JPH08179117A - Production of color filter - Google Patents

Production of color filter

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Publication number
JPH08179117A
JPH08179117A JP32486094A JP32486094A JPH08179117A JP H08179117 A JPH08179117 A JP H08179117A JP 32486094 A JP32486094 A JP 32486094A JP 32486094 A JP32486094 A JP 32486094A JP H08179117 A JPH08179117 A JP H08179117A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive resin
resin layer
film
colored
color
Prior art date
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Pending
Application number
JP32486094A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuki Mori
靖樹 森
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP32486094A priority Critical patent/JPH08179117A/en
Publication of JPH08179117A publication Critical patent/JPH08179117A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To provide a process for producing a color filter, on which fine patterns of multiple colors are formed, having a uniform thickness and high accuracy, free from difference is level and drop-out on a substrate, and has excellent heat resistance by improving the follow up characteristic of a photosensitive film to the substrate and the workability of lamination. CONSTITUTION: This process for producing color filter forms multicolor patterns by repeating stages including at least (1) a stage for sticking the photosensitive film consisting of a base film 1 and a photosensitive resin layer 2 colored in single color on the transparent substrate 4 in such a manner that the colored photosensitive resin layer 2 faces the substrate 4, (2) a stage for exposing this layer in a pattern form and (3) a developing stage. The process includes a stage of executing the stage of sticking the colored photosensitive resin layers 2 of the second and subsequent colors by forming spaces 5 between pixels in such a manner that these layers face the substrate 4 and shifting the photosensitive resin layers 2' of the second and subsequent colors to the inter-pixel spaces 5 by impressing a pressure on the colored photosensitive resin layers 2 before development after the base film 1 is peeled between the stages (1) and (3).

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフイルタの製造
法に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a color filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラス等の光学的に
透明な基板の表面に、2種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを、一定
の間隔を開けて平行又は交差して並べた物である。これ
らのパターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をおい
て整然と配置し、厚さムラの少ない均一な層とする必要
があり、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法、染
色法等のカラーフイルタの製造法が提案されている。
2. Description of the Related Art A color filter is an extremely transparent stripe-like or mosaic-like pattern having two or more different hues, which are parallel to each other on a surface of an optically transparent substrate such as glass. Or, they are crossed and arranged. These patterns must be arranged in order in a predetermined order with hues at a predetermined interval, and it is necessary to form a uniform layer with little thickness unevenness, and the color filters of the screen printing method, the photolithography method, the dyeing method, etc. Manufacturing methods have been proposed.

【0003】また、ベースフイルム及び感光性樹脂層を
有する感光性フイルムを使用した、多色の微細なストラ
イプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精度で形成
できるカラーフイルタの製造法が知られている。感光性
フイルムは公知であり、特公昭45−25231号公報
等に開示されている。
There is also known a method for producing a color filter, which uses a base film and a photosensitive film having a photosensitive resin layer and can easily form a multi-color fine stripe-shaped or mosaic-shaped pattern with high accuracy. There is. Photosensitive films are known and disclosed in Japanese Patent Publication No. 45-25231.

【0004】感光性フイルムを用いてカラーフイルタを
作成する方法としては、一色に着色された感光性樹脂組
成物をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フイルムの
感光性樹脂層を、透明な基板の上に転写して、所定のパ
ターンマスクを介して露光、現像してパターンを形成す
る方法(特開昭61−99102号公報、特開平3−1
60454号公報、特開平3−111802号公報、特
開平2−151805号公報、特開平4−212161
号公報、特開平4−301602号公報、特開平5−2
107号公報等)が知られている。
As a method for preparing a color filter using a photosensitive film, a photosensitive resin composition of a photosensitive film obtained by applying a photosensitive resin composition colored in one color to a base film and drying the photosensitive resin composition on a transparent substrate is used. And then exposed to light through a predetermined pattern mask and developed to form a pattern (JP-A-61-99102 and JP-A-3-1).
No. 60454, No. 3-111802, No. 2-151805, No. 4-212161.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-301602, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-2
No. 107, etc.) is known.

【0005】感光性フイルムは、良好なパターンを得る
ために、その追従性を向上させることが必要である。感
光性フイルムの追従性を向上させる方法としては、例え
ば、基板に段差があっても、その基板を正確に微細加工
できることを特徴とする三層レジスト法(J.Vac.Sci.Te
chnol.,16巻1620頁 1968年発行等)、現像前で露光後に
感光性レジスト層を50〜150℃、30〜60秒の条
件で加熱して、UV光が充分に当たらない下層部分の反
応を促進させるアフタベーク法(特開平3−19659
6号公報等)等が挙げられる。また、顔料分散フォトポ
リマーを用いたカラーフイルタで、光開始剤のラジカル
により誘起したモノマーラジカルの発生とその重合連鎖
反応を促進し、スピンナーを用いて感光性レジスト層を
塗布し、溶剤除去のためにプリベーク(例えば、85℃
で5分間)を行うプリベーク法(J.Photopolym.Sci.Tec
hnol.,Vol.2,No.2,1989年 244頁〜248頁)等が挙げられ
る。
In order to obtain a good pattern, the photosensitive film needs to improve its followability. As a method of improving the followability of the photosensitive film, for example, even if there is a step on the substrate, the three-layer resist method (J.Vac.Sci.Te
chnol., 16: 1620, published in 1968, etc.), the photosensitive resist layer is heated before development and after exposure at 50 to 150 ° C. for 30 to 60 seconds to cause reaction of the lower layer portion which is not sufficiently exposed to UV light. After-bake method for promoting heat treatment (Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-19659)
No. 6, etc.) and the like. In addition, in a color filter using a pigment-dispersed photopolymer, the generation of monomer radicals induced by the radicals of the photoinitiator and its polymerization chain reaction are promoted, and a photosensitive resist layer is applied using a spinner to remove the solvent. Pre-bake (eg, 85 ℃
Prebaking method (J.Photopolym.Sci.Tec)
hnol., Vol.2, No.2, 1989, pp. 244-248).

【0006】従来のカラーフイルタの製造法(例えば、
染色法、顔料分散液状レジスト法、印刷法、ロールコー
タ法、顔料分散フイルムレジスト法等)では、二色目以
降の層を形成する際に、既に形成された着色層上の二色
目以降の着色層と前記基板上に直接接触する着色層との
間に段差が生ずる。この段差は、最大で1.0μmを超
え、この上に直接ITOをスパッタリングするとITO
の断線や液晶を挾む電極間の距離が不均一になり、良好
なカラーデスプレイが得られないために、一般には、保
護膜又はオーバコート膜と称する2〜5μmの膜を形成
し、表面を均一化することが行われている。フイルム法
では、この段差は既に形成された着色層の厚さ(1〜5
μm)により決まり、この段差があるために新着色層が
下地(透明ガラス)に接触しにくく、また、接着圧力が
不充分であることにより、新着色層が下地に密着せず、
ベースフイルムを剥離すると、ベースフイルムとともに
剥離されて、下地に新着色層が付着しない部分が発生
し、そのまま、露光現像すると、新着色層が存在しない
部分を露光する等の不都合が生じ、所望のカラーフイル
タが得られない欠点がある。また、二色目以降の画素上
では、一色目の画素上に乗っていた着色感光性樹脂層の
一部が流れ込んできて、二色目では、一色目の画素に近
い端が持ち上がり、画素表面が斜めになる(J状、n状
の断面となる)。三色目の画素上では、両隣の画素から
の着色感光性樹脂層の流れ込みがあるため画素の両端が
持ち上がる(M状の断面となる)。図2にJ状、n状及
びM状の画素の断面の模式図を示す。J状やM状の持ち
上がりがあると、三色の画素の表面の不均一を招き、所
望の平坦性が得られず、持ち上がった端が対極と接触し
て、画像不良を生じ、色ムラを発生させる等の欠点があ
った。基板を加熱後、前記の感光性フイルムの保護フイ
ルムを剥がしながら、着色感光性樹脂層を基板と接着さ
せて加圧ロールを通す(ラミネートする)だけでは、フ
イルム追随性は改善できない。
Conventional color filter manufacturing methods (eg,
Dyeing method, pigment-dispersed liquid resist method, printing method, roll coater method, pigment-dispersed film resist method, etc.), when forming the layer of the second color or later, the colored layer of the second color or later on the already formed color layer. A step is formed between the colored layer and the colored layer that is in direct contact with the substrate. This step exceeds 1.0 μm at maximum, and if ITO is directly sputtered on this step, the ITO
Since the wire breakage and the distance between the electrodes sandwiching the liquid crystal become non-uniform and a good color display cannot be obtained, a film of 2 to 5 μm generally called a protective film or an overcoat film is formed, and the surface is covered. It is being made uniform. In the film method, this step is the thickness of the already formed colored layer (1-5
μm), and this step makes it difficult for the new colored layer to come into contact with the base (transparent glass), and because the adhesive pressure is insufficient, the new colored layer does not adhere to the base,
When the base film is peeled off, a part where the new color layer is not adhered is peeled off along with the base film, and when exposed and developed as it is, disadvantages such as exposure of a part where the new color layer does not exist are generated, and the desired There is a drawback that a color filter cannot be obtained. In addition, on the pixels of the second and subsequent colors, part of the colored photosensitive resin layer that had been on the pixels of the first color flows in, and in the second color, the edge close to the pixels of the first color is lifted and the pixel surface is slanted. (J-shaped, n-shaped cross section). On the pixel of the third color, the colored photosensitive resin layer flows in from the adjacent pixels on both sides, so that both ends of the pixel are lifted (it becomes an M-shaped cross section). FIG. 2 shows a schematic view of a cross section of J-shaped, n-shaped, and M-shaped pixels. If there is a J-shaped or M-shaped lifting, the unevenness of the surface of the pixels of the three colors is not obtained, the desired flatness cannot be obtained, and the lifted edge comes into contact with the counter electrode, causing an image defect and causing color unevenness. There was a defect such as causing it. The film followability cannot be improved only by adhering the colored photosensitive resin layer to the substrate and passing it through a pressure roll (laminating) while peeling off the protective film of the photosensitive film after heating the substrate.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の欠点
を解消し、感光性フイルムの基板への追随性、ラミネー
トの作業性を向上し、基板上に均一な厚さの高精度の、
段差、白抜けのない多色の微細パターンの形成された優
れた耐熱性を有するカラーフイルタの製造法を提供する
ものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned drawbacks, improves the followability of the photosensitive film to the substrate, the workability of the laminate, and has a uniform thickness on the substrate with high accuracy.
It is intended to provide a method for producing a color filter having excellent heat resistance, in which a multicolor fine pattern having no steps or blanks is formed.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上
に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層と
からなる感光性フイルムを、(1)着色された感光性樹
脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、
(2)パターン状に露光する工程及び(3)現像工程を
少なくとも含む工程を繰り返して多色パターンを形成さ
せるカラーフイルタの製造法において、二色目以降の着
色された感光性樹脂層が前記基板に面するように、画素
間に空間を形成して貼り合わせる工程を行い、前記
(1)と(3)の工程の間に、加熱により二色目以降の
感光性樹脂層をベースフイルムから画素間空間へ移行さ
せる移行工程Aと、加圧により二色目以降の感光性樹脂
層を画素間空間へ移行させる移行工程Bを含むことを特
徴とするカラーフイルタの製造法に関する。
According to the present invention, there is provided a photosensitive film comprising a base film and a photosensitive resin layer colored in one color on a transparent substrate, wherein (1) the colored photosensitive resin layer is A step of bonding so as to face the substrate,
In a method for producing a color filter in which a step of exposing at least a pattern and (3) a step including at least a developing step are repeated to form a multicolor pattern, a colored photosensitive resin layer of a second color or later is formed on the substrate. A space is formed between the pixels so that they face each other, and the process of bonding the pixels is performed. During the processes of (1) and (3), the photosensitive resin layers of the second and subsequent colors are heated from the base film to the inter-pixel space. The present invention relates to a method for manufacturing a color filter, which includes a transition step A of transitioning to a space between pixels and a transition step B of transferring a photosensitive resin layer of a second color or later to an inter-pixel space by pressurization.

【0009】二色目以降のカラーフイルタの画素の表面
を平坦化するために前記(1)と(3)の工程の間で行
う、二色目以降の感光性樹脂層を基板表面上の空間に移
行させる移行工程A及び移行工程Bの態様について図1
を用いて説明する。図1は本発明の製造法を示すフイル
ム及びフイルタの断面図であり、ベースフイルム1がP
ET(ポリエチレンテレフタレートフイルム)で、着色
感光性樹脂層は赤(R)、緑(G)の順に形成していく
場合を例にとって説明する。
In order to flatten the surface of the pixels of the color filters for the second and subsequent colors, the photosensitive resin layer for the second and subsequent colors is transferred to the space on the substrate surface, which is carried out between the steps (1) and (3). FIG. 1 shows the aspects of the transition process A and the transition process B to be performed.
Will be explained. FIG. 1 is a sectional view of a film and a filter showing the manufacturing method of the present invention, in which the base film 1 is P
An example will be described where ET (polyethylene terephthalate film) is used to form the colored photosensitive resin layer in the order of red (R) and green (G).

【0010】(a)はベースフイルム1(PET(ポリ
エチレンテレフタレートフイルム))と着色感光性樹脂
層(緑)2からなる感光性フイルムの着色感光性樹脂層
と前置画素(赤)3が整然と配列されている透明基板4
が面している状態を示す。(b)は感光性フイルムの着
色感光性樹脂層(緑)2と前置画素(赤)3が整然と配
列されている基板との画素間に空間を形成した貼り合わ
せを示している。この時、着色感光性樹脂層2は前置画
素3及び透明基板4に追随している必要はなく、完全に
平坦なままで、前置画素4表面に接触していることが好
ましい。(b)では緑(G)の着色感光性樹脂層(緑)
2が前置画素(赤)3に密着した様子を示したものであ
る。ここで、空間5と表示してある部分は緑着色感光性
樹脂層(緑)2も前置画素(赤)3も存在していない空
間の部分であって、真空中でラミネートした場合は真空
の部分、窒素気流中でラミネートしたときは窒素が充満
した部分、空気中でラミネートしたときは空気が充満し
た部分になる。
In (a), a colored photosensitive resin layer of a photosensitive film comprising a base film 1 (PET (polyethylene terephthalate film)) and a colored photosensitive resin layer (green) 2 and front pixels (red) 3 are arranged in an orderly manner. Transparent substrate 4
Shows the state in which is facing. (B) shows the bonding in which a space is formed between pixels of the colored photosensitive resin layer (green) 2 of the photosensitive film and the substrate on which the front pixels (red) 3 are arranged in order. At this time, the colored photosensitive resin layer 2 does not have to follow the front pixels 3 and the transparent substrate 4, and it is preferable that the colored photosensitive resin layer 2 is in a completely flat state and is in contact with the surface of the front pixels 4. In (b), green (G) colored photosensitive resin layer (green)
2 shows a state in which the pixel 2 is in close contact with the front pixel (red) 3. The space 5 is a space where neither the green colored photosensitive resin layer (green) 2 nor the front pixel (red) 3 is present. Part, a part filled with nitrogen when laminated in a nitrogen stream, and a part filled with air when laminated in air.

【0011】(c)は本発明における移行工程Aの開始
時であって上記の(1)〜(3)の工程の(1)〜
(3)の間に入り、着色感光性樹脂層(G)と空間を置
換する工程である。着色感光性樹脂層(G)の空間部分
への移行は加熱によって行う。(b)の状態で貼り合わ
せ直後は緑の着色感光性樹脂層2はベースフイルム1に
密着しているが、加熱により、流動性が増大し、重力に
よって基板表面4上の空間5内に移行を始める。緑の着
色感光性樹脂層2はベースフイルム1よりも透明基板4
に対する密着力が大きい、即ち緑の着色感光性樹脂層の
接触角がPET(ポリエチレンテレフタレート)の接触
角よりも基板に対して大きいと推察できるので、赤の前
置画素の壁を伝って流れ落ちる場合、ベースフイルム面
で液滴を作って増大し基板と接触した後、基板上に広が
って移行を完了する場合がある。(d)は移行工程Aが
終了した時であって、緑の着色感光性樹脂層は基板表面
上の空間に移行を完了し、その表面上に空間が出現し、
着色感光性樹脂層と空間が入れ替わる。このとき、着色
感光性樹脂層はその表面張力によって均一化しているの
で、表面の平坦性は優れたものであり、現像後の画素は
一色目とほとんど同一の断面形状を持つ。以上に一色目
が赤、二色目が緑の場合を例として説明したが、色の順
序はこれに限定されない。赤、緑、青、黒の順序以外
に、黒青緑赤、黒赤青緑など本発明ではどのような色順
序も可能である。
(C) is the start of the transition step A in the present invention, and is (1) to (3) of the above steps (1) to (3).
It is a step which enters between (3) and replaces the space with the colored photosensitive resin layer (G). The transfer of the colored photosensitive resin layer (G) to the space is performed by heating. Immediately after bonding in the state of (b), the green colored photosensitive resin layer 2 is in close contact with the base film 1, but the fluidity increases due to heating, and it moves into the space 5 on the substrate surface 4 due to gravity. To start. The green colored photosensitive resin layer 2 is a transparent substrate 4 rather than the base film 1.
It can be inferred that the contact angle of the green colored photosensitive resin layer is larger than the contact angle of PET (polyethylene terephthalate) with respect to the substrate. In some cases, the droplet may be formed on the surface of the base film to increase, contact the substrate, and then spread on the substrate to complete the transfer. (D) is the time when the transfer step A is completed, the green colored photosensitive resin layer has completed transfer to the space on the substrate surface, and a space appears on the surface,
The space is replaced with the colored photosensitive resin layer. At this time, since the colored photosensitive resin layer is made uniform by its surface tension, the flatness of the surface is excellent, and the pixel after development has almost the same cross-sectional shape as the first color. Although the case where the first color is red and the second color is green has been described above as an example, the order of colors is not limited to this. In addition to the order of red, green, blue and black, any color order such as black-blue-green-red and black-red-blue-green is possible in the present invention.

【0012】加熱は室温以上で、着色感光性樹脂層が熱
硬化反応を開始する温度以下で行うことが好ましい。低
温では長時間、高温では短時間で移行は完了し、移行し
た着色感光性樹脂層表面は高度の平坦性を有する。加熱
には、熱板加熱、オーブン加熱、超音波加熱、赤外線加
熱、電磁誘導加熱、温水浸漬、摩擦熱加熱、圧力オーブ
ン内での加温、真空容器中での加温などがあり、これら
に限定されない。本発明の移行工程Aは上記の(1)〜
(3)の間で実施され、(2)の露光工程の前でも後で
も良く、露光工程の前と後の二回実施しても良く、ま
た、露光工程において行うことも可能である。上記にお
いてはベースフイルムが存在する状態での移行工程Aを
説明したがベースフイルムの剥離後に前記移行工程Aを
実施することもできる。
The heating is preferably carried out at room temperature or above and below the temperature at which the colored photosensitive resin layer starts the thermosetting reaction. The transfer is completed at a low temperature for a long time and at a high temperature in a short time, and the transferred colored photosensitive resin layer surface has a high degree of flatness. Heating includes hot plate heating, oven heating, ultrasonic heating, infrared heating, electromagnetic induction heating, hot water immersion, friction heating, heating in a pressure oven, and heating in a vacuum container. Not limited. The transition step A of the present invention includes the above (1) to
It may be carried out during (3), before or after the exposure step of (2), twice before and after the exposure step, or in the exposure step. Although the transfer step A in the state where the base film is present has been described above, the transfer step A may be performed after the base film is peeled off.

【0013】(c)では露光により、未硬化着色感光性
樹脂層(g、緑)2と光硬化着色感光性樹脂層(G、
緑)2′ができているが、未硬化着色感光性樹脂層
(g、緑)2と光硬化着色感光性樹脂層(G、緑)2′
はベースフイルム1に付着している。(d)は本発明に
おける加熱による移行工程Aが終了した時でベースフイ
ルム1を剥離した後の様子を示している。未硬化着色感
光性樹脂層(g、緑)2の一部と光硬化着色感光性樹脂
層(G、緑)2′は空間5に移行し、透明基板4に密着
する。未硬化着色感光性樹脂層(g、緑)2の一部が前
置画素(赤)3の上に残る。(e)は本発明における加
圧による移行工程(B)の開始時を示している。(d)
の工程で十分に移行しきれなかった未硬化着色感光性樹
脂層(g、緑)2の一部と光硬化着色感光性樹脂層
(G、緑)2′が存在するときは本発明の加圧による移
行工程Bにより移行が完全なものとなる。(f)は現像
工程後の画素配列を示し、4上に2′と3が整然と配列
されている。
In (c), the uncured colored photosensitive resin layer (g, green) 2 and the photocurable colored photosensitive resin layer (G, G,
Green) 2 ', but the uncured colored photosensitive resin layer (g, green) 2 and the photocurable colored photosensitive resin layer (G, green) 2'
Is attached to the base film 1. (D) shows a state after the base film 1 is peeled off at the time when the transfer step A by heating in the present invention is completed. A part of the uncured colored photosensitive resin layer (g, green) 2 and the photocurable colored photosensitive resin layer (G, green) 2'migrate to the space 5 and adhere to the transparent substrate 4. A part of the uncured colored photosensitive resin layer (g, green) 2 remains on the front pixel (red) 3. (E) has shown the time of the start of the transfer process (B) by pressurization in this invention. (D)
When a part of the uncured colored photosensitive resin layer (g, green) 2 and the photo-curable colored photosensitive resin layer (G, green) 2'which have not been sufficiently transferred in the step of the present step exist, the present invention is added. The pressure transfer step B completes the transfer. (F) shows the pixel arrangement after the development process, in which 2'and 3 are arranged on 4 in an orderly manner.

【0014】移行工程Bは加圧によって行う。例えば、
ベースフイルムが剥離除去されていて、現像前の着色感
光性樹脂層が表面に露出したカラーフイルタ基板を、剥
離性の良好な、表面の平滑性が0.1μm以下の鏡面仕
上げのゴムロールと背面ロールの間をガラス面を背面ロ
ール側にして押すことにより加圧することができる。こ
のようなゴムロールは材質がシリコーンで離形剤をその
内部に含有し、表面研磨加工を十分に行って形状が良く
背面ロールも同様のものが優れている。材質がシリコー
ンゴムである前記ゴムロールはゴム硬度が15〜80の
範囲が良く、ゴム硬度が15未満では押し込みの圧力が
不充分となる傾向がある。ゴム硬度が80を超えるとそ
の膜厚が1.0〜3.0μmの着色感光性樹脂層を移行
させるのにその精度が不充分で圧着移行工程の効果が小
さくなる傾向がある。前記ゴムロールにはシリコーン系
の離形剤を含有させることが好ましい。加圧の方法とし
ては、水圧のある水流でノズルから水を噴きつける、カ
ーテン状の水流を施す、エアガンを用いる、指の腹で押
す等の方法があり、これらに限定されない。
The transition step B is performed by pressurization. For example,
Mirror-finished rubber rolls and back rolls with good releasability and with a surface smoothness of 0.1 μm or less for color filter substrates with the base film peeled off and the colored photosensitive resin layer before development exposed Pressure can be applied by pressing the gap between the glass surfaces with the glass surface facing the rear roll. Such a rubber roll is made of silicone and contains a release agent therein. The surface of the rubber roll is sufficiently polished so that the shape of the rubber roll is good. The rubber roll whose material is silicone rubber preferably has a rubber hardness in the range of 15 to 80, and if the rubber hardness is less than 15, the pushing pressure tends to be insufficient. If the rubber hardness exceeds 80, the accuracy is insufficient to transfer the colored photosensitive resin layer having a film thickness of 1.0 to 3.0 μm, and the effect of the pressure transfer step tends to decrease. It is preferable that the rubber roll contains a silicone-based release agent. The method of pressurization includes, but is not limited to, a method of spraying water from a nozzle with a water flow having a water pressure, a curtain-shaped water flow, an air gun, a finger pad, and the like.

【0015】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明な剥離性ベースフイルム、例えば、ポリエチレンテレ
フタレート等のフイルム上に、一色に着色された感光性
樹脂組成物を塗布し、乾燥させて地着色感光性樹脂層を
塗布し、乾燥させて着色感光性樹脂層を形成させたもの
である。感光性樹脂層は未硬化であり、柔軟で、粘着性
を有するため、感光性樹脂層の上にさらにポリエチレン
フイルム等の保護フイルムを貼りあわせて外部からの損
傷、異物の付着等を防止することが好ましい。感光性フ
イルムに形成された着色感光性樹脂層は、保護フイルム
を剥がしながら透明基板上に貼り合わされ、着色感光性
樹脂層表面のベースフイルムは、現像前に除去される。
The photosensitive film used in the present invention is a transparent base film for peeling, for example, a film of polyethylene terephthalate or the like, on which a photosensitive resin composition colored in one color is applied and dried to form a background-colored photosensitive film. A photosensitive resin layer is applied and dried to form a colored photosensitive resin layer. Since the photosensitive resin layer is uncured, flexible and adhesive, a protective film such as polyethylene film should be attached on top of the photosensitive resin layer to prevent external damage and adhesion of foreign matter. Is preferred. The colored photosensitive resin layer formed on the photosensitive film is attached to the transparent substrate while peeling off the protective film, and the base film on the surface of the colored photosensitive resin layer is removed before development.

【0016】本発明におけるカラーフイルタは、例え
ば、次のようにして製造される。まず、透明基板上に感
光性フィルムに形成された着色感光性樹脂が貼り合わさ
れ、着色感光性樹脂層表面のベースフィルム上に所定パ
ターンのネガマスクを乗せて露光した後、ベースフィル
ムが除去される。ついで未露光部分が現像液で現像さ
れ、着色パターンが形成される。この着色パターン形成
工程を、色の異なる感光性フィルムを用いて所定回数繰
り返し行い、多色のパターンを形成させてカラーフィル
タが得られる。透明基板上に貼付られた着色感光性樹脂
層で細線を形成する場合は、現像液に耐えられる最少の
露光量で露光するため、現像後の着色層が柔軟なことが
あり、現像後にさらに紫外線照射、電子線照射及び/又
は熱処理によって、完全に着色層を硬化させて強度及び
耐熱性を付与することができる。
The color filter of the present invention is manufactured, for example, as follows. First, a colored photosensitive resin formed on a photosensitive film is attached to a transparent substrate, and a negative mask having a predetermined pattern is placed on the base film on the surface of the colored photosensitive resin for exposure, and then the base film is removed. Then, the unexposed portion is developed with a developing solution to form a colored pattern. This colored pattern forming step is repeated a predetermined number of times using photosensitive films of different colors to form a multicolored pattern to obtain a color filter. When forming a thin line with a colored photosensitive resin layer attached on a transparent substrate, the colored layer after development may be flexible because it is exposed with the minimum exposure amount that can withstand the developing solution, and further UV rays are required after development. By irradiation, electron beam irradiation and / or heat treatment, the colored layer can be completely cured to give strength and heat resistance.

【0017】一色に着色された感光性樹脂組成物は、エ
チレン性不飽和化合物(a)、カルボキシル基含有フイ
ルム性付与ポリマー(b)、光重合開始剤(c)及び顔
料又は染料(d)を含有するのが好ましい。また、感光
性樹脂組成物をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フ
イルムの感光性樹脂層の厚さは、0.5〜15μmであ
ることが好ましい。
The photosensitive resin composition colored in one color comprises an ethylenically unsaturated compound (a), a carboxyl group-containing film-forming polymer (b), a photopolymerization initiator (c) and a pigment or dye (d). It is preferably contained. Further, the thickness of the photosensitive resin layer of the photosensitive film obtained by applying and drying the photosensitive resin composition on the base film is preferably 0.5 to 15 μm.

【0018】エチレン性不飽和化合物(a)としては、
例えば、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物(トリメチロールプロパンジ
(メタ)アクリレート(メタアクリレート又はアクリレ
ートを意味する。以下同じ)、トリメチロールプロパン
トリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタント
リ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サ(メタ)アクリレート等)、グリシジル基含有化合物
にα,β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合
物、多価カルボン酸(無水フタル酸等)と水酸基および
エチレン性不飽和基を有する化合物(2−ヒドロキシ
(メタ)アクリレート等)なども用いられる。これらの
化合物は単独で又は2種類以上を組み合わせて使用され
る。(a)成分の配合量は、(a)成分と(b)成分の
総量を100重量部として90〜50重量部とすること
が好ましい。
As the ethylenically unsaturated compound (a),
For example, a compound obtained by adding an α, β-unsaturated carboxylic acid to a polyhydric alcohol (trimethylolpropane di (meth) acrylate (means methacrylate or acrylate; hereinafter the same), trimethylolpropane tri (meth)) Acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc., obtained by adding α, β-unsaturated carboxylic acid to a glycidyl group-containing compound A compound, a compound having a polyvalent carboxylic acid (phthalic anhydride, etc.) and a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group (2-hydroxy (meth) acrylate, etc.) and the like are also used. These compounds are used alone or in combination of two or more. The blending amount of the component (a) is preferably 90 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (a) and (b).

【0019】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー(b)としては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキ
ルエステルと(メタ)アクリル酸との共重合体、(メ
タ)アクリル酸アルキルエステルと(メタ)アクリル酸
とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合体等
が挙げられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステルと
しては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)
アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メ
タ)アクリル酸2−エチルヘキシル等が挙げられる。
(b)成分の使用によって、塗膜性や硬化物の膜特性が
向上し、その配合量は、(a)成分と(b)成分の総量
を100重量部として10〜50重量部とすることが好
ましい。この配合量が10重量部未満では、エチレン性
不飽和化合物が多くなるため光感度が低下する傾向があ
り、50重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向が
ある。また、(b)成分の重量平均分子量は、前記塗膜
性や膜強度の点から10,000以上とすることが好ま
しい。
The carboxyl group-containing film-forming polymer (b) is, for example, a copolymer of (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid, or (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid. And a vinyl monomer copolymerizable therewith. Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include (meth) acrylic acid methyl, (meth)
Examples thereof include ethyl acrylate, butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate.
By using the component (b), the coating properties and the film properties of the cured product are improved, and the blending amount is 10 to 50 parts by weight based on the total amount of the components (a) and (b) being 100 parts by weight. Is preferred. If the blending amount is less than 10 parts by weight, the ethylenically unsaturated compound is increased, so that the photosensitivity tends to decrease, and if it exceeds 50 parts by weight, the photocured product tends to become brittle. Further, the weight average molecular weight of the component (b) is preferably 10,000 or more from the viewpoint of the coating property and the film strength.

【0020】光重合開始剤(c)としては、例えば、ベ
ンゾフェノン、N,N′−テトラメチル−4,4′−ジ
アミノベンゾフェノン(ミヒラーのケトン)、N,N′
−テトラメチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン、
4−メトキシ−4′−ジメチルアミノベンゾフェノン、
4,4′−ジエチルアミノベンゾフェノン、2−エチル
アントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケト
ン等が用いられる。これらは単独で又は2種類以上を組
み合わせて使用される。(c)成分の配合量は、(a)
成分と(b)成分の総量100重量部に対しては0.1
〜10重量部とすることが好ましい。この配合量が0.
1重量部未満では、光感度が不十分となる傾向があり、
10重量部を超えると、露光の際に組成物の表面での光
吸収が増大し、内部の光硬化が不十分となる傾向があ
る。
Examples of the photopolymerization initiator (c) include benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), N, N '.
-Tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone,
4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone,
Aromatic ketones such as 4,4′-diethylaminobenzophenone, 2-ethylanthraquinone and phenanthrenequinone are used. These are used alone or in combination of two or more. The blending amount of the component (c) is (a)
0.1 for the total amount of 100 parts by weight of component and (b) component
It is preferably 10 to 10 parts by weight. This blending amount is 0.
If it is less than 1 part by weight, the photosensitivity tends to be insufficient,
If it exceeds 10 parts by weight, light absorption on the surface of the composition during exposure tends to increase, and internal photocuring tends to be insufficient.

【0021】前記顔料又は染料(d)としては、一般に
知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエ
チレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透
過性等を考慮して選択される。
As the above-mentioned pigment or dye (d), a generally known coloring agent can be used, and the compatibility with a photosensitive resin layer, particularly an ethylenically unsaturated compound or a carboxyl group-containing film imparting polymer, is targeted. It is selected in consideration of hue, light transmittance and the like.

【0022】カラーフイルタに使用できる顔料として
は、各種の化合物があり、例えば、硫酸バリウム、酸化
亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガラ、カーボンブラッ
ク、グラファイト、酸化クロム等の無機顔料、下記の有
機顔料(カラーインデックス番号)などがある。 黄色顔料:C.I.ピグメントイエロー20、24、83、
86、93、109、110、117、125、13
7、138、139、147、148、153、15
4、166、168 オレンジ顔料:C.I.ピグメントオレンジ36、43、5
1、55、59、61 赤色顔料:C.I.ピグメントレッド9、97、122、1
23、149、168、177、180、092、21
5、216、217、220、223、224、22
6、227、228、240、48:1 バイオレット顔料:C.I.ピグメントバイオレット19、
23、29、30、37、40、50 青色顔料:C.I.ピグメントブルー15、15:6、2
2、60、64 緑色顔料:C.I.ピグメントグリーン7、36 黒色顔料:C.I.ピグメントブラック7
There are various compounds as pigments which can be used in the color filter, and examples thereof include inorganic pigments such as barium sulfate, zinc oxide, lead sulfate, titanium oxide, red iron oxide, carbon black, graphite and chromium oxide, and the following organic pigments. (Color index number) etc. Yellow pigment: CI Pigment Yellow 20, 24, 83,
86, 93, 109, 110, 117, 125, 13
7, 138, 139, 147, 148, 153, 15
4, 166, 168 Orange Pigment: CI Pigment Orange 36, 43, 5
1, 55, 59, 61 Red pigment: CI Pigment Red 9, 97, 122, 1
23, 149, 168, 177, 180, 092, 21
5, 216, 217, 220, 223, 224, 22
6, 227, 228, 240, 48: 1 violet pigment: CI pigment violet 19,
23, 29, 30, 37, 40, 50 Blue Pigment: CI Pigment Blue 15, 15: 6, 2
2,60,64 Green pigment: CI Pigment Green 7,36 Black pigment: CI Pigment Black 7

【0023】(d)成分の配合量は、(a)成分と
(b)成分の総量100重量部に対して1〜50重量部
とすることが好ましい。この配合量が1重量部未満で
は、着色が不十分となる傾向があり、50重量部を超え
ると、光透過率が低下する傾向がある。
The amount of the component (d) to be blended is preferably 1 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (a) and (b). If the content is less than 1 part by weight, coloring tends to be insufficient, and if it exceeds 50 parts by weight, the light transmittance tends to decrease.

【0024】前記感光性樹脂組成物には、加熱硬化性を
高め架橋密度を上げ、耐熱性を向上させるためにカルボ
キシル基含有フイルム性付与ポリマーのカルボキシル基
と熱反応するメラミン樹脂及び/又はエポキシ樹脂を、
(a)成分と(b)成分の総量100重量部に対して1
〜20重量部添加し加熱することが好ましい。加熱温度
は130〜200℃とすることが好ましく、加熱時間は
30〜60分とすることが好ましい。
The photosensitive resin composition may be a melamine resin and / or an epoxy resin which reacts thermally with the carboxyl groups of the carboxyl group-containing film-forming polymer in order to enhance the heat-curing property, crosslink density and heat resistance. To
1 for 100 parts by weight of the total of components (a) and (b)
It is preferable to add ~ 20 parts by weight and heat. The heating temperature is preferably 130 to 200 ° C., and the heating time is preferably 30 to 60 minutes.

【0025】[0025]

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。 実施例1 (1)着色感光性樹脂層用塗工液の製造 表1の材料を均一に溶解した溶液200重量部に表2の
いずれかの顔料ペースト 135重量部、メラミン樹脂
5重量部及びシランカップリング剤5重量部をそれぞれ
添加し、溶解分散して着色感光性樹脂層用塗工液を得
た。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples. Example 1 (1) Production of coating liquid for colored photosensitive resin layer 135 parts by weight of pigment paste of any one of Table 2, 135 parts by weight of melamine resin and silane in 200 parts by weight of a solution obtained by uniformly dissolving the materials of Table 1 5 parts by weight of each coupling agent was added and dissolved and dispersed to obtain a coating liquid for colored photosensitive resin layer.

【0026】[0026]

【表1】 [Table 1]

【0027】[0027]

【表2】 [Table 2]

【0028】メラミン樹脂 サイメル300(ヘキサメトキシメチルメラミンの商品
名、三井東圧社製) シランカップリング剤 KBM503(信越化学社製) 塗工液の調整 塗工液は使用直前に超音波で2.5時間分散して調整し
た。
Melamine resin Cymel 300 (trade name of hexamethoxymethyl melamine, manufactured by Mitsui Toatsu Co., Ltd.) Silane coupling agent KBM503 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Preparation of coating liquid The coating liquid is ultrasonic 2. It was dispersed and adjusted for 5 hours.

【0029】(2)感光性フイルムの製造 得られた溶液を、厚さ23μmのポリエチレンテレフタ
レートフイルム(テイジン社製テトロンフイルムF2
3)上にキスタッチリバース方式の塗工機を用いて均一
な厚さに塗布し、100℃の乾燥機で2分間乾燥した。
保護フイルムとして厚さ30μmのポリエチレンフイル
ムを貼り合わせて感光性フイルムを得た。乾燥後の感光
性樹脂層の厚さは、赤、青及び緑ともに各々2.0μm
であった。
(2) Production of Photosensitive Film The obtained solution was applied to a polyethylene terephthalate film having a thickness of 23 μm (Tetron film F2 manufactured by Teijin Ltd.).
3) A kiss-touch reverse type coating machine was used to apply a uniform thickness, and the coating was dried in a dryer at 100 ° C. for 2 minutes.
As a protective film, a 30-μm-thick polyethylene film was laminated to obtain a photosensitive film. The thickness of the photosensitive resin layer after drying is 2.0 μm for each of red, blue and green.
Met.

【0030】(3)カラーフイルタの製造 (a)基板加熱工程 前記カラーフイルタ用の下地基板を80℃で10分間加
熱した。 (b)貼り合わせ工程 前記カラーフイルタ用の感光性フイルムの保護フイルム
を剥がしながら、着色感光性樹脂層を前記カラーフイル
タ用の下地基板上に下記条件でラミネートした。 ロール温度 60℃ ロール圧 1.0kgf/cm2(エアシリンダ圧力) 速度 2.5m/分 (c)露光工程 所定のパターン(通常のストライプ状のパターンで、7
0μm(白)/230μm(黒)で長さ150mmのスト
ライプ状)のネガマスクを通して露光機HMW−201
B(3kW、超高圧水銀灯、オーク製作所製)で露光し
た。 (d)移行工程A 二色目と三色目の画素形成時には、60℃で15分間加
熱することにより、空間を介していた着色感光性樹脂層
を移行させた。 (e)剥離工程 室温でポリエチレンテレフタレートフイルムを除去し
た。自動剥離装置(自家製試作品、両面テープを貼り合
わせたロールでポリエチレンテレフタレートフイルムを
剥離する装置)で剥離した。 (f)移行工程B 二色目と三色目の画素形成時には、剥離工程の後にゴム
ロールによる圧力の印加により移行を行い、空間を介し
ていた着色感光性樹脂層を赤の基板表面に移行させた。
(3) Production of color filter (a) Substrate heating step The base substrate for the color filter was heated at 80 ° C. for 10 minutes. (B) Laminating Step The colored photosensitive resin layer was laminated on the base substrate for the color filter under the following conditions while removing the protective film of the photosensitive film for the color filter. Roll temperature 60 ℃ Roll pressure 1.0kgf / cm 2 (air cylinder pressure) Speed 2.5m / min (c) Exposure process Predetermined pattern (normal stripe pattern, 7
Exposure machine HMW-201 through a negative mask of 0 μm (white) / 230 μm (black) and 150 mm long)
B (3 kW, ultra-high pressure mercury lamp, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) was used for exposure. (D) Transfer Process A During the formation of the second and third color pixels, the colored photosensitive resin layer that had been through the space was transferred by heating at 60 ° C. for 15 minutes. (E) Peeling step The polyethylene terephthalate film was removed at room temperature. Peeling was performed using an automatic peeling device (home-made prototype, a device that peels polyethylene terephthalate film with a roll to which double-sided tape is attached). (F) Transfer Step B At the time of forming the pixels of the second and third colors, the transfer was carried out by applying a pressure by a rubber roll after the peeling step, and the colored photosensitive resin layer that had been through the space was transferred to the surface of the red substrate.

【0031】すなわち、表面の平滑性が0.1μm以下
の鏡面仕上げされた、材質がシリコーンゴムでゴム硬度
が50、ゴム厚が4mm、直径が100mmのゴムロール
(エアシリンダ圧力1.0kgf/cm2)と鏡面仕上げなし
でゴム硬度が100である他はゴムロールと同様な仕様
の背面ロール(固定してある)との間を下地基板面を背
面ロール側にして通過させ圧着する方法で加圧し移行を
行った。 (g)現像工程 30℃で0.08重量%のNa2CO3水溶液で15秒ス
プレー現像をして未露光部を除去し、現像後水洗し、オ
ーブン加熱乾燥し、着色パターンを形成した。
That is, a rubber roll with a surface smoothness of less than 0.1 μm and a mirror finish, made of silicone rubber and having a rubber hardness of 50, a rubber thickness of 4 mm and a diameter of 100 mm (air cylinder pressure 1.0 kgf / cm 2 ) And a rear roll (fixed) with the same specifications as the rubber roll except that the rubber hardness is 100 without mirror finish, with the base substrate surface as the rear roll side and pressure is applied by a pressure bonding method. I went. (G) Development step The unexposed portion was removed by spray developing with a 0.08 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. for 15 seconds, washed with water after development, and oven-dried to form a colored pattern.

【0032】この(a)〜(g)の着色パターンの形成
工程を、赤、青及び緑の順に各色の感光性フイルムを用
いて繰り返し行った。二色目の青のラミネートの時にフ
イルムの送り方向を前置画素の赤のストライプ状のパタ
ーンに直交させてフイルムを送った。
The steps of forming the colored patterns (a) to (g) were repeated using the photosensitive films of respective colors in the order of red, blue and green. When laminating the second color blue, the film was fed with the feeding direction of the film orthogonal to the red stripe pattern of the front pixels.

【0033】三色目の緑についても同様とし、多色のパ
ターンを形成した。この際の露光量は赤、青及び緑色の
各々の感光性樹脂層に対しては50mJ/cm2とした。使用
したマスクのパターンはストライプが画素ごとに独立し
た長方形を形成しストライプの長手方向に隙間を設けた
ものである。
A multicolor pattern was formed in the same manner for the third color, green. The exposure amount at this time was 50 mJ / cm 2 for each of the red, blue and green photosensitive resin layers. The pattern of the mask used is one in which the stripes form an independent rectangle for each pixel and a gap is provided in the longitudinal direction of the stripes.

【0034】得られた多色パターンに紫外線照射機(ラ
ンプH5600L/2、東芝電材社製)を用いて3J/cm
2の照射をした後、150℃で45分間加熱してカラー
フイルタを得た。得られたカラーフイルタは赤、青及び
緑色のパターン(ストライプ状のパターン)が整然と並
んでおり、追随性は良好であった。また、画素間の段差
はなく、画素の断面ではM状もJ状も認められなかっ
た。
An ultraviolet irradiator (lamp H5600L / 2, manufactured by Toshiba Denshi Co.) was applied to the obtained multicolor pattern to 3 J / cm.
After irradiating with 2 , the color filter was obtained by heating at 150 ° C. for 45 minutes. The obtained color filter had red, blue and green patterns (striped patterns) arranged in order, and had good followability. Further, there was no step between pixels, and neither M-shape nor J-shape was recognized in the cross section of the pixel.

【0035】実施例2 表3の材料とした以外は実施例1と同様に行い、実施例
1と同様に良好な結果を得た。
Example 2 The same procedure as in Example 1 was carried out except that the materials shown in Table 3 were used, and good results were obtained in the same manner as in Example 1.

【表3】 [Table 3]

【0036】実施例3 下記の表4の材料を表1の材料に置き換えた以外は実施
例1と同様に実施し、実施例1と同様の結果を得た。
Example 3 The same results as in Example 1 were obtained except that the materials in Table 4 below were replaced with the materials in Table 1.

【表4】 [Table 4]

【0037】実施例4 青及び緑については下記の(d)移行工程A及び(e)
移行工程Bとした以外は実施例1と同様に行い、実施例
1と同様に良好な結果を得た。 (d)移行工程A 二色目と三色目の画素形成時には、33℃で20分間加
熱することにより、空間を介していた着色感光性樹脂層
を移行させた。 (f)移行工程B 材質がシリコーンで離形剤を含有するゴムでゴム厚1m
mのゴムロールを用いて加圧し、移行を行った。
Example 4 For blue and green, the following (d) transition steps A and (e)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the transition step B was performed, and good results were obtained in the same manner as in Example 1. (D) Transfer process A At the time of forming the second and third color pixels, the colored photosensitive resin layer was transferred through the space by heating at 33 ° C. for 20 minutes. (F) Transition step B Rubber made of silicone and containing a release agent, rubber thickness 1 m
The transfer was performed by applying pressure using a rubber roll of m.

【0038】実施例5 青及び緑については下記の(d)移行工程A及び(e)
移行工程Bとした以外は実施例1と同様に行い、実施例
1と同様に良好な結果を得た。 (d)移行工程A 二色目と三色目の画素形成時には、60℃で15分間加
熱し、空間を介していた着色感光性樹脂層を基板表面に
移行させた。 (e)移行工程 ゴムロールのゴム硬度を15、背面ロールのゴム硬度を
80とした。
Example 5 For blue and green, the following (d) transition steps A and (e)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the transition step B was performed, and good results were obtained in the same manner as in Example 1. (D) Transfer process A During the formation of the second and third color pixels, heating was performed at 60 ° C. for 15 minutes to transfer the colored photosensitive resin layer through the space to the substrate surface. (E) Transition step The rubber hardness of the rubber roll was 15, and the rubber hardness of the back roll was 80.

【0039】実施例6 青及び緑については下記の(d)移行工程A及び(e)
移行工程Bとした以外は実施例1と同様に行い、実施例
1と同様に良好な結果を得た。 (d)二色目と三色目の画素形成時には、40℃で15
分間加熱し、空間を介していた着色感光性樹脂層を基板
表面に移行させた。 (e)移行工程B ベースフイルムを剥離して、エアガンを用いて加圧し、
移行不十分の部分の移行を行った。
Example 6 For blue and green, the following (d) transition steps A and (e)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the transition step B was performed, and good results were obtained in the same manner as in Example 1. (D) When forming the second and third color pixels, 15 at 40 ° C
After heating for a minute, the colored photosensitive resin layer that had been through the space was transferred to the surface of the substrate. (E) Transfer step B The base film is peeled off and pressurized with an air gun,
The part of the insufficient migration was migrated.

【0040】実施例7 青及び緑については下記の(d)移行工程A及び(e)
移行工程Bとした以外は実施例1と同様に行い、実施例
1と同様に良好な結果を得た。 (d)二色目と三色目の画素形成時には、40℃で15
分間加熱し、空間を介していた着色感光性樹脂層を基板
表面に移行させた。 (e)移行工程 ベースフイルムを剥離して、現像前の着色感光性樹脂層
を指の腹で押して加圧し、移行不十分の部分の移行を行
った。
Example 7 For blue and green, the following (d) transition steps A and (e)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the transition step B was performed, and good results were obtained in the same manner as in Example 1. (D) When forming the second and third color pixels, 15 at 40 ° C
After heating for a minute, the colored photosensitive resin layer that had been through the space was transferred to the surface of the substrate. (E) Transfer step The base film was peeled off, and the colored photosensitive resin layer before development was pressed with a finger pad to apply pressure to transfer an insufficiently transferred portion.

【0041】比較例1 実施例1と同様に行うが、(d)移行工程A及び(e)
移行工程Bを省略してカラーフイルタを作成した。着色
パターンの形成工程を、赤、青及び緑の順に各色の感光
性フイルムを用いて繰り返し行った。二色目の青のラミ
ネートの時にフイルムの送り方向を前置画素の赤のスト
ライプ状のパターンに直交させてフイルムを送った。三
色目の緑についても同様とし、多色のパターンを形成し
た、この際の露光量は赤、青及び緑色の感光性樹脂層に
対して50mJ/cm2とした。使用したマスクのパターンは
ストライプが画素ごとに独立した長方形を形成しストラ
イプの長手方向に隙間を設けたものである。得られた多
色パターンに紫外線照射機(ランプH5600L/2、
東芝電材社製)を用いて3J/cm2の照射をした後、15
0℃で45分間加熱してカラーフイルタを得た。得られ
たカラーフイルタは赤、青及び緑色のパターン(ストラ
イプ状のパターン)が整然と並んでいた。しかし、追随
性は不良で、緑と青で白抜けが多数観察された。また、
画素内の段差は緑は0.8μm、青では0.5μmあ
り、画素の断面はM状、J状を示していた。
Comparative Example 1 The same procedure as in Example 1 is carried out, except that (d) transition step A and (e)
A color filter was prepared by omitting the transition step B. The process of forming the colored pattern was repeated using the photosensitive films of respective colors in the order of red, blue and green. When laminating the second color blue, the film was fed with the feeding direction of the film orthogonal to the red stripe pattern of the front pixels. The same was applied to the third color green, and a multicolor pattern was formed. The exposure amount at this time was 50 mJ / cm 2 for the red, blue and green photosensitive resin layers. The pattern of the mask used is one in which the stripes form an independent rectangle for each pixel and a gap is provided in the longitudinal direction of the stripes. An ultraviolet irradiator (lamp H5600L / 2,
After irradiation with 3 J / cm 2 using Toshiba Denshi Co., Ltd., 15
A color filter was obtained by heating at 0 ° C. for 45 minutes. The resulting color filter had red, blue and green patterns (striped patterns) arranged in order. However, the followability was poor, and many white spots were observed in green and blue. Also,
The step difference in the pixel was 0.8 μm for green and 0.5 μm for blue, and the cross section of the pixel was M-shaped or J-shaped.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明の製造法によれば、感光性フイル
ムの追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度
の、段差、白抜けのない多色の微細パターンの形成され
た優れた耐熱性を有するカラーフイルタを製造すること
ができる。
According to the manufacturing method of the present invention, it is possible to form a highly precise multi-color fine pattern having a uniform thickness on a substrate with good followability and workability of a photosensitive film and a uniform thickness. It is possible to manufacture a color filter having excellent heat resistance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の製造法を示す略図である。FIG. 1 is a schematic view showing a production method of the present invention.

【図2】従来のカラーフイルタの画素の断面の摸式図で
ある。
FIG. 2 is a schematic view of a cross section of a pixel of a conventional color filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ベースフイルム 2 着色感光性樹脂層(緑) 2′光硬化着色感光性樹脂層(緑) 3 前置画素(赤) 4 透明基板 5 空間 6 移行ロール 7 一色目の画素 8 二色目の画素 9 三色目の画素 1 Base Film 2 Colored Photosensitive Resin Layer (Green) 2'Photocurable Colored Photosensitive Resin Layer (Green) 3 Front Pixel (Red) 4 Transparent Substrate 5 Space 6 Transition Roll 7 First Color Pixel 8 Second Color Pixel 9 Third color pixel

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に
着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
(1)着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼り合わせる工程、(2)パターン状に露光する工程
及び(3)現像工程を少なくとも含む工程を繰り返して
多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法にお
いて、二色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板
に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせる
工程を行い、前記(1)と(3)の工程の間に、加熱に
より二色目以降の感光性樹脂層をベースフイルムから画
素間空間へ移行させる移行工程Aと、加圧により二色目
以降の感光性樹脂層を画素間空間へ移行させる移行工程
Bを含むことを特徴とするカラーフイルタの製造法。
1. A photosensitive film comprising a base film and a photosensitive resin layer colored in one color on a transparent substrate,
A multicolor pattern is formed by repeating the steps of (1) laminating the colored photosensitive resin layer so as to face the substrate, (2) exposing in a pattern, and (3) at least a developing step. In the method of manufacturing a color filter, a step of forming a space between pixels and adhering is performed so that the second and subsequent colored photosensitive resin layers face the substrate, and the steps of (1) and (3) above are performed. During the process, a transfer process A in which the photosensitive resin layer of the second color or later is transferred from the base film to the inter-pixel space by heating, and a transfer process of transferring the photosensitive resin layer in the second color or later to the inter-pixel space by pressurization. A method for producing a color filter, which comprises B.
【請求項2】 移行工程Bが、剥離性の良好な、表面の
平滑性が0.1μm以下の鏡面仕上げのゴムロールと背
面ロールの間を透明基板側を背面ロール側にして通過さ
せることにより加圧するものである請求項1記載のカラ
ーフィルタの製造法。
2. The transition step B is performed by passing a transparent substrate side with a transparent substrate side as a backside roll between a mirror-finished rubber roll having a good peelability and a surface smoothness of 0.1 μm or less and a backside roll. The method for producing a color filter according to claim 1, wherein the color filter is pressed.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014119502A (en) * 2012-12-13 2014-06-30 Nitto Denko Corp Manufacturing method of polarizing film

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