JPH0816783B2 - Visible light recording material - Google Patents

Visible light recording material

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JPH0816783B2
JPH0816783B2 JP1235170A JP23517089A JPH0816783B2 JP H0816783 B2 JPH0816783 B2 JP H0816783B2 JP 1235170 A JP1235170 A JP 1235170A JP 23517089 A JP23517089 A JP 23517089A JP H0816783 B2 JPH0816783 B2 JP H0816783B2
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JP
Japan
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group
visible light
recording material
general formula
formula
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国宏 市村
靖 大江
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工業技術院物質工学工業技術研究所長
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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、可視光線、特にレーザ光に対して高感度で
感光し、しかも、露光後現像液を用いることなく加熱の
みで、表面レリーフ像を形成し、しかも解像性及び保存
安定性に優れた可視光記録材料に関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention is highly sensitive to visible light, particularly laser light, and forms a surface relief image only after heating without using a developing solution after exposure. In addition, the present invention relates to a visible light recording material excellent in resolution and storage stability.

従来の技術 可視光記録材料は、可視発振波長を持つレーザを光源
とする諸技術に用いられる。レーザ光による記録は、電
子計算機により制御できるので、直接描画が可能とな
り、印刷製版、光ビデオディスク原版作製などに利用さ
れている。さらには、レーザ光の単色性に由来する高解
像性のホログラム記録も重要である。このような目的に
適した記録材料には、レーザ光に高感度で感光し、しか
も高い解像性を示すことが要求される。また、実際に使
用するに当たっては、長期にわたって保存安定性に優れ
ていることも必要となる。
2. Description of the Related Art Visible light recording materials are used in various technologies using a laser having a visible oscillation wavelength as a light source. Since recording by laser light can be controlled by an electronic computer, direct drawing is possible, and it is used for printing plate making, optical video disc original plate making, and the like. Furthermore, high-resolution hologram recording derived from the monochromaticity of laser light is also important. A recording material suitable for such a purpose is required to be highly sensitive to laser light and exhibit high resolution. Further, in actual use, it is also necessary to have excellent storage stability for a long period of time.

感光性樹脂はレリーフ画像形成に特徴を持つので、こ
の点を生かした記録材料に有用であるが、従来の感光性
樹脂の多くはフォトレジスト材料、インキ、塗料、ワニ
ス、印刷製版材料などに利用されており、それらの感光
波長は紫外線領域にとどまっていた。可視レーザ光に感
光する樹脂としては、これまでに、光重合型、光架橋型
の材料が提案されている。例えば、特開昭52-134692号
においては、多環キノンと3級アミンからなる光重合組
成物、特開昭54-151024号においては、メロシアニンと
トリアジン誘導体を光重合開始剤とする組成物、特開昭
54-155292号においては、イミダゾリル二重体とアミノ
フェニル基をもつ環状ケトンを開始剤とする光重合組成
物、特開昭60-22129号においては、p−フェニレンジア
クリル酸残基とピリリウム塩などの増感剤とからなる光
架橋性高分子が示されている。これらは、可視光に対し
て比較的高い感度で感光するものであるが、いわゆるネ
ガ型に属し、解像性に劣るという難点を有する。
Photosensitive resins are useful for recording materials that take advantage of this feature because they are characterized by relief image formation, but most conventional photosensitive resins are used for photoresist materials, inks, paints, varnishes, printing plate-making materials, etc. However, their photosensitive wavelengths remained in the ultraviolet range. As a resin sensitive to visible laser light, photopolymerization type and photocrosslinking type materials have been proposed so far. For example, in JP-A-52-134692, a photopolymerization composition comprising a polycyclic quinone and a tertiary amine, in JP-A-54-151024, a composition using a merocyanine and a triazine derivative as a photopolymerization initiator, JPA
No. 54-155292, a photopolymerization composition using an imidazolyl dimer and a cyclic ketone having an aminophenyl group as an initiator, and in JP-A No. 60-22129, a p-phenylenediacrylic acid residue and a pyrylium salt, etc. A photocrosslinkable polymer composed of a sensitizer of the above is shown. Although these are sensitive to visible light with relatively high sensitivity, they belong to a so-called negative type and have a drawback that they are inferior in resolution.

これに対して、光可溶性樹脂組成物(ポジ型)は解像
性が非常に優れており、その代表例としてのo−ナフト
キノンジアジド類が実用に供せられていることは周知の
通りである。しかしながら、この感光物は光学的な増感
を行うことは知られておらず、可視光領域ではきわめて
低感度であるという問題点を有している。そこで近年、
o−ナフトキノンジアジド類を使用しない高感度光可溶
性樹脂組成物の提案がなされている。特開昭57-176035
号では、メタクリレート側鎖にオレフィンを導入したポ
リマーとメルカプト酸と反応開始剤からなる組成物、特
開59-45439号では、光照射で発生した酸を触媒として加
水分解を起こすポリ−p−t−ブトキシカルボキシルス
チレンからなる組成物、特開昭61-167945号では、光照
射で発生した酸と触媒として加水分解を起こすシリルエ
ーテル基を持つ化合物からなる組成物などが示されてい
る。しかしながら、いずれも長波長光に感ずるものでは
なく、レーザ用感光材料や銀塩代替材料などとして利用
するにはなお一層高い感度が望まれていた。さらには、
現像過程を乾式にすることができれば、解像性の一層の
向上と、記録形成プロセスの簡易化が図られることか
ら、加熱処理のみによって記録形成が可能な材料が望ま
れていた。
On the other hand, it is well known that the photo-soluble resin composition (positive type) has very excellent resolution, and o-naphthoquinonediazides as typical examples thereof are put to practical use. . However, this photosensitive material is not known to perform optical sensitization, and has a problem that it has extremely low sensitivity in the visible light region. So in recent years
A high-sensitivity photosoluble resin composition that does not use o-naphthoquinonediazides has been proposed. JP 57-176035
In JP-A-59-45439, a composition comprising a polymer having an olefin introduced into the methacrylate side chain, a mercapto acid and a reaction initiator is used. In JP-A-59-45439, poly-pt which causes hydrolysis using an acid generated by light irradiation as a catalyst -Butoxycarboxylstyrene composition, JP-A-61-167945 discloses a composition comprising an acid generated by light irradiation and a compound having a silyl ether group which causes hydrolysis as a catalyst. However, none of them are sensitive to long-wavelength light, and even higher sensitivity has been desired for use as a light-sensitive material for laser, a silver salt substitute material, and the like. Furthermore,
If the developing process can be performed in a dry manner, the resolution can be further improved and the recording forming process can be simplified. Therefore, a material capable of forming a recording only by heat treatment has been desired.

発明が解決しようとする問題点 本発明は、可視光に感光して加熱処理によって現像可
能な可視光記録材料に関するものであって、しかも感光
速度及び解像性に優れた特性を併せ持つ感光材料を提供
する事を目的としてなされたものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention The present invention relates to a visible light recording material which is exposed to visible light and can be developed by a heat treatment, and moreover, a photosensitive material which has both excellent characteristics of photosensitivity and resolution. It was made for the purpose of providing.

問題点を解決するための手段 本発明者らは、高感度、高解像性を有し、加熱処理の
みで画像形成可能な記録材料を得るべく鋭意研究を重ね
た結果、本発明を成すに至ったものである。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to obtain a recording material having high sensitivity, high resolution, and capable of forming an image only by heat treatment, and as a result, the present invention was achieved. It has come.

すなわち、本発明は、(A)一般式 [式中のR1は2−アリール−2−プロピル基又はジア
リールメチル基(ここでアリールはヒドロカルビル基又
はアルコキシル基で置換されていてもよい)を示す] で表わされる構造単位30〜100モル%と一般式 (式中のR2は水素原子又はメチル基、R3は炭素数1〜
4の低級アルコキシカルボニル基、アリールオキシカル
ボニル基、カルバモイル基、置換カルバモイル基、フェ
ニル基又はナフチル基を示す) で表わされる構造単位0〜70モル%とから成る高分子化
合物100重量部に対し、(B)一般式 (式中のR4、R5は低級アルキル基、Xは水素原子、フ
ェニル基、アシル基、シアノ基、アンモニオ基又はアル
コキシカルボニル基、Yはアシル基、シアノ基、アンモ
ニオ基又はアルコキシカルボニル基、nは0又は1であ
る) で表わされるp−アミノベンジリデン誘導体3〜20重量
部及び(C)ジアリールヨードニウム塩2〜20重量部を
配合して成る可視光記録材料を提供するものである。
That is, the present invention provides (A) general formula [Wherein R 1 represents a 2-aryl-2-propyl group or a diarylmethyl group (wherein aryl may be substituted with a hydrocarbyl group or an alkoxyl group)] And the general formula (In the formula, R 2 is a hydrogen atom or a methyl group, R 3 is a carbon atom of 1 to
4 represents a lower alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a carbamoyl group, a substituted carbamoyl group, a phenyl group or a naphthyl group), and a polymer unit of 0 to 70 mol% B) General formula (Wherein R 4 and R 5 are lower alkyl groups, X is a hydrogen atom, phenyl group, acyl group, cyano group, ammonio group or alkoxycarbonyl group, Y is an acyl group, cyano group, ammonio group or alkoxycarbonyl group, The present invention provides a visible light recording material comprising 3 to 20 parts by weight of the p-aminobenzylidene derivative represented by the formula (2) and 2 to 20 parts by weight of the (C) diaryl iodonium salt.

本発明の可視光記録材料において(A)成分として用
いられる高分子化合物は、酸によって容易に分解するエ
ステル結合を有するメタクリル酸エステルを共重合成分
として含有する。一般式(I)の構造単位を与える単量
体として、具体的には、メタクリル酸の2−フェニル−
2−プロピルエステル、2−(p−アニシル)−2−プ
ロピルエステル、2−(p−トリル)−2−プロピルエ
ステル、2−(p−ビフェニル)−2−プロピルエステ
ル、ジフェニルメチルエステル、ビス(p−アニシル)
メチルエステル等をあげることが出来るがこの限りでは
ない。これらモノマーの構造的特徴は、酸によって容易
にエステル結合が切断されるだけでなく、これらエステ
ルを形成するアルコール部の分子量が著しく大きいこと
にある。言い換えると、酸による分解は大きな分子量変
化を伴う。本発明に用いられる高分子化合物としては、
これらの単量体のみによる重合体のほかに、一般式(I
I)で示される構造単位に相当する(メタ)アクリルエ
ステル、(メタ)アクリルアミド、置換(メタ)アクリ
ルアミド、スチレンなどのビニル系単量体を重合させた
ものが用いられる。これらの共重合性単量体の種類と共
重合比を選択することによって、目的とする感光性樹脂
組成物の特性を調整することができるが、一般式(II)
の単位の比率が高すぎると相対的に酸による分解による
高分子の分子量変化が低減し、レリーフ形成能が低下す
る。このため、一般式(II)で示される構造単位は70モ
ル%以下であることが望ましい。
The polymer compound used as the component (A) in the visible light recording material of the present invention contains a methacrylic acid ester having an ester bond that is easily decomposed by an acid as a copolymerization component. As the monomer giving the structural unit of the general formula (I), specifically, 2-phenyl- of methacrylic acid is used.
2-propyl ester, 2- (p-anisyl) -2-propyl ester, 2- (p-tolyl) -2-propyl ester, 2- (p-biphenyl) -2-propyl ester, diphenylmethyl ester, bis ( p-anisyl)
Methyl ester and the like can be mentioned, but not limited thereto. The structural characteristics of these monomers are not only that the ester bond is easily cleaved by an acid, but that the alcohol moiety forming these esters has a remarkably large molecular weight. In other words, acid degradation is accompanied by a large molecular weight change. As the polymer compound used in the present invention,
In addition to polymers consisting of these monomers alone, the general formula (I
Polymerized vinyl monomers such as (meth) acrylic ester, (meth) acrylamide, substituted (meth) acrylamide, and styrene corresponding to the structural unit represented by I) are used. The characteristics of the desired photosensitive resin composition can be adjusted by selecting the type and copolymerization ratio of these copolymerizable monomers.
If the ratio of the units is too high, the change in the molecular weight of the polymer due to the decomposition by the acid is relatively reduced, and the relief forming ability is reduced. Therefore, the structural unit represented by the general formula (II) is preferably 70 mol% or less.

本発明の可視光記録材料において(C)成分として用
いられるジアリールヨードニウム塩は光照射によって酸
を発生する性質を持つ。本発明で用いられる化合物とし
ては、Macromolecules,10,1307(1977)に記載の化合
物、例えば、ジフェニルヨードニウム、ジトリルヨード
ニウム、フェニル(p−アニシル)ヨードニウム、ビス
(m−ニトロフェニル)ヨードニウム、ビス(p−t−
ブチルフェニル)ヨードニウム、などのヨードニウムの
クロリド、ブロミドあるいはホウフッ化塩、ヘキサフル
オロホスフェート塩、ヘキサフルオロアルセネート塩を
あげることができる。
The diaryl iodonium salt used as the component (C) in the visible light recording material of the present invention has a property of generating an acid upon irradiation with light. Examples of the compound used in the present invention include those described in Macromolecules, 10, 1307 (1977), for example, diphenyliodonium, ditolyliodonium, phenyl (p-anisyl) iodonium, bis (m-nitrophenyl) iodonium, bis ( p-t-
Examples thereof include chlorides of iodonium such as butylphenyl) iodonium, bromides, borofluoride salts, hexafluorophosphate salts, and hexafluoroarsenate salts.

本発明の可視光記録材料において(B)成分として用
いられるp−アミノベンジリデン誘導体はジアリールヨ
ードニウム塩の光分解を増感する機能を有する。一般式
(II)で表されるジアルキルアミノベンジリデン化合物
としては、以下の化合物を例示することが出来る。
The p-aminobenzylidene derivative used as the component (B) in the visible light recording material of the present invention has a function of sensitizing the photolysis of the diaryl iodonium salt. Examples of the dialkylaminobenzylidene compound represented by the general formula (II) include the following compounds.

本発明の可視光記録材料に含有される(C)成分のジ
アリールヨードニウム塩の量は、高分子化合物:ジアリ
ールヨードニウム塩の重量比で1:0.02から1:0.2までの
範囲をとることが可能である。さらに、高分子化合物と
(B)成分の増感剤との重量比は1:0.02から1:0.2の範
囲である。
The amount of the diaryl iodonium salt of the component (C) contained in the visible light recording material of the present invention can range from 1: 0.02 to 1: 0.2 in terms of the weight ratio of the polymer compound: the diaryl iodonium salt. is there. Further, the weight ratio of the polymer compound and the sensitizer of the component (B) is in the range of 1: 0.02 to 1: 0.2.

本発明の可視光記録材料には、所望に応じて公知のバ
インダー、顔料、可塑剤などの添加剤を加えてもよい。
こうして調整した可視光記録材料を平滑な基板上に塗布
して、可視光記録体とする。
If desired, known additives such as binders, pigments and plasticizers may be added to the visible light recording material of the present invention.
The visible light recording material thus adjusted is applied onto a smooth substrate to obtain a visible light recording material.

本発明の可視光記録材料に適した光源としては、高圧
水銀灯、超高圧水銀灯、高圧キセノン灯、ハロゲンラン
プの他、ヘリウム−カドミウムレーザ、アルゴンレーザ
が利用できる。
As a light source suitable for the visible light recording material of the present invention, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure xenon lamp, a halogen lamp, a helium-cadmium laser, and an argon laser can be used.

これらの光源を用いて所定時間露光した後、記録体を
暗所で加熱する。加熱温度は60〜150℃、好ましくは、8
0〜120℃である。これ以下であれば、画像形成に要する
時間は著しく長くなるし、これ以上にしても画像形成の
時間を短縮することができない。加熱時間は加熱温度に
依存するが、1〜20分、好ましくは、2〜10分である。
また、加熱を水蒸気で飽和した状態で行うと、画像形成
に必要な露光時間を短縮することが可能となり、さら
に、本発明の光記録材料の感度を向上させることが出来
る。
After exposing for a predetermined time using these light sources, the recording medium is heated in a dark place. The heating temperature is 60 to 150 ° C, preferably 8
0-120 ° C. If it is less than this, the time required for image formation becomes remarkably long, and even if it is longer than this, the time for image formation cannot be shortened. The heating time depends on the heating temperature, but is 1 to 20 minutes, preferably 2 to 10 minutes.
Further, when the heating is performed in a state of being saturated with water vapor, the exposure time required for image formation can be shortened, and further the sensitivity of the optical recording material of the present invention can be improved.

発明の効果 本発明の可視光記録材料は、露光後加熱処理のみによ
ってレリーフ像を形成し、しかも、優れた感度を有して
いるので、各種レリーフの作製、ホログラムの作製など
幅広い分野に応用できる。
EFFECTS OF THE INVENTION The visible light recording material of the present invention forms a relief image only by heat treatment after exposure and has excellent sensitivity, so that it can be applied to a wide range of fields such as production of various reliefs and production of holograms. .

実施例 次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明する
が、これによって本発明はなんら限定されるものではな
い。
EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail by way of examples, which should not be construed as limiting the invention thereto.

実施例1〜3 2−フェニル−2−プロパノール17.8gとメタクリル
酸クロリド20.6gをトリエチルアミン26.6g存在下、酢酸
エチル30mlを溶媒として20時間室温で撹はん反応させ
た。反応生成物を0.1N塩酸、1N水酸化ナトリウム水溶
液、水で洗浄後、減圧蒸留によりα、α−ジメチルベン
ジルメタクリレート13.1gを得た。このエステル9.0gを
ベンゼン90mlに溶解後、アゾビスイソブチロニトリル
(AIBN)1.0mgを添加したものをアンプルに入れアルゴ
ンガスで置換後封管した。これを60℃、20時間で重合さ
せた後、反応物をメタノール中に投じてろ過し、重合体
6.5gを得た。このポリマーを20重量%のジグライム溶液
に調製して、ジフェニルヨードニウム・ヘキサフルオロ
フォスフェートと表1に示した増感剤をそれぞれポリマ
ーに対して20重量%及び10重量%となるように添加して
感光液とした。これをガラス板に膜厚が1.0〜1.5μmに
なるようにスピン塗布し、80℃10分間プリベークを行っ
た。これに約50μmのライン・アンド・スペースのマス
クを介して、キセノン灯で露光した。次に、120℃で15
分間ポストベークした。ポストベーク後に得られた表面
状態をタリステップ(RANK TAYLOR HOBSON)で測定した
ところ、それぞれ露光部が約3割膜減りを起こし、表面
レリーフ像が形成された。さらに、ポストベーク温度を
130℃に変えて露光部の膜減りを測定したところ、約40
%であった(第1図)。
Examples 1 to 3 2-phenyl-2-propanol (17.8 g) and methacrylic acid chloride (20.6 g) were stirred in the presence of triethylamine (26.6 g) with ethyl acetate (30 ml) for 20 hours at room temperature. The reaction product was washed with 0.1N hydrochloric acid, a 1N sodium hydroxide aqueous solution and water, and then distilled under reduced pressure to obtain 13.1 g of α, α-dimethylbenzyl methacrylate. After 9.0 g of this ester was dissolved in 90 ml of benzene, azobisisobutyronitrile (AIBN) (1.0 mg) was added to the ampoule, which was replaced with argon gas and sealed. After polymerizing this at 60 ° C for 20 hours, the reaction product was poured into methanol and filtered to obtain a polymer.
6.5 g was obtained. This polymer was prepared into a 20% by weight diglyme solution, and diphenyliodonium hexafluorophosphate and the sensitizer shown in Table 1 were added to the polymer so as to be 20% by weight and 10% by weight, respectively. It was used as a photosensitive liquid. This was spin-coated on a glass plate to a film thickness of 1.0 to 1.5 μm, and prebaked at 80 ° C. for 10 minutes. This was exposed with a xenon lamp through a line and space mask of about 50 μm. Then 15 at 120 ° C
Post-baked for a minute. When the surface condition obtained after the post-baking was measured by a Tarry step (RANK TAYLOR HOBSON), each exposed part was reduced by about 30% and a surface relief image was formed. In addition, the post bake temperature
When changing the temperature to 130 ° C and measuring the film loss in the exposed area, it was about 40
% (Fig. 1).

実施例4 実施例1で得たメタクリル酸ジメチルベンジルエステ
ルをメタクリル酸メチルと1:1共重合させ、この共重合
体0.5gを実施例1で用いた増感剤0.05gとジフェニルヨ
ードニウム・ヘキサフルオロフォスフェート0.05gとと
もにジグライムに溶解した。その溶液を実施例1と同様
の処方でガラス板上に膜厚約1μmにスピン塗布し、80
℃で10分間プリベークを行った。これに50μmのライン
・アンド・スペースのマスクを介してキセノン灯で露光
した。120℃で20分間ポストベークしたところ表面レリ
ーフ像が形成された。
Example 4 The dimethyl benzyl methacrylic acid ester obtained in Example 1 was copolymerized 1: 1 with methyl methacrylate, and 0.5 g of this copolymer was added to 0.05 g of the sensitizer used in Example 1 and diphenyliodonium hexafluoro. It was dissolved in diglyme with 0.05 g of phosphate. The solution was spin-coated on a glass plate in the same formulation as in Example 1 to a film thickness of about 1 μm,
Prebaking was performed at 10 ° C for 10 minutes. This was exposed with a xenon lamp through a 50 μm line-and-space mask. When post-baked at 120 ° C. for 20 minutes, a surface relief image was formed.

実施例5 4、4′−ジメトキシベンゾヒドロール10.4gをTHF50
mlに溶解し、窒素雰囲気下で撹はんしつつ1.8Mのn−ブ
チルリチウムのヘキサン溶液36mlを滴下した。30分後TH
F20mlで希釈したメタクリル酸クロリド4.5gを滴下し、
約1時間室温で撹はん後、反応容器を冷却しながら水10
0mlを加えた。反応液を常法により処理し、メタクリル
酸4、4′−ジメトキシベンゾヒドリルエステル4.7gを
得た。得られたエステルを実施例1と同様にしてAIBNを
開始剤として重合させ、この重合体0.5gを実施例1で用
いた増感剤0.05gとジフェニルヨードニウム・ヘキサフ
ルオロフォスフェート0.05gとともにジグライムに溶解
した。その溶液を実施例1と同様の処方でガラス板上に
膜厚1.1μmにスピン塗布し、80℃で10分間プリベーク
を行った。これに50μmのライン・アンド・スペースの
マスクを介してキセノン灯で露光した。130℃で20分間
ポストベークしたところ表面レリーフ像が形成された。
露光部は約45%の膜減りを示した。
Example 5 10.4 g of 4,4'-dimethoxybenzohydrol was added to THF50
36 ml of a hexane solution of 1.8 M n-butyllithium was added dropwise with stirring in a nitrogen atmosphere while stirring. 30 minutes later TH
4.5 g of methacrylic acid chloride diluted with 20 ml of F was added dropwise,
After stirring at room temperature for about 1 hour, cool the reaction vessel with water.
0 ml was added. The reaction solution was treated by a conventional method to obtain 4.7 g of methacrylic acid 4,4'-dimethoxybenzohydryl ester. The obtained ester was polymerized using AIBN as an initiator in the same manner as in Example 1, and 0.5 g of this polymer was converted to diglyme together with 0.05 g of the sensitizer used in Example 1 and 0.05 g of diphenyliodonium hexafluorophosphate. Dissolved. The solution was spin-coated on a glass plate in the same formulation as in Example 1 to a film thickness of 1.1 μm, and prebaked at 80 ° C. for 10 minutes. This was exposed with a xenon lamp through a 50 μm line-and-space mask. When post-baked at 130 ° C. for 20 minutes, a surface relief image was formed.
The exposed area showed a film loss of about 45%.

実施例6 4−アセチルビフェニルとよう化メチルとのグリニヤ
ル反応によって79.9%の収率で2−(p−ビフェニル)
−2−プロパノールを合成し、これを実施例1と同様に
して対応するメタクリル酸エステルとした。これから得
られるラジカル重合体0.5gを実施例1で用いた増感剤0.
06gとジフェニルヨードニウム・ヘキサフルオロフォス
フェート0.06gとともにジグライムに溶解した。この溶
液を実施例1と同様の処方でガラス板上に膜厚1.4μm
にスピン塗布し、80℃で10分間プリベークを行った。こ
れに50μmのライン・アンド・スペースのマスクを介し
てキセノン灯で露光した。130℃で20分間ポストベーク
したところ表面レリーフ像が形成された。露光部は約45
%の膜減りを示した。
Example 6 2- (p-biphenyl) in 79.9% yield by Grignard reaction of 4-acetylbiphenyl with methyl iodide
2-Propanol was synthesized and used as the corresponding methacrylic acid ester in the same manner as in Example 1. 0.5 g of the radical polymer obtained from this was used in Example 1 as a sensitizer.
It was dissolved in diglyme together with 06 g and 0.06 g of diphenyliodonium hexafluorophosphate. This solution was coated on a glass plate with the same formulation as in Example 1 to obtain a film thickness of 1.4 μm.
Was spin coated and prebaked at 80 ° C. for 10 minutes. This was exposed with a xenon lamp through a 50 μm line-and-space mask. When post-baked at 130 ° C. for 20 minutes, a surface relief image was formed. Exposed area is about 45
% Film loss.

実施例7 実施例1と同様にして、2−(p−トリル)−2−プ
ロパノールをメタクリル酸エステルとし、ラジカル重合
によって重合体を得た。この重合体0.5gを実施例1で用
いた増感剤0.05gとジフェニルヨードニウム・ヘキサフ
ルオロフォスフェート0.06gとともにジグライムに溶解
した。その溶液を実施例1と同様の処方でガラス板上に
膜厚1.3μmにスピン塗布し、80℃で10分間プリベーク
を行った。これに50μmのライン・アンド・スペースの
マスクを介してキセノン灯で露光した。120℃で10分間
ポストベークしたところ表面レリーフ像が形成された。
露光部は約45%の膜減りを示した。
Example 7 In the same manner as in Example 1, a polymer was obtained by radical polymerization using 2- (p-tolyl) -2-propanol as a methacrylic acid ester. 0.5 g of this polymer was dissolved in diglyme together with 0.05 g of the sensitizer used in Example 1 and 0.06 g of diphenyliodonium hexafluorophosphate. The solution was spin-coated on a glass plate in the same formulation as in Example 1 to a film thickness of 1.3 μm, and prebaked at 80 ° C. for 10 minutes. This was exposed with a xenon lamp through a 50 μm line-and-space mask. Post-baking at 120 ° C. for 10 minutes formed a surface relief image.
The exposed area showed a film loss of about 45%.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、ポリ(メタクリル酸α、α−ジメチルベンジ
ルエステル)にジフェニルヨードニウム・ヘキサフルオ
ロフォスフェートと1−ベンゾイル−2−(p−ジメチ
ルアミノフェニル)プロペンニトリルをそれぞれ20重量
%、10重量%添加し、この感光性組成物の1.0μmの薄
膜にキセノン灯からの光を照射したのち、各温度でポス
トベークしたときの膜減りの様子を示す。
Fig. 1 shows that poly (methacrylic acid α, α-dimethylbenzyl ester) was added with diphenyliodonium hexafluorophosphate and 1-benzoyl-2- (p-dimethylaminophenyl) propenenitrile at 20% by weight and 10% by weight, respectively. The following shows the state of film loss when post-baking was performed at each temperature after the addition and irradiation of a 1.0 μm thin film of this photosensitive composition with light from a xenon lamp.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(A)一般式 [式中のR1は2−アリール−2−プロピル基又はジアリ
ールメチル基(ここでアリールはヒドロカルビル基又は
アルコキシル基で置換されていてもよい)を示す] で表わされる構造単位30〜100モル%と一般式 (式中のR2は水素原子又はメチル基、R3は炭素数1〜4
の低級アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボ
ニル基、カルバモイル基、置換カルバモイル基、フェニ
ル基又はナフチル基を示す) で表わされる構造単位0〜70モル%とから成る高分子化
合物100重量部に対し、(B)一般式 (式中のR4、R5は低級アルキル基、Xは水素原子、フェ
ニル基、アシル基、シアノ基、アンモニオ基又はアルコ
キシカルボニル基、Yはアシル基、シアノ基、アンモニ
オ基又はアルコキシカルボニル基、nは0又は1であ
る) で表わされるp−アミノベンジリデン誘導体3〜20重量
部及び(C)ジアリールヨードニウム塩2〜20重量部を
配合して成る可視光記録材料。
1. A general formula (A) [Wherein R 1 represents a 2-aryl-2-propyl group or a diarylmethyl group (wherein aryl may be substituted with a hydrocarbyl group or an alkoxyl group)] And the general formula (In the formula, R 2 is a hydrogen atom or a methyl group, R 3 is a carbon number of 1 to 4
A lower alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a carbamoyl group, a substituted carbamoyl group, a phenyl group or a naphthyl group), which is 0 to 70 mol% of the structural unit represented by the formula (B) ) General formula (Wherein R 4 and R 5 are lower alkyl groups, X is a hydrogen atom, phenyl group, acyl group, cyano group, ammonio group or alkoxycarbonyl group, Y is an acyl group, cyano group, ammonio group or alkoxycarbonyl group, n is 0 or 1) A visible light recording material comprising 3 to 20 parts by weight of a p-aminobenzylidene derivative represented by the formula: and 2 to 20 parts by weight of a (C) diaryl iodonium salt.
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