JPH0818855B2 - Laminate - Google Patents

Laminate

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JPH0818855B2
JPH0818855B2 JP1329721A JP32972189A JPH0818855B2 JP H0818855 B2 JPH0818855 B2 JP H0818855B2 JP 1329721 A JP1329721 A JP 1329721A JP 32972189 A JP32972189 A JP 32972189A JP H0818855 B2 JPH0818855 B2 JP H0818855B2
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atomic ratio
glass plate
oxygen
glass
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英一 安藤
泰夫 林
幸一 長田
平野  明
純一 海老沢
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Asahi Glass Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、積層体、特に合せガラスに係り、さらに詳
しくは、経時変化により白濁等が発生しない積層体に関
する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a laminate, particularly a laminated glass, and more particularly to a laminate in which cloudiness or the like does not occur due to aging.

[従来の技術] 合せガラスは、破壊時においてもガラス片が飛散せ
ず、しかも、衝撃力に対する耐貫通性が高いことから、
いわゆる安全ガラスとして車両用窓や、サンルーフ、航
空機用窓、船舶用窓、建築用窓などに広く用いられてい
る。
[Prior Art] Laminated glass does not scatter even when broken, and has high resistance to penetration against impact force.
It is widely used as so-called safety glass for vehicle windows, sunroofs, aircraft windows, ship windows, architectural windows, and the like.

特に、合せガラスは、安全性確保の観点から自動車用
の風防ガラスに多く用いられており、この場合、合せガ
ラスに対し、同時に防曇機能や熱線反射機能をも付与す
べく、透明導電膜をその接合面の側に介在させた構造の
ものも既に提供されている。この際の透明導電膜につい
ては、Au膜やAg膜などの単層金属膜、あるいはITO膜やS
nO2膜などの単層金属の酸化物膜のほか、ITO,TiOx,Sn
Ox,ZnOxなどの金属酸化物からなる誘導体膜間にAg膜を
挟み込ませた多層膜なども用いられている。このうち、
前記単層金属膜や単層金属酸化物膜については、その呈
する色調や耐久性のほか、得られる抵抗値などに問題が
あることなどもあって、通常、誘電体としての金属酸化
膜物間にAg膜を挟み込ませた多層膜が多く用いられてい
る。
In particular, laminated glass is often used for windshields for automobiles from the viewpoint of ensuring safety.In this case, a transparent conductive film is added to the laminated glass in order to impart an antifogging function and a heat ray reflecting function at the same time. A structure interposing it on the joint surface side has already been provided. At this time, the transparent conductive film is a single-layer metal film such as Au film or Ag film, or ITO film or S film.
In addition to single-layer metal oxide films such as nO 2 film, ITO, TiO x , Sn
A multilayer film in which an Ag film is sandwiched between derivative films made of a metal oxide such as O x and ZnO x is also used. this house,
Regarding the single-layer metal film and the single-layer metal oxide film, there is a problem in the obtained color value and durability as well as the obtained resistance value. A multi-layered film in which an Ag film is sandwiched between is often used.

第3図は、防曇機能や熱線反射機能を付与すべく、誘
電体膜間にAg膜を挟み込ませた多層膜により透明導電膜
を形成してなる合せガラスの従来構造の一例を示すもの
である。
FIG. 3 shows an example of a conventional laminated glass structure in which a transparent conductive film is formed by a multilayer film in which an Ag film is sandwiched between dielectric films in order to impart an antifogging function and a heat ray reflecting function. is there.

これによれば、上記合せガラスは、車外側に位置する
ガラス板11と車内側に位置するガラス板12との間の接合
面にポリビニールブチラール(以下PVBという)からな
るプラスチック中間膜13を配置させるとともに、車外側
のガラス板11と前記プラスチック中間膜13との間に誘電
体としての誘電体膜15,17、例えばZnOx膜の間にAg膜16
を挟み込ませた3層膜からなる透明導電膜14を介在させ
ることで防曇機能や熱線反射機能の発揮を可能にして形
成されている。誘電体膜15,17は、金属膜16との干渉効
果により、可視光透過率を上げる為に設けられているも
のである。
According to this, in the laminated glass, a plastic intermediate film 13 made of polyvinyl butyral (hereinafter referred to as PVB) is arranged on the joint surface between the glass plate 11 located outside the vehicle and the glass plate 12 located inside the vehicle. In addition, the dielectric film 15, 17 as a dielectric between the glass plate 11 on the outside of the vehicle and the plastic intermediate film 13, for example, the Ag film 16 between the ZnOx film.
By interposing a transparent conductive film 14 composed of a three-layer film sandwiching the above, it is possible to exhibit an anti-fog function and a heat ray reflection function. The dielectric films 15 and 17 are provided to increase the visible light transmittance due to the interference effect with the metal film 16.

プラスチック中間膜13としては、上述のPVB(ポリビ
ニールブチラール)や、EVA(エチレン−酢酸ビニール
共重合体)、ウレタン等が使用されるが、中でも、PVB
は強靭で、優れた耐貫通性を有し、又長期にわたり高耐
久性を有し、化学的かつ光学的に安定的であるため、特
に安定性が要求される車輛用の合せガラスには最も多く
使用されている。この際、PVBに優れた耐貫通性を付与
するために、所定量の水分を含有したPVB膜が用いられ
ている。
As the plastic intermediate film 13, the above-mentioned PVB (polyvinyl butyral), EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer), urethane, etc. are used. Among them, PVB
Is tough, has excellent penetration resistance, has high durability for a long time, and is chemically and optically stable. Therefore, it is most suitable for laminated glass for vehicles where stability is required. Many are used. At this time, a PVB film containing a predetermined amount of water is used in order to impart excellent penetration resistance to PVB.

[発明が解決しようとする課題] ところで、第3図に示す従来例としての積層ガラス構
造によれば、その接合面に前記透明導電膜14を介在させ
てあるので、この透明導電膜14を通電加熱可能とするこ
とで防曇機能を付与することができる。また、この透明
導電膜14は、それ自体が熱線反射機能を有しているの
で、冷房負荷を軽減するなど、省エネルギー対策上有効
に機能させることができる。
[Problems to be Solved by the Invention] By the way, according to the laminated glass structure as a conventional example shown in FIG. 3, since the transparent conductive film 14 is interposed on the bonding surface, the transparent conductive film 14 is energized. An antifogging function can be imparted by allowing heating. Further, since the transparent conductive film 14 itself has a heat ray reflecting function, it can be effectively functioned in energy saving measures such as reducing a cooling load.

しかし、金属酸化物からなる誘電体膜15,17間にAg膜1
6を挟み込ませた多層膜からなる前記透明導電膜14を介
在させて合せガラスを形成する場合、長時間経過後、一
部白濁してしまうことのあることが知見された。
However, the Ag film 1 is formed between the dielectric films 15 and 17 made of metal oxide.
It was found that when the laminated glass is formed with the transparent conductive film 14 formed of a multilayer film having 6 sandwiched therebetween, a part of the laminated glass may become cloudy after a long time.

[課題を解決するための手段] 本発明は、かかる白濁が中間膜と接している層の還元
に起因することを見出し、これに対し、中間膜と接する
層として、エネルギーギャップが4eV以上の層を用いる
ことにより、かかる白濁を防ぐことができることを見出
してなされたものである。
[Means for Solving the Problems] The present invention has found that such white turbidity is caused by the reduction of the layer in contact with the interlayer film, while the layer in contact with the interlayer film has an energy gap of 4 eV or more. It was made by finding that such white turbidity can be prevented by using.

即ち、本発明は、少なくとも1枚のガラス板と、該ガ
ラス板に接合されるプラスチック膜とを有し、上記ガラ
ス板と該プラスチック膜との接合面に、金属膜を含む単
層又は複数層からなる機能膜を設けてなる積層体であっ
て、該機能膜における上記プラスチック膜と接する層は
エネルギーギャップが4eV以上の膜であって、かつ、以
下の(a)〜(f)の中から選ばれる膜であることを特
徴とする積層体、 (a)SiOx,Ta2O5,NiO,Ga2O3,Sb2O3,MgF2,LiF,CaF2,LaF
3,CeF3のうち少なくともいずれか1種の膜、 (b)SiO2に、Ti,Ta,Hf,Mo,W,Nb,Sn,La,Crのうち少な
くとも1種を添加した膜、 (c)Zr,Ti,Hf,Sn,Ta,Inのうち少なくとも1種と、B
とSiのうち少なくとも1種とを含む酸化物膜、 (d)ZrとBを含む酸化物(ZrBxOy)膜であって、膜中
のBのZrに対する原子比xが0.05≦x≦3であり、膜中
の酸素のZrに対する原子比yが2≦y≦6.5である膜、 (e)ZrとSiを含む酸化物(ZrSixOy)膜であって、膜
中のSiのZrに対する原子比xが0.05≦x≦19であり、膜
中の酸素のZrに対する原子比yが2.1≦y≦40である
膜、 (f)ZrとBとSiを含む酸化物(ZrBxSiyOz)膜であっ
て、膜中のBのZrに対する原子比x、SiのZrに対する原
子比y、酸素のZrに対する原子比zが、0.05≦x+y≦
19(ただし、x+y−3>0、かつx−3y+1>0の組
成は除く)であり、2<z<40である膜、および、 少なくとも1枚のガラス板と、該ガラス板に接合され
るプラスチック膜とを有し、上記ガラス板と該プラスチ
ック膜との接合面に、窒化物、硼化物、炭化物のうち少
なくとも1種からなる吸収膜を含む単層又は複数層から
なる機能膜を設けてなる積層体であって、該機能膜にお
ける上記プラスチック膜と接する層はエネルギーギャッ
プが4eV以上の膜であって、かつ、以下の(a)〜
(f)の中から選ばれる膜であることを特徴とする積層
体、 (a)SiOx,Ta2O5,NiO,Ga2O3,Sb2O3,MgF2,LiF,CaF2,LaF
3,CeF3のうち少なくともいずれか1種の膜、 (b)SiO2に、Ti,Ta,Hf,Mo,W,Nb,Sn,La,Crのうち少な
くとも1種を添加した膜、 (c)Zr,Ti,Hf,Sn,Ta,Inのうち少なくとも1種と、B
とSiのうち少なくとも1種とを含む酸化物膜、 (d)ZrとBを含む酸化物(ZrBxOy)膜であって、膜中
のBのZrに対する原子比xが0.05≦x≦3であり、膜中
の酸素のZrに対する原子比yが2≦y≦6.5である膜、 (e)ZrとSiを含む酸化物(ZrSixOy)膜であって、膜
中のSiのZrに対する原子比xが0.05≦x≦19であり、膜
中の酸素のZrに対する原子比yが2.1≦y≦40である
膜、 (f)ZrとBとSiを含む酸化物(ZrBxSiyOz)膜であっ
て、膜中のBのZrに対する原子比x、SiのZrに対する原
子比y、酸素のZrに対する原子比zが、0.05≦x+y≦
19(ただし、x+y−3>0、かつx−3y+1>0の組
成は除く)であり、2<z<40である膜、 を提供する 第1図に本発明の積層体の代表例としての合せガラス
の一例の断面図を示す。本発明は、ガラス板1とプラス
チック膜3との接合面に単層又は複数層からなる機能膜
4とを有する積層体であって、この機能膜4の前記プラ
スチック膜3と接する層8として、エネルギーギャップ
が4eV以上である膜を用いることにその構成上の特徴が
ある。
That is, the present invention has at least one glass plate and a plastic film bonded to the glass plate, and a single layer or a plurality of layers containing a metal film on the bonding surface between the glass plate and the plastic film. A layered product provided with a functional film consisting of, wherein the layer in contact with the plastic film in the functional film is a film having an energy gap of 4 eV or more, and from among the following (a) to (f): Laminate characterized by being a selected film, (a) SiO x , Ta 2 O 5 ,, NiO, Ga 2 O 3 , Sb 2 O 3 , MgF 2 , LiF, CaF 2 , LaF
At least one of Ce and CeF 3 , (b) a film in which at least one of Ti, Ta, Hf, Mo, W, Nb, Sn, La, and Cr is added to SiO 2 , (c) ) At least one of Zr, Ti, Hf, Sn, Ta, In and B
And (d) an oxide film containing at least one of Si and (d) an oxide containing Zr and B (ZrB x O y ), wherein the atomic ratio x of B to Zr in the film is 0.05 ≦ x ≦. 3 and film atomic ratio y for Zr of oxygen in the film is 2 ≦ y ≦ 6.5, (e ) an oxide containing Zr and Si a (ZrSi x O y) film, the Si in the film A film having an atomic ratio x to Zr of 0.05 ≦ x ≦ 19 and an atomic ratio y of oxygen in the film to Zr of 2.1 ≦ y ≦ 40, (f) an oxide containing Zr, B and Si (ZrB x Si y O z ) film, wherein the atomic ratio x of B to Zr, the atomic ratio y of Si to Zr, and the atomic ratio z of oxygen to Zr in the film are 0.05 ≦ x + y ≦
19 (however, the composition of x + y-3> 0 and x-3y + 1> 0 is excluded), and the film of 2 <z <40, and at least one glass plate, and the glass plate A plastic film, and a functional film composed of a single layer or a plurality of layers including an absorption film made of at least one of nitride, boride, and carbide is provided on a joint surface between the glass plate and the plastic film. And a layer in contact with the plastic film in the functional film is a film having an energy gap of 4 eV or more, and the following (a) to
A laminated body characterized by being a film selected from among (f), (a) SiO x , Ta 2 O 5 , NiO, Ga 2 O 3 , Sb 2 O 3 , MgF 2 , LiF, CaF 2 , LaF
At least one of Ce and CeF 3 , (b) a film obtained by adding at least one of Ti, Ta, Hf, Mo, W, Nb, Sn, La, and Cr to SiO 2 (c) ) At least one of Zr, Ti, Hf, Sn, Ta, In and B
And (d) an oxide film containing at least one of Si and (d) an oxide containing Zr and B (ZrB x O y ), wherein the atomic ratio x of B to Zr in the film is 0.05 ≦ x ≦. 3 and film atomic ratio y for Zr of oxygen in the film is 2 ≦ y ≦ 6.5, (e ) an oxide containing Zr and Si a (ZrSi x O y) film, the Si in the film A film having an atomic ratio x to Zr of 0.05 ≦ x ≦ 19 and an atomic ratio y of oxygen in the film to Zr of 2.1 ≦ y ≦ 40, (f) an oxide containing Zr, B and Si (ZrB x Si y O z ) film, wherein the atomic ratio x of B to Zr, the atomic ratio y of Si to Zr, and the atomic ratio z of oxygen to Zr in the film are 0.05 ≦ x + y ≦
19 (provided that the composition of x + y-3> 0 and x-3y + 1> 0 is excluded) and 2 <z <40 is provided. FIG. 1 shows a typical example of the laminate of the present invention. The sectional view of an example of laminated glass is shown. The present invention is a laminate having a functional film 4 consisting of a single layer or a plurality of layers on the joint surface between the glass plate 1 and the plastic film 3, and as the layer 8 of the functional film 4 in contact with the plastic film 3, The structural feature is that a film having an energy gap of 4 eV or more is used.

第1図は本発明の積層体の代表例としての合せガラス
の一例の断面図であり、車外側ガラス板1と車内側ガラ
ス板2とをプラスチック中間膜3を介して接合した合せ
ガラス構造であって、車外側ガラス板1とプラスチック
中間膜3との接合面に機能膜4を形成した例である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of an example of a laminated glass as a typical example of the laminated body of the present invention, which has a laminated glass structure in which a vehicle outer glass plate 1 and a vehicle inner glass plate 2 are joined via a plastic intermediate film 3. This is an example in which the functional film 4 is formed on the joint surface between the vehicle outer glass plate 1 and the plastic intermediate film 3.

本発明における機能膜4としては、特定の波長域の光
を選択的に反射、遮断、透過する光学的機能や、融雪,
融氷,防曇等を目的とした通電加熱、電磁遮蔽、あるい
は電磁波受信,送信等のアンテナ機能等の電気的機能、
太陽電池等の光電変換機能、あるいは液晶やエレクトロ
クロミック材料等による遮光等の光−電気複合機能等各
種機能を持つものが挙げられる。
The functional film 4 in the present invention has an optical function of selectively reflecting, blocking, and transmitting light in a specific wavelength range, snow melting,
Electrical functions such as electric heating for the purpose of melting ice and anti-fog, electromagnetic shielding, or antenna functions such as electromagnetic wave reception and transmission,
Examples thereof include those having various functions such as a photoelectric conversion function of a solar cell or the like, and a light-electric composite function such as light shielding by a liquid crystal or an electrochromic material.

第1図には、かかる機能膜4として、Ag,Auなどから
なる金属膜6を、ZnO,SnO2等の誘電体膜5,7でサンドイ
ッチした多層膜に、中間膜3との接触面にエネルギーギ
ャップが4eV以上の膜8を積層して構成した機能膜の例
を示した。かかる機能膜は、Ag,Au等の金属による熱線
反射性能、及びかかる金属による導電性能を有してい
る。誘電体膜5,7は、金属膜6との干渉効果により、機
能膜全体の透過率を上げる為に設けられているものであ
る。
In FIG. 1, as the functional film 4, a metal film 6 made of Ag, Au, etc. is sandwiched between dielectric films 5, 7 such as ZnO, SnO 2 to form a multilayer film, and a contact surface with the intermediate film 3 is formed. An example of a functional film formed by stacking films 8 having an energy gap of 4 eV or more is shown. Such a functional film has a heat ray reflection performance due to a metal such as Ag and Au, and a conductive performance due to such a metal. The dielectric films 5 and 7 are provided to increase the transmittance of the entire functional film due to the effect of interference with the metal film 6.

本発明において、中間膜と接する層として4eV以上の
エネルギーギャップを有する層を用いることの理由は以
下の通りである。
In the present invention, the reason for using a layer having an energy gap of 4 eV or more as a layer in contact with the intermediate film is as follows.

即ち、本発明者は、従来第3図15等の誘電体膜として
用いられていた。ZnO,TiO2,SnOx,ITO等は、エネルギー
ギャップ(Eg)が4eV未満であることを見出した。太陽
光の地表での波長範囲はおよそ310nm〜2μm程度であ
り、これはおよそ4eV〜0.06eVのエネルギーに相当す
る。従って、かかる4eV以下のエネルギーギャップ(E
g)を有する膜、例えばZnO膜(Eg=2.47eV)が中間膜3
と接していると、かかるEgに相当するエネルギーを有す
る紫外(UV)光を吸収し、中間膜中に含まれる水分、あ
るいは積層体の周辺部から侵入してきた水分の存在下
で、還元(Zn2+→Zn)されることが確認された。
That is, the present inventor has conventionally used it as a dielectric film as shown in FIG. It has been found that ZnO, TiO 2 , SnOx, ITO, etc. have an energy gap (Eg) of less than 4 eV. The wavelength range of sunlight on the surface of the earth is approximately 310 nm to 2 μm, which corresponds to energy of approximately 4 eV to 0.06 eV. Therefore, the energy gap (E
A film having g), for example, a ZnO film (Eg = 2.47 eV) is an intermediate film 3
When it is in contact with, it absorbs ultraviolet (UV) light having energy equivalent to such Eg and is reduced (Zn) in the presence of water contained in the interlayer film or water that has entered from the periphery of the laminate. 2+ → Zn) was confirmed.

第4図(a)は、中間膜に接している状態のZnO膜のU
V光1000時間照射前後の表面状態のESCAによる測定結果
である。UV照射後はZnOの還元生成物が存在しているこ
とがわかる。
Fig. 4 (a) shows U of ZnO film in contact with the intermediate film.
It is the measurement result by ESCA of the surface state before and after the V light is irradiated for 1000 hours. It can be seen that ZnO reduction products are present after UV irradiation.

第4図(b)は、ZnOのかわりに従来誘電体膜として
用いられていたTiO2(Eg=3.27eV)を中間膜と接触させ
た状態でのUV光100時間照射前後のESCAによる測定結果
であり、同様に、TiO2の還元生成物の存在が確認でき
る。
Fig. 4 (b) shows the measurement results by ESCA before and after irradiation with UV light for 100 hours when TiO 2 (Eg = 3.27 eV), which was used as a conventional dielectric film instead of ZnO, was in contact with the intermediate film. Similarly, the presence of a reduction product of TiO 2 can be confirmed.

従来第3図の誘電体膜15として用いられた他の誘電体
膜、例えばCrOx(Eg<1)、SnO2、ITO等についても同
様に還元されることがわかった。
It was found that other dielectric films conventionally used as the dielectric film 15 in FIG. 3, such as CrOx (Eg <1), SnO 2 and ITO, are also reduced.

かかる還元は以下のような光化学反応により起ってい
ると推定される。
It is presumed that such reduction is caused by the following photochemical reaction.

そして、例えば第3図のように、Ag等の酸化されやす
い金属の層16が存在すると、上記反応(1)により発生
した酸素が誘電体層15を通過して金属層16に達し、この
酸素による金属の酸化、しいては白濁の原因となってい
ると考えられる。例えばAgが酸化されて酸化銀となりこ
れによる光の散乱により白濁していると考えられる。
Then, for example, as shown in FIG. 3, when a layer 16 of a metal such as Ag which is easily oxidized is present, oxygen generated by the reaction (1) reaches the metal layer 16 through the dielectric layer 15, and the oxygen is generated. It is considered that this is the cause of the oxidation of the metal, and thus the cloudiness. For example, it is considered that Ag is oxidized to silver oxide, which causes the light to scatter and become cloudy.

従って、中間膜と接する層が4eV以上のEgを有してい
れば、上記反応も起らず、その反対側に位置する金属等
の酸化も発生しないと考えられる。
Therefore, it is considered that if the layer in contact with the intermediate film has Eg of 4 eV or more, the above reaction does not occur and the metal or the like located on the opposite side does not oxidize.

本発明においてエネルギーギャップの値は、石英ガラ
ス上に約1μm程度の膜を形成し、反射率と透過率を測
定し、吸収係数の波長依存性を求めて得たものである。
In the present invention, the energy gap value is obtained by forming a film of about 1 μm on quartz glass, measuring the reflectance and the transmittance, and determining the wavelength dependence of the absorption coefficient.

本発明において、中間膜と接する層8は、上記の理由
により、Egが4eV以上であればよい。例としては、Zr,T
i,Hf,Sn,Ta,Inのうち少なくとも1種と、BとSiのうち
少なくとも1種とを含む酸化物、例えば、ジルコニウム
とケイ素を含む酸化物ZrSixOy(x=2のとき、Eg=5.6
eV)、ジルコニウムとホウ素を含む酸化物ZrBxOy(x=
2のとき、Eg=5.2eV)、ジルコニウムとホウ素とケイ
素を含む酸化物ZrBxSiyOzや、SiOx(Eg=8eV)、Ta2O5
膜(Eg=4.2eV)、NiO(Eg=4.2eV)、Ga2O3(Eg=4.6e
V)、Sb2O3(Eg=4.1eV)、MgF2(Eg=5.9eV)、LiF(E
g=11.3eV)、CaF2(Eg=8.3eV)、LaF3(Eg=5.6e
V)、CeF3(Eg=4.1eV)等からなる膜や、SiO2に、Ti,T
a,Hf,Mo,W,Nb,Sn,La,Cr等を添加した膜等が挙げられ
る。
In the present invention, the layer 8 in contact with the intermediate film may have an Eg of 4 eV or more for the above reason. For example, Zr, T
An oxide containing at least one of i, Hf, Sn, Ta, In and at least one of B and Si, for example, an oxide containing zirconium and silicon ZrSixOy (when x = 2, Eg = 5.6
eV), an oxide containing zirconium and boron ZrBxOy (x =
2, Eg = 5.2 eV), oxide ZrBxSiyOz containing zirconium, boron and silicon, SiOx (Eg = 8 eV), Ta 2 O 5
Membrane (Eg = 4.2eV), NiO (Eg = 4.2eV), Ga 2 O 3 (Eg = 4.6e)
V), Sb 2 O 3 (Eg = 4.1eV), MgF 2 (Eg = 5.9eV), LiF (E
g = 11.3eV), CaF 2 (Eg = 8.3eV), LaF 3 (Eg = 5.6eV)
V), CeF 3 (Eg = 4.1 eV), etc., and SiO 2 , Ti, T
Examples thereof include a film added with a, Hf, Mo, W, Nb, Sn, La, Cr and the like.

SiOx膜においては、xは特に限定されないが、xはお
よそ2程度であれば非晶質で緻密な膜ができ、中間膜か
らの水分及び酸素の一層のバリアー性も一層向上するの
で特に好ましい。しかしながら、SiOx膜は、Si又はSiO2
ターゲットから成膜する際、かかるターゲットにはほと
んど導電性がないため、RFスパッタリング法を用いなけ
ればならず、かかるRFスパッタリング法は、製膜速度が
遅く、生産性があまり良くない上、大面積に均一な膜を
成膜するにはあまり適していない。
In the SiOx film, x is not particularly limited, but if x is about 2, an amorphous and dense film can be formed, and the barrier property against moisture and oxygen from the intermediate film is further improved, which is particularly preferable. However, the SiOx film is a Si or SiO 2
When forming a film from a target, since the target has almost no conductivity, it is necessary to use the RF sputtering method.The RF sputtering method has a low film forming rate, is not very good in productivity, and has a large area. It is not very suitable for forming a uniform film.

これに対し、ZrSixOy膜、ZrBxOy膜、ZrBxSiyOz膜は直
流スパッタリング法で成膜できるという利点を有してい
る。
On the other hand, the ZrSixOy film, the ZrBxOy film, and the ZrBxSiyOz film have the advantage that they can be formed by the DC sputtering method.

ZrBxOy膜の組成については、エネルギーギャップが4e
V以上であれば特に限定されないが、ホウ素のジルコニ
ウムに対する原子比xは、x>3であると耐湿性が低下
する傾向があり、又、x≧0.05であれば膜が非晶質膜
し、かかる非晶質化による粒界消失、すなわちバリアー
性(中間膜からの水分及び酸素に対するバリアー性)の
一層の向上等を考慮して、0.05≦x≦3であることが好
ましい。また、ジルコニウムに対する酸素の原子比y
は、あまり大きいと膜構造が粗になりボソボソの膜にな
ってしまうこと、又、あまり少ないと膜が金属的になり
透過率が低下してしまうことなどから、2≦y≦6.5で
あることが好ましい。
Regarding the composition of the ZrBxOy film, the energy gap is 4e.
If the atomic ratio x of boron to zirconium is x> 3, the moisture resistance tends to be lowered, and if x ≧ 0.05, the film is an amorphous film, although it is not particularly limited as long as it is V or more. Considering the disappearance of the grain boundaries due to the amorphization, that is, the further improvement of the barrier property (barrier property against moisture and oxygen from the intermediate film), it is preferable that 0.05 ≦ x ≦ 3. Also, the atomic ratio y of oxygen to zirconium
Is 2 ≤ y ≤ 6.5 because if it is too large, the film structure becomes rough and it becomes a rough film, and if it is too small, the film becomes metallic and the transmittance decreases. Is preferred.

ZrSixOy膜の組成については、同様に、エネルギーギ
ャップが4eV以上であれば特に限定されないが、ケイ素
のジルコニウムに対する原子比xは、x≧0.05であれば
非晶質膜となり、非晶質化による粒界消失、緻密性向
上、すなわちバリアー性の一層の向上が得られ、x≦19
であれば、直流スパッタリングでの放電安定性が向上す
ること等を考慮して、0.05≦x≦19であることが好まし
い。又、ジルコニウムに対する酸素の原子比yは、ZrBx
Oy膜と同様の理由で、2.1≦y≦40であることが好まし
い。
Similarly, the composition of the ZrSixOy film is not particularly limited as long as the energy gap is 4 eV or more, but if the atomic ratio x of silicon to zirconium is x ≧ 0.05, the film becomes an amorphous film, and the particles due to amorphization are formed. Boundary disappearance, denseness improvement, that is, further improvement of barrier property, x ≦ 19
If so, it is preferable that 0.05 ≦ x ≦ 19 in consideration of improving discharge stability in DC sputtering. Also, the atomic ratio y of oxygen to zirconium is ZrBx
For the same reason as for the Oy film, it is preferable that 2.1 ≦ y ≦ 40.

ZrBxSiyOz膜の組成については、同様にエネルギーギ
ャップが4eV以上であれば特に限定されないが、ホウ
素、ケイ素、酸素のジルコニウムに対する原子比x,y,z
は0.05≦x+y≦19(ただし、x+y−3>0かつx−
3y+1>0の組成は除く)であることが好ましい。とい
うのは、0.05≦x+yであれば膜が非晶質化し、粒界消
失及び緻密性向上によりバリアー性が一層向上するとと
もに、x+y≦19であれば直流スパッタリングにより安
定した成膜が可能となるからである。又、膜をZrO2,B2O
3,SiO2の複合系と考えると、B2O3は比較的化学的耐久性
が劣るので、膜中においてZrO2<25mol%、かつSiO2<2
5mol%で、残りがB2O3となる程B2O3が含まれている状態
(即ち、ZrBxSiyOz膜中のZr:B:Si:(原子比)を1:x:yと
すると1/(1+x+y)<0.25,かつy/(1+x+y)
<0.25、言いかえるとx+y−3>0かつx−3y+1>
0)の組成は化学的耐久性が劣るので好ましくない。
又、ジルコニウムに対する酸素の原子比zは、ZrBxOy膜
と同様の理由で、2<y<40であることが好ましい。
Similarly, the composition of the ZrBxSiyOz film is not particularly limited as long as the energy gap is 4 eV or more, but the atomic ratio x, y, z of boron, silicon, and oxygen to zirconium.
Is 0.05 ≦ x + y ≦ 19 (where x + y-3> 0 and x−
3y + 1> 0 is excluded). The reason is that if 0.05 ≦ x + y, the film becomes amorphous and the barrier property is further improved by eliminating grain boundaries and improving the compactness, and if x + y ≦ 19, stable film formation by DC sputtering becomes possible. Because. In addition, the film is made of ZrO 2 , B 2 O.
Considering it as a composite system of 3 and SiO 2 , B 2 O 3 has relatively poor chemical durability, so ZrO 2 <25 mol% and SiO 2 <2 in the film.
B 2 O 3 is contained at 5 mol% so that the balance becomes B 2 O 3 (that is, if Zr: B: Si: (atomic ratio) in the ZrBxSiyOz film is 1: x: y, 1 / (1 + x + y) <0.25, and y / (1 + x + y)
<0.25, in other words x + y-3> 0 and x-3y + 1>
The composition of 0) is inferior in chemical durability and is not preferable.
Further, the atomic ratio z of oxygen to zirconium is preferably 2 <y <40 for the same reason as in the ZrBxOy film.

又、SiO2に、Ti,Ta,Hf,Mo,W,Nb,Sn,La,Cr等を添加し
た膜も非晶質で、かつ、直流スパッタリング法により成
膜できるので好ましい。添加量はエネルギーギャップが
4eV以上であれば特に限定されないが、Siとの総量に対
して4原子%以上であれば、その合金ターゲットを用い
て安定的に直流スパッタリングを行うことができるので
好ましい。
Further, a film obtained by adding Ti, Ta, Hf, Mo, W, Nb, Sn, La, Cr or the like to SiO 2 is also amorphous and can be formed by a DC sputtering method, which is preferable. The energy gap is
It is not particularly limited as long as it is 4 eV or more, but it is preferable that it is 4 atomic% or more with respect to the total amount with Si because DC sputtering can be stably performed using the alloy target.

酸化タンタルTa2O5も非晶質で緻密な膜となり、中間
膜からの水分及び酸素の一層のバリアー性も有するので
好ましい。しかしながら、直流スパッタリング法では安
定に成膜することが難しいので、この点では不利であ
る。
Tantalum oxide Ta 2 O 5 is also preferable because it becomes an amorphous and dense film and has a further barrier property against moisture and oxygen from the intermediate film. However, since it is difficult to form a stable film by the DC sputtering method, this is disadvantageous.

NiOは、Niターゲットから直流スパッタリング法によ
り成膜することが可能であるが、Niは磁性材料であるた
めマグネトロンスパッタリングが不可能であり、生産性
が悪いという点である。
NiO can be formed by a direct current sputtering method from a Ni target, but since Ni is a magnetic material, magnetron sputtering is impossible and productivity is poor.

又、その他のGa2O3,Sb2O3,MgF2,LiF,CaF2,LaF3,CeF3
等は、材料が高価であることなどから真空蒸着法で成膜
するのが好ましい。
In addition, other Ga 2 O 3 ,, Sb 2 O 3 ,, MgF 2 ,, LiF, CaF 2 ,, LaF 3 ,, CeF 3
Are preferably formed by a vacuum vapor deposition method because the materials are expensive.

以上に挙げた中間膜と接する層8には、光学定数調
整、成膜時の安定性、あるいは成膜速度の向上等のため
に他の成分を添加してもよい。特に、ZrBxOy、ZrSixO
y、ZrBxSiyOz等は、ZrOxに対するBやSiの添加量を増や
すにつれて膜の屈折率が2.1程度から1.5程度まで低下す
るため、膜組成を制御することにより所望の屈折率とす
ることができる。同様に、SiO2を主成分とし、Ti,Ta,Hf
等を添加した膜についても、その添加量を制御すること
により所望の屈折率を得ることができる。
Other components may be added to the layer 8 in contact with the above-mentioned intermediate film for the purpose of adjusting optical constants, stability during film formation, or improvement of film formation rate. In particular, ZrBxOy, ZrSixO
With y, ZrBxSiyOz, etc., the refractive index of the film decreases from about 2.1 to about 1.5 as the amount of B or Si added to ZrOx increases, so that the desired refractive index can be obtained by controlling the film composition. Similarly, with SiO 2 as the main component, Ti, Ta, Hf
A desired refractive index can also be obtained by controlling the amount of addition of a film added with or the like.

中間膜と接するEg≧4eVの膜8は、10Å以上の膜厚を
有している事が好ましい。これより薄いと、膜が島状と
なって、均一に形成されにくくなり、かかる膜8の形成
されない部分が生じてしまうためである。
The film 8 having Eg ≧ 4 eV in contact with the intermediate film preferably has a film thickness of 10 Å or more. This is because if the thickness is smaller than this, the film becomes island-shaped, and it is difficult to form the film uniformly, and a portion where the film 8 is not formed occurs.

本発明の機能膜4としては、特に限定されるものでは
ないが、例えば以下のような例が挙げられる。
The functional film 4 of the present invention is not particularly limited, but examples thereof include the following.

第1図は、金属膜を含む透明導電膜を有する機能膜の
一例として、上述のように、(ガラス/)誘電膜7/金属
6/誘電膜5/膜8(Eg≧4eV)(/中間膜)の構成の機能
膜の例を示している。金属6としてはAg,Au,Pd,Cu,Pt
等、やこれらの合金、例えばAg−Pd,Ag−Cu合金など、
又、誘電膜5,7としては、特に限定されないが、ZnO、Ti
O2、SnO2、Al等をドープしたZnO、FやSb等をドープし
たSnO2、あるいはITO(錫をドープした酸化インジウ
ム)等を用いることができる。かかる構成の機能膜は、
金属膜が導電性を有するため、導電性プリント等からな
るバスバー等の通電加熱手段を設ければ、通電加熱ガラ
スとして用いることができる。又、かかる金属膜は透明
導電膜であると同時に熱線遮蔽性能をも有するので、通
電加熱手段を設けない場合には、熱線遮蔽ガラスとして
用いることもできる。上述したように、金属6の両側の
誘電膜5,7は、干渉を用いて透過率を向上させるために
設けられているものである。
FIG. 1 shows an example of a functional film having a transparent conductive film including a metal film, as described above, (glass /) dielectric film 7 / metal.
An example of a functional film having a structure of 6 / dielectric film 5 / film 8 (Eg ≧ 4 eV) (/ intermediate film) is shown. The metal 6 is Ag, Au, Pd, Cu, Pt
, And these alloys, such as Ag-Pd, Ag-Cu alloys,
The dielectric films 5 and 7 are not particularly limited, but ZnO, Ti
O 2, SnO 2, Al or the like can be used doped ZnO, SnO 2 or ITO (indium oxide doped with tin), doped with F or Sb, etc. or the like. The functional film having such a configuration is
Since the metal film has conductivity, it can be used as an electrically heated glass by providing an electrically heating means such as a bus bar made of an electrically conductive print or the like. Further, since such a metal film is a transparent conductive film and has a heat ray shielding property at the same time, it can be used as a heat ray shielding glass when an electric heating means is not provided. As described above, the dielectric films 5 and 7 on both sides of the metal 6 are provided to improve the transmittance by using interference.

第2図は、本発明に係る合せガラスの他例を示す縦断
面図であり、機能膜4として太陽電池薄膜を用いた場合
の例である。すなわち、車外側のガラス板1上に、Si
O2,Al2O3等からなるアルカリバリアー膜21,SnO2やITO等
からなる第1透明電極22,a−Si膜23,その上に裏面電極
(透明導電膜)26が順次形成されており、かかるガラス
板1と車内側ガラス板2とがプラスチック中間膜3を介
在させて接合されるに当り、Eg≧4eVの膜8が介在形成
されて、21〜26及び8からなる多層膜により機能膜4が
形成されている。
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing another example of the laminated glass according to the present invention, which is an example in which a solar cell thin film is used as the functional film 4. That is, on the glass plate 1 outside the vehicle, Si
An alkali barrier film 21 made of O 2 , Al 2 O 3, etc., a first transparent electrode 22 made of SnO 2 , ITO, etc., an a-Si film 23, and a back surface electrode (transparent conductive film) 26 are sequentially formed thereon. When the glass plate 1 and the glass plate 2 on the inside of the vehicle are joined together with the plastic intermediate film 3 interposed, a film 8 with Eg ≧ 4 eV is formed and a multilayer film of 21 to 26 and 8 is formed. The functional film 4 is formed.

かかる裏面電極としての透明導電膜26は、金属膜24,
他の膜25の2層又は3層以上からなっていてもよいし、
金属膜24等からなる1層のみからなっていてもよい。
The transparent conductive film 26 as the back electrode is the metal film 24,
The other film 25 may be composed of two layers or three or more layers,
It may be composed of only one layer composed of the metal film 24 and the like.

かかる金属膜24としては、Ag,Au,Pd,Al等からなる
膜、又はこれらのうち2種以上の合金からなる膜であっ
てもよい。また、他の膜25としては、ZnO,ZnS,TiO2,IT
O,SnO2等の誘電体膜や、Si等の半導体からなる膜等を用
いることができる。
The metal film 24 may be a film made of Ag, Au, Pd, Al or the like, or a film made of an alloy of two or more of these. Further, as the other film 25, ZnO, ZnS, TiO 2 , IT
A dielectric film such as O or SnO 2 or a film made of a semiconductor such as Si can be used.

さらに、機能膜4の構成として、第1図に示した誘電
体膜5をEg≧4eVの膜で形成して、(ガラス/)誘電膜
/金属/誘電体膜(Eg≧4eV)(/中間膜)という構成
としてもよい。例えば、(ガラス/)ZrSixOy/Ag/ZrSix
Oy(/中間膜)のように構成しても良い。ガラス1に接
する誘電体膜7は必ずしもEg≧4eVの膜を用いる必要は
ない。
Further, as the structure of the functional film 4, the dielectric film 5 shown in FIG. 1 is formed by a film of Eg ≧ 4 eV, and (glass /) dielectric film / metal / dielectric film (Eg ≧ 4 eV) (/ intermediate It may be configured as a film). For example, (glass /) ZrSixOy / Ag / ZrSix
You may comprise like Oy (/ intermediate film). The dielectric film 7 in contact with the glass 1 does not necessarily have to be a film having Eg ≧ 4 eV.

又、機能膜4の別の構成例として、吸収膜の熱線遮断
性能を利用するために、(ガラス/)吸収膜/膜8(Eg
≧4eV)(/中間膜)や、(ガラス/)誘電体膜/吸収
膜/誘電体膜/膜8(Eg≧4eV)(/中間膜)等の構成
とすることができる。吸収膜としては、窒化物、硼化
物、炭化物あるいはこれらの混合物からなる膜等を用い
ることができる。又、誘電体膜は干渉を利用して可視域
の透過率を向上させるためのもので、第1図の例で述べ
たものと同様のものを使用できる。具体例としては、
(ガラス/)TiN/ZrSixOy(/中間膜)や、(ガラス
/)TiO2/TiN/TiO2/ZrBxOy(/中間膜)などが挙げられ
る。吸収膜は酸化により可視光透過率が上昇する(例え
ばTiNが一部TiO2となる)可能性があるが、本構成によ
れば、かかる吸収膜の酸化は防止される。
Further, as another configuration example of the functional film 4, in order to utilize the heat ray blocking performance of the absorption film, (glass /) absorption film / film 8 (Eg
≧ 4 eV) (/ intermediate film) or (glass /) dielectric film / absorption film / dielectric film / film 8 (Eg ≧ 4 eV) (/ intermediate film). As the absorption film, a film made of nitride, boride, carbide or a mixture thereof can be used. Further, the dielectric film is for improving the transmittance in the visible region by utilizing interference, and the same film as that described in the example of FIG. 1 can be used. As a specific example,
(Glass /) TiN / ZrSixOy (/ intermediate film), (glass /) TiO 2 / TiN / TiO 2 / ZrBxOy (/ intermediate film), and the like. The visible light transmittance of the absorption film may increase due to oxidation (for example, TiN partially becomes TiO 2 ), but according to this configuration, the oxidation of the absorption film is prevented.

上述の各膜構成において、各膜間、あるいは膜とガラ
スの間等に、接着性向上、光学性能調節等の目的で他の
膜を介在させても良いことは言うまでもない。
It goes without saying that in the above-mentioned respective film configurations, other films may be interposed between the respective films, or between the films and the glass, etc. for the purpose of improving adhesiveness, adjusting optical performance and the like.

上述の機能膜4の成膜法としては、スプレー法や、真
空蒸着法、DCスパッタリング法、CVD法等の手法を用い
ることができるが、生産性や膜性能等を考慮するなら
ば、DCスパッタリング法により成膜するのが好ましい。
As the method for forming the functional film 4 described above, a spray method, a vacuum deposition method, a DC sputtering method, a CVD method, or the like can be used, but if the productivity and the film performance are taken into consideration, the DC sputtering method can be used. The film is preferably formed by the method.

このような機能膜を有する曲面形状の合せガラスを作
製する際には、膜を形成する前に予め所望する形状にガ
ラス板を成形しておく方法のほか、予め膜を形成してお
き、しかる後にガラス板を所望形状に成形する方法等に
より行なうこともできる。
When manufacturing a curved laminated glass having such a functional film, in addition to a method of forming a glass plate into a desired shape in advance before forming the film, the film is formed in advance. It can also be performed later by a method of shaping the glass plate into a desired shape.

本発明においてガラス板1,2としては、特に限定され
るものではなく、ソーダライムシリケートガラス板、ア
ルミノシリケートガラス板、硼珪酸ガラス板、リチウム
アルミノシリケートガラス板等が使用できる。中でも安
価に入手しやすいソーダライムシリケートガラス板が好
ましい。又、ニッケル、クロム、コバルト、鉄、セレン
等を添加した熱線吸収ガラス板等も使用できる。
In the present invention, the glass plates 1 and 2 are not particularly limited, and soda lime silicate glass plate, aluminosilicate glass plate, borosilicate glass plate, lithium aluminosilicate glass plate and the like can be used. Of these, soda lime silicate glass plate that is easily available at low cost is preferable. Further, a heat ray absorbing glass plate added with nickel, chromium, cobalt, iron, selenium or the like can also be used.

ガラス板1,2を接合する際に用いられるプラスチック
中間膜3としては、PVB(ポリビニールブチラール)
や、EVA(エチレン−酢酸ビニール共重合体)、ウレタ
ン等を用いることができるが、自動車用の合せガラスを
形成する場合には、耐貫通性及び耐久性の良好なPVBを
用いるのが好ましい。
PVB (polyvinyl butyral) is used as the plastic intermediate film 3 used when joining the glass plates 1 and 2.
Alternatively, EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer), urethane, etc. can be used, but when forming laminated glass for automobiles, it is preferable to use PVB having good penetration resistance and durability.

なお、以上、ガラス板を二枚で構成した場合の合せガ
ラスを例に説明してあるが、必要により、ガラス板を三
枚以上の構成とした合わせガラスに本発明を適用するこ
ともできる。自動車用に使用する場合、前記機能膜4
は、最外側である車外側に位置するガラス板の中間膜と
の接合面に形成しておくのが好ましい。
In the above description, the laminated glass having two glass plates has been described as an example, but the present invention can be applied to a laminated glass having three or more glass plates if necessary. When used for automobiles, the functional film 4
Is preferably formed on the joint surface of the glass plate positioned on the outermost side of the vehicle, which is located on the outer side of the vehicle.

本発明は、このようにして構成されているので、中間
膜3と接する面に形成されたEg≧4eVの膜8の作用によ
り、機能膜中に酸化によって白濁するような材料、例え
ばAg等の金属が含まれている場合においては、かかる白
濁発生を効果的に抑制することができる。
Since the present invention is configured in this way, the function of the film 8 of Eg ≧ 4 eV formed on the surface in contact with the intermediate film 3 causes a white turbidity due to oxidation in the functional film, such as Ag. When a metal is contained, such white turbidity can be effectively suppressed.

又、機能膜中に、吸収膜など、酸化によって透過率が
上昇してしまうような材料が含まれている場合において
は、本発明によれば、かかる透過率上昇を防止できる。
Further, in the case where the functional film contains a material such as an absorption film whose transmittance is increased by oxidation, the present invention can prevent such an increase in transmittance.

本発明は、上記効果以外にも、本発明のようにEg≧4e
Vの膜8が中間膜と接する構造にすることにうよって、
機能膜4と中間膜3との間の接着力が長期間にわたり経
時的に変化しないという効果があることも見出した。
In addition to the above effects, the present invention has the same Eg ≧ 4e as the present invention.
According to the structure in which the V film 8 is in contact with the intermediate film,
It was also found that there is an effect that the adhesive force between the functional film 4 and the intermediate film 3 does not change over time for a long period of time.

これは、以下のような理由によるものと考えられる。
即ち、Eg<4eVであるZnOを例にとってみると、ZnOと中
間膜、例えばPVB膜との間は、中間膜の表面の水素と、Z
nOの酸素とが水素結合的な結合力を持って、Zn−O‥‥
H−O(中間膜)のように結びついており、上述の反応
のように、水分とUV照射によりZnOが還元されてZn−O
結合が切れると上記水素結合的結合が、中間膜との接着
力に寄与しなくなる可能性があると考えられる。又、IT
O(錫をドープした酸化インジウム)を例にとると、In
−O‥‥H−O(中間膜)という水素結合的結合が、還
元されてIn−O結合が切れることにより接着力に寄与し
なくなると考えられる。又、SnO2等についても同様のこ
とが言える。しかしながら、本発明のように、中間膜と
接する層としてエネルギーギャップEg≧4eVの膜を用い
ることにより、かかる膜はUV光によっても還元されず、
変化が起きないため長期にわたり接着力が保持されると
考えられる。
This is considered to be due to the following reasons.
That is, taking ZnO with Eg <4 eV as an example, between the ZnO and the intermediate film, for example, the PVB film, hydrogen on the surface of the intermediate film and Z
nO has a hydrogen-bonding force with oxygen, and Zn-O ...
It is linked like H-O (intermediate film), and ZnO is reduced by moisture and UV irradiation to reduce ZnO as in the above reaction.
When the bond is broken, it is considered that the hydrogen bond may not contribute to the adhesive force with the interlayer film. IT
Taking O (tin-doped indium oxide) as an example, In
It is considered that hydrogen bonding bonds such as —O ... H—O (intermediate film) are reduced and the In—O bonds are broken, so that they do not contribute to the adhesive force. The same applies to SnO 2 and the like. However, by using a film having an energy gap Eg ≧ 4 eV as a layer in contact with the intermediate film as in the present invention, such a film is not reduced even by UV light,
It is considered that the adhesive strength is maintained for a long time because no change occurs.

以上、本発明の積層体の一例として合せガラスについ
て述べたが、本発明の積層ガラス構造は、ガラス板とプ
ラスチック膜からなる2層タイプの積層体にも適用でき
る。即ち、ガラス/機能膜/プラスチック膜の構成であ
って、機能膜がプラスチック膜と接する層としてエネル
ギーギャップが4eV以上の膜を有する積層体にも適用で
きる。かかるプラスチック膜は、上記プラスチック中間
膜3と同様の材質からなる一枚のプラスチック膜あって
も良いし、多層からなっていても良い。例えば、(ガラ
ス/機能膜/)エネルギー吸収層/自己修復性層のよう
に2層からなっていてもよい。かかるエネルギー吸収層
や自己修復性層は、例えば、各種のウレタンからなって
いても良い。かかるエネルギー吸収層は、事故等におけ
るショックを吸収するとともに、良好な耐貫通性を付与
するために用いられる。又、上記自己修復性層の代わり
にポリエチレンテレフタレート膜やナイロン膜等のプラ
スチック膜を用いてもよい。
The laminated glass has been described above as an example of the laminated body of the present invention, but the laminated glass structure of the present invention can also be applied to a two-layer type laminated body including a glass plate and a plastic film. That is, it can be applied to a laminated body having a structure of glass / functional film / plastic film, and having a film having an energy gap of 4 eV or more as a layer in which the functional film is in contact with the plastic film. The plastic film may be a single plastic film made of the same material as the plastic intermediate film 3 or may be a multilayer film. For example, it may be composed of two layers such as (glass / functional film /) energy absorbing layer / self-healing layer. The energy absorbing layer and the self-repairing layer may be made of various urethanes, for example. Such an energy absorption layer is used to absorb a shock in an accident or the like and to impart good penetration resistance. A plastic film such as a polyethylene terephthalate film or a nylon film may be used instead of the self-repairing layer.

以下本発明の実施例を説明する。 Examples of the present invention will be described below.

[実施例] ガラス板上に各種機能膜をスパッタリング法によって
形成し、PVBを介してもう一枚のガラス板と接合して合
せガラス化した。かかる各種合せガラスにUV光を100時
間照射した後の外観を表1に示す。
[Examples] Various functional films were formed on a glass plate by a sputtering method and bonded to another glass plate via PVB to form a laminated glass. Table 1 shows the appearance of each of the laminated glasses after UV irradiation for 100 hours.

表1の*1は、PVBと接している層のエネルギーギャ
ップ(Eg)である。
* 1 in Table 1 is the energy gap (Eg) of the layer in contact with PVB.

表1から明らかなように、本発明のように、中間膜と
接している層のEgが4eV以上の場合は、全く外観変化が
なく、Eg<4eVの膜が中間膜と接している場合には、白
濁が認められた。
As is clear from Table 1, when the Eg of the layer in contact with the intermediate film is 4 eV or more as in the present invention, there is no change in appearance, and when the film of Eg <4 eV is in contact with the intermediate film. Was observed to be cloudy.

さらに、サンプル1〜10(実施例)については、UV光
を1000時間照射しても、当初の接着力にほとんど変化し
なかった。これに対してサンプル11〜14(比較例)につ
いては、UV1000時間照射後一部に接着力の若干の変動が
認められた。
Furthermore, with respect to Samples 1 to 10 (Example), even when the UV light was irradiated for 1000 hours, the initial adhesive strength was hardly changed. On the other hand, with respect to Samples 11 to 14 (Comparative Examples), a slight change in the adhesive strength was observed after irradiation with UV for 1000 hours.

[発明の効果] 以上述べたように本発明によれば、中間膜とガラスの
間に機能膜が形成された積層体において、中間膜と接す
る層としてEg≧4eVの膜を用いたためにかかる膜がUV光
及び中間膜の含有している水分とによって還元されるこ
とがなく、従って、機能膜の構成要素として酸化により
白濁する金属や透過率が上昇する吸収膜等が含まれてい
る場合であっても、かかる白濁や透過率上昇を防止する
ことができ、長期にわたり変化がなく安定な積層体を提
供できる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, in a laminate in which a functional film is formed between an intermediate film and glass, a film having Eg ≧ 4 eV is used as a layer in contact with the intermediate film. Is not reduced by UV light and the moisture contained in the interlayer film, and therefore, when the functional film contains a metal that becomes cloudy due to oxidation or an absorption film that increases transmittance, Even if it exists, it is possible to prevent such cloudiness and increase in transmittance, and it is possible to provide a stable laminate that does not change for a long period of time.

又、本発明の積層体は、長期にわたり接着力も変化が
なく、長期的信頼性も高い。
Further, the laminate of the present invention does not change in adhesive strength over a long period of time and has high long-term reliability.

本発明は、所望の機能を有する機能膜を形成した、長
期信頼性に優れた積層体を実現することができ、建築用
のみならず、特に信頼性の要求される車輛用の用途に好
適に使用できる。
INDUSTRIAL APPLICATION This invention can implement | achieve the laminated body which formed the functional film which has a desired function and which was excellent in long-term reliability, and it is suitable not only for construction but especially for the application for vehicles where reliability is required. Can be used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1および第2図は、本発明に係る積層体の実施例を示
す縦断面図である。 第3図は、従来からある合せガラスの一例を示す縦断面
図である。 第4図(a),(b)は、それぞれ中間膜に接している
状態のZnO膜,TiO2膜のUV光1000時間及び100時間照射前
後の表面状態のESCAによる測定結果である。 1,2……ガラス板、3……プラスチック膜、 4……機能膜、5,7,15,17……誘電体膜、 6,16,24……金属膜、 8……Eg≧4eVの膜
1 and 2 are longitudinal sectional views showing an embodiment of a laminated body according to the present invention. FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing an example of a conventional laminated glass. FIGS. 4 (a) and 4 (b) show the results of ESCA measurement of the surface states of the ZnO film and the TiO 2 film in contact with the intermediate film before and after UV light irradiation for 1000 hours and 100 hours, respectively. 1,2 …… Glass plate, 3 …… Plastic film, 4 …… Functional film, 5,7,15,17 …… Dielectric film, 6,16,24 …… Metal film, 8 …… Eg ≧ 4eV film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−226436(JP,A) 特開 昭59−3053(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (56) References JP-A-60-226436 (JP, A) JP-A-59-3053 (JP, A)

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくとも1枚のガラス板と、該ガラス板
に接合されるプラスチック膜とを有し、上記ガラス板と
該プラスチック膜との接合面に、金属膜を含む単層又は
複数層からなる機能膜を設けてなる積層体であって、該
機能膜における上記プラスチック膜と接する層はエネル
ギーギャップが4eV以上の膜であって、かつ、以下の
(a)〜(f)の中から選ばれる膜であることを特徴と
する積層体。 (a)SiOx,Ta2O5,NiO,Ga2O3,Sb2O3,MgF2,LiF,CaF2,LaF
3,CeF3のうち少なくともいずれか1種の膜、 (b)SiO2に、Ti,Ta,Hf,Mo,W,Nb,Sn,La,Crのうち少な
くとも1種を添加した膜、 (c)Zr,Ti,Hf,Sn,Ta,Inのうち少なくとも1種と、B
とSiのうち少なくとも1種とを含む酸化物膜、 (d)ZrとBを含む酸化物(ZrBxOy)膜であって、膜中
のBのZrに対する原子比xが0.05≦x≦3であり、膜中
の酸素のZrに対する原子比yが2≦y≦6.5である膜、 (e)ZrとSiを含む酸化物(ZrSixOy)膜であって、膜
中のSiのZrに対する原子比xが0.05≦x≦19であり、膜
中の酸素のZrに対する原子比yが2.1≦y≦40である
膜、 (f)ZrとBとSiを含む酸化物(ZrBxSiyOz)膜であっ
て、膜中のBのZrに対する原子比x、SiのZrに対する原
子比y、酸素のZrに対する原子比zが、0.05≦x+y≦
19(ただし、x+y−3>0、かつx−3y+1>0の組
成は除く)であり、2<z<40である膜。
1. At least one glass plate, and a plastic film bonded to the glass plate, wherein the bonding surface between the glass plate and the plastic film is a single layer or a plurality of layers containing a metal film. Which is a film having an energy gap of 4 eV or more, and which is selected from the following (a) to (f): A laminated body, which is a film that is formed. (A) SiO x , Ta 2 O 5 ,, NiO, Ga 2 O 3 ,, Sb 2 O 3 , MgF 2 , LiF, CaF 2 ,, LaF
At least one of Ce and CeF 3 , (b) a film in which at least one of Ti, Ta, Hf, Mo, W, Nb, Sn, La, and Cr is added to SiO 2 , (c) ) At least one of Zr, Ti, Hf, Sn, Ta, In and B
And (d) an oxide film containing at least one of Si and (d) an oxide containing Zr and B (ZrB x O y ), wherein the atomic ratio x of B to Zr in the film is 0.05 ≦ x ≦. 3 and film atomic ratio y for Zr of oxygen in the film is 2 ≦ y ≦ 6.5, (e ) an oxide containing Zr and Si a (ZrSi x O y) film, the Si in the film A film having an atomic ratio x to Zr of 0.05 ≦ x ≦ 19 and an atomic ratio y of oxygen in the film to Zr of 2.1 ≦ y ≦ 40, (f) an oxide containing Zr, B and Si (ZrB x Si y O z ) film, wherein the atomic ratio x of B to Zr, the atomic ratio y of Si to Zr, and the atomic ratio z of oxygen to Zr in the film are 0.05 ≦ x + y ≦
A film of 19 (however, excluding the composition of x + y-3> 0 and x-3y + 1> 0), and 2 <z <40.
【請求項2】少なくとも1枚のガラス板と、該ガラス板
に接合されるプラスチック膜とを有し、上記ガラス板と
該プラスチック膜との接合面に、窒化物、硼化物、炭化
物のうち少なくとも1種からなる吸収膜を含む単層又は
複数層からなる機能膜を設けてなる積層体であって、該
機能膜における上記プラスチック膜と接する層はエネル
ギーギャップが4eV以上の膜であって、かつ、以下の
(a)〜(f)の中から選ばれる膜であることを特徴と
する積層体。 (a)SiOx,Ta2O5,NiO,Ga2O3,Sb2O3,MgF2,LiF,CaF2,LaF
3,CeF3のうち少なくともいずれか1種の膜、 (b)SiO2に、Ti,Ta,Hf,Mo,W,Nb,Sn,La,Crのうち少な
くとも1種を添加した膜、 (c)Zr,Ti,Hf,Sn,Ta,Inのうち少なくとも1種と、B
とSiのうち少なくとも1種とを含む酸化物膜、 (d)ZrとBを含む酸化物(ZrBxOy)膜であって、膜中
のBのZrに対する原子比xが0.05≦x≦3であり、膜中
の酸素のZrに対する原子比yが2≦y≦6.5である膜、 (e)ZrとSiを含む酸化物(ZrSixOy)膜であって、膜
中のSiのZrに対する原子比xが0.05≦x≦19であり、膜
中の酸素のZrに対する原子比yが2.1≦y≦40である
膜、 (f)ZrとBとSiを含む酸化物(ZrBxSiyOz)膜であっ
て、膜中のBのZrに対する原子比x、SiのZrに対する原
子比y、酸素のZrに対する原子比zが、0.05≦x+y≦
19(ただし、x+y−3>0、かつx−3y+1>0の組
成は除く)であり、2<z<40である膜。
2. At least one glass plate and a plastic film bonded to the glass plate, and at least a nitride, boride, or carbide is formed on the bonding surface between the glass plate and the plastic film. A laminated body provided with a functional film consisting of a single layer or a plurality of layers including an absorption film made of one kind, wherein the layer in contact with the plastic film in the functional film is a film having an energy gap of 4 eV or more, and A laminated body, which is a film selected from the following (a) to (f). (A) SiO x , Ta 2 O 5 ,, NiO, Ga 2 O 3 ,, Sb 2 O 3 , MgF 2 , LiF, CaF 2 ,, LaF
At least one of Ce and CeF 3 , (b) a film in which at least one of Ti, Ta, Hf, Mo, W, Nb, Sn, La, and Cr is added to SiO 2 , (c) ) At least one of Zr, Ti, Hf, Sn, Ta, In and B
And (d) an oxide film containing at least one of Si and (d) an oxide containing Zr and B (ZrB x O y ), wherein the atomic ratio x of B to Zr in the film is 0.05 ≦ x ≦. 3 and film atomic ratio y for Zr of oxygen in the film is 2 ≦ y ≦ 6.5, (e ) an oxide containing Zr and Si a (ZrSi x O y) film, the Si in the film A film having an atomic ratio x to Zr of 0.05 ≦ x ≦ 19 and an atomic ratio y of oxygen in the film to Zr of 2.1 ≦ y ≦ 40, (f) an oxide containing Zr, B and Si (ZrB x Si y O z ) film, wherein the atomic ratio x of B to Zr, the atomic ratio y of Si to Zr, and the atomic ratio z of oxygen to Zr in the film are 0.05 ≦ x + y ≦
A film of 19 (however, excluding the composition of x + y-3> 0 and x-3y + 1> 0), and 2 <z <40.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS593053A (en) * 1982-06-29 1984-01-09 Sekisui Chem Co Ltd Laminated glass
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