JPH0821482A - Vibration insulating device - Google Patents
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は振動絶縁装置に係り、特
に、振動センサ又は変位センサからの信号に基づき制御
対象物を制御する振動絶縁装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration isolator, and more particularly to a vibration isolator for controlling an object to be controlled based on a signal from a vibration sensor or a displacement sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、図４に示すようにベロフラム
３１で囲繞された空気タンク３２、空気タンク３２とオ
リフィス３３により連通した付加タンク３４からなる空
気バネ３０で支持された制御対象物３５をパッシブに制
御するパッシブ振動絶縁装置は周知である。2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 4, an object to be controlled 35 supported by an air spring 30 composed of an air tank 32 surrounded by a bellows drum 31 and an additional tank 34 communicating with the air tank 32 and an orifice 33 is provided. Passive vibration isolation devices that control passively are well known.
【０００３】また、上述した空気バネ３０を使用して制
御対象物をアクティブに制御するアクティブ又はセミア
クティブ振動絶縁装置が採用されつつある。このアクテ
ィブ振動絶縁装置は、制御対象物に振動センサを搭載し
て振動を検出し、この振動信号によって振動絶縁装置に
アクチュエータからエネルギを注入し、線形フィードバ
ック制御や線形フィードフォワード制御の理論を用いて
振動絶縁装置の除振或いは絶縁効果を積極的に高めよう
とするものである。Further, an active or semi-active vibration isolator for actively controlling a controlled object using the above-mentioned air spring 30 is being adopted. This active vibration isolator detects the vibration by mounting a vibration sensor on the controlled object, injects energy from the actuator into the vibration isolator by this vibration signal, and uses the theory of linear feedback control or linear feedforward control. It is intended to positively enhance the vibration isolation or insulation effect of the vibration isolator.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながらパッシブ
振動絶縁装置においては、空気バネの固有振動数のほか
に絶縁部材（制御対象物たる定盤やそれに搭載された精
密機器、除振台のフレーム等）により共振周波数などが
発生する。また、絶縁部材に外乱が作用すると大きな変
位を生じる。However, in the passive vibration isolator, in addition to the natural frequency of the air spring, an insulating member (a surface plate to be controlled, a precision instrument mounted on it, a frame of an anti-vibration table, etc.) is used. Causes a resonance frequency and the like. Further, when a disturbance acts on the insulating member, a large displacement occurs.
【０００５】一方、アクティブ振動絶縁装置において
は、アクチュエータとしての空気バネに逆位相の振動を
加振して振動を絶縁させるが、この際、必要以上に加振
する虞れがあるので、この加振に対する安全対策が必要
になる。また、制御周波数帯域が広いために発振する虞
があるので、この発振対策も必要になる。このため、制
御回路及びドライバが複雑になるので、（１）制御系の
調整が煩雑になる、（２）制御の安定化が難しくなる、
（３）装置が高価になる等の問題点がある。なお、アク
チュエータは空気バネに限らず、ＶＣＭ（ボイス・コイ
ル・モータ）等においても上記と同様の問題点がある。On the other hand, in the active vibration isolator, the vibration of the opposite phase is applied to the air spring as the actuator to insulate the vibration, but at this time, there is a possibility that the vibration is applied more than necessary. It is necessary to take safety measures against vibration. In addition, since the control frequency band is wide, there is a risk of oscillation, so this oscillation countermeasure is also necessary. Therefore, the control circuit and the driver are complicated, and (1) the adjustment of the control system becomes complicated, and (2) the stabilization of the control becomes difficult.
(3) There is a problem that the device becomes expensive. Note that the actuator is not limited to the air spring, and the VCM (voice coil motor) and the like have the same problems as described above.
【０００６】[0006]
【目的】本発明は、このような従来の問題点を解決する
ためになされたもので、アクチュエータとは別に可変ダ
ンパを設け、この可変ダンパの減衰量を制御することに
より振動絶縁性能を向上させることができる振動絶縁装
置。An object of the present invention is to solve such a conventional problem, and to improve vibration isolation performance by providing a variable damper separately from the actuator and controlling the damping amount of the variable damper. Vibration isolation device that can.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
る本発明の振動絶縁装置は、アクチュエータで支持され
ている制御対象物に搭載され振動を検出して振動信号を
出力する振動センサ及び制御対象物とアクチュエータの
設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位セン
サの１つと、振動センサの振動信号及び変位センサの変
位信号の１つにより駆動され減衰量が変化する可変ダン
パと、可変ダンパに高周波成分がカットされた振動信号
及び変位信号の１つを入力させる制御回路とを備えたも
のである。A vibration isolator of the present invention which achieves the above object is mounted on a control object supported by an actuator, detects a vibration, and outputs a vibration signal. One of a displacement sensor that detects a displacement between an object and an installation surface of an actuator and outputs a displacement signal, and a variable damper that is driven by one of a vibration signal of a vibration sensor and a displacement signal of a displacement sensor to change an attenuation amount. , A control circuit for inputting one of a vibration signal and a displacement signal, the high frequency component of which is cut, to the variable damper.
【０００８】また、本発明の振動絶縁装置において、可
変ダンパは磁性流体ダンパが使用されている。更に、本
発明の振動絶縁装置において、可変ダンパは空気タンク
とオリフィスにより連通した付加タンクから成る空気バ
ネが使用されている。In the vibration isolator of the present invention, the variable damper is a magnetic fluid damper. Further, in the vibration isolator of the present invention, the variable damper uses an air spring composed of an additional tank connected to the air tank by an orifice.
【０００９】[0009]
【作用】この振動絶縁装置によれば、制御対象物上に搭
載された振動センサ及び制御対象物とアクチュエータの
設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位セン
サの１つにより制御対象物の振動及び変位の１つが検出
される。この検出された振動信号及び変位信号の１つは
可変ダンパを駆動させ減衰量を変化させて振動制御が行
なわれる。また、高周波成分がカットされた振動信号及
び変位信号の１つのみを可変ダンパに入力させて、低周
波帯域の制御対象物の揺れを低減化させる。According to this vibration isolator, one of the vibration sensor mounted on the controlled object and the displacement sensor that detects the displacement between the controlled object and the installation surface of the actuator and outputs a displacement signal is controlled. One of the vibration and the displacement of the object is detected. One of the detected vibration signal and displacement signal drives the variable damper to change the amount of damping to perform vibration control. Further, only one of the vibration signal and the displacement signal from which the high frequency component has been cut is input to the variable damper to reduce the vibration of the controlled object in the low frequency band.
【００１０】このような可変ダンパは磁性流体ダンパ又
は空気タンクとオリフイスにより連通した付加タンクか
ら成る空気バネを使用することにより、揺れに対する応
答速度を速くすることができる。Such a variable damper can use a magnetic fluid damper or an air spring composed of an additional tank connected to the air tank by an orifice to increase the response speed to shaking.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明による振動絶縁装置の一実施例
について図面を参照して説明する。本発明の振動絶縁装
置は図１に示すように、基礎または床である設置面２上
に空気バネ、ＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）等の防
振又は除振用のアクチュエータ３で支持された被除振台
または制御対象物４が設けられている。制御対象物４に
は振動を検出して振動信号Ｓ1を出力する振動センサ５
が搭載されている。この振動センサ５としては、例え
ば、公知の加速度センサもしくは速度センサ等が採用で
きる。なお、振動センサ５として速度センサが使用され
ている場合に、絶対加速度信号は、速度を１回微分する
ことにより得られる。また、振動センサ５として加速度
センサが使用されている場合に、絶対速度信号は加速度
を１回積分することにより得られる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the vibration isolator according to the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the vibration isolator of the present invention is supported on an installation surface 2 which is a foundation or a floor by an actuator 3 for vibration isolation or vibration isolation such as an air spring or VCM (voice coil motor). A vibration isolation table or a controlled object 4 is provided. A vibration sensor 5 that detects a vibration and outputs a vibration signal S 1 to the controlled object 4.
Is installed. As the vibration sensor 5, for example, a known acceleration sensor or speed sensor can be adopted. When a velocity sensor is used as the vibration sensor 5, the absolute acceleration signal is obtained by differentiating the velocity once. When an acceleration sensor is used as the vibration sensor 5, the absolute velocity signal is obtained by integrating the acceleration once.
【００１２】ここで、制御対象物４とは、定盤のような
被除振台のみならず、これに搭載された電子顕微鏡やＩ
Ｃ、ＬＳＩの製造装置であるステッパ等の精密機器が含
まれるものであり、この場合、振動センサ５はこのよう
な精密機器自体に搭載してもよい。また、この振動絶縁
装置１は、振動センサ５からの振動信号Ｓ1により駆動
され制御対象物４に加わる振動を減衰する可変ダンパで
ある磁性流体ダンパ６を備えている。この磁性流体ダン
パ６は図２に示すように、コイル９は遮蔽磁気路１０に
包囲収納されて磁束の漏れを最小限にしている。このコ
イル９と同軸上に設けられたピストン部１１は、コイル
９の内部を貫通する非磁性シリンダ８の内部に設けられ
ている。更に、コイル９の内部を貫通する非磁性シリン
ダ８の内部には磁性流体７が充填されている。ピストン
部１１の上下それぞれにピストンロッド１２が固着して
いる。ピストン部１１との固着部分のピストンロッド１
２は、磁性流体７内にあり、ピストン部１１の上方に固
着しているピストンロッド１２の先端は、非磁性シリン
ダ８の外部に出て制御対象物４を制動する。ピストン部
１１の下方に固着しているピストンロッド１２の先端１
２ｂは、非磁性シリンダ８の底部空間１３を上下に移動
自由である。ピストン部１１の上下にあるピストンロッ
ド１２の中間部分１２ｃは、磁性流体７内および非磁性
シリンダ８間を上下に移動する。ここで用いられるピス
トン部１１およびピストンロッド１２は、磁気抵抗の小
さい鉄系、さらには純鉄系の材料が好ましい。Here, the controlled object 4 is not limited to the vibration-isolated table such as a surface plate, but also an electron microscope or I mounted on the table.
A precision device such as a stepper, which is a manufacturing apparatus for C and LSI, is included, and in this case, the vibration sensor 5 may be mounted on such a precision device itself. The vibration isolator 1 also includes a magnetic fluid damper 6 that is a variable damper that is driven by the vibration signal S 1 from the vibration sensor 5 and attenuates the vibration applied to the controlled object 4. As shown in FIG. 2, the magnetic fluid damper 6 has a coil 9 enclosed and housed in a shield magnetic path 10 to minimize leakage of magnetic flux. The piston portion 11 provided coaxially with the coil 9 is provided inside the non-magnetic cylinder 8 penetrating the inside of the coil 9. Further, the magnetic fluid 7 is filled inside the non-magnetic cylinder 8 penetrating the inside of the coil 9. A piston rod 12 is fixed to each of the upper and lower sides of the piston portion 11. Piston rod 1 at the part that is firmly attached to piston part 11
2 is in the magnetic fluid 7, and the tip of the piston rod 12 fixed above the piston portion 11 goes out of the non-magnetic cylinder 8 to brake the controlled object 4. Tip 1 of piston rod 12 fixed below piston portion 11
2b is free to move vertically in the bottom space 13 of the non-magnetic cylinder 8. The intermediate portion 12c of the piston rod 12 above and below the piston portion 11 moves vertically within the magnetic fluid 7 and between the non-magnetic cylinders 8. The piston portion 11 and the piston rod 12 used here are preferably made of an iron-based material having a low magnetic resistance, and more preferably a pure iron-based material.
【００１３】この実施例において振動センサ５としては
例えば速度センサが使用されており、制御対象物４の振
動を検出して絶対速度信号Ｓ1を出力し、この絶対速度
信号Ｓ1を処理して制御信号を生成する制御回路Ｃ1と、
制御回路Ｃ1からの制御信号により駆動信号を生成する
ドライバＤ1とを介して磁性流体ダンパ６を駆動させ
る。ドライバＤ1は電圧信号、電流信号、磁気信号又は
これらの複合信号の何れかひとつの信号を駆動信号とし
て磁性流体ダンパ６を駆動させ、制御対象物４に加わる
振動を絶対速度信号Ｓ1に応じた減衰量で減衰させる。In this embodiment, a speed sensor is used as the vibration sensor 5, for example, the vibration of the controlled object 4 is detected, the absolute speed signal S 1 is output, and the absolute speed signal S 1 is processed. A control circuit C 1 for generating a control signal,
The magnetic fluid damper 6 is driven via a driver D 1 that generates a drive signal according to a control signal from the control circuit C 1 . The driver D 1 drives the magnetic fluid damper 6 using any one of a voltage signal, a current signal, a magnetic signal, or a composite signal of these signals as a drive signal, and controls the vibration applied to the controlled object 4 according to the absolute velocity signal S 1 . Attenuate with a certain amount of attenuation.
【００１４】なお、制御回路Ｃ1は１５〜２０Ｈｚ以上
の高周波成分をカットするローパスフィルタを有し、制
御回路Ｃ1において予め設定されている振動レベルと、
振動センサ５から入力される振動レベルとを比較し、設
定されている振動レベル（１５Ｈｚ以下の低周波の周波
数帯域）まで補正した制御信号をドライバＤ1に出力す
るものである。これにより磁性流体ダンパ６によって振
動制御する周波数帯域が１５Ｈｚ以下の低周波成分にな
るので、低周波帯域の制御対象物４の揺れを低減化させ
ることができる。The control circuit C 1 has a low-pass filter for cutting high-frequency components of 15 to 20 Hz or higher, and has a vibration level preset in the control circuit C 1 .
It compares the vibration level input from the vibration sensor 5 and outputs a control signal corrected to a set vibration level (low frequency band of 15 Hz or less) to the driver D 1 . As a result, the frequency band whose vibration is controlled by the magnetic fluid damper 6 becomes a low-frequency component of 15 Hz or less, so that the shake of the controlled object 4 in the low-frequency band can be reduced.
【００１５】このように構成された振動絶縁装置１の動
作について説明する。いま、制御対象物４が外乱等によ
り振動すると、振動センサ５は制御対象物４の振動を検
出して絶対速度信号Ｓ1を制御回路Ｃ1に出力する。制御
回路Ｃ1は予め設定されている振動レベルと、絶対速度
信号Ｓ1（振動センサ５から入力される振動レベル）と
を比較し、設定されている振動レベルまで補正するよう
に制御信号をドライバＤ1に出力する。ドライバＤ1はこ
の制御信号に基づき例えば電流信号を磁性流体ダンパ６
に入力させ駆動させる。The operation of the vibration isolator 1 thus constructed will be described. Now, when the controlled object 4 vibrates due to disturbance or the like, the vibration sensor 5 detects the vibration of the controlled object 4 and outputs an absolute speed signal S 1 to the control circuit C 1 . The control circuit C 1 compares the preset vibration level with the absolute speed signal S 1 (vibration level input from the vibration sensor 5), and drives the control signal so as to correct the set vibration level. Output to D 1 . Based on this control signal, the driver D 1 sends, for example, a current signal to the magnetic fluid damper 6
Input to drive.
【００１６】この磁性流体ダンパ６のコイル９に電流が
流れて磁場が印加されると、フェライト粒子が磁場によ
って配向し、液のすべり方向に従い、回転する仕事量に
変化をきたすため、見かけ粘性が増大し、ピストン部１
１の動きを押え振動エネルギを吸収する。従って、磁性
流体ダンパ６は磁性流体７への磁場の掛けかた、即ち電
流の強弱調整によってダンピング係数を制御することが
できるので、揺れに対する応答速度を速くすることがで
きる。When a current flows through the coil 9 of the magnetic fluid damper 6 and a magnetic field is applied, the ferrite particles are oriented by the magnetic field, and the rotating work amount changes according to the sliding direction of the liquid, so that the apparent viscosity is increased. Increased, piston part 1
The motion of 1 is suppressed and the vibration energy is absorbed. Therefore, since the magnetic fluid damper 6 can control the damping coefficient by applying a magnetic field to the magnetic fluid 7, that is, by adjusting the strength of the current, the response speed to shaking can be increased.
【００１７】また、本実施例においては可変ダンパに磁
性流体ダンパ６を使用していたが、空気バネでもよい。
可変ダンパに使用される空気バネは、図４に示すような
ベロフラム３１で囲繞された空気タンク３２と、この空
気タンク３２にオリフィス３３により連通した付加タン
ク３４とからなる。この空気バネ３０は制御回路Ｃ1の
制御により空気バネ３０中の空圧を変化させてダンピン
グ係数を制御することができるので、磁性流体ダンパ６
と同様に揺れに対する応答速度を速くすることができ
る。Although the magnetic fluid damper 6 is used as the variable damper in the present embodiment, an air spring may be used instead.
The air spring used in the variable damper is composed of an air tank 32 surrounded by a belophram 31 as shown in FIG. 4, and an additional tank 34 connected to the air tank 32 by an orifice 33. The air spring 30 can control the damping coefficient by changing the air pressure in the air spring 30 under the control of the control circuit C 1. Therefore, the magnetic fluid damper 6 can be controlled.
Similarly, the response speed to shaking can be increased.
【００１８】更に、本実施例においては制御対象物４に
搭載された振動センサ５から出力される振動信号Ｓ1を
制御回路Ｃ1、ドライバＤ1を介して磁性流体ダンパ６、
空気バネ３０等の可変ダンパを制御していたが、これに
限らず、変位センサによって制御してもよい。変位セン
サは図３に示すように、制御対象物４と空気バネ、ＶＣ
Ｍ（ボイス・コイル・モータ）等の防振又は除振用のア
クチュエータ３の設置面２間の絶対変位又は相対変位を
検出して絶対変位信号Ｓ2又は相対変位信号Ｓ3を出力す
る非接触変位センサ５０で、制御対象物４又はアクチュ
エータ３、設置面２間の何れかに搭載されている。この
ような非接触変位センサ５０としては、例えば、渦電流
素子、差動トランス、ＬＥＤ、レーザー素子等が採用で
きる。Further, in the present embodiment, the vibration signal S 1 output from the vibration sensor 5 mounted on the controlled object 4 is supplied to the magnetic fluid damper 6 via the control circuit C 1 and the driver D 1 .
Although the variable damper such as the air spring 30 is controlled, the present invention is not limited to this, and it may be controlled by a displacement sensor. As shown in FIG. 3, the displacement sensor includes a controlled object 4, an air spring, and a VC.
Non-contact that detects absolute displacement or relative displacement between installation surfaces 2 of an actuator 3 for vibration isolation or vibration isolation such as M (voice coil motor) and outputs absolute displacement signal S 2 or relative displacement signal S 3. The displacement sensor 50 is mounted on any of the controlled object 4, the actuator 3, and the installation surface 2. As such a non-contact displacement sensor 50, for example, an eddy current element, a differential transformer, an LED, a laser element or the like can be adopted.
【００１９】これにより、非接触変位センサ５０から出
力される絶対変位信号Ｓ2又は相対変位Ｓ3に基づき制御
回路Ｃ1、ドライバＤ1を介して磁性流体ダンパ６、空気
バネ３０等の可変ダンパを制御させることができる。As a result, based on the absolute displacement signal S 2 or the relative displacement S 3 output from the non-contact displacement sensor 50, the variable damper such as the magnetic fluid damper 6 and the air spring 30 is passed through the control circuit C 1 and the driver D 1. Can be controlled.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の振動絶縁装置によれば、アクチュエータで支持され
ている制御対象物に搭載され振動を検出して振動信号を
出力する振動センサ及び制御対象物とアクチュエータの
設置面間の変位を検出して変位信号を出力する変位セン
サの１つと、振動センサの振動信号及び変位センサの変
位信号の１つにより駆動され減衰量が変化する可変ダン
パと、可変ダンパに高周波成分がカットされた振動信号
及び変位信号の１つを入力させる制御回路とを備えたこ
とにより、制御対象物に外乱が作用した時の制御対象物
の揺れを低減化させることができ、またアクティブに制
御しないので制御回路及びドライバをシンプルに構成で
きる。As is apparent from the above description, according to the vibration isolator of the present invention, a vibration sensor mounted on an object to be controlled supported by an actuator for detecting vibration and outputting a vibration signal is provided. One of a displacement sensor that detects a displacement between a controlled object and an installation surface of an actuator and outputs a displacement signal, and a variable damper that is driven by one of a vibration signal of a vibration sensor and a displacement signal of a displacement sensor to change an attenuation amount. And a control circuit for inputting one of a vibration signal and a displacement signal, in which the high-frequency component is cut, to the variable damper, thereby reducing the shaking of the controlled object when a disturbance acts on the controlled object. In addition, since it is not actively controlled, the control circuit and the driver can be simply configured.
【００２１】更に、高周波成分がカットされた振動信号
又は変位信号を入力させる制御回路を備えているので発
振を防止でき、また可変ダンパによって制御しているの
で加振状態になることを防止できる。なお、本発明の振
動絶縁装置は装置自体が複雑に構成されていないので安
価に製造することができる。Further, since the control circuit for inputting the vibration signal or the displacement signal from which the high frequency component is cut is provided, the oscillation can be prevented, and the control by the variable damper can prevent the vibrating state. The vibration isolator of the present invention can be manufactured at low cost because the device itself is not complicatedly configured.
【図１】本発明における振動絶縁装置の一実施例を示す
説明図。FIG. 1 is an explanatory view showing an embodiment of a vibration isolator according to the present invention.
【図２】本発明における振動絶縁装置に使用される磁性
流体ダンパを示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing a magnetic fluid damper used in the vibration isolator of the present invention.
【図３】本発明における振動絶縁装置の他の実施例を示
す説明図。FIG. 3 is an explanatory view showing another embodiment of the vibration isolator according to the present invention.
【図４】従来のパッシブ振動絶縁装置と本実施例の振動
絶縁装置に使用される空気バネを示す説明図。FIG. 4 is an explanatory view showing an air spring used in the conventional passive vibration isolator and the vibration isolator of this embodiment.
１…振動絶縁装置 ２…設置面 ３…アクチュエータ ４…制御対象物 ５…振動センサ ３０…空気バネ ３２…空気タンク ３３…オリフィス ３４…付加タンク ５０…非接触変位センサ Ｓ1…絶対速度信号（振動信号） Ｓ2…絶対変位信号（変位信号） Ｓ3…相対変位信号（変位信号） Ｃ1…制御回路 Ｄ1…ドライバ1 ... vibration isolators 2 ... installation surface 3 ... actuators 4 control object 5 ... vibration sensor 30 ... air springs 32 ... air tank 33 ... orifice 34 ... additional tank 50 ... non-contact displacement sensor S 1 ... absolute velocity signal (vibration signal) S 2 ... absolute displacement signal (displacement signal) S 3 ... relative displacement signal (displacement signal) C 1 ... control circuit D 1 ... driver
Claims (3)
物に搭載され振動を検出して振動信号を出力する振動セ
ンサ及び前記制御対象物と前記アクチュエータの設置面
間の変位を検出して変位信号を出力する変位センサの１
つと、前記振動センサの前記振動信号及び前記変位セン
サの前記変位信号の１つにより駆動され減衰量が変化す
る可変ダンパと、前記可変ダンパに高周波成分がカット
された前記振動信号及び前記変位信号の１つを入力させ
る制御回路とを備えたことを特徴とする振動絶縁装置。1. A vibration sensor mounted on a controlled object supported by an actuator to detect vibration and output a vibration signal, and a displacement between the controlled object and the installation surface of the actuator to detect a displacement signal. Output displacement sensor 1
A variable damper that is driven by one of the vibration signal of the vibration sensor and the displacement signal of the displacement sensor to change the attenuation amount; and the vibration signal and the displacement signal of which high frequency components are cut by the variable damper. A vibration isolator, comprising: a control circuit for inputting one input.
とを特徴とする請求項１記載の振動絶縁装置。2. The vibration isolator according to claim 1, wherein the variable damper is a magnetic fluid damper.
により連通した付加タンクから成る空気バネであること
を特徴とする請求項１記載の振動絶縁装置。3. The vibration isolator according to claim 1, wherein the variable damper is an air spring including an additional tank connected to the air tank through an orifice.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15240694A JPH0821482A (en) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | Vibration insulating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15240694A JPH0821482A (en) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | Vibration insulating device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0821482A true JPH0821482A (en) | 1996-01-23 |
Family
ID=15539818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15240694A Pending JPH0821482A (en) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | Vibration insulating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821482A (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009535594A (en) * | 2006-05-01 | 2009-10-01 | ロード・コーポレーション | Controllable vehicle suspension system with controllable ferrofluid struts |
| JP2010184068A (en) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Toshiba Corp | Drum type washing machine |
| WO2011104977A1 (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-01 | 株式会社 東芝 | Damper, washing machine, and washer/dryer |
| JP2011172719A (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | Drum washing machine |
| JP2012011163A (en) * | 2010-06-03 | 2012-01-19 | Toshiba Corp | Damper for washing machine |
| US8851247B2 (en) | 2010-05-21 | 2014-10-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Damper, washing machine and washing/drying machine |
| US9359705B2 (en) | 2010-04-26 | 2016-06-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Washing machine and drying machine |
| CN111021548A (en) * | 2019-12-06 | 2020-04-17 | 清华大学 | Shock insulation support with self-detection function and self-detection method thereof |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP15240694A patent/JPH0821482A/en active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009535594A (en) * | 2006-05-01 | 2009-10-01 | ロード・コーポレーション | Controllable vehicle suspension system with controllable ferrofluid struts |
| JP2010184068A (en) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Toshiba Corp | Drum type washing machine |
| WO2011104977A1 (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-01 | 株式会社 東芝 | Damper, washing machine, and washer/dryer |
| JP2011172719A (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | Drum washing machine |
| CN102770594A (en) * | 2010-02-24 | 2012-11-07 | 株式会社东芝 | Damper, washing machine, and washer/dryer |
| KR101411148B1 (en) * | 2010-02-24 | 2014-06-23 | 가부시끼가이샤 도시바 | Damper, washing machine, and washer/dryer |
| US8757335B2 (en) | 2010-02-24 | 2014-06-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Damper, washing machine, and washer/dryer |
| US9359705B2 (en) | 2010-04-26 | 2016-06-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Washing machine and drying machine |
| US8851247B2 (en) | 2010-05-21 | 2014-10-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Damper, washing machine and washing/drying machine |
| JP2012011163A (en) * | 2010-06-03 | 2012-01-19 | Toshiba Corp | Damper for washing machine |
| CN111021548A (en) * | 2019-12-06 | 2020-04-17 | 清华大学 | Shock insulation support with self-detection function and self-detection method thereof |
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