JPH08139561A - Chip piezoelectric resonance component - Google Patents

Chip piezoelectric resonance component

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JPH08139561A
JPH08139561A JP27528794A JP27528794A JPH08139561A JP H08139561 A JPH08139561 A JP H08139561A JP 27528794 A JP27528794 A JP 27528794A JP 27528794 A JP27528794 A JP 27528794A JP H08139561 A JPH08139561 A JP H08139561A
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piezoelectric
base substrate
piezoelectric resonator
resonance
resonator
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide a chip piezoelectric resonance component which is easily reduced in size and easily manufactured, and utilizes a slide mode and has superior energy confinment efficiency. CONSTITUTION: On a base substrate 101, the piezoelectric resonator 102 is fixed by using conductive adhesives 103 and 104, and a cap material 117 is so fixed onto the base substrate 101 as to surround the piezoelectric resonator 102. When the piezoelectric resonator 102 has long side length (b), short side length (a) and a constituent material Poisson's ratio 6, the piezoelectric resonator is composed of an energy confined piezoelectric resonator which has a piezoelectric resonance part 108 having a ratio b/a within a range of ±10% based upon b/a=n(0.3δ+1.48) as the center and utilizes the slide mode.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えばプリント回路基
板などに面実装するのに適したチップ型の圧電共振部品
に関し、特に、すべりモードを利用した圧電共振子を用
いたチップ型圧電共振部品に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip type piezoelectric resonance component suitable for surface mounting on, for example, a printed circuit board, and more particularly to a chip type piezoelectric resonance component using a piezoelectric resonator utilizing a sliding mode. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】図1は、従来のすべりモードを利用した
エネルギー閉じ込め型の圧電共振子を示す斜視図であ
る。圧電共振子191は、矩形板状の圧電セラミック板
192を有する。圧電セラミック板192は、一方端面
192aから他方端面192b側に向かって分極処理さ
れている(分極方向を矢印Pで示す。)。圧電セラミッ
ク板192の上面192c上には共振電極193が、下
面192d上には共振電極194が形成されている。
2. Description of the Related Art FIG. 1 is a perspective view showing a conventional energy trap type piezoelectric resonator utilizing a sliding mode. The piezoelectric resonator 191 includes a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate 192. The piezoelectric ceramic plate 192 is polarized from one end surface 192a toward the other end surface 192b (the polarization direction is indicated by an arrow P). A resonance electrode 193 is formed on the upper surface 192c of the piezoelectric ceramic plate 192, and a resonance electrode 194 is formed on the lower surface 192d.

【0003】共振電極193は、端面192b側から中
央に向かって延ばされている。共振電極194は、端面
192aから中央に向かって延ばされている。共振電極
193,194は、圧電セラミック板192の中央領域
において、圧電セラミック板192を介して表裏対向す
るように重なり合わされている。
The resonance electrode 193 extends from the end surface 192b side toward the center. The resonance electrode 194 extends from the end surface 192a toward the center. The resonance electrodes 193 and 194 are overlapped in the central region of the piezoelectric ceramic plate 192 so as to face each other with the piezoelectric ceramic plate 192 in between.

【0004】圧電共振子191では、共振電極193,
194から交流電圧を印加することにより、共振電極1
93,194が重なり合っている領域、すなわち共振部
がすべりモードで励振される。この場合、振動のエネル
ギーは、共振電極193,194が重なり合っている共
振部に閉じ込められ、端面192a,192b側にはあ
まり漏洩しない。
In the piezoelectric resonator 191, the resonance electrodes 193,
By applying an AC voltage from 194, the resonance electrode 1
The region where 93 and 194 overlap, that is, the resonance part is excited in the slip mode. In this case, the energy of vibration is confined in the resonance part where the resonance electrodes 193 and 194 overlap each other, and does not leak much to the end faces 192a and 192b.

【0005】すなわち、圧電共振子191は、すべりモ
ードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子であ
る。従って、端面192a,192b近傍において機械
的に保持することにより、ケース材や回路基板等に固定
することができる。
That is, the piezoelectric resonator 191 is an energy trap type piezoelectric resonator utilizing a sliding mode. Therefore, it can be fixed to the case material, the circuit board, or the like by mechanically holding it in the vicinity of the end surfaces 192a and 192b.

【0006】エネルギー閉じ込め型の圧電共振子191
では、振動のエネルギーは共振部に良好に閉じ込められ
ることが必要である。さもないと、端面192a,19
2b側の部分において機械的に保持した場合に振動が阻
害され、所望の共振特性を得ることができない。
Energy trapping type piezoelectric resonator 191
Then, it is necessary that the energy of vibration is well confined in the resonance part. Otherwise, the end faces 192a, 19
When mechanically held in the portion on the 2b side, vibration is disturbed and desired resonance characteristics cannot be obtained.

【0007】圧電共振子191において、振動エネルギ
ーを良好に閉じ込めるには、素子の長さLを長くする必
要がある。また、圧電共振子191の共振周波数は、共
振部の厚みすなわち素子の厚みtに依存する。例えば、
共振周波数が4MHzの圧電共振子191を得ようとし
た場合、厚みtは0.3mm程度となり、2MHzの圧
電共振子191を得ようとした場合には厚みtは0.6
mmとなる。
In the piezoelectric resonator 191, in order to satisfactorily trap the vibration energy, it is necessary to lengthen the element length L. The resonance frequency of the piezoelectric resonator 191 depends on the thickness of the resonance portion, that is, the thickness t of the element. For example,
When the piezoelectric resonator 191 having a resonance frequency of 4 MHz is to be obtained, the thickness t is about 0.3 mm, and when the piezoelectric resonator 191 having a resonance frequency of 2 MHz is to be obtained, the thickness t is 0.6.
mm.

【0008】ところが、振動エネルギーを共振部に確実
に閉じ込めるには、厚みtが大きくなるにつれ、素子の
長さLを長くしなければならない。例えば、4MHzの
ときには、厚みtは0.3mmであるが、この場合共振
エネルギーを共振部に確実に閉じ込めるには、長さLを
5mm程度としなければならず、また2MHzの場合に
は厚みtは0.6mmとなるが、この場合には長さLを
10mm程度まで長くしなければならなかった。
However, in order to reliably confine the vibration energy in the resonance portion, the length L of the element must be increased as the thickness t increases. For example, the thickness t is 0.3 mm at 4 MHz, but in this case, the length L must be about 5 mm in order to reliably confine the resonance energy in the resonance portion, and the thickness t is 2 mm at 2 MHz. Becomes 0.6 mm, but in this case the length L had to be increased to about 10 mm.

【0009】その結果、すべりモードを利用したエネル
ギー閉じ込め型の圧電共振子1では、素子の長さ寸法L
が大きくならざるを得なかった。従って、従来のすべり
モードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子1
91を用いてチップ型圧電共振部品を構成した場合、部
品全体の寸法も大きくならざるを得なかった。
As a result, in the energy trap type piezoelectric resonator 1 utilizing the sliding mode, the element length dimension L
Was forced to grow. Therefore, the conventional energy trap type piezoelectric resonator 1 utilizing the sliding mode 1
When a chip-type piezoelectric resonance component was constructed using 91, the size of the entire component had to be increased.

【0010】本発明の目的は、すべりモードを利用した
エネルギー閉じ込め型の圧電共振子を用いたチップ型圧
電共振部品であって、振動エネルギーの閉じ込め効率を
効果的に高めることができ、かつ全体の寸法を小型とす
ることができ、容易に製造可能なチップ型圧電共振部品
を提供することにある。
It is an object of the present invention to provide a chip type piezoelectric resonance component using an energy trapping type piezoelectric resonator utilizing a sliding mode, which can effectively enhance the trapping efficiency of vibrational energy, and can improve the overall efficiency. It is an object of the present invention to provide a chip-type piezoelectric resonance component that can be downsized and can be easily manufactured.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明の広い局面によれ
ば、ベース基板と、ベース基板上に直接または間接に固
定された圧電共振子と、前記ベース基板上に固定された
圧電共振子を囲撓するようにベース基板に固定されたキ
ャップ材とを備え、前記圧電共振子が、長辺と短辺とを
有する一対の対向し合っている矩形の面を有し、かつあ
る方向に分極処理された圧電体と、前記圧電体の外表面
において所定距離を隔てて配置されており、かつ前記分
極方向に直交する方向に電圧を印加するための第1,第
2の共振電極とを備え、前記圧電体の前記矩形面の長辺
の長さをb、短辺の長さをa、圧電体を構成している材
料のポアソン比をσとしたときに、比b/aが、
According to a broad aspect of the present invention, there are provided a base substrate, a piezoelectric resonator fixed directly or indirectly on the base substrate, and a piezoelectric resonator fixed on the base substrate. And a cap member fixed to the base substrate so as to be bent, wherein the piezoelectric resonator has a pair of opposing rectangular surfaces having long sides and short sides, and is polarized in a certain direction. And a first and second resonance electrodes for applying a voltage in a direction orthogonal to the polarization direction, which are disposed at a predetermined distance on the outer surface of the piezoelectric body. When the length of the long side of the rectangular surface of the piezoelectric body is b, the length of the short side is a, and the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric body is σ, the ratio b / a is

【0012】[0012]

【数2】 [Equation 2]

【0013】(但し、nは整数)を満たす値を中心とし
て±10%以内の範囲とされている、すべりモードを利
用した圧電共振子であることを特徴とする、チップ型圧
電共振部品が提供される。
Provided is a chip-type piezoelectric resonance component, which is a piezoelectric resonator utilizing a sliding mode and is within a range of ± 10% around a value satisfying (where n is an integer). To be done.

【0014】すなわち、本発明は、上記特定の圧電共振
子を用いたことを特徴とし、ベース基板に対して直接ま
たは間接に該圧電共振子を固定し、ベース基板上に圧電
共振子を囲撓するようにキャップ材を固定したことを特
徴とする。
That is, the present invention is characterized in that the above-mentioned specific piezoelectric resonator is used, the piezoelectric resonator is fixed directly or indirectly to the base substrate, and the piezoelectric resonator is flexed on the base substrate. The cap material is fixed so that

【0015】本発明で用いられる上記圧電共振子の特徴
は、上記圧電体の矩形面の長辺の長さをb、短辺の長さ
をa、圧電体を構成している材料のポアソン比をσとし
たときに、比b/aが、式(1)を満たす値を中心とし
て±10%の範囲内とされていることにある。
The characteristics of the piezoelectric resonator used in the present invention are that the length of the long side of the rectangular surface of the piezoelectric body is b, the length of the short side is a, and the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric body is Is that the ratio b / a is within a range of ± 10% around a value satisfying the expression (1).

【0016】上記圧電共振子では、第1,第2の共振電
極から交流電圧が印加されることにより、分極方向に直
交する方向に該交流電圧が印加される。従って、圧電共
振子がすべりモードで励振される。しかも、上記比b/
aが、上述した式(1)を満たす値を中心として±10
%の範囲内とされているため、すべりモードの振動が圧
電共振子に効果的に閉じ込められる。このような比b/
aを上記特定の範囲内とすることにより、すべりモード
の振動が効果的に閉じ込められることは、本願発明者
(単数)により実験的に確かめられたものであり、後述
の実施例において詳述する。
In the piezoelectric resonator, the AC voltage is applied from the first and second resonance electrodes, so that the AC voltage is applied in the direction orthogonal to the polarization direction. Therefore, the piezoelectric resonator is excited in the slip mode. Moreover, the ratio b /
a is ± 10 centered on a value that satisfies the above-mentioned formula (1).
%, The vibration of the slip mode is effectively confined in the piezoelectric resonator. Such a ratio b /
It has been experimentally confirmed by the inventor (singular) of the present invention that the vibration of the slip mode is effectively confined by setting a within the above specific range, which will be described in detail in Examples described later. .

【0017】上記圧電共振子では、すべりモードの振動
が上記圧電共振子の圧電体に効果的に閉じ込められる。
従って、この圧電共振子を用いて部品を作製する際に、
支持構造側において振動を減衰させる必要がないため、
支持構造を簡略化することができる。
In the piezoelectric resonator, the vibration of the slip mode is effectively trapped in the piezoelectric body of the piezoelectric resonator.
Therefore, when manufacturing parts using this piezoelectric resonator,
Since it is not necessary to damp the vibration on the support structure side,
The support structure can be simplified.

【0018】本発明の特定的な局面によれば、上記圧電
体に支持部が連結される。この場合、圧電体にすべりモ
ードの振動が効果的に閉じ込められるため、支持部の大
きさを小さくすることができ、かつ支持部の構造を簡略
化することができる。また、好ましくは、上記支持部
は、圧電体の両側に連結され、それによって圧電体をよ
り安定に支持することができる。また、より好ましく
は、圧電体の両側に連結された支持部に対し、保持部が
連結される。この保持部として、ある程度の面積を有す
る部材を用いることにより、保持部を利用して他の部材
に容易にかつ安定に固定することができる。
According to a particular aspect of the present invention, a support portion is connected to the piezoelectric body. In this case, the vibration of the slip mode is effectively trapped in the piezoelectric body, so that the size of the supporting portion can be reduced and the structure of the supporting portion can be simplified. Also, preferably, the supporting portions are connected to both sides of the piezoelectric body, so that the piezoelectric body can be supported more stably. Further, more preferably, the holding portion is connected to the support portions connected to both sides of the piezoelectric body. By using a member having a certain area as the holding portion, the holding portion can be used to easily and stably fix the member to another member.

【0019】また、本発明のより特定的な局面では、上
記圧電体、支持部(複数)及び保持部(複数)が板状の
部材により構成され、従って全体として板状の形状を有
するエネルギー閉じ込め型の圧電共振子が用いられる。
この場合、圧電体、支持部(複数)及び保持部(複数)
を、一枚の圧電基板を機械加工することにより構成する
ことができ、従って、板状のエネルギー閉じ込め型のす
べりモードを利用した圧電共振子を容易に得ることがで
きる。
Further, in a more specific aspect of the present invention, the piezoelectric body, the supporting portions (plurality) and the holding portions (plurality) are constituted by plate-shaped members, and thus the energy trapping having a plate-shaped shape as a whole. Type piezoelectric resonators are used.
In this case, the piezoelectric body, the supporting portions (plural) and the holding portions (plural)
Can be constructed by machining one piezoelectric substrate, and therefore, a piezoelectric resonator utilizing a plate-like energy trap type sliding mode can be easily obtained.

【0020】また、上記一枚の圧電基板を機械加工する
ことにより、圧電体、支持部(複数)及び保持部(複
数)を構成する構造においては、好ましくは、圧電基板
に第1,第2の溝を形成し、第1,第2の溝間の圧電基
板部分により上記圧電体を構成してもよい。この場合に
は、第1,第2の溝を加工することにより、圧電体の寸
法を規定することができる。
Further, in the structure in which the piezoelectric body, the supporting portions (plurality) and the holding portions (plurality) are formed by machining one piezoelectric substrate, it is preferable that the first and second piezoelectric substrates are formed on the piezoelectric substrate. The groove may be formed, and the piezoelectric body may be constituted by the piezoelectric substrate portion between the first and second grooves. In this case, the dimensions of the piezoelectric body can be defined by processing the first and second grooves.

【0021】本発明において、ベース基板は、セラミッ
ク板あるいは合成樹脂板などのチップ型部品を構成する
のに適当な強度を有する材料により構成することができ
る。また、好ましくは、ベース基板に1以上の端子電極
が形成される。すなわち、端子電極を形成することによ
り、プリント回路基板等に面実装可能なチップ型圧電共
振部品として構成することができる。
In the present invention, the base substrate can be made of a material having a strength suitable for forming a chip type component such as a ceramic plate or a synthetic resin plate. Also, preferably, one or more terminal electrodes are formed on the base substrate. That is, by forming the terminal electrodes, it is possible to form a chip-type piezoelectric resonance component that can be surface-mounted on a printed circuit board or the like.

【0022】本発明のチップ型圧電共振部品では、ベー
ス基板に固定される圧電共振子の圧電共振部が、ベース
基板に対して所定の厚みのギャップを隔てて固定される
ことが好ましい。そのために、好ましくは、上記ギャッ
プを形成するためのギャップ形成手段がさらに備えられ
る。
In the chip type piezoelectric resonance component of the present invention, it is preferable that the piezoelectric resonance portion of the piezoelectric resonator fixed to the base substrate is fixed to the base substrate with a gap having a predetermined thickness. For that purpose, preferably, a gap forming means for forming the gap is further provided.

【0023】上記ギャップ形成手段は、例えば、圧電共
振子とベース基板とを固定するための接着剤により構成
することができる。すなわち、接着剤の厚みを上記ギャ
ップを形成し得るように制御することにより、接着剤に
よりギャップを形成することができる。また、ベース基
板上に端子電極が形成された構造において、導電性接着
剤を用いて圧電共振子をベース基板に固定するととも
に、圧電共振子とベース基板上の端子電極を電気的に接
続してもよい。
The gap forming means can be composed of, for example, an adhesive for fixing the piezoelectric resonator and the base substrate. That is, the gap can be formed by the adhesive by controlling the thickness of the adhesive so that the gap can be formed. Further, in the structure in which the terminal electrode is formed on the base substrate, the piezoelectric resonator is fixed to the base substrate by using a conductive adhesive, and the piezoelectric resonator and the terminal electrode on the base substrate are electrically connected. Good.

【0024】さらに、ベース基板上に形成された端子電
極と圧電共振子とを電気的に接続するために金属端子が
備えられていてもよく、この場合、金属端子により、上
記ギャップ形成手段を構成してもよい。すなわち、金属
端子の長さを圧電共振子の圧電共振部がベース基板上に
対して所定の厚みのギャップを形成し得るように選択す
ることにより、金属端子にギャップ形成手段の機能を兼
ねさせてもよい。
Further, a metal terminal may be provided for electrically connecting the terminal electrode formed on the base substrate and the piezoelectric resonator, and in this case, the metal terminal constitutes the gap forming means. You may. That is, by selecting the length of the metal terminal so that the piezoelectric resonance portion of the piezoelectric resonator can form a gap of a predetermined thickness on the base substrate, the metal terminal also functions as a gap forming means. Good.

【0025】また、本発明では、ベース基板上に固定さ
れる圧電共振子に加えて、さらに1以上の圧電共振子が
積層されていてもよい。この場合、複数の圧電共振子に
よりフィルタ回路を構成することができ、従ってチップ
型の圧電フィルタを提供することができる。
Further, in the present invention, in addition to the piezoelectric resonator fixed on the base substrate, one or more piezoelectric resonators may be further laminated. In this case, a filter circuit can be configured with a plurality of piezoelectric resonators, and thus a chip-type piezoelectric filter can be provided.

【0026】なお、本発明において、圧電共振子は、半
田や導電性接着剤を用いて、あるいは抵抗溶接などの溶
接法により、ベース基板上に直接に固定されてもよく、
あるいは間接的に固定されていてもよい。間接的にと
は、ベース基板と圧電共振子との間に他の部材、例えば
他の圧電共振子や誘電体基板などを介して固定されるこ
とを意味する。このように、本発明では、すべりモード
を利用した圧電共振子はベース基板上に直接固定されて
もよく、他の部材を介して間接的に固定されていてもよ
い。
In the present invention, the piezoelectric resonator may be directly fixed on the base substrate by using a solder, a conductive adhesive, or a welding method such as resistance welding.
Alternatively, it may be indirectly fixed. Indirectly means being fixed between the base substrate and the piezoelectric resonator via another member, for example, another piezoelectric resonator or a dielectric substrate. As described above, in the present invention, the piezoelectric resonator utilizing the sliding mode may be directly fixed on the base substrate or may be indirectly fixed via another member.

【0027】[0027]

【発明の作用及び効果】本発明のチップ型圧電共振部品
では、比b/aが上記特定の範囲内とされているすべり
モードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子が用
いられている。この圧電共振子では、圧電体に振動エネ
ルギーが効果的に閉じ込められ、かつ圧電体の短辺側の
側面で機械的に支持した場合においても、振動エネルギ
ーが圧電体内に確実に閉じ込められる。
In the chip type piezoelectric resonance component of the present invention, the energy trap type piezoelectric resonator utilizing the sliding mode in which the ratio b / a is within the above specific range is used. In this piezoelectric resonator, vibration energy is effectively confined in the piezoelectric body, and even when mechanically supported by the side surface of the piezoelectric body on the short side, the vibration energy is reliably confined in the piezoelectric body.

【0028】従って、圧電体に支持部を連結し、該支持
部を利用してベース基板に固定したり、あるいは圧電体
のみからなる圧電共振子の場合には振動のノード部を利
用してベース基板に固定したりすることができ、いずれ
の場合であっても圧電体の振動を妨げることなくベース
基板に対して圧電共振子を固定し得る。よって、ベース
基板に対し、圧電共振子を囲撓するようにキャップ材を
固定することにより、エネルギー閉じ込め型のチップ型
圧電共振部品を構成することができる。
Therefore, the support portion is connected to the piezoelectric body and is fixed to the base substrate using the support portion, or in the case of the piezoelectric resonator including only the piezoelectric body, the vibration node portion is used. The piezoelectric resonator can be fixed to the substrate, and in any case, the piezoelectric resonator can be fixed to the base substrate without disturbing the vibration of the piezoelectric body. Therefore, by fixing the cap material to the base substrate so as to surround and bend the piezoelectric resonator, it is possible to configure a chip-type piezoelectric resonance component of energy trapping type.

【0029】従って、従来のチップ型圧電共振部品に比
べて、より小型であり、かつ広帯域の特性を実現するこ
とができ、特に、kHz帯において有効に利用すること
が可能であるチップ型圧電共振部品を提供することが可
能となる。
Therefore, as compared with the conventional chip-type piezoelectric resonance component, the chip-type piezoelectric resonance can be made more compact and can realize wide band characteristics, and can be effectively used particularly in the kHz band. It becomes possible to provide parts.

【0030】また、圧電体に対して支持部を連結した構
造の圧電共振子を用いた場合には、該支持部を利用して
ベース基板に固定することができるため、支持部の大き
さを固定に必要な大きさに選択することができる。よっ
て、圧電体の振動を妨げることなく、機械的強度に優れ
たエネルギー閉じ込め型のチップ型圧電共振部品を提供
することができる。
Further, when a piezoelectric resonator having a structure in which a supporting portion is connected to a piezoelectric body is used, the supporting portion can be used to fix the piezoelectric resonator to the base substrate. You can select the size required for fixation. Therefore, it is possible to provide an energy trap type chip-type piezoelectric resonance component having excellent mechanical strength without disturbing the vibration of the piezoelectric body.

【0031】さらに、好ましくは、上記ギャップ形成手
段を設けることにより、圧電体の振動が妨げられなくな
るため、より特性の安定なチップ型圧電共振部品を提供
することができる。
Further, preferably, by providing the gap forming means, the vibration of the piezoelectric body is not disturbed, so that it is possible to provide a chip type piezoelectric resonance component with more stable characteristics.

【0032】[0032]

【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ本発明の非限
定的な実施例を説明することにより、本発明を明らかに
する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be clarified by describing non-limiting embodiments of the present invention with reference to the drawings.

【0033】図2(a)及び図2(b)は、本発明で用
いられるエネルギー閉じ込め型の圧電共振子を示す側面
図及び斜視図である。圧電共振子11は、矩形板状の圧
電セラミック板12を用いて構成されている。圧電セラ
ミック板12は、その主面と平行な方向すなわち図示の
矢印P方向に分極軸が揃うように分極処理されている。
2 (a) and 2 (b) are a side view and a perspective view showing an energy trap type piezoelectric resonator used in the present invention. The piezoelectric resonator 11 is configured by using a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate 12. The piezoelectric ceramic plate 12 is polarized so that the polarization axes are aligned in the direction parallel to the main surface thereof, that is, in the direction of arrow P shown in the figure.

【0034】圧電セラミック板12の上面12aにおい
ては、一方端面12cから他方端面12d側に向かっ
て、ただし他方端面12dには至らないように第1の共
振電極13が形成されている。同様に、圧電セラミック
板12の下面12b上では、端面12d側から端面12
c側に向かって、ただし端面12cには至らないように
第2の共振電極14が形成されている。
On the upper surface 12a of the piezoelectric ceramic plate 12, the first resonance electrode 13 is formed from the one end surface 12c toward the other end surface 12d side, but so as not to reach the other end surface 12d. Similarly, on the lower surface 12b of the piezoelectric ceramic plate 12, from the end surface 12d side to the end surface 12d side.
The second resonance electrode 14 is formed toward the c side, but so as not to reach the end face 12c.

【0035】また、圧電セラミック板12の上面12a
には、幅方向に延びる第1の溝15が、下面12b上に
も、幅方向に延びる第2の溝16が形成されている。そ
して、第1の溝15と第2の溝16とで挟まれた圧電セ
ラミック板部分において、上下の第1,第2の共振電極
13,14が圧電セラミック板12を介して重なり合っ
ており、それによって共振部すなわち本発明における圧
電体部分が構成されている。すなわち、第1,第2の共
振電極13,14の先端側に、それぞれ、第1,第2の
溝15,16が形成されて、第1,第2の溝間に共振部
が構成されている。
The upper surface 12a of the piezoelectric ceramic plate 12
Has a first groove 15 extending in the width direction and a second groove 16 extending in the width direction on the lower surface 12b. Then, in the piezoelectric ceramic plate portion sandwiched by the first groove 15 and the second groove 16, the upper and lower first and second resonance electrodes 13 and 14 are overlapped with each other via the piezoelectric ceramic plate 12, and The resonance portion, that is, the piezoelectric portion in the present invention is constituted by. That is, the first and second grooves 15 and 16 are formed on the tip ends of the first and second resonance electrodes 13 and 14, respectively, and the resonance portion is formed between the first and second grooves. There is.

【0036】圧電共振子11では、共振部における圧電
セラミック板12の厚み方向の長さ、すなわち圧電セラ
ミック板12の両端面を結ぶ方向(第1の方向)に直交
しかつ第1,第2の溝の深さ方向(第2の方向)に沿う
共振部の長さをa、該共振部の第1の方向の長さをb
(図2(a)参照)とし、圧電セラミック板12を構成
している圧電材料のポアソン比をσとしたときに、比b
/aが、
In the piezoelectric resonator 11, the length in the thickness direction of the piezoelectric ceramic plate 12 in the resonance portion, that is, the direction (first direction) connecting both end faces of the piezoelectric ceramic plate 12 is orthogonal to the first and second directions. The length of the resonance portion along the depth direction (second direction) of the groove is a, and the length of the resonance portion in the first direction is b.
(See FIG. 2A), and when the Poisson's ratio of the piezoelectric material forming the piezoelectric ceramic plate 12 is σ, the ratio b
/ A is

【0037】[0037]

【数3】 (Equation 3)

【0038】(但し、nは整数)を中心として±10%
の範囲内とされている。言い換えれば、本発明の圧電体
を構成している上記共振部では、その側面が長辺の長さ
b及び短辺の長さaである矩形面を有する。そして、比
b/aが、上記特定の範囲内となるように、上記溝1
5,16が形成されており、それによって共振部の寸法
が定められている。
± 10% around (where n is an integer)
It is within the range of. In other words, in the above-mentioned resonance part that constitutes the piezoelectric body of the present invention, the side surface thereof has a rectangular surface having a long side length b and a short side length a. Then, the groove 1 is adjusted so that the ratio b / a falls within the specific range.
5 and 16 are formed, and the dimensions of the resonance portion are determined thereby.

【0039】なお、図2(a)及び図2(b)に示した
圧電共振子11では、圧電セラミック板12の両面12
a及び下面12bにおいて、それぞれ、第1の溝15と
端面12dとの間及び第2の溝16と端面12cとの間
には電極が形成されていなかった。しかしながら、図3
(a)及び図3(b)に示すように、圧電セラミック板
12の上面12aにおいて、第1の溝15と端面12d
との間の領域に電極13aを形成し、下面12b上にお
いて、第2の溝16と端面12cとの間の領域に電極1
4aを形成してもよい。この構造では、圧電セラミック
板12の両主面に全面電極を形成した後、上記第1,第
2の溝15,16を形成することにより、第1,第2の
共振電極13,14及び電極13a,14aを形成する
ことができ、より少ない工程で圧電共振子を構成するこ
とができる。
In the piezoelectric resonator 11 shown in FIGS. 2A and 2B, both sides 12 of the piezoelectric ceramic plate 12 are arranged.
No electrodes were formed between the first groove 15 and the end surface 12d and between the second groove 16 and the end surface 12c on the a and the lower surface 12b, respectively. However, FIG.
As shown in FIGS. 3A and 3B, on the upper surface 12a of the piezoelectric ceramic plate 12, the first groove 15 and the end surface 12d are formed.
An electrode 13a is formed in a region between the second groove 16 and the end face 12c on the lower surface 12b.
4a may be formed. In this structure, after forming the entire electrodes on both main surfaces of the piezoelectric ceramic plate 12, the first and second grooves 15 and 16 are formed, so that the first and second resonance electrodes 13 and 14 and the electrodes are formed. 13a and 14a can be formed, and the piezoelectric resonator can be configured with fewer steps.

【0040】比b/aが上記特定の範囲内となるように
溝15,16を形成することにより、本実施例では、す
べりモードによる共振部における振動エネルギーが該共
振部内に効果的に閉じ込められる。この理由を、図4〜
図11を参照して説明する。
By forming the grooves 15 and 16 so that the ratio b / a falls within the above-mentioned specific range, in this embodiment, the vibration energy in the resonance part due to the slip mode is effectively confined in the resonance part. . The reason for this is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG.

【0041】いま、図4(a)に側面図で示すように、
矢印P方向すなわち上面及び下面と平行な方向に分極処
理されており、かつ比b/a=1である圧電体21の両
主面に共振電極22,23を形成した構造を想定する。
この場合、共振電極22,23から交流電圧を印加する
ことにより、圧電体21は輪かくすべりモードで振動す
る。その結果、図示の破線Aで示す振動姿態と、破線A
で示す振動姿態と左右対称である振動姿態との間で振動
することになる。
Now, as shown in the side view of FIG.
It is assumed that the resonance electrodes 22 and 23 are formed on both main surfaces of the piezoelectric body 21 that is polarized in the direction of the arrow P, that is, in the direction parallel to the upper surface and the lower surface, and has a ratio b / a = 1.
In this case, by applying an AC voltage from the resonance electrodes 22 and 23, the piezoelectric body 21 vibrates in the ring-sliding mode. As a result, the vibration mode indicated by the broken line A and the broken line A
It vibrates between the vibration mode shown by and the vibration mode which is symmetrical.

【0042】上記振動体21の各部分の位置を、図4
(b)にx−y座標系で示す。この場合、振動に際して
コーナー部分Aはx方向及びy方向の何れにおいても最
も大きな変位を示す。また、圧電体21の中心である点
Oは振動のノード点となる。他方、圧電体21の側面の
中間高さ位置の点O1 ,O2 においても、変位がみられ
る。
The position of each part of the vibrating body 21 is shown in FIG.
It is shown in an xy coordinate system in (b). In this case, when vibrating, the corner portion A exhibits the largest displacement in both the x direction and the y direction. The point O, which is the center of the piezoelectric body 21, becomes a node point of vibration. On the other hand, displacement is also observed at the points O 1 and O 2 at the intermediate height position on the side surface of the piezoelectric body 21.

【0043】従って、点O1 ,O2 においても変位がみ
られることになるため、上記圧電体21の両側面の外側
に、さらに圧電板を連ねた形状の輪かくすべりモードの
共振子を構成した場合、振動エネルギーの閉じ込め効率
は十分でないことがわかる。
Therefore, since displacements are also observed at the points O 1 and O 2 , a ring-sliding mode resonator having a shape in which piezoelectric plates are connected to the outside of both side surfaces of the piezoelectric body 21 is formed. In this case, it is understood that the efficiency of confining vibration energy is not sufficient.

【0044】これに対して、比b/aがある値のときに
は、変位分布は図5に示すとおりであることがわかっ
た。すなわち、図5に略図的側面図で示す圧電体31
は、破線Bで示す振動姿態と、該振動姿態と左右対称で
ある振動姿態との間で振動することになる。この場合、
短辺側の変位ベクトルは図6に示すようにx方向の成分
のみを有する。また、圧電体31の側面31a,31b
では、上半分の部分と、下半分の部分とで変位方向が逆
転する。
On the other hand, it was found that the displacement distribution is as shown in FIG. 5 when the ratio b / a has a certain value. That is, the piezoelectric body 31 shown in a schematic side view in FIG.
Will vibrate between the vibration mode indicated by the broken line B and the vibration mode that is symmetrical to the vibration mode. in this case,
The displacement vector on the short side has only a component in the x direction as shown in FIG. In addition, the side surfaces 31a and 31b of the piezoelectric body 31
Then, the displacement direction is reversed between the upper half portion and the lower half portion.

【0045】本発明者は、上記の事実を検討した結果、
図7に示すように、上記圧電体31の側面31aにおい
て、1/2の高さ位置の点O1 近辺から下方に支持体3
2を連結し、側面31b側において、1/2の高さ位置
の点O2 近辺から上方に支持体33を連結すれば上記x
方向における変位の支持体32,33への漏洩を防止す
ることができるのではないかと考えた。
As a result of examining the above facts, the present inventor found that
As shown in FIG. 7, on the side surface 31a of the piezoelectric body 31, the support body 3 is provided downward from the vicinity of the point O 1 at the half height position.
2 is connected, and on the side surface 31b side, if the support body 33 is connected upward from the vicinity of the point O 2 at the half height position, the above x
It was thought that the leakage of the displacement in the direction to the supports 32 and 33 could be prevented.

【0046】そこで、上記比b/aを種々変更し、かつ
種々の圧電材料を用いて圧電体31に支持体32,33
を連ねた構造の変位状態を調べた。その結果、使用する
圧電材料のポアソン比σと比b/aとの間に図8に示す
関係があることが確かめられた。図8の結果から、比b
/aを、
Therefore, the ratio b / a is changed variously, and various piezoelectric materials are used to support the piezoelectric body 31 on the support bodies 32 and 33.
The displacement state of the structure in which the columns were connected was investigated. As a result, it was confirmed that there is the relationship shown in FIG. 8 between the Poisson's ratio σ and the ratio b / a of the piezoelectric material used. From the result of FIG. 8, the ratio b
/ A

【0047】[0047]

【数4】 [Equation 4]

【0048】に設定するように圧電体31の厚みa及び
振動部分の長さbを選択することにより、支持体32,
33側への変位の伝達を減少させることができ、言い換
えれば、振動体31の部分に振動エネルギーを効果的に
閉じ込められることがわかった。
By selecting the thickness a of the piezoelectric body 31 and the length b of the vibrating portion so as to be set to
It has been found that the transmission of displacement to the 33 side can be reduced, in other words, the vibration energy can be effectively trapped in the vibrating body 31 portion.

【0049】なお、図7に示したモデルでは、圧電体3
1の側面31aにおいて、1/2の高さ位置の点O1
辺から下方に支持体32を、側面31b側において、1
/2の高さ位置の点O2 近辺よりも上方に支持体33を
連結したが、この場合の1/2の高さ位置は、特に限定
されるものではない。言い換えれば、前述した実施例に
おける圧電セラミック板11に形成されている溝15,
16の深さは、必ずしも圧電セラミック板12の厚みの
1/2以上であることは必要ではない。
In the model shown in FIG. 7, the piezoelectric body 3
On the side surface 31a of No. 1, the support 32 is provided downward from the vicinity of the point O 1 at the half height position, and on the side surface 31b side,
The support 33 is connected above the vicinity of the point O 2 at the height position of / 2, but the 1/2 height position in this case is not particularly limited. In other words, the grooves 15 formed in the piezoelectric ceramic plate 11 in the above-mentioned embodiment,
The depth of 16 does not necessarily need to be 1/2 or more of the thickness of the piezoelectric ceramic plate 12.

【0050】また、比a/bが、式(2)を満たす場合
だけでなく、そのn倍(nは整数)の場合にも、同様に
振動エネルギーを閉じ込められ得ることがわかった。上
記のようにして、式(1)を満たすように圧電体の共振
部分の寸法を選択することにより圧電体31から支持体
32,33への振動の伝達を効果的に防止し得ることが
確かめられた。この結果に基づき、有限要素法によりポ
アソン比σ=0.31の圧電材料を用い、b/a=1.
57とした場合の圧電振動体31の変位分布を調べたと
ころ、図9に示す結果が得られた。
It was also found that the vibration energy can be similarly trapped not only when the ratio a / b satisfies the equation (2) but also when it is n times (n is an integer). As described above, it is confirmed that the transmission of vibration from the piezoelectric body 31 to the supports 32 and 33 can be effectively prevented by selecting the size of the resonance portion of the piezoelectric body so as to satisfy the equation (1). Was given. Based on this result, a piezoelectric material with Poisson's ratio σ = 0.31 was used by the finite element method, and b / a = 1.
When the displacement distribution of the piezoelectric vibrating body 31 in the case of 57 was examined, the results shown in FIG. 9 were obtained.

【0051】また、このような圧電振動体31に、支持
部32A,33Bを介して圧電振動体31と等しい幅の
厚みを有する支持部34,35を一体的に構成した共振
子の変位分布を同じく有限要素法で調べたところ、図1
0に示す結果が得られた。
Further, the displacement distribution of the resonator in which the piezoelectric vibrating body 31 and the supporting portions 34 and 35 having the same width and thickness as the piezoelectric vibrating body 31 are integrally formed through the supporting portions 32A and 33B. Similarly, when examined by the finite element method, FIG.
The result shown in 0 was obtained.

【0052】図10から明らかなように、この共振子3
6では、圧電振動体31部分におけるすべりモードの振
動エネルギーが支持部32A,33B側にはほとんど漏
洩していないことがわかる。すなわち、上記比b/aを
式(1)を満たすように選択することにより、エネルギ
ー閉じ込め効率の高いすべりモードを利用した共振子を
構成し得ることがわかる。
As is apparent from FIG. 10, this resonator 3
6, it is understood that the vibration energy of the slip mode in the piezoelectric vibrating body 31 portion hardly leaks to the support portions 32A and 33B. That is, it can be seen that by selecting the ratio b / a so as to satisfy the expression (1), it is possible to configure a resonator using a slip mode having high energy trapping efficiency.

【0053】次に、あるポアソン比σにおいて、上記式
(1)のnを0.85〜1.1まで変化させ、図10に
示す変位量の最も大きな点Pの変位量に対する変位量の
最も小さな点Qにおける変位量の比、すなわち相対変位
(%)を測定した。結果を図11に示す。
Next, for a given Poisson's ratio σ, n in the above equation (1) is changed from 0.85 to 1.1, and the displacement amount of the point P having the largest displacement amount shown in FIG. The ratio of the displacement amount at the small point Q, that is, the relative displacement (%) was measured. The results are shown in Fig. 11.

【0054】図11から明らかなように、nの値が0.
9〜1.1の範囲であれば、相対変位は10%以下であ
ることがわかる。他方、相対変位が10%以下の場合に
は、共振子を構成する場合に実質的に問題のないことが
わかっている。従って、式(1)を満たす値から±10
%の範囲内であれば、共振部に振動エネルギーを効果的
に閉じ込めることができる。
As is apparent from FIG. 11, the value of n is 0.
It can be seen that the relative displacement is 10% or less in the range of 9 to 1.1. On the other hand, it has been found that when the relative displacement is 10% or less, there is substantially no problem in forming a resonator. Therefore, ± 10 from the value that satisfies the formula (1)
Within the range of%, the vibration energy can be effectively trapped in the resonance part.

【0055】上記のように、すべり振動モードを利用し
た圧電共振子においては、共振部における第1,第2の
共振電極間の距離と分極方向に沿う共振部の長さbとの
関係を式(1)で示す値から±10%の範囲内とするこ
とにより、エネルギー閉じ込め効率を効果的に高め得る
ことがわかった。
As described above, in the piezoelectric resonator utilizing the sliding vibration mode, the relation between the distance between the first and second resonant electrodes in the resonant portion and the length b of the resonant portion along the polarization direction is expressed by It was found that the energy trapping efficiency can be effectively increased by setting the value within the range of ± 10% from the value shown in (1).

【0056】そこで、図2及び図3に示した圧電共振子
11では、共振部の圧電セラミック板の厚みaと共振部
の分極方向Pに沿う長さ寸法bが上記式(1)で示す値
から±10%の範囲内とするように、上記第1,第2の
溝15,16が形成されており、それによってエネルギ
ー閉じ込め効率が高められている。図12は、本発明に
用いられる圧電共振子の第2の例を示す側面図であり、
第1の実施例について示した図2に相当する図である。
Therefore, in the piezoelectric resonator 11 shown in FIGS. 2 and 3, the thickness a of the piezoelectric ceramic plate of the resonance portion and the length dimension b of the resonance portion along the polarization direction P are the values represented by the above equation (1). To ± 10%, the first and second grooves 15 and 16 are formed so that the energy trapping efficiency is improved. FIG. 12 is a side view showing a second example of the piezoelectric resonator used in the present invention,
It is a figure equivalent to FIG. 2 shown about the 1st Example.

【0057】第2の例の圧電共振子41では、矢印P方
向に分極処理された圧電セラミック板42の上面42a
において、第1の溝45の外側に、さらに第3の溝47
が形成されており、他方圧電セラミック板42の下面4
2b側においても、第2の溝46の外側に第4の溝48
が形成されており、それによって動吸振部49,50が
構成されている。この動吸振部49,50は、公知の動
吸振現象により、漏洩してきた振動によって共振し、漏
洩してきた振動を打ち消すように作用する。従って、動
吸振部49,50の寸法は、このような動吸振現象によ
る振動の相殺を果たすような大きさに選ばれている。
In the piezoelectric resonator 41 of the second example, the upper surface 42a of the piezoelectric ceramic plate 42 polarized in the direction of arrow P is used.
At the outer side of the first groove 45, a third groove 47
And the lower surface 4 of the piezoelectric ceramic plate 42 is formed.
Also on the 2b side, the fourth groove 48 is provided outside the second groove 46.
Are formed, and thereby the dynamic vibration absorbing portions 49 and 50 are configured. The dynamic vibration absorbing portions 49, 50 resonate with the leaked vibration and act to cancel the leaked vibration by a known dynamic vibration absorbing phenomenon. Therefore, the dimensions of the dynamic vibration absorbing portions 49 and 50 are selected to be the size that cancels the vibration due to the dynamic vibration absorbing phenomenon.

【0058】圧電共振子41では、上記第3,第4の溝
47,48が形成されて動吸振部49,50が構成され
ていることを除いては、第1の実施例と同様であるた
め、その他の部分については相当の参照番号を付するこ
とにより、その説明は省略する。
The piezoelectric resonator 41 is the same as that of the first embodiment except that the dynamic vibration absorbing portions 49 and 50 are formed by forming the third and fourth grooves 47 and 48. Therefore, the other parts are given the corresponding reference numerals, and the description thereof is omitted.

【0059】圧電共振子41では、共振部における寸法
比b/aが式(1)で示す値から±10%の範囲内とさ
れているため、共振部に振動エネルギーが効果的に閉じ
込められる。しかも、わずかに漏洩した振動は、上記動
吸振部49,50によって動吸振現象により相殺され
る。従って、第3,第4の溝47,48よりも外側の保
持部51,52において圧電共振子41を機械的に保持
した場合、共振特性の劣化がほとんど生じない。よっ
て、第1の例に比べて、より一層エネルギー閉じ込め効
率を高めることかでき、より小型の圧電共振子を提供す
ることができる。
In the piezoelectric resonator 41, the dimensional ratio b / a in the resonance portion is within the range of ± 10% from the value expressed by the equation (1), so that the vibration energy is effectively trapped in the resonance portion. In addition, the slightly leaked vibrations are canceled by the dynamic vibration absorbing parts 49 and 50 by the dynamic vibration absorbing phenomenon. Therefore, when the piezoelectric resonator 41 is mechanically held by the holding portions 51 and 52 outside the third and fourth grooves 47 and 48, the resonance characteristics are hardly deteriorated. Therefore, compared with the first example, the energy trapping efficiency can be further enhanced, and a smaller piezoelectric resonator can be provided.

【0060】上述してきた第1,第2の例では、厚みす
べりモードを利用した圧電共振子につき説明したが、本
発明の圧電共振子は、すべり振動モードであれば幅すべ
りモードなどの他のすべりモードの圧電共振子にも適用
することができる。
In the first and second examples described above, the piezoelectric resonator utilizing the thickness-sliding mode has been described. However, the piezoelectric resonator of the present invention has other modes such as a width-sliding mode if it is a sliding vibration mode. It can also be applied to a slip mode piezoelectric resonator.

【0061】図13(a)に示す圧電共振子61は、幅
すべりモードを利用した圧電共振子である。図13を参
照して、圧電共振子61は、矩形板状の圧電セラミック
板62を用いて構成されている。圧電セラミック板62
は、矢印P方向に分極処理されている。すなわち、圧電
セラミック板62の上面62aと平行な方向に分極処理
されている。
The piezoelectric resonator 61 shown in FIG. 13A is a piezoelectric resonator utilizing the width-sliding mode. With reference to FIG. 13, the piezoelectric resonator 61 is configured using a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate 62. Piezoelectric ceramic plate 62
Is polarized in the direction of arrow P. That is, polarization processing is performed in a direction parallel to the upper surface 62a of the piezoelectric ceramic plate 62.

【0062】圧電セラミック板62の両端縁に沿うよう
に、一対の共振電極63,64が形成されている。共振
電極63,64の延びる方向は、分極方向Pと平行であ
り、共振電極63,64は、圧電セラミック板62の上
面62a上において、中央領域において所定距離を隔て
て対向されている。
A pair of resonance electrodes 63 and 64 are formed along both edges of the piezoelectric ceramic plate 62. The extending direction of the resonance electrodes 63 and 64 is parallel to the polarization direction P, and the resonance electrodes 63 and 64 are opposed to each other on the upper surface 62a of the piezoelectric ceramic plate 62 at a predetermined distance in the central region.

【0063】また、共振電極63の先端側には、第1の
溝65が、第2の共振電極64の先端側には第2の溝6
6が形成されており、それによって第1,第2の溝6
5,66で挟まれた共振部が構成されている。この共振
部、すなわち本発明の圧電体を構成している部分は上面
及び下面が矩形の形状を有する。共振部の上面の短辺方
向(第2の方向)の長さをa、共振部の長辺すなわち分
極方向Pに沿った方向(第1の方向)の長さをbとした
ときに、比b/aを式(1)に示す値から±10%以内
の範囲とすることにより、第1の実施例と同様に、共振
部に振動エネルギーを効果的に閉じ込めることができ
る。
A first groove 65 is provided on the tip side of the resonance electrode 63, and a second groove 6 is provided on the tip side of the second resonance electrode 64.
6 are formed, whereby the first and second grooves 6 are formed.
A resonance part sandwiched between 5, 66 is formed. The resonance portion, that is, the portion forming the piezoelectric body of the present invention has a rectangular shape in the upper surface and the lower surface. When the length of the upper surface of the resonance part in the short side direction (second direction) is a, and the length of the long side of the resonance part, that is, the direction along the polarization direction P (first direction) is b, the ratio is By setting b / a within the range of ± 10% from the value shown in the formula (1), it is possible to effectively trap the vibration energy in the resonance part, as in the first embodiment.

【0064】さらに、図13(b)に示すように、分極
軸方向Pは、圧電セラミック板62の長手方向と直交す
る方向(第2の方向)であってもよい。この場合におい
て共振電極63,64が、圧電セラミック板62の短辺
と平行に延ばされており、それによって共振部に電界が
加わる方向が圧電セラミック板62の長手方向とされて
いる。図13(b)に示す構成においても、第1,第2
の溝65,66間の共振部の上面の形状が、上述した式
(1)に示す値から±10%以内の範囲となるように、
比b/aが選択されている。従って、すべりモードの振
動エネルギーを共振部に効果的に閉じ込めることができ
る。
Further, as shown in FIG. 13B, the polarization axis direction P may be a direction (second direction) orthogonal to the longitudinal direction of the piezoelectric ceramic plate 62. In this case, the resonance electrodes 63 and 64 extend in parallel with the short sides of the piezoelectric ceramic plate 62, and the direction in which the electric field is applied to the resonance portion is the longitudinal direction of the piezoelectric ceramic plate 62. Also in the configuration shown in FIG. 13B, the first and second
So that the shape of the upper surface of the resonance part between the grooves 65 and 66 is within a range of ± 10% from the value shown in the above equation (1).
The ratio b / a is selected. Therefore, the vibration energy of the slip mode can be effectively confined in the resonance portion.

【0065】第1の実施例 図14は、本発明の第1の実施例に係るチップ型圧電共
振部品の分解斜視図である。
First Embodiment FIG. 14 is an exploded perspective view of a chip type piezoelectric resonance component according to the first embodiment of the present invention.

【0066】本実施例では、ベース基板101上に、す
べりモードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子
102が導電性接着剤103,104を用いて固定され
ている。
In this embodiment, the energy trap type piezoelectric resonator 102 utilizing the sliding mode is fixed on the base substrate 101 using conductive adhesives 103 and 104.

【0067】ベース基板101は、アルミナなどの絶縁
性セラミックス、あるいは合成樹脂などの適宜の絶縁材
料により構成されている。ベース基板101は、矩形板
状の形状を有し、一方の側面に切欠101a,101b
が、他方の側面に101c,101dが形成されてい
る。
The base substrate 101 is made of an insulating ceramic such as alumina, or an appropriate insulating material such as synthetic resin. The base substrate 101 has a rectangular plate shape and has notches 101a and 101b on one side surface.
However, 101c and 101d are formed on the other side surface.

【0068】ベース基板101上には、端子電極10
5,106が形成されている。端子電極105は、切欠
101a,101cの内周面に至るように形成されてい
る。同様に、端子電極106も、切欠101b,101
dに至るように形成されている。
The terminal electrode 10 is formed on the base substrate 101.
5, 106 are formed. The terminal electrode 105 is formed so as to reach the inner peripheral surfaces of the notches 101a and 101c. Similarly, the terminal electrode 106 also has the notches 101b and 101.
It is formed so as to reach d.

【0069】上記端子電極105,106は、蒸着、メ
ッキもしくはスパッタリングにより、あるいは導電ペー
ストを塗布し、硬化させることにより形成され得る。圧
電共振子102は、矢印P方向に、すなわち主面と平行
な方向に分極処理された圧電セラミック板を用いて構成
されている。矩形板状の圧電セラミック板に第1,第2
の溝107a,107bを形成することにより、第1,
第2の溝107a,107b間に平面形状が矩形の圧電
共振部108が構成されている。この圧電共振部108
の長辺の長さbと、短辺の長さaとの比b/aは、前述
した式(1)を満たす値を中心として±10%以内の値
とされている。
The terminal electrodes 105 and 106 can be formed by vapor deposition, plating or sputtering, or by applying a conductive paste and curing it. The piezoelectric resonator 102 is configured using a piezoelectric ceramic plate that is polarized in the direction of arrow P, that is, in the direction parallel to the main surface. First and second rectangular piezoelectric ceramic plates
By forming the grooves 107a and 107b of
The piezoelectric resonance portion 108 having a rectangular planar shape is formed between the second grooves 107a and 107b. This piezoelectric resonator 108
The ratio b / a between the length b of the long side and the length a of the short side is within ± 10% centered on the value satisfying the above-mentioned formula (1).

【0070】圧電共振部108の側方には、支持部10
9,110が連ねられている。支持部109,110
は、第1,第2の溝107a,107bの側方の圧電基
板部分である。また、支持部109,110の外側に
は、保持部111,112が連ねられている。
The support portion 10 is provided on the side of the piezoelectric resonance portion 108.
9,110 are lined up. Supports 109, 110
Is a piezoelectric substrate portion lateral to the first and second grooves 107a and 107b. In addition, holding portions 111 and 112 are connected to the outside of the support portions 109 and 110.

【0071】他方、圧電共振部108においては、向か
い合う一対の側面に、第1,第2の共振電極113,1
14が形成されている。第1の共振電極113は、保持
部111の端面に形成された接続電極115に連ねられ
ている。同様に、共振電極114は、保持部112の端
面に形成された接続電極116に連ねられている。な
お、接続電極115,116は、図14では必ずしも明
確ではないが、保持部111,112の下面にも至るよ
うに形成されている。
On the other hand, in the piezoelectric resonance portion 108, the first and second resonance electrodes 113, 1 are provided on the pair of side surfaces facing each other.
14 is formed. The first resonance electrode 113 is connected to the connection electrode 115 formed on the end surface of the holding unit 111. Similarly, the resonance electrode 114 is connected to the connection electrode 116 formed on the end surface of the holding portion 112. The connection electrodes 115 and 116 are formed so as to reach the lower surfaces of the holding portions 111 and 112, though not necessarily clear in FIG.

【0072】上記接続電極115,116の保持部11
1,112の下面に至る部分が、導電性接着剤103,
104により端子電極105,106に接合されてい
る。従って、端子電極105,106から交流電圧を印
加することにより、上記圧電共振部108が上述したす
べりモードで励振され、その振動エネルギーは圧電共振
部108に閉じ込められる。
Holding portion 11 for connecting electrodes 115 and 116
The conductive adhesive 103,
It is joined to the terminal electrodes 105 and 106 by 104. Therefore, by applying an AC voltage from the terminal electrodes 105 and 106, the piezoelectric resonance part 108 is excited in the above-mentioned slip mode, and the vibration energy is confined in the piezoelectric resonance part 108.

【0073】他方、導電性接着剤103,104は、図
示のように所定の厚みを有するように付与される。従っ
て、圧電共振部108の下面と、ベース基板101との
下面の間に導電接着剤103,104の厚みに応じたギ
ャップXが形成される。従って、上記圧電共振部108
の振動は、ベース基板101に圧電共振子102を固定
したことにより妨げられない。
On the other hand, the conductive adhesives 103 and 104 are applied so as to have a predetermined thickness as shown. Therefore, a gap X corresponding to the thickness of the conductive adhesives 103 and 104 is formed between the lower surface of the piezoelectric resonance portion 108 and the lower surface of the base substrate 101. Therefore, the piezoelectric resonator 108
Vibration is not prevented by fixing the piezoelectric resonator 102 to the base substrate 101.

【0074】なお、導電性接着剤103,104として
は、従来より公知の適宜の導電性接着剤を用いることが
できるが、導電性接着剤103,104に代えて、半田
や銀ろうなどの他の導電性接合材を用いて端子電極10
5,106に接続電極115,116を接合してもよ
い。
As the conductive adhesives 103 and 104, any suitable conductive adhesive known in the related art can be used. Instead of the conductive adhesives 103 and 104, other materials such as solder or silver solder can be used. Terminal electrode 10 using the conductive bonding material of
The connection electrodes 115 and 116 may be bonded to the electrodes 5 and 106.

【0075】本実施例では、上記ベース基板101上に
固定された圧電共振子102を囲撓するように、キャッ
プ材117がベース基板101に対して固定される。キ
ャップ材117は、金属もしくは合成樹脂等の適宜の材
料により構成されるが、下方に開いた形状を有する。ま
た、キャップ材117は、絶縁性接着剤を用いてベース
基板101に対して固定される。
In this embodiment, the cap member 117 is fixed to the base substrate 101 so as to surround the piezoelectric resonator 102 fixed on the base substrate 101. The cap member 117 is made of an appropriate material such as metal or synthetic resin, but has a shape that opens downward. The cap material 117 is fixed to the base substrate 101 with an insulating adhesive.

【0076】上記キャップ材117をベース基板101
に対して固定することにより得られた、本実施例のチッ
プ型圧電共振部品を図15に示す。本実施例のチップ型
圧電共振部品118では、上記ベース基板101に対し
てキャップ材117を固定することにより、内部に圧電
共振子102が封止されることになる。また、ベース基
板101に上記端子電極105,106が形成されてい
るため、プリント回路基板上の接続ランドや配線パター
ンに容易に面実装することができる。よって、他のチッ
プ型電子部品と同様に、面実装可能な電子部品として、
上記エネルギー閉じ込め型の圧電共振子を提供すること
ができる。
The cap material 117 is applied to the base substrate 101.
FIG. 15 shows a chip-type piezoelectric resonance component of this example obtained by fixing it to the. In the chip-type piezoelectric resonance component 118 of the present embodiment, the piezoelectric resonator 102 is sealed inside by fixing the cap member 117 to the base substrate 101. Further, since the terminal electrodes 105 and 106 are formed on the base substrate 101, they can be easily surface-mounted on the connection lands and wiring patterns on the printed circuit board. Therefore, like other chip-type electronic components, as surface mountable electronic components,
The energy trap type piezoelectric resonator can be provided.

【0077】さらに、チップ型圧電共振部品118で
は、上記ベース基板101、圧電共振子102及びキャ
ップ材113の比較的少ない点数の部品で、上記のよう
なエネルギー閉じ込め効率に優れたチップ型圧電共振部
品を容易に提供することができる。
Further, the chip-type piezoelectric resonance component 118 is a component having a relatively small number of points of the base substrate 101, the piezoelectric resonator 102 and the cap material 113, and is a chip-type piezoelectric resonance component excellent in the energy trapping efficiency as described above. Can be easily provided.

【0078】なお、切欠101a,101b,101
c,101dは、上記のように端子電極105,106
を利用してプリント回路基板等に接合する際に接合面積
を増大させるために設けられている。切欠101a〜1
01dは、必ずしも設けられずともよい。
Notches 101a, 101b, 101
c and 101d are the terminal electrodes 105 and 106 as described above.
It is provided to increase the bonding area when bonding to a printed circuit board or the like by utilizing. Notches 101a-1
01d does not necessarily have to be provided.

【0079】第2の実施例 図16は、本発明の第2の実施例に係るチップ型圧電共
振部品を説明するための分解斜視図である。
Second Embodiment FIG. 16 is an exploded perspective view for explaining a chip type piezoelectric resonance component according to a second embodiment of the present invention.

【0080】本実施例のチップ型圧電共振部品では、矩
形板状のベース基板101上に矩形板状の圧電共振子1
22が接着剤123a〜123dを用いて固定されてい
る。ベース基板101は、第1の実施例で用いたベース
基板101(図14参照)と同様に構成されている。従
って、同様の部分については、同一の参照番号を付する
ことにより、その詳細な説明は省略する。
In the chip type piezoelectric resonance component of this embodiment, the rectangular plate-shaped piezoelectric resonator 1 is mounted on the rectangular plate-shaped base substrate 101.
22 is fixed using adhesives 123a to 123d. The base substrate 101 has the same structure as the base substrate 101 (see FIG. 14) used in the first embodiment. Therefore, the same portions are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0081】本実施例の特徴は、圧電共振子122が、
前述した支持部及び保持部を有せず、矩形板状の圧電共
振部のみで構成されていることにある。すなわち、圧電
共振子122は、長辺の長さbの短辺の長さaに対する
比b/aが、式(1)を満たす値を中心として±10%
の範囲内とされている圧電セラミック板を用いて構成さ
れている。この圧電セラミック板は、図示の矢印P方向
に分極処理されており、かつその向かい合う一対の側面
に、第1,第2の共振電極113,114が形成されて
いる。よって、共振電極113,114から交流電圧を
印加することにより、圧電共振子122は、上記と同様
にすべりモードで励振され、その振動エネルギーが圧電
共振子122内に閉じ込められる。
The feature of this embodiment is that the piezoelectric resonator 122 is
It does not have the supporting portion and the holding portion described above, and is configured by only a rectangular plate-shaped piezoelectric resonance portion. That is, in the piezoelectric resonator 122, the ratio b / a of the length b of the long side to the length a of the short side is ± 10% around a value satisfying the expression (1).
It is constituted by using a piezoelectric ceramic plate which is within the range. This piezoelectric ceramic plate is polarized in the direction of arrow P shown in the drawing, and first and second resonance electrodes 113 and 114 are formed on a pair of side surfaces facing each other. Therefore, by applying an AC voltage from the resonance electrodes 113 and 114, the piezoelectric resonator 122 is excited in the sliding mode as described above, and the vibration energy is confined in the piezoelectric resonator 122.

【0082】また、本実施例では、上記圧電共振子12
2のすべりモードによる振動を妨げないために、圧電共
振子122の下面において対角線方向に向かい合うコー
ナー部分において、圧電共振子122が接着剤123
b,123cを用いてベース基板101に固定されてい
る。
Further, in this embodiment, the piezoelectric resonator 12 described above is used.
In order not to prevent the vibration due to the sliding mode of No. 2, the piezoelectric resonator 122 has the adhesive 123 at the corners of the lower surface of the piezoelectric resonator 122 which are diagonally opposed to each other.
It is fixed to the base substrate 101 by using b and 123c.

【0083】接着剤123b,123cは導電性接着剤
により構成されている。従って、共振電極113が端子
電極105に、共振電極114が端子電極106に電気
的に接続されている。
The adhesives 123b and 123c are made of a conductive adhesive. Therefore, the resonance electrode 113 is electrically connected to the terminal electrode 105, and the resonance electrode 114 is electrically connected to the terminal electrode 106.

【0084】なお、接着剤123b,123cは、図示
のように所定の厚みを有するように塗布され、従ってベ
ース基板101の上面と、圧電共振子122の下面との
間に接着剤123b,123cの厚みに応じたギャップ
Xが形成されている。
The adhesives 123b and 123c are applied so as to have a predetermined thickness as shown in the figure. Therefore, the adhesives 123b and 123c are applied between the upper surface of the base substrate 101 and the lower surface of the piezoelectric resonator 122. A gap X corresponding to the thickness is formed.

【0085】ベース基板101には、キャップ材117
が固定される。キャップ材117は、第1の実施例で用
いたキャップ材117(図14)と同様に構成されてお
り、絶縁性接着剤によりベース基板101に固定され
る。
A cap material 117 is formed on the base substrate 101.
Is fixed. The cap material 117 has the same structure as the cap material 117 (FIG. 14) used in the first embodiment, and is fixed to the base substrate 101 by an insulating adhesive.

【0086】上記のようにして図17に示す第2の実施
例に係るチップ型圧電共振部品128が得られる。チッ
プ型圧電共振部品128においても、ベース基板101
上に設けられた端子電極105,106を利用して、プ
リント回路基板等に容易に面実装することができる。ま
た、第1の実施例と同様に、ベース基板101、圧電共
振子122及びキャップ材117を上記のように組み立
てるだけで、容易にチップ型圧電共振部品を提供し得
る。
As described above, the chip type piezoelectric resonance component 128 according to the second embodiment shown in FIG. 17 is obtained. Also in the chip type piezoelectric resonance component 128, the base substrate 101
By using the terminal electrodes 105 and 106 provided above, it can be easily surface-mounted on a printed circuit board or the like. Further, similarly to the first embodiment, the chip type piezoelectric resonance component can be easily provided only by assembling the base substrate 101, the piezoelectric resonator 122, and the cap member 117 as described above.

【0087】しかも、第2の実施例では、圧電共振子1
22が支持部及び保持部を有せず、単に所定の寸法比の
矩形板状の圧電共振子122を用いて構成されるため、
第1の実施例に比べて、より一層容易にエネルギー閉じ
込め型のチップ型圧電共振部品を提供することができ
る。
Moreover, in the second embodiment, the piezoelectric resonator 1
22 does not have a supporting portion and a holding portion, and is simply configured by using a rectangular plate-shaped piezoelectric resonator 122 having a predetermined dimensional ratio.
As compared with the first embodiment, the energy trap type chip type piezoelectric resonance component can be provided more easily.

【0088】第3の実施例 図18は、本発明の第3の実施例に係るチップ型圧電共
振部品を説明するための斜視図である。第3の実施例の
チップ型圧電共振部品は、第2の実施例のチップ型圧電
共振部品の変形例に相当する。従って、第2の実施例の
チップ型圧電共振部品128と異なる点のみを説明し、
同じ部分については、同一の参照番号を付することによ
り、第2の実施例について行った説明を援用することと
する。
Third Embodiment FIG. 18 is a perspective view for explaining a chip type piezoelectric resonance component according to a third embodiment of the present invention. The chip-type piezoelectric resonance component of the third embodiment corresponds to a modification of the chip-type piezoelectric resonance component of the second embodiment. Therefore, only the points different from the chip type piezoelectric resonance component 128 of the second embodiment will be explained,
The same parts are designated by the same reference numerals, and the description given for the second embodiment is incorporated.

【0089】本実施例においても、矩形板状の圧電共振
子122が用いられる。もっとも、第1の共振電極11
3は、圧電共振子122の端面に形成された接続電極1
22aに連ねられている。同様に、共振電極114も、
圧電共振子122の他方端面に形成された接続電極12
2bに連ねられている。
Also in this embodiment, the rectangular plate-shaped piezoelectric resonator 122 is used. However, the first resonance electrode 11
3 is a connection electrode 1 formed on the end face of the piezoelectric resonator 122.
22a. Similarly, the resonance electrode 114 also
Connection electrode 12 formed on the other end surface of the piezoelectric resonator 122
It is connected to 2b.

【0090】また、本実施例では、接着剤123b,1
23cに代えて、金属端子124,125が用いられて
いる。金属端子124,125はT字状の形状を有す
る。金属端子124の上端が、接続電極122aに半田
もしくは導電性接着剤で接合されており、金属端子12
4の下端が端子電極105に導電接着剤または半田によ
り接合されている。同様に、金属端子125の上端が接
続電極122bに、金属端子125の下端が端子電極1
06に、導電性接着剤もしくは半田等により接合されて
いる。
Further, in this embodiment, the adhesive 123b, 1
Metal terminals 124 and 125 are used instead of 23c. The metal terminals 124 and 125 have a T shape. The upper end of the metal terminal 124 is joined to the connection electrode 122a with solder or a conductive adhesive,
The lower end of 4 is joined to the terminal electrode 105 with a conductive adhesive or solder. Similarly, the upper end of the metal terminal 125 is the connection electrode 122b, and the lower end of the metal terminal 125 is the terminal electrode 1.
It is joined to 06 with a conductive adhesive or solder.

【0091】なお、金属端子124,125で圧電共振
子122がベース基板101上に固定された状態におい
て、ベース基板101の上面と圧電共振子122の下面
との間には所定の厚みのギャップXが形成されている。
従って、圧電共振子122のすべりモードによる振動
は、上記金属端子124,125による固定により妨げ
られない。すなわち、本実施例では、金属端子124,
125が、ギャップ形成手段を構成している。その他の
点については、第2の実施例と同様である。
When the piezoelectric resonator 122 is fixed on the base substrate 101 by the metal terminals 124 and 125, a gap X having a predetermined thickness is provided between the upper surface of the base substrate 101 and the lower surface of the piezoelectric resonator 122. Are formed.
Therefore, the vibration due to the slip mode of the piezoelectric resonator 122 is not disturbed by the fixing by the metal terminals 124 and 125. That is, in this embodiment, the metal terminals 124,
125 forms the gap forming means. The other points are similar to those of the second embodiment.

【0092】第3の実施例においても、チップ型圧電共
振部品が、ベース基板101、板状の圧電共振子122
及びキャップ材117の比較的少ない部品により容易に
構成することができる。
Also in the third embodiment, the chip type piezoelectric resonance component includes the base substrate 101 and the plate-shaped piezoelectric resonator 122.
Also, the cap member 117 can be easily configured with relatively few parts.

【0093】しかも、圧電共振子122は、第2の実施
例と同様に、支持部及び保持部を有しないため、単に矩
形板状の圧電セラミック板を用意し、上記電極を形成す
るだけで容易に得ることができる。
Moreover, since the piezoelectric resonator 122 does not have a supporting portion and a holding portion as in the second embodiment, it is easy to prepare a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate and form the above electrodes. Can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】従来の厚みすべり振動モードを利用した圧電共
振子を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing a conventional piezoelectric resonator utilizing a thickness shear vibration mode.

【図2】(a)及び(b)は、本発明において用いられ
るエネルギー閉じ込め型圧電共振子の側面図及び斜視
図。
2 (a) and 2 (b) are a side view and a perspective view of an energy trap type piezoelectric resonator used in the present invention.

【図3】(a)及び(b)は、図2に示した圧電共振子
の変形例を説明するための側面図及び斜視図。
3A and 3B are a side view and a perspective view for explaining a modified example of the piezoelectric resonator shown in FIG.

【図4】(a)及び(b)は、それぞれ、比b/a=1
の場合のすべりモードを説明するための略図的側面図及
び振動体の位置を示す模式図。
FIG. 4 (a) and (b) show the ratio b / a = 1, respectively.
FIG. 5 is a schematic side view for explaining the slip mode in the case of FIG. 9 and a schematic view showing the position of the vibrating body.

【図5】比b/a=0.3σ+1.48の場合の圧電振
動体の変位分布を示す模式的側面図。
FIG. 5 is a schematic side view showing the displacement distribution of the piezoelectric vibrating body when the ratio b / a = 0.3σ + 1.48.

【図6】図5に示した振動が生じた場合の側面の変位ベ
クトル分布を示す模式的側面図。
6 is a schematic side view showing a displacement vector distribution on a side surface when the vibration shown in FIG. 5 occurs.

【図7】図6に示した圧電振動体に支持体を連結した場
合のx方向の変位分布を示す模式的側面図。
7 is a schematic side view showing a displacement distribution in the x direction when a support is connected to the piezoelectric vibrating body shown in FIG.

【図8】比b/aとポアソン比σとの関係を示す図。FIG. 8 is a diagram showing a relationship between a ratio b / a and a Poisson's ratio σ.

【図9】ポアソン比σ=0.31、比b/a=1.57
の場合の圧電振動体の有限要素法により解析された変位
分布を示す図。
FIG. 9: Poisson's ratio σ = 0.31, ratio b / a = 1.57
FIG. 6 is a diagram showing a displacement distribution analyzed by the finite element method of the piezoelectric vibrating body in the case of.

【図10】図9に示した圧電振動体の外側の第1,第2
の溝を介して保持部を設けた圧電共振子の変位分布を示
す図。
10 is a first and second outside of the piezoelectric vibrating body shown in FIG.
FIG. 6 is a diagram showing a displacement distribution of a piezoelectric resonator provided with a holding portion via the groove of FIG.

【図11】比b/a×nのnと、相対変位量との関係を
示す図。
FIG. 11 is a diagram showing a relationship between a ratio b / a × n and a relative displacement amount.

【図12】本発明で用いられる圧電共振子の他の例を示
す側面図。
FIG. 12 is a side view showing another example of the piezoelectric resonator used in the present invention.

【図13】(a)及び(b)は、本発明で用いられるエ
ネルギー閉じ込め型圧電共振子のさらに他の例を説明す
るための各斜視図。
13 (a) and 13 (b) are perspective views for explaining still another example of the energy trap type piezoelectric resonator used in the present invention.

【図14】本発明の第1の実施例に係るチップ型圧電共
振部品の分解斜視図。
FIG. 14 is an exploded perspective view of the chip type piezoelectric resonance component according to the first embodiment of the present invention.

【図15】第1の実施例のチップ型圧電共振部品を示す
斜視図。
FIG. 15 is a perspective view showing a chip type piezoelectric resonance component of the first embodiment.

【図16】第2の実施例に係るチップ型圧電共振部品の
分解斜視図。
FIG. 16 is an exploded perspective view of a chip type piezoelectric resonance component according to a second embodiment.

【図17】第2の実施例のチップ型圧電共振部品の斜視
図。
FIG. 17 is a perspective view of a chip type piezoelectric resonance component of the second embodiment.

【図18】第3の実施例に係るチップ型圧電共振部品を
説明するための分解斜視図。
FIG. 18 is an exploded perspective view for explaining a chip type piezoelectric resonance component according to a third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101…ベース基板 102…エネルギー閉じ込め型圧電共振子 103,104…導電性接着剤 105,106…端子電極 107a,107b…第1,第2の溝 108…圧電共振部 109,110…支持部 111,112…保持部 113,114…共振電極 115,116…接続電極 117…キャップ材 118…チップ型圧電共振部品 122…チップ型圧電共振子 123b,123c…導電性接着剤 124,125…金属端子 128…チップ型圧電共振部品 X…ギャップ 101 ... Base substrate 102 ... Energy trap type piezoelectric resonator 103, 104 ... Conductive adhesive 105, 106 ... Terminal electrodes 107a, 107b ... First and second grooves 108 ... Piezoelectric resonance section 109, 110 ... Support section 111, 112 ... Holding part 113, 114 ... Resonance electrode 115, 116 ... Connection electrode 117 ... Cap material 118 ... Chip-type piezoelectric resonance component 122 ... Chip-type piezoelectric resonator 123b, 123c ... Conductive adhesive 124, 125 ... Metal terminal 128 ... Chip type piezoelectric resonance component X ... Gap

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ベース基板と、 ベース基板上に直接または間接に固定された圧電共振子
と、前記ベース基板上に固定された圧電共振子を囲撓す
るようにベース基板に固定されたキャップ材とを備え、 前記圧電共振子が、 長辺と短辺とを有する一対の対向し合っている矩形の面
を有し、かつある方向に分極処理された圧電体と、 前記圧電体の外表面において所定距離を隔てて配置され
ており、かつ前記分極方向に直交する方向に電圧を印加
するための第1,第2の共振電極とを備え、 前記圧電体の前記矩形面の長辺の長さをb、短辺の長さ
をa、圧電体を構成している材料のポアソン比をσとし
たときに、比b/aが、 【数1】 (但し、nは整数)を満たす値を中心として±10%以
内の範囲とされている、すべりモードを利用した圧電共
振子であることを特徴とする、チップ型圧電共振部品。
1. A base substrate, a piezoelectric resonator fixed directly or indirectly on the base substrate, and a cap member fixed to the base substrate so as to surround the piezoelectric resonator fixed on the base substrate. The piezoelectric resonator has a pair of opposing rectangular surfaces having a long side and a short side, and is polarized in a certain direction, and an outer surface of the piezoelectric body. At a predetermined distance, and is provided with first and second resonance electrodes for applying a voltage in a direction orthogonal to the polarization direction, and the long side of the rectangular surface of the piezoelectric body is long. Where b is the short side length, a is the short side length, and σ is the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric body, the ratio b / a is given by A chip-type piezoelectric resonance component, characterized in that it is a piezoelectric resonator utilizing a sliding mode, which is within a range of ± 10% around a value satisfying (where n is an integer).
【請求項2】 前記圧電共振子が、前記圧電体に連結さ
れた支持部をさらに備え、前記支持部において圧電共振
子がベース基板に固定されている、請求項1に記載のチ
ップ型圧電共振部品。
2. The chip-type piezoelectric resonance according to claim 1, wherein the piezoelectric resonator further includes a support portion connected to the piezoelectric body, and the piezoelectric resonator is fixed to a base substrate at the support portion. parts.
【請求項3】 前記圧電共振子を前記ベース基板に対し
て所定の厚みのギャップを隔ててベース基板に固定する
ためのギャップ形成手段をさらに備える、請求項1また
は2に記載のチップ型圧電共振部品。
3. The chip type piezoelectric resonance according to claim 1, further comprising gap forming means for fixing the piezoelectric resonator to the base substrate with a gap having a predetermined thickness from the base substrate. parts.
【請求項4】 前記ギャップ形成手段が、前記圧電共振
子とベース基板とを固定するための接着剤である、請求
項3に記載のチップ型圧電共振部品。
4. The chip-type piezoelectric resonance component according to claim 3, wherein the gap forming means is an adhesive for fixing the piezoelectric resonator and the base substrate.
【請求項5】 前記ベース基板に形成された外部との接
続のための端子電極をさらに備え、 前記ギャップ形成手段が金属端子であり、該金属端子に
より、圧電共振子と前記端子電極とが電気的に接続され
ている、請求項3に記載のチップ型圧電共振部品。
5. A terminal electrode formed on the base substrate for connecting to the outside is further provided, wherein the gap forming means is a metal terminal, and the metal terminal serves to electrically connect the piezoelectric resonator and the terminal electrode. 4. The chip type piezoelectric resonance component according to claim 3, wherein the chip type piezoelectric resonance components are electrically connected.
【請求項6】 前記ベース基板上に形成された端子電極
をさらに備え、 前記接着剤が導電性接着剤であり、前記端子電極と圧電
共振子とが前記導電性接着剤で電気的に接続されてい
る、請求項4に記載のチップ型圧電共振部品。
6. A terminal electrode formed on the base substrate is further provided, wherein the adhesive is a conductive adhesive, and the terminal electrode and the piezoelectric resonator are electrically connected by the conductive adhesive. The chip-type piezoelectric resonance component according to claim 4, wherein
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