiated with infrared rays, a diode connected in parallel to the pyroelectric detection element, and a drain and a source where the cathode of the diode is connected to the gate. A field effect transistor to which a predetermined voltage is applied, and the diode has a leak current formed to be substantially equal to a gate leak current of the field effect transistor, and converts the current generated in the pyroelectric detection element into a voltage. And driving the field effect transistor.
【請求項2】赤外線が照射されると分極電荷を発生する
焦電型検出素子と、この焦電型検出素子に逆並列に接続
されたダイオードと、ゲートにこのダイオードの各一端
のカソードおよびアノードが接続されドレインおよびソ
ース間に所定の電圧が印加される電界効果トランジスタ
とから構成され、 カソードがゲートに接続された前記ダイオードはリーク
電流が前記電界効果トランジスタのゲートリーク電流と
アノードがゲートに接続された前記ダイオードのリーク
電流との和にほぼ等しく形成され、 前記焦電型検出素子に生じた電流を電圧変換して前記電
界効果トランジスタを駆動することを特徴とする赤外線
検出装置。
2. A pyroelectric detection element that generates polarized charges when irradiated with infrared rays, a diode connected in antiparallel to the pyroelectric detection element, and a cathode and an anode at each end of the diode at a gate. And a field effect transistor to which a predetermined voltage is applied between the drain and the source, and the cathode connected to the gate, the diode has a leakage current connected to the gate leakage current of the field effect transistor and the anode connected to the gate. The infrared detection device is formed so as to be substantially equal to the sum of the leakage current of the diode, and converts the current generated in the pyroelectric detection element into a voltage to drive the field effect transistor.
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