JPH08190999A - Multipole field measuring device - Google Patents

Multipole field measuring device

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JPH08190999A
JPH08190999A JP362195A JP362195A JPH08190999A JP H08190999 A JPH08190999 A JP H08190999A JP 362195 A JP362195 A JP 362195A JP 362195 A JP362195 A JP 362195A JP H08190999 A JPH08190999 A JP H08190999A
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coil
rotating
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rotary
electromagnet
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Shintaro Fukumoto
信太郎 福本
Masabumi Motooka
正文 本岡
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PURPOSE: To manufacture at a high measuring accuracy and at a low cost, by measuring the relation between the magnetic field center of an electromagnet, and the geometric center of the gap between the magnetic poles easily. CONSTITUTION: While an electromagnet to be measured (not shown) is rotated in the directions X, Y, and Z, it is installed on a driving board 18 movable horizontally and vertically, a rotary coil 1 is inserted in the electromagnet, the rotary coil 1 is rotated by a coil driver 20, and the magnetic field generated from the electromagnet is measured. Before the electromagnet is installed on the driving board 18 prior to the measuring, the geometric slippage of the center axis of the rotary coil 1 is found beforehand by the displacement sensor of a rotary shaft measuring device (not shown) set to the driving board 18, and from this slippage and the magnetic field center found at the installing time of the electromagnet, the slippage between the magnetic field center of the elentromagnet, and the geometric center of the gap between the magnetic poles, is found.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、荷電粒子加速器等に
使用される電磁石の磁場測定装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic field measuring device for an electromagnet used in a charged particle accelerator or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】放射光実験施設等の加速器では、低エミ
ッタンス化、高輝度化を実現する上で、多極電磁石の磁
極間ギャップの幾何学的中心と磁場中心のずれがどの程
度であるか磁場測定により見積もる必要があり、磁場の
強度のみならず磁場中心も測定可能な磁場測定装置が用
いられるようになってきた。
2. Description of the Related Art In an accelerator such as a synchrotron radiation experimental facility, how much the geometric center of the magnetic pole gap of a multipole electromagnet deviates from the magnetic field center in order to achieve low emittance and high brightness. It is necessary to estimate by magnetic field measurement, and a magnetic field measuring device that can measure not only the magnetic field strength but also the magnetic field center has come to be used.

【0003】図13は例えばオランダ国DANFYSIK社カタ
ログMULTIPOLE MAGNET MEASUERMENTSYSTEM MODEL 692に
記載された従来の多極磁場測定装置の側面図である。図
13において、1は回転コイル、2a、2bは軸受、3
はDCモーター、4はロータリーエンコーダー、5a、
5bはフレキシブルカップリング、6は電磁石架台、7
a、7bは駆動装置、8はレーザー、9a、9bはフォ
トディテクター、10a、10bはフォトディテクター
支持台。11はレーザー支持台、12はベース架台、1
3は被測定用電磁石である。
FIG. 13 is a side view of a conventional multipole magnetic field measuring apparatus described in, for example, the catalog MULTIPOLE MAGNET MEASUERMENTSYSTEM MODEL 692 of DANFYSIK, Netherlands. In FIG. 13, 1 is a rotary coil, 2a and 2b are bearings, and 3
Is a DC motor, 4 is a rotary encoder, 5a,
5b is a flexible coupling, 6 is an electromagnet mount, 7
a and 7b are driving devices, 8 is a laser, 9a and 9b are photodetectors, and 10a and 10b are photodetector support bases. 11 is a laser support base, 12 is a base mount, 1
Reference numeral 3 is an electromagnet to be measured.

【0004】図14は被測定用電磁石13の構造を示す
もので、この図では4極の電磁石の場合を示している。
図15は従来の多極磁場測定装置の回転コイルの構造を
示す斜視図である。図15において、14a,14bは
巻枠で、ピックアップコイル15を両側から挟んで保持
し、円周方向の4箇所の溝を用い固定用バンド(図示せ
ず)で固定する。16は信号取り出しリード、17a,
17bは黄銅等の非磁性金属のチャッキングカラーで、
巻枠14a,14bの両端部を保持する。図16はピッ
クアップコイル15の巻回状態を示す斜視図、図17は
測定動作のフローチャートである。
FIG. 14 shows the structure of the electromagnet 13 for measurement, and in this figure, the case of a 4-pole electromagnet is shown.
FIG. 15 is a perspective view showing the structure of a rotating coil of a conventional multipole magnetic field measuring apparatus. In FIG. 15, 14a and 14b are winding frames, which hold the pickup coil 15 by sandwiching it from both sides and fixing it with fixing bands (not shown) using four grooves in the circumferential direction. 16 is a signal extraction lead, 17a,
17b is a chucking collar made of non-magnetic metal such as brass,
Both ends of the reels 14a and 14b are held. 16 is a perspective view showing the winding state of the pickup coil 15, and FIG. 17 is a flow chart of the measuring operation.

【0005】次に動作について図17のフローチャート
と共に説明する。多極磁場測定装置は、図13に示すよ
うに、電磁石架台6に固定された被測定用電磁石13は
駆動装置7a、7bにより水平および垂直方向の平行移
動と直交する3軸周りの回転が可能になっている。
Next, the operation will be described with reference to the flowchart of FIG. As shown in FIG. 13, in the multipole magnetic field measuring device, the measured electromagnet 13 fixed to the electromagnet mount 6 can be rotated about three axes orthogonal to the horizontal and vertical translation by the driving devices 7a and 7b. It has become.

【0006】被測定用電磁石13の磁極間ギャップの幾
何学的中心を軸受2a、2bがなす回転軸Aと概略一致
させるように被測定用電磁石13を駆動台18上に取り
付ける(ステップS1)。
The electromagnet 13 to be measured is mounted on the drive base 18 so that the geometric center of the gap between the magnetic poles of the electromagnet 13 to be measured is substantially aligned with the rotation axis A formed by the bearings 2a and 2b (step S1).

【0007】DCモーター3を取り外して、回転コイル
1を軸受から被測定電磁石13の磁極間ギャップに挿
入、回転コイル1をフレキシブルカップリング5bでロ
ータリーエンコーダー4と固定し、再びDCモーター3
を取り付けて同様にフレキシブルカップリング5aで回
転コイルと固定する。(ステップS2)
The DC motor 3 is removed, the rotary coil 1 is inserted from the bearing into the gap between the magnetic poles of the electromagnet 13 to be measured, and the rotary coil 1 is fixed to the rotary encoder 4 by the flexible coupling 5b.
And similarly fixed to the rotary coil with the flexible coupling 5a. (Step S2)

【0008】この状態で、被測定電磁石13を励磁し、
DCモーター3により回転コイルを回転させると、図1
5に示すピックアップコイル15が磁場をよぎり信号取
り出しリード16に電圧が誘起される。この誘起電圧を
測定し、この誘起電圧をロータリーエンコーダー4の検
出した角度で積分し、周波数解析等を行うことにより、
磁場の多極成分の強度や磁場の中心位置を求める(ステ
ップS3)。
In this state, the measured electromagnet 13 is excited,
When the rotating coil is rotated by the DC motor 3, FIG.
A pickup coil 15 shown in FIG. 5 crosses the magnetic field and a voltage is induced in the signal extraction lead 16. By measuring this induced voltage, integrating this induced voltage at the angle detected by the rotary encoder 4, and performing frequency analysis etc.,
The strength of the multipole component of the magnetic field and the center position of the magnetic field are obtained (step S3).

【0009】さらに、図13に示す回転コイルの回転軸
と平行な軸B上に支持台10a、10bで設置されたフ
ォトディテクター9a、9bを用いて、支持台11に設
置したレーザー8のビーム軸をB軸上におき、回転コイ
ルの信号出力の周波数解析の結果を見ながら、駆動装置
7a,7bを用いて回転コイル1の回転軸と磁場の中心
軸が一致するまで移動させる(ステップS4)。
Further, the beam axis of the laser 8 installed on the support 11 is adjusted by using the photodetectors 9a and 9b installed on the supports 10a and 10b on the axis B parallel to the rotation axis of the rotary coil shown in FIG. Is placed on the B-axis and, while watching the result of frequency analysis of the signal output of the rotating coil, it is moved by using the driving devices 7a and 7b until the rotating axis of the rotating coil 1 coincides with the central axis of the magnetic field (step S4). .

【0010】最後に、B軸上に合わせたレーザービーム
を使って、被測定用電磁石13上に設置されたフォトデ
ィテクターと回転コイル1の回転軸との相対位置関係を
測定し、磁極間ギャップの幾何学的中心と磁場中心のず
れを求める(ステップS5)。
Finally, the relative positional relationship between the photodetector installed on the electromagnet 13 to be measured and the rotary axis of the rotary coil 1 is measured by using the laser beam aligned on the B axis, and the gap between the magnetic poles is measured. A deviation between the geometric center and the magnetic field center is obtained (step S5).

【0011】なお、この例では上記の機器は共通のベー
ス架台12上に設置されているが、電磁石の架台や駆動
装置は別置きされている場合もある。
In this example, the above equipment is installed on the common base mount 12, but the mount of the electromagnet and the driving device may be separately installed.

【0012】また、図15に示すように、回転コイル
は、中実の絶縁物の丸棒を分割、溝加工等をして巻枠1
4a、14bとし、溝に沿わせてピックアップコイルを
巻線し取り付けた後、円柱に組み立て、主として金属で
できたチャッキングカラー17a、17bを取り付けて
いる。回転コイルを多極磁場測定装置に組み込む際は、
チャッキングカラー部を軸受に取り付け、回転を支える
ようになっている。
Further, as shown in FIG. 15, the rotating coil 1 is formed by dividing a solid rod of an insulating material into a rod and grooving it.
4a and 14b, the pickup coil is wound along the groove and attached, then assembled into a cylinder, and chucking collars 17a and 17b mainly made of metal are attached. When incorporating the rotating coil into the multipole magnetic field measurement device,
The chucking collar is attached to the bearing to support rotation.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】従来の多極磁場測定装
置は以上のように構成されているので、回転コイルの回
転軸と平行な軸を示すフォトディテクター等の基準を、
測定装置上にあらかじめ高精度に配置しておく必要があ
り、フォトディテクターを設置する支持台等を高精度に
加工、設置しなければならない。また、回転コイルの回
転軸を決定するために軸受部に取り付ける計測用の治工
具が必要となる。さらに、それで求めた回転軸は軸受部
あるいは計測用治工具の回転中心であって、回転コイル
のたわみ等を含めた実際の回転中心とは正確に一致しな
い等の問題点があった。
Since the conventional multipole magnetic field measuring apparatus is configured as described above, the reference of a photodetector or the like indicating an axis parallel to the rotation axis of the rotating coil is
It is necessary to place it on the measuring device with high accuracy in advance, and it is necessary to process and install the support, etc. on which the photodetector is installed with high accuracy. Further, a jig for measurement attached to the bearing portion is required to determine the rotation axis of the rotating coil. Further, there is a problem that the rotation axis obtained by this is the rotation center of the bearing portion or the jig for measurement and does not exactly coincide with the actual rotation center including the deflection of the rotation coil.

【0014】また、従来の多極磁場測定装置の回転コイ
ルは、中実の絶縁物の丸棒を分割、棒加工等をして巻枠
としているので、ピックアップコイルの位置精度は巻枠
である丸棒および溝の加工精度で決定され、この機械加
工に多大な労力を要していた。また、自重によるたわみ
が大きい等の強度上の問題があった。
Further, since the rotary coil of the conventional multi-pole magnetic field measuring apparatus is a winding frame which is obtained by dividing a solid bar of an insulating material and processing the rod into bars, the positional accuracy of the pickup coil is the winding frame. It was determined by the machining accuracy of the round bar and the groove, and a great deal of labor was required for this machining. Further, there is a problem in strength such as a large deflection due to its own weight.

【0015】この発明は、上記課題を解消するためにな
されたもので、回転コイルの回転軸あるいはこれと一致
する磁場中心と電磁石の磁極間ギャップの幾何学的中心
の関係を容易に測定でき、測定精度が高く、安価に製作
できる多極磁場測定装置を得ることを目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and the relationship between the rotational axis of the rotating coil or the magnetic field center coincident therewith and the geometric center of the gap between the magnetic poles of the electromagnet can be easily measured. An object of the present invention is to obtain a multi-pole magnetic field measuring device which has high measurement accuracy and can be manufactured at low cost.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

(1)この発明に係る多極磁場測定装置は、多極磁場を
発生する被測定用電磁石の磁場中で回転し、その発生電
圧を出力する巻線を内蔵した円柱状の回転コイルと、こ
の回転コイルの両端部を着脱自在に軸受部で把持して回
転させる回転装置と、上記回転コイルの回転に応じて回
転角度位置信号を出力する角度位置検出手段と、上記回
転コイルからの出力信号と上記回転角度位置信号から上
記電磁石の磁場中心を予測する磁場中心予測手段と、こ
の予測結果に基づいて上記電磁石の磁場中心と回転コイ
ルの中心とを一致させるように上記電磁石と上記回転コ
イルとの相対位置関係を変化させる駆動装置と、回転コ
イルの中心軸と予め設定したアライメント基準との位置
の変位を導出する位置変位導出手段とを備え、上記駆動
装置により上記電磁石の磁場中心と上記回転コイルの中
心とを一致させた結果の位置情報、および上記位置変位
導出手段で求めた位置変位とから上記電磁石の幾何学的
中心と磁場中心とのずれを求めるようにしたものであ
る。
(1) A multipole magnetic field measuring device according to the present invention includes a cylindrical rotating coil that has a built-in winding that rotates in a magnetic field of an electromagnet for measurement that generates a multipolar magnetic field and outputs the generated voltage. A rotating device for removably gripping both ends of the rotating coil by bearings and rotating the rotating coil, an angular position detecting means for outputting a rotational angular position signal according to the rotation of the rotating coil, and an output signal from the rotating coil. Magnetic field center predicting means for predicting the magnetic field center of the electromagnet from the rotation angle position signal, and the magnetic field center of the electromagnet and the center of the rotating coil based on this prediction result of the electromagnet and the rotating coil A drive device for changing the relative positional relationship and a position displacement deriving means for deriving the position displacement between the center axis of the rotating coil and a preset alignment reference are provided, and the drive device drives the electric current. The displacement between the geometric center of the electromagnet and the magnetic field center is obtained from the position information obtained by matching the magnetic field center of the stone and the center of the rotating coil, and the position displacement obtained by the position displacement deriving means. It was done.

【0017】(2)また、位置変位導出手段は、回転コ
イルを回転して回転位置に対する変位量を求め、この位
置の変位量と予め設定したアライメント基準とから、回
転コイルの中心軸と予め設定したアライメント基準との
位置の変位を導出する手段としたものである。
(2) Further, the position displacement deriving means obtains the displacement amount with respect to the rotational position by rotating the rotary coil, and based on the displacement amount at this position and the preset alignment reference, the central axis of the rotary coil is preset. This is a means for deriving the displacement of the position with respect to the alignment reference.

【0018】(3)また、回転コイルは、外筒と、この
外筒と同心円筒で、上記外筒の両端部を保持すると共
に、回転装置に把持されるチャッキングカラーと、上記
外筒内に配設された巻枠と、この巻枠に保持され上記外
筒の中心軸に対して対称且つ平行に巻かれた巻線と、上
記外筒に設けられ上記巻線と巻枠とを上記外筒の径方向
に移動自在に支持して位置調整を行う位置調整手段と、
上記外筒に設けられ外部から巻枠位置を測定可能とする
測定用孔で構成したものである。
(3) Further, the rotary coil is an outer cylinder, and is a cylinder concentric with the outer cylinder, which holds both ends of the outer cylinder, and a chucking collar held by the rotating device, and the inside of the outer cylinder. The winding frame disposed on the winding frame, the windings held by the winding frame and wound in symmetry and parallel to the central axis of the outer cylinder, and the winding and the winding frame provided on the outer cylinder. Position adjusting means for movably supporting the outer cylinder in the radial direction to adjust the position,
It is composed of a measuring hole provided on the outer cylinder and capable of measuring the reel position from the outside.

【0019】(4)また、外筒の筒表面近傍の磁場を検
出する別の巻線を追加したものである。
(4) Further, another winding for detecting a magnetic field near the surface of the outer cylinder is added.

【0020】(5)また、回転装置は、回転コイルを駆
動する駆動源を駆動モータとし、この駆動モータを上記
回転コイルの回転軸から外れた位置に配設すると共に、
上記駆動モータから動力伝達手段を介して上記回転コイ
ルを駆動し、且つ、上記回転コイルが回転軸方向に挿脱
自在となるよう構成したものである。 (6)また、回転コイルを把持する回転装置の把持機構
は、回転装置の軸受側から回動自在に保持され、且つ、
その内側に回転軸方向のテーパを設けると共に、回転コ
イルが挿入される回転軸と、この回転軸のテーパに対向
するテーパを設けた回転コイル把持用のテーパスプリン
グコレットと、このテーパスプリングコレットを回転軸
方向に押圧して締め付け上記回転コイルを把持する押圧
手段で構成したものである。
(5) In the rotating device, the drive source for driving the rotary coil is a drive motor, and the drive motor is arranged at a position deviated from the rotation axis of the rotary coil.
The rotary coil is driven from the drive motor via a power transmission means, and the rotary coil is insertable and removable in the rotation axis direction. (6) Further, the gripping mechanism of the rotating device that holds the rotating coil is rotatably held from the bearing side of the rotating device, and
In addition to providing a taper in the direction of the rotation axis on the inside, a rotation shaft into which the rotation coil is inserted, a taper spring collet for gripping the rotation coil with a taper facing the taper of the rotation shaft, and a rotation of this taper spring collet. It is composed of pressing means for pressing in the axial direction and tightening to grip the rotating coil.

【0021】(7)また、回転コイルを把持する回転装
置の把持機構は、上記回転装置の軸受側から回動自在に
保持され、且つ、その内側に回転コイルが挿入される回
転軸と、この回転軸と共に回動すると共に軸方向に摺動
し、且つ、その内側に回転軸方向のテーパを設けたスラ
ストスリーブと、このスラストスリーブのテーパと対向
するテーパを設け、且つ、回転軸方向の移動を規制され
た上記回転コイル把持用の逆テーパスプリングコレット
と、上記スラストスリーブを回転軸方向に押圧すること
により上記逆テーパスプリングコレットを締め付けて上
記回転コイルを把持する押圧手段とで構成したものであ
る。
(7) Further, the gripping mechanism of the rotary device for gripping the rotary coil is rotatably held from the bearing side of the rotary device, and the rotary shaft into which the rotary coil is inserted, and A thrust sleeve that rotates with the rotating shaft and slides in the axial direction and has a taper in the rotating shaft direction inside thereof, and a taper that faces the taper of the thrust sleeve, and moves in the rotating shaft direction A reverse taper spring collet for holding the rotary coil, and a pressing means for holding the rotary coil by tightening the reverse taper spring collet by pressing the thrust sleeve in the rotation axis direction. is there.

【0022】[0022]

【作用】[Action]

(1)この発明の多極磁場測定装置は、回転コイルを電
磁石の磁場中で回転し、その発生電圧と回転角度の位置
信号から電磁石の磁場中心を予測し、この予測結果に基
づいて上記電磁石の磁場中心と回転コイルの中心とを一
致させるように上記電磁石と上記回転コイルとの相対位
置関係を駆動装置で変化させ、一方、回転コイルの中心
軸と予め設定したアライメント基準との位置の変位を導
出しておき、上記駆動装置により上記電磁石の磁場中心
と上記回転コイルの中心とを一致させた結果の位置情
報、および上記位置変位導出手段で求めた位置変位とか
ら上記電磁石の幾何学的中心と磁場中心とのずれを求め
る。
(1) The multipole magnetic field measuring apparatus of the present invention rotates the rotating coil in the magnetic field of the electromagnet, predicts the magnetic field center of the electromagnet from the generated voltage and the position signal of the rotation angle, and based on this prediction result, the electromagnet. The relative position relationship between the electromagnet and the rotating coil is changed by the drive device so that the center of the magnetic field of the rotating coil coincides with the center of the rotating coil, while the displacement of the position between the central axis of the rotating coil and the preset alignment reference. From the position information obtained as a result of matching the magnetic field center of the electromagnet with the center of the rotating coil by the driving device, and the position displacement obtained by the position displacement deriving means. Find the deviation between the center and the center of the magnetic field.

【0023】(2)また、位置変位導出手段は、回転コ
イルを回転して回転位置に対する変位量を求め、この位
置の変位量と予め設定したアライメント基準とから、回
転コイルの中心軸と予め設定したアライメント基準との
位置の変位を導出する。
(2) Further, the positional displacement deriving means obtains the displacement amount with respect to the rotational position by rotating the rotary coil, and based on the displacement amount at this position and the preset alignment reference, the central axis of the rotary coil is preset. The displacement of the position with respect to the performed alignment reference is derived.

【0024】(3)また、回転コイルは、外筒の両端部
をチャッキングカラーで保持し、外筒の中心軸に対して
対称且つ平行に巻かれた巻線と、この巻線を保持する巻
枠とを位置調整手段で外筒の径方向に移動自在に支持し
て位置調整を行い、その巻枠位置を測定用孔を利用して
測定する。
(3) Further, the rotary coil holds both ends of the outer cylinder with chucking collars, and holds the winding wound symmetrically and parallel to the central axis of the outer cylinder, and this winding. The reel and the reel are movably supported in the radial direction of the outer cylinder for positional adjustment, and the reel position is measured using the measurement hole.

【0025】(4)また、巻線は、外筒の筒表面近傍の
磁場を検出する別の巻線を追加し、この巻線からも磁場
に対応した誘起電圧を発生する。
(4) Further, for the winding, another winding for detecting a magnetic field near the surface of the outer cylinder is added, and an induced voltage corresponding to the magnetic field is also generated from this winding.

【0026】(5)また、回転装置は、回転コイルを駆
動する駆動モータを、回転コイルの回転軸から外れた位
置に配設し、回転コイルが回転軸方向に挿脱自在となる
よう構成する。 (6)また、回転コイルを把持する回転装置の把持機構
は、テーパスプリングコレットを回転軸方向に押圧して
回転コイルを把持する。
(5) Further, in the rotating device, the drive motor for driving the rotating coil is arranged at a position deviated from the rotating shaft of the rotating coil so that the rotating coil can be inserted and removed in the rotating shaft direction. . (6) Further, the gripping mechanism of the rotating device that grips the rotating coil presses the taper spring collet in the rotation axis direction to grip the rotating coil.

【0027】(7)また、回転コイルを把持する回転装
置の把持機構は、スラストスリーブを回転軸方向に押圧
して逆テーパスプリングコレットで回転コイルを把持す
る。
(7) Further, the gripping mechanism of the rotating device for gripping the rotary coil presses the thrust sleeve in the direction of the rotary shaft and grips the rotary coil by the inverse taper spring collet.

【0028】[0028]

【実施例】【Example】

実施例1.この発明の実施例1を図に基づいて説明す
る。図1は多極磁場測定装置の本体を示す斜視図、図2
は左記本体に取り付けられた回転軸測定装置を示す側面
図、図3は回転軸測定装置の変位センサ駆動部を示す斜
視図、図4、図5は測定動作のフローチャートである。
Example 1. A first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing the main body of the multipole magnetic field measuring apparatus, and FIG.
Is a side view showing the rotary shaft measuring device attached to the left main body, FIG. 3 is a perspective view showing a displacement sensor driving portion of the rotary shaft measuring device, and FIGS. 4 and 5 are flowcharts of the measuring operation.

【0029】図において、1、4、12は従来例と同様
でありその説明は省略する。18は電磁石架台とその駆
動装置からなる駆動台、19は電磁石固定用レバー、2
0は軸受および駆動装置からなるコイル回転駆動部、2
1は軸受およびロータリーエンコーダーからなるコイル
信号取り出し部、22a、22bはアライメント位置基
準台、23は変位センサ駆動部、24a、24bは変位
センサで、例えば、市販されている渦電流式変位センサ
では1μmの変位を1mVの出力電圧で検出することが
てきる。25は測定架台、26は回転円筒、27はリニ
アガイドレール、28は測定位置基準台、29は測定リ
ングである。
In the figure, reference numerals 1, 4, and 12 are the same as in the conventional example, and the description thereof is omitted. Reference numeral 18 is a drive stand including an electromagnet stand and its drive device, 19 is a lever for fixing the electromagnet, and 2
0 is a coil rotation drive unit including a bearing and a drive device, 2
Reference numeral 1 is a coil signal extracting portion including a bearing and a rotary encoder, 22a and 22b are alignment position reference bases, 23 is a displacement sensor driving portion, and 24a and 24b are displacement sensors. For example, a commercially available eddy current displacement sensor has a size of 1 μm. Can be detected with an output voltage of 1 mV. Reference numeral 25 is a measurement stand, 26 is a rotating cylinder, 27 is a linear guide rail, 28 is a measurement position reference stand, and 29 is a measurement ring.

【0030】次に動作について図4、図5のフローチャ
ートと共に説明する。駆動台18上に、リニアガイドレ
ール27を有する測定架台25を設置し、その上に変位
センサ駆動部23を設置する。測定位置基準台28を取
り付け、回転円筒26に変位センサ24a、24bを取
り付ける。この変位センサ駆動部23は図2のように、
駆動台18によって水平および垂直方向に移動させるこ
とができ、また、X,Y,Z方向に回動することができ
る。更に、リニアガイドレール27上を移動させること
ができる。
Next, the operation will be described with reference to the flow charts of FIGS. A measurement frame 25 having a linear guide rail 27 is installed on the drive table 18, and a displacement sensor drive unit 23 is installed on the measurement table 25. The measurement position reference table 28 is attached, and the displacement sensors 24a and 24b are attached to the rotary cylinder 26. The displacement sensor drive unit 23 is, as shown in FIG.
It can be moved in the horizontal and vertical directions by the drive table 18, and can be rotated in the X, Y, and Z directions. Further, it can be moved on the linear guide rail 27.

【0031】変位センサ駆動部23には、変位センサ2
4a、24bを取り付けた回転円筒26があり、変位セ
ンサ24a、24bが回転コイル1の周りを回動してそ
の変位を測定する。なお、図2の変位センサ駆動部23
の右側にある目盛りは変位センサ24a、24bの回転
角を読み取る目盛りである。
The displacement sensor driving unit 23 includes a displacement sensor 2
There is a rotating cylinder 26 to which 4a and 24b are attached, and displacement sensors 24a and 24b rotate around the rotating coil 1 to measure the displacement. The displacement sensor drive unit 23 of FIG.
The scale on the right side of is a scale for reading the rotation angles of the displacement sensors 24a and 24b.

【0032】測定位置基準台28は変位センサ駆動部2
3上に取り付けられ、回転円筒26の回転軸C(図3に
図示)と位置関係が3次元測定器等により正確に測定さ
れる。そして、測定架台25とこの測定架台25上の各
機器で、回転軸駆動装置を構成し、電磁石固定用レバー
19で固定される(ステップT1)。
The measurement position reference table 28 is the displacement sensor driving unit 2
3, the positional relationship with the rotation axis C (shown in FIG. 3) of the rotation cylinder 26 is accurately measured by a three-dimensional measuring device or the like. Then, the measurement pedestal 25 and each device on the measurement pedestal 25 constitute a rotary shaft driving device and are fixed by the electromagnet fixing lever 19 (step T1).

【0033】次に回転コイル1をコイル回転駆動部20
の側から挿入し、回転円筒26の中を通して、コイル信
号取り出し部21まで挿入して固定する(ステップT
2)。
Next, the rotary coil 1 is connected to the coil rotary drive unit 20.
Is inserted from the side of, and is inserted through the rotating cylinder 26 to the coil signal extracting portion 21 and fixed (step T).
2).

【0034】回転コイル1を回転させて回転円筒26の
両側に配置した変位センサ24a、24bで回転コイル
1の変位量のふれを測定する。これを変位センサ24
a、24b、の測定位置、例えば、上下左右を変えて測
定すると、回転円筒26の回転軸に対して、回転コイル
の実際の回転軸の位置関係が測定できる。さらに、この
変位センサ駆動部23は、リニアガイドレール27上を
スライドして、回転コイル1軸上の任意の位置で上記測
定をする(ステップT3)。
The rotating coil 1 is rotated and displacement sensors 24a and 24b arranged on both sides of the rotating cylinder 26 measure the displacement of the rotating coil 1. This is the displacement sensor 24
When the measurement positions of a and 24b are changed, for example, by changing the vertical and horizontal directions, the positional relationship of the actual rotation axis of the rotation coil with respect to the rotation axis of the rotation cylinder 26 can be measured. Further, the displacement sensor driving unit 23 slides on the linear guide rail 27 to perform the above measurement at an arbitrary position on the axis of the rotating coil (step T3).

【0035】最後に前記測定位置基準台28と多極磁場
測定装置の本体に取り付けられたアライメント位置基準
台22a、22bとの位置関係をレーザ等の光学系測定
装置で測定することにより、回転コイルの任意の位置で
実際の回転軸とアライメント基準との位置関係を決定す
る(ステップT4)。
Finally, the positional relationship between the measurement position reference base 28 and the alignment position reference bases 22a and 22b attached to the main body of the multi-pole magnetic field measurement device is measured by an optical system measurement device such as a laser to obtain a rotating coil. The positional relationship between the actual rotation axis and the alignment reference is determined at any position (step T4).

【0036】以上の測定が終わると、回転コイル1を取
り除いてから回転軸駆動装置を取り外し、被測定用電磁
石13を駆動台18上に取り付け、回転コイル1を挿入
する(ステップT5,T6)。
After the above measurement is completed, the rotary coil 1 is removed, the rotary shaft drive is removed, the electromagnet 13 to be measured is mounted on the drive base 18, and the rotary coil 1 is inserted (steps T5 and T6).

【0037】被測定電磁石13を励磁して周期的に変化
する磁場を磁極間隙内で生成し、この磁場内で回転コイ
ル1を回転して誘起電圧を出力すると共に、ロータリー
エンコーダー4から角度位置信号を出力し、この両出力
を用いて周波数解析して、磁場の多極成分の強度および
磁場の中心位置を求める。なお、上記の回転軸駆動装置
を設置し、変位センサ24a、24bでの測定は、同じ
回転コイルを用いる場合は1回行えばよく、被測定用電
磁石13が種々変わっても再度行う必要はない。
A magnetic field that changes periodically is generated by exciting the electromagnet 13 to be measured, and the rotating coil 1 is rotated in this magnetic field to output an induced voltage, and an angular position signal is output from the rotary encoder 4. Is output and frequency analysis is performed using both outputs to obtain the strength of the multipole component of the magnetic field and the center position of the magnetic field. When the above rotary shaft driving device is installed and the displacement sensors 24a and 24b use the same rotary coil, the measurement may be performed once and does not need to be performed again even if the electromagnet 13 to be measured changes. .

【0038】次に、周波数解析して電磁石の磁場中心を
予測した結果を見ながら、駆動台18を用いて回転コイ
ル1の回転軸と磁場の中心軸が一致するまで移動させる
(ステップT7)。
Next, while looking at the result of predicting the magnetic field center of the electromagnet by frequency analysis, the drive table 18 is used to move the coil until the rotation axis of the rotating coil 1 and the center axis of the magnetic field coincide (step T7).

【0039】ステップT4で求めたアライメント基準に
対する回転コイル1の位置の変位量と、上記ステップT
7で求めた磁場の中心位置とから、上記電磁石の幾何学
的中心と磁場中心とのずれを求める(ステップT8)。
The amount of displacement of the position of the rotary coil 1 relative to the alignment reference obtained in step T4, and the above step T
The deviation between the geometric center of the electromagnet and the magnetic field center is obtained from the magnetic field center position obtained in step 7 (step T8).

【0040】従って、磁気中心は容易に且つ正確に求め
られ、この中心位置をマーキングすれば他の場所へ電磁
石を移動しても容易に磁気中心を確認することができ
る。なお、磁気中心は通常空間に位置しており、その位
置にマーキングすることができないので、空間にある磁
気中心を、例えば図14の上部に示す機械的に測定可能
な位置に置き換えてマーキングしておく。
Therefore, the magnetic center can be easily and accurately obtained, and if the center position is marked, the magnetic center can be easily confirmed even if the electromagnet is moved to another place. Since the magnetic center is usually located in the space and cannot be marked at that position, the magnetic center in the space is replaced with, for example, the mechanically measurable position shown in the upper part of FIG. deep.

【0041】なお、変位センサに渦電流方式のセンサを
採用する場合は、渦電流を生じるための金属リングが必
要になり、図1に示すように精度よく円に加工された金
属製の測定リング29を回転コイル1に取り付ける。こ
のようにすると更に精度の向上が期待できる。
When an eddy current type sensor is used as the displacement sensor, a metal ring for generating an eddy current is required, and as shown in FIG. 1, a metal measuring ring accurately processed into a circle. 29 is attached to the rotating coil 1. By doing so, further improvement in accuracy can be expected.

【0042】以上のように、従来のような軸受の回転軸
と位置基準台が決められた位置関係になるように、正確
に調整あるいは測定しておく必要がなく、軸受の回転軸
ではなく回転コイルの実際の回転中心を任意の位置で測
定できることができ、また、多極磁場測定装置本体に取
り付けられたアライメント位置基準台の加工、組立の精
度は軽減されるので、多極磁場測定装置本体の製作性が
向上し、測定精度も向上する効果がある。
As described above, it is not necessary to perform accurate adjustment or measurement so that the conventional rotary shaft of the bearing and the position reference base have a predetermined positional relationship. The actual center of rotation of the coil can be measured at any position, and the accuracy of processing and assembling the alignment position reference stand attached to the main body of the multipole magnetic field measurement device is reduced. It has the effects of improving the manufacturability and improving the measurement accuracy.

【0043】また、従来は軸受の回転中心がなす軸が回
転コイルの回転軸と一致すると仮定していたのに対し、
この発明では回転コイルのたわみなどによる変形も含め
て実際の回転コイルの回転軸即ち磁気中心軸が求められ
る。
Further, conventionally, it was assumed that the axis formed by the rotation center of the bearing coincides with the rotation axis of the rotary coil.
In the present invention, the actual rotation axis of the rotary coil, that is, the magnetic center axis, including deformation due to bending of the rotary coil, is obtained.

【0044】実施例2.この発明の実施例2を図に基づ
いて説明する。図6は多極磁場測定装置の回転コイルを
示す斜視図である。
Example 2. A second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is a perspective view showing a rotating coil of the multipole magnetic field measuring apparatus.

【0045】図において、ピックアップコイル15、信
号取り出しリード16、チャッキングカラー17は従来
例と同様でありその説明は省略する。30は外筒で、材
質はガラスエポシキ、アルミナエポシキ等が用いられ
る。31は測定用孔、32はコイル巻枠で、図示してい
ないがピックアップコイル15が巻かれる溝が回転中心
軸と平行に設けられており、また、その材質はガラスエ
ポシキ等が用いられる。33は調整ボルトである。
In the figure, the pickup coil 15, the signal extraction lead 16 and the chucking collar 17 are the same as those in the conventional example, and their explanations are omitted. An outer cylinder 30 is made of glass epoxy, alumina epoxy, or the like. Reference numeral 31 is a measuring hole, 32 is a coil winding frame, a groove (not shown) around which the pickup coil 15 is wound is provided in parallel with the rotation center axis, and the material thereof is glass epoxy or the like. Reference numeral 33 is an adjusting bolt.

【0046】調整ボルト33による位置調整機構を図7
に示す。外筒30のそれぞれ3箇所(図示例では計6箇
所)に設けたネジ孔に、調整ボルト33をねじ込みコイ
ル巻枠32を移動する。
The position adjusting mechanism using the adjusting bolt 33 is shown in FIG.
Shown in The adjusting bolts 33 are screwed into the screw holes provided in each of the three positions (six positions in the illustrated example) of the outer cylinder 30, and the coil winding frame 32 is moved.

【0047】次に製作手順について説明する。外筒30
に取り付けたチャッキングカラー17は、回転時の偏心
がないように両側ともに同軸度良く加工しておき、ピッ
クアップコイル15は精度よく加工されたコイル巻枠3
2に巻き付けて外筒に組み込む。
Next, the manufacturing procedure will be described. Outer cylinder 30
The chucking collar 17 attached to the coil coil 3 is processed with good coaxiality on both sides so that there is no eccentricity during rotation, and the pickup coil 15 is processed with high precision.
Wrap it around 2 and install it in the outer cylinder.

【0048】ピックアップコイル15の位置を正確に位
置決めするために、コイル巻枠32を同軸度良く加工さ
れた両端のチャッキングカラーを基準にして、外筒に取
り付けた調整ボルト33を用い測定用孔31を利用して
測定しながら調整し固定する。なお、コイル巻枠位置の
測定は例えば、水平な定盤上でチャッキングカラー17
をVブロック等で支え、外筒30に設けた測定用孔31
よりハイトゲージやダイヤルゲージ(図示なし)等を使
用して測定すればよい。
In order to accurately position the pickup coil 15, the coil bobbin 32 is measured with the adjusting bolts 33 attached to the outer cylinder with reference to the chucking collars at both ends which are processed with good coaxiality. Use 31 to adjust and fix while measuring. In addition, the measurement of the coil winding frame position is performed by, for example, checking the chucking collar 17 on a horizontal surface plate.
Hole 31 provided on the outer cylinder 30 by supporting the
It may be measured using a height gauge or a dial gauge (not shown).

【0049】このようにすれば、外筒30に取り付けら
れたチャッキングカラー17およびコイル巻枠32は各
々単品で加工でき、加工が容易かつ高精度にできる。ま
た、円筒(外筒)と薄い板(巻枠)で回転コイルを構成
したので、材料力学的にみて外筒と同じ外形の中実の丸
棒に較べて自重によるたわみが小さい特徴がある。例え
ば、従来のものがφ75mm×2mで約18kg有った
ものが、この発明の実施例のものは、約3〜4分の1に
軽減することができる。
In this way, the chucking collar 17 and the coil winding frame 32 attached to the outer cylinder 30 can be machined individually, and can be machined easily and highly accurately. Further, since the rotary coil is composed of a cylinder (outer cylinder) and a thin plate (reel), it is characterized by less deflection due to its own weight than a solid round bar having the same outer shape as the outer cylinder in terms of material mechanics. For example, the conventional one has about 75 kg × 2 m and about 18 kg, but the embodiment of the present invention can reduce the amount to about 1/3.

【0050】また、コイルの外形とピックアップコイル
の位置を任意に調整できるので、巻枠の溝加工と円筒の
外周加工を別々に行え、製作性が向上し、組立精度が向
上する効果がある。
Further, since the outer shape of the coil and the position of the pickup coil can be arbitrarily adjusted, the groove processing of the winding frame and the outer peripheral processing of the cylinder can be performed separately, which has the effect of improving the manufacturability and the assembling accuracy.

【0051】実施例3.この発明の実施例3を図に基づ
いて説明する。図8は多極磁場測定装置の回転コイルを
示す斜視図である。
Example 3. A third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a perspective view showing a rotating coil of the multipole magnetic field measuring apparatus.

【0052】図において、15、16、17は従来例
と、30、31、32、33は実施例2と同様でありそ
の説明は省略する。34はコイル用溝である。このコイ
ル用溝34にピックアップコイル15を巻回した要部の
図を図9に示す。このピックアップコイル15は、実施
例2の図6に示すピックアップコイル15とは別に設け
られ、この2つのピックアップコイルは通常直列に接続
されている。従って、このピックアップコイル15は被
測定用電磁石13の磁極近くの磁場の測定をより感度良
く正確に行うことができる。
In the figure, 15, 16, and 17 are the same as the conventional example, and 30, 31, 32, and 33 are the same as those in the second embodiment, and the description thereof is omitted. 34 is a groove for coils. FIG. 9 shows a diagram of a main part in which the pickup coil 15 is wound around the coil groove 34. The pickup coil 15 is provided separately from the pickup coil 15 shown in FIG. 6 of the second embodiment, and the two pickup coils are usually connected in series. Therefore, the pickup coil 15 can measure the magnetic field near the magnetic pole of the electromagnet 13 to be measured with higher sensitivity and accuracy.

【0053】次に製作手順について説明する。外筒30
に取り付けたチャッキングカラー17は、回転時の偏心
がないように両側ともに同軸度良く加工しておき、ピッ
クアップコイル15は精度よく加工されたコイル巻枠3
2に内径側の巻線となる部分を巻き付けて外筒に組み込
み、さらに同軸度良く加工されたチャッキングカラーを
基準にして外筒に平行度よく加工されたコイル用溝34
に巻き付け、これをピックアップコイルの外形側の巻線
とする。
Next, the manufacturing procedure will be described. Outer cylinder 30
The chucking collar 17 attached to the coil coil 3 is processed with good coaxiality on both sides so that there is no eccentricity during rotation, and the pickup coil 15 is processed with high precision.
A coil groove 34 is formed by winding a portion to be a winding on the inner diameter side around 2 and incorporating it in an outer cylinder, and further, with the chucking collar processed with good coaxiality as a reference, processed with good parallelism to the outer cylinder.
And the winding on the outer side of the pickup coil.

【0054】次にピックアップコイル15の中心側の巻
線を回転軸に一致させるもしくは平行に位置決めするた
めに、チャッキングカラー17を基準にして外筒30に
取り付けた調整ボルト33を用い、測定用孔31を利用
して測定しながら調整し固定する。なお、コイル巻枠位
置の測定は例えば、水平な定盤上でチャッキングカラー
をVブロック等で支え、外筒30に設けた測定用孔31
よりハイトゲージやダイヤルゲード(図示なし)等を使
用して測定すればよい。
Next, in order to align the winding on the center side of the pickup coil 15 with or parallel to the rotation axis, the adjustment bolt 33 attached to the outer cylinder 30 with reference to the chucking collar 17 is used for measurement. The hole 31 is used for measurement while adjusting and fixing. The measurement of the coil winding frame position is performed by, for example, a chucking collar supported by a V block or the like on a horizontal surface plate, and a measurement hole 31 provided in the outer cylinder 30.
It may be measured using a height gauge or a dial gate (not shown).

【0055】このようにすれば、ほぼ外筒と同じ半径の
ピックアップコイルが製作でき、測定領域を電磁石のボ
ア径にできる限り近づけてとることができ、測定精度が
向上する効果がある。また、外筒に取り付けられたチャ
ッキングカラーおよびコイル巻枠は各々単品で加工で
き、加工が容易かつ高精度にできる。また、円筒(外
筒)と薄い板(巻枠)で回転コイルを構成したので、材
料力学的にみて外筒と同じ外径の中実の丸棒に較べて自
重によるたわみが小さい特徴がある。
In this way, a pickup coil having substantially the same radius as the outer cylinder can be manufactured, and the measurement area can be set as close to the bore diameter of the electromagnet as possible, which has the effect of improving the measurement accuracy. Further, the chucking collar and the coil bobbin attached to the outer cylinder can be machined individually, so that the machining can be performed easily and with high accuracy. In addition, since the rotating coil is composed of a cylinder (outer cylinder) and a thin plate (reel), it is characterized by less deflection due to its own weight compared to a solid round bar with the same outer diameter as the outer cylinder in terms of material mechanics. .

【0056】実施例4.この発明の実施例4を図に基づ
いて説明する。図10は多極磁場測定装置の駆動モータ
ーの設置方法を示す斜視図である。図において、1、
4、15は従来例と、18、19、20、22a、22
b、は実施例1と同様でありその説明は省略する。
Example 4. A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a perspective view showing a method of installing a drive motor of the multipolar magnetic field measurement apparatus. In the figure, 1,
4, 15 are the conventional example, 18, 19, 20, 22a, 22
Since b and b are the same as those in the first embodiment, description thereof will be omitted.

【0057】21−1は軸受部、35は駆動モーター、
36は動力伝達用ベルト、37はロータリコネクタ、3
7−1はコネクタで、回転コイル1の信号線と着脱自在
に接続され、ロータリーコネクタ37へ信号を伝える。
37−2は取り付け金具で、ロータリーコネクタ37と
回動自在に取り付けてあり、コイル回転駆動部20側へ
約90度図の向こう側へ図示しないヒンジにより回動す
ることができる。
21-1 is a bearing portion, 35 is a drive motor,
36 is a power transmission belt, 37 is a rotary connector, 3
Reference numeral 7-1 is a connector, which is detachably connected to the signal line of the rotary coil 1 and transmits a signal to the rotary connector 37.
Reference numeral 37-2 is a fitting, which is rotatably attached to the rotary connector 37, and can be rotated about 90 degrees toward the coil rotation drive unit 20 side by a hinge (not shown) beyond the drawing.

【0058】次に動作について説明する。先ず図10の
状態から、回転コイル1を取り外す場合を説明する。 コネクタ37−1を回転コイル1側から外して、この
コネクタ37−1とロータリーコネクタ37とが取り付
けられたままの取り付け金具37−2を約90度回動
し、回転コイル1のロータリーコネクタ37側の障害物
を無くする。
Next, the operation will be described. First, the case where the rotary coil 1 is removed from the state of FIG. 10 will be described. The connector 37-1 is removed from the rotary coil 1 side, and the mounting bracket 37-2 with the connector 37-1 and the rotary connector 37 still attached is rotated by about 90 degrees, and the rotary coil 37 side of the rotary coil 1 is attached. Get rid of obstacles.

【0059】回転コイル1が軸受部21−1に締め付
けられている部分を緩め、また、回転コイル1がコイル
回転駆動部20のベルトの掛かったプーリーの反対側で
締め付けられている部分を緩める。 回転コイル1をコイル回転駆動部20側から抜いて取
り外す。
The portion where the rotary coil 1 is fastened to the bearing portion 21-1 is loosened, and the portion where the rotary coil 1 is fastened on the opposite side of the belt pulley of the coil rotation drive portion 20 is loosened. The rotary coil 1 is pulled out from the coil rotation drive unit 20 side and removed.

【0060】回転コイル1を取り付ける場合は上記取り
外す場合と反対の順序で取り付ける。即ち、回転コイル
1の取付は、コイル回転駆動部20(図示の左側)から
挿入し、軸受部21−1まで挿入し取り付け、コネクタ
37−1を接続することにより行われる。このように回
転コイル1を簡単に着脱することができる。
When the rotary coil 1 is attached, it is attached in the reverse order of the above removal. That is, the rotation coil 1 is attached by inserting it from the coil rotation drive unit 20 (on the left side in the drawing), inserting and attaching it to the bearing unit 21-1, and connecting the connector 37-1. In this way, the rotary coil 1 can be easily attached and detached.

【0061】回転コイル1の回転は、動力伝達用ベルト
36を介して駆動モーター35で駆動する。また、回転
コイルからの出力信号は、コネクタ37−1を通りロー
タリーコネクター37から取り出す。このようにロータ
リーコネクター37を介して信号を取り出すことによ
り、回転コイル1を連続して回転させることができ、ベ
ルト等を用いた間接駆動を採用することにより、駆動モ
ーターを取り外さずに回転コイルを着脱することができ
る。また、回転コイルの両端に機器を取り付けられるよ
うになるので、ロータリーエンコーダーによって、回転
コイルを連続回転させて繰り返し信号を取り出すことが
でき、測定精度が向上する効果がある。
The rotation of the rotary coil 1 is driven by the drive motor 35 via the power transmission belt 36. The output signal from the rotary coil passes through the connector 37-1 and is taken out from the rotary connector 37. By thus extracting the signal through the rotary connector 37, the rotary coil 1 can be continuously rotated, and by employing indirect drive using a belt or the like, the rotary coil can be removed without removing the drive motor. Can be attached and detached. Further, since the equipment can be attached to both ends of the rotary coil, the rotary encoder can continuously rotate the rotary coil to extract the signal repeatedly, which has the effect of improving the measurement accuracy.

【0062】なお、間接駆動の動力伝達方式をベルトで
説明したが、チェーンやギヤ等であってもよい。その他
の動作については実施例1と同じにつき説明を省略す
る。
Although the indirect drive power transmission system has been described as a belt, it may be a chain or a gear. Since other operations are the same as those in the first embodiment, the description thereof will be omitted.

【0063】実施例5.この発明の実施例5を図に基づ
いて説明する。図11は多極磁場測定装置の回転コイル
把持機構を示す側面図である。(実施例1の信号取り出
し部21の断面図である。) 図において回転コイル1、ロータリーエンコーダー4は
従来例と同様でありその説明は省略する。38は締付リ
ング、39はスプリングコレット、40は回転軸、41
は皿ばね、42a及び42bは玉軸受け、43a及び4
3bはカラー、44はベアリングナット、45は軸受
台、46はテーパーリングである。
Example 5. A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 11 is a side view showing the rotating coil gripping mechanism of the multipole magnetic field measuring apparatus. (It is a cross-sectional view of the signal extraction unit 21 of the first embodiment.) In the figure, the rotary coil 1 and the rotary encoder 4 are the same as those in the conventional example, and the description thereof is omitted. 38 is a tightening ring, 39 is a spring collet, 40 is a rotating shaft, 41
Is a disc spring, 42a and 42b are ball bearings, and 43a and 4
3b is a collar, 44 is a bearing nut, 45 is a bearing stand, and 46 is a taper ring.

【0064】次に動作について説明する。回転コイル1
の把持は、回転コイル1の内部に挿入後、締付リング3
8を回すことにより、以下のような動作で行われる。締
付リング38は回転軸40とネジ結合しており、締付リ
ング38を回すと、図11の右方向に移動する。この
時、締付リング38とテーパーリング46が同様に右方
向に移動して、スプリングコッレト39を回転軸40の
テーパー部で押さえるので、スプリングレット39は、
内径方向に小さくなり、回転コイル1を締付けて把持す
ることができる。
Next, the operation will be described. Rotating coil 1
After inserting into the rotating coil 1, the clamping ring 3
By turning 8, the following operation is performed. The tightening ring 38 is screwed to the rotating shaft 40, and when the tightening ring 38 is rotated, it moves to the right in FIG. 11. At this time, the tightening ring 38 and the taper ring 46 similarly move to the right and hold the spring collet 39 with the taper portion of the rotary shaft 40, so that the springlet 39
It becomes smaller in the inner diameter direction, and the rotary coil 1 can be clamped and gripped.

【0065】ここで、回転コイル1に回転力を与える
と、回転軸40が、ベアリングナット44、皿バネ4
1、カラー43a、43bで固定された玉軸受け42
a,42bで支持されているので、回転コイル1がスム
ーズに回転する。このように把持機構を構成すれば、回
転コイル1を回転方向および軸方向にスプリングコレッ
ト39の幅で固定でき、また、玉軸受42a、42bを
介して回転できる。
When a rotational force is applied to the rotary coil 1, the rotary shaft 40 causes the bearing nut 44 and the disc spring 4 to move.
1. Ball bearing 42 fixed by collars 43a and 43b
Since it is supported by a and 42b, the rotating coil 1 rotates smoothly. If the gripping mechanism is configured in this way, the rotating coil 1 can be fixed in the rotation direction and the axial direction by the width of the spring collet 39, and can be rotated via the ball bearings 42a and 42b.

【0066】従って、回転コイルの端部をある長さにわ
たって把持するので、回転コイル端部に働くモーメント
を固定支持することができ、自重によるたわみが小さく
なり、測定精度が向上する効果がある。
Therefore, since the end of the rotary coil is gripped over a certain length, the moment acting on the end of the rotary coil can be fixedly supported, the deflection due to its own weight is reduced, and the measurement accuracy is improved.

【0067】なお、この実施例は実施例1の図1のコイ
ル信号取り出し部21に適用した例を示したが、図1の
コイル回転駆動部20にも適用できる。また、実施例4
に示す図10の軸受部21−1、および、コイル回転駆
動部20の把持機構にも同様に適用できる。
While this embodiment has been shown as an example applied to the coil signal extracting portion 21 of FIG. 1 of the first embodiment, it can also be applied to the coil rotation driving portion 20 of FIG. Example 4
10 can be similarly applied to the bearing portion 21-1 of FIG. 10 and the gripping mechanism of the coil rotation driving portion 20.

【0068】図10のコイル回転駆動部20に適用する
場合は、図示しないが、図11の回転軸40のベアリン
グナット44側の部分を軸方向(右方向)に延長し、そ
の延長部分に図10に示す動力伝達用ベルト36の掛か
るプーリーを取り付ける。また、ロータリーエンコーダ
ー4は無いので、回転コイル1は、右方向へ抜き出すこ
とができる。このような構造にすることにより、駆動機
構に邪魔されず回転コイル1の軸方向の抜き差しが容易
にできる。
When applied to the coil rotation drive unit 20 of FIG. 10, although not shown, the portion of the rotary shaft 40 on the bearing nut 44 side of FIG. 11 is extended in the axial direction (to the right), and the extended portion is shown. The pulley on which the power transmission belt 36 shown in FIG. Further, since the rotary encoder 4 is not provided, the rotary coil 1 can be extracted rightward. With such a structure, it is possible to easily insert and remove the rotary coil 1 in the axial direction without being disturbed by the drive mechanism.

【0069】実施例6.この発明の実施例6を図に基づ
いて説明する。図12は多極磁場測定装置の回転コイル
把持機構を示す側面図である。(実施例1の信号取り出
し部21の断面図である。)
Example 6. A sixth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 12 is a side view showing the rotating coil gripping mechanism of the multipole magnetic field measuring apparatus. (It is a cross-sectional view of the signal extraction unit 21 of the first embodiment.)

【0070】図において、1、4は従来例と、38、4
1、42a、42b、43a、43b、44、45は、
実施例5と同様でありその説明は省略する。47はスラ
ストスリーブ、48は逆テーパスプリングコレット、4
9はコレット固定型回転軸で、逆テーパスプリングコレ
ット48が嵌合されており、軸方向の動きを固定すると
共に、円周方向に回動自在に支持されている。50はス
ラストスリーブ47の回転止めピンである。
In the figure, 1 and 4 are the conventional example and 38 and 4 respectively.
1, 42a, 42b, 43a, 43b, 44, 45 are
Since it is similar to the fifth embodiment, its description is omitted. 47 is a thrust sleeve, 48 is a reverse taper spring collet, 4
Reference numeral 9 denotes a collet fixed type rotary shaft, into which an inverse taper spring collet 48 is fitted, which is fixed in axial movement and is rotatably supported in the circumferential direction. Reference numeral 50 is a rotation stop pin of the thrust sleeve 47.

【0071】次に動作について説明する。回転コイル1
の把持は、回転コイル1を内部に挿入後、締付リング3
8を回すことにより、以下のような動作で行われる。締
付リング38はコレット固定型回転軸49とネジ結合し
ており、締付リング38を回すと、図の右方向に移動す
る。この時、締付リング38とスラストスリーブ47が
同様に右方向に移動して、逆テーパスプリングコレット
48をテーパー部で押さえるので、逆テーパスプリング
コレット48は、内径方向に小さくなり、回転コイル1
を締付ける。
Next, the operation will be described. Rotating coil 1
For gripping, the tightening ring 3 is inserted after inserting the rotary coil 1 inside.
By turning 8, the following operation is performed. The tightening ring 38 is screwed to the fixed collet type rotary shaft 49, and when the tightening ring 38 is rotated, the tightening ring 38 moves to the right in the drawing. At this time, the tightening ring 38 and the thrust sleeve 47 similarly move to the right and hold the reverse taper spring collet 48 by the taper portion, so that the reverse taper spring collet 48 becomes smaller in the inner diameter direction and the rotating coil 1
Tighten.

【0072】この時、逆テーパスプリングコレット48
は、コレット固定型回転軸49に嵌合されていて、軸方
向に移動しないので、回転コイル1に軸方向の力を与え
ないで回転コイル1を締付けることができる。また、回
転止めピン50がスラストスリーブ47の回転を止める
ので、逆テーパスプリングコレット48も回転をせず回
転コイル1にねじれ力を与えない。
At this time, the reverse taper spring collet 48
Is fitted to the collet fixed rotary shaft 49 and does not move in the axial direction, so that the rotary coil 1 can be tightened without applying an axial force to the rotary coil 1. Further, since the rotation stop pin 50 stops the rotation of the thrust sleeve 47, the reverse taper spring collet 48 also does not rotate and does not give a twisting force to the rotating coil 1.

【0073】ここで回転コイル1に回転力を与えると、
回転軸49が、ベアリングナット44、皿バネ41、カ
ラー43a、43bで固定された玉軸受け42a、42
bで支持されているので、回転コイル1はスムーズに回
転する。このように把持機構を構成すれば、回転コイル
1に軸方向の力およびねじれ力を与えずに、回転方向お
よび軸方向に逆テーパスプリングコレットの幅で固定で
き、また、玉軸受42a、42bを介して回転できる。
When a rotating force is applied to the rotating coil 1,
A rotary shaft 49 has ball bearings 42a, 42 fixed by bearing nuts 44, disc springs 41, collars 43a, 43b.
Since it is supported by b, the rotating coil 1 rotates smoothly. If the gripping mechanism is configured in this manner, the rotary coil 1 can be fixed by the width of the inverse taper spring collet in the rotational direction and the axial direction without applying the axial force and the twisting force, and the ball bearings 42a and 42b can be fixed. Can be rotated through.

【0074】従って、実施例5の効果に加え、回転コイ
ルを逆テーパスプリングコレットによって把持する際に
軸方向に引き込まれることがなくなり、回転コイルに軸
方向の無用な力を与えずに把持でき、回転コイルが変形
することなく、測定精度が向上する効果がある。
Therefore, in addition to the effect of the fifth embodiment, when the rotary coil is gripped by the reverse taper spring collet, the rotary coil is not pulled in the axial direction, and the rotary coil can be gripped without giving unnecessary force in the axial direction. This has the effect of improving the measurement accuracy without deforming the rotating coil.

【0075】なお、この実施例は実施例1の図1のコイ
ル信号取り出し部21に適用した例を示したが、図1の
コイル回転駆動部20にも適用できる。また、実施例4
に示す図10の軸受部21−1、および、コイル回転駆
動部20の把持機構にも同様に適用できる。
Although this embodiment has been shown as an example applied to the coil signal extracting portion 21 of FIG. 1 of the first embodiment, it can also be applied to the coil rotation driving portion 20 of FIG. Example 4
10 can be similarly applied to the bearing portion 21-1 of FIG. 10 and the gripping mechanism of the coil rotation driving portion 20.

【0076】図10のコイル回転駆動部20に適用する
場合は、図示しないが、図12の回転軸40のベアリン
グナット44側の部分を軸方向(右方向)に延長し、そ
の延長部分に図10に示す動力伝達用ベルト36の掛か
るプーリーを取り付ける。また、ロータリーエンコーダ
ー4は無いので、回転コイル1は、右方向へ抜き出すこ
とができる。このような構造にすることにより、駆動機
構に邪魔されず回転コイル1の軸方向の抜き差しが容易
にできる。
When applied to the coil rotation drive section 20 of FIG. 10, although not shown, the portion of the rotary shaft 40 on the bearing nut 44 side of FIG. 12 is extended in the axial direction (to the right), and the extended portion is illustrated. The pulley on which the power transmission belt 36 shown in FIG. Further, since the rotary encoder 4 is not provided, the rotary coil 1 can be extracted rightward. With such a structure, it is possible to easily insert and remove the rotary coil 1 in the axial direction without being disturbed by the drive mechanism.

【0077】実施例7.以上の実施例は組み合わせて用
いることができる。即ち、実施例1をもとに他の実施例
を適用すればよい。実施例5と実施例6の把持機構はい
ずれか一方を適用することになるが、回転コイル1の右
端部側と左端部側の一方に実施例5を他方に実施例6を
適用してもよい。
Example 7. The above embodiments can be used in combination. That is, other embodiments may be applied based on the first embodiment. Either one of the gripping mechanisms of the fifth embodiment and the sixth embodiment is applied. However, even if the fifth embodiment is applied to one of the right end side and the left end side of the rotary coil 1 and the sixth embodiment is applied to the other. Good.

【0078】[0078]

【発明の効果】【The invention's effect】

(1)以上のようにこの発明によれば、回転コイルと回
転装置と角度位置検出手段と磁場中心予測手段と駆動装
置と位置変位導出手段で構成したので、多極磁場測定装
置本体の製作性が向上し、測定精度も向上する効果があ
り、また、回転コイルのたわみなどによる変形も含め
て、実際の回転コイルの回転軸即ち磁気中心軸が求めら
れる効果がある。
(1) As described above, according to the present invention, the rotary coil, the rotary device, the angular position detecting means, the magnetic field center predicting means, the driving device, and the positional displacement deriving means are included. And the measurement accuracy is improved, and the actual rotation axis of the rotary coil, that is, the magnetic center axis is required, including deformation due to deflection of the rotary coil.

【0079】(2)また、位置変位導出手段を設けたの
で、事前にアライメント基準と回転コイルの変位量との
関係を得ることができ、多極磁場測定装置本体の製作性
が向上し、測定精度も向上する効果がある。
(2) Further, since the position displacement deriving means is provided, the relationship between the alignment reference and the displacement amount of the rotary coil can be obtained in advance, the manufacturability of the multipole magnetic field measuring device main body is improved, and the measurement is performed. It also has the effect of improving accuracy.

【0080】(3)また、回転コイルを、外筒とチャッ
キングカラーと巻線と巻枠と調整ボルトと測定用孔で構
成したので、回転コイルの軽量化ができ中実の丸棒で製
作するより自重によるたわみが小さくできる効果があ
る。また、コイルの外形とピックアップコイルの位置を
任意に調整できるので、巻枠と外筒の加工が別々に行
え、製作性が向上し、組立精度が向上する効果がある。
(3) Further, since the rotary coil is composed of the outer cylinder, the chucking collar, the winding, the winding frame, the adjusting bolt and the measuring hole, the rotary coil can be made lighter and is manufactured by a solid round bar. This has the effect of reducing the deflection due to its own weight. Further, since the outer shape of the coil and the position of the pickup coil can be arbitrarily adjusted, the bobbin and the outer cylinder can be processed separately, which improves the manufacturability and the assembling accuracy.

【0081】(4)また、外筒の筒表面近傍の磁場を検
出する別の巻線を追加したので、ほぼ外筒と同じ半径の
ピックアップコイルが製作でき、測定領域を電磁石のボ
ア径にできる限り近づけることができ、磁場の測定をよ
り感度良く正確に行える効果がある。
(4) Further, since another winding for detecting the magnetic field near the surface of the outer cylinder is added, a pickup coil having substantially the same radius as the outer cylinder can be manufactured, and the measurement area can be the bore diameter of the electromagnet. It is possible to bring them as close as possible, and there is an effect that the magnetic field can be measured with higher sensitivity and accuracy.

【0082】(5)また、回転コイルを駆動する駆動モ
ータを、回転コイルの回転軸から外れた位置に配設し、
回転コイルが回転軸方向に挿脱自在となるよう構成した
ので、駆動モーターを取り外さずに回転コイルの脱着が
でき、回転コイルあるいは電磁石の交換が容易になり、
測定作業が効率化する効果がある。
(5) Further, a drive motor for driving the rotary coil is arranged at a position off the rotary shaft of the rotary coil,
Since the rotating coil is configured to be insertable / removable in the rotating shaft direction, the rotating coil can be attached / detached without removing the drive motor, and the rotating coil or the electromagnet can be easily replaced.
This has the effect of increasing the efficiency of measurement work.

【0083】(6)また、回転装置の回転コイルの把持
機構を、回転軸とテーパスプリングコレットと押圧手段
で構成したので、回転コイルの端部をある長さにわたっ
て把持することにより回転コイル端部に働くモーメント
を固定支持することができ、自重によるたわみが小さく
なり、測定精度が向上する効果がある。
(6) Further, since the gripping mechanism of the rotary coil of the rotary device is constituted by the rotary shaft, the taper spring collet and the pressing means, the rotary coil end is gripped by gripping the end of the rotary coil over a certain length. The moment acting on can be fixedly supported, the deflection due to its own weight can be reduced, and the measurement accuracy can be improved.

【0084】(7)また、回転装置の回転コイルの把持
機構を、回転軸とスラストスリーブと逆テーパスプリン
グコレットと押圧手段で構成したので、回転コイルを逆
テーパスプリングコレットによって把持する際に軸方向
に引き込まれることがなくなり、回転コイルに軸方向の
無用な力を与えずに把持でき、回転コイルが変形するこ
となく測定精度が向上する効果がある。
(7) Further, since the gripping mechanism of the rotary coil of the rotating device is constituted by the rotary shaft, the thrust sleeve, the reverse taper spring collet and the pressing means, when the rotary coil is gripped by the reverse taper spring collet, the axial direction Is prevented from being pulled in, the rotary coil can be gripped without applying unnecessary force in the axial direction, and the measurement accuracy is improved without the rotary coil being deformed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 この発明の実施例1における多極磁場測定装
置の本体を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a main body of a multipole magnetic field measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 この発明の実施例1における多極磁場測定装
置の本体に取り付けられた回転軸測定装置を示す側面図
である。
FIG. 2 is a side view showing the rotating shaft measuring device attached to the main body of the multipole magnetic field measuring device according to the first embodiment of the present invention.

【図3】 この発明の実施例1における多極磁場測定装
置の回転軸測定装置の変位センサ駆動部を示す斜視図で
ある。
FIG. 3 is a perspective view showing a displacement sensor driving unit of the rotation axis measuring apparatus of the multipole magnetic field measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図4】 この発明の実施例1の測定動作のフローチャ
ートである。
FIG. 4 is a flowchart of a measuring operation according to the first embodiment of the present invention.

【図5】 この発明の実施例1の測定動作のフローチャ
ートである。
FIG. 5 is a flowchart of a measurement operation according to the first embodiment of the present invention.

【図6】 この発明の実施例2における多極磁場測定装
置の回転コイルを示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a rotating coil of a multipole magnetic field measuring apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図7】 図6のピックアップコイルの位置調整機構を
示す断面図である。
7 is a sectional view showing a position adjusting mechanism of the pickup coil of FIG.

【図8】 この発明の実施例3における多極磁場測定装
置の回転コイルを示す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing a rotating coil of a multipole magnetic field measuring apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図9】 図8のピックアップコイルの巻回部分の断面
図である。
9 is a cross-sectional view of a wound portion of the pickup coil of FIG.

【図10】 この発明の実施例4における多極磁場測定
装置の駆動モーターの設置状態を示す斜視図である。
FIG. 10 is a perspective view showing an installed state of a drive motor of a multipole magnetic field measurement apparatus according to Example 4 of the present invention.

【図11】 この発明の実施例5における多極磁場測定
装置の回転コイル把持機構を示す側面図である。
FIG. 11 is a side view showing a rotating coil gripping mechanism of a multipole magnetic field measuring apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.

【図12】 この発明の実施例6における多極磁場測定
装置の回転コイル把持機構を示す側面図である。
FIG. 12 is a side view showing a rotating coil gripping mechanism of a multipole magnetic field measuring apparatus according to Embodiment 6 of the present invention.

【図13】 従来の多極磁場測定装置を示す側面図であ
る。
FIG. 13 is a side view showing a conventional multipole magnetic field measurement apparatus.

【図14】 多極電磁石の断面図である。FIG. 14 is a sectional view of a multipolar electromagnet.

【図15】 従来の多極磁場測定装置の回転コイルの構
造を示す斜視図である。
FIG. 15 is a perspective view showing a structure of a rotating coil of a conventional multipole magnetic field measuring apparatus.

【図16】 図15のピックアップコイルの構造を示す
斜視図である。
16 is a perspective view showing the structure of the pickup coil of FIG.

【図17】 従来の測定動作を示すフローチャートであ
る。
FIG. 17 is a flowchart showing a conventional measurement operation.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 回転コイル、4 ロータリーエンコーダー、12
ベース架台、13 被測定用電磁石、15 ピックアッ
プコイル、18 駆動台、19 電磁石固定用レバー、
20 コイル回転駆動部、21 コイル信号取り出し
部、21−1 軸受部 22,22a,22b アライメント位置基準台、23
変位センサ駆動部、24 変位センサ、25 測定架
台、26 回転円筒、27 リニアガイドレール、28
測定位置基準台、29 測定リング、30 外筒、3
1 測定用孔、32 コイル巻枠、33 調整ボルト、
34 コイル用溝、35 駆動モーター、36 動力伝
達用ベルト、37 ロータリコネクタ、37−1 コネ
クタ、37−2 取付金具、38 締付リング、39
スプリングコレット、40 回転軸、41 皿ばね、4
2a,42b 玉軸受け、43a,43b カラー、4
4 ベアリングナット、45 軸受台、46 テーパー
リング、47 スラストスリーブ、48 逆テーパスプ
リングコレット、49 コレット固定型回転軸、50
スラストスリーブ回転止めピン。
1 rotary coil, 4 rotary encoder, 12
Base stand, 13 electromagnet for measurement, 15 pickup coil, 18 drive stand, 19 electromagnet fixing lever,
20 coil rotation drive part, 21 coil signal extraction part, 21-1 bearing part 22, 22a, 22b alignment position reference stand, 23
Displacement sensor drive, 24 Displacement sensor, 25 Measuring stand, 26 Rotating cylinder, 27 Linear guide rail, 28
Measuring position reference stand, 29 measuring ring, 30 outer cylinder, 3
1 measuring hole, 32 coil reel, 33 adjusting bolt,
34 coil groove, 35 drive motor, 36 power transmission belt, 37 rotary connector, 37-1 connector, 37-2 mounting bracket, 38 tightening ring, 39
Spring collet, 40 rotating shaft, 41 disc spring, 4
2a, 42b ball bearings, 43a, 43b collar, 4
4 bearing nut, 45 bearing stand, 46 taper ring, 47 thrust sleeve, 48 reverse taper spring collet, 49 collet fixed rotary shaft, 50
Thrust sleeve rotation stop pin.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多極磁場を発生する被測定用電磁石の磁
場中で回転し、その発生電圧を出力する巻線を内蔵した
円柱状の回転コイルと、この回転コイルの両端部を着脱
自在に軸受部で把持して回転させる回転装置と、上記回
転コイルの回転に応じて回転角度位置信号を出力する角
度位置検出手段と、上記回転コイルからの出力信号と上
記回転角度位置信号から上記電磁石の磁場中心を予測す
る磁場中心予測手段と、この予測結果に基づいて上記電
磁石の磁場中心と回転コイルの中心とを一致させるよう
に上記電磁石と上記回転コイルとの相対位置関係を変化
させる駆動装置と、回転コイルの中心軸と予め設定した
アライメント基準との位置の変位を導出する位置変位導
出手段とを備え、上記駆動装置により上記電磁石の磁場
中心と上記回転コイルの中心とを一致させた結果の位置
情報、および上記位置変位導出手段で求めた位置変位と
から上記電磁石の幾何学的中心と磁場中心とのずれを求
めるようにしたことを特徴とする多極磁場測定装置。
1. A cylindrical rotating coil having a built-in winding for outputting a voltage generated by rotating in a magnetic field of an electromagnet for measurement that generates a multipolar magnetic field, and both ends of the rotating coil are detachable. A rotating device that is gripped and rotated by a bearing portion, an angular position detecting unit that outputs a rotational angular position signal in response to the rotation of the rotary coil, an output signal from the rotary coil, and the rotary angular position signal from the electromagnet. A magnetic field center predicting means for predicting the magnetic field center, and a drive device for changing the relative positional relationship between the electromagnet and the rotating coil so as to match the magnetic field center of the electromagnet with the center of the rotating coil based on the prediction result. A position displacement deriving means for deriving a position displacement between the central axis of the rotating coil and a preset alignment reference, and the magnetic field center of the electromagnet and the rotating coil by the driving device. It is characterized in that the deviation between the geometric center of the electromagnet and the magnetic field center is obtained from the position information obtained as a result of matching the center of the magnet and the position displacement obtained by the position displacement deriving means. Polar magnetic field measuring device.
【請求項2】 請求項1において、位置変位導出手段
は、回転コイルを回転して回転位置に対する変位量を求
め、この位置の変位量と予め設定したアライメント基準
とから、回転コイルの中心軸と上記予め設定したアライ
メント基準との位置の変位を導出する手段としたことを
特徴とする多極磁場測定装置。
2. The position displacement derivation means according to claim 1, wherein the rotation coil is rotated to obtain a displacement amount with respect to a rotational position, and the center axis of the rotation coil is determined from the displacement amount at this position and a preset alignment reference. A multipole magnetic field measuring apparatus, characterized in that it is a means for deriving a displacement of a position with respect to the preset alignment reference.
【請求項3】 請求項1または請求項2において、回転
コイルは、外筒と、この外筒と同心円筒で、上記外筒の
両端部を保持すると共に、回転装置に把持されるチャッ
キングカラーと、上記外筒内に配設された巻枠と、この
巻枠に保持され上記外筒の中心軸に対して対称且つ平行
に巻かれた巻線と、上記外筒に設けられ上記巻線と巻枠
とを上記外筒の径方向に移動自在に支持して位置調整を
行う位置調整手段と、上記外筒に設けられ外部から巻枠
位置を測定可能とする測定用孔とで構成したことを特徴
とする多極磁場測定装置。
3. The chucking collar according to claim 1 or 2, wherein the rotary coil is an outer cylinder and a cylinder concentric with the outer cylinder, which holds both ends of the outer cylinder and is gripped by the rotating device. A winding frame disposed in the outer cylinder, windings held by the winding frame and wound in symmetry and parallel to the central axis of the outer cylinder, and windings provided on the outer cylinder. And a bobbin movably supported in the radial direction of the outer cylinder to adjust the position, and a measuring hole provided in the outer cylinder so that the reel position can be measured from the outside. A multi-pole magnetic field measuring device characterized in that
【請求項4】 請求項3において、巻線は、外筒の筒表
面近傍の磁場を検出する別の巻線を追加したことを特徴
とする多極磁場測定装置。
4. The multipole magnetic field measuring apparatus according to claim 3, wherein the winding is provided with another winding for detecting a magnetic field near the surface of the outer cylinder.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1項において、
回転装置は、回転コイルを駆動する駆動源を駆動モータ
とし、この駆動モータを上記回転コイルの回転軸から外
れた位置に配設すると共に、上記駆動モータから動力伝
達手段を介して上記回転コイルを駆動し、且つ、上記回
転コイルが回転軸方向に挿脱自在となるよう構成したこ
とを特徴とする多極磁場測定装置。
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The rotating device uses a drive motor as a drive source for driving the rotating coil, disposes the drive motor at a position deviated from the rotation axis of the rotating coil, and drives the rotating coil from the driving motor via a power transmission means. A multipole magnetic field measuring device characterized in that it is driven and configured such that the rotating coil can be inserted and removed in the direction of the rotation axis.
【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1項において、
回転コイルを把持する回転装置の把持機構は、上記回転
装置の軸受側から回動自在に保持され、且つ、その内側
に回転軸方向のテーパを設けると共に、回転コイルが挿
入される回転軸と、この回転軸のテーパに対向するテー
パを設けた回転コイル把持用のテーパスプリングコレッ
トと、このテーパスプリングコレットを回転軸方向に押
圧して締め付け上記回転コイルを把持する押圧手段とで
構成したことを特徴とする多極磁場測定装置。
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The gripping mechanism of the rotating device that holds the rotating coil is rotatably held from the bearing side of the rotating device, and is provided with a taper in the rotating shaft direction inside thereof, and a rotating shaft into which the rotating coil is inserted, A taper spring collet for gripping the rotary coil, which has a taper facing the taper of the rotary shaft, and a pressing means for clamping the rotary coil by pressing the taper spring collet in the direction of the rotary shaft. Multi-pole magnetic field measuring device.
【請求項7】 請求項1〜5のいずれか1項において、
回転コイルを把持する回転装置の把持機構は、上記回転
装置の軸受側から回動自在に保持され、且つ、その内側
に回転コイルが挿入される回転軸と、この回転軸と共に
回動すると共に軸方向に摺動し、且つ、その内側に回転
軸方向のテーパを設けたスラストスリーブと、このスラ
ストスリーブのテーパと対向するテーパを設け、且つ、
回転軸方向の移動を規制された上記回転コイル把持用の
逆テーパスプリングコレットと、上記スラストスリーブ
を回転軸方向に押圧することにより上記逆テーパスプリ
ングコレットを締め付けて上記回転コイルを把持する押
圧手段とで構成したことを特徴とする多極磁場測定装
置。
7. The method according to any one of claims 1 to 5,
The gripping mechanism of the rotating device that grips the rotating coil is rotatably held from the bearing side of the rotating device, and the rotating shaft into which the rotating coil is inserted and the rotating shaft that rotates together with the rotating shaft. A thrust sleeve that slides in the direction of the arrow and has a taper in the direction of the rotation axis provided inside thereof, and a taper that faces the taper of the thrust sleeve, and
A reverse taper spring collet for gripping the rotary coil, the movement of which in the direction of the rotary axis is restricted; and a pressing means for tightening the reverse taper spring collet by pressing the thrust sleeve in the rotary axis direction to grip the rotary coil. A multi-pole magnetic field measuring device characterized in that
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