JPH0815628A - Light deflector - Google Patents

Light deflector

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JPH0815628A
JPH0815628A JP17169994A JP17169994A JPH0815628A JP H0815628 A JPH0815628 A JP H0815628A JP 17169994 A JP17169994 A JP 17169994A JP 17169994 A JP17169994 A JP 17169994A JP H0815628 A JPH0815628 A JP H0815628A
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JP
Japan
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rotary
rotary sleeve
attached
permanent magnet
ring
Prior art date
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Pending
Application number
JP17169994A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shin Komori
慎 古森
Yasuo Suzuki
康夫 鈴木
Shizuka Saikawa
静 齋川
Kenichi Tomita
健一 冨田
Kazuo Uzuki
和男 夘月
Kimio Kono
公雄 河野
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide the small-sized, inexpensive stable rotation with less vibration. CONSTITUTION:A cap 29 formed by a metal member such as brass, etc., is attached to an upper end of a rotary sleeve 22 formed by ceramics by adhesion, and a ring 31 formed by the same member as the cap 29 is attached to an outer periphery of a ring-shaped permanent magnet 30 for thrust float attached to the lower end also by adhesion, etc., similarly. Then, when the rotation balance of a rotary body constituted of a rotary mirror 26 and the rotary sleeve 22 attaching its fixing member 24, etc., is adjusted, the rotary body is held by the cap 29 and the ring 31, and the injury onto the rotary sleeve 22 and the permanent magnet 30 is prevented, and the rotation balance is corrected precisely.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えばレーザービーム
等を用いた画像記録装置に用いられ、回転鏡を回転駆動
させることにより、レーザービームを感光体上に走査す
る光偏向装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical deflector for use in an image recording apparatus using a laser beam or the like, for scanning a laser beam on a photosensitive member by rotating a rotating mirror. .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の光偏向装置には、図5に示すよう
なものが知られている。即ち、ハウジング1に下端を固
定された縦方向の固定軸2が設けられ、固定軸2に回転
自在に回転スリーブ3が嵌合されている。ハウジング1
にはコイル4が配設され、回転スリーブ3には駆動永久
磁石5が配設されて駆動モータが構成され、回転スリー
ブ3にランド部3aが形成されて、それに回転鏡6が取
り付けられている。
2. Description of the Related Art As a conventional optical deflector, one shown in FIG. 5 is known. That is, a vertical fixed shaft 2 having a lower end fixed to the housing 1 is provided, and a rotary sleeve 3 is rotatably fitted to the fixed shaft 2. Housing 1
Is provided with a coil 4, a rotary sleeve 3 is provided with a drive permanent magnet 5 to form a drive motor, the rotary sleeve 3 is provided with a land portion 3a, and a rotary mirror 6 is attached thereto. .

【0003】回転鏡6はランド部3aと回転スリーブ3
に嵌合されたリング7とで挟持され、リング7をランド
部3aに向けて締め付けるビス8により固定されてい
る。リング7の上面には、これらを取り付けた回転スリ
ーブ3のバランスを調整する際に、錘りを取り付けるた
めの溝7aがリング7と同心円状に形成されており、回
転スリーブ3の下部にも、同様の目的の溝9aを有する
もう1つのリング9が取り付けられている。
The rotating mirror 6 includes a land portion 3a and a rotating sleeve 3.
It is sandwiched between the ring 7 and the ring 7 that is fitted to the land 7, and is fixed by the screw 8 that tightens the ring 7 toward the land portion 3a. On the upper surface of the ring 7, a groove 7a is formed concentrically with the ring 7 for attaching a weight when adjusting the balance of the rotating sleeve 3 to which these are attached. Another ring 9 with a groove 9a of similar purpose is mounted.

【0004】また、固定軸2の外周に動圧発生用の溝2
aが形成され、回転スリーブ3の上端には、中心にスラ
スト圧力調整用の軸孔10aが設けられると共に、底面
にスラスト受け溝を有するスラスト軸受10が取り付け
られて、動圧流体軸受が構成されている。
A groove 2 for generating a dynamic pressure is formed on the outer periphery of the fixed shaft 2.
a is formed, a shaft hole 10a for adjusting thrust pressure is provided at the center of the upper end of the rotary sleeve 3, and a thrust bearing 10 having a thrust receiving groove is attached to the bottom surface to form a hydrodynamic bearing. ing.

【0005】この回転スリーブ3、回転鏡6などから成
る回転体がアンバランスであると、回転体は高速で回転
するために大きな振動が発生し安定した回転ができなく
なる上、この振動により大きな騒音を発生するので、溝
7a及び9aに錘りを取り付けて回転体のバランスを調
整している。
If the rotating body including the rotating sleeve 3 and the rotating mirror 6 is unbalanced, the rotating body rotates at a high speed, which causes a large vibration, which prevents stable rotation and causes a large noise. Therefore, a weight is attached to the grooves 7a and 9a to adjust the balance of the rotating body.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな動圧流体軸受を用いた光偏向装置においては、動圧
を発生させて振動の小さい安定した回転をさせる関係
上、小型化が困難で、軸の径や長さに制約があるため装
置が大きくなってしまい、また動圧発生用溝を形成する
にもコストが掛かる。
However, in an optical deflecting device using such a hydrodynamic bearing, it is difficult to miniaturize it because dynamic pressure is generated and stable rotation with small vibration is generated. Since the diameter and length of the shaft are limited, the size of the device becomes large, and the cost for forming the dynamic pressure generating groove is high.

【0007】本発明の目的は、上記の問題点を解消し、
小型で低コストであって、しかも振動が小さく安定した
回転を得ることができる光偏向装置を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to solve the above problems,
An object of the present invention is to provide an optical deflector which is small in size and low in cost, has small vibration, and can obtain stable rotation.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明にかかる光偏向装置は、回転鏡を回転駆動させ
ることにより、光を偏向させる光偏向装置において、セ
ラミック材から成る固定軸と、該固定軸に嵌合して回転
可能に保持したセラミック材から成る回転スリーブとを
有し、該回転スリーブに回転鏡を取り付け、該回転鏡の
上下の少なくとも一方でかつ前記回転スリーブの外周
に、バランス調整時に保持用として使用する環状の金属
部材を配設したことを特徴とする。
An optical deflecting device according to the present invention for achieving the above object is an optical deflecting device which deflects light by rotating a rotary mirror, and a fixed shaft made of a ceramic material. A rotary sleeve made of a ceramic material fitted to the fixed shaft and rotatably held, wherein a rotary mirror is attached to the rotary sleeve, and at least one of the upper and lower sides of the rotary mirror and the outer circumference of the rotary sleeve An annular metal member used for holding during balance adjustment is provided.

【0009】[0009]

【作用】上述の構成を有する光偏向装置は、回転鏡を取
り付けた回転スリーブのバランスをとるときに使用する
金属部材を回転スリーブの上下の少なくとも一方に配設
する。
In the optical deflecting device having the above-described structure, the metal member used for balancing the rotary sleeve having the rotary mirror is disposed on at least one of the upper and lower sides of the rotary sleeve.

【0010】[0010]

【実施例】本発明を図1〜図4に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。図1は第1の実施例である光偏向装
置の概略構成図である。モータハウジング20には、セ
ラミック材で形成された縦方向の固定軸21の下端を固
定され、この固定軸21にセラミック材で形成され上端
を閉塞された回転スリーブ22が回転自在に嵌合されて
いる。また、固定軸21の上端と回転スリーブ22の上
端との間には、空気溜り23が設けられてエアダンパが
構成され、回転スリーブ22の上端には、空気溜り23
と外部とを連通する小径の孔22aが設けられている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in FIGS. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical deflector according to a first embodiment. A lower end of a vertical fixed shaft 21 made of a ceramic material is fixed to the motor housing 20, and a rotary sleeve 22 made of a ceramic material and closed at the upper end is rotatably fitted to the fixed shaft 21. There is. An air reservoir 23 is provided between the upper end of the fixed shaft 21 and the upper end of the rotating sleeve 22 to form an air damper, and the upper end of the rotating sleeve 22 has an air reservoir 23.
There is provided a small-diameter hole 22a that communicates with the outside.

【0011】回転スリーブ22の外周には,円盤状の固
定部材24が焼き嵌め等により固定され、固定部材24
の外周面に沿って駆動永久磁石25が取り付けられてお
り、固定部材24の下面には固定部材24と同心円状の
溝24aが設けられている。また、固定部材24の上面
には回転鏡26が取り付けられ、回転鏡26は回転スリ
ーブ22の上部に取り付けられたばね27により、固定
部材24に向けて押圧固定されており、その上面には回
転スリーブ22と同心円状の溝28が設けられている。
A disk-shaped fixing member 24 is fixed to the outer periphery of the rotary sleeve 22 by shrink fitting or the like.
A drive permanent magnet 25 is attached along the outer peripheral surface of the fixing member 24, and a groove 24a concentric with the fixing member 24 is provided on the lower surface of the fixing member 24. A rotary mirror 26 is attached to the upper surface of the fixed member 24, and the rotary mirror 26 is pressed and fixed toward the fixed member 24 by a spring 27 attached to the upper portion of the rotary sleeve 22. A groove 28 concentric with 22 is provided.

【0012】更に、回転スリーブ22の上端に黄銅等の
金属部材で形成され中心に孔29aを有するキャップ2
9が接着などによって取り付けられ、回転スリーブ22
の下端には環状の永久磁石30が取り付けられると共
に、キャップ29と同様の材料で形成された環状のリン
グ31が永久磁石30の外周面と回転スリーブ22の外
周面の一部とを覆うように、接着などによって取り付け
られている。
Further, the cap 2 is formed of a metal member such as brass at the upper end of the rotary sleeve 22 and has a hole 29a at the center.
9 is attached by adhesion or the like, and the rotary sleeve 22
An annular permanent magnet 30 is attached to the lower end of the, and an annular ring 31 made of the same material as the cap 29 covers the outer peripheral surface of the permanent magnet 30 and a part of the outer peripheral surface of the rotary sleeve 22. Attached by gluing, etc.

【0013】一方、モータハウジング20には、モータ
の駆動回路を構成するモータ基板32と駆動永久磁石2
5と対向する位置に配設されたコイル33とが取り付け
られ、また固定軸21の下部のモータハウジング20に
は、永久磁石30の下側位置に環状の永久磁石34が永
久磁石30と反発し合う向きに嵌着されている。
On the other hand, in the motor housing 20, a motor substrate 32 and a drive permanent magnet 2 which constitute a motor drive circuit.
5 is attached to the coil 33 disposed at a position opposed to the fixed shaft 21. Further, in the motor housing 20 below the fixed shaft 21, an annular permanent magnet 34 repels the permanent magnet 30 at a position below the permanent magnet 30. It is fitted to fit.

【0014】回転スリーブ22、回転鏡26、駆動永久
磁石25等の部材から成る回転体の回転バランスを検査
するときは、図2に示すように補正台40の2対のロー
ラ41、42上にキャップ29とリング31をそれぞれ
載置して回転させることにより検査し、アンバランスの
ために生ずる振動を2つのセンサ43、44により検出
する。そして、回転がアンバランスであるときは、錘り
Wを溝24a、28に取り付けてバランスを補正する。
When inspecting the rotational balance of a rotary body composed of members such as the rotary sleeve 22, the rotary mirror 26, the drive permanent magnet 25, etc., as shown in FIG. The cap 29 and the ring 31 are respectively placed and rotated for inspection, and vibrations caused by imbalance are detected by the two sensors 43 and 44. When the rotation is unbalanced, the weight W is attached to the grooves 24a and 28 to correct the balance.

【0015】上述のように、回転バランスを検査すると
きに、キャップ29とリング31により回転体を保持す
るため、駆動永久磁石25やセラミック材から成る回転
スリーブ22に傷やひび割れを発生させたりして、強度
が弱くなるということがない。従って、装置の使用時に
高速回転する回転体は遠心力により破損する虞れがなく
なる。
As described above, when the rotational balance is inspected, the rotating body is held by the cap 29 and the ring 31, so that the drive permanent magnet 25 and the rotating sleeve 22 made of a ceramic material may be scratched or cracked. Therefore, the strength does not become weak. Therefore, the rotating body that rotates at a high speed when the device is used is not likely to be damaged by the centrifugal force.

【0016】また、回転スリーブ22に接着手段により
固定されている駆動永久磁石25は、回転スリーブ22
の内径との同軸度を高精度に保ちながら取り付けること
は難しい。そのため、駆動永久磁石25を保持して回転
体のバランスを補正したのでは、正確にバランスをとる
ことが難しい。そこで、上述のようにキャップ29とリ
ング31を回転スリーブ22の内周と同心の外周に嵌合
させて取り付け、或いは好ましくは回転スリーブ22の
内径基準でキャップ29やリング31の外径を加工する
ことにより、同軸精度が向上しバランス補正が正確に行
える。
The drive permanent magnet 25 fixed to the rotary sleeve 22 by an adhesive means is
It is difficult to install it while maintaining a high degree of coaxiality with the inner diameter of. Therefore, if the drive permanent magnet 25 is held to correct the balance of the rotating body, it is difficult to achieve accurate balance. Therefore, as described above, the cap 29 and the ring 31 are fitted and attached to the outer circumference concentric with the inner circumference of the rotary sleeve 22, or preferably, the outer diameters of the cap 29 and the ring 31 are processed based on the inner diameter of the rotary sleeve 22. As a result, the coaxial accuracy is improved and the balance can be corrected accurately.

【0017】このようにして、バランスが得られた回転
体は、回転スリーブ22と固定軸21との僅かな隙間を
もって嵌合されているため、ラジアル方向については空
気膜により完全に非接触の状態で支持され、スラスト方
向にも永久磁石30、34の反発力と空気溜り23とで
安定した非接触状態に支持されるため、小型化も可能で
しかも安定した回転が得られる。
In this way, the balanced rotating body is fitted with a small gap between the rotating sleeve 22 and the fixed shaft 21, so that it is completely non-contact with the air film in the radial direction. Since it is supported in a stable non-contact state by the repulsive force of the permanent magnets 30 and 34 and the air reservoir 23 also in the thrust direction, miniaturization is possible and stable rotation is obtained.

【0018】図3は第2の実施例であり、第1の実施例
における固定部材24に代えて回転スリーブ22に沿っ
た延長部51aを有する固定部材51が設けられ、キャ
ップ29は省略されている。この固定部材51は黄銅な
どの金属部材を回転スリーブ22に焼き嵌めなどにより
取り付けたものであり、ばね27は延長部51aに設け
た凹部に取り付けられている。
FIG. 3 shows a second embodiment. Instead of the fixing member 24 in the first embodiment, a fixing member 51 having an extension 51a along the rotary sleeve 22 is provided, and the cap 29 is omitted. There is. The fixing member 51 is a metal member such as brass attached to the rotary sleeve 22 by shrink fitting, and the spring 27 is attached to a recess provided in the extension portion 51a.

【0019】回転体の回転バランスを検査するときは、
リング31と固定部材51の延長部51aとを補正台の
ローラにより保持する。
When inspecting the rotational balance of the rotating body,
The ring 31 and the extension 51a of the fixing member 51 are held by the rollers of the correction table.

【0020】この第2の実施例のように構成することに
より、第1の実施例と同様な効果が得られる上に、回転
スリーブ22の上面に取り付けるキャップが不要にな
り、組み付けが簡単になると共に、回転鏡26の取り外
しも可能になり、更に製造コストを低下させることがで
きる。
By configuring as in the second embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained, and in addition, the cap to be attached to the upper surface of the rotary sleeve 22 is unnecessary, and the assembling is simplified. At the same time, the rotating mirror 26 can be removed, and the manufacturing cost can be further reduced.

【0021】図4は第3の実施例の回転体を示すもので
あり、第1の実施例における固定部材24の溝24aを
省略すると共に、リング31に代えて、バランスを調整
するための錘りを取り付ける溝52aを有するリング5
2が設けられている。
FIG. 4 shows a rotating body of the third embodiment, in which the groove 24a of the fixing member 24 in the first embodiment is omitted, and instead of the ring 31, a weight for adjusting the balance is provided. Ring 5 with groove 52a for mounting
2 are provided.

【0022】通常、回転部には中央付近に回転鏡26、
固定部材24、駆動永久磁石25と比較的重量の重いも
のが取り付けられており、重心Gは回転体の略中央部に
ある。そのため、これらの重量のアンバランスや回転ス
リーブ22への取り付けが良くないときは、回転部の重
心Gを略中心にして矢印のような振動が生ずるが、上記
のように構成することにより、バランスを補正するため
の錘りを取り付ける位置が重心より遠くなり、小さな錘
りで済むため補正が容易になる。
Normally, the rotating mirror 26,
The fixed member 24 and the drive permanent magnet 25 are attached to a relatively heavy one, and the center of gravity G is located at the substantially central portion of the rotating body. Therefore, when these weights are unbalanced or are not properly attached to the rotary sleeve 22, vibrations such as an arrow occur about the center of gravity G of the rotating portion as a center. The position for attaching the weight for correcting the distance becomes far from the center of gravity, and a small weight is sufficient for the correction.

【0023】これまでの実施例においては、回転スリー
ブ22や駆動永久磁石25を保護するリングを上下に配
設する場合について記載したが、セラミック材として例
えば高強度窒化硅素(Si34 )などを用いた場合に
は、セラミック材が回転中に破損しないだけの十分な強
度をそれ自身が有しているため、このセラミック部分を
保持してバランスを補正することも可能である。従っ
て、このようなセラミック材を使用した回転スリーブ2
2の場合には、金属部材を傷が付いて破損の心配のある
永久磁石30等を保護する下側のリング31、46のみ
に配設しても同様の効果が得られる。
In the above-described embodiments, the case where the rings for protecting the rotary sleeve 22 and the drive permanent magnet 25 are arranged vertically is described, but as the ceramic material, for example, high strength silicon nitride (Si 3 N 4 ) or the like is used. In the case of using, since the ceramic material itself has sufficient strength so as not to be damaged during rotation, it is possible to hold this ceramic portion and correct the balance. Therefore, the rotary sleeve 2 using such a ceramic material
In the case of 2, the same effect can be obtained by disposing the metal member only on the lower rings 31 and 46 that protect the permanent magnet 30 and the like that may be damaged and damaged.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る光偏向
装置は、固定軸と回転スリーブにセラミック材を使用し
てこれを嵌合させ、かつ回転体のアンバランスを補正す
る時に回転スリーブや永久磁石を保護するリング等の金
属部材を設けたので、回転スリーブや永久磁石を傷付け
ることなく高精度で回転体のバランスをとることがで
き、これによって振動の少ない安定した回転が可能であ
ると共に、動圧発生溝が不要であるので小型化も可能と
なる。
As described above, in the optical deflecting device according to the present invention, the fixed shaft and the rotating sleeve are made of ceramic material and are fitted to each other, and when the unbalance of the rotating body is corrected, Since a metal member such as a ring that protects the permanent magnets is provided, the rotating body can be balanced with high accuracy without damaging the rotating sleeve or the permanent magnets, which enables stable rotation with less vibration. Since the dynamic pressure generating groove is unnecessary, the size can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1の実施例の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a first embodiment.

【図2】回転体のバランス補正の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of balance correction of a rotating body.

【図3】第2の実施例の概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a second embodiment.

【図4】第3の実施例における回転体の概略構成図であ
る。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a rotating body according to a third embodiment.

【図5】従来例の概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 固定軸 22 回転スリーブ 24、51 固定部材 24a、28、52a 溝 26 回転鏡 29 キャップ 30、34 永久磁石 31、52 リング 21 fixed shaft 22 rotating sleeve 24, 51 fixing member 24a, 28, 52a groove 26 rotating mirror 29 cap 30, 34 permanent magnet 31, 52 ring

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 冨田 健一 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キャ ノン株式会社内 (72)発明者 夘月 和男 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キャ ノン株式会社内 (72)発明者 河野 公雄 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キャ ノン株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Kenichi Tomita, 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor, Kazuo Togetsu 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo (72) Inventor Kimio Kono 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転鏡を回転駆動させることにより、光
を偏向させる光偏向装置において、セラミック材から成
る固定軸と、該固定軸に嵌合して回転可能に保持したセ
ラミック材から成る回転スリーブとを有し、該回転スリ
ーブに回転鏡を取り付け、該回転鏡の上下の少なくとも
一方でかつ前記回転スリーブの外周に、バランス調整時
に保持用として使用する環状の金属部材を配設したこと
を特徴とする光偏向装置。
1. An optical deflecting device for deflecting light by rotating a rotary mirror, wherein a fixed shaft made of a ceramic material and a rotary sleeve made of a ceramic material fitted to the fixed shaft and rotatably held. A rotary mirror is attached to the rotary sleeve, and an annular metal member used for holding at the time of balance adjustment is disposed on at least one of the upper and lower sides of the rotary mirror and the outer circumference of the rotary sleeve. And a light deflection device.
【請求項2】 前記金属部材の一方に前記回転鏡を取り
付けるフランジ部を設けた請求項1に記載の光偏向装
置。
2. The optical deflector according to claim 1, wherein a flange portion for mounting the rotating mirror is provided on one of the metal members.
【請求項3】 前記回転スリーブの下端にスラスト浮上
用永久磁石を配設し、該永久磁石の周囲に前記金属部材
を取り付けた請求項1に記載の光偏向装置。
3. The optical deflector according to claim 1, wherein a thrust levitation permanent magnet is arranged at a lower end of the rotary sleeve, and the metal member is attached around the permanent magnet.
【請求項4】 前記金属部材の少なくとも一方に錘り固
定用の溝を設けた請求項1に記載の光偏向装置。
4. The optical deflector according to claim 1, wherein a groove for fixing a weight is provided on at least one of the metal members.
JP17169994A 1994-06-30 1994-06-30 Light deflector Pending JPH0815628A (en)

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