JPH08140371A - Ultrasonic motor - Google Patents
Ultrasonic motorInfo
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- JPH08140371A JPH08140371A JP6044739A JP4473994A JPH08140371A JP H08140371 A JPH08140371 A JP H08140371A JP 6044739 A JP6044739 A JP 6044739A JP 4473994 A JP4473994 A JP 4473994A JP H08140371 A JPH08140371 A JP H08140371A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ステータをアース電位
にすることができる超音波モータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor capable of bringing a stator to a ground potential.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図６は、従来の超音波モータを示す詳細
な断面図である。図において、１は導電性の支持部材で
あり、この支持部材１は、中心穴１Ａ、カバー用ねじ穴
１Ｂ、ステータ用ねじ穴１Ｃおよび取付け穴１Ｄを備え
ている。２はステータであり、このステータ２は円盤状
に形成られており、中心穴２Ａおよび取付け穴２Ｂが設
けられている。2. Description of the Related Art FIG. 6 is a detailed sectional view showing a conventional ultrasonic motor. In the figure, 1 is a conductive support member, and this support member 1 is provided with a central hole 1A, a cover screw hole 1B, a stator screw hole 1C, and a mounting hole 1D. Reference numeral 2 is a stator, and this stator 2 is formed in a disk shape, and is provided with a center hole 2A and a mounting hole 2B.
【０００３】さらに、ステータ２の周縁部２Ｃの上面側
には、図示せぬ多数の細かい溝が切られており、この周
縁部２Ｃの下面側には、第一駆動用圧電振動板３Ａ、第
二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃが
接着固定されている。４はローターであり、このロータ
ー４は、円盤状に形成されており、中心穴４Ａが設けら
れている。このローター４の周縁部４Ｂの下面側は、凸
状に形成されて、上記ステータ２の周縁部２Ｃの上面側
に圧接している。５は皿ばねであり、この皿ばね５は例
えば８角形状の透穴５Ａを備えている。Further, a large number of fine grooves (not shown) are cut on the upper surface side of the peripheral edge portion 2C of the stator 2, and the first drive piezoelectric vibrating plate 3A and the first driving piezoelectric vibration plate 3A are formed on the lower surface side of the peripheral edge portion 2C. The two-driving piezoelectric diaphragm 3B and the detecting piezoelectric diaphragm 3C are bonded and fixed. Reference numeral 4 denotes a rotor, and the rotor 4 is formed in a disc shape and has a center hole 4A. The lower surface side of the peripheral edge portion 4B of the rotor 4 is formed in a convex shape and is in pressure contact with the upper surface side of the peripheral edge portion 2C of the stator 2. Reference numeral 5 is a disc spring, and the disc spring 5 is provided with, for example, an octagonal through hole 5A.
【０００４】６は摩擦部材であり、この摩擦部材６は上
記ローター４の上面に張り付けられており、皿ばね５が
圧接している。７はスラスト型ベアリング、８はカバー
であり、このカバー８は中心穴を持つ凹部８Ａおよび取
付け穴８Ｂを備えている。９は出力軸であり、この出力
軸９の一端は、上記スラスト型ベアリング７で支持され
ており、皿ばね５の８角形状の透穴５Ａに接触する部分
は８角形状に形成されている。Reference numeral 6 denotes a friction member. The friction member 6 is attached to the upper surface of the rotor 4, and the disc spring 5 is in pressure contact therewith. Reference numeral 7 is a thrust bearing, 8 is a cover, and this cover 8 is provided with a recess 8A having a central hole and a mounting hole 8B. Reference numeral 9 denotes an output shaft. One end of the output shaft 9 is supported by the thrust bearing 7, and a portion of the disc spring 5 that contacts the octagonal through hole 5A is formed in an octagonal shape. .
【０００５】そして、この出力軸９は、この皿ばね５の
透穴５Ａ、摩擦部材６の透穴（図示せず）、ロータ４の
中心穴４Ａ、ステータ２の中心穴２Ａ、支持部材１の中
心穴１Ａを通して外部に出される。１０Ａ、１０Ｂおよ
び１０Ｃは、それぞれ第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二
駆動用圧電振動板３および検出用圧電振動板３Ｃに接続
された信号線である。The output shaft 9 includes the through hole 5A of the disc spring 5, the through hole (not shown) of the friction member 6, the center hole 4A of the rotor 4, the center hole 2A of the stator 2, and the support member 1. It is exposed to the outside through the central hole 1A. Signal lines 10A, 10B and 10C are connected to the first driving piezoelectric diaphragm 3A, the second driving piezoelectric diaphragm 3 and the detecting piezoelectric diaphragm 3C, respectively.
【０００６】１１はねじであり、このねじ１１は、上記
ステータ２の取付け穴２Ｂを通して支持部材１のステー
タ用ねじ穴１Ｃにねじ止めして、ステータ２を固定す
る。１２はねじであり、このねじ１２は、上記カバー８
の取付け穴８Ｂを通して支持部材１のカバー用ねじ穴１
Ｂにねじ止めして、カバー８を支持部材１に固定してい
る。Reference numeral 11 denotes a screw, which is fixed to the stator screw hole 1C of the support member 1 through the mounting hole 2B of the stator 2 to fix the stator 2. 12 is a screw, and this screw 12 is the cover 8
Through the mounting hole 8B of the
The cover 8 is fixed to the support member 1 by screwing it to B.
【０００７】次に、上記構成の超音波モータの組み立て
動作について説明する。まず、ステータ２の周縁部下側
に第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二駆動用圧電振動板３
Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを接着固定する。そし
て、支持部材１の上に、第一駆動用圧電振動板３Ａ、第
二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを
接着固定したステータ２を重ね、ねじ１１を上記ステー
タ２の取付け穴２Ｂを通して支持部材１のステータ用ね
じ穴１Ｃにねじ止めして、第一駆動用圧電振動板３Ａ、
第二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃ
を接着固定したステータ２を支持部材１に固定する。Next, the assembling operation of the ultrasonic motor having the above structure will be described. First, on the lower side of the peripheral portion of the stator 2, the first drive piezoelectric diaphragm 3A and the second drive piezoelectric diaphragm 3 are provided.
B and the piezoelectric vibration plate for detection 3C are fixed by adhesion. Then, the stator 2 to which the first driving piezoelectric vibrating plate 3A, the second driving piezoelectric vibrating plate 3B and the detecting piezoelectric vibrating plate 3C are adhered and fixed is superposed on the supporting member 1, and the screw 11 is attached to the stator 2. The first driving piezoelectric vibration plate 3A is screwed into the stator screw hole 1C of the support member 1 through the hole 2B,
Second drive piezoelectric diaphragm 3B and detection piezoelectric diaphragm 3C
The stator 2 to which is adhered and fixed is fixed to the support member 1.
【０００８】そして、このステータ２の上に、摩擦部材
６が貼られたローター４および皿ばね５を重ねた後、一
端にスラスト型ベアリング７を取り付けた出力軸９を貫
通する。そして、カバー８をかぶせた後、ねじ１２をこ
のカバー８の取付け穴８Ｂを通して支持部材１のカバー
用ねじ穴１Ｂにねじ止めして、カバー８を支持部材１に
固定して、組み立て動作が終了することができる。Then, after the rotor 4 and the disc spring 5 to which the friction member 6 is attached are superposed on the stator 2, the output shaft 9 having the thrust type bearing 7 attached to one end thereof is penetrated. Then, after covering the cover 8, the screw 12 is screwed into the cover screw hole 1B of the supporting member 1 through the mounting hole 8B of the cover 8 to fix the cover 8 to the supporting member 1, and the assembling operation is completed. can do.
【０００９】次に、上記構成の超音波モータの動作につ
いて簡単に説明する。まず、信号線１０Ａ、１０Ｂに駆
動信号を加えると、第一駆動用圧電振動板３Ａおよび第
二駆動用圧電振動板３Ｂが進行性の振動をする。このた
め、この第一駆動用圧電振動板３Ａおよび第二駆動用圧
電振動板３Ｂが固定されているステータ２には増幅され
た進行性の振動をする。Next, the operation of the ultrasonic motor configured as described above will be briefly described. First, when a drive signal is applied to the signal lines 10A and 10B, the first drive piezoelectric diaphragm 3A and the second drive piezoelectric diaphragm 3B vibrate progressively. Therefore, the amplified progressive vibration is generated in the stator 2 to which the first driving piezoelectric vibrating plate 3A and the second driving piezoelectric vibrating plate 3B are fixed.
【００１０】したがって、このステータ２の進行性の振
動により、このステータ２に圧接するローター４が、回
転動作する。そして、このローター４の回転動作は、摩
擦部材６および皿ばね５を介して出力軸９に回転伝達す
ることができる。Therefore, the progressive vibration of the stator 2 causes the rotor 4 which is in pressure contact with the stator 2 to rotate. The rotational movement of the rotor 4 can be transmitted to the output shaft 9 via the friction member 6 and the disc spring 5.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記超
音波モータは、支持部材１、ステータ２、カバー８およ
び出力軸９が共通電極となり、これらの共通電極と信号
線１０Ａ、１０Ｂとの間に所定の駆動電圧が印加され
る。このため、支持部材１、ステータ２、カバー８およ
び出力軸９に駆動電圧が印加されるため、絶縁耐圧試験
が困難であるうえ、使用者がそれらに触ると好ましくな
い場合があるなどの問題点がある。However, in the ultrasonic motor, the supporting member 1, the stator 2, the cover 8 and the output shaft 9 serve as common electrodes, and a predetermined distance is provided between these common electrodes and the signal lines 10A and 10B. Drive voltage is applied. For this reason, a drive voltage is applied to the support member 1, the stator 2, the cover 8 and the output shaft 9, which makes it difficult to perform a dielectric strength test, and it may be undesirable for the user to touch them. There is.
【００１２】したがって、本発明の目的は、ステータを
アースに取ることができ、支持部材、カバーおよび出力
軸をステータから絶縁することができる超音波モータの
提供にある。Therefore, an object of the present invention is to provide an ultrasonic motor which can ground the stator and insulate the support member, the cover and the output shaft from the stator.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明に係わる超音波モ
ータは、ステータと、このステータの周縁部下側に接着
固定され、進行性の振動を発生する第一駆動用圧電振動
板および第二駆動用圧電振動板と、上記ステータの周縁
部上側に圧接し、このステータの周縁部上側に増幅され
て生ずる進行性の振動によって回転するローターと、こ
のローターの駆動回転を外部に取り出すための出力手段
とを備えた超音波モータにおいて、フレキシブル絶縁基
板と、このフレキシブル絶縁基板上に接着した第一駆動
用配線パターン、第二駆動用配線パターン、およびアー
ス用配線パターンから構成したフレキシブル回路基板
を、上記ステータを支持する支持部材と上記ステータの
間に設け、上記第一駆動用圧電振動板に第一駆動用配線
パターンを電気的に接触させ、第二駆動用圧電振動板に
第二駆動用配線パターンを電気的に接触させ、上記ステ
ータにアース用配線パターンを電気的に接触させたもの
である。An ultrasonic motor according to the present invention includes a stator, a piezoelectric vibrating plate for a first drive, and a second drive which are adhesively fixed to a lower side of a peripheral portion of the stator to generate progressive vibration. Piezoelectric vibrating plate, a rotor that is pressed against the upper side of the peripheral edge of the stator, and rotates by progressive vibration generated by being amplified above the peripheral edge of the stator, and an output means for extracting the drive rotation of the rotor to the outside. In an ultrasonic motor comprising: a flexible insulating substrate, a flexible circuit board composed of a first drive wiring pattern, a second drive wiring pattern, and a ground wiring pattern adhered on the flexible insulating substrate, A first drive wiring pattern is electrically provided on the first drive piezoelectric vibrating plate provided between the support member supporting the stator and the stator. Is tactile, the second driving wiring pattern is in electrical contact with the second driving piezoelectric vibrating plate, is obtained by electrical contact grounding wiring pattern on the stator.
【００１４】[0014]
【作用】本発明は、支持部材、カバー又は出力軸に手が
触れても、安全で、しかも、絶縁耐圧試験を容易に行う
ことができるものである。According to the present invention, even if the support member, the cover or the output shaft is touched by hand, it is safe and the dielectric strength test can be easily performed.
【００１５】[0015]
【実施例】図１は、本発明に係る超音波モータの一実施
例を示す詳細な断面図である。図において、１４はフレ
キシブル回路基板であり、このフレキシブル回路基板１
４は、その詳細な平面図を図２（Ａ）および図２（Ｂ）
に示すように、フレキシブル絶縁基板１５、このフレキ
シブル絶縁基板１５上に接着した第一駆動用配線パター
ン１６Ａ、第二駆動用配線パターン１６Ｂ、検出用配線
パターン１６Ｃおよびアース用配線パターン１６Ｄから
構成する。1 is a detailed sectional view showing an embodiment of an ultrasonic motor according to the present invention. In the figure, 14 is a flexible circuit board, and this flexible circuit board 1
4 is a detailed plan view of FIG. 2 (A) and FIG. 2 (B).
As shown in FIG. 3, the flexible insulating substrate 15 is composed of a first drive wiring pattern 16A, a second drive wiring pattern 16B, a detection wiring pattern 16C, and a ground wiring pattern 16D which are adhered onto the flexible insulating substrate 15.
【００１６】１７はコネクタであり、このコネクタ１７
は、図示せぬ支持フレームを介して上記支持部材１に固
定し、その端子に上記フレキシブル回路基板１４の端子
がハンダ付けなどにより接続固定する。Reference numeral 17 denotes a connector, and this connector 17
Is fixed to the support member 1 through a support frame (not shown), and the terminals of the flexible circuit board 14 are connected and fixed to the terminals by soldering or the like.
【００１７】図２（Ａ）および図２（Ｂ）において、１
８は中心穴（斜線で示す）、１９は取付け穴（斜線で示
す）、２０Ａは上記第一駆動用配線パターン１６Ａから
引き出した第一引き出し信号線、２０Ｂは上記第二駆動
用配線パターン１６Ｂから引き出した第二引き出し信号
線、２０Ｃは検出用配線パターン１６Ｃから引き出した
第三引き出し信号線、２０Ｄおよび２０Ｅは上記アース
用配線パターン１６Ｄからの引き出したアース引き出し
線、２１Ａ〜２１Ｄは端子である。In FIGS. 2A and 2B, 1
8 is a central hole (shown by diagonal lines), 19 is a mounting hole (shown by diagonal lines), 20A is a first lead-out signal line drawn from the first drive wiring pattern 16A, and 20B is from the second drive wiring pattern 16B. A second lead-out signal line drawn out, 20C is a third lead-out signal line drawn from the detection wiring pattern 16C, 20D and 20E are ground lead-out lines drawn from the grounding wiring pattern 16D, and 21A to 21D are terminals.
【００１８】次に、上記構成の超音波モータの組み立て
動作について説明する。まず、ステータ２の周縁部下側
に第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二駆動用圧電振動板３
Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを接着固定する。Next, the assembling operation of the ultrasonic motor having the above construction will be described. First, on the lower side of the peripheral portion of the stator 2, the first drive piezoelectric diaphragm 3A and the second drive piezoelectric diaphragm 3 are provided.
B and the piezoelectric vibration plate for detection 3C are fixed by adhesion.
【００１９】そして、支持部材１の上に、フレキシブル
絶縁基板１５が当接するようにして、フレキシブル回路
基板１４を重ね、さらに、第一駆動用圧電振動板３Ａ、
第二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃ
を接着固定したステータ２を重ね、ねじ１１を上記ステ
ータ２の取付け穴２Ｂ、およびフレキシブル回路基板１
４の取付け穴１９を通して支持部材１のステータ用ねじ
穴１Ｃにねじ止めして、第一駆動用圧電振動板３Ａ、第
二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを
接着固定したステータ２とフレキシブル回路基板１４を
支持部材１に固定する。Then, the flexible circuit board 14 is superposed on the supporting member 1 so that the flexible insulating substrate 15 is in contact therewith, and further the first drive piezoelectric vibrating plate 3A,
Second drive piezoelectric diaphragm 3B and detection piezoelectric diaphragm 3C
The stator 2 with the adhesive fixed thereto is stacked, and the screw 11 is attached to the mounting hole 2B of the stator 2 and the flexible circuit board 1
A stator in which the first driving piezoelectric diaphragm 3A, the second driving piezoelectric diaphragm 3B, and the detecting piezoelectric diaphragm 3C are adhesively fixed by being screwed into the stator screw holes 1C of the supporting member 1 through the mounting holes 19 of No. 4 of FIG. 2 and the flexible circuit board 14 are fixed to the support member 1.
【００２０】そして、この支持部材１に、コネクタ１７
を図示せぬ支持フレームを介して固定し、その端子に上
記フレキシブル回路基板１４の端子をハンダ付けなどに
より接続固定する。そして、このステータ２の上に、摩
擦部材６が貼られたローター４、皿ばね５を重ねた後、
一端にスラスト型ベアリング７を取り付けた出力軸９を
貫通する。そして、カバー８をかぶせた後、ねじ１２を
このカバー８の取付け穴８Ｂを通して支持部材１のカバ
ー用ねじ穴１Ｂにねじ止めして、カバー８を支持部材１
に固定して、組み立て動作が終了することができる。Then, the connector 17 is attached to the support member 1.
Is fixed via a support frame (not shown), and the terminals of the flexible circuit board 14 are connected and fixed to the terminals by soldering or the like. Then, after the rotor 4 and the disc spring 5 to which the friction member 6 is attached are stacked on the stator 2,
The output shaft 9 having a thrust bearing 7 attached to one end thereof is penetrated. Then, after covering the cover 8, the screws 12 are screwed into the cover screw holes 1B of the support member 1 through the mounting holes 8B of the cover 8 to fix the cover 8 to the support member 1
It can be fixed to the end of the assembling operation.
【００２１】次に、上記構成の超音波モータの動作につ
いて簡単に説明する。まず、駆動信号を、コネクタ１７
の端子からフレキシブル回路基板１４の端子２１Ａ、第
一引き出し信号線２０Ａおよび第一駆動用配線パターン
１６Ａと、フレキシブル回路基板１４の端子２１Ｂ、第
二引き出し信号線２０Ｂおよび第二駆動用配線パターン
１６Ｂと、フレキシブル回路基板１４の端子２１Ｄ、ア
ース引き出し線２０Ｄおよびアース用配線パターン１６
Ｄとの間に印加すると、第一駆動用圧電振動板３Ａおよ
び第二駆動用圧電振動板３Ｂが進行性の振動をする。Next, the operation of the ultrasonic motor configured as described above will be briefly described. First, the drive signal is sent to the connector 17
From the terminal of the flexible circuit board 14 to the terminal 21A, the first lead-out signal line 20A and the first drive wiring pattern 16A, and the terminal 21B of the flexible circuit board 14 to the second lead-out signal line 20B and the second drive wiring pattern 16B. , The terminal 21D of the flexible circuit board 14, the ground lead wire 20D, and the ground wiring pattern 16
When applied between D and D, the first drive piezoelectric diaphragm 3A and the second drive piezoelectric diaphragm 3B vibrate progressively.
【００２２】このため、この第一駆動用圧電振動板３Ａ
および第二駆動用圧電振動板３Ｂが固定されているステ
ータ２も増幅された進行性の振動をする。したがって、
このステータ２の進行性の振動により、このステータ２
に圧接するローター４が、回転動作する。そして、この
ローター４の回転動作は、摩擦部材６および皿ばね５を
介して出力軸９に回転伝達することができる。For this reason, the first driving piezoelectric vibrating plate 3A is used.
Also, the stator 2 to which the second drive piezoelectric diaphragm 3B is fixed also undergoes amplified progressive vibration. Therefore,
Due to the progressive vibration of the stator 2, the stator 2
The rotor 4, which is pressed against, rotates. The rotational movement of the rotor 4 can be transmitted to the output shaft 9 via the friction member 6 and the disc spring 5.
【００２３】図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、図２
（Ａ）および図２（Ｂ）に示すフレキシブル回路基板の
第二の実施例を示す。図において、２２はＣ字型の抜き
穴であり、このＣ字型の抜き穴２２により、第一駆動用
配線パターン１６Ａおよび第二駆動用配線パターン１６
Ｂとアース用配線パターン１６Ｄとの間に、軸方向に段
差があっても、フレキシブル回路基板１４は、ひねられ
ることなしに固定することができる。FIG. 3A and FIG. 3B are the same as FIG.
The 2nd Example of the flexible circuit board shown to (A) and FIG. 2 (B) is shown. In the figure, reference numeral 22 denotes a C-shaped hole, and the C-shaped hole 22 allows the first drive wiring pattern 16A and the second drive wiring pattern 16 to be formed.
Even if there is a step in the axial direction between B and the ground wiring pattern 16D, the flexible circuit board 14 can be fixed without being twisted.
【００２４】図４（Ａ）および図４（Ｂ）は、図２
（Ａ）および図２（Ｂ）に示すフレキシブル回路基板の
第三の実施例を示す。図において、２３は振動抑え部材
であり、この振動抑え部材２３は、超音波モータの動作
によりフレキシブル回路基板１４の振動を抑えることが
できる。FIG. 4A and FIG. 4B correspond to FIG.
The 3rd Example of the flexible circuit board shown to (A) and FIG. 2 (B) is shown. In the figure, 23 is a vibration suppressing member, and this vibration suppressing member 23 can suppress the vibration of the flexible circuit board 14 by the operation of the ultrasonic motor.
【００２５】図５（Ａ）および図５（Ｂ）は、図２
（Ａ）および図２（Ｂ）に示すフレキシブル回路基板の
第四の実施例を示す。このフレキシブル回路基板は、第
一フレキシブル絶縁基板２４と、この第一フレキシブル
絶縁基板２４上に接着された第一駆動用配線パターン１
６Ａ、第二駆動用配線パターン１６Ｂ、および検出用配
線パターン１６Ｃと、第二フレキシブル絶縁基板２５上
に接着されたアース用配線パターン１６Ｄとから構成さ
れる。FIG. 5A and FIG. 5B are similar to FIG.
The 4th Example of the flexible circuit board shown to (A) and FIG. 2 (B) is shown. The flexible circuit board includes a first flexible insulating substrate 24 and a first drive wiring pattern 1 bonded on the first flexible insulating substrate 24.
6A, a second drive wiring pattern 16B, a detection wiring pattern 16C, and a ground wiring pattern 16D adhered onto the second flexible insulating substrate 25.
【００２６】なお、このフレキシブル回路基板の中央部
には大きな穴２４Ａが設けてあり、第二フレキシブル絶
縁基板２５は第一フレキシブル絶縁基板２４上に重ねら
れ、図３（Ａ）や図４（Ａ）のようなフレキシブル絶縁
基板１４が形成される。また、この構成のフレキシブル
回路基板の取付けについては、図２（Ａ）および図２
（Ｂ）と同様であることは、もちろんである。A large hole 24A is provided in the central portion of the flexible circuit board, and the second flexible insulating board 25 is placed on the first flexible insulating board 24, as shown in FIGS. 3 (A) and 4 (A). Flexible insulating substrate 14 is formed. In addition, regarding the mounting of the flexible circuit board of this configuration, FIG.
Of course, it is similar to (B).
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る超音波モータによれば、支持部材、カバー、および
出力軸に手が触れても、安全で、しかも、絶縁耐圧試験
を容易に行うことができるなどの効果がある。As described above in detail, according to the ultrasonic motor of the present invention, even if the supporting member, the cover, and the output shaft are touched with hands, it is safe and the dielectric strength test is easy. It has the effect that it can be done.
【図１】本発明に係る超音波モータの一実施例を示す詳
細な断面図である。FIG. 1 is a detailed sectional view showing an embodiment of an ultrasonic motor according to the present invention.
【図２】図１に示すフレキシブル回路基板の詳細な平面
図（Ａ）およびそのＡ１−Ａ２間断面図（Ｂ）である。FIG. 2 is a detailed plan view (A) of the flexible circuit board shown in FIG. 1 and a cross-sectional view (B) between A1 and A2 thereof.
【図３】図２に示すフレキシブル回路基板の第二の実施
例を示す詳細な平面図（Ａ）およびそのＢ１−Ｂ２間断
面図（Ｂ）である。FIG. 3 is a detailed plan view (A) showing a second embodiment of the flexible circuit board shown in FIG. 2 and a sectional view (B) taken along line B1-B2 thereof.
【図４】図２に示すフレキシブル回路基板の第三の実施
例を示す詳細な平面図（Ａ）およびそのＣ１−Ｃ２間断
面図（Ｂ）である。FIG. 4 is a detailed plan view (A) showing a third embodiment of the flexible circuit board shown in FIG. 2 and a cross-sectional view (B) between C1-C2 thereof.
【図５】図２に示すフレキシブル回路基板の第四の実施
例を示す詳細な平面図である。5 is a detailed plan view showing a fourth embodiment of the flexible circuit board shown in FIG.
【図６】従来の超音波モータを示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a conventional ultrasonic motor.
１４‥‥フレキシブル回路基板 １５‥‥フレキシブル絶縁基板 １６Ａ‥第一駆動用配線パターン １６Ｂ‥第二駆動用配線パターン １６Ｃ‥検出用配線パターン １６Ｄ‥アース用配線パターン １７‥‥コネクタ ２０Ａ‥第一引き出し信号線 ２０Ｂ‥第二引き出し信号線 ２０Ｃ‥第三引き出し信号線 ２０Ｄ‥アース引き出し線 ２０Ｅ‥アース引き出し線 ２３‥‥振動抑え部材 ２４‥‥第一フレキシブル絶縁基板 ２５‥‥第二フレキシブル絶縁基板 14 Flexible circuit board 15 Flexible insulating board 16A First drive wiring pattern 16B Second drive wiring pattern 16C Detecting wiring pattern 16D Grounding wiring pattern 17 Connector 20A First extraction signal Wire 20B: Second lead-out signal wire 20C: Third lead-out signal wire 20D: Ground lead-out wire 20E: Earth lead-out wire 23: Vibration suppression member 24: First flexible insulating substrate 25: Second flexible insulating substrate
Claims (3)
動を発生する第一駆動用圧電振動板および第二駆動用圧
電振動板と、このステータの周縁部上側に圧接し、この
ステータの周縁部上側に増幅されて生ずる進行性の振動
によって回転するローターと、このローターの駆動回転
を外部に取り出すための出力手段とを備えた超音波モー
タにおいて、 フレキシブル絶縁基板と、このフレキシブル絶縁基板上
に接着した第一駆動用配線パターン、第二駆動用配線パ
ターン、およびアース用配線パターンとから構成したフ
レキシブル回路基板を、上記ステータを支持する支持部
材と上記ステータの間に設け、 上記第一駆動用圧電振動板に第一駆動用配線パターンを
電気的に接触させ、上記第二駆動用圧電振動板に第二駆
動用配線パターンを電気的に接触させ、上記ステータに
アース用配線パターンを電気的に接触させたことを特徴
とする超音波モータ。1. A stator, a first driving piezoelectric diaphragm and a second driving piezoelectric diaphragm which are adhesively fixed to a lower side of a peripheral edge of the stator and generate progressive vibration, and an upper side of the peripheral edge of the stator. In an ultrasonic motor provided with a rotor that is pressed into contact with the rotor and that is rotated by progressive vibration generated by being amplified above the peripheral edge of the stator, and an output means for extracting the drive rotation of the rotor to the outside, a flexible insulating substrate, A flexible circuit board composed of a first drive wiring pattern, a second drive wiring pattern, and a grounding wiring pattern adhered on the flexible insulating substrate, and a flexible circuit board is provided between the support member supporting the stator and the stator. The first driving piezoelectric vibration plate is electrically contacted with the first driving wiring pattern, and the second driving piezoelectric vibration plate is provided with the second driving pattern. An ultrasonic motor characterized in that a dynamic wiring pattern is brought into electrical contact, and a ground wiring pattern is brought into electrical contact with the stator.
キシブル絶縁基板と、この第一フレキシブル絶縁基板上
に接着した第一駆動用配線パターンおよび第二駆動用配
線パターンと、第二フレキシブル絶縁基板と、この第二
フレキシブル絶縁基板上に接着したアース用配線パター
ンから構成したことを特徴とする請求項１記載の超音波
モータ。2. The flexible circuit board comprises a first flexible insulating substrate, a first driving wiring pattern and a second driving wiring pattern adhered onto the first flexible insulating substrate, and a second flexible insulating substrate. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the ultrasonic motor comprises a grounding wiring pattern adhered on the second flexible insulating substrate.
した第一引き出し信号線および第二駆動用配線パターン
から引き出した第二引き出し信号線に、上記アース用配
線パターンからの引き出したアース引き出し線を、それ
ぞれ近接して設けたことを特徴とする請求項２記載の超
音波モータ。3. A ground lead wire drawn from the ground wiring pattern is provided to the first lead signal line drawn from the first drive wiring pattern and the second lead signal line drawn from the second drive wiring pattern. The ultrasonic motor according to claim 2, wherein the ultrasonic motors are provided close to each other.
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|---|---|---|---|
| JP04473994A JP3165578B2 (en) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | Ultrasonic motor |
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ID=12699824
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1994-02-21 JP JP04473994A patent/JP3165578B2/en not_active Expired - Lifetime
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