JPH081927A - Ink jet head - Google Patents
Ink jet headInfo
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- JPH081927A JPH081927A JP13993294A JP13993294A JPH081927A JP H081927 A JPH081927 A JP H081927A JP 13993294 A JP13993294 A JP 13993294A JP 13993294 A JP13993294 A JP 13993294A JP H081927 A JPH081927 A JP H081927A
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- Japan
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- liquid chamber
- photosensitive resin
- nozzle plate
- plate
- ink jet
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
に関し、より詳細には、インクジェット記録装置のヘッ
ド部に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head, and more particularly to a head portion of an ink jet recording apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のインクジェットヘッドについて記
載した公知文献としては、例えば、特公昭６２−５９６
７２号公報がある。この公報のものは、感光性樹脂の硬
化層で形成されたインク流路溝に沿って、液体を吐出す
るための能動素子が設けられている基体のインク流路溝
上に蓋部材を設けることでインク流路を形成するもので
ある。2. Description of the Related Art Known publications describing conventional ink jet heads include, for example, Japanese Examined Patent Publication No. 62-596.
There is No. 72 publication. In this publication, a lid member is provided on the ink flow path groove of the base body on which the active element for ejecting the liquid is provided along the ink flow path groove formed of the cured layer of the photosensitive resin. The ink flow path is formed.
【０００３】また、特開平４−１８５４４４号公報のも
のは、インク流路内のインクを加圧してインク滴を噴射
するインクジェットヘッドにおいて、前記インク流路
は、圧電素子を有する一方の面と、該面と対向する他方
の面と、これら両面の間に介在して前記インク流路を形
成する側壁とから成り、該側壁は前記他方の面を形成す
る蓋板に一体的に形成され、該蓋板上に感光性樹脂によ
って前記側壁が形成されているものである。すなわち、
蓋部材上にインク流路溝を形成したものである。Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 4-185444, in an ink jet head for pressurizing ink in an ink flow path to eject ink droplets, the ink flow path has one surface having a piezoelectric element, The other surface facing the surface and a side wall interposed between the both surfaces to form the ink flow path, the side wall being integrally formed with a lid plate forming the other surface, The side wall is formed of a photosensitive resin on the cover plate. That is,
Ink channel grooves are formed on the lid member.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】インクジェットヘッド
の液室において、液室形成部材の接合強度を確保するこ
とは信頼性及び性能維持する上で非常に重要な特性項目
である。強度が得られないとチャンネル間リークが生
じ、複数チャンネルを同時駆動したときに、単独で駆動
したときよりインク滴の速度が低下し、画像品質に乱れ
が生じる。又、強度不足から液室からインクが漏れてア
クチュエータにインクが接して、アクチュエータの駆動
効率が低下したり、更に悪い状態になると、発熱や発煙
など安全性も損なわれてくる。In the liquid chamber of the ink jet head, ensuring the bonding strength of the liquid chamber forming member is a very important characteristic item for maintaining reliability and performance. If the strength is not obtained, inter-channel leakage occurs, and when a plurality of channels are simultaneously driven, the speed of ink droplets becomes slower than when they are driven independently, and the image quality is disturbed. In addition, if the ink leaks from the liquid chamber due to lack of strength and the ink comes into contact with the actuator, and the driving efficiency of the actuator is reduced, or in a worse state, the safety such as heat generation and smoke is deteriorated.
【０００５】また、基板上に樹脂の形成部と非形成部に
面積比で大きな差が有ると、接合することによる収縮に
よって、基板が反るという問題が生じる。これによっ
て、インク供給パイプとの結合が得られず、インクが漏
れるなどの問題が生じてくる。Further, if there is a large difference in the area ratio between the resin-formed portion and the resin-free portion on the substrate, there is a problem that the substrate warps due to contraction due to joining. As a result, the connection with the ink supply pipe cannot be obtained, and problems such as ink leakage occur.
【０００６】前述した特公昭６２−５９６７２号公報に
おいては、共通液室部が示されていないため、顕著な現
象は見られないが、共通液室部のように感光性樹脂の存
在しないところであると、接合時に収縮変形が生じる。
また、能動素子が設けられている方にのみ感光性樹脂が
設けられた場合であると、接合によって界面にクラック
が生じたり、感光性樹脂の剥がれが生じたりする。In the above-mentioned Japanese Patent Publication No. 62-59672, the common liquid chamber portion is not shown, so that no remarkable phenomenon is observed. However, like the common liquid chamber portion, the photosensitive resin does not exist. Then, shrinkage deformation occurs at the time of joining.
Further, if the photosensitive resin is provided only on the side where the active element is provided, a crack may be generated at the interface due to the joining, or the photosensitive resin may be peeled off.
【０００７】さらに、前述した特開平４−１８５４４４
号公報においては、蓋部材上に感光性樹脂で流路を形成
した後に、能動素子と接合してヘッドと一体化してい
る。この場合においても、片側に樹脂部材があるため、
接合時に応力が生じて接合後の内部応力によって、剥が
れやクラックの原因となる。又、柱がないために共通液
室部に内圧の応力が大きく働き、剥がれや外部へのリー
クの原因となる。Further, the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 4-185444.
In the publication, a flow path is formed of a photosensitive resin on the lid member and then bonded to an active element to be integrated with the head. Even in this case, since there is a resin member on one side,
Stress is generated at the time of joining and internal stress after joining causes peeling and cracks. Further, since there is no column, the stress of the internal pressure acts on the common liquid chamber portion, which causes peeling and leakage to the outside.
【０００８】本発明は、このような実情に鑑みてなされ
たもので、流路部を両基板に形成することで、片方に樹
脂が集中して形成されず、加熱接合によって硬化収縮に
よってクラックや剥がれの発生を防止すること、また、
共通液室部に柱を設けることで、平面性や接合強度を保
持し、ヘッドの内部圧力に対する耐性が増加するように
したインクジェットヘッドを提供することを目的として
いる。The present invention has been made in view of the above circumstances. By forming the flow path portion on both substrates, the resin is not concentrated on one side, and cracks due to curing shrinkage due to heat bonding occur. To prevent the occurrence of peeling,
It is an object of the present invention to provide an inkjet head in which a column is provided in the common liquid chamber portion so as to maintain the flatness and the bonding strength and increase the resistance against the internal pressure of the head.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、（１）液室部がノズル板と振動板とから
なり、前記ノズル板と前記振動板上にそれぞれ液室を感
光性樹脂で形成し、両者を温度と圧力によって接合して
一体化したオンデマンド型インクジェットヘッドにおい
て、前記振動板とノズル板上に形成されている感光性樹
脂が、同一種類の感光性樹脂で形成されていること、更
には、（２）前記振動板とノズル板上に形成された感光
性樹脂膜の厚さの比が１〜３であること、更には、
（３）液室部がノズル板と振動板とからなり、前記ノズ
ル板と前記振動板上にそれぞれ液室を感光性樹脂で形成
し、両者を温度と圧力によって接合して一体化したオン
デマンド型インクジェットヘッドにおいて、液室部が、
各アクチュエータに対応して設けられた加圧液室部と、
該加圧液室部に分配する共通液室部とから成り、該共通
液室部には加圧室部と外側壁と分離した位置に柱を設け
ること、更には、（４）前記（３）において、前記柱が
接合界面において同一の形状で形成されていること、更
には、（５）前記（３）又は（４）において、前記柱の
形状は、流れ方向の長さが液の流れ方向に対して、流れ
に直行する方向の長さより長い形状になっていること、
更には、（６）前記（３）,（４）又は（５）におい
て、前記柱が前記共通液室内に複数個配置されているこ
と、更には、（７）前記（３）,（４）,（５）又は
（６）において、前記柱が同一の感光性樹脂で、振動板
とノズル板上に液室形成時に同時に形成されることを特
徴としたものである。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides (1) a liquid chamber part comprising a nozzle plate and a vibrating plate, and the liquid chamber is provided on each of the nozzle plate and the vibrating plate. In an on-demand type ink jet head formed of a photosensitive resin and joined together by temperature and pressure, the photosensitive resin formed on the vibrating plate and the nozzle plate is the same type of photosensitive resin. And (2) the thickness ratio of the photosensitive resin film formed on the vibrating plate and the nozzle plate is 1 to 3, further,
(3) On-demand in which the liquid chamber portion is composed of a nozzle plate and a vibrating plate, and the liquid chambers are respectively formed on the nozzle plate and the vibrating plate with a photosensitive resin, and both are joined by temperature and pressure to be integrated. Type ink jet head, the liquid chamber is
Pressurized liquid chamber section provided corresponding to each actuator,
A common liquid chamber portion to be distributed to the pressurized liquid chamber portion, and a column is provided in the common liquid chamber portion at a position separated from the pressurized chamber portion and the outer wall, and further, (4) above (3) ), The columns are formed to have the same shape at the bonding interface, and (5) In (3) or (4), the column has a shape in which the length in the flow direction is the flow of the liquid. The shape is longer than the length in the direction perpendicular to the flow,
Furthermore, (6) In (3), (4) or (5) above, a plurality of the columns are arranged in the common liquid chamber, and (7) above (3), (4) In (5) or (6), the columns are made of the same photosensitive resin and are simultaneously formed on the vibrating plate and the nozzle plate when the liquid chamber is formed.
【００１０】[0010]
【作用】本発明のインクジェットヘッドは、液室部がノ
ズル板と振動板とからなり、前記ノズル板と前記振動板
上にそれぞれ液室を感光性樹脂で形成し、両者を温度と
圧力によって接合して一体化したオンデマンド型インク
ジェットヘッドであり、（１）前記振動板とノズル板上
に形成されている感光性樹脂が同一種類の感光性樹脂で
形成されており、該感光性樹脂膜の厚さの比が１〜３で
あるので、流路部を両基板に形成することで片方に樹脂
が集中して形成されず、加熱接合によって硬化収縮によ
ってクラックや剥がれの発生を防止できる。（２）液室
が、各アクチュエータに対応して設けられた加圧液室部
と、該加圧液室部に分配する共通液室部とから成り、該
共通液室部には加圧室部と外側壁と分離した位置に柱を
設けているので、共通液室部に柱を設けることで平面性
や接合強度が保持され、ヘッドの内部圧力に対する耐性
が増加する。（３）前記柱が接合界面において同一の形
状で形成されているので、柱部の形状を両者同一形状に
することで、液室内を流れるインク流れがスムーズとな
り、これによって高速印字するときに多量のインクが必
要となるが、加圧室へのインク供給が可能となる。
（４）前記柱の形状は、流れ方向の長さが液の流れ方向
に対して、流れに直行する方向の長さより長い形状にな
っているので、柱形状を流れの抵抗とならない形状にす
ることで、供給液室の流れがスムーズとなる。（５）前
記柱が前記共通液室内に複数個配置されているので、柱
部を複数設けることで一箇所への応力集中を防ぎ、かつ
平面性が維持できる。（６）前記柱が同一の感光性樹脂
で、振動板とノズル板上に液室形成時に同時に形成され
るので、工程の簡略化が可能となる。In the ink jet head of the present invention, the liquid chamber portion is composed of the nozzle plate and the vibrating plate, and the liquid chamber is formed on the nozzle plate and the vibrating plate, respectively, with a photosensitive resin, and both are bonded by temperature and pressure. And (1) the photosensitive resin formed on the vibrating plate and the nozzle plate is formed of the same type of photosensitive resin. Since the thickness ratio is 1 to 3, the resin is not concentrated and formed on one side by forming the flow path portion on both substrates, and it is possible to prevent the occurrence of cracks or peeling due to curing shrinkage due to heat bonding. (2) The liquid chamber is composed of a pressurized liquid chamber portion provided corresponding to each actuator, and a common liquid chamber portion distributed to the pressurized liquid chamber portion, and the common liquid chamber portion has a pressurized chamber. Since the column is provided at a position separated from the outer wall and the outer wall, the column is provided in the common liquid chamber to maintain the flatness and the bonding strength, and the resistance against the internal pressure of the head is increased. (3) Since the pillars are formed in the same shape at the joint interface, by making the shapes of the pillar portions the same, the ink flow in the liquid chamber becomes smooth, which allows a large amount of high-speed printing. However, the ink can be supplied to the pressurizing chamber.
(4) Since the shape of the pillar is such that the length in the flow direction is longer than the length in the direction orthogonal to the flow with respect to the flow direction of the liquid, the pillar shape should be a shape that does not resist the flow. As a result, the flow in the supply liquid chamber becomes smooth. (5) Since the plurality of columns are arranged in the common liquid chamber, providing a plurality of columns can prevent stress concentration at one place and maintain the flatness. (6) Since the columns are made of the same photosensitive resin and are formed on the vibrating plate and the nozzle plate at the same time when the liquid chamber is formed, the process can be simplified.
【００１１】[0011]
【実施例】実施例について、図面を参照して以下に説明
する。図１（ａ）,（ｂ）は、本発明によるインクジェ
ットヘッドの一実施例を説明するための構成図で、図１
（ａ）は断面図、図１（ｂ）は液室部の分解図である。
図中、１は液室部、２はアクチュエート部、３は基板、
４は圧電素子、５は振動板、６,７は感光性樹脂（ＤＦ
Ｒ）、８はノズル板、９はノズル、１０は加圧液室、１
１は共通液室、１２はインク供給口である。本発明のイ
ンクジェットヘッドは、アクチュエータ部２と液室部１
から構成されている。該液室部１はノズル板８と振動板
５とよりできており、それぞれのノズル９に対応するよ
うに加圧室１０が具備されている。Embodiments will be described below with reference to the drawings. 1A and 1B are configuration diagrams for explaining an embodiment of an inkjet head according to the present invention.
1A is a sectional view, and FIG. 1B is an exploded view of a liquid chamber portion.
In the figure, 1 is a liquid chamber part, 2 is an actuate part, 3 is a substrate,
4 is a piezoelectric element, 5 is a diaphragm, 6 and 7 are photosensitive resin (DF
R), 8 is a nozzle plate, 9 is a nozzle, 10 is a pressurized liquid chamber, 1
Reference numeral 1 is a common liquid chamber, and 12 is an ink supply port. The inkjet head of the present invention includes an actuator section 2 and a liquid chamber section 1.
It consists of The liquid chamber portion 1 is composed of a nozzle plate 8 and a vibrating plate 5, and a pressure chamber 10 is provided so as to correspond to each nozzle 9.
【００１２】まず、請求項１,２に記載の発明について
説明する。接合界面を一つの基板と感光性樹脂にする
か、振動板とノズル板上に形成された感光性樹脂とする
かの２つの分割面が考えられる。工程上は、一つの基板
面に積層したほうが簡素化できる。しかし、各基板（振
動板とノズル板）上にパターニングすることで樹脂の形
成によって応力が二分されて基板の変形が減少する。し
たがって、実施例に示すように、ノズル板８の面にはＤ
ＦＲ７、振動板５の面にはＤＦＲ６を設けることで両者
の応力バランスを保っている。First, the inventions described in claims 1 and 2 will be described. It is conceivable that there are two divided surfaces, that is, the bonding interface is one substrate and the photosensitive resin, or the photosensitive resin formed on the vibrating plate and the nozzle plate. In terms of process, it is simpler to stack on one substrate surface. However, by patterning on each substrate (vibration plate and nozzle plate), the stress is divided by the formation of the resin and the deformation of the substrate is reduced. Therefore, as shown in the embodiment, D is formed on the surface of the nozzle plate 8.
By providing DFR6 on the surface of FR7 and the diaphragm 5, the stress balance of both is maintained.
【００１３】また、両者に使用する感光性樹脂(ＤＦＲ)
６,７の厚さの比率を１〜３にすることで、接合時の収
縮バランスが保たれ、変形の無い液室流路が得られる。
この時、基板材質が異なると、それぞれに適した感光性
樹脂を用いてパターン形成する方が望ましい。接合強度
の点からは、同一の種類の感光性樹脂を用いないと、加
熱したとき、膨張係数の差からクラックが生じたり、基
板から剥がれたりする。A photosensitive resin (DFR) used for both
By setting the thickness ratio of 6 and 7 to 1 to 3, the contraction balance at the time of joining can be maintained and a liquid chamber flow path without deformation can be obtained.
At this time, if the substrate material is different, it is preferable to form a pattern by using a suitable photosensitive resin. From the viewpoint of bonding strength, unless the same type of photosensitive resin is used, when heated, cracks may occur due to the difference in expansion coefficient, or the resin may peel off from the substrate.
【００１４】このように、前記振動板とノズル板上に形
成されている感光性樹脂が同一種類の感光性樹脂で形成
されており、該感光性樹脂膜の厚さの比が１〜３である
ので、流路部を両基板に形成することで片方に樹脂が集
中して形成されず、加熱接合によって硬化収縮によって
クラックや剥がれの発生を防止できる。Thus, the photosensitive resin formed on the vibrating plate and the nozzle plate is formed of the same type of photosensitive resin, and the thickness ratio of the photosensitive resin film is 1 to 3. Therefore, by forming the flow path portion on both substrates, the resin is not concentrated and formed on one side, and it is possible to prevent the occurrence of cracks or peeling due to curing shrinkage due to heat bonding.
【００１５】次に、請求項３,４,５,６に記載の発明に
ついて説明する。図２は、液室部の平面図で、図中、２
０は柱で、その他、図１と同じ作用をする部分は同一の
符号を付してある。液室部１は共通液室１１と加圧液室
１０から構成されている。この共通液室１１に他の液室
部（外壁６,７，加圧液室１０）を形成する感光性樹脂
と同等の部材でそれぞれの基板上にパターニングすると
同時に製作する。Next, the invention described in claims 3, 4, 5, and 6 will be described. FIG. 2 is a plan view of the liquid chamber portion.
Reference numeral 0 denotes a pillar, and other parts having the same functions as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. The liquid chamber portion 1 is composed of a common liquid chamber 11 and a pressurized liquid chamber 10. The common liquid chamber 11 is formed at the same time as patterning on each substrate with a member equivalent to the photosensitive resin forming the other liquid chamber portions (outer walls 6 and 7, pressurizing liquid chamber 10).
【００１６】このように、液室が、各アクチュエータに
対応して設けられた加圧液室部と、該加圧液室部に分配
する共通液室部とから成り、該共通液室部には加圧室部
と外側壁と分離した位置に柱を設けているので、共通液
室部に柱を設けることで平面性や接合強度が保持され、
ヘッドの内部圧力に対する耐性が増加する。また、前記
柱が接合界面において同一の形状で形成されているの
で、柱部の形状を両者同一形状にすることで、液室内を
流れるインク流れがスムーズとなり、これによって高速
印字するときに多量のインクが必要となるが、加圧室へ
のインク供給が可能となる。As described above, the liquid chamber comprises the pressurized liquid chamber portion provided corresponding to each actuator and the common liquid chamber portion distributed to the pressurized liquid chamber portion. Since the column is provided at a position separated from the pressurizing chamber part and the outer wall, the planarity and the bonding strength are maintained by providing the column in the common liquid chamber part.
The resistance of the head to internal pressure is increased. Further, since the pillars are formed in the same shape at the joint interface, by making the shapes of the pillar portions the same, the flow of ink in the liquid chamber becomes smooth, which results in a large amount of ink when high-speed printing is performed. Although ink is required, ink can be supplied to the pressure chamber.
【００１７】図３（ａ）,（ｂ）は、柱部の形状を示す
図で、図３（ａ）は流線形状、図３（ｂ）は卵形状であ
る。また、形状の基本形状は、液の流れる方向、すなわ
ちインク供給口に対して、下流方向の長さＬを流れに直
行する方向の長さＭより長くする。かつ、インクの流れ
がスムーズになるように角部を設けない。実施例に示す
ような、流線形状（図（ａ））や卵形状（図（ｂ））が
望ましい。3 (a) and 3 (b) are views showing the shape of the column portion. FIG. 3 (a) is a streamline shape and FIG. 3 (b) is an egg shape. The basic shape of the shape is such that the length L in the downstream direction with respect to the liquid flow direction, that is, the ink supply port is longer than the length M in the direction orthogonal to the flow. In addition, no corners are provided so that the ink flow will be smooth. A streamline shape (FIG. (A)) and an egg shape (FIG. (B)) as shown in the examples are desirable.
【００１８】このように、前記柱の形状は、流れ方向の
長さが液の流れ方向に対して、流れに直行する方向の長
さより長い形状になっているので、柱形状を流れの抵抗
とならない形状にすることで、供給液室の流れがスムー
ズとなる。As described above, the shape of the pillar is such that the length in the flow direction is longer than the length in the direction orthogonal to the flow with respect to the flow direction of the liquid, so that the pillar shape is referred to as flow resistance. The shape that does not cause the flow in the supply liquid chamber to be smooth.
【００１９】また、柱の数は、大きなものを一つ設ける
のでなく、小形化したものを複数個共通液室１１内に分
散して配置した方が応力が分散され、流れの抵抗も小さ
くなるため分散配置が望ましい。さらに内部圧力によっ
て感光性樹脂を剥離する方向に力が働くため、柱のない
ような広い面積部があると剥離強度はさらに大きくな
る。このように、前記柱が前記共通液室内に複数個配置
されているので、柱部を複数設けることで一箇所への応
力集中を防ぎ、かつ平面性が維持できる。Further, the number of columns is not provided as one, but a plurality of miniaturized columns are dispersed and arranged in the common liquid chamber 11 to disperse the stress and reduce the flow resistance. Therefore, distributed arrangement is desirable. Furthermore, since a force acts in the direction of peeling the photosensitive resin due to the internal pressure, the peel strength is further increased if there is a large area portion without pillars. As described above, since the plurality of columns are arranged in the common liquid chamber, providing a plurality of columns can prevent stress concentration at one place and maintain the flatness.
【００２０】図４（ａ）,（ｂ）は、共通液室内に柱の
ある場合と無い場合の接合状態を示す図で、図２のＡ−
Ａ断面図である。図４（ａ）が柱のない場合で、図４
（ｂ）が柱のある場合である。図中、３０は接着剤で、
その他、図１と同じ作用をする部分は同一の符号を付し
てある。図４（ａ）に示すように、柱無しの場合は、接
合時に加圧され、更に樹脂の硬化収縮によって基板の剛
性の低い方の部材（この例では、振動板を示している）
が変形する。この時の変形量δは、温度や加圧力，治具
の条件によって異なる。この変形によって、圧電（能
動）素子４との接合が得られず、該圧電素子の持ってい
る性能効率を低下させる。最悪の場合には、圧電素子４
と接着せず機能を果たさないこともある。FIGS. 4 (a) and 4 (b) are views showing a joint state with and without a column in the common liquid chamber.
FIG. 4 (a) is a case without a pillar, and FIG.
(B) is a case with a pillar. In the figure, 30 is an adhesive,
Other parts that have the same functions as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. As shown in FIG. 4 (a), in the case of no pillar, the member having a lower rigidity of the substrate is pressed by the bonding and further cured and contracted by the resin (a diaphragm is shown in this example).
Is transformed. The amount of deformation δ at this time varies depending on the temperature, pressure, and jig conditions. Due to this deformation, bonding with the piezoelectric (active) element 4 cannot be obtained, and the performance efficiency of the piezoelectric element is reduced. In the worst case, the piezoelectric element 4
It may not function as it does not adhere to.
【００２１】実施例では、能動素子の部分しか示してい
ないが、インク供給口との接合においても、インク供給
パイプと、振動板５に設けられたインク供給口１２と接
合されないで、インクがリークするという原因となる。
図４（ｂ）に示すように、柱がある場合を示している
が、本発明によって変形が防止可能となり、前述のよう
な問題が改善される。Although only the active element is shown in the embodiment, the ink leaks because the ink supply pipe is not joined to the ink supply port 12 provided in the diaphragm 5 even when the ink supply port is joined. Will cause you to.
As shown in FIG. 4B, the case where there is a pillar is shown, but the present invention makes it possible to prevent deformation and ameliorate the above-mentioned problems.
【００２２】次に、請求項７に記載の発明について説明
する。共通液室１１中に設けられた柱は、流路形成時に
一緒にフォトリソ工程を用いて同種類の感光性樹脂でパ
ターン形成をする。これにより、接合が流路部接合と同
一の条件で出来、収縮率も一定となるため平面性も維持
できる。このように、前記柱が同一の感光性樹脂で、振
動板とノズル板上に液室形成時に同時に形成されるの
で、工程の簡略化が可能となる。Next, the invention according to claim 7 will be described. The pillars provided in the common liquid chamber 11 are patterned with a photosensitive resin of the same kind by using a photolithography process together when forming the flow path. As a result, the bonding can be performed under the same conditions as the flow path bonding, and the shrinkage ratio is constant, so that the flatness can be maintained. As described above, since the pillars are made of the same photosensitive resin and are formed on the vibrating plate and the nozzle plate at the same time when the liquid chamber is formed, the process can be simplified.
【００２３】[0023]
（１）請求項１，２に対応する効果：流路部を両基板に
形成することで片方に樹脂が集中して形成されず、加熱
接合によって硬化収縮によってクラックや剥がれの発生
を防止できる。 （２）請求項３に対応する効果：共通液室部に柱を設け
ることで平面性や接合強度が保持される。これによっ
て、ヘッドの内部圧力に対する耐性が増加する。 （３）請求項４に対応する効果：柱部の形状を両者同一
形状にすることで、液室内を流れるインク流れがスムー
ズとなる。これによって高速印字するときに多量のイン
クが必要となるが、加圧室へのインク供給が可能とな
る。 （４）請求項５に対応する効果：柱形状を流れの抵抗と
ならない形状にすることで、供給液室の流れがスムーズ
となる。 （５）請求項６に対応する効果：柱部を複数設けること
で、一箇所への応力集中を防ぎ、且つ平面性が維持でき
る。 （６）請求項７に対応する効果：柱部を液室形成部材で
ある感光性樹脂と同一のもので形成することで工程の簡
略化が可能となる。(1) Effects corresponding to claims 1 and 2: By forming the flow path portion on both substrates, the resin is not concentrated and formed on one side, and it is possible to prevent cracks and peeling due to curing shrinkage due to heat bonding. (2) Effect corresponding to claim 3: By providing a column in the common liquid chamber portion, flatness and bonding strength are maintained. This increases the resistance of the head to internal pressure. (3) Effect corresponding to claim 4: By making the shapes of the pillars the same, the flow of ink in the liquid chamber becomes smooth. As a result, a large amount of ink is required for high-speed printing, but ink can be supplied to the pressure chamber. (4) Effect corresponding to claim 5: By making the column shape a shape that does not resist the flow, the flow in the supply liquid chamber becomes smooth. (5) Effect corresponding to claim 6: By providing a plurality of pillar portions, stress concentration at one location can be prevented and planarity can be maintained. (6) Effect corresponding to claim 7: The process can be simplified by forming the pillar portion with the same photosensitive resin as the liquid chamber forming member.
【図１】 本発明によるインクジェットヘッドの一実施
例を説明するための構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram for explaining an embodiment of an inkjet head according to the present invention.
【図２】 本発明における液室部の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a liquid chamber portion according to the present invention.
【図３】 本発明における柱の形状を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a shape of a pillar according to the present invention.
【図４】 図２におけるＡ−Ａ断面図で、接合状態を示
す図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 2, showing a joined state.
１…液室部、２…アクチュエート部、３…基板、４…圧
電素子、５…振動板、６,７…感光性樹脂（ＤＦＲ）、
８…ノズル板、９…ノズル、１０…加圧液室、１１…共
通液室、１２…インク供給口、２０…柱、３０…接着
剤。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid chamber part, 2 ... Actuate part, 3 ... Substrate, 4 ... Piezoelectric element, 5 ... Vibration plate, 6,7 ... Photosensitive resin (DFR),
8 ... Nozzle plate, 9 ... Nozzle, 10 ... Pressurized liquid chamber, 11 ... Common liquid chamber, 12 ... Ink supply port, 20 ... Pillar, 30 ... Adhesive.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梅沢 道夫 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 廣田 哲郎 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 松本 修三 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 牧田 秀行 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 佐々木 勉 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 太田 善久 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 村井 妙子 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Michio Umezawa 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Within Ricoh Co., Ltd. (72) Inventor Tetsuro Hirota 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Shares In Ricoh Company (72) Inventor Shuzo Matsumoto 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Stock Company Ricoh (72) Inventor Hideyuki Makita 1-3-3 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Stock Company Ricoh ( 72) Inventor Tsutomu Sasaki 1-3-6 Nakamagome, Tokyo, Ota-ku, Tokyo (72) Inventor Yoshihisa Ota 1-3-6 Nakamagome, Tokyo, Ota-ku, Tokyo (72) Inventor Taeko Murai 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Inside Ricoh Co., Ltd.
Claims (7)
前記ノズル板と前記振動板上にそれぞれ液室を感光性樹
脂で形成し、両者を温度と圧力によって接合して一体化
したオンデマンド型インクジェットヘッドにおいて、前
記振動板とノズル板上に形成されている感光性樹脂が、
同一種類の感光性樹脂で形成されていることを特徴とす
るインクジェットヘッド。1. The liquid chamber portion comprises a nozzle plate and a vibrating plate,
An on-demand type inkjet head in which liquid chambers are formed of a photosensitive resin on the nozzle plate and the vibrating plate, respectively, and the both are bonded and integrated by temperature and pressure, and the liquid chamber is formed on the vibrating plate and the nozzle plate. The photosensitive resin
An ink jet head formed of the same type of photosensitive resin.
光性樹脂膜の厚さの比が１〜３であることを特徴とする
請求項１記載のインクジェットヘッド。2. The ink jet head according to claim 1, wherein the thickness ratio of the photosensitive resin film formed on the vibration plate and the nozzle plate is 1 to 3.
前記ノズル板と前記振動板上にそれぞれ液室を感光性樹
脂で形成し、両者を温度と圧力によって接合して一体化
したオンデマンド型インクジェットヘッドにおいて、液
室部が、各アクチュエータに対応して設けられた加圧液
室部と、該加圧液室部に分配する共通液室部とから成
り、該共通液室部には加圧室部と外側壁と分離した位置
に柱を設けることを特徴とするインクジェットヘッド。3. The liquid chamber portion comprises a nozzle plate and a vibrating plate,
In an on-demand type inkjet head in which liquid chambers are formed of a photosensitive resin on the nozzle plate and the vibration plate, respectively, and both are bonded and integrated by temperature and pressure, the liquid chamber portion corresponds to each actuator. It comprises a pressurizing liquid chamber part provided and a common liquid chamber part to be distributed to the pressurizing liquid chamber part, and the common liquid chamber part is provided with a pillar at a position separated from the pressurizing chamber part and the outer wall. Inkjet head characterized by.
形成されていることを特徴とする請求項３記載のインク
ジェットヘッド。4. The ink jet head according to claim 3, wherein the columns are formed to have the same shape at the bonding interface.
流れ方向に対して、流れに直行する方向の長さより長い
形状になっていることを特徴とする請求項３又は４記載
のインクジェトヘッド。5. The shape of the pillar is such that the length in the flow direction is longer than the length in the direction orthogonal to the flow direction with respect to the flow direction of the liquid. Ink jet head.
れていることを特徴とする請求項３,４又は５記載のイ
ンクジェットヘッド。6. The ink jet head according to claim 3, wherein a plurality of the columns are arranged in the common liquid chamber.
ノズル板上に液室形成時に同時に形成されることを特徴
とする請求項３,４,５又は６記載のインクジェットヘッ
ド。7. The inkjet head according to claim 3, wherein the pillars are made of the same photosensitive resin and are formed on the vibrating plate and the nozzle plate at the same time when the liquid chamber is formed.
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3244946B2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0903234A3 (en) * | 1997-09-17 | 2000-07-05 | Seiko Epson Corporation | Micro device |
| US6938985B2 (en) | 2002-07-30 | 2005-09-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Slotted substrate and method of making |
| JP2006082448A (en) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Ricoh Co Ltd | Liquid droplet discharging head, ink cartridge, image recording apparatus and method for manufacturing liquid droplet discharging head |
| US7159966B2 (en) | 2002-09-25 | 2007-01-09 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head capable of suppressing a defective bonding |
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- 1994-06-22 JP JP13993294A patent/JP3244946B2/en not_active Expired - Fee Related
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