JPH05153757A - Linear motion table with built-in motor - Google Patents

Linear motion table with built-in motor

Info

Publication number
JPH05153757A
JPH05153757A JP3121739A JP12173991A JPH05153757A JP H05153757 A JPH05153757 A JP H05153757A JP 3121739 A JP3121739 A JP 3121739A JP 12173991 A JP12173991 A JP 12173991A JP H05153757 A JPH05153757 A JP H05153757A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
ball screw
stator
linear motion
built
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3121739A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigenori Omori
茂則 大森
Kuniyoshi Marushima
國義 丸島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oriental Motor Co Ltd
Original Assignee
Oriental Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oriental Motor Co Ltd filed Critical Oriental Motor Co Ltd
Priority to JP3121739A priority Critical patent/JPH05153757A/en
Publication of JPH05153757A publication Critical patent/JPH05153757A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To facilitate miniaturization, high speed control, reduction of the number of parts, small noise and an assembly process of a linear motion table. CONSTITUTION:A stator 40 is fitted to a table 30, and a rotor 20 is coaxially arranged in the stator 40 by two bearings 44. When the rotor 20, connected to be screwed to a ball screw 10, is rotated, the rotor 20 is moved to right/left on the ball screw 10 to move the table 30. Since the table 30 is directly controlled not through the ball screw 10, position control at a high speed can be performed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は金属加工機械のテーブル
送り、あるいは測定器の試料送り等に使用されるモータ
内蔵型直線運動テーブルに関し、詳細には、テーブル自
体をモータ構造としたモータ内蔵型直線運動テーブルに
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motion table with a built-in motor, which is used for feeding a table of a metal working machine or feeding a sample of a measuring instrument. Regarding linear motion table.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4を参照すると、従来の直線運動テー
ブルはおよそスライダブロック(50)とそれを駆動するモ
ータ(70)から構成される。スライダブロック(50)はボー
ルネジ(52)、このボールネジ(52)を略両軸端で軸支する
ためのそれぞれのベアリング(56)(60)を備える第1およ
び第2のサポートユニット(54)(58)、フランジ(64)を備
えるボールナット(62)、このボールナット(62)のための
嵌合溝(68)を備えるテーブル(66)から構成され、モータ
(70)はロータ(72)およびロータシャフト(74)、このロー
タシャフト(74)を略両軸端で軸支するためのそれぞれの
ベアリング(78)(82)を備えるフロントブラケット(76)と
モータフレーム(80)、モータフレーム(80)内にロータ(7
2)と同心配列されるステータ(84)から構成される。モー
タ(70)は、ネジ止め等により、フロントブラケット(76)
を図示しない架台の所定位置に固着することによって固
定される。また、サポートユニット(54)(58)も同様にし
て図示しない架台の所定位置に固着される。
2. Description of the Related Art Referring to FIG. 4, a conventional linear motion table comprises a slider block (50) and a motor (70) for driving the slider block (50). The slider block (50) is provided with a ball screw (52) and first and second support units (54) (54) (60) having bearings (56) (60) for pivotally supporting the ball screw (52) at substantially both shaft ends. 58), a ball nut (62) provided with a flange (64), and a table (66) provided with a fitting groove (68) for the ball nut (62).
(70) is a rotor (72) and a rotor shaft (74), a front bracket (76) equipped with respective bearings (78) (82) for supporting the rotor shaft (74) at substantially both shaft ends, and a motor Install the rotor (7) in the frame (80) and motor frame (80).
It is composed of a stator (84) arranged concentrically with 2). Attach the front bracket (76) to the motor (70) with screws.
Is fixed by fixing it to a predetermined position of a mount (not shown). Similarly, the support units (54) and (58) are also fixed to predetermined positions on a frame (not shown).

【0003】次に、図5および図6を参照して直線運動
テーブルに好適なモータ(70)のステータ構造およびロー
タ構造を簡単に説明する。図5はステータの断面形状と
コイル構造を示す。ステータ(84)は鋼の薄板により形成
される環状部(85)とこの環状部(85)の内周に等間隔に配
列される短形のステータポール(86)およびステータポー
ル(86)に巻回されたコイル(87)からなる。同図はA、B
の2相駆動されるモータを例示しており、ステータ(84)
のステータポール(86)は丸数字の1,2,4,5,7,
8,9,10,11および12が付され、A相で駆動さ
れる第1のグループのトルクポール、同じく13,1
4,15,16,17,18,19,21,22および
24が付され、B相で駆動される第2のグループのトル
クポール、さらには上記以外の丸数字が付されたセンサ
ポールに分類される。
Next, a stator structure and a rotor structure of a motor (70) suitable for a linear motion table will be briefly described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. 5 shows the cross-sectional shape of the stator and the coil structure. The stator (84) is wound around an annular portion (85) formed of a thin steel plate, short stator poles (86) and stator poles (86) arranged at equal intervals on the inner circumference of the annular portion (85). It consists of a turned coil (87). The figure shows A, B
2 illustrates a two-phase driven motor of the stator (84)
The stator poles (86) of are circled numbers 1, 2, 4, 5, 7,
A first group of torque poles marked 8, 9, 10, 11 and 12 and driven in phase A, also 13, 1
4,15,16,17,18,19,21,22 and 24 are attached, and it is classified into the torque pole of the 2nd group driven by B phase, and also the sensor pole with the circled numbers other than the above. To be done.

【0004】図6を参照すると、ロータ(72)は円筒状コ
ア(88)、サマリウム/コバルト合金等の高磁力永久磁石
により形成され、前記円筒状コア(88)の外周面に極性が
交互に異なるように配列、固着されたロータポール(89)
およびシャフト(90)から構成される。そして、ロータ(7
2)の回転角度が磁束変化として前記センサポールで検出
される。上記のステータ構造およびロータ構造を備える
モータは、位置検出信号がロータの回転速度変調を受け
ないために、高精度の位置制御が可能である特徴を有す
る。このモータ(70)は平成2年特許願第171371号
に詳細に開示されている。
Referring to FIG. 6, the rotor 72 is formed of a cylindrical core 88 and a high magnetic force permanent magnet such as samarium / cobalt alloy, and the polarities are alternately arranged on the outer peripheral surface of the cylindrical core 88. Rotor poles fixed and arranged differently (89)
And shaft (90). Then, the rotor (7
The rotation angle of 2) is detected by the sensor pole as a magnetic flux change. The motor having the above-described stator structure and rotor structure is characterized in that the position detection signal does not undergo rotation speed modulation of the rotor, and therefore highly accurate position control is possible. This motor (70) is disclosed in detail in Japanese Patent Application No. 171371.

【0005】再び第4図を参照すると、テーブル(66)は
ボールネジ(52)と並行に配列されるリニアシャフト(図
示されていない)と係合し、図面の左右方向に移動可能
に構成されている。また、ボールナット(62)はそのフラ
ンジ(64)によりテーブル(66)の嵌合溝(68)内に回転しな
いように嵌合されている。そこで、モータ(70)が回転し
て、カップリング(96)で結合されたボールネジ(52)が回
転すると、その回転方向に応じて、ボールナット(62)が
テーブル(66)を左右に移動させる。
Referring again to FIG. 4, the table 66 is configured to be movable in the left-right direction in the drawing by engaging a linear shaft (not shown) arranged in parallel with the ball screw 52. There is. The ball nut (62) is fitted into the fitting groove (68) of the table (66) by its flange (64) so as not to rotate. Therefore, when the motor (70) rotates and the ball screw (52) connected by the coupling (96) rotates, the ball nut (62) moves the table (66) left and right according to the rotating direction. ..

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の直線運動テーブ
ルは、第1に、モータ(70)およびカップリング(96)のサ
イズだけ全体長が大きくなるため、テーブル(66)の可動
距離と装置サイズの比が小さくなる欠点を有する。第2
に、カップリング(96)の回転方向のバネ成分によってボ
ールネジ(52)が振動し、異音を発生する欠点を有する。
カップリング(96)のこのバネ成分はまた、スライダ(66)
を設定位置周辺で振動させるため、スライダ(66)の高速
位置制御ができない欠点を有する。第3に、サポートユ
ニット(54)(58)の位置決めを先ず行った後、さらにモー
タ(70)の位置決めを行ってボールネジ(52)とロータシャ
フト(74)の軸心を一致させねばならず、組立作業が煩雑
であるばかりか、軸心が一致しない場合には、異音を発
生し、各所のベアリングを損傷する欠点を有する。第4
に、ボールネジ(52)が回転するため、ボールネジ(52)の
遮蔽が必要である欠点を有する。第5に、テーブルの絶
対位置検出のためのエンコーダが不可欠であり、エンコ
ーダのサイズだけ全体長がさらに大きくなる問題を有す
る。
In the conventional linear motion table, firstly, since the overall length is increased by the size of the motor (70) and the coupling (96), the movable distance of the table (66) and the device size. Has the disadvantage that the ratio of Second
In addition, there is a drawback that the ball screw (52) vibrates due to the spring component of the coupling (96) in the rotation direction, and abnormal noise is generated.
This spring component of the coupling (96) also causes the slider (66) to
Since it vibrates around the set position, it has a drawback that the high speed position control of the slider (66) cannot be performed. Third, after positioning the support units (54) and (58) first, the motor (70) must be further positioned to align the ball screw (52) and the rotor shaft (74) with each other. Not only the assembling work is complicated, but also when the shaft centers do not match, abnormal noise is generated and the bearings at various places are damaged. Fourth
In addition, since the ball screw (52) rotates, the ball screw (52) needs to be shielded. Fifth, an encoder for detecting the absolute position of the table is indispensable, and there is a problem that the entire length is further increased by the size of the encoder.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、直線運動テーブルの小型化、低騒音化、高
速制御、部品点数の削減並びにその組立工程を容易にす
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to downsize a linear motion table, reduce noise, control at high speed, reduce the number of parts and facilitate the assembly process.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は直線運動テーブ
ルのテーブル内に、ロータの回転角度を検出するための
センサポールを備えたステータを配置し、さらにこのス
テータ内にボールネジとネジ結合するロータを同軸配置
したことを主要な特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a stator having a sensor pole for detecting a rotation angle of a rotor is arranged in a table of a linear motion table, and a rotor screw-coupled with a ball screw is further provided in the stator. The main feature is the coaxial arrangement.

【0009】[0009]

【作用】モータ構造をテーブル内に内蔵するためテーブ
ルが装置の全長を移動できると共にロータシャフトとボ
ールネジを兼用するため軸心一致が簡素化される。ま
た、可動部がテーブルに限定されるため信頼性が向上す
る。さらに、ボールネジを介さないでテーブルを直接制
御するため高速、高精度のテーブルの位置制御が可能と
なる。さらにまた、テーブルの絶対位置検出のためのエ
ンコーダが不要となる。
Since the motor structure is built in the table, the table can move the entire length of the apparatus, and since the rotor shaft also serves as the ball screw, the coincidence of the axes is simplified. Further, since the movable part is limited to the table, the reliability is improved. Further, since the table is directly controlled without using the ball screw, it is possible to control the position of the table with high speed and high accuracy. Furthermore, an encoder for detecting the absolute position of the table becomes unnecessary.

【0010】[0010]

【実施例】図1および図2を参照して本発明の第1の実
施例を説明する。なお、図1は実施例の要部の横断面図
であり、図2は図1のA−A線の縦断面図である。図1
および図2に示されるように、本発明のモーター内蔵型
直線運動テーブルはボールネジ(10)、このボールネジ(1
0)とネジ結合するロータ(20)、前記ボールネジ(10)と平
行配置されるリニアレール(14)、このリニアレール(14)
と係合し、図面左右方向に移動するテーブル(30)、この
テーブル(30)に形成した嵌合孔(32)に配置されるステー
タ(40)、このステータ(40)を前記ロータ(20)と同軸配置
し、かつロータ(20)を回転可能に軸支するリング状の2
つの軸受(44)から構成される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 is a horizontal cross-sectional view of the essential part of the embodiment, and FIG. 2 is a vertical cross-sectional view taken along the line AA of FIG. Figure 1
As shown in FIG. 2 and FIG. 2, the linear motion table with a built-in motor of the present invention has a ball screw (10), a ball screw (1
Rotor (20) screw-coupled to (0), linear rail (14) arranged in parallel with the ball screw (10), this linear rail (14)
A table (30) that engages with and moves in the left-right direction in the drawing, a stator (40) arranged in a fitting hole (32) formed in the table (30), and the stator (40) with the rotor (20). A ring-shaped 2 that is coaxially arranged with the rotor (20) and rotatably supports the rotor (20).
It consists of two bearings (44).

【0011】軸受(44)の内輪(45)および外輪(46)のコン
タクト面(47)(48)は、ロータ(20)の回転力を図面左右方
向の力に変換するために、その回転軸(ボールネジ(1
0))に対して略45度に形成されている。この種の軸受
(44)はアンギュラコンタクト軸受と称され、高速回転に
適する利点をも有している。本発明では、軸受(44)とし
て、アンギュラコンタクト軸受の他、深溝軸受も使用す
ることができる。また、実施例の軸受(44)の内輪(45)の
内周面およびその外輪(46)の外周面はネジ加工されてい
るが、圧入、接着その他の手段を採用する場合には、軸
受(44)の内輪(45)の内周面およびその外輪(46)の外周面
のネジ加工は不要となる。
The contact surfaces (47) and (48) of the inner ring (45) and the outer ring (46) of the bearing (44) are used to convert the rotational force of the rotor (20) into a lateral force in the drawing. (Ball screw (1
It is formed at about 45 degrees with respect to (0)). This kind of bearing
(44) is called an angular contact bearing and has an advantage suitable for high speed rotation. In the present invention, as the bearing (44), a deep groove bearing can be used in addition to the angular contact bearing. In addition, the inner peripheral surface of the inner ring (45) and the outer peripheral surface of the outer ring (46) of the bearing (44) of the embodiment are threaded, but when adopting press fitting, adhesion or other means, the bearing ( It is not necessary to screw the inner peripheral surface of the inner ring (45) of 44) and the outer peripheral surface of the outer ring (46).

【0012】ロータ(20)の本体の軸心位置にボールネジ
ナット(22)を形成した図示の実施例では、ロータ(20)は
磁性材料であって、かつネジ結合の良好な鉄系の素材が
使用される。しかしながら、ボールネジナット(22)とロ
ータ(20)本体とを別体に形成することも可能であり、そ
の場合には、ロータ(20)本体とボールネジナット(22)に
はそれぞれに適した素材を使用することができる。この
ロータ(20)の両終端部には前記軸受(44)の内輪(45)の内
周面とネジ結合するネジ部(24)が形成されている。ロー
タポール(26)はサマリウム/コバルト合金等の高磁力永
久磁石により形成され、前記ロータ(20)の外周面に極性
が交互に異なるように配列、固着される。
In the illustrated embodiment in which the ball screw nut (22) is formed at the axial center position of the main body of the rotor (20), the rotor (20) is made of a magnetic material and is made of an iron-based material having a good screw connection. used. However, it is possible to form the ball screw nut (22) and the rotor (20) main body separately, and in that case, the rotor (20) main body and the ball screw nut (22) should be made of suitable materials. Can be used. At both ends of the rotor (20), screw portions (24) are formed which are screwed to the inner peripheral surface of the inner ring (45) of the bearing (44). The rotor pole (26) is made of a high magnetic force permanent magnet such as samarium / cobalt alloy, and is arranged and fixed to the outer peripheral surface of the rotor (20) so that the polarities are alternately different.

【0013】テーブル(30)はステータ嵌合孔(32)および
リニアレール(14)と係合するガイド(36)を備え、ステー
タ嵌合孔(32)の終端部には軸受(44)の外輪(46)の外周面
とネジ結合するネジ部(34)が形成されている。なお、図
2は16のステータポールおよび12のロータポールを
備えるステータおよびロータ構造を例示するが、ステー
タポールおよびロータポールの数はそれらの比が4:3
又は4:5であれば任意の数を選択することができる。
本発明では、従来例の項で説明したステータおよびロー
タ構造を採用する。再び図5を参照すると、丸数字3、
6、20および23が付されたセンサポールで構成され
るブリッジ回路の端子C−Cに100KHZ程度の信号が
供給され、端子D、Dに互いにπ/2位相がシフトされ
た回転角度信号が得られる。そして、この端子D、Dの
2つの回転角度信号の位相に基づいて、一方の回転角度
信号の加算、あるいは減算を決定して、テーブル(30)の
位置検出が行われる。この結果、本発明によればエンコ
ーダを別設する必要がなくなる。
The table (30) is provided with a guide (36) which engages with the stator fitting hole (32) and the linear rail (14), and the outer ring of the bearing (44) is provided at the terminal end of the stator fitting hole (32). A screw part (34) is formed to be screwed to the outer peripheral surface of the (46). Although FIG. 2 illustrates a stator and rotor structure including 16 stator poles and 12 rotor poles, the number of stator poles and rotor poles is 4: 3.
Alternatively, if it is 4: 5, any number can be selected.
The present invention employs the stator and rotor structure described in the section of the conventional example. Referring again to FIG. 5, the circled number 3,
A signal of about 100 KHZ is supplied to the terminal C-C of the bridge circuit composed of sensor poles 6, 20 and 23, and a rotation angle signal in which the π / 2 phase is shifted is obtained at the terminals D and D. Be done. Then, based on the phases of the two rotation angle signals of the terminals D, D, addition or subtraction of one rotation angle signal is determined, and the position of the table (30) is detected. As a result, according to the present invention, it is not necessary to separately provide an encoder.

【0014】次に、実施例の組立工程例を説明する。本
実施例は、先ず、テーブル(30)の嵌合孔(32)にステータ
(40)およびリング状スペーサ(42)を配置してテーブル(3
0)が完成される。次に、ロータ(20)のネジ部(24)に一方
の軸受(44)の内輪(45)が堅く結合される。これにより、
軸受(44)の内輪(45)がロータ(20)に固着され、軸受(44)
の外輪(46)が自由回転する構造が得られる。続いて、ロ
ータ(20)のボールネジナット(22)をボールネジ(10)に係
合し、さらに、ステータ(40)の空間にロータ(20)を挿入
しつつ、先にロータ(20)に結合した軸受(44)の外輪(46)
がテーブル(30)のネジ部(34)にネジ結合される。そし
て、他方の軸受(44)の内輪(45)および外輪(46)をロータ
(20)のネジ部(24)およびステータ(40)のネジ部(34)にそ
れぞれネジ結合して完成する。
Next, an example of the assembling process of the embodiment will be described. In this embodiment, first, the stator is installed in the fitting hole (32) of the table (30).
(40) and the ring-shaped spacer (42) are placed and the table (3
0) is completed. Next, the inner ring (45) of the one bearing (44) is firmly coupled to the screw portion (24) of the rotor (20). This allows
The inner ring (45) of the bearing (44) is fixed to the rotor (20), and the bearing (44)
A structure is obtained in which the outer ring (46) of the motor freely rotates. Subsequently, the ball screw nut (22) of the rotor (20) was engaged with the ball screw (10), and the rotor (20) was further inserted into the space of the stator (40) and was first coupled to the rotor (20). Outer ring (46) of bearing (44)
Are screwed to the screw part (34) of the table (30). The inner ring (45) and outer ring (46) of the other bearing (44) are connected to the rotor.
The screw part (24) of the (20) and the screw part (34) of the stator (40) are screwed together to complete the process.

【0015】本発明のモーター内蔵型直線運動テーブル
は、ロータ(20)の回転に基づくロータ(20)のボールネジ
(10)方向の力がアンギュラコンタクト軸受(44)を介して
テーブル(30)に伝達されてテーブル(30)が移動する動作
原理を採用する。
The linear motion table with a built-in motor of the present invention is a ball screw for the rotor (20) based on the rotation of the rotor (20).
The principle of operation is that the force in the (10) direction is transmitted to the table (30) via the angular contact bearing (44) and the table (30) moves.

【0016】図3は本発明の他の実施例を示す。本実施
例は第1に、ボールネジナット(22)とロータ(20)をそれ
ぞれ最適の素材により別体に形成し、互いに固着、一体
化する点、第2に、一方の軸受(44)の固着がテーブル(3
0)に形成した段部(36)および他方の軸受(44)のネジ止め
により行われる点、第3に、軸受(44)のロータ(20)への
挿入を可能にするために、ロータポール(26)がロータ(2
0)に埋設される点において先の実施例と異なる。
FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, firstly, the ball screw nut (22) and the rotor (20) are separately formed of the optimum materials and fixed and integrated with each other. Secondly, the fixing of one bearing (44) At the table (3
(3) and the other bearing (44) are screwed together. Thirdly, in order to enable the insertion of the bearing (44) into the rotor (20), the rotor pole (26) is the rotor (2
It is different from the previous embodiment in that it is embedded in 0).

【0017】本実施例によれば、ボールネジナット(22)
とロータ(20)をそれぞれ最適の素材により容易に加工で
きることは勿論のこと、組立て工程が容易になる利点、
さらにロータポール(26)による風損の減少、振動および
騒音が減少する利点を有する。
According to this embodiment, the ball screw nut (22)
Of course, the rotor and the rotor (20) can be easily machined with the optimum materials, and the advantage that the assembly process is easy,
Further, it has the advantages of reducing wind loss due to the rotor pole (26), and reducing vibration and noise.

【0018】以上本発明に特徴的な2つの実施例を説明
したが、本発明は実施例に限定されるものではなく、実
施例が開示する技術、例えばそれぞれ2種のボールネジ
ナット(22)の構造、ロータポール(26)の構造、軸受(44)
の固着構造を任意に組み合わせて実施可能である。
Although the two embodiments characteristic of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the embodiments, and the technique disclosed in the embodiments, for example, two types of ball screw nuts (22) each are disclosed. Structure, rotor pole (26) structure, bearing (44)
It is possible to implement it by arbitrarily combining the fixing structures of.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上述べたように本発明のモータ内蔵型
直線運動テーブルは、目的からしてサイズを小さくする
ことができなく、かつ充分にモータを内蔵する容積を有
するテーブル内にモータ構造を内蔵したため装置が小型
化されると共に別設のエンコーダが不要であるためさら
に小型化され、テーブルが装置の全長を移動できる。ま
た、ロータシャフトとボールネジを兼用するため軸心一
致が簡素化される。また、可動部がテーブルに限定され
るため信頼性が向上する。さらに、ボールネジを介さな
いでテーブルを直接制御するため高速、高精度のテーブ
ルの位置制御が可能となる。さらにまた、ボールネジが
固定されるため、ボールネジの遮蔽が不要である。
As described above, the linear motion table with a built-in motor of the present invention cannot be downsized for the purpose, and the motor structure is provided in the table having a sufficient capacity to house the motor. Since it is built-in, the device is downsized, and a separate encoder is not required, so it is further downsized, and the table can move the entire length of the device. Further, since the rotor shaft and the ball screw are also used, the coincidence of the axis centers is simplified. Further, since the movable part is limited to the table, the reliability is improved. Further, since the table is directly controlled without using the ball screw, it is possible to control the position of the table with high speed and high accuracy. Furthermore, since the ball screw is fixed, the ball screw need not be shielded.

【0020】[0020]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の要部の横断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例の要部の縦断面図。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of a main part of an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の他の実施例の要部の横断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the essential parts of another embodiment of the present invention.

【図4】従来の直線運動テーブルの横断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of a conventional linear motion table.

【図5】直線運動テーブルに好適なステータの断面図。FIG. 5 is a sectional view of a stator suitable for a linear motion table.

【図6】直線運動テーブルに好適なロータの断面図。FIG. 6 is a sectional view of a rotor suitable for a linear motion table.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ボールネジ 14 リニアレール 20 ロータ 30 テーブル 40 ステータ 44 軸受 10 ball screw 14 linear rail 20 rotor 30 table 40 stator 44 bearing

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ボールネジと、このボールネジとネジ結
合するボールネジナットを備えたロータと、ボールネジ
に平行配置したリニアレールと、このリニアレールと係
合し、ステータ嵌合孔が形成されたテーブルと、ステー
タと、このステータと前記ロータを同軸配列し、ロータ
を回転可能に軸支するリング状の2つの軸受から構成さ
れるモータ内蔵型直線運動テーブル。
1. A rotor having a ball screw, a ball screw nut screw-coupled to the ball screw, a linear rail arranged in parallel with the ball screw, a table engaging with the linear rail and having a stator fitting hole formed therein, A motor built-in linear motion table including a stator and two ring-shaped bearings that coaxially arrange the stator and the rotor and rotatably support the rotor.
【請求項2】 前記ステータにトルクポールおよびロー
タ位置を検出するためのセンサポールを所定の配列で、
等間隔配置すると共にこのセンサポールから得られるπ
/2の位相差を有する回転角度信号からテーブルの位置
検出を行ったことを特徴とする請求項1のモータ内蔵型
直線運動テーブル。
2. A torque pole and a sensor pole for detecting a rotor position are arranged on the stator in a predetermined arrangement,
Π that is obtained from this sensor pole with equal spacing
The linear motion table with a built-in motor according to claim 1, wherein the position of the table is detected from a rotation angle signal having a phase difference of / 2.
【請求項3】 前記ロータとボールネジナットを一体に
したことを特徴とする請求項1のモータ内蔵型直線運動
テーブル。
3. The linear motion table with a built-in motor according to claim 1, wherein the rotor and the ball screw nut are integrated.
【請求項4】 前記ロータとボールネジナットを別体に
したことを特徴とする請求項1のモータ内蔵型直線運動
テーブル。
4. The motorized linear motion table according to claim 1, wherein the rotor and the ball screw nut are provided separately.
【請求項5】 前記ロータおよびテーブルのステータ嵌
合孔の相対する個所に、前記軸受止めの段部を形成した
ことを特徴とする請求項1のモータ内蔵型直線運動テー
ブル。
5. A linear motion table with a built-in motor according to claim 1, wherein a step portion of the bearing stopper is formed at a position where the rotor and the stator fitting holes of the table face each other.
【請求項6】 前記ロータの円筒面に永久磁石を埋設し
たことを特徴とする請求項1のモータ内蔵型直線運動テ
ーブル。
6. A linear motion table with a built-in motor according to claim 1, wherein a permanent magnet is embedded in the cylindrical surface of said rotor.
JP3121739A 1991-04-25 1991-04-25 Linear motion table with built-in motor Pending JPH05153757A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3121739A JPH05153757A (en) 1991-04-25 1991-04-25 Linear motion table with built-in motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3121739A JPH05153757A (en) 1991-04-25 1991-04-25 Linear motion table with built-in motor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05153757A true JPH05153757A (en) 1993-06-18

Family

ID=14818687

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3121739A Pending JPH05153757A (en) 1991-04-25 1991-04-25 Linear motion table with built-in motor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05153757A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1987005892A1 (en) * 1986-04-01 1987-10-08 Katumi Iida Aeration type water treatment plant
JPH07284242A (en) * 1994-04-05 1995-10-27 Smc Corp Electrically-driven actuator
CN102155601A (en) * 2011-04-14 2011-08-17 张家港名阳精密机械制造有限公司 Motor lifting adjusting device
CN112421918A (en) * 2019-08-22 2021-02-26 沈阳艾克申机器人技术开发有限责任公司 Penetration type linear driving device based on outer rotor permanent magnet synchronous motor
CN112969629A (en) * 2018-10-31 2021-06-15 克诺尔商用车制动系统有限公司 Recirculating ball steering device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1987005892A1 (en) * 1986-04-01 1987-10-08 Katumi Iida Aeration type water treatment plant
US4859321A (en) * 1986-04-01 1989-08-22 Katumi Iida Aeration type water treating device
JPH07284242A (en) * 1994-04-05 1995-10-27 Smc Corp Electrically-driven actuator
CN102155601A (en) * 2011-04-14 2011-08-17 张家港名阳精密机械制造有限公司 Motor lifting adjusting device
CN112969629A (en) * 2018-10-31 2021-06-15 克诺尔商用车制动系统有限公司 Recirculating ball steering device
CN112421918A (en) * 2019-08-22 2021-02-26 沈阳艾克申机器人技术开发有限责任公司 Penetration type linear driving device based on outer rotor permanent magnet synchronous motor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101120177B (en) Bearing with rotation detection device
JPS63277453A (en) Magnetic disc drive motor having cup-shaped rotor
JP2001004405A (en) Magnetic encoder device
EP0484249B1 (en) Permanent magnet type stepping motor and adjusting method for minimizing its detent torque
JPH01162113A (en) Bearing with magnetic field detector
JP2011514970A (en) Angle measuring system and method for manufacturing the angle measuring system
JPH05153757A (en) Linear motion table with built-in motor
JP2007006570A (en) Brushless motor and method of adjusting sensor position of brushless motor
JPH11206091A (en) Abducting synchronous motor
CN1243352A (en) Main-shaft motor
JPH0670463U (en) Linear motion drive
JPH0442760A (en) Motor
JPH0729733Y2 (en) Brushless motor
JP2000046513A (en) Rotation sensor
JPH0467755A (en) Motor
JPH01235812A (en) Production of magnetic type rotary encoder
JPH06123344A (en) Motor-driven single shaft compound operation unit
JP3123375B2 (en) AC servo motor
JP2952516B2 (en) Motor device
JP3050907B2 (en) Disk drive
JPS63213457A (en) Direct drive motor
JP2616216B2 (en) Electric motor
JPS6213724B2 (en)
JPS59231776A (en) Floppy disk driver
JP2001165946A (en) Rotational speed detector and rotary shaft used for the same