JP2001171129A - Manufacturing method for ink-jet recording head and the ink-jet recording head - Google Patents

Manufacturing method for ink-jet recording head and the ink-jet recording head

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JP2001171129A
JP2001171129A JP35715099A JP35715099A JP2001171129A JP 2001171129 A JP2001171129 A JP 2001171129A JP 35715099 A JP35715099 A JP 35715099A JP 35715099 A JP35715099 A JP 35715099A JP 2001171129 A JP2001171129 A JP 2001171129A
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JP
Japan
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plate
base plate
ink
adhesive
nozzle
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Inventor
Yasuhiro Santo
康博 山東
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Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent an adhesive from flowing into an ink channel. SOLUTION: The manufacturing method for the ink-jet head includes a process 601 of overlapping and bonding an extraction plate, an inlet plate, a channel plate and a diaphragm at least onto one face of a base plate and forming a plurality of ink channels, a process of forming to the nozzle plate a plurality of nozzles for discharging ink from each of the plurality of ink channels, a process 602 of forming a retreat part to retreat the adhesive for bonding the base plate, the extraction plate, the inlet plate, the channel plate and the diaphragm to the nozzle plate, and processes 603 and 604 of pressing the base plate to the nozzle plate to bond the nozzle plate so that each bond face of the base plate, the extraction plate, the inlet plate, the channel plate and the diaphragm intersects a face of the nozzle plate where the plurality of nozzles are formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドに関
し、特に、インク流路に接着剤が入り込むのを防止した
インクジェット記録ヘッドの製造方法およびその製造方
法により製造されたインクジェット記録ヘッドに関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an ink jet recording head and an ink jet recording head, and more particularly to a method for manufacturing an ink jet recording head in which an adhesive is prevented from entering an ink flow path and a method for manufacturing the same. The present invention relates to an inkjet recording head.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、インクジェット記録方式にお
いては印字速度の高速化が求められていた。このため、
インクジェット記録ヘッド(以下、単に「ヘッド」と略
す場合がある)には複数のノズルを備え、ある程度の印
字幅を有したいわゆるマルチノズルヘッドを用いること
が一般的となっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been a demand for an increase in printing speed in an ink jet recording system. For this reason,
2. Description of the Related Art It is common to use a so-called multi-nozzle head having a plurality of nozzles and a certain printing width in an ink jet recording head (hereinafter, may be simply abbreviated as “head”).

【0003】しかし、印字速度のより高速化を実現する
ためには、より多くのノズルを有し、より印字幅の広い
ヘッドを用いることが望まれる。このため、ヘッドは益
々、長尺化する傾向にあった。
However, in order to realize a higher printing speed, it is desired to use a head having more nozzles and a wider printing width. For this reason, the head tends to be longer and longer.

【0004】一般に、ヘッドは、ヘッドの中心となるベ
ースプレートの面上に複数のプレートが重ねて接着され
る。ベースプレートおよび複数のプレートは相互に接着
剤で接着され、ベースプレートおよび複数のプレート間
にインクを加圧するための空間としてのインクチャネル
等のインク流路が形成される。
In general, a head is formed by bonding a plurality of plates on a surface of a base plate which is the center of the head. The base plate and the plurality of plates are bonded to each other with an adhesive, and an ink flow path such as an ink channel as a space for pressurizing the ink is formed between the base plate and the plurality of plates.

【0005】また、ベースプレートとノズルプレートと
の接着には、熱硬化性の樹脂が用いられ、押圧および加
熱することで接着される。この接着剤は、インク流路に
当たる部分から接着剤を除去したパターンが接着前に形
成される。
A thermosetting resin is used for bonding the base plate and the nozzle plate, and is bonded by pressing and heating. As for this adhesive, a pattern in which the adhesive is removed from a portion corresponding to the ink flow path is formed before bonding.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ベースプレートの面上
に重ねて接着される複数のプレートは、それぞれ材質や
製造方法が異なるため、ベースプレートと接着する面に
段差が生じてしまう。また、プレートの貼合せに接着剤
が用いられるが、貼合せにより接着剤がプレート間から
はみ出して、ベースプレートと接着する面に凹凸が生じ
る場合がある。このように、ベースプレートと接着する
面に段差や凹凸があると、確実に接着することができな
い。また、ベースプレートと接着する面に段差や凹凸が
あると、接着時に加えられる力により、接着されたプレ
ート間の接着面にせん断力が働き、接着面でプレートが
剥がれてしまう。
The plurality of plates that are bonded on the surface of the base plate are different in material and manufacturing method, so that a step is generated on the surface to be bonded to the base plate. In addition, an adhesive is used for laminating the plates, and the lamination may cause the adhesive to protrude from between the plates, causing irregularities on the surface to be adhered to the base plate. In this manner, if there is a step or unevenness on the surface to be bonded to the base plate, the bonding cannot be performed reliably. Also, if there is a step or unevenness on the surface to be bonded to the base plate, a shear force acts on the bonded surface between the bonded plates due to the force applied at the time of bonding, and the plates are peeled off at the bonded surface.

【0007】また、ベースプレートとノズルプレートと
の接着の際に、ベースプレートとノズルプレートとで接
着剤が押圧される。接着剤は、押圧する力の方向である
縦方向にひずむ(縦ひずみ)とともに、力の方向と垂直
な横方向にもひずむ(横ひずみ)。この接着剤の横ひず
みによる変形は、同じ形状の複数のパターンを等間隔に
配列した場合には、配列の端部にあるパターン以外は、
平均して同じ形状に変形する。これに対して、配列の端
部、換言すれば、配列の始点と終点付近にあるパターン
は、大きく変形する。これは、パターンの配列の端部で
は、パターンが形成されていない部分にある接着剤の横
ひずみがパターン部分に向かって累積されて大きくなる
ためである。
Further, when the base plate and the nozzle plate are bonded, the adhesive is pressed between the base plate and the nozzle plate. The adhesive distorts in the vertical direction, which is the direction of the pressing force (longitudinal strain), and also in the horizontal direction perpendicular to the direction of the force (lateral strain). The deformation due to the lateral strain of the adhesive, when multiple patterns of the same shape are arranged at equal intervals, except for the pattern at the end of the array,
Deforms to the same shape on average. On the other hand, the pattern near the end of the array, in other words, near the start point and the end point of the array, is greatly deformed. This is because, at the end of the pattern arrangement, the lateral strain of the adhesive in the part where the pattern is not formed is accumulated toward the pattern part and increases.

【0008】このように接着剤の横方向のひずみによる
変形により、接着剤に形成されたパターンが変形するの
で、インク流路に接着剤が入り込み、インク流路が詰ま
ってしまうといった問題があった。
As described above, since the pattern formed on the adhesive is deformed by the deformation of the adhesive due to the lateral distortion, there is a problem that the adhesive enters the ink flow path and the ink flow path is clogged. .

【0009】このパターンの変形に対して、パターンの
配列の端部に隣接する接着面をなくすことが考えられ
る。しかし、接着面がなくなると、その部分で接着力が
低下して、プレートが剥がれやすくなり、インク漏れの
原因となってしまう。
For this pattern deformation, it is conceivable to eliminate the adhesive surface adjacent to the end of the pattern arrangement. However, when there is no adhesive surface, the adhesive strength is reduced at that portion, and the plate is easily peeled off, which causes ink leakage.

【0010】この発明は、上述の問題点を解決するため
になされたもので、この発明の目的の1つは、接着力を
低下させることなく、インク流路に接着剤が流れ込むの
を防止したインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供
することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems. One of the objects of the present invention is to prevent an adhesive from flowing into an ink flow path without reducing an adhesive force. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an ink jet recording head.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めにこの発明のある局面にしたがえば、インクジェット
ヘッドの製造方法は、ベースプレートの少なくとも一方
の面上に薄板を重ねて接着し、複数のインク流路を形成
する工程と、複数のインク流路それぞれからインクを吐
出するための複数のノズルをノズルプレートに形成する
工程と、ベースプレートおよび薄板をノズルプレートと
接着するための接着剤が退避するための退避部を形成す
る工程と、ベースプレートおよび薄板を、それらの接着
面がノズルプレートの複数のノズルが形成された面と交
わるように、ノズルプレートと接着するために、ベース
プレートをノズルプレートに押圧する工程とを含む。
According to one aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ink jet head, comprising: laminating a thin plate on at least one surface of a base plate; Forming a plurality of nozzles for discharging ink from each of the plurality of ink flow paths in the nozzle plate, and retracting an adhesive for bonding the base plate and the thin plate to the nozzle plate. A base plate and a thin plate in order to bond the base plate and the thin plate to the nozzle plate so that their bonding surfaces intersect with the surface of the nozzle plate on which the plurality of nozzles are formed. Pressing step.

【0012】この発明によれば、薄板はベースプレート
に重ねて接着される。ベースプレートおよび薄板は、そ
れらの接着面がノズルプレートの複数のノズルが形成さ
れた面と交わるように、ノズルプレートと接着される。
According to the present invention, the thin plate is bonded to the base plate so as to overlap. The base plate and the thin plate are bonded to the nozzle plate such that their bonding surfaces intersect with the surface of the nozzle plate on which the plurality of nozzles are formed.

【0013】ベースプレートおよび薄板とノズルプレー
トとを接着するための接着剤が退避するための退避部が
形成されるので、接着されたベースプレートおよび薄板
とノズルプレートとを接着するために押圧したときに、
接着剤が退避部に向かって変形する。これにより、接着
剤の変形を退避部で吸収することができる。また、退避
部においても、変形して退避部に入り込んだ接着剤によ
り接着力が得られるので、接着力が低下することがな
い。その結果、接着力を低下させることなくインク流路
に接着剤が入り込むのを防止したインクジェットヘッド
の製造方法を提供することができる。
A retracting portion is formed for retracting the adhesive for bonding the base plate and the thin plate to the nozzle plate, so that when the bonded base plate and the thin plate are pressed to bond the nozzle plate to the nozzle plate,
The adhesive is deformed toward the retreat portion. Thereby, the deformation of the adhesive can be absorbed by the retracting portion. Further, also in the retracting portion, since the adhesive force is obtained by the adhesive deformed and entering the retracting portion, the adhesive force does not decrease. As a result, it is possible to provide a method for manufacturing an ink jet head in which the adhesive is prevented from entering the ink flow path without lowering the adhesive strength.

【0014】好ましくは、退避部を形成する工程は、接
着剤、ベースプレート、薄板、および、ベースプレート
の少なくとも1つに退避部を形成することを特徴とす
る。
[0014] Preferably, the step of forming the retreat portion is characterized in that the retreat portion is formed in at least one of an adhesive, a base plate, a thin plate, and a base plate.

【0015】接着剤は、パターン印刷により直接プレー
トに塗布するものや、フィルム状のものが含まれる。接
着剤への退避部の形成は、塗布する接着剤の場合には、
パターン印刷時に塗布するパターンに退避部を含めるよ
うにし、フィルム状の接着剤は、接着剤をフォトリソグ
ラフィやプレスなどすることにより退避部を形成するこ
とができる。
The adhesives include those directly applied to the plate by pattern printing and those in the form of a film. The formation of the retraction part in the adhesive is, in the case of the adhesive to be applied,
The retracted portion is included in the pattern applied at the time of pattern printing, and the film-shaped adhesive can form the retracted portion by subjecting the adhesive to photolithography or pressing.

【0016】この発明によれば、退避部が、接着剤、ベ
ースプレート、薄板、および、ベースプレートの少なく
とも1つに形成されるので、退避部を容易に形成するこ
とができる。
According to the present invention, since the retreat portion is formed on at least one of the adhesive, the base plate, the thin plate, and the base plate, the retreat portion can be easily formed.

【0017】さらに好ましくは、接着剤に複数のインク
流路それぞれの位置と形状とに対応し、接着剤が存在し
ない複数の流路パターンを形成する工程をさらに含み、
退避部を形成する工程は、複数のパターンの形状と略同
じ形状の退避部を、複数の流路パターンの配列にしたが
って少なくとも1つ形成することを特徴とする。
More preferably, the method further includes a step of forming a plurality of flow path patterns corresponding to the positions and shapes of the plurality of ink flow paths in the adhesive and having no adhesive.
The step of forming the retreat portion is characterized in that at least one retreat portion having substantially the same shape as the plurality of patterns is formed in accordance with the arrangement of the plurality of flow path patterns.

【0018】この発明によれば、複数の流路パターンの
形状と略同じ形状の退避部が、複数の流路パターンの配
列にしたがって少なくとも1つ形成される。変形した接
着剤は、複数の流路パターンと退避部とに向かって変形
する。退避部は、複数のパターンの形状と略同じ形状で
あり、複数のパターンが配列される間隔にしたがって少
なくとも1つ形成されるので、接着剤の複数の流路パタ
ーンの変形を均一にすることができる。
According to the present invention, at least one retreat portion having substantially the same shape as the plurality of flow path patterns is formed in accordance with the arrangement of the plurality of flow path patterns. The deformed adhesive deforms toward the plurality of flow path patterns and the retreat portion. The retraction part has substantially the same shape as the shape of the plurality of patterns, and is formed at least one in accordance with the interval at which the plurality of patterns are arranged. Therefore, it is possible to make the deformation of the plurality of flow path patterns of the adhesive uniform. it can.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】[第1の実施の形態]次に、本発
明の実施の形態を、図面に基づいて説明する。なお、図
中の同一符号は、同一または相当する部材を示し、重複
した説明は繰返さない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [First Embodiment] Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The same reference numerals in the drawings denote the same or corresponding members, and the description thereof will not be repeated.

【0020】図1は、本発明の実施の形態の1つにおけ
るインクジェット記録ヘッドを利用したインクジェット
記録装置10の全体構成を示した図である。本図を参照
して、インクジェット記録装置10は、インクジェット
方式でノズルから、シアン(C)、マゼンタ(M)、イ
エロー(Y)、ブラック(K)それぞれの色のインクを
吐出させる4個のラインヘッド101と、各色のインク
が溜められている4個のインクタンク107と、インク
タンク107のインクをラインヘッド101に供給する
ための4本のインクパイプ103とを備えている。
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of an ink jet recording apparatus 10 using an ink jet recording head according to one embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the inkjet recording apparatus 10 has four lines for ejecting inks of cyan (C), magenta (M), yellow (Y), and black (K) from nozzles by an inkjet method. The head 101 is provided with four ink tanks 107 for storing inks of respective colors, and four ink pipes 103 for supplying the ink in the ink tank 107 to the line head 101.

【0021】ここで、ラインヘッド101は、用紙幅に
対応した所定の長さを有しており、両端がキャリッジベ
ルト105に固定されている。このため、キャリッジベ
ルト105の回転によって用紙上を走査方向(図中Z方
向)に往復移動し、用紙全体への印字を行なうことがで
きる。
Here, the line head 101 has a predetermined length corresponding to the sheet width, and both ends are fixed to the carriage belt 105. Therefore, the paper can be reciprocated on the paper in the scanning direction (Z direction in the drawing) by the rotation of the carriage belt 105, and printing can be performed on the entire paper.

【0022】また、インクジェット記録装置10は、記
録用の用紙を給紙するための給紙部109と、給紙部1
09から送られてきた用紙を搬送するための搬送ローラ
111と、用紙を印字位置まで搬送等するための搬送ベ
ルト113と、送られてきた用紙を印字位置で吸着して
搬送ベルト113上に固定させるための吸着装置115
と、印字後の用紙を排出するための排出部117とを備
えている。
The ink jet recording apparatus 10 includes a paper feed unit 109 for feeding paper for recording and a paper feed unit 1.
A transport roller 111 for transporting the paper sent from the printer 09, a transport belt 113 for transporting the paper to a printing position, and the like, and the transported paper is attracted at the printing position and fixed on the transport belt 113. Adsorption device 115 for causing
And a discharge unit 117 for discharging the paper after printing.

【0023】なお、排出部117とその上に積み置きさ
れた排出用紙とは、内部構造を図示するため、一部のみ
を図示し、他の部分は図示を省略している。
It should be noted that the discharge section 117 and the discharge paper stacked thereon are only partially illustrated in order to illustrate the internal structure, and the other parts are not illustrated.

【0024】図2は、本実施の形態におけるインクジェ
ット記録装置10の動作制御を説明するための機能ブロ
ック図である。本図を参照して、インクジェット記録装
置10のメインコントローラ201は、スキャナ等から
読取った画像データをホストコンピュータ203から受
け取り、1フレーム単位でバッファ用のフレームメモリ
205に格納する。そして、フレームメモリ205から
読み出した画像を基に、ドライバコントローラ215お
よびヘッドドライバ217を介して、インクを吐出する
ための吐出信号をラインヘッド101に出力する。ヘッ
ドドライバ217は、吐出信号を出力するタイミングを
制御する。
FIG. 2 is a functional block diagram for explaining operation control of the ink jet recording apparatus 10 according to the present embodiment. With reference to this figure, the main controller 201 of the inkjet recording apparatus 10 receives image data read from a scanner or the like from the host computer 203 and stores the image data in a frame memory 205 for a buffer in frame units. Then, based on the image read from the frame memory 205, an ejection signal for ejecting ink is output to the line head 101 via the driver controller 215 and the head driver 217. The head driver 217 controls the timing of outputting the ejection signal.

【0025】また、メインコントローラ201は、印字
の際に、ラインヘッド101を移動させるために、モー
タドライバ207を通してラインヘッド送りモータ20
9を駆動制御する。ラインヘッド送りモータ209の駆
動により、キャリッジベルト105が回転する。さら
に、メインコントローラ201は、用紙を搬送するため
に、モータドライバ211を通して紙送りモータ213
を駆動制御する。紙送りモータ213の駆動により、搬
送ローラ111と搬送ベルト113とが駆動される。
The main controller 201 also controls the line head feed motor 20 through the motor driver 207 to move the line head 101 during printing.
9 is drive-controlled. By driving the line head feed motor 209, the carriage belt 105 is rotated. Further, the main controller 201 controls the paper feed motor 213 through the motor driver 211 to convey the paper.
Drive control. The driving of the paper feed motor 213 drives the transport roller 111 and the transport belt 113.

【0026】図3は、本実施の形態におけるラインヘッ
ド101の構成を説明するための一部分解斜視図であ
る。図3を参照して、ラインヘッド101は、その中心
となるベースプレート301と、インクを吐出させるた
めの複数のノズルを有するノズルプレート303と、ヘ
ッドを両側から挟むように保持するホルダ450,45
1とを備えている。
FIG. 3 is a partially exploded perspective view for explaining the configuration of the line head 101 in the present embodiment. Referring to FIG. 3, line head 101 has a base plate 301 at the center thereof, a nozzle plate 303 having a plurality of nozzles for ejecting ink, and holders 450 and 45 for holding the head from both sides.
1 is provided.

【0027】ラインヘッド101は、インクを引き出す
流路を形成するための引出板305と、インレットを形
成するためのインレットプレート307と、インクを加
圧するための空間としてのインクチャネル(加圧室)を
形成するためのチャネルプレート309と、インク吐出
の駆動源である圧電素子311と、圧電素子311に吐
出信号となる電圧を印加するためのフレキシブルケーブ
ル315とを備えている。
The line head 101 includes a drawer plate 305 for forming a flow path for drawing ink, an inlet plate 307 for forming an inlet, and an ink channel (pressurizing chamber) as a space for pressurizing the ink. , A piezoelectric element 311 serving as a driving source of ink ejection, and a flexible cable 315 for applying a voltage serving as an ejection signal to the piezoelectric element 311.

【0028】これらは、図に示されるように、ベースプ
レート301の両面にそれぞれ設けられている。そし
て、分解されている部分で構成されるヘッドセルと同じ
ものが、ここでは、3セル並べられることによりライン
ヘッド101のライン幅が確保される。
These are provided on both sides of the base plate 301 as shown in the figure. In this case, the same head cell composed of the disassembled portions is arranged in three cells here, so that the line width of the line head 101 is secured.

【0029】ここで、ベースプレート301とノズルプ
レート303とは、ベースプレート301の端面の各イ
ンク流路がノズルプレート303の対応するノズル位置
にくるように接着され、かつ、ベースプレート301の
引出板305が接着される面とノズルプレート303の
ノズルが形成された面とが垂直に交わるように、接着さ
れる。
Here, the base plate 301 and the nozzle plate 303 are bonded so that each ink flow path on the end face of the base plate 301 comes to a corresponding nozzle position of the nozzle plate 303, and the drawer plate 305 of the base plate 301 is bonded. The surface of the nozzle plate 303 where the nozzles are formed is bonded so that the surface on which the nozzles are formed intersects perpendicularly.

【0030】このような構成により、ラインヘッド10
1は、ベースプレート301の両サイドにインクを加圧
するためのインクチャネルが設けられている。1つのイ
ンクチャネルに対して1つのノズルが対応する。このた
め、単位長さ当りのノズル数を、片面における単位長さ
当りのインクチャネル数の2倍としている。具体的に
は、片面の1インチ当りのインクチャネル数が45個で
あり、両面合わせて1インチ当りのインクチャネル数が
90個となり、90npi(nozzle/inch)
の性能を実現させている。
With such a configuration, the line head 10
1 is provided with ink channels for pressurizing ink on both sides of the base plate 301. One nozzle corresponds to one ink channel. For this reason, the number of nozzles per unit length is twice the number of ink channels per unit length on one side. Specifically, the number of ink channels per inch on one side is 45, the number of ink channels per inch on both sides is 90, and 90 npi (nozzle / inch)
The performance of is realized.

【0031】図4は、本実施の形態におけるラインヘッ
ド101のノズルが配列する方向に対して垂直な面を示
した断面図である。図4(A)は、奇数列のノズルに対
応するインク流路を示す断面図である。図4(B)は、
偶数列のノズルに対応するインク流路を示す断面図であ
る。これら2つの断面図は、それぞれ、一方に対して他
方を1/90インチだけノズルが配列する方向にシフト
させたものに相当する。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a plane perpendicular to the direction in which the nozzles of the line head 101 in this embodiment are arranged. FIG. 4A is a cross-sectional view illustrating the ink flow paths corresponding to the odd-numbered rows of nozzles. FIG. 4 (B)
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating ink flow paths corresponding to nozzles in an even-numbered row. These two cross-sectional views correspond to one in which the other is shifted by 1/90 inch in the direction in which the nozzles are arranged.

【0032】図4(A)および(B)を参照して、ライ
ンヘッド101は、ベースプレート301の両面に、引
出板305、インレットプレート307、チャネルプレ
ート309、および、振動板401が積層される。これ
により、共通インク室417、インレット415、およ
び、インクチャネル413、引出部412からなるイン
ク流路が形成されている。振動板401のインクチャネ
ル413と反対側の面には圧電素子311が積層され
る。振動板401と圧電素子311とは接着されてい
る。なお、チャネルプレート309の一部に振動板40
1を形成するようにしてもよく、図3では、その例を示
した。
Referring to FIGS. 4A and 4B, in line head 101, drawer plate 305, inlet plate 307, channel plate 309, and diaphragm 401 are laminated on both sides of base plate 301. As a result, an ink flow path including the common ink chamber 417, the inlet 415, the ink channel 413, and the drawer 412 is formed. A piezoelectric element 311 is stacked on a surface of the vibration plate 401 opposite to the ink channel 413. The vibration plate 401 and the piezoelectric element 311 are bonded. Note that the diaphragm 40 is partially provided in the channel plate 309.
1 may be formed, and FIG. 3 shows an example thereof.

【0033】なお、実際には、ベースプレートの厚さは
1.5[mm]、引出板305の厚さは200[μ
m]、インレットプレート307の厚さは50[μ
m]、チャネルプレート309の厚さは150[μ
m]、振動板401の厚さは3〜30[μm]、ノズル
プレート303の厚さは0.15[mm]である。
In practice, the thickness of the base plate is 1.5 [mm], and the thickness of the drawer plate 305 is 200 [μ].
m], and the thickness of the inlet plate 307 is 50 [μ].
m] and the thickness of the channel plate 309 is 150 μ
m], the thickness of the diaphragm 401 is 3 to 30 [μm], and the thickness of the nozzle plate 303 is 0.15 [mm].

【0034】図4(A)は、奇数列のノズルに対応する
インク流路の中心面における断面を示したものである。
ここでの中心面とは、インクチャネル413が配列する
方向(ノズルが配列する方向)を法線とする面であっ
て、インクチャネルの中心を通る面をいう。図4(A)
では、奇数列のノズルに対応するインク流路は示されて
いるが、遇数列のノズルに対応するインク流路は示され
ていない。この断面では偶数列のノズルに対応するイン
ク流路を有する側(図4(A)中ベースプレート301
の下側)では、インク流路間に設けられる隔壁が表わさ
れている。
FIG. 4A shows a cross section at the center plane of the ink flow path corresponding to the nozzles in the odd rows.
The center plane here is a plane whose normal line is the direction in which the ink channels 413 are arranged (the direction in which the nozzles are arranged), and refers to a plane passing through the center of the ink channel. FIG. 4 (A)
In the figure, the ink flow paths corresponding to the odd-numbered rows of nozzles are shown, but the ink flow paths corresponding to the even-numbered rows of nozzles are not shown. In this cross section, the side having the ink flow paths corresponding to the nozzles in the even-numbered rows (the base plate 301 in FIG. 4A)
(Lower side) represents a partition wall provided between the ink flow paths.

【0035】図4(B)は、遇数列のノズルに対応する
インク流路の中心面における断面を示したものである。
図4(A)と同様に、偶数列のノズルに対応するインク
流路は示されているが、奇数列のノズルに対応するイン
ク流路は示されていない。
FIG. 4B shows a cross section of the ink flow path corresponding to the even-numbered rows of nozzles at the center plane.
As in FIG. 4A, the ink flow paths corresponding to the nozzles in the even rows are shown, but the ink flow paths corresponding to the nozzles in the odd rows are not shown.

【0036】なお、インレット415をインク流路の中
心に設けられるようにしたが、インク流路の中心からは
ずれた位置に設けるようにしてもよい。また、共通イン
ク室417を、奇数列のノズルに対応するインク流路と
遇数列のノズルに対応するインク流路とで、別に設ける
ようにしたが、奇数列のノズルに対応するインク流路と
遇数列のノズルに対応するインク流路とで共通した共通
インク室としてもよい。
Although the inlet 415 is provided at the center of the ink flow path, it may be provided at a position off the center of the ink flow path. Further, the common ink chamber 417 is provided separately for the ink flow path corresponding to the odd-numbered row nozzles and the ink flow path corresponding to the even-numbered row nozzles. A common ink chamber may be used in common with the ink flow paths corresponding to the nozzles in the even-numbered rows.

【0037】ベースプレート301と引出板305、イ
ンレットプレート307、チャネルプレート309、お
よび、振動板401は、フィルム状接着剤510でノズ
ルプレート303と接着される。ベースプレート301
と引出板305、インレットプレート307、チャネル
プレート309、および、振動板401とが接着された
端面、換言すれば、それぞれのプレート301,30
5,307,309,401がノズルプレート303と
接着される面は、平坦でなく接着面で段差がある。これ
は、それぞれのプレートの材質や製法が異なること等に
よるものである。
The base plate 301, the drawer plate 305, the inlet plate 307, the channel plate 309, and the diaphragm 401 are bonded to the nozzle plate 303 with a film adhesive 510. Base plate 301
And the extraction plate 305, the inlet plate 307, the channel plate 309, and the end face to which the vibration plate 401 is bonded, in other words, the respective plates 301 and 30
The surface where 5, 307, 309 and 401 are bonded to the nozzle plate 303 is not flat but has a step on the bonding surface. This is because the materials and manufacturing methods of the respective plates are different.

【0038】インレットプレート307は、電気鋳造法
により加工される。これに対して、引出板305、チャ
ネルプレート309、および、振動板401は、エッチ
ングにより加工される。このように、加工方法が異なる
ため、寸法精度に誤差を生じる。また、プレートを貼合
せるとき、インク流路が正しく形成されるように位置決
めすると、貼合せられたプレート301,305,30
7,309,401の端面で段差が生じる場合がある。
また、プレートの貼合せに接着剤が用いられるが、貼合
せにより接着剤がプレート間からはみ出して貼合せたプ
レート301,305,307,309,401の端面
に凹凸が生じる場合がある。
The inlet plate 307 is processed by an electroforming method. On the other hand, the extraction plate 305, the channel plate 309, and the diaphragm 401 are processed by etching. As described above, since the processing methods are different, an error occurs in the dimensional accuracy. When the plates are bonded so that the ink flow paths are formed correctly, the bonded plates 301, 305, 30
Steps may occur at the end faces of 7, 309 and 401.
In addition, an adhesive is used for laminating the plates. However, the adhesive may protrude from between the plates, and irregularities may be formed on the end faces of the laminated plates 301, 305, 307, 309, and 401.

【0039】この段差を吸収するため、本実施の形態で
は、フィルム状接着剤510を用いている。フィルム状
接着剤510は、厚さが15〜100[μm]の熱硬化
性のエポキシ樹脂である。なお、フィルム状接着剤51
0は、アクリル樹脂やウレタン樹脂を用いてもよい。
In the present embodiment, a film adhesive 510 is used to absorb the step. The film adhesive 510 is a thermosetting epoxy resin having a thickness of 15 to 100 [μm]. In addition, the film adhesive 51
For 0, an acrylic resin or a urethane resin may be used.

【0040】フィルム状接着剤510を用いることで、
ベースプレート301、引出板305、インレットプレ
ート307、チャネルプレート309、および、振動板
401を貼合せた端面で段差や凹凸が生じたとしても、
貼合せたプレート301,305,307,309,4
01間の接着部分にせん断力を発生させることがなく、
プレートが剥がれたりすることがない。このため、イン
ク流路からインクが漏れるのを防止することができる。
また、上述の製造誤差を許容できるとともに、インク流
路が正しく形成されるようにプレートを位置決めするこ
とが容易となる。
By using the film adhesive 510,
Even if a step or unevenness occurs on the end face where the base plate 301, the extraction plate 305, the inlet plate 307, the channel plate 309, and the vibration plate 401 are bonded,
Plates 301, 305, 307, 309, 4 attached
No shearing force is generated at the bonded part between 01 and
The plate does not peel off. Therefore, it is possible to prevent the ink from leaking from the ink flow path.
In addition, the above-described manufacturing error can be tolerated, and the plate can be easily positioned so that the ink flow path is formed correctly.

【0041】ノズルプレート303には、後述するノズ
ル410に通じるインク流路として連絡路411が形成
されている。
In the nozzle plate 303, a communication path 411 is formed as an ink flow path leading to a nozzle 410 described later.

【0042】ベースプレート301のノズルプレート3
03と接着される側と反対の端部には、ベースプレート
301の面から突出した突出部350が設けられてい
る。突出部350は、ベースプレート301の面から突
出しているので、ベースプレート301の厚さよりも厚
い。また、突出部350は、図3にも示されるように、
ノズルプレート303と接着される端面に対向する端面
の一部であり、ノズルプレート303と接着される端面
と平行な平面である。なお、突出部350は、ベースプ
レート301の面から突出して形成されるものであれ
ば、ベースプレート301の任意の場所に形成すること
ができる。また、突出部は、ノズルプレート303と接
着される端面と平行な平面を有すればさらに好ましく、
その平面の形状には、円形、四角形、多角形などの種々
の形状を適用することができる。
The nozzle plate 3 of the base plate 301
A projection 350 protruding from the surface of the base plate 301 is provided at the end opposite to the side to be bonded to 03. Since the protruding portion 350 protrudes from the surface of the base plate 301, it is thicker than the thickness of the base plate 301. In addition, as shown in FIG.
It is a part of the end face opposed to the end face bonded to the nozzle plate 303, and is a plane parallel to the end face bonded to the nozzle plate 303. Note that the protruding portion 350 can be formed at any position on the base plate 301 as long as it is formed so as to protrude from the surface of the base plate 301. Further, it is more preferable that the protruding portion has a plane parallel to an end face bonded to the nozzle plate 303,
Various shapes such as a circle, a square, and a polygon can be applied to the shape of the plane.

【0043】図5は、本実施の形態におけるラインヘッ
ド101が備えるノズルプレート303の一部の平面図
である。図6は、図5のA−A線断面の一部を示す断面
図である。図5および図6を参照して、ノズルプレート
303は、インクを飛翔させるためのノズル410を複
数有する。本実施の形態においては、ノズルは90[n
pi]で図中のX方向に配列されている。
FIG. 5 is a plan view of a part of the nozzle plate 303 provided in the line head 101 according to the present embodiment. FIG. 6 is a sectional view showing a part of a section taken along line AA of FIG. Referring to FIGS. 5 and 6, the nozzle plate 303 has a plurality of nozzles 410 for flying ink. In the present embodiment, the nozzle is 90 [n
[pi] in the X direction in the figure.

【0044】また、ノズルプレート303には、連結路
411A,411Bが形成されている。連結路411
A,411Bは、ベースプレート301と引出板305
とで形成される引出部412と、ノズル410とを繋ぐ
インク流路である。
In the nozzle plate 303, connecting paths 411A and 411B are formed. Connection road 411
A and 411B are a base plate 301 and a drawer plate 305.
This is an ink flow path that connects the drawing section 412 formed by the above and the nozzle 410.

【0045】図7は、本実施の形態におけるラインヘッ
ド101がインクを飛翔する原理を説明するための図で
ある。図7(A)は、奇数列のノズルからインクを飛翔
する場合を示す図であり、図7(B)は偶数列のノズル
からインクを飛翔する場合を示す図である。図7(A)
および図7(B)を参照して、圧電素子311に電圧が
印加されると、圧電素子311は圧電現象により黒矢印
の方向に縮もうとする。この場合、圧電素子311の片
面は振動板401に拘束されているため、自由に縮むこ
とができない。したがって、圧電素子311はインクチ
ャネルを押す方向(本図では紙面縦方向(白矢印で示す
方向)が加圧方向となる)に撓むことになる。この撓み
によって、インクチャネル413を加圧してノズルプレ
ート303の該当するノズル410からインク滴を吐出
させる。このように、奇数列のノズルと偶数列のノズル
からそれぞれインクを飛翔させることができる。
FIG. 7 is a diagram for explaining the principle that the line head 101 in this embodiment flies ink. FIG. 7A is a diagram illustrating a case where ink is ejected from nozzles in an odd-numbered row, and FIG. 7B is a diagram illustrating a case where ink is ejected from nozzles in an even-numbered row. FIG. 7 (A)
Referring to FIG. 7B, when a voltage is applied to piezoelectric element 311, piezoelectric element 311 tends to contract in the direction indicated by the black arrow due to the piezoelectric phenomenon. In this case, one side of the piezoelectric element 311 cannot be freely shrunk because it is restrained by the diaphragm 401. Therefore, the piezoelectric element 311 bends in the direction in which the ink channel is pushed (in this drawing, the vertical direction on the paper (the direction indicated by the white arrow) is the pressing direction). Due to this bending, the ink channels 413 are pressurized, and ink droplets are ejected from the corresponding nozzles 410 of the nozzle plate 303. In this manner, ink can be ejected from the nozzles in the odd rows and the nozzles in the even rows.

【0046】このような構成のラインヘッド101にお
いては、圧電素子311の撓む方向(加圧方向)とイン
ク吐出方向とが垂直となるように接着されている。
In the line head 101 having such a configuration, the bonding is performed such that the direction in which the piezoelectric element 311 is bent (pressure direction) is perpendicular to the direction of ink ejection.

【0047】図8は、本実施の形態におけるラインヘッ
ド101を製造する工程の流れを示すフロー図である。
図8を参照して、ラインヘッド101の製造は、ベース
プレート301に引出板305、インレットプレート3
07、チャネルプレート309、および、振動板401
が接着される(工程601)。
FIG. 8 is a flowchart showing a flow of a process for manufacturing the line head 101 in the present embodiment.
Referring to FIG. 8, the production of the line head 101 is such that the extraction plate 305 and the inlet plate 3 are attached to the base plate 301.
07, channel plate 309, and diaphragm 401
Are bonded (step 601).

【0048】次に、フィルム状接着剤510にパターニ
ングが施される(工程602)。フィルム状接着剤51
0には、接着剤が除去された除去パターン512および
退避パターン516が形成される。これについては、後
で詳しく説明する。
Next, the film adhesive 510 is patterned (step 602). Film adhesive 51
At 0, a removal pattern 512 from which the adhesive has been removed and a retreat pattern 516 are formed. This will be described in detail later.

【0049】次に、ノズルプレート303、ベースプレ
ート301、および、ホルダ450,451が治具上で
位置決めされる(工程603)。なお、ノズルプレート
303は、二段階電気鋳造法や二段階エッチングによ
り、別の工程で加工される。
Next, the nozzle plate 303, the base plate 301, and the holders 450 and 451 are positioned on the jig (step 603). Note that the nozzle plate 303 is processed in another process by two-stage electroforming or two-stage etching.

【0050】そして、熱圧着装置により、ベースプレー
ト301および引出板305とホルダ450,451と
がノズルプレートに熱圧着される(工程604)。ホル
ダ450,451のノズルプレートに対する押圧と、ベ
ースプレート301のノズルプレートに対する押圧と
が、別々に行なわれつつ、加熱される。なお、ホルダ4
50,451およびベースプレート301とノズルプレ
ート303との間には、フィルム状接着剤510が挿入
される。このフィルム状接着剤510が加熱されること
で、ホルダ450,451およびベースプレート301
とノズルプレートとが接着される。
Then, the base plate 301 and the drawer plate 305 and the holders 450 and 451 are thermocompression-bonded to the nozzle plate by the thermocompression bonding device (step 604). Pressing of the holders 450 and 451 against the nozzle plate and pressing of the base plate 301 against the nozzle plate are heated while being performed separately. Note that the holder 4
A film adhesive 510 is inserted between the base plate 301 and the nozzle plate 303. When the film adhesive 510 is heated, the holders 450 and 451 and the base plate 301 are heated.
And the nozzle plate are adhered.

【0051】その後、ホルダ450,451内に樹脂が
封入される(工程605)。次に、工程602における
フィルム状接着剤510のパターニングについて説明す
る。図9は、押圧前後におけるフィルム状接着剤に形成
されたパターンの変化を示す図である。図9(A)は押
圧前の状態を示し、図9(B)は押圧後の状態を示す。
図9(A)を参照して、フィルム状接着剤510には、
ノズルプレート303に形成されたインク流路である連
結路411の位置と形状とに対応して、接着剤が除去さ
れた除去パターン512が形成されている。なお、図に
は、除去パターン512の位置を明確に示すためにノズ
ル410を点線で描いているが、実際にはノズル410
はフィルム状接着剤には存在しない。
Thereafter, a resin is sealed in the holders 450 and 451 (step 605). Next, the patterning of the film adhesive 510 in the step 602 will be described. FIG. 9 is a diagram showing a change in a pattern formed on the film adhesive before and after pressing. FIG. 9A shows a state before pressing, and FIG. 9B shows a state after pressing.
Referring to FIG. 9A, the film adhesive 510 includes:
A removal pattern 512 from which the adhesive has been removed is formed corresponding to the position and shape of the connection path 411, which is an ink flow path formed in the nozzle plate 303. In the figure, the nozzle 410 is drawn by a dotted line in order to clearly show the position of the removal pattern 512.
Is not present in film adhesives.

【0052】図9(B)を参照して、フィルム状接着剤
510の端部514には、除去パターン512が形成さ
れていない。したがって、フィルム状接着剤510が押
圧されると、フィルム状接着剤510の端部514の接
着剤の横ひずみが、形成された除去パターン512に向
かって累積されて大きくなる。その結果、除去パターン
512に接着剤が入り込み、インク流路が詰まってしま
う。本実施の形態におけるフィルム状接着剤510は、
このインク流路へ接着剤が入り込むのを防止するための
退避部を備える。この退避部ついて説明する。
Referring to FIG. 9B, the removal pattern 512 is not formed at the end 514 of the film adhesive 510. Therefore, when the film adhesive 510 is pressed, the lateral distortion of the adhesive at the end 514 of the film adhesive 510 is accumulated toward the formed removal pattern 512 and increases. As a result, the adhesive enters the removal pattern 512 and the ink flow path is clogged. The film adhesive 510 in the present embodiment is
A retreat portion is provided for preventing the adhesive from entering the ink flow path. The evacuation unit will be described.

【0053】図10は、本実施の形態におけるフィルム
状接着剤510に形成されたパターンを示す図である。
図10(A)は押圧前の状態を示し、図10(B)は押
圧後の状態を示す図である。図10(A)を参照して、
フィルム状接着剤510には、接着剤が除去された除去
パターン512と、退避パターン516とが形成されて
いる。
FIG. 10 is a diagram showing a pattern formed on film adhesive 510 in the present embodiment.
FIG. 10A shows a state before pressing, and FIG. 10B shows a state after pressing. Referring to FIG.
A removal pattern 512 from which the adhesive has been removed and a retreat pattern 516 are formed on the film adhesive 510.

【0054】除去パターン512は、ノズルプレート3
03に形成されたインク流路である連結路411の位置
に対応して接着剤が除去されている。除去パターン51
2の形状は、連結路411の形状と相似形で、やや大き
な形状である。除去パターン512は、フィルム状接着
剤510が押圧されたときに、変形する除去パターンの
変形量の分だけ大きな形状で形成される。
The removal pattern 512 corresponds to the nozzle plate 3
The adhesive has been removed corresponding to the position of the connection path 411, which is the ink flow path formed in 03. Removal pattern 51
The shape of 2 is similar to the shape of the connection path 411, and is slightly larger. The removal pattern 512 is formed in a shape larger by the amount of deformation of the removal pattern that is deformed when the film adhesive 510 is pressed.

【0055】退避パターン516は、除去パターン51
2と形状および配列される間隔が同じである。ここで
は、4つの退避パターンを設けている。ここでは、退避
パターン516を4つ設けたが、これに限られず、1つ
以上設ければよい。退避パターンの数は、除去パターン
512が平均して同じ変形をするように調整すればよ
い。なお、図には、除去パターン512の位置を明確に
示すためにノズル410を点線で描いているが、実際に
はノズル410はフィルム状接着剤には存在しない。
The retreat pattern 516 is the same as the removal pattern 51.
The shape and the arrangement interval are the same as those of No. 2. Here, four evacuation patterns are provided. Here, four retreat patterns 516 are provided, but the number is not limited thereto, and one or more retreat patterns 516 may be provided. The number of evacuation patterns may be adjusted so that the removal patterns 512 have the same deformation on average. In the figure, the nozzle 410 is drawn by a dotted line to clearly show the position of the removal pattern 512, but the nozzle 410 is not actually present in the film adhesive.

【0056】図10(B)を参照して、フィルム状接着
剤510の端部514に4つの退避パターン516が形
成されている。フィルム状接着剤510の押圧による端
部514の横方向の横ひずみによる変形は、退避パター
ン516に向かう。これにより、接着シート510の端
部514の横ひずみによる変形は、退避パターン516
で吸収されるため、除去パターン516への影響が軽減
される。
Referring to FIG. 10B, four retreat patterns 516 are formed at end 514 of film adhesive 510. The deformation of the end portion 514 due to the lateral strain in the lateral direction due to the pressing of the film adhesive 510 goes to the retreat pattern 516. Thereby, the deformation of the end portion 514 of the adhesive sheet 510 due to the lateral strain is prevented by the retreat pattern 516.
Therefore, the influence on the removal pattern 516 is reduced.

【0057】本実施の形態においては、フィルム状接着
剤510のパターニングに公知のフォトリソグラフィー
を用いた。これに代えてプレスによりパターンを形成す
るようにしてもよい。また、フィルム状接着剤として
は、東京応化工業(株)製のPR135等のドライフィ
ルムを用いても良い。また、たとえばエイブルスティッ
ク(株)製のエイブルボンド342−3等の接着剤を接
着面にパターン印刷することにより塗布するようにして
もよい。
In the present embodiment, known photolithography is used for patterning the film adhesive 510. Alternatively, the pattern may be formed by pressing. Further, as the film adhesive, a dry film such as PR135 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. may be used. Alternatively, an adhesive such as Able Bond 342-3 manufactured by Able Stick Co., Ltd. may be applied by pattern printing on the bonding surface.

【0058】[退避パターンの変形例]つぎに、退避部
の変形例について説明する。図11は、本実施の形態に
おけるフィルム状接着剤に形成される退避部の変形例を
示す図である。図11を参照して、4つの退避パターン
516が溝518で連結されている。さらに溝518
は、フィルム状接着剤510の端まで達っしている。な
お、図には、除去パターン512の位置を明確に示すた
めにノズル410を点線で描いているが、実際にはノズ
ル410はフィルム状接着剤には存在しない。
[Modification of Retraction Pattern] Next, a modification of the retraction unit will be described. FIG. 11 is a view showing a modified example of the retracting portion formed on the film adhesive in the present embodiment. Referring to FIG. 11, four retreat patterns 516 are connected by grooves 518. Further groove 518
Has reached the end of the film adhesive 510. In the figure, the nozzle 410 is drawn by a dotted line to clearly show the position of the removal pattern 512, but the nozzle 410 is not actually present in the film adhesive.

【0059】このように、フィルム状接着剤510に退
避パターン516と溝518とを形成したので、シート
状接着シート510の退避パターン516は、ベースプ
レート301とノズルプレート303との接着により、
これらの間に挟まれたとしても、外気から遮断されるこ
とがない。このため、接着時に加熱したとしても、退避
パターン516内の空気が膨張しても溝518から外に
逃げるので、退避パターン516内の圧力が上昇するこ
とがない。このため、退避パターン516内の空気が膨
張することで、接着部分が剥がれることがない。なお、
除去パターン512は、ノズル410により外気と連結
されている。
As described above, since the retreat pattern 516 and the groove 518 are formed in the film adhesive 510, the retreat pattern 516 of the sheet adhesive sheet 510 is formed by bonding the base plate 301 and the nozzle plate 303.
Even if it is sandwiched between them, it is not shut off from the outside air. Therefore, even if the air in the evacuation pattern 516 expands, the air in the evacuation pattern 516 escapes from the groove 518 even when heated during bonding, so that the pressure in the evacuation pattern 516 does not increase. For this reason, the adhesive portion does not come off due to the expansion of the air in the retreat pattern 516. In addition,
The removal pattern 512 is connected to the outside air by the nozzle 410.

【0060】次に、工程603における位置決めについ
て説明する。図12は、本実施の形態におけるラインヘ
ッド101のホルダ450,451とベースプレート3
01との位置関係を示す図である。図13は、図12の
B−B線断面を、ノズルプレート303を含めて示す断
面図である。図12および図13を参照して、ホルダ4
50とホルダ451とは、それぞれの両端で互いに接着
される。ホルダ450の第3基準面453とホルダ45
1の第4基準面455で、治具の位置決めピン501を
挟んでいる。ホルダ451は、バネで付勢されたボール
プランジャ503を有する。そして、ボールプランジャ
503は、ベースプレート301をホルダ450の第1
基準面457に押し当てる。また、ベースプレート30
1の基準溝370に治具の位置決めピン501が入り込
む。
Next, the positioning in step 603 will be described. FIG. 12 shows holders 450 and 451 of line head 101 and base plate 3 in this embodiment.
It is a figure showing the positional relationship with 01. FIG. 13 is a cross-sectional view showing a cross section taken along line BB of FIG. Referring to FIG. 12 and FIG.
50 and the holder 451 are bonded to each other at both ends. Third reference surface 453 of holder 450 and holder 45
The first fourth reference surface 455 sandwiches the positioning pin 501 of the jig. The holder 451 has a ball plunger 503 urged by a spring. Then, the ball plunger 503 connects the base plate 301 to the first of the holder 450.
Press against reference plane 457. Also, the base plate 30
The positioning pin 501 of the jig enters the one reference groove 370.

【0061】ベースプレート301とノズルプレート3
03との位置決めは次のように行なわれる。 (1)ノズルプレート303の基準穴505(図14参
照)を治具の位置決めピン501に挿入することによ
り、ノズルプレートが治具上に位置決めされる。 (2)ホルダ450の第3基準面453とホルダ451
の第4基準面455で、治具の位置決めピン501を挟
むことで、ホルダ450とホルダ451とが、治具に位
置決めされる。 (3)バネで付勢されたボールプランジャ503がベー
スプレート301をホルダ450の第1基準面457に
押し当てることで、ベースプレート301が第1基準面
457に平行に移動可能な位置に定められる。この位置
は、ベースプレート301とホルダ450との相対的な
位置である。 (4)ホルダ450の第2基準面459がノズルプレー
ト303と接することで、ベースプレート301とノズ
ルプレート303それぞれの面がなす角度が、第1基準
面と第2基準面とのなす角により定められる。本実施の
形態においては、第1基準面457と第2基準面459
とのなす角を90度としている。 (5)ベースプレート301の基準溝370を、治具の
位置決めピン501に合わせることで、ベースプレート
301とノズルプレートとの位置が定められる。
The base plate 301 and the nozzle plate 3
Positioning with respect to 03 is performed as follows. (1) The nozzle plate is positioned on the jig by inserting the reference holes 505 (see FIG. 14) of the nozzle plate 303 into the positioning pins 501 of the jig. (2) Third reference surface 453 of holder 450 and holder 451
By holding the positioning pin 501 of the jig between the fourth reference surface 455, the holder 450 and the holder 451 are positioned on the jig. (3) When the ball plunger 503 urged by the spring presses the base plate 301 against the first reference surface 457 of the holder 450, the base plate 301 is set at a position where it can move in parallel with the first reference surface 457. This position is a relative position between the base plate 301 and the holder 450. (4) Since the second reference surface 459 of the holder 450 is in contact with the nozzle plate 303, the angle between the base plate 301 and the nozzle plate 303 is determined by the angle between the first reference surface and the second reference surface. . In the present embodiment, first reference plane 457 and second reference plane 459
Is 90 degrees. (5) The positions of the base plate 301 and the nozzle plate are determined by aligning the reference grooves 370 of the base plate 301 with the positioning pins 501 of the jig.

【0062】このように、治具の位置決めピン501に
より、ホルダ450,451のノズルプレート303に
対する図中Y方向の位置、ベースプレート301のノズ
ルプレート303に対する図中XおよびY方向の位置が
定められる。
As described above, the positions of the holders 450 and 451 with respect to the nozzle plate 303 in the Y direction in the figure and the positions of the base plate 301 with respect to the nozzle plate 303 in the X and Y directions in the figure are determined by the positioning pins 501 of the jig.

【0063】また、ホルダーの第1基準面457にベー
スプレート301を押し当て、ホルダーの第2基準面4
59がノズルプレートと接着されるので、ベースプレー
ト301とノズルプレート303とのなす角が定められ
る。
The base plate 301 is pressed against the first reference surface 457 of the holder, and the second reference surface 4
Since 59 is bonded to the nozzle plate, the angle between base plate 301 and nozzle plate 303 is determined.

【0064】次に、工程604における押圧について説
明する。図14は、本実施の形態におけるラインヘッド
101を製造するための押圧工程を説明するための図で
ある。図14を参照して、ホルダ450,451および
ベースプレート301とノズルプレート303との間に
は、厚さ約15〜100[μm]のフィルム状接着剤5
10が挿入される。
Next, the pressing in step 604 will be described. FIG. 14 is a diagram illustrating a pressing process for manufacturing the line head 101 according to the present embodiment. Referring to FIG. 14, a film-like adhesive 5 having a thickness of about 15 to 100 μm is provided between holders 450 and 451 and between base plate 301 and nozzle plate 303.
10 is inserted.

【0065】ベースプレート301をノズルプレートに
対して力F1で押圧し、ホルダ450,451をノズル
プレートに対して力F2で押圧する。力F1と力F2と
は、同じとしてもよいし、異なるようにしてもよい。
The base plate 301 is pressed against the nozzle plate with a force F1, and the holders 450 and 451 are pressed against the nozzle plate with a force F2. The force F1 and the force F2 may be the same or different.

【0066】このように、ホルダ450,451とベー
スプレート301とを別々に押圧するようにしたので、
ホルダ450,451を押圧する工程に影響されること
なく、ベースプレート301を押圧することができる。
また、押圧する力の方向も独立して定めることができる
ので、ベースプレート301をノズルプレート303に
対して正確な方向に押すことができる。
As described above, since the holders 450 and 451 and the base plate 301 are separately pressed,
The base plate 301 can be pressed without being affected by the step of pressing the holders 450 and 451.
Further, since the direction of the pressing force can be determined independently, the base plate 301 can be pressed in an accurate direction with respect to the nozzle plate 303.

【0067】さらに、ベースプレート301を押圧する
力F1は、突出部350に加えられる。ベースプレート
301は、突出部350の部分で、ベースプレート30
1の厚みよりも厚くなっている。ベースプレート301
の厚さの高さに対する比は、突出部350の部分で大き
くなる。このため、ベースプレート301をノズルプレ
ート303に対して押圧する方向を定めやすくなる。
Further, a force F 1 for pressing the base plate 301 is applied to the projection 350. The base plate 301 is a part of the protrusion 350,
1 is thicker. Base plate 301
The ratio of the thickness to the height increases at the protruding portion 350. Therefore, it is easy to determine the direction in which the base plate 301 is pressed against the nozzle plate 303.

【0068】また、突出部350の押圧される部分の面
積は突出部350の無い部分に比べて大きくなるので、
ベースプレート301の単位面積に加わる力を大きくす
ることなく、ベースプレート全体に大きな力を加えるこ
とができる。
Further, since the area of the pressed portion of the projection 350 is larger than that of the portion without the projection 350,
A large force can be applied to the entire base plate without increasing the force applied to the unit area of the base plate 301.

【0069】さらに、突出部350の押圧される部分
は、ベースプレート301のノズルプレート303と接
着される端面と平行な平面である。このため、押圧する
治具を平面にしておけば、突出部350と治具とが面接
触することにより、治具とベースプレート301とが接
触する位置を定めることができ、ベースプレート301
がノズルプレート303に対して垂直となるようにベー
スプレート301の位置を定めることができる。さら
に、治具で垂直な方向の力を突出部350に加えれば良
く、ベースプレート301を正しい方向に保ったまま押
圧することができる。
Further, the pressed portion of the protruding portion 350 is a plane parallel to the end face of the base plate 301 bonded to the nozzle plate 303. For this reason, if the pressing jig is made flat, the position where the jig contacts the base plate 301 can be determined by the surface contact between the protruding portion 350 and the jig.
The position of the base plate 301 can be determined so that is perpendicular to the nozzle plate 303. Further, a force in a vertical direction may be applied to the protruding portion 350 by a jig, and the pressing can be performed while the base plate 301 is maintained in a correct direction.

【0070】以上説明したように、第1の実施の形態に
おけるラインヘッド101は、フィルム状接着剤510
に退避パターン516を設けたので、ベースプレート3
01とノズルプレート303とを接着するために押圧し
ても、フィルム状接着剤510が変形してインク流路に
入り込むのを防止することができる。また、退避パター
ン516は、除去パターン514と同じ形状および配列
としたので、除去パターン514の変形を均一にするこ
とができる。その結果、インク流路の変形を防止するこ
とができ、インクの飛翔速度、飛翔方向が均一化された
ラインヘッドを製造することができる。
As described above, the line head 101 according to the first embodiment employs the film adhesive 510.
Is provided with the retreat pattern 516, so that the base plate 3
Even when the film adhesive 510 is pressed to adhere the nozzle plate 01 and the nozzle plate 303, the film adhesive 510 can be prevented from being deformed and entering the ink flow path. Further, since the retraction pattern 516 has the same shape and arrangement as the removal pattern 514, the deformation of the removal pattern 514 can be made uniform. As a result, deformation of the ink flow path can be prevented, and a line head having a uniform flying speed and flying direction of ink can be manufactured.

【0071】さらに、ベースプレート301とノズルプ
レート303とを接着した場合に、退避パターン516
を外気と連通するための溝518を形成した。このた
め、退避パターン516が密閉されることがなく、加熱
による膨張で接着面が剥がれるのを防止することができ
る。
Further, when the base plate 301 and the nozzle plate 303 are bonded, the retreat pattern 516 is formed.
Was formed with a groove 518 for communicating with the outside air. For this reason, the retreat pattern 516 is not hermetically sealed, and the adhesive surface can be prevented from peeling off due to expansion due to heating.

【0072】本実施の形態においては、厚さ15〜10
0[μm]のフィルム状接着剤を用いるた。フィルム状
接着剤の厚さは、これに限定されることなく、押圧する
圧力に応じて定められる。したがって、15[μm]以
下の厚さのフィルム状接着剤を用いるこもできる。ま
た、フィルム状接着剤に代えて所定の厚さ、たとえば、
2〜3[μm]の厚さに塗布した接着剤にも適用するこ
とができる。
In the present embodiment, a thickness of 15 to 10
A film adhesive of 0 [μm] was used. The thickness of the film adhesive is not limited to this, and is determined according to the pressing pressure. Therefore, a film adhesive having a thickness of 15 [μm] or less can be used. Also, a predetermined thickness in place of the film adhesive, for example,
It can also be applied to an adhesive applied to a thickness of 2 to 3 [μm].

【0073】[第2の実施の形態]第2の実施の形態に
おいては、退避部をベースプレート301またはノズル
プレート303のいずれか、または双方に設けたもので
ある。
[Second Embodiment] In the second embodiment, the retracting portion is provided on one or both of the base plate 301 and the nozzle plate 303.

【0074】図15は、第2の実施の形態におけるライ
ンヘッド101のベースプレート301とノズルプレー
ト303との接着面を説明するための図である。図15
を参照して、ベースプレート301のノズルプレート3
03との接着面に、退避部として4つの退避溝520が
形成されている。
FIG. 15 is a diagram for explaining the bonding surface between the base plate 301 and the nozzle plate 303 of the line head 101 according to the second embodiment. FIG.
, The nozzle plate 3 of the base plate 301
Four evacuation grooves 520 are formed as evacuation parts on the surface to be bonded with 03.

【0075】フィルム状接着剤510には、接着剤が除
去された除去パターン512が形成されている。除去パ
ターン512は、ノズルプレート303に形成されたイ
ンク流路である連結路411の位置と形状とに対応し、
接着剤が除去されている。
The film adhesive 510 has a removal pattern 512 from which the adhesive has been removed. The removal pattern 512 corresponds to the position and shape of the connection path 411, which is an ink flow path formed in the nozzle plate 303,
The adhesive has been removed.

【0076】退避溝520は、除去パターン512と同
じ形状である。退避溝520が形成される位置は、ベー
スプレート301とノズルプレート303とが接着され
たときに連結路411と対向しない場所で、除去パター
ン512の配列により定まる位置である。換言すれば、
退避溝520をフィルム状接着剤510に投射すると、
投射されたパターンは、除去パターン512の配列に従
って配列したものとなる。
The evacuation groove 520 has the same shape as the removal pattern 512. The position where the retreat groove 520 is formed is a position that is determined by the arrangement of the removal patterns 512 at a position that does not face the connection path 411 when the base plate 301 and the nozzle plate 303 are bonded. In other words,
When the retraction groove 520 is projected on the film adhesive 510,
The projected patterns are arranged according to the arrangement of the removal patterns 512.

【0077】ベースプレート301とノズルプレート3
03とを接着するために押圧すると、フィルム状接着剤
510の退避溝520における圧力は、他の部分に比べ
て低くなる。これにより、フィルム状接着剤510の端
部514における横ひずみによる変形が、退避溝520
に向かう。これにより、フィルム状接着剤510の端部
514における横ひずみによる変形が、退避溝520で
吸収されるため、除去パターン516への影響が軽減さ
れる。その結果、フィルム状接着剤510がインク流路
に入り込むのを防止することができる。また、退避溝5
20は、除去パターン512と同じ形状および配列とし
たので、除去パターン512の変形を均一にすることが
できる。
The base plate 301 and the nozzle plate 3
When pressing is performed to bond the third adhesive layer 03 to the second adhesive layer, the pressure of the film adhesive 510 in the escape groove 520 becomes lower than that of the other parts. As a result, the deformation of the end portion 514 of the film adhesive 510 due to the lateral strain is prevented by the retraction groove 520.
Head for. Thus, the deformation of the end portion 514 of the film adhesive 510 due to the lateral strain is absorbed by the retreat groove 520, so that the influence on the removal pattern 516 is reduced. As a result, it is possible to prevent the film adhesive 510 from entering the ink flow path. Also, the evacuation groove 5
20 has the same shape and arrangement as the removal pattern 512, so that the removal pattern 512 can be uniformly deformed.

【0078】なお、図では、退避溝520は、ベースプ
レート301に設けた例を示しているが、ノズルプレー
ト303に設けても良く、また、ノズルプレート303
とベースプレート301の双方に設けるようにしても良
い。ノズルプレートに設ける場合には、連結路411と
同じ形状で同じ配列のものを形成すれば良いので、加工
が容易である。
Although the drawing shows an example in which the retreat groove 520 is provided in the base plate 301, it may be provided in the nozzle plate 303.
And the base plate 301 may be provided. When it is provided on the nozzle plate, it may be formed in the same shape and the same arrangement as the connection path 411, so that the processing is easy.

【0079】さらに、退避溝520を密閉することがな
いように、外気と連通する溝を設けるのが好ましい。こ
れにより、退避溝520内の気体が膨張することによる
接着剥がれを防止することができる。
Further, it is preferable to provide a groove communicating with the outside air so as not to seal the escape groove 520. Thereby, it is possible to prevent the peeling of the adhesive due to the expansion of the gas in the evacuation groove 520.

【0080】[第3の実施の形態]第3の実施の形態に
おいては、ノズルプレート303を押圧する治具に退避
溝532を設けたものである。図16は、第3の実施の
形態におけるラインヘッド101のベースプレート30
1とノズルプレート303との接着工程を説明するため
の図である。図16を参照して、治具530のノズルプ
レート303と接触する面に4つの退避溝532が形成
されている。
[Third Embodiment] In the third embodiment, a jig for pressing the nozzle plate 303 is provided with a retreat groove 532. FIG. 16 shows the base plate 30 of the line head 101 according to the third embodiment.
FIG. 4 is a diagram for explaining a bonding process between the nozzle plate 1 and a nozzle plate 303. Referring to FIG. 16, four escape grooves 532 are formed on the surface of jig 530 that contacts nozzle plate 303.

【0081】フィルム状接着剤510には、接着剤が除
去された除去パターン512とが形成されている。除去
パターン512は、ノズルプレート303に形成された
インク流路である連結路411の位置と形状とに対応
し、接着剤が除去されている。
The film adhesive 510 has a removal pattern 512 from which the adhesive has been removed. The removal pattern 512 corresponds to the position and shape of the connection path 411 that is the ink flow path formed in the nozzle plate 303, and the adhesive has been removed.

【0082】退避溝532は、除去パターン512と同
じ形状である。退避溝532が形成される位置は、治具
530とノズルプレート303とが接触したときに連結
路411と対向しない場所で、除去パターン512の配
列により定まる位置である。換言すれば、退避溝532
をフィルム状接着剤510に投射すると、投射されたパ
ターンは、除去パターン512の配列に従って配列した
ものとなる。
The retraction groove 532 has the same shape as the removal pattern 512. The position where the retreat groove 532 is formed is a position determined by the arrangement of the removal patterns 512 at a place where the jig 530 and the nozzle plate 303 do not face the connecting path 411 when they come into contact with each other. In other words, the evacuation groove 532
Is projected onto the film adhesive 510, the projected pattern is arranged according to the arrangement of the removal patterns 512.

【0083】ベースプレート301とノズルプレート3
03とを接着するために、治具530で押圧すると、反
力によりノズルプレート303がフィルム状接着剤から
押されて、退避溝532のところで冶具530側へ変形
する。そして、フィルム状接着剤510の端部514に
おける横ひずみによる変形が、ノズルプレートの変形し
た部分に向かう。これにより、フィルム状接着剤510
の端部514における横ひずみによる変形が、ノズルプ
レートの変形した部分で吸収されるため、除去パターン
516への影響が軽減される。その結果、フィルム状接
着剤510がインク流路に入り込むのを防止することが
できる。
The base plate 301 and the nozzle plate 3
When the nozzle plate 303 is pressed by the jig 530 in order to adhere to the nozzle plate 303, the nozzle plate 303 is pushed from the film-like adhesive by a reaction force and is deformed toward the jig 530 at the retreat groove 532. Then, the deformation of the end portion 514 of the film adhesive 510 due to the lateral strain is directed to the deformed portion of the nozzle plate. Thereby, the film adhesive 510 is formed.
The deformation due to the lateral strain at the end portion 514 is absorbed by the deformed portion of the nozzle plate, so that the influence on the removal pattern 516 is reduced. As a result, it is possible to prevent the film adhesive 510 from entering the ink flow path.

【0084】また、退避溝532は、除去パターン51
2と同じ形状および配列としたので、除去パターン51
2の変形を均一にすることができる。
Further, the retreat groove 532 is formed with the removal pattern 51.
2 has the same shape and arrangement as in FIG.
2 can be made uniform.

【0085】なお、図1に示すように、ここではライン
ヘッド101の横幅を用紙幅としているが、これには限
られず、ある程度の長さを有した長尺化したヘッド全般
に対して、本発明の適用は可能である。
As shown in FIG. 1, the width of the line head 101 is set as the paper width in this case, but the present invention is not limited to this. The application of the invention is possible.

【0086】また、図3および図4等に示すように、ベ
ースプレート301の両面にインクチャネル等を設けた
ラインヘッド101を示したが、この構成に限定される
ものではない。したがって、ベースプレート301の片
面のみに流路やインクチャネルが設けられた構成のライ
ンヘッドについても本発明の適用は可能である。
Further, as shown in FIGS. 3 and 4, etc., the line head 101 provided with ink channels and the like on both sides of the base plate 301 is shown, but the present invention is not limited to this configuration. Therefore, the present invention can be applied to a line head having a configuration in which a flow path and an ink channel are provided only on one surface of the base plate 301.

【0087】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって、制限的なものではないと考えるべきであ
る。本発明の範囲は、上記した説明ではなく特許請求の
範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び
範囲内ですべての変更が含まれることが意図される。
The embodiment disclosed this time is an example in all respects, and should not be construed as limiting. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態の1つにおけるインクジ
ェット記録ヘッドを利用したインクジェット記録装置1
0の全体構成を示した図である。
FIG. 1 is an inkjet recording apparatus 1 using an inkjet recording head according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing an overall configuration of a zero.

【図2】 本実施の形態におけるインクジェット記録装
置10の動作制御を説明するための機能ブロック図であ
る。
FIG. 2 is a functional block diagram illustrating operation control of the inkjet recording apparatus 10 according to the present embodiment.

【図3】 本実施の形態におけるラインヘッド101の
構成を説明するための一部分解斜視図である。
FIG. 3 is a partially exploded perspective view illustrating a configuration of a line head 101 according to the present embodiment.

【図4】 本実施の形態におけるラインヘッド101の
ノズルが配列する方向に対して垂直な面を示した断面図
である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a plane perpendicular to the direction in which nozzles of the line head 101 are arranged in the present embodiment.

【図5】 本実施の形態におけるラインヘッド101が
備えるノズルプレート303の一部の平面図である。
FIG. 5 is a plan view of a part of a nozzle plate 303 included in the line head 101 according to the present embodiment.

【図6】 図5のA−A線断面の一部を示す断面図であ
る。
6 is a sectional view showing a part of a section taken along line AA of FIG. 5;

【図7】 本実施の形態におけるラインヘッド101が
インクを飛翔する原理を説明するための図である。
FIG. 7 is a diagram for explaining the principle that the line head 101 in the present embodiment flies ink.

【図8】 本実施の形態におけるラインヘッド101を
製造する工程の流れを示すフロー図である。
FIG. 8 is a flowchart showing a flow of a process of manufacturing the line head 101 in the present embodiment.

【図9】 押圧前後におけるフィルム状接着剤に形成さ
れたパターンの変化を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a change in a pattern formed on a film adhesive before and after pressing.

【図10】 本実施の形態におけるフィルム状接着剤5
10に形成されたパターンを示す図である。
FIG. 10 shows a film adhesive 5 according to the present embodiment.
FIG. 10 is a view showing a pattern formed on a reference numeral 10.

【図11】 本実施の形態におけるフィルム状接着剤に
形成される退避部の変形例を示す図である。
FIG. 11 is a view showing a modified example of a retracting portion formed in the film adhesive in the present embodiment.

【図12】 本実施の形態におけるラインヘッド101
のホルダ450,451とベースプレート301との位
置関係を示す図である。
FIG. 12 shows a line head 101 according to the present embodiment.
FIG. 6 is a diagram showing a positional relationship between holders 450 and 451 and a base plate 301.

【図13】 図12のB−B線断面を、ノズルプレート
303を含めて示す断面図である。
FIG. 13 is a cross-sectional view showing a cross section taken along line BB of FIG.

【図14】 本実施の形態におけるラインヘッド101
を製造するための押圧工程を説明するための図である。
FIG. 14 shows a line head 101 according to the present embodiment.
It is a figure for explaining the pressing process for manufacturing.

【図15】 第2の実施の形態におけるラインヘッド1
01のベースプレート301とノズルプレート303と
の接着面を説明するための図である。
FIG. 15 shows a line head 1 according to a second embodiment.
FIG. 11 is a diagram for explaining an adhesive surface between a base plate 301 and a nozzle plate 303 of FIG.

【図16】 第3の実施の形態におけるラインヘッド1
01のベースプレート301とノズルプレート303と
の接着工程を説明するための図である。
FIG. 16 shows a line head 1 according to a third embodiment.
FIG. 11 is a view for explaining a bonding step between the base plate 301 and the nozzle plate 303 of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 インクジェット記録装置、101 ラインヘッ
ド、103 インクパイプ、105 キャリッジベル
ト、113 搬送ベルト、115 吸着装置、201
メインコントローラ、215 ドライバコントローラ、
217 ヘッドドライバ、301 ベースプレート、3
03 ノズルプレート、305 引出板、307 イン
レットプレート、309 チャネルプレート、311
圧電素子、315 フレキシブルケーブル、350 突
出部、401 振動板、450,451 ホルダ、50
3 ボールプランジャ、516 退避パターン、52
0,532 退避溝。
Reference Signs List 10 inkjet recording device, 101 line head, 103 ink pipe, 105 carriage belt, 113 transport belt, 115 suction device, 201
Main controller, 215 driver controller,
217 head driver, 301 base plate, 3
03 nozzle plate, 305 drawer plate, 307 inlet plate, 309 channel plate, 311
Piezoelectric element, 315 flexible cable, 350 protrusion, 401 diaphragm, 450, 451 holder, 50
3 Ball plunger, 516 evacuation pattern, 52
0,532 Evacuation groove.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ベースプレートの少なくとも一方の面上
に薄板を重ねて接着し、複数のインク流路を形成する工
程と、 前記複数のインク流路それぞれからインクを吐出するた
めの複数のノズルをノズルプレートに形成する工程と、 前記ベースプレートおよび前記薄板を前記ノズルプレー
トと接着するための接着剤が退避するための退避部を形
成する工程と、 前記ベースプレートおよび前記薄板を、それらの接着面
が前記ノズルプレートの前記複数のノズルが形成された
面と交わるように、前記ノズルプレートと接着するため
に、前記ベースプレートを前記ノズルプレートに押圧す
る工程とを含む、インクジェット記録ヘッドの製造方
法。
A step of forming a plurality of ink flow paths by laminating and bonding a thin plate on at least one surface of a base plate; and forming a plurality of nozzles for discharging ink from each of the plurality of ink flow paths. A step of forming an evacuation section for evacuation of an adhesive for adhering the base plate and the thin plate to the nozzle plate; and an adhesion surface of the base plate and the thin plate, the adhesive surface of which is the nozzle. Pressing the base plate against the nozzle plate to adhere to the nozzle plate so as to intersect with the surface of the plate where the plurality of nozzles are formed.
【請求項2】 前記退避部を形成する工程は、前記接着
剤、前記ベースプレート、前記薄板、および、前記ベー
スプレートの少なくとも1つに前記退避部を形成するこ
とを特徴とする、請求項1に記載のインクジェット記録
ヘッドの製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the step of forming the evacuation portion includes forming the evacuation portion on at least one of the adhesive, the base plate, the thin plate, and the base plate. Of manufacturing an ink jet recording head.
【請求項3】 前記接着剤に前記複数のインク流路それ
ぞれの位置と形状とに対応し、接着剤が存在しない複数
の流路パターンを形成する工程をさらに含み、 前記退避部を形成する工程は、前記複数のパターンの形
状と略同じ形状の退避部を、前記複数の流路パターンの
配列にしたがって少なくとも1つ形成することを特徴と
する、請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。
3. The method according to claim 1, further comprising: forming a plurality of flow path patterns in which no adhesive is present, corresponding to positions and shapes of the plurality of ink flow paths in the adhesive, and forming the retreating section. 3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein at least one retreat portion having substantially the same shape as the shape of the plurality of patterns is formed in accordance with the arrangement of the plurality of flow path patterns. Production method.
【請求項4】 請求項1〜3のいずれかに記載のインク
ジェット記録ヘッドの製造方法により製造されたインク
ジェット記録ヘッド。
4. An ink jet recording head manufactured by the method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 1.
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