JPH08132344A - センサ素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数個の被製造物を保持板に固着し、これを
一単位として各工程に送り込んで処理することにより複
数個のセンサ素子を同時に製造する。 【解決手段】 １００μｍ程度の厚みの金属製の可撓性
を有する保持板１に、被製造物の小径部が挿入し得る穴
２を複数箇所に設け、各穴２の内周面の対向する部位に
一対の切込み３、３を設け、切込み３、３間で梁４を形
成する。各穴２に被製造物の小径部を挿入し、各穴２の
梁４と各被製造物との間を溶接により一体に固着する。
これを一単位として、表面研磨工程、成膜構成等に送り
込むことにより、複数個のセンサ素子を同時に製造する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は圧力センサ、荷重
センサ等に用いられるセンサ素子の製造方法に関し、特
に、一度に複数個の被製造物を各工程に送り込んで処理
することにより、複数個のセンサ素子を同時に製造する
ことのできるセンサ素子の製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来技術およびその問題点】一般に、圧力センサ、荷
重センサ等に用いられるセンサ素子にあっては、図６
（ａ）に示すように構成されている。

【０００３】すなわち、このセンサ素子５は、一端が閉
塞された筒状をなすとともに、周面が大径部５ａと小径
部５ｂの２段に形成されていて、大径部５ａの上面側
（閉塞されている部分）に歪みゲージ（図示せず）が蒸
着、スパッタリング等の成膜法により所定のパターンで
形成されるようになっている。

【０００４】このようなセンサ素子は、図１９に示すよ
うに、「切削加工又は鍛造等の工程」、「洗浄工程」、
「表面研磨工程」、「洗浄工程」、「成膜（蒸着又はス
パッタリング等で機能膜形成）工程」、「パターニング
（スピンコート、露光、エッチング等）工程」、「洗浄
工程」の７つの工程を経て製造されるものであるが、従
来は、一度に複数個の被製造物を各工程に送り込んで処
理する有効な手段がなかったため、被製造物を１個づつ
各工程に送り込んで処理しなければならず、複数個のセ
ンサ素子５を製造するのに長時間を要し、生産性が非常
に悪かった。

【０００５】例えば、「表面研磨工程」について説明す
ると、図２０に示すように、被製造物６を挿入し得る穴
６１を複数箇所に設けたホルダ６０を研磨盤６５上に位
置してガイド６４で保持するとともに、ホルダ６０の各
穴６１に被製造物６を挿入し、被製造物６の上部に弾性
材６６を介して錘６７を位置して各被製造物６を研磨盤
６５の方向に押圧し、この状態で研磨盤６５を作動させ
ることにより複数個の被製造物６の研磨が同時に行われ
る。

【０００６】この場合、複数個の被製造物６の高さ方向
の寸法のばらつきは、弾性材６６の弾性変形によって吸
収されるようになっているので、高いものから先に研磨
されて徐々に全体の高さが揃って行き、最後には全体の
高さが均一に仕上げられるようになっている。

【０００７】しかしながら、被製造物６を１個づつホル
ダ６０の穴６１に装着しなければならないため、その作
業に手間がかかり、また、高さ方向の寸法のばらつきが
大きい場合には、弾性材６６の変形によってもばらつき
を完全に吸収することができず、低いもののハンドリン
グが不十分となってしまい、その研磨面にだれが生じて
しまう。なお、センサ素子５は、図６（ｂ）に示すよう
な円筒状のものであっても、前記したものと同様な問題
が生じるものである。

【０００８】一方、特開昭５８−１４９１６８号公報に
は、ウエハーの研磨方法が記載されており、この研磨方
法は、被加工物保持用の穴を複数箇所に設けたホルダの
各穴に被加工物を保持して、これを上下研磨盤間に位置
することにより複数個の被加工物の両面を同時に研磨す
るようにしたものである。

【０００９】しかしながら、このようなものにあって
も、被加工物を１個づつホルダの穴に装着しなければな
らないため、その作業に手間がかかり、また、各被加工
物は各穴内に完全に固定されていないので、研磨面にだ
れが生じる虞がある。

【００１０】この発明は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、一度に複数個の被製造
物を各工程に送り込んで処理することができ、生産性を
大幅に高めることのできるセンサ素子の製造方法を提供
することを目的とするものである。

【００１１】

【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、一端が閉塞された略筒状のセンサ
素子の製造方法であって、可撓性を有する板に複数の被
製造物を、その処理面を前記可撓性板の撓む方向に向け
て固着して、これを一単位として研磨、成膜等の工程に
送り込んで複数個のセンサ素子を同時に処理する手段を
採用したものである。また、一端が閉塞された略筒状の
センサ素子の製造方法であって、可撓性を有する板に複
数の穴を設け、該穴内に径方向に突出する少なくとも二
つの片持梁を設け、該梁と被製造物とを、該被製造物の
処理面を前記可撓板の撓む方向に向けて固着して、これ
を一単位として研磨、成膜等の工程に送り込んで複数個
のセンサ素子を同時に処理する手段を採用したものであ
る。

【００１２】

【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、可撓性のある板に一端が閉塞された略筒状をなす
被製造物を、その処理面を可撓性板の撓む方向に向けて
固着し、これを一単位として各工程に送り込んで処理す
ることにより、複数個の被製造物の個々の高さ方向の寸
法にばらつきがあっても、可撓性のある板が高さ方向に
変位してそのばらつきを吸収することになる。また、複
数個の被製造物を固着することによって可撓性板の剛性
が高まっても、個々の穴の片持梁の撓みによって、高さ
方向の寸法のばらつきを吸収することになる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明による
センサ素子の製造方法の実施の形態について説明する。
図１〜図５には、この発明によるセンサ素子の製造方法
の第１の実施の形態が示されていて、図１は被製造物を
保持する保持板を示す平面図、図２は図１に示すものの
部分拡大図、図３（３）は図１に示すものに被製造物を
保持した状態を示した部分拡大図、図４（ａ）は図３
（ａ）に示すものの側面図、図５は図１に示すものに被
製造物を保持して表面研磨工程に送り込んだ状態を示す
説明図である。

【００１４】すなわち、この実施の形態に示すセンサ素
子の製造方法は、一端が閉塞された筒状をなすととも
に、周面が大径部５ａと小径部５ｂの２段に形成される
センサ素子５（図６（ａ）参照）の製造方法であって、
一端が閉塞された筒状をなすものの周面を大径部６ａと
小径部６ｂの２段に加工した被製造物６（図３（ａ）、
図４（ａ）および図５参照）を複数個保持板１に保持
し、これを一単位として各工程に送り込んで処理するこ
とにより、複数個のセンサ素子５を同時に製造するよう
にしたものである。

【００１５】ここで保持板１は、１００μｍ程度の厚み
の金属製、例えば耐蝕性に優れるステンレス等からなる
可撓性を有する薄板であって、被製造物６の小径部６ｂ
が挿入し得る穴２をエッチング、打抜き等により複数箇
所に穿設し、各穴２の内周面の対向する部位にそれぞれ
一対の三角形状の切込み３、３を設け、隣接する切込み
３、３間で被製造物を支持する三角形状の梁４を形成し
たものである。

【００１６】上記のような保持板１に複数個の被製造物
６を保持するには、各穴２に被製造物６の小径部６ｂを
挿入して各穴２の梁４と各被製造物６の大径部６ａとの
間をシリーズ溶接等により一体に固着する。この場合の
溶接強度は、各工程処理中に外れることなく、各工程終
了後に容易に取り外せる程度の強さとする。

【００１７】そして、保持板１に保持した複数個の被製
造物６を一単位として、研磨、成膜等の各工程に送り込
んで処理することにより、複数個のセンサ素子５が同時
に製造されるものである。

【００１８】例えば、「表面研磨工程」について説明す
ると、保持板１に保持した複数個の被製造物６を保持板
１と共に研磨盤７上に位置し、その上部に錘８を載置し
て各被製造物６を研磨盤７の方向に押圧する（図５参
照）。

【００１９】この場合、各被製造物６の高さ方向の寸法
のばらつきは、可撓性を有する保持板１の高さ方向への
変位によって吸収されるとともに、各被製造物６は各穴
２の梁４によって保持板１に完全に固定されるものであ
る。

【００２０】したがって、研磨盤７を作動させても各被
製造物６が各穴２内で動くようなことはなく、高さ方向
のばらつきが大きいために研磨盤７の方向への押圧力が
部分的に不足しても研磨面にだれが生じるような虞はな
く、被製造物６は高いものから順に研磨されて徐々に全
体の高さが揃って行き、最後に全体の高さが均一の寸法
に仕上げられることになる。

【００２１】また、複数個の被製造物６を保持板１に保
持して一単位とし、それを各工程に送り込んで処理する
ようにしたことにより、被製造物６を１個づつ各工程に
送り込んで処理していた従来に比べて、研磨工程におけ
る処理時間、成膜工程におけるスピンコート、露光等の
処理時間、洗浄工程の処理時間等を大幅に短縮すること
ができ、生産性を大幅に高めることができることにな
る。なお、被製造物６はフランジが付いているものに限
らず、図３（ｂ）、図４（ｂ）に示す円筒状のものであ
っても同様に固着できるものであり、この場合のセンサ
素子５は図６（ｂ）のようになるものである。

【００２２】図７〜図９（ａ）には、この発明によるセ
ンサ素子の製造方法の第２の実施の形態が示されてい
て、図７は被製造物を保持する保持板を示す平面図、図
８は図７に示すものに被製造物を保持した状態を示す部
分拡大図、図９（ａ）は図８に示すものの側面図であ
る。

【００２３】すなわち、この実施の形態に示すセンサ素
子の製造方法も前記第１の実施の形態に示すものと同様
に、一端が閉塞された筒状をなすとともに、周面が大径
部５ａと小径部５ｂの２段に形成されているセンサ素子
５（図６（ａ）参照）の製造方法であって、一端が閉塞
された筒状をなすものの周面を大径部６ａと小径部６ｂ
の２段に加工した被製造物６（図８および図９（ａ）参
照）を複数個保持板１１に保持し、これを一単位として
各工程に送り込んで処理することにより複数個のセンサ
素子５を同時に製造するようにしたものである。

【００２４】ここで保持板１１は、１００μｍ程度の厚
みの金属製、例えば耐蝕性に優れるステンレス等からな
る可撓性を有する薄板であって、被製造物６の小径部６
ｂが挿入し得る穴１２をエッチング、打抜き等により複
数箇所に穿設したものである。

【００２５】上記のような保持板１１に複数個の被製造
物６を保持するには、各穴１２に被製造物６の小径部６
ｂを挿入するとともに、被製造物６の大径部６ａを各穴
１２の周縁部にシリーズ溶接等により一体に固着する。
この場合の溶接強度は、各工程処理中に外れることな
く、各工程終了後に容易に取り外せる程度の強さとす
る。

【００２６】そして、保持板１１に保持した複数個の被
製造物６を保持板１１と共に研磨、成膜等の工程に送り
込んで処理することにより、複数個のセンサ素子５が同
時に製造されることになる。

【００２７】したがって、被製造物６を１個づつ各工程
に送り込んで処理していた従来に比べて、一度に複数個
の被製造物６を各工程に送り込んで処理できるので、研
磨工程における処理時間、成膜工程におけるスピンコー
ト、露光等の処理時間、洗浄工程の処理時間等を大幅に
短縮することができ、生産性を大幅に高めることができ
ることになる。

【００２８】また、研磨工程における各被製造物６の高
さ方向の寸法のばらつきは、可撓性を有する保持板１１
の高さ方向への変位によって吸収されるとともに、各被
製造物６は各穴１２に完全に固定されるので、研磨盤７
（図５参照）を作動させても各被製造物６が各穴１２内
で動くようなことはなく、高さ方向のばらつきが大きい
ために研磨盤７の方向への押圧力が部分的に不足しても
研磨面にだれが生じるような虞はなく、被製造物６は高
いものから順に研磨されて徐々に全体の高さが揃って行
き、最後に全体の高さが均一の寸法に仕上げられること
になる。なお、被製造物６はフランジが付いているもの
に限らず、図９（ａ）に示すように、円筒状のものであ
っても同様に固着できるものであり、この場合のセンサ
素子５は図６（ｂ）のようになるものである。

【００２９】図１０〜図１２には、この発明によるセン
サ素子の製造方法の第３の実施の形態が示されていて、
図１０は被製造物を保持する保持板を示す平面図、図１
１は図１０に示すものに被製造物を保持した状態を示す
部分拡大図、図１２は図１１に示すものの側面図であ
る。

【００３０】すなわち、この実施の形態に示すセンサ素
子の製造方法も前記第１の実施の形態に示すものと同様
に、一端が閉塞された筒状をなすとともに、周面が大径
部５ａと小径部５ｂの２段に形成されているセンサ素子
５（図６（ａ）参照）の製造方法であって、一端が閉塞
された筒状をなすものの周面を大径部６ａと小径部６ｂ
の２段に加工した被製造物６（図１１および図１２参
照）を複数個保持板２１に保持し、これを一単位として
各工程に送り込んで処理することにより複数個のセンサ
素子５を同時に製造するようにしたものである。

【００３１】ここで、保持板２１は可撓性を有する金属
製（耐蝕性に優れるステンレス等）の薄板又は金属を表
面にコーティングした可撓性を有する樹脂製の薄板であ
って、被製造物６の大径部６ａ又は小径部６ｂ（この実
施の形態では大径部６ａ）が嵌合し得る穴をエッチン
グ、打抜き等により複数箇所に穿設したものである。

【００３２】上記のような保持板２１に複数個の被製造
物６を保持するには、各穴２２に被製造物６の大径部６
ａを嵌合する。

【００３３】そして、保持板２１に保持した複数個の被
製造物６を保持板２１と共に各工程に送り込んで処理す
ることにより、同時に複数個のセンサ素子５が製造され
ることになる。

【００３４】したがって、研磨工程における処理時間、
成膜工程におけるスピンコート、露光等の処理時間、洗
浄工程の処理時間等を大幅に短縮することができ、生産
性を大幅に高めることができることになる。

【００３５】また、研磨工程における各被製造物６の高
さ方向の寸法のばらつきは、可撓性を有する保持板２１
の高さ方向への変位によって吸収されるとともに、各被
製造物６は各穴２２に完全に固定されるので、研磨盤７
（図５参照）を作動させても各被製造物６が各穴２２内
で動くようなことはなく、高さ方向のばらつきが大きい
ために研磨盤７の方向への押圧力が部分的に不足しても
研磨面にだれが生じるような虞はなく、被製造物６は高
いものから順に研磨されて徐々に全体の高さが揃って行
き、最後に全体の高さが均一の寸法に仕上げられること
になる。

【００３６】なお、前記第１、第２および第３の実施の
形態においては、被製造物６を溶接又は嵌合によって保
持板１、１１、２１に固着したが、接着剤によって固着
しても同様の効果が得られるものである。

【００３７】図１３〜図１５（ａ）には、この発明によ
るセンサ素子の製造方法の第４の実施の形態が示されて
いて、図１３は被製造物を保持する保持板を示す平面
図、図１４は図１３に示すものに被製造物を保持した状
態を示す部分拡大平面図、図１５（ａ）は図１４に示す
もののＡ−Ａ線に沿って見た一部断面図である。

【００３８】すなわち、この実施の形態に示すセンサ素
子の製造方法も前記第１の実施の形態に示すものと同様
に、一端が閉塞された筒状をなすとともに、周面が大径
部５ａと小径部５ｂの２段に形成されているセンサ素子
５（図６（ａ）参照）の製造方法であって、一端が閉塞
された筒状をなすものの周面を大径部６ａと小径部６ｂ
の２段に加工した被製造物６（図１５（ａ）参照）を複
数個保持板３１に保持し、これを一単位として各工程に
送り込んで処理することにより複数個のセンサ素子５を
同時に製造するようにしたものである。

【００３９】ここで、保持板３１は、１００μｍ程度の
厚みの金属製、例えば耐蝕性に優れるステンレス等から
なる可撓性を有する薄板であって、被製造物６の大径部
６ａよりも小径の穴３２をエッチング、打抜き等により
複数箇所に穿設するとともに、各穴３２の内周面の対向
する部位に一対の梁３４、３４を形成したものである。
なお、梁３４、３４は、各穴３２の内周面の対向する部
位に一対以上設けてもよいものである。

【００４０】上記のように構成した保持板３１に複数個
の被製造物６、６、……を保持するには、各穴３２を閉
塞するように保持板３１上に複数個の被製造物６、６、
……を載置するとともに、各穴３２の梁３４、３４と各
被製造物６の大径部６ａの端面との間をシリーズ溶接等
により一体に固着する。この場合の溶接強度は、各工程
処理中に外れることなく、各工程終了後に容易に取り外
せる程度の強さとする。

【００４１】そして、保持板３１に保持した複数個の被
製造物６、６、……を保持板３１と共に研磨、成膜等の
工程に送り込んで処理することにより、複数個のセンサ
素子５、５、……が同時に製造されることになる。

【００４２】この場合、各被製造物６は各穴３２の梁３
４、３４によって保持板３１に固定されているので、表
面研磨工程等において各穴３２内で動くようなことはな
い。したがって、表面研磨工程等において、高さ方向の
寸法のばらつきが大きいために研磨盤の方向への押圧力
が部分的に不足しても、研磨面にだれが生じるようなこ
とはなく、複数個の被製造物６は高いものから順に研磨
されて徐々に全体の高さが揃って行き、最後に全体の高
さが均一の寸法に仕上げられることになる。

【００４３】したがって、被製造物６を１個づつ各工程
に送り込んで処理していた従来に比べて、一度に複数個
の被製造物６を各工程に送り込んで処理できるので、研
磨工程における処理時間、成膜工程におけるスピンコー
ト、露光等の処理時間、洗浄工程の処理時間等を大幅に
短縮することができ、生産性を大幅に高めることができ
ることになる。

【００４４】また、保持板３１上に複数個の被製造物
６、６、……を載置して、各穴３２の内周面に設けた梁
３４、３４に各被製造物６の大径部６ａの端面を溶接に
より固着するようにしたので、前記第１の実施の形態に
示したものよりも被製造物６を多く保持することができ
ることになる。

【００４５】すなわち、一般に、被製造物６の全高の寸
法公差は加工上厳しくできるものの、大径部６ａの高さ
方向の寸法公差は厳しくすることができない。前記第１
の実施の形態に示すものは、大径部６ａの高さ方向の寸
法のばらつきがそのまま被製造物６の全高の寸法のばら
つきとして現れる。このため、各穴２の梁４、４を長く
してばね定数を小さくし、研磨工程等において保持板１
を高さ方向に変位しやすくし、被製造物６の高さ方向の
寸法のばらつきを保持板１の変位によって吸収するよう
にしている。

【００４６】これに対して、この実施の形態に示すもの
は、被製造物６の大径部６ａの端面を梁３４、３４に固
着しているため、大径部６ａの高さ方向の寸法のばらつ
きが被製造物６の全高のばらつきとなることはなく、各
穴３２の梁３４、３４の長さを短くしてばね定数を高く
しても、だれ等が生じることなく複数個の被製造物６を
所定の高さに形成することができるものである。したが
って、前記第１の実施の形態に示すものに比べて、穴３
２と穴３２との間隔をより狭くすることができ、保持で
きる被製造物６の数を前記第１の実施例の形態に示すも
のよりも多くすることができ、より生産性をより高める
ことができるものである。なお、被製造物６はフランジ
が付いているものに限らず、図１５（ｂ）に示すよう
に、円筒状のものであっても同様に固着できるものであ
り、この場合のセンサ素子５は図６（ｂ）のようになる
ものである。

【００４７】図１６および図１７には、この発明による
センサ素子の製造方法の第５の実施の形態が示されてい
て、図１６は被製造物を保持する保持板を示す平面図、
図１７は図１６に示すものの部分拡大図である。

【００４８】すなわち、この実施の形態に示すセンサ素
子の製造方法も前記第１の実施の形態に示すものと同様
に、一端が閉塞された筒状をなすとともに、周面が大径
部５ａと小径部５ｂの２段に形成されているセンサ素子
５（図６（ａ）参照）の製造方法であって、一端が閉塞
された筒状をなすものの周面を大径部６ａと小径部６ｂ
の２段に加工した被製造物６を複数個保持板４１に保持
して一単位とし、これを各工程に送り込んで処理するこ
とにより複数個のセンサ素子５を同時に製造するように
したものである。

【００４９】ここで、保持板４１は、１００μｍ程度の
厚みを有する金属製、例えば耐蝕性に優れるステンレス
等からなる可撓性を有する薄板、又はそれ以上の厚みを
有する金属製、例えば耐蝕性に優れるステンレス等から
なる厚板であって、被製造物６の小径部６ｂが挿入し得
る穴４２を、エッチング、打抜き等により複数箇所に穿
設するとともに、各穴４２の周囲に複数の切込み４３を
設けて、これら複数の切込み４３によって各穴４２の周
囲にばね構造を形成したものである。

【００５０】切込み４３は、穴４２を囲んで対向するよ
うに一対の円弧状のものを同一同心円上に設けるととも
に、このようなものを複数の同心円上に内から外に向か
って互い違いになるようにそれぞれ設けたものであっ
て、これらの複数の切込み４３によって穴４２の周囲に
ばね構造を形成したものである。

【００５１】そして、上記のような保持板４１に複数個
の被製造物６を保持するには、各穴４２に被製造物６の
小径部６ｂを挿入して、各穴４２の周囲の切込み４３以
外の部分に各被製造物６の大径部６ａをシリーズ溶接等
により一体に固着する。この場合の溶接強度は、各工程
処理中に外れることなく、各工程終了後に容易に取り外
せる程度の強さとする。

【００５２】そして、保持板４１に保持した複数個の被
製造物６を一単位として、研磨、成膜等の各工程に送り
込んで処理することにより、複数個のセンサ素子５が同
時に製造されるものである。

【００５３】この場合、各被製造物６は、各穴４２の周
囲に固定されているので、例えば、表面研磨工程等にお
いて各穴４２内で動くようなことはなく、したがって、
高さ方向の寸法のばらつきが大きいために研磨盤の方向
への押圧力が部分的に不足しても、研磨面にだれが生じ
るようなことはなく、複数個の被製造物６は高いものか
ら順に研磨されて徐々に全体の高さが揃って行き、最後
に全体の高さが均一の寸法に仕上げられることになる。

【００５４】したがって、被製造物６を１個づつ各工程
に送り込んで処理していた従来に比べて、一度に複数個
の被製造物６を各工程に送り込んで処理できるので、研
磨工程における処理時間、成膜工程におけるスピンコー
ト、露光等の処理時間、洗浄工程の処理時間等を大幅に
短縮することができ、生産性を大幅に高めることができ
ることになる。

【００５５】また、各穴４２の周囲に複数の切込み４３
を設けて、それら複数の切込み４３によって各穴４２の
周囲にばね構造を形成したことにより、保持板４１が可
撓性が劣る厚板であっても、各被製造物６を各穴４２に
おいて高さ方向に十分に変位させることができるので、
複数個の被製造物６の高さ方向の寸法のばらつきを十分
に吸収することができることになる。

【００５６】なお、前記の説明においては、保持板４１
に複数個の被製造物６の小径部６ｂが挿入し得る穴４２
を設け、この穴４２の周囲に複数の切込み４３を設けた
が、保持板４１に複数の穴４２を設けずに、複数個の被
製造物６を保持板４１上に載置し、各被製造物６の一部
を保持板４１にシリーズ溶接等により固着し、各被製造
物６の周囲の保持板４１に複数の切込み４３を設け、こ
れらの複数の切込み４３によって各被製造物６の周囲に
ばね構造を形成してもよいものである。

【００５７】図１８には、この発明によるセンサ素子の
製造方法の第６の実施の形態が示されていて、この実施
の形態に示すセンサ素子の製造方法も前記第１の実施の
形態に示すものと同様に、一端が閉塞された筒状をなす
とともに、周面が大径部５ａと小径部５ｂの２段に形成
されているセンサ素子５（図６（ａ）参照）の製造方法
であって、一端が閉塞された筒状をなすものの周面を大
径部６ａと小径部６ｂの２段に加工した被製造物６を複
数個保持板５１に保持して一単位とし、これを各工程に
送り込んで処理することにより、複数個のセンサ素子５
を同時に製造するようにしたものである。

【００５８】ここで、保持板５１は、１００μｍ程度の
厚みを有する金属製、例えば耐蝕性に優れるステンレス
等からなる可撓性を有する薄板、又はそれ以上の厚みを
有する金属製、例えば耐蝕性に優れるステンレス等から
なる厚板であって、被製造物６の小径部６ｂが挿入し得
る穴５２を板５１の中心部にエッチング、打抜き等によ
り設けるとともに、この穴５２の外側に穴５２を中心と
して、複数の被製造物６の小径部６ｂが挿入し得る２つ
の環状の穴５３、５４をエッチング、打抜き等によって
設けたものであって、これらの穴５２、５３、５４によ
って保持板５１上にばね構造を形成したものである。

【００５９】そして、上記のような保持板５１に複数個
の被製造物６を保持するには、各穴５２、５３、５４に
被製造物６の小径部６ｂを挿入して、各穴５２、５３、
５４の周囲に各被製造物６の大径部６ａの一部をシリー
ズ溶接等により一体に固着する。この場合の溶接強度
は、各工程処理中に外れることなく、各工程終了後に容
易に取り外せる程度の強さとする。

【００６０】そして、保持板５１に保持した複数個の被
製造物６を一単位として、研磨、成膜等の各工程に送り
込んで処理することにより、複数個のセンサ素子５が同
時に製造されるものである。

【００６１】この場合、各被製造物６は、各穴５２、５
３、５４の周囲に固定されているので、例えば、表面研
磨工程等において各穴５２、５３、５４内で動くような
ことはなく、したがって、高さ方向の寸法のばらつきが
大きいために研磨盤の方向への押圧力が部分的に不足し
ても、研磨面にだれが生じるようなことはなく、複数個
の被製造物６は高いものから順に研磨されて徐々に全体
の高さが揃って行き、最後に全体の高さが均一の寸法に
仕上げられることになる。

【００６２】したがって、被製造物６を１個づつ各工程
に送り込んで処理していた従来に比べて、一度に複数個
の被製造物６を各工程に送り込んで処理できるので、研
磨工程における処理時間、成膜工程におけるスピンコー
ト、露光等の処理時間、洗浄工程の処理時間等を大幅に
短縮することができ、生産性を大幅に高めることができ
ることになる。

【００６３】また、穴５２の周囲に穴５２を中心として
２つの環状の穴５３、５４を設けて、それらの穴５２、
５３、５４により保持板５１上にばね構造を形成したこ
とにより、保持板５１が可撓性の劣る厚板であっても、
各穴５２、５３、５４において各被製造物６を高さ方向
に十分に変位させることができるので、複数個の被製造
物６の高さ方向の寸法のばらつきを十分に吸収すること
ができ、生産性を大幅に高めることができることにな
る。

【００６４】なお、前記の説明においては、穴５２の外
側に、穴５２を中心として２つの環状の穴５３、５４を
設けたが、環状の穴を１つ又は３つ以上設けてもよいの
は勿論のことである。

【００６５】

【発明の効果】この発明は請求項１のように構成したこ
とにより以下のような効果を奏する。複数の被製造物を
同時に処理できるので生産性を高めることができるとと
もに、同一の板に固着された複数の被製造物個々の高さ
方向の寸法にばらつきがあっても、その可撓性のある板
によって高さ方向に変位して寸法のばらつきを吸収する
ので、各工程において複数の被製造物が同時に精度良く
処理でき、また処理量を均一にできる。

【００６６】また、請求項２のように構成したことによ
り以下のような効果を奏する。複数個の被製造物を同時
に処理できるので生産性を高めることができるととも
に、同一の板に固着された複数の被製造物個々の高さ方
向の寸法にばらつきがあっても、その可撓性のある板に
よって高さ方向に変位して寸法のばらつきを吸収すると
ともに、複数の被製造物の固着により可撓性の剛性が高
まったとしても、個々の穴の片持梁により、その撓みが
高さ方向の寸法のばらつきを吸収するので、各工程にお
いて複数の被製造物が同時に精度良く処理でき、また処
理量を均一にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるセンサ素子の製造方法の第１の
実施の形態の保持板を示した平面図である。

【図２】図１に示すものの部分拡大図である。

【図３】（ａ）は図１に示すものに被製造物を保持した
状態を示した部分拡大図、（ｂ）は他の例の被製造物を
保持した状態を示した部分拡大図である。

【図４】（ａ）は図３（ａ）に示すものの側面図、
（ｂ）は図３（ｂ）に示すものの側面図である。

【図５】図１に示す保持板に複数個の被製造物を保持
し、それを一単位として表面研磨工程に送り込んだ状態
を示した説明図である。

【図６】（ａ）はこの発明によるセンサ素子および従来
のセンサ素子の一例を示した平面図、（ｂ）は他の例の
センサ素子を示した平面図である。

【図７】この発明によるセンサ素子の製造方法の第２の
実施の形態の保持板を示した平面図である。

【図８】図７に示すものに被製造物を保持した状態を示
した部分拡大図である。

【図９】（ａ）は図８に示すものの側面図、（ｂ）は他
の被製造物を保持した場合の側面図である。

【図１０】この発明によるセンサ素子の製造方法の第３
の実施の形態の保持板を示した平面図である。

【図１１】図１０に示すものに被製造物を保持した状態
を示した部分拡大図である。

【図１２】図１１に示すものの側面図である。

【図１３】この発明によるセンサ素子の製造方法の第４
の実施の形態の保持板を示した平面図である。

【図１４】図１３に示すものに被製造物を保持した状態
を示した部分拡大平面図である。

【図１５】（ａ）は図１４に示すもののＡ−Ａ線に沿っ
て見た一部断面図、（ｂ）は他の被製造物を保持した状
態を示した一部断面図である。

【図１６】この発明によるセンサ素子の製造方法の第５
の実施の形態の保持板を示した平面図である。

【図１７】図１６に示すものの部分拡大図である。

【図１８】この発明によるセンサ素子の製造方法の第６
の実施の形態の保持板を示した平面図である。

【図１９】この発明および従来のセンサ素子の製造工程
を示した説明図である。

【図２０】従来のセンサ素子の製造方法の一例を示した
説明図である。

【符号の説明】

１、１１、２１、３１、４１、５１……保持板 ２、１２、２２、３２、４２、５２、５３、５４、６１
……穴 ３、４３……切込み ４、３４……梁 ５……センサ素子 ５ａ、６ａ……大径部 ５ｂ、６ｂ……小径部 ６……被製造物 ７、６５……研磨盤 ８、６７……錘 ６０……ホルダ ６４……ガイド ６６……弾性材

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成７年９月２９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図６

【補正方法】変更

【補正内容】

【図６】

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図９

【補正方法】変更

【補正内容】

【図９】

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１５】

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一端が閉塞された略筒状のセンサ素子の
   製造方法であって、可撓性を有する板に複数の被製造物
   を、その処理面を前記可撓性板の撓む方向に向けて固着
   して、これを一単位として研磨、成膜等の工程に送り込
   んで複数個のセンサ素子を同時に処理することを特徴と
   するセンサ素子の製造方法。
2. 【請求項２】 一端が閉塞された略筒状のセンサ素子の
   製造方法であって、可撓性を有する板に複数の穴を設
   け、該穴内に径方向に突出する少なくとも二つの片持梁
   を設け、該梁と被製造物とを、該被製造物の処理面を前
   記可撓板の撓む方向に向けて固着して、これを一単位と
   して研磨、成膜等の工程に送り込んで複数個のセンサ素
   子を同時に処理することを特徴とするセンサ素子の製造
   方法。