JPH08171854A - Manufacture of filter pattern - Google Patents

Manufacture of filter pattern

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JPH08171854A
JPH08171854A JP6315059A JP31505994A JPH08171854A JP H08171854 A JPH08171854 A JP H08171854A JP 6315059 A JP6315059 A JP 6315059A JP 31505994 A JP31505994 A JP 31505994A JP H08171854 A JPH08171854 A JP H08171854A
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pigment
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green
filter
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武夫 伊藤
Shuzo Matsuda
秀三 松田
Takashi Chigusa
尚 千草
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和夫 坂井
Masaru Fukuda
勝 福田
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Fuji Pigment Co Ltd
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Abstract

PURPOSE: To enable a filter to be manufactured by applying pigment particles and a high molecular salt solution on a base plate and drying it, exposing it into the specified pattern, and developing it by using an alkaline aqueous solution. CONSTITUTION: A light absorbing layer 12 having the specified pattern is formed as a black matrix on a base plate made of glass, for example, on the inner surface of a panel 10 of a color cathode-ray tube. This layer 12 is made of graphite formed by the conventional method. The pigment dispersion liquids for forming blue, green and red filters is prepared. These dispersion liquids contain pigment particles and high molecular electrolytic salt solutions (containing photoresists). The panel 10 is held to the temperature of 30 deg.C, and a blue pigment dispersion liquid is applied thereto, and then a blue pigment layer 20 is obtained. Next, the pattern exposure is performed by using a shadow mask, and the development is performed by using an alkaline aqueous solution, so as to form a blue pigment layer 30B. Similarly, a green pigment layer 30G and a red pigment layer 30R are formed. A blue phosphor layer 40B, a green phosphor layer 40G, and a red phosphor layer 40R are formed by being faced to the pigment layers 30B to 30R.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、顔料層を所定パターン
でパターニングしてなるフィルターパターンの製造方法
に関する。例えば、カラー陰極線管のフィルター付き蛍
光体層を形成する際のフィルターパターンの製造方法に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a filter pattern by patterning a pigment layer in a predetermined pattern. For example, the present invention relates to a method of manufacturing a filter pattern when forming a phosphor layer with a filter of a color cathode ray tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、顔料層を所定パターンにパタ
ーニングしてなるフィルターパターンは様々な分野で用
いられている。液晶表示装置のカラーフィルターはその
代表的なものである。また、カラー陰極線管においても
蛍光体層の前面、すなわちパネルのフェースプレートの
内面で蛍光体層との間に蛍光体の発光色に対応したフィ
ルター層を設けてフィルター付き蛍光体層とすることも
知られている(米国特許第2,959,483号、3,
114,065号明細書)。通常のカラー陰極線管のフ
ェースプレートの内面には赤、青、緑色をしたドット状
やストライプ状等の蛍光体層が形成され、この蛍光体層
に電子ビームが衝突することにより、蛍光体層が発光し
て画像表示がなされている。フィルター付き蛍光体層
は、コントラストや色純度等の画像表示特性を向上させ
るため、フェースプレートと蛍光体層との間に、蛍光体
層の発光色と同色の光を透過するフィルターパターンを
設けることにより、入射した外光のうち赤色顔料は緑や
青成分の光は赤顔料層で、緑や赤成分の光は青顔料層
で、青や赤成分の光は緑顔料層で、それぞれ吸収させる
ことでコントラストや色純度を向上させようとするもの
である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a filter pattern formed by patterning a pigment layer into a predetermined pattern has been used in various fields. A color filter of a liquid crystal display device is a typical one. Also in a color cathode ray tube, a filter layer corresponding to the emission color of the phosphor may be provided between the phosphor layer on the front surface of the phosphor layer, that is, on the inner surface of the face plate of the panel to form a phosphor layer with a filter. Known (U.S. Pat. No. 2,959,483, 3,
114,065). A red, blue, and green dot-shaped or stripe-shaped phosphor layer is formed on the inner surface of the face plate of a normal color cathode-ray tube, and the phosphor layer is formed by colliding the phosphor layer with an electron beam. It emits light and an image is displayed. For the phosphor layer with a filter, in order to improve image display characteristics such as contrast and color purity, a filter pattern that transmits light of the same color as the emission color of the phosphor layer is provided between the face plate and the phosphor layer. Of the incident external light, the red pigment absorbs the green or blue component light in the red pigment layer, the green or red component light in the blue pigment layer, and the blue or red component light in the green pigment layer. This is intended to improve the contrast and color purity.

【0003】このようなフィルター層を形成するには、
基板上に顔料層を塗布形成した後に露光・現像を行うこ
とでパターニングするのが一般的である。このとき、パ
ターンとして残すべき箇所には基板との付着性が要求さ
れ、それ以外の箇所には剥離性が要求される。また、顔
料層には透明性が必要とされ、顔料粒子が凝集すること
なく均一に分散していることも要求される。
To form such a filter layer,
It is common to pattern by coating and forming a pigment layer on a substrate and then performing exposure and development. At this time, the adhesiveness to the substrate is required at the portion to be left as a pattern, and the peelability is required at the other portions. Further, the pigment layer is required to have transparency, and it is also required that the pigment particles are uniformly dispersed without agglomerating.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、顔料粒
子間及び顔料と基板との結着力は比較的強く、現像工程
で余分な顔料層が剥離されず基板上に残渣として残るこ
とが多い。そこで、顔料層が乾燥して結着力が強大にな
る前に現像しようとする方法では、パターンのきれ、す
なわち、露光して残すべき部分とそうでない部分の境界
状態が劣化するという問題がある。
However, the binding force between the pigment particles and between the pigment and the substrate is relatively strong, and the excess pigment layer is often not left as a residue on the substrate during the development process. Therefore, in the method of developing the pigment layer before it is dried and the binding force becomes strong, there is a problem in that the pattern is broken, that is, the boundary condition between the portion that should be left after exposure and the portion that is not exposed deteriorates.

【0005】本発明はこのような問題に対処するために
なされたもので、パターニングを容易かつ確実にするこ
とのできるフィルターパターンの製造方法を提供するこ
とを目的とする。
The present invention has been made to address such a problem, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a filter pattern which enables easy and reliable patterning.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するためのフィルターパターンの製造方法であり、顔
料粒子を含む高分子電解質の塩溶液を基板上に塗布乾燥
する工程と、所定のパターンを用いて露光する工程と、
高分子電解質と塩を形成する物質を用いて現像する工程
を少なくとも具備することを特徴とする。また、高分子
電解質の塩溶液はフォトレジストを含有しているか、ま
たはフォトレジストを含有させる代わりに上記高分子電
解質の塩溶液の塗布乾燥工程と上記露光工程の間に、フ
ォトレジスト溶液を塗布乾燥する工程を具備するかもし
くは両方を組み合わせることを特徴とする。さらにま
た、上記フォトレジスト溶液は蛍光体を含有することを
特徴する。
The present invention is a method of manufacturing a filter pattern for solving the above problems, which comprises a step of applying a salt solution of a polymer electrolyte containing pigment particles onto a substrate and drying the solution. Exposing using a pattern,
It is characterized by comprising at least a step of developing with a substance that forms a salt with a polymer electrolyte. Further, the salt solution of the polymer electrolyte contains a photoresist, or instead of containing the photoresist, the photoresist solution is applied and dried between the step of applying and drying the salt solution of the polymer electrolyte and the exposing step. Or a combination of both. Furthermore, the photoresist solution contains a phosphor.

【0007】本発明に係る電解質の塩溶液は、顔料粒子
の分散剤として機能し、顔料粒子の凝集を防いで溶媒中
に均一に分散させるとともに、基板上に塗布乾燥させる
と高分子電解質塩を形成する基の一部が解離し、顔料層
に含まれる高分子電解質が溶媒(水)に不溶性になる。
一方、現像時には塩の一部が解離した高分子電解質と再
び塩を形成する物質を含有させた溶液を用いて現像する
と、顔料層に含まれる高分子電解質が可溶化されて、剥
離性が向上する。本発明はこのような知見に基づくもの
であり、フィルター層を形成する方法において、顔料粒
子を均一に分散させるとともに、パターンとして残すべ
き箇所に要求される非溶出性と、現像時には露光部以外
に要求される剥離性の両立を図ったものである。
The electrolyte salt solution according to the present invention functions as a dispersant for the pigment particles, prevents the pigment particles from aggregating and disperses them uniformly in the solvent, and when applied and dried on the substrate, the polyelectrolyte salt is formed. Part of the formed groups are dissociated, and the polymer electrolyte contained in the pigment layer becomes insoluble in the solvent (water).
On the other hand, when developing with a solution containing a polyelectrolyte in which a part of the salt has dissociated and a substance that forms a salt again, the polyelectrolyte contained in the pigment layer is solubilized and the peelability is improved. To do. The present invention is based on such knowledge, and in the method of forming the filter layer, the pigment particles are uniformly dispersed, and the non-elution property required at the portion to be left as a pattern and the area other than the exposed portion at the time of development are provided. This is to achieve both the required peelability.

【0008】以下、それぞれの内容について説明する。
本発明にかかわる高分子電解質は、高分子の構造単位が
解離基を有している高分子化合物であり、顔料を分散さ
せる分散剤でもある。具体的には、アクリル酸系、アク
リル酸−スチレン系等のアクリル酸共重合物、高分子ポ
リカルボン酸類、スチレンーポリカルボン酸共重合物、
芳香族スルホン酸ホルマリン縮合物、ポリオキシエチレ
ンアルキルエーテルサルフェート、ポリオキシエチレン
アルキルフェニルエーテルサルフェート等のナトリウム
塩、アンモニウム塩、アミン塩等を挙げることができ
る。より具体的にはアクリル酸系として、ディスペック
N−40(ナトリウム塩)(アライド・コロイド社
製)、ディスペックA−40(アンモニウム塩)(アラ
イド・コロイド社製)、アクリル酸共重合物として、デ
ィスペックG−40(ナトリウム塩)(アライド・コロ
イド社製)、ディスペックGA−40(アンモニウム
塩)(アライド・コロイド社製)、高分子ポリカルボン
酸類としてポイズ520(ナトリウム塩)(花王社
製)、ディスコートN−14(アンモニウム塩)(第一
工業製薬社製)、スチレンーポリカルボン酸共重合物と
してオキシラックSH−101(日本触媒化学社製)、
ポリオキシエチレンアルキルエーテルサルフェートのア
ンモニウム塩としてハイテノール08(第一工業製薬社
製)、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルサ
ルフェートのアンモニウム塩としてハイテノールN−0
8(第一工業製薬社製)等を例示することができる。こ
れらは単独でも混合物としても使用することができる。
The contents of each will be described below.
The polymer electrolyte according to the present invention is a polymer compound in which a polymer structural unit has a dissociative group, and is also a dispersant for dispersing a pigment. Specifically, acrylic acid-based, acrylic acid-styrene-based acrylic acid copolymers, polymer polycarboxylic acids, styrene-polycarboxylic acid copolymers,
Aromatic sulfonic acid formalin condensates, polyoxyethylene alkyl ether sulfates, sodium salts such as polyoxyethylene alkylphenyl ether sulfates, ammonium salts, amine salts and the like can be mentioned. More specifically, as an acrylic acid type, as Despec N-40 (sodium salt) (made by Allied Colloid), Despec A-40 (ammonium salt) (made as Allied Colloid), and acrylic acid copolymer , Despec G-40 (sodium salt) (manufactured by Allied Colloid), Despec GA-40 (ammonium salt) (manufactured by Allied Colloid), Poise 520 (sodium salt) as high molecular weight polycarboxylic acid (Kaosha) Made), DISCOTE N-14 (ammonium salt) (made by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.), styrene-polycarboxylic acid copolymer oxylac SH-101 (made by Nippon Shokubai Chemical Co., Ltd.),
Hitenol 08 (manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) as an ammonium salt of polyoxyethylene alkyl ether sulfate, and Hitenol N-0 as an ammonium salt of polyoxyethylene alkylphenyl ether sulfate.
8 (manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) and the like. These can be used alone or as a mixture.

【0009】これらの中において、塗布乾燥方法によっ
て顔料層を形成する場合には、揮発しやすいアンモニウ
ム塩が好ましく、さらにアクリル酸系またはアクリル酸
系共重合物のアンモニウム塩が、非溶出性と剥離性との
両立を図る上でとくに好ましい。
Among these, when the pigment layer is formed by the coating and drying method, an easily volatile ammonium salt is preferable, and the ammonium salt of acrylic acid-based or acrylic acid-based copolymer is non-eluting and exfoliated. It is particularly preferable in terms of compatibility with the property.

【0010】本発明にかかわる顔料は、無機系及び有機
系のいずれの顔料も使用することができる。特に、フィ
ルター付き蛍光体層のフィルター層中に均一に分散で
き、光の散乱を起こすことなくフィルター層が充分な透
明性を有することのできる顔料が好ましい。また、カラ
ー陰極線管のように製造工程中に高温工程を有する場合
には、無機のものが望ましい。
The pigment according to the present invention may be either an inorganic pigment or an organic pigment. Particularly preferred is a pigment that can be uniformly dispersed in the filter layer of the phosphor layer with a filter, and that allows the filter layer to have sufficient transparency without causing light scattering. When a high temperature process is included in the manufacturing process, such as a color cathode ray tube, an inorganic one is preferable.

【0011】具体的な例として以下の顔料を例示するこ
とができる。赤の顔料として、酸化第二鉄系である商品
名シコトランスレッドL−2817(粒子径0.01μ
m〜0.02μm、BASF社製)、アンスラキノン系
である商品名クロモファータルレッドA2B(粒子径
0.01μm、チバガイギー社製)、青の顔料として、
アルミン酸コバルト(Al2 3 −CoO)系である商
品名コバルトブルーX(粒子径0.01μm〜0.02
μm、東洋顔料社製)、群青系である商品名群青No.
8000(粒子径0.3μm、第一化成社製)、フタロ
シアニンブルー系である商品名リオノールブルーFG−
7370(粒子径0.01μm、東洋インキ社製)、緑
の顔料として、TiO2 −NiO−CoO−ZnO系で
ある商品名ダイピロキサイドTM−グリーン#3320
(粒子径0.01μm〜0.02μm、大日精化社
製)、CoO−Al2 3 −Cr2 3−TiO2 系で
ある商品名ダイピロキサイドTM−グリーン#3340
(粒子径0.01μm〜0.02μm、大日精化社
製)、CoO−Al2 3 −Cr2 3 系である商品名
ダイピロキサイドTM−グリーン#3420(粒子径
0.01μm〜0.02μm、大日精化社製)、Cr2
3 系である商品名ND−801(粒子径0.35μ
m、日本電工社製)、塩素化フタロシアニングリーン系
である商品名ファーストゲングリーンS(粒子径0.0
1μm、大日本インキ社製)、臭素化フタロシアニング
リーン系である商品名ファーストゲングリーン2YK
(粒子径0.01μm、大日本インキ社製)等を例示す
ることができる。
The following pigments can be given as specific examples. As a red pigment, ferric oxide-based trade name Sicotrans Red L-2817 (particle diameter 0.01 μm
m-0.02 μm, manufactured by BASF), anthraquinone-based product name Chromophartal Red A2B (particle diameter 0.01 μm, manufactured by Ciba Geigy), and a blue pigment.
Cobalt aluminate (Al 2 O 3 —CoO) -based trade name Cobalt Blue X (particle diameter 0.01 μm to 0.02
μm, manufactured by Toyo Pigment Co., Ltd.), a product name of ultramarine blue, ultramarine blue.
8000 (particle diameter 0.3 μm, manufactured by Daiichi Kasei Co., Ltd.), a phthalocyanine blue-based product name Rionol Blue FG-
7370 (particle diameter 0.01 μm, manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.), and as a green pigment, TiO 2 —NiO—CoO—ZnO system under the trade name Dipiroxide TM-Green # 3320.
(Particle diameter 0.01 μm to 0.02 μm, manufactured by Dainichiseika Co., Ltd.), CoO—Al 2 O 3 —Cr 2 O 3 —TiO 2 system, trade name Dipyroxide TM-Green # 3340.
(Particle size 0.01 μm to 0.02 μm, manufactured by Dainichiseika Co., Ltd.), CoO—Al 2 O 3 —Cr 2 O 3 system, trade name DIPIROXIDE TM-Green # 3420 (particle size 0.01 μm to 0) 0.02 μm, manufactured by Dainichiseika Co., Ltd., Cr 2
O is a 3 series trade name ND-801 (particle size 0.35μ
m, manufactured by Nippon Denko Co., Ltd., a chlorinated phthalocyanine green type product name Fastgen Green S (particle diameter 0.0)
1 μm, made by Dainippon Ink and Co., Ltd., brominated phthalocyanine green type trade name Fastgen Green 2YK
(Particle diameter 0.01 μm, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) and the like.

【0012】高分子電解質からなる分散剤に分散させる
顔料濃度は、0.1重量%〜50重量%、好ましくは1
重量%〜50重量%の範囲である。顔料濃度が0.1重
量%未満であると、顔料層の着色が認められず、1重量
%を超えると、より明瞭に着色が認められるようにな
る。また、50重量%を超えると、分散液の粘度が急激
に増加してしまうため、均一な膜が塗布できなくなる。
The concentration of the pigment dispersed in the dispersant comprising the polyelectrolyte is 0.1% by weight to 50% by weight, preferably 1%.
It is in the range of 50% by weight to 50% by weight. When the pigment concentration is less than 0.1% by weight, coloring of the pigment layer is not recognized, and when it exceeds 1% by weight, more distinct coloring is recognized. On the other hand, if it exceeds 50% by weight, the viscosity of the dispersion liquid increases sharply, making it impossible to apply a uniform film.

【0013】また、顔料濃度(重量%)に対する高分子
電解質濃度(重量%)の比率(=高分子電解質濃度/顔
料濃度)は、0.005〜1、好ましくは0.01〜
0.5の範囲である。比率が0.005より小さいと、
顔料粒子の分散力が弱くなり、顔料粒子の凝集が生じや
すくなり、1より大きいと、着色力が弱くなり、ベーキ
ングを施すと失透が生じてしまうからである。
The ratio of the polyelectrolyte concentration (wt%) to the pigment concentration (wt%) (= polyelectrolyte concentration / pigment concentration) is 0.005-1, preferably 0.01-
It is in the range of 0.5. If the ratio is less than 0.005,
This is because the dispersive power of the pigment particles becomes weak and aggregation of the pigment particles easily occurs, and when it is greater than 1, the coloring power becomes weak and devitrification occurs when baking is performed.

【0014】上述の高分子電解質及び顔料を純水ととも
に混合撹拌することにより、顔料層を形成する分散液が
得られる。なお、純水中に10重量%以下であれば、水
溶性の有機溶媒例えばアルコール等を含ませることがで
きる。
By mixing and stirring the above-mentioned polymer electrolyte and pigment with pure water, a dispersion liquid for forming a pigment layer can be obtained. If the pure water is 10% by weight or less, a water-soluble organic solvent such as alcohol can be included.

【0015】この発明にかかわるフォトレジスト液とし
ては、重クロム酸アンモニウム(ADC)/ポリビニル
アルコール(PVA)、重クロム酸ナトリウム(SD
C)/PVA、ジアゾニウム塩等/PVA、スチバゾル
系、ADC/カゼイン等の水溶性フォトレジストを使用
できる。
The photoresist liquid according to the present invention includes ammonium dichromate (ADC) / polyvinyl alcohol (PVA) and sodium dichromate (SD).
C) / PVA, diazonium salt etc./PVA, stibasol type, ADC / casein etc. water-soluble photoresist can be used.

【0016】フォトレジストを顔料分散液中に含有させ
る場合、フォトレジスト濃度/高分子電解質濃度は、
0.005〜100、より好ましくは0.03〜30で
ある。0.005より小さいとパターニング特性が劣
化、特に低感度となってしまい、100より大きいと失
透を生じてフィルター特性が劣化するからである。
When the photoresist is contained in the pigment dispersion, the photoresist concentration / polymer electrolyte concentration is
It is 0.005 to 100, and more preferably 0.03 to 30. This is because if it is less than 0.005, the patterning characteristics are deteriorated, especially the sensitivity is low, and if it is more than 100, devitrification occurs and the filter characteristics are deteriorated.

【0017】次に、顔料層を現像する工程における現像
液について説明する。現像液としては、塩の一部が解離
した高分子電解質と再び塩を形成することにより、水等
に不溶性となった高分子電解質を可溶化する物質を用い
たアルカリ水溶液を使用することができる。このような
物質としては、LiCl、LiNO3、NaCl、Na
2 CO3 、Na2 2 3 、NaOH、重クロム酸ナト
リウム(SDC)、重クロム酸アンモニウム(ADC)
などのアルカリ金属の各種塩、金属の水酸化物、アンモ
ニウム塩等がある。これらは単独でも混合しても使用す
ることができる。
Next, the developing solution in the step of developing the pigment layer will be described. As the developer, an alkaline aqueous solution using a substance that solubilizes the polyelectrolyte that has become insoluble in water or the like by forming a salt again with the polyelectrolyte in which a part of the salt is dissociated can be used. . Examples of such substances include LiCl, LiNO 3 , NaCl, Na
2 CO 3 , Na 2 S 2 O 3 , NaOH, sodium dichromate (SDC), ammonium dichromate (ADC)
There are various salts of alkali metals such as, metal hydroxides, ammonium salts and the like. These can be used alone or in a mixture.

【0018】本発明にあっては、アクリル酸系またはア
クリル酸系共重合物のアンモニウム塩を分散剤として使
用する場合において、剥離性と塗布乾燥した顔料層の非
溶出性を達成できる好ましい物質としてはアルカリ金属
塩であり、イオン半径の小さいLiまたはNaイオンを
含む化合物が好ましく、特に重クロム酸ナトリウム(S
DC)が好ましい。
In the present invention, when an ammonium salt of acrylic acid-based or acrylic acid-based copolymer is used as a dispersant, it is preferable as a preferable substance capable of achieving releasability and non-elution of the coated and dried pigment layer. Is an alkali metal salt, preferably a compound containing Li or Na ions having a small ionic radius, and particularly sodium dichromate (S
DC) is preferred.

【0019】良好なパターン特性を得るためには、PH
8.5以上のアルカリ水溶液を使用することが好まし
く、特に好ましくはPH9.5以上のアルカリ水溶液を
使用することである。
In order to obtain good pattern characteristics, PH
It is preferable to use an alkaline aqueous solution having a pH of 8.5 or more, and particularly preferable to use an alkaline aqueous solution having a pH of 9.5 or more.

【0020】本発明の製造方法は、以下のような手順で
なされる。まず、顔料粒子と分散剤としての高分子電解
質顔料分散液を主成分とする顔料分散液を基板上に塗布
する。塗布方法としては、基板の形状、大きさ等を考慮
して適宜選択すればよく、スピンコート法、ローラー
法、浸漬法などを用いることができる。均一で所定の膜
厚を得るためにはスピンコート法が特に好ましい。次に
乾燥させるが、乾燥方法としては、水分を揮発させると
ともに、高分子電解質塩中の塩の一部を解離させること
ができれば、とくに制限なく種々の方法を採用すること
ができる。例えば、ヒーターによる乾燥、熱風による乾
燥、室温における長時間の乾燥を用いることができる。
The manufacturing method of the present invention is performed in the following procedure. First, a pigment dispersion containing a pigment particle and a polymer electrolyte pigment dispersion as a dispersant as main components is applied onto a substrate. The coating method may be appropriately selected in consideration of the shape and size of the substrate, and a spin coating method, a roller method, a dipping method or the like can be used. The spin coating method is particularly preferable in order to obtain a uniform and predetermined film thickness. Next, it is dried. As a drying method, various methods can be adopted without particular limitation as long as the water can be volatilized and a part of the salt in the polymer electrolyte salt can be dissociated. For example, drying with a heater, drying with hot air, and long-time drying at room temperature can be used.

【0021】なお、顔料層のみでパターニングを行うた
めには、顔料分散液中にフォトレジストを含有させてお
けばよい。このようにフォトレジストを含有する顔料層
を塗布形成しておけば、高圧水銀灯等を用いた露光によ
り光照射された部分は硬膜化する。その後、塩の一部が
解離した高分子電解質と再び塩を形成することにより、
水等に不溶性となった高分子電解質を可溶化する物質を
含有するアルカリ水溶液を用いて露光することにより、
所定のフィルターパターンを得ることができる。 ま
た、フォトレジストを顔料分散液に含有させるのではな
く、顔料層を塗布乾燥させた後にフォトレジスト層とし
て形成してから、露光・現像を行うようにすると、感光
特性の向上、即ち露光時間が短縮されて密着性が向上
し、また、形成されるフィルター層の厚さ範囲の拡大が
図られる。
In order to perform patterning only with the pigment layer, the pigment dispersion may contain a photoresist. If a pigment layer containing a photoresist is formed by coating in this way, the portion irradiated with light by exposure using a high-pressure mercury lamp or the like hardens. After that, by forming a salt again with the polyelectrolyte in which a part of the salt is dissociated,
By exposing with an alkaline aqueous solution containing a substance that solubilizes the polymer electrolyte that has become insoluble in water,
A predetermined filter pattern can be obtained. Further, when the exposure / development is performed after forming the photoresist layer after coating and drying the pigment layer, instead of including the photoresist in the pigment dispersion liquid, the photosensitivity is improved, that is, the exposure time is increased. The length is shortened to improve the adhesion, and the thickness range of the formed filter layer is expanded.

【0022】複数色、通常は赤、緑、青の3色のカラー
フィルター層を形成する場合は、各色ごとに上記工程を
繰り返せばよい。
When a color filter layer of a plurality of colors, usually three colors of red, green and blue, is formed, the above steps may be repeated for each color.

【0023】また、フィルター層の上に蛍光体層が積層
されてなるフィルター付き蛍光面を有するカラー陰極線
管を得るためには、顔料分散液を塗布乾燥した後に露光
する際にはシャドウマスクを介して所定パターンに露光
すればよく、3色のフィルター層を形成した後に通常の
従来より公知の方法にて蛍光体層を形成すればよい。な
お、上述の顔料層を塗布乾燥した後にフォトレジスト層
を積層させて露光・現像する方法において、フォトレジ
スト液中に蛍光体層を含有させておけば、顔料層と蛍光
体層のパターニングを同時に行うことができる。
Further, in order to obtain a color cathode ray tube having a phosphor screen with a filter, in which a phosphor layer is laminated on a filter layer, a pigment mask is applied through a shadow mask during exposure after coating and drying. Then, the phosphor layer may be exposed in a predetermined pattern, and then the phosphor layer may be formed by an ordinary and conventionally known method after forming the filter layers of three colors. In the method of coating and drying the above-mentioned pigment layer and then stacking and exposing the photoresist layer, if the photoresist solution contains a phosphor layer, the pigment layer and the phosphor layer are patterned at the same time. It can be carried out.

【0024】[0024]

【作用】本発明によると、基板上に顔料層を形成するに
際して、高分子電解質の塩を分散剤に使用して塗布乾燥
すると、高分子電解質中の塩の一部が解離することによ
り、顔料層が溶媒(水)に溶解しにくくなる。例えば、
ポリアクリル酸アンモニウム塩にあってはポリアクリル
酸が形成され水に不溶性となる。一方、現像液には高分
子電解質と再び塩を形成するLiやNaイオンを含有さ
せておくと、このイオンが顔料層中に拡散し、高分子電
解質の塩と置換し溶媒に可溶性となるものと考えられ
る。例えば、上述のポリアクリル酸にあってはポリアク
リル酸ナトリウム塩になって、水に可溶性となる。した
がって、現像によるパターニングでの剥離性が向上す
る。なお、パターンとして残すべき部分は、顔料層中も
しくは顔料層の上に形勢されたレジストが露光により硬
化しているので、現像により剥離されることなくそのま
ま基板上に残る。
According to the present invention, in forming a pigment layer on a substrate, when a salt of a polyelectrolyte is used as a dispersant and is applied and dried, a part of the salt in the polyelectrolyte is dissociated, resulting in the pigment. The layer is less soluble in the solvent (water). For example,
In the polyacrylic acid ammonium salt, polyacrylic acid is formed and becomes insoluble in water. On the other hand, when the developer contains Li or Na ions that form a salt again with the polymer electrolyte, these ions diffuse into the pigment layer and substitute with the salt of the polymer electrolyte to become soluble in the solvent. it is conceivable that. For example, the above-mentioned polyacrylic acid becomes polyacrylic acid sodium salt and becomes soluble in water. Therefore, the releasability in patterning by development is improved. The portion that should be left as a pattern remains on the substrate as it is without being peeled off by development, because the resist formed in or on the pigment layer is cured by exposure.

【0025】[0025]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。なお、実施例は、カラー陰極線管のフィル
ター付き蛍光面を製造する場合について説明する。 実施例1 図1及び図2は、この発明の一実施例の工程を示す図で
ある。基本的には、図1のA〜Eの工程で一色分のフィ
ルターパターンを形成することができる。複数色のフィ
ルターパターンを形成する場合には、このA〜Eの工程
を各色について繰り返せばよい。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, an Example demonstrates the case where a fluorescent screen with a filter of a color cathode ray tube is manufactured. Embodiment 1 FIGS. 1 and 2 are views showing steps of an embodiment of the present invention. Basically, a filter pattern for one color can be formed in the steps A to E of FIG. When forming a filter pattern of a plurality of colors, these steps A to E may be repeated for each color.

【0026】まず、図2(a)に示すように、例えばガ
ラスからなる基板、カラー陰極線管のパネル10内面
に、ブラックマトリックスとしての所定パターンの光吸
収層12を形成する。この光吸収層は従来公知の方法で
形成することができる。すなわち、基板上にレジストを
塗布し、シャドウマスクを介して露光し、現像し、乾燥
して、顔料層及び蛍光体層の形成予定部にストライプ状
またはドット状の光硬化膜を残留させる。この上に光吸
収物質、例えば黒鉛を塗布して結着させた後、過酸化水
素水で洗浄して光硬化膜を溶解し、そのうえの光吸収層
を光吸収物質もろとも除去し、顔料層及び蛍光体層の形
成予定部となるホール部を露出させて、パターニングさ
れた光吸収層12を形成する。
First, as shown in FIG. 2A, a light absorption layer 12 having a predetermined pattern as a black matrix is formed on the inner surface of the panel 10 of the color cathode ray tube, which is made of, for example, glass. This light absorption layer can be formed by a conventionally known method. That is, a resist is applied on a substrate, exposed through a shadow mask, developed, and dried to leave a stripe-shaped or dot-shaped photo-cured film on a portion where a pigment layer and a phosphor layer are to be formed. After applying a light-absorbing substance, for example, graphite, to bind it, wash it with hydrogen peroxide solution to dissolve the photo-cured film, remove the light-absorbing layer and the light-absorbing substance, and remove the pigment layer. Also, the hole portion, which is the portion where the phosphor layer is to be formed, is exposed to form the patterned light absorption layer 12.

【0027】次に、青、緑、赤のフィルターを形成する
ための顔料分散液として、次の組成のものを準備した。
Next, a pigment dispersion having the following composition was prepared as a pigment dispersion for forming blue, green and red filters.

【0028】青顔料分散液は、青顔料粒子としてアルミ
ン酸コバルト(商品名コバルトブルーX(粒子径0.0
1μm〜0.02μm、東洋顔料社製)を30重量%、
フォトレジストとして重クロム酸アンモニウム(AD
C)+ポリビニルアルコール(PVA)を0.5重量
%、高分子電解質としてポリアクリル酸共重合体のアン
モニウム塩(ディスペックGA−40、アライド・コロ
イド社製)を0.7重量%、それぞれ純水中に分散させ
て作製した。このとき、高分子電解質濃度/顔料濃度比
は0.023、レジスト濃度/高分子電解質濃度は0.
714、レジスト濃度/顔料濃度は0.017となって
いる。
The blue pigment dispersion contains cobalt aluminate (trade name Cobalt Blue X (particle size 0.0
1 μm to 0.02 μm, manufactured by Toyo Pigment Co., Ltd.) 30% by weight,
Ammonium dichromate as a photoresist (AD
C) + polyvinyl alcohol (PVA) 0.5% by weight, and 0.7% by weight of ammonium salt of polyacrylic acid copolymer (Despec GA-40, manufactured by Allied Colloid Co., Ltd.) as a polymer electrolyte. It was prepared by dispersing in water. At this time, the polymer electrolyte concentration / pigment concentration ratio was 0.023, and the resist concentration / polymer electrolyte concentration was 0.
714, and the resist concentration / pigment concentration is 0.017.

【0029】緑顔料分散液は、緑顔料粒子としてTiO
2 −NiO−CoO−ZnO(商品名タイピロキサイド
TMグリーン#3320(粒子径0.01μm〜0.0
2μm、大日精化社製)を30重量%、フォトレジスト
としてADC+PVAを2重量%、高分子電解質として
アクリル酸のナトリウム塩(商品名ディスペックN−4
0)を0.7重量%、それぞれ純水中に分散させて作製
した。このとき、高分子電解質濃度/顔料濃度比は0.
023、レジスト濃度/高分子電解質濃度は2.85
7、レジスト濃度/顔料濃度は0.067となってい
る。
The green pigment dispersion contains TiO as green pigment particles.
2- NiO-CoO-ZnO (trade name Typyroxide TM Green # 3320 (particle size 0.01 μm to 0.0
2 μm, manufactured by Dainichiseika Co., Ltd., 30% by weight, ADC + PVA as a photoresist, 2% by weight, sodium salt of acrylic acid as a polymer electrolyte (trade name: Despec N-4)
0) was prepared by dispersing 0.7% by weight in pure water. At this time, the polymer electrolyte concentration / pigment concentration ratio was 0.
023, the resist concentration / polymer electrolyte concentration is 2.85
7. The resist concentration / pigment concentration is 0.067.

【0030】赤顔料分散液は、赤顔料粒子としてFe2
3 の微粒子(粒子径0.01μm〜0.02μm)を
30重量%、フォトレジストとしてADC+PVAを2
重量%、高分子電解質としてポリオキシエチレンアルキ
ルエーテルサルフェートのアンモニウム塩(ハイテノー
ル08、第一工業製薬社製)を0.7重量%を、それぞ
れ純水中に分散させて作製した。このとき、高分子電解
質濃度/顔料濃度比は0.023、レジスト濃度/高分
子電解質濃度は2.857、レジスト濃度/顔料濃度は
0.067となっている。
The red pigment dispersion contains Fe 2 as red pigment particles.
30% by weight of O 3 fine particles (particle diameter 0.01 μm to 0.02 μm), and ADC + PVA as a photoresist 2
%, And 0.7% by weight of ammonium salt of polyoxyethylene alkyl ether sulfate (Hitenol 08, manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) as a polymer electrolyte were prepared by dispersing in pure water. At this time, the polymer electrolyte concentration / pigment concentration ratio is 0.023, the resist concentration / polymer electrolyte concentration is 2.857, and the resist concentration / pigment concentration is 0.067.

【0031】塗布工程Aおよび乾燥工程Bは、以下のよ
うな方法で行った。基板としてのカラー陰極線管のパネ
ル10を温度30℃に保持して、まず上記青顔料分散液
を塗布した。ついで、パネル10を100〜150rp
mで回転させ、過剰の顔料分散液を振り切り、一定膜厚
を有する塗布層とする。その後、ヒーター温度120℃
にて3〜4分間乾燥し、図2(b)に示すような青色顔
料塗布層20Bを得た。
The coating step A and the drying step B were performed by the following method. The panel 10 of the color cathode ray tube as the substrate was kept at a temperature of 30 ° C., and the blue pigment dispersion liquid was applied first. Next, the panel 10 is 100-150 rp
Rotate at m to shake off excess pigment dispersion to form a coating layer having a constant film thickness. After that, heater temperature 120 ℃
And dried for 3 to 4 minutes to obtain a blue pigment coating layer 20B as shown in FIG. 2 (b).

【0032】パターン露光工程Cは以下のような方法で
行った。図2(c)に示すように図示しないシャドウマ
スクを介して、高圧水銀灯を用いて所定のパターンに露
光した。
The pattern exposure step C was performed by the following method. As shown in FIG. 2C, a high-pressure mercury lamp was used to expose a predetermined pattern through a shadow mask (not shown).

【0033】現像工程Dおよび乾燥工程Eは、以下のよ
うな方法で行った。霧状にした例えばPH9で、NaO
Hを含有してなるアルカリ水溶液からなる現像液を現像
液圧2〜10kg/cm2 でスプレーすることにより現
像して、図2(d)に示すように、所定のパターンを有
する青色顔料層30Bを形成した。
The developing step D and the drying step E were performed by the following method. Atomized, for example, with PH9, NaO
By developing a developing solution composed of an alkaline aqueous solution containing H at a developing solution pressure of 2 to 10 kg / cm 2 to develop, a blue pigment layer 30B having a predetermined pattern as shown in FIG. 2 (d). Was formed.

【0034】次に上記の青顔料層形成工程と同様にして
緑顔料層および赤顔料層を形成する。このとき現像液
は、緑顔料層及び赤顔料層ともにLiClを含有してな
るアルカリ水溶液を用いた。こうして、図2(e)に示
すように、パネル10内面上に青色顔料層30B、緑色
顔料層30G及び赤色顔料層30Rからなるフィルター
パターンを得た。
Next, a green pigment layer and a red pigment layer are formed in the same manner as the above-mentioned blue pigment layer forming step. At this time, the developer used was an alkaline aqueous solution containing LiCl in both the green pigment layer and the red pigment layer. Thus, as shown in FIG. 2E, a filter pattern including the blue pigment layer 30B, the green pigment layer 30G, and the red pigment layer 30R was obtained on the inner surface of the panel 10.

【0035】次に、通常の方法により、図2(f)に示
すように、青色蛍光体層40B、緑色蛍光体層40G及
び赤色蛍光体層40Rをそれぞれ青色顔料層30B、緑
色顔料層30G及び赤色顔料層30Rと対応するように
形成した。
Next, as shown in FIG. 2 (f), the blue phosphor layer 40B, the green phosphor layer 40G, and the red phosphor layer 40R are respectively subjected to a blue pigment layer 30B, a green pigment layer 30G, and a green pigment layer 30G by an ordinary method. It was formed so as to correspond to the red pigment layer 30R.

【0036】なお、蛍光体懸濁液は以下の組成のものを
用いた。青蛍光体懸濁液は、青色蛍光体(ZnS:A
g,Cl)100g、ポリビニルアルコール5g、重ク
ロム酸アンモニウム0.30g、界面活性剤0.01
g、純水140gを混合撹拌して作製した。緑蛍光体懸
濁液は、緑色蛍光体(ZnS:Cu,Al)100g、
ポリビニルアルコール8g,重クロム酸アンモニウム
0.40g、界面活性剤0.01g、純水160gを混
合撹拌して作製した。青蛍光体懸濁液は、赤色蛍光体
(Y2 2 S:Eu)100g、ポリビニルアルコール
10g、重クロム酸アンモニウム0.50g,界面活性
剤0.01g、純水190gを混合撹拌して作製した。
The phosphor suspension used had the following composition. The blue phosphor suspension is a blue phosphor (ZnS: A
g, Cl) 100 g, polyvinyl alcohol 5 g, ammonium dichromate 0.30 g, surfactant 0.01
g, and 140 g of pure water were mixed and stirred. The green phosphor suspension is 100 g of green phosphor (ZnS: Cu, Al),
8 g of polyvinyl alcohol, 0.40 g of ammonium dichromate, 0.01 g of a surfactant, and 160 g of pure water were mixed and stirred. The blue phosphor suspension is prepared by mixing 100 g of the red phosphor (Y 2 O 2 S: Eu), 10 g of polyvinyl alcohol, 0.50 g of ammonium dichromate, 0.01 g of a surfactant, and 190 g of pure water with stirring. did.

【0037】このようにすると、基板10上に顔料層及
び蛍光体層を有する所望のフィルター付き蛍光体層を得
ることができ、これを用いたカラー陰極線管はコントラ
ストおよび色純度特性が非常に優れていた。さらに、フ
ィルターパターンが所定の位置、例えば青蛍光体層が形
成されるべき位置に対応して青フィルターを形成して、
他色の位置には青フィルターの顔料粒子が残渣として残
ることがなく、フィルターに混色がなく色純度特性が優
れていた。
In this way, it is possible to obtain a desired phosphor layer with a filter having a pigment layer and a phosphor layer on the substrate 10, and a color cathode ray tube using this has excellent contrast and color purity characteristics. Was there. Further, a blue pattern is formed corresponding to a predetermined position of the filter pattern, for example, a position where the blue phosphor layer is to be formed,
The pigment particles of the blue filter did not remain as a residue at the positions of other colors, and there was no color mixing in the filter, and the color purity characteristics were excellent.

【0038】実施例2 次に、第2の実施例について図3及び図4を用いて説明
する。本実施例の工程の流れは図3に示すようになって
おり、複数色のフィルターパターンを形成する場合は図
3の工程を繰り返すことになる。まず、上記実施例1と
同様にブラックマトリックスが形成されたパネルを準備
する。
Second Embodiment Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS. 3 and 4. The process flow of this embodiment is as shown in FIG. 3, and the process of FIG. 3 is repeated when forming a filter pattern of a plurality of colors. First, a panel on which a black matrix is formed is prepared in the same manner as in Example 1 above.

【0039】顔料分散液塗布工程Fおよび乾燥工程B
は、以下のような方法で行った。青、緑、赤のフィルタ
ーを形成するための顔料分散液として次の組成のものを
準備した。これは、上記実施例1で使用した顔料分散液
と比較してフォトレジストを含有していないものであ
る。青顔料分散液は、青顔料粒子としてアルミン酸コバ
ルト(商品名コバルトブルーX(粒子径0.01μm〜
0.02μm、東洋顔料社製)を30重量%、高分子電
解質としてポリアクリル酸共重合体のアンモニウム塩
(ディスペックGA−40、アライド・コロイド社製)
を0.7重量%、それぞれ純水中に分散させて作製し
た。このとき、高分子電解質濃度/顔料濃度比は0.0
23となっている。
Pigment dispersion coating step F and drying step B
Was performed by the following method. A pigment dispersion having the following composition was prepared as a pigment dispersion for forming blue, green and red filters. This contains no photoresist compared to the pigment dispersion used in Example 1 above. The blue pigment dispersion contains cobalt aluminate (trade name Cobalt Blue X (particle diameter 0.01 μm-
0.02 μm, manufactured by Toyo Pigment Co., Ltd., 30% by weight, ammonium salt of polyacrylic acid copolymer as polymer electrolyte (Despec GA-40, manufactured by Allied Colloid Co., Ltd.)
Was prepared by dispersing 0.7% by weight in pure water. At this time, the polymer electrolyte concentration / pigment concentration ratio is 0.0
It is 23.

【0040】緑顔料分散液は、緑顔料粒子としてTiO
2 −NiO−CoO−ZnO(商品名タイピロキサイド
TMグリーン#3320(粒子径0.01μm〜0.0
2μm、大日精化社製)を30重量%、高分子電解質と
してアクリル酸のナトリウム塩(商品名ディスペックN
−40)を0.7重量%、それぞれ純水中に分散させて
作製した。このとき、高分子電解質濃度/顔料濃度比は
0.023となっている。
The green pigment dispersion contains TiO as green pigment particles.
2- NiO-CoO-ZnO (trade name Typyroxide TM Green # 3320 (particle size 0.01 μm to 0.0
2 μm, manufactured by Dainichiseika Co., Ltd., 30% by weight, sodium salt of acrylic acid as a polymer electrolyte (trade name: Despec N)
-40) was dispersed in pure water in an amount of 0.7% by weight. At this time, the polymer electrolyte concentration / pigment concentration ratio is 0.023.

【0041】赤顔料分散液は、赤顔料粒子としてFe2
3 の微粒子(粒子径0.01μm〜0.02μm)を
20重量%、高分子電解質としてポリオキシエチレンア
ルキルエーテルサルフェートのアンモニウム塩(ハイテ
ノール08、第一工業製薬社製)を0.7重量%、それ
ぞれ純水中に分散させて作製した。このとき、高分子電
解質濃度/顔料濃度比は0.035となっている。
The red pigment dispersion contains Fe 2 as red pigment particles.
20% by weight of O 3 fine particles (particle diameter 0.01 μm to 0.02 μm) and 0.7% by weight of polyoxyethylene alkyl ether sulfate ammonium salt (Hitenol 08, manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) as a polymer electrolyte. %, And were dispersed in pure water. At this time, the polymer electrolyte concentration / pigment concentration ratio is 0.035.

【0042】実施例1と同様に、パネル10を温度30
℃に保持して、まず上記青顔料分散液を塗布した。つい
で、パネル10を100〜150rpmで回転させ、過
剰の顔料分散液を振り切った。ヒーター温度120℃に
て3〜4分間乾燥して青顔料層を得た。
As in Example 1, the panel 10 was heated to a temperature of 30.
The blue pigment dispersion liquid was first applied while maintaining the temperature at 0 ° C. Then, the panel 10 was rotated at 100 to 150 rpm to shake off excess pigment dispersion. It was dried at a heater temperature of 120 ° C. for 3 to 4 minutes to obtain a blue pigment layer.

【0043】レジスト液塗布工程G1および乾燥工程H
は、以下のような方法で行った。ポリビニルアルコール
を3重量%、重クロム酸アンモニウムを0.20重量
%、界面活性剤を0.01重量%、純水を残部とする組
成のフォトレジスト溶液を準備して、顔料層形成と同様
の方法にて塗布乾燥して、図4(b)に示すように、青
顔料層22Bの上にフォトレジスト層24を積層させ
る。
Resist solution coating step G1 and drying step H
Was performed by the following method. Prepare a photoresist solution having a composition in which polyvinyl alcohol is 3% by weight, ammonium dichromate is 0.20% by weight, a surfactant is 0.01% by weight, and pure water is the rest, and the same as in the pigment layer formation. By coating and drying by the method, as shown in FIG. 4B, a photoresist layer 24 is laminated on the blue pigment layer 22B.

【0044】パターン露光工程Cは以下のような方法で
行った。図4(c)に示すように、図示しないシャドウ
マスクを介して、高圧水銀灯を用いて所定のパターンに
露光した。本実施例では、実施例1のような色素とレジ
ストを混合する方式に比べて1/5の露光時間で済ん
だ。
The pattern exposure step C was performed by the following method. As shown in FIG. 4C, a predetermined pattern was exposed using a high pressure mercury lamp through a shadow mask (not shown). In this embodiment, the exposure time is ⅕ as compared with the method of mixing the dye and the resist as in the first embodiment.

【0045】現像工程Dは以下のような方法で行った。
霧状にした例えばPH9で、Na2 CO3 を含有してな
るアルカリ水溶液からなる現像液を現像液圧2〜10k
g/cm2 でスプレーすることにより現像して、図4
(d)に示すように、青色顔料層22Bとレジスト層2
4が積層したパターンを形成した。次に上記の青顔料層
形成工程と同様にして緑顔料層および赤顔料層を形成す
る。このとき現像液は緑顔料層についてはNa2 CO3
を含有してなるアルカリ水溶液を用い、赤顔料層につい
てはNa2 CO3 を含有してなるアルカリ水溶液を用い
た。こうして、図4(e)に示すようなパネル10内面
上に青色顔料層22B、緑色顔料層22G及び赤色顔料
層22Rからなるフィルターパターンを得た。
The developing step D was performed by the following method.
A nebulized PH 9 solution, for example, is used as a developer solution of an alkaline aqueous solution containing Na 2 CO 3 at a developer pressure of 2 to 10 k.
Development by spraying at g / cm 2
As shown in (d), the blue pigment layer 22B and the resist layer 2
4 formed a laminated pattern. Next, a green pigment layer and a red pigment layer are formed in the same manner as the blue pigment layer forming step described above. At this time, the developer is Na 2 CO 3 for the green pigment layer.
Was used, and an aqueous alkaline solution containing Na 2 CO 3 was used for the red pigment layer. In this way, a filter pattern including the blue pigment layer 22B, the green pigment layer 22G and the red pigment layer 22R was obtained on the inner surface of the panel 10 as shown in FIG. 4 (e).

【0046】次に、青、緑、赤のそれぞれの顔料層の上
のレジスト層24を剥離した後、通常の方法により図4
(f)に示すように蛍光体層42B,42G,42Rを
形成する。なお、使用する蛍光体懸濁液は上記実施例1
と同様である。こうして、パネル内面1上に顔料層及び
蛍光体層を有する所望のフィルター付き蛍光体層が得ら
れ、これを用いたカラー陰極線はコントラストや色純度
が優れたものとなる。さらに、フィルターパターンが所
定の位置、例えば青蛍光体層が形成されるべき位置に対
応して青フィルターを形成して、他色の位置には青フィ
ルターの顔料粒子が残渣として残ることがなく、混色が
なく色純度特性の優れたフィルターとなる。
Next, after peeling off the resist layer 24 on each of the blue, green and red pigment layers, the ordinary method shown in FIG.
As shown in (f), phosphor layers 42B, 42G, 42R are formed. The phosphor suspension used is the same as in Example 1 above.
Is the same as Thus, a desired phosphor layer with a filter having a pigment layer and a phosphor layer on the inner surface 1 of the panel is obtained, and the color cathode ray using the phosphor layer has excellent contrast and color purity. Furthermore, the filter pattern has a predetermined position, for example, a blue filter is formed corresponding to the position where the blue phosphor layer is to be formed, and the pigment particles of the blue filter do not remain as a residue at positions of other colors, It is a filter with no color mixture and excellent color purity characteristics.

【0047】なお、上記実施例1では露光に対する感度
を向上させようとすると、顔料に対するレジストの割合
を高めることになり透明性が劣化してしまうおそれがあ
る。これに対して本実施例では、レジスト層を別に設け
ているため、顔料層の透明性に影響を与えることなく露
光感度を大幅に向上させることができる。なお、乾燥に
より不溶性となった顔料層のパターンとして残す部分は
レジスト層でカバーされることになるので、現像液によ
り可溶性になることはなく、パターニング特性上は影響
ない。
In the first embodiment, if the sensitivity to exposure is attempted to be improved, the ratio of the resist to the pigment is increased and the transparency may be deteriorated. On the other hand, in this embodiment, since the resist layer is separately provided, the exposure sensitivity can be significantly improved without affecting the transparency of the pigment layer. Since the portion of the pigment layer that remains insoluble by drying as a pattern is covered with the resist layer, it is not soluble in the developing solution and does not affect the patterning characteristics.

【0048】実施例3 上記実施例2は顔料層の上にレジスト層を形成して各色
の顔料層をパターニングした後に各色の蛍光体層を形成
するものであるが、レジスト層に蛍光体を含有させてお
けば顔料層と蛍光体層のパターニングが同時に行える。
図5および図6を用いて本実施例について説明する。本
実施例では図5のF,B,G2,H,C,D,Eの工程
で一色分のフィルター付き蛍光体層が形成できるので、
図5の工程を各色について繰り返すだけでカラー表示の
蛍光面を形成することができる。
Example 3 In Example 2, the resist layer is formed on the pigment layer and the pigment layer of each color is patterned, and then the phosphor layer of each color is formed. However, the resist layer contains a phosphor. If so, the pigment layer and the phosphor layer can be patterned at the same time.
This embodiment will be described with reference to FIGS. 5 and 6. In this embodiment, since the phosphor layer with a filter for one color can be formed in the steps F, B, G2, H, C, D and E of FIG.
A fluorescent screen for color display can be formed simply by repeating the process of FIG. 5 for each color.

【0049】顔料層塗布工程Fおよび乾燥工程Bは、以
下のような方法で行った。まず、上記実施例2と同様の
顔料分散液および実施例1と同様の蛍光体懸濁液を各色
分準備する。次に、図6(a)に示すように光吸収層1
2が形成されたパネル10上に青顔料分散液を上記実施
例2と同様の方法にてパネル内面に塗布乾燥して青顔料
層を形成する。
The pigment layer coating step F and the drying step B were performed by the following methods. First, a pigment dispersion similar to that in Example 2 and a phosphor suspension similar to Example 1 are prepared for each color. Next, as shown in FIG. 6A, the light absorption layer 1
The blue pigment dispersion is applied onto the panel 10 on which No. 2 is formed by the same method as in Example 2 above and dried to form a blue pigment layer.

【0050】蛍光体含有レジスト塗布工程G2および乾
燥工程Hは、以下のような方法で行った。青顔料層が形
成された基板上に青蛍光体懸濁液を塗布乾燥して、図6
(b)に示すように顔料層22Bの上に蛍光体含有レジ
スト層42Bを積層させる。
The phosphor-containing resist coating step G2 and the drying step H were performed by the following method. The blue phosphor suspension is applied and dried on the substrate on which the blue pigment layer is formed.
As shown in (b), the phosphor-containing resist layer 42B is laminated on the pigment layer 22B.

【0051】パターン露光工程Hは以下のような方法で
行った。図6(c)に示すように、図示しないシャドウ
マスクを介して、高圧水銀灯を用いて所定のパターンに
露光した。
The pattern exposure step H was performed by the following method. As shown in FIG. 6C, a predetermined pattern was exposed using a high pressure mercury lamp through a shadow mask (not shown).

【0052】現像工程Dは以下のような方法で行った。
霧状にした例えばPH9で、NaOHを含有してなるア
ルカリ水溶液からなる現像液を現像液圧2〜10kg/
cm2 でスプレーすることにより現像して、図6(d)
に示すように、青色顔料層22Bと青蛍光体層42Bの
積層パターンを形成した。次に上記の青顔料層形成工程
と同様にして緑顔料/蛍光体層および赤顔料/蛍光体層
を形成する。このとき現像液は緑顔料層についてはNa
OHを含有してなるアルカリ水溶液を用い、赤顔料層に
ついてはNaOH+NaClを含有してなるアルカリ水
溶液を用いた。このように形成すること上記実施例1お
よび2に比較して露光工程を少なくすることができ、設
備面で望ましい。
The developing step D was performed by the following method.
For example, in a nebulized PH9, a developing solution composed of an alkaline aqueous solution containing NaOH is applied at a developing solution pressure of 2 to 10 kg /
developed by spraying at cm 2 , FIG. 6 (d)
As shown in, a laminated pattern of the blue pigment layer 22B and the blue phosphor layer 42B was formed. Next, a green pigment / phosphor layer and a red pigment / phosphor layer are formed in the same manner as the above-mentioned blue pigment layer forming step. At this time, the developer is Na for the green pigment layer.
An alkaline aqueous solution containing OH was used, and an alkaline aqueous solution containing NaOH + NaCl was used for the red pigment layer. Forming in this way can reduce the number of exposure steps as compared with the first and second embodiments, which is desirable in terms of equipment.

【0053】なお、上記実施例はカラー陰極線管のフィ
ルター付き蛍光面を形成する場合について説明したが、
本発明は上記実施例に限られず、所定のパターンにパタ
ーニングされたフィルター層を形成する場合であれば適
用可能である。
In the above embodiment, the case where the fluorescent screen with the filter of the color cathode ray tube is formed has been described.
The present invention is not limited to the above embodiment, but can be applied to the case where a filter layer patterned into a predetermined pattern is formed.

【0054】また、本発明では、現像液に顔料層中の塩
の一部が解離した高分子と再び塩を形成する物質を含有
させることにより、パターニング特性を向上させている
が、上記実施例2、実施例3のように顔料層の上にレジ
スト含有層を積層させる場合に、そのレジスト含有層中
に現像液中の物質を含有させてもよい。ただし、このよ
うな物質を含有させて顔料層の上に積層させた場合は、
露光による光照射でレジスト層が硬化する前に下層の顔
料層を可溶化させるおそれがあるので、現像液で行う方
が好ましい。
Further, in the present invention, the patterning characteristics are improved by adding a substance forming a salt again with the polymer in which a part of the salt in the pigment layer is dissociated in the developing solution. 2. When the resist-containing layer is laminated on the pigment layer as in Example 3, the resist-containing layer may contain the substance in the developing solution. However, when such a substance is contained and laminated on the pigment layer,
Since there is a possibility that the lower pigment layer is solubilized before the resist layer is cured by light irradiation by exposure, it is preferable to use a developing solution.

【0055】なお、今までの実施例では、顔料層を青
色、緑色及び赤色の順に形成していたが、この順序に限
られないことは言うまでもない。また、この発明を顔料
層のみならず蛍光体層の形成に適用してもよい。
In the above examples, the pigment layers were formed in the order of blue, green and red, but it goes without saying that the order is not limited to this. Further, the present invention may be applied not only to the pigment layer but also to the formation of the phosphor layer.

【0056】[0056]

【発明の効果】本発明のフィルターパターンの製造方法
は、顔料粒子と高分子電解質の塩溶液を塗布乾燥した
後、所定のパターンに露光し、アルカリ水溶液を用いて
現像する工程を備えているので、露光してパターンとし
て残すべき部分と露光されず剥離される部分の境界にお
けるパターニング特性が良好となり、顔料残渣がないの
で、従来に比べ簡単な工程で確実に顔料層の所定パター
ンを得ることができる。
The method for producing a filter pattern according to the present invention comprises a step of coating and drying a pigment particle and a salt solution of a polymer electrolyte, exposing to a predetermined pattern, and developing with an alkaline aqueous solution. , The patterning property at the boundary between the part that should be exposed as a pattern and the part that is not exposed and is peeled off becomes good, and since there is no pigment residue, the predetermined pattern of the pigment layer can be reliably obtained by a simpler process than in the past. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を示す工程図である。FIG. 1 is a process drawing showing a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の工程によるフィルター付き蛍光体層を形
成する工程を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a process of forming a phosphor layer with a filter by the process of FIG.

【図3】本発明の第2の実施例を示す工程図である。FIG. 3 is a process drawing showing a second embodiment of the present invention.

【図4】図3の工程によるフィルター付き蛍光体層を形
成する工程を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a process of forming a phosphor layer with a filter by the process of FIG.

【図5】本発明の第3の実施例を示す工程図である。FIG. 5 is a process drawing showing a third embodiment of the present invention.

【図6】図5の工程によるフィルター付き蛍光体層を形
成する工程を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a process of forming a phosphor layer with a filter by the process of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10……基板、12……ブラックマトリクス、30B、
22B……青色顔料層、30G、22G……緑色顔料
層、30R、22R……赤色顔料層、40B、42B…
…青色蛍光体層、40G、42G……緑色蛍光体層、4
0R,42R……赤色蛍光体層。
10 ... Substrate, 12 ... Black matrix, 30B,
22B ... Blue pigment layer, 30G, 22G ... Green pigment layer, 30R, 22R ... Red pigment layer, 40B, 42B ...
... Blue phosphor layer, 40G, 42G ... Green phosphor layer, 4
0R, 42R ... Red phosphor layer.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 千草 尚 埼玉県深谷市幡羅町1丁目9番2号 株式 会社東芝深谷電子工場内 (72)発明者 坂井 和夫 兵庫県川西市小花2丁目23−2 冨士色素 株式会社内 (72)発明者 福田 勝 兵庫県川西市小花2丁目23−2 冨士色素 株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Takashi Chigusa 1-9-2 Harara-cho, Fukaya-shi, Saitama Inside Fukaya Electronics Factory, Toshiba Corp. (72) Inventor Kazuo Sakai 2-chome, 23-2 Obana, Kawanishi-shi, Hyogo Fuji dye company (72) Inventor Katsu Fukuda 2-23-2 Obana, Kawanishi city, Hyogo prefecture Fuji dye company

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に顔料層を形成する工程と、前記
顔料層を所定パターンの光で露光する工程と、現像する
工程とを有するフィルターパターンの製造方法におい
て、 前記基板上に顔料層を形成する工程は、顔料粒子を含む
高分子電解質の塩溶液を基板上に塗布乾燥する工程であ
り、前記現像工程は、前記高分子電解質と塩を形成する
物質を含有する溶液を用いて現像する工程であることを
特徴とするフィルターパターンの製造方法。
1. A method for producing a filter pattern, which comprises a step of forming a pigment layer on a substrate, a step of exposing the pigment layer to light of a predetermined pattern, and a step of developing the pigment layer on the substrate. The step of forming is a step of coating and drying a salt solution of a polymer electrolyte containing pigment particles on a substrate, and the developing step is developed using a solution containing a substance that forms a salt with the polymer electrolyte. A method of manufacturing a filter pattern, which is characterized by being a step.
【請求項2】 請求項1記載のフィルターパターンの製
造方法において、前記高分子電解質の塩溶液はフォトレ
ジストを含有していることを特徴とするフィルターパタ
ーンの製造方法。
2. The method for producing a filter pattern according to claim 1, wherein the salt solution of the polymer electrolyte contains a photoresist.
【請求項3】 請求項1記載のフィルターパターンの製
造方法において、前記高分子電解質の塩溶液の塗布乾燥
工程と前記露光工程との間に、フォトレジストを含有す
る溶液を塗布乾燥する工程を具備することを特徴とする
フィルターパターンの製造方法。
3. The method for producing a filter pattern according to claim 1, further comprising a step of applying and drying a solution containing a photoresist between the step of applying and drying the salt solution of the polymer electrolyte and the exposing step. A method of manufacturing a filter pattern, comprising:
【請求項4】 請求項3記載のフィルターパターンの製
造方法において、前記フォトレジストを含有する溶液
は、蛍光体をも含有していることを特徴とするフィルタ
ーパターンの製造方法。
4. The method of manufacturing a filter pattern according to claim 3, wherein the solution containing the photoresist also contains a phosphor.
【請求項5】 請求項3記載のフィルターパターンの製
造方法において、前記フィルターパターンは、カラー陰
極線管のパネル内面に設けられているものであることを
特徴とするフィルターパターンの製造方法。
5. The method of manufacturing a filter pattern according to claim 3, wherein the filter pattern is provided on an inner surface of a panel of a color cathode ray tube.
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US5922395A (en) * 1996-08-15 1999-07-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Method for forming phosphor screen

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