JPH0813101B2 - Electric signal generator corresponding to surface potential distribution - Google Patents

Electric signal generator corresponding to surface potential distribution

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JPH0813101B2
JPH0813101B2 JP63035526A JP3552688A JPH0813101B2 JP H0813101 B2 JPH0813101 B2 JP H0813101B2 JP 63035526 A JP63035526 A JP 63035526A JP 3552688 A JP3552688 A JP 3552688A JP H0813101 B2 JPH0813101 B2 JP H0813101B2
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read head
potential distribution
surface potential
transparent electrode
dielectric mirror
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浩彦 篠永
伝 浅倉
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は表面電位分布と対応する電気信号の発生装置
に関する。
The present invention relates to a device for generating an electric signal corresponding to a surface potential distribution.

(従来の技術) 近年になって高画質・高解像度の再生画像に対する要
望が高まるのに応じて、テレビジョン方式についても、
いわゆるEDTV、HDTVなどの新しい諸方式が提案されて来
ていることも周知のとおりであるが、高画質・高解像度
の再生画像が得られるようにするためには、高画質・高
解像度の再生画像を再生させうるような映像信号を発生
させることのできる撮像装置が必要とされるが、撮像素
子として撮像管が使用されている撮像装置においては、
撮像管における電子ビーム径の微小化に限界があるため
に、電子ビーム径の微小化による高解像度化が望めない
こと、及び、撮像管のターゲット容量はターゲット面積
と対応して増大するものであるために、ターゲット面積
の増大による高解像度化も実現することができないこ
と、また、例えば動画の撮像装置の場合には高解像度化
に伴って映像信号の周波数帯域が数十MHz〜数百MHz以上
にもなるためにS/Nの点で問題になる、等の理由によっ
て、撮像装置により高画質・高解像度の再生画像を再生
させうるような映像信号を発生させることは困難であ
る。
(Prior Art) In response to the increasing demand for high-quality and high-resolution reproduced images in recent years, the
It is well known that new methods such as so-called EDTV and HDTV have been proposed, but in order to obtain high-quality and high-resolution playback images, high-quality and high-resolution playback is required. An image pickup device capable of generating a video signal capable of reproducing an image is required, but in an image pickup device using an image pickup tube as an image pickup element,
Since there is a limit to miniaturization of the electron beam diameter in the image pickup tube, it is not possible to expect high resolution due to the miniaturization of the electron beam diameter, and the target capacity of the image pickup tube increases corresponding to the target area. Therefore, it is not possible to realize high resolution by increasing the target area, and, for example, in the case of a moving image pickup device, the frequency band of the video signal is several tens of MHz to several hundreds MHz or more with the increase in resolution. Therefore, it is difficult to generate a video signal capable of reproducing a high-quality / high-resolution reproduced image by the image pickup device for the reason that it causes a problem in terms of S / N.

このように、従来の撮像装置はそれの構成のために不
可欠な撮像素子の存在によって、高画質・高解像度の再
生画像を再生させうるような映像信号を良好に発生させ
ることはできなかったが、前記の点を解決するために、
本出願人会社では先に、光−光変換素子を用いた撮像装
置によって高解像度の光学像を得るとともに、その光学
像を光−電荷変換素子を用いて電荷蓄積層を有する記録
媒体に高解像度を有する電荷像として記録させるように
した撮像方式ならびに記録方式についての提案を行っ
た。
As described above, the conventional image pickup apparatus cannot generate a video signal capable of reproducing a high-quality / high-resolution reproduced image satisfactorily due to the presence of the image pickup element indispensable for its configuration. To solve the above points,
The applicant company first obtained a high-resolution optical image with an imaging device using a light-to-light conversion element, and then used the light-to-charge conversion element to obtain a high-resolution optical image on a recording medium having a charge storage layer. We have proposed an image pickup method and a recording method that are recorded as a charge image having a.

(発明が解決しようとする問題点) ところで、前記した光−光変換素子を用いた撮像装置
によって高解像度の光学像を得るとともに、その光学像
を光−電荷変換素子を用いて電荷蓄積層を有する記録媒
体に高解像度を有する電荷像として記録させるようにし
た本出願人会社による撮像方式ならびに記録方式の実施
に際しては、記録媒体に記録された電荷像を電気信号と
して読出すことが必要とされるのであり、そのための手
段が求められた。
(Problems to be Solved by the Invention) By the way, a high-resolution optical image is obtained by the imaging device using the light-to-light conversion element described above, and the optical image is formed into a charge storage layer by using the light-to-charge conversion element. When the imaging system and the recording system are implemented by the applicant company so as to record a charge image having a high resolution on the recording medium, it is necessary to read the charge image recorded on the recording medium as an electric signal. Therefore, the means for that were required.

(問題点を解決するための手段) 本発明は透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラーと
を積層して構成された読取りヘッドを、それの誘電体ミ
ラー側が検出の対象にされている表面電位分布を有する
被検出体に近接させて配置する手段と、前記した読取り
ヘッドにおける透明電極側から所定の方向に偏向されて
いるレーザ光束を入射させる手段と、前記した読取りヘ
ッドから出射したレーザ光束を検光子を介して光電変換
素子に与える手段とを備えてなる表面電位分布と対応す
る電気信号の発生装置と、透明電極と光変調材層部材と
誘電体ミラーとを積層して構成された読取りヘッドを、
それの誘電体ミラー側が検出の対象にされている表面電
位分布を有する被検出体に近接させて配置する手段と、
前記した読取りヘッドにおける透明電極側から直線形状
の断面を有するレーザ光束を入射させる手段と、前記し
た読取りヘッドから出射した直線形状の断面を有するレ
ーザ光束を検光子を介してライン・イメージセンサに与
える手段とを備えてなる表面電位分布と対応する電気信
号の発生装置、及び、透明電極と光変調材層部材と誘電
体ミラーとを積層して構成された読取りヘッドを、それ
の誘電体ミラー側が検出の対象にされている表面電位分
布を有する被検出体に近接させて配置する手段と、前記
した読取りヘッドにおける透明電極側からビームエキス
パンダによって拡大した面状断面を有するレーザ光束を
入射させる手段と、前記した読取りヘッドから出射した
レーザ光束を検光子を介して副走査方向に駆動変位され
ているライン・イメージセンサに与える手段とを備えて
なる表面電位分布と対応する電気信号の発生装置、なら
びに透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラーとを積層
して構成された読取りヘッドを、それの誘電体ミラー側
が検出の対象にされている表面電位分布を有する被検出
体に近接させて配置する手段と、前記した読取りヘッド
における透明電極側からビームエキスパンダによって拡
大した面状断面を有するレーザ光束を入射させる手段
と、前記した読取りヘッドから出射したレーザ光束を検
光子を介して2次元イメージセンサに与える手段とを備
えてなる表面電位分布と対応する電気信号の発生装置を
提供するものである。
(Means for Solving Problems) The present invention is directed to a read head constituted by laminating a transparent electrode, a light modulation material layer member, and a dielectric mirror, and the dielectric mirror side of the read head is the object of detection. Means for arranging in close proximity to the detection target having a surface potential distribution, means for injecting a laser light beam deflected in a predetermined direction from the transparent electrode side of the read head, and laser emitted from the read head It is configured by laminating a transparent electrode, a light modulation material layer member, and a dielectric mirror, a device for generating an electric signal corresponding to a surface potential distribution, which comprises means for applying a light flux to a photoelectric conversion element through an analyzer. Read head,
Means for disposing the dielectric mirror side thereof close to an object to be detected having a surface potential distribution targeted for detection;
A means for injecting a laser beam having a linear cross section from the transparent electrode side of the read head and a laser beam having a linear cross section emitted from the read head are given to a line image sensor via an analyzer. And a read head composed of a transparent electrode, a light modulation material layer member, and a dielectric mirror laminated on the dielectric mirror side. Means for arranging in close proximity to an object to be detected having a surface potential distribution to be detected, and means for making a laser beam having a planar cross section expanded by a beam expander enter from the transparent electrode side of the read head. And a line beam in which the laser beam emitted from the reading head is driven and displaced in the sub-scanning direction through an analyzer. And a device for generating an electric signal corresponding to the surface potential distribution, and a read head constituted by laminating a transparent electrode, a light modulation material layer member, and a dielectric mirror. Means for arranging the mirror side in close proximity to the object to be detected having a surface potential distribution to be detected, and a laser beam having a planar cross section enlarged by a beam expander from the transparent electrode side of the above-mentioned read head are incident. A device for generating an electric signal corresponding to the surface potential distribution, which comprises means for causing the laser beam emitted from the read head to be given to the two-dimensional image sensor through an analyzer.

(実施例) 以下、添付図面を参照して本発明の表面電位分布と対
応する電気信号の発生装置の具体的な内容について詳細
に説明する。第1図乃至第4図は本発明の表面電位分布
と対応する電気信号の発生装置の異なる実施例の斜視図
である。
(Example) Hereinafter, specific contents of a device for generating an electric signal corresponding to a surface potential distribution of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 to 4 are perspective views of different embodiments of an electric signal generator corresponding to the surface potential distribution of the present invention.

第1図乃至第4図においてLSはレーザ光源、1は必要
に応じて設けられる偏光子、4はビームスプリッタ、5
は必要に応じて設けられる波長板、6は検光子、0は表
面電位の検出が行われるべき被検出体、Hrは読取りヘッ
ドであり、読取りヘッドHrとしては、例えば透明電極Et
と光変調材層部材PML{印加された電圧によって光の状
態を変化させうるような特性を示す光変調材層部材PML
(例えば、電気光学効果を有するニオブ酸リチュウム単
結晶、あるいは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層
のような光変調用の材料層などが用いられてよい)}と
誘電体ミラーDMLとを積層して構成した読取りヘッドを
使用することができる。
1 to 4, LS is a laser light source, 1 is a polarizer provided as necessary, 4 is a beam splitter, 5
Is a wave plate provided as necessary, 6 is an analyzer, 0 is an object whose surface potential is to be detected, Hr is a read head, and the read head Hr is, for example, a transparent electrode Et.
And light modulation material layer member PML {light modulation material layer member PML exhibiting characteristics such that the state of light can be changed by an applied voltage
(For example, a lithium niobate single crystal having an electro-optical effect or a material layer for light modulation such as a layer of a nematic liquid crystal exhibiting an electric field scattering effect may be used.)} And a dielectric mirror DML are laminated. A read head configured as described above can be used.

また、第1図において2は回転鏡車、3はfθレン
ズ、7は集光レンズであって、前記の回転鏡車2は図中
の矢印の方向に連続的に回転することにより、レーザ光
源LSから放射されたレーザ光を一定の方向に偏向させ
る。第1図示の装置におけるレーザ光束の偏向手段とし
ては、図中に示されている回転鏡車2のような機械的な
光偏向手段でなく、電気的な光偏向器が使用されてもよ
いことは勿論である。
Further, in FIG. 1, reference numeral 2 is a rotary mirror wheel, 3 is an fθ lens, and 7 is a condenser lens. The rotary mirror wheel 2 is rotated continuously in the direction of the arrow in the drawing to provide a laser light source. The laser light emitted from the LS is deflected in a certain direction. As the laser light beam deflecting means in the apparatus shown in FIG. 1, an electric light deflector may be used instead of the mechanical light deflecting means such as the rotating mirror wheel 2 shown in the drawing. Of course.

さらに第2図において、3はレンズ、8はシリンドリ
カルレンズ、9はラインイメージセンサであり、さらに
また第3図及び第4図における10はビームエキスパン
ダ、第3図中の11はラインイメージセンサ、第4図中の
12は2次元イメージセンサである。
Further, in FIG. 2, 3 is a lens, 8 is a cylindrical lens, 9 is a line image sensor, 10 in FIGS. 3 and 4 is a beam expander, 11 in FIG. 3 is a line image sensor, In Fig. 4
Reference numeral 12 is a two-dimensional image sensor.

第1図及び第2図に示されている表面電位分布と対応
する電気信号の発生装置においても、被検出体Oと読取
りヘッドHrとを紙面に垂直な方向に相対的に変位させる
ようにすることにより被検出体Oにおける2次元的な電
荷像に対する電気信号を発生させることができる。
Also in the electric signal generator corresponding to the surface potential distribution shown in FIGS. 1 and 2, the object to be detected O and the read head Hr are relatively displaced in the direction perpendicular to the paper surface. As a result, an electric signal for a two-dimensional charge image on the object to be detected O can be generated.

まず、第1図に示されている本発明の表面電位分布と
対応する電気信号の発生装置においては、レーザ光源LS
から放射されたレーザ光束が必要に応じて設けられてい
る偏光子1によって所定の偏光面を有する直線偏光とさ
れた後に、回転鏡車2により一定方向に偏向された状態
となされてfθレンズ3に入射される。
First, in the electric signal generator corresponding to the surface potential distribution of the present invention shown in FIG.
The laser beam emitted from the laser beam is linearly polarized with a predetermined polarization plane by a polarizer 1 provided as necessary, and then is deflected in a fixed direction by a rotating mirror wheel 2 to form an fθ lens 3 Is incident on.

fθレンズ3から出射したレーザ光束は、ビームスプ
リッタ4を透過して読取りヘッドHrに入射されるから、
前記したレーザ光束は読取りヘッドHrにおける同一の線
上を一定の線速度で走査することになる。
Since the laser light flux emitted from the fθ lens 3 passes through the beam splitter 4 and enters the read head Hr,
The laser beam described above scans the same line in the read head Hr at a constant linear velocity.

前記したように読取りヘッドHrは透明電極Etと光変調
材層部材PML{印加された電圧によって光の状態を変化
させうるような特性を示す光変調材層部材PML(例え
ば、電気光学効果を有するニオブ酸リチュウム単結晶、
あるいは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層のよう
な光変調用の材料層などが用いられてよい)}と誘電体
ミラーDMLとを積層して構成されており、それの誘電体
ミラーDML側が被検出体Oの表面に接近して対面してい
るように配置されていて、読取りヘッドHrにおける光変
調材層部材PMLには前記した誘電体ミラーDMLを介して被
検出体Oによる電界が与えられているから、前記のよう
に読取りヘッドHrに入射したレーザ光束は、前記した電
荷像読取りヘッドHrにおける前記した誘電体ミラーDML
の側に与えられた電荷パターンで生じている電界に応じ
て光変調材層部材PMLを通過する光の状態(前記の例の
場合には偏光面の角度)が変化する。
As described above, the read head Hr has the transparent electrode Et and the light modulation material layer member PML {a light modulation material layer member PML (for example, which has an electro-optical effect) which has a characteristic that the state of light can be changed by an applied voltage. Lithium niobate single crystal,
Alternatively, a material layer for light modulation such as a layer of nematic liquid crystal exhibiting an electric field scattering effect may be used)} and a dielectric mirror DML are laminated, and the dielectric mirror DML side thereof is covered. The light modulation material layer member PML in the read head Hr is arranged so as to closely face the surface of the detection object O, and an electric field generated by the detection object O is given to the light modulation material layer member PML via the dielectric mirror DML. Therefore, the laser beam incident on the read head Hr as described above is transmitted by the dielectric mirror DML in the charge image read head Hr.
The state of light passing through the light modulation material layer member PML (the angle of the polarization plane in the case of the above example) changes according to the electric field generated by the charge pattern applied to the side.

それで前記のように読取りヘッドHrの透明電極Et側か
ら入射したレーザ光束が、光変調材層部材PMLを通過し
て誘電体ミラーDMLにより反射した後に再び光変調材層
部材PMLを通過して透明電極Etの面から出射した光の状
態(前記の例の場合には偏光面の角度)は、前記した被
検出体Oにおける電荷像の電位分布と対応して変化して
いるものになっている。
Therefore, as described above, the laser light flux incident from the transparent electrode Et side of the read head Hr passes through the light modulation material layer member PML, is reflected by the dielectric mirror DML, and then passes through the light modulation material layer member PML again to be transparent. The state of the light emitted from the surface of the electrode Et (the angle of the polarization plane in the case of the above example) is changed corresponding to the potential distribution of the charge image on the detected object O. .

前記のように読取りヘッドHrからの出射光は、読取り
ヘッドHrへの入射光が被検出体における表面電位分布に
応じて偏光面の回転量が変化している状態のものであ
る。それで読取りヘッドHrからの出射光がビームスプリ
ッタ4で反射されてから、必要に応じて設けられている
光量調節用の波長板5と、偏光面の回転量を明るさの変
化に変換するための検光子6とを介して、集光レンズ7
に入射させ、前記の集光レンズ7の集光点の位置に光電
変換器PDを配置しておくと、前記の光電変換器PDからは
被検出体Oにおけ一次元的な電荷像の各部分の電荷量に
応じて振幅が変化している電気信号(映像信号)が得ら
れる。被検出体Oと読取りヘッドHrとを相対的に紙面に
対して垂直な方向に移動させれば、前記の光電変換器PD
からは被検出体Oにおける二次元的な電荷像の各部分の
電荷量に応じて振幅が変化している電気信号(映像信
号)が得られる。
As described above, the light emitted from the read head Hr is in a state in which the incident light on the read head Hr has the amount of rotation of the polarization plane changed according to the surface potential distribution on the object to be detected. Therefore, after the emitted light from the read head Hr is reflected by the beam splitter 4, a wavelength plate 5 for adjusting the light amount, which is provided as necessary, and a rotation amount of the polarization plane for converting the rotation amount into a change in brightness. Through the analyzer 6, the condensing lens 7
When the photoelectric converter PD is placed at the position of the condensing point of the condensing lens 7, the photoelectric converter PD causes each one-dimensional charge image on the detected object O to be detected. An electric signal (video signal) whose amplitude changes in accordance with the amount of charges in the portion can be obtained. By moving the detected object O and the read head Hr relatively in the direction perpendicular to the paper surface, the photoelectric converter PD
From, an electric signal (video signal) whose amplitude changes in accordance with the amount of electric charge in each part of the two-dimensional electric charge image on the object to be detected O can be obtained.

前記のように光電変換器PDから出力される映像信号
は、被検出体Oにおける高い精細度を有する二次元的な
電荷像における電荷量分布と対応しているものになって
いる。それで、読出し光として、例えば直径が1ミクロ
ンのレーザ光束を使用した場合には、1000本/1mmという
ような高い解像度と対応する映像信号が発生できる。
As described above, the video signal output from the photoelectric converter PD corresponds to the charge amount distribution in the two-dimensional charge image having high definition on the detected object O. Therefore, when a laser beam having a diameter of 1 micron is used as the reading light, a video signal corresponding to a high resolution of 1000 lines / 1 mm can be generated.

次に、第2図に示されている本発明の表面電位分布と
対応する電気信号の発生装置においては、レーザ光源LS
から放射されたレーザ光束が必要に応じて設けられてい
る偏光子1によって所定の偏光面を有する直線偏光とさ
れた後に、シリンドリカルレンズ8によって直線形状の
断面を有する光束になされてレズ3に入射される。
Next, in the electric signal generator corresponding to the surface potential distribution of the present invention shown in FIG.
The laser light beam emitted from the laser beam is converted into a linearly polarized light beam having a predetermined polarization plane by a polarizer 1 provided as necessary, and then converted into a light beam beam having a linear cross section by a cylindrical lens 8 and incident on the lesbian 3. To be done.

レンズ3から出射したレーザ光束はビームスプリッタ
4を透過して読取りヘッドHrに一本の線状の光束として
入射する。前記したように読取りヘッドHrは透明電極Et
と光変調材層部材PML{印加された電圧によって光の状
態を変化させうるような特性を示す光変調材層部材PML
(例えば、電気光学効果を有するニオブ酸リチュウム単
結晶、あるいは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層
のような光変調用の材料層などが用いられてよい)}と
誘電体ミラーDMLとを積層して構成されており、それの
誘電体ミラーDML側が被検出体Oの表面に接近して対面
しているように配置されていて、読取りヘッドHrにおけ
る光変調材層部材PMLには前記した誘電体ミラーDMLを介
して被検出体Oによる電界が与えられているから、前記
のように読取りヘッドHrに入射したレーザ光束は、前記
した電荷像読取りヘッドHrにおける前記した誘電体ミラ
ーDMLの側に与えられた電荷パターンで生じている電界
に応じて光変調材層部材PMLを通過する光の状態(前記
の例の場合には偏光面の角度)が変化する。
The laser light flux emitted from the lens 3 passes through the beam splitter 4 and enters the read head Hr as one linear light flux. As described above, the read head Hr has the transparent electrode Et.
And light modulation material layer member PML {light modulation material layer member PML exhibiting characteristics such that the state of light can be changed by an applied voltage
(For example, a lithium niobate single crystal having an electro-optical effect or a material layer for light modulation such as a layer of a nematic liquid crystal exhibiting an electric field scattering effect may be used.)} And a dielectric mirror DML are laminated. And the dielectric mirror DML side of the dielectric mirror DML is arranged so as to closely face the surface of the object to be detected O, and the dielectric material layer member PML in the read head Hr is provided with the above-mentioned dielectric material. Since the electric field from the object to be detected O is given through the mirror DML, the laser light flux incident on the read head Hr is given to the side of the dielectric mirror DML of the charge image read head Hr as described above. The state of light passing through the light modulation material layer member PML (the angle of the polarization plane in the above example) changes according to the electric field generated by the generated charge pattern.

それで前記のように読取りヘッドHrの透明電極Et側か
ら入射したレーザ光束が、光変調材層部材PMLを通過し
て誘電体ミラーDMLにより反射した後に再び光変調材層
部材PMLを通過して透明電極Etの面から出射した光の状
態(前記の例の場合には偏光面の角度)は、前記した被
検出体Oにおける電荷像の電位分布と対応して変化して
いるものになっている。
Therefore, as described above, the laser light flux incident from the transparent electrode Et side of the read head Hr passes through the light modulation material layer member PML, is reflected by the dielectric mirror DML, and then passes through the light modulation material layer member PML again to be transparent. The state of the light emitted from the surface of the electrode Et (the angle of the polarization plane in the case of the above example) is changed corresponding to the potential distribution of the charge image on the detected object O. .

前記のように読取りヘッドHrから出射された一直線状
の断面形状を有するレーザ光は、読取りヘッドHrへ入射
した一直線状の断面形状を有するレーザ光が被検出体O
における表面電位分布に応じて偏光面の回転量が変化し
ている状態のものである。それで読取りヘッドHrからの
出射光がビームスプリッタ4で反射されてから、必要に
応じて設けられている光量調節用の波長板5と、偏光面
の回転量を明るさの変化に変換するための検光子6とを
介して、ラインイメージセンサ9に入射させると、前記
のラインイメージセンサ9からは、被検出体Oにおける
一次元的な電荷像の各部分の電荷量に応じて振幅が変化
している電気信号(映像信号)が得られる。それで、被
検出体Oと読取りヘッドHrとを相対的に紙面に対して垂
直な方向に移動させれば、前記のラインイメージセンサ
0からは被検出体Oにおける二次元的な電荷像の各部分
の電荷量に応じて振幅が変化している電気信号(映像信
号)が得られる。
As described above, the laser beam having a straight-line cross-sectional shape emitted from the read head Hr is the laser beam having a straight-line cross-sectional shape incident on the read head Hr.
The state in which the amount of rotation of the polarization plane is changed in accordance with the surface potential distribution in FIG. Therefore, after the emitted light from the read head Hr is reflected by the beam splitter 4, a wavelength plate 5 for adjusting the light amount, which is provided as necessary, and a rotation amount of the polarization plane for converting the rotation amount into a change in brightness. When incident on the line image sensor 9 through the analyzer 6, the amplitude changes from the line image sensor 9 in accordance with the charge amount of each part of the one-dimensional charge image on the object O to be detected. An electric signal (video signal) is obtained. Therefore, if the detection object O and the read head Hr are moved relatively in the direction perpendicular to the paper surface, each part of the two-dimensional charge image on the detection object O is detected from the line image sensor 0. An electric signal (video signal) whose amplitude changes according to the amount of electric charges of

なお、前記したラインイメージセンサ9を画素が配列
されている方向について微小な距離だけ変位させた状態
にして同一の電荷像について複数回の読取り動作を行う
ようにし、その際に得られた出力信号を合成して精細度
の高い映像信号を発生させるようにすることもできる。
The line image sensor 9 is displaced by a minute distance in the direction in which the pixels are arranged so that the same charge image is read a plurality of times, and an output signal obtained at that time is obtained. Can also be combined to generate a high definition video signal.

次に、第3図に示されている本発明の表面電位分布と
対応する電気信号の発生装置においては、レーザ光源LS
から放射されたレーザ光束が必要に応じて設けられてい
る偏光子1によって所定の偏光面を有する直線偏光とさ
れた後に、ビームエキスパンダ10によって大径のレーザ
光束になされてビームスプリッタ4に入射する。ビーム
スプリッタ4を透過したレーザ光束は読取りヘッドHrに
入射する。
Next, in the electric signal generator corresponding to the surface potential distribution of the present invention shown in FIG.
The laser beam emitted from the laser beam is converted into linearly polarized light having a predetermined polarization plane by a polarizer 1 provided as necessary, and then converted into a large-diameter laser beam by a beam expander 10 and incident on a beam splitter 4. To do. The laser light flux transmitted through the beam splitter 4 enters the read head Hr.

前記したように読取りヘッドHrは透明電極Etと光変調
材層部材PML{印加された電圧によって光の状態を変化
させうるような特性を示す光変調材層部材PML(例え
ば、電気光学効果を有するニオブ酸リチュウム単結晶、
あるいは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層のよう
な光変調用の材料層などが用いられてよい)}と誘電体
ミラーDMLとを積層して構成されており、それの誘電体
ミラーDML側が被検出体Oの表面に接近して対面してい
るように配置されていて、読取りヘッドHrにおける光変
調材層部材PMLには前記した誘電体ミラーDMLを介して被
検出体Oによる電界が与えられているから、前記のよう
に読取りヘッドHrに入射したレーザ光束は、前記した電
荷像読取りヘッドHrにおける前記した誘電体ミラーDML
の側に与えられた電荷パターンで生じている電界に応じ
て光変調材層部材PMLを通過する光の状態(前記の例の
場合には偏光面の角度)が変化する。
As described above, the read head Hr has the transparent electrode Et and the light modulation material layer member PML {a light modulation material layer member PML (for example, which has an electro-optical effect) which has a characteristic that the state of light can be changed by an applied voltage. Lithium niobate single crystal,
Alternatively, a material layer for light modulation such as a layer of nematic liquid crystal exhibiting an electric field scattering effect may be used)} and a dielectric mirror DML are laminated, and the dielectric mirror DML side thereof is covered. The light modulation material layer member PML in the read head Hr is arranged so as to closely face the surface of the detection object O, and an electric field generated by the detection object O is given to the light modulation material layer member PML via the dielectric mirror DML. Therefore, the laser beam incident on the read head Hr as described above is transmitted by the dielectric mirror DML in the charge image read head Hr.
The state of light passing through the light modulation material layer member PML (the angle of the polarization plane in the case of the above example) changes according to the electric field generated by the charge pattern applied to the side.

それで前記のように読取りヘッドHrの透明電極Et側か
ら入射したレーザ光束が、光変調材層部材PMLを通過し
て誘電体ミラーDMLにより反射した後に再び光変調材層
部材PMLを通過して透明電極Etの面から出射した光の状
態(前記の例の場合には偏光面の角度)は、前記した被
検出体Oにおける電荷像の電位分布と対応して変化して
いるものになっている。
Therefore, as described above, the laser light flux incident from the transparent electrode Et side of the read head Hr passes through the light modulation material layer member PML, is reflected by the dielectric mirror DML, and then passes through the light modulation material layer member PML again to be transparent. The state of the light emitted from the surface of the electrode Et (the angle of the polarization plane in the case of the above example) is changed corresponding to the potential distribution of the charge image on the detected object O. .

前記のように読取りヘッドHrから出射された広い面形
状を有するレーザ光は、読取りヘッドHrへ入射した広い
面形状を有するレーザ光が被検出体Oにおける表面電位
分布に応じて偏光面の回転量が変化している状態のもの
である。それで読取りヘッドHrからの出射光がビームス
プリッタ4で反射されてから、必要に応じて設けられて
いる光量調節用の波長板5と、偏光面の回転量を明るさ
の変化に変換するための検光子6とを介して、第3図中
で太矢印方向に副走査をしているラインイメージセンサ
11に入射させると、前記のラインイメージセンサ9から
は被検出体Oにおける二次元的な電荷像の各部分の電荷
量に応じて振幅が変化している電気信号(映像信号)が
得られる。
As described above, the laser light having a wide surface shape emitted from the read head Hr is a laser light having a wide surface shape that is incident on the read head Hr, and the rotation amount of the polarization plane is changed according to the surface potential distribution in the object O to be detected. Is in a changing state. Therefore, after the emitted light from the read head Hr is reflected by the beam splitter 4, a wavelength plate 5 for adjusting the light amount, which is provided as necessary, and a rotation amount of the polarization plane for converting the rotation amount into a change in brightness. A line image sensor which is sub-scanning in the direction of the thick arrow in FIG. 3 via the analyzer 6.
When it is incident on 11, an electric signal (video signal) whose amplitude changes according to the amount of electric charge in each part of the two-dimensional electric charge image on the object to be detected O is obtained from the line image sensor 9.

なお、前記したラインイメージセンサ9を画素が配列
されている方向について微小な距離だけ変位させた状態
にして同一の電荷像について複数回の読取り動作を行う
ようにし、その際に得られた出力信号を合成して精細度
の高い映像信号を発生させるようにすることもできる。
The line image sensor 9 is displaced by a minute distance in the direction in which the pixels are arranged so that the same charge image is read a plurality of times, and an output signal obtained at that time is obtained. Can also be combined to generate a high definition video signal.

次に、第4図に示されている本発明の表面電位分布と
対応する電気信号の発生装置においては、レーザ光源LS
から放射されたレーザ光束が必要に応じて設けられてい
る偏光子1によって所定の偏光面を有する直線偏光とさ
れた後に、ビームエキスパンダ10によって大径のレーザ
光束になされてビームスプリッタ4に入射する。ビーム
スプリッタ4を透過したレーザ光束は読取りヘッドHrに
入射する。
Next, in the electric signal generator corresponding to the surface potential distribution of the present invention shown in FIG.
The laser beam emitted from the laser beam is converted into linearly polarized light having a predetermined polarization plane by a polarizer 1 provided as necessary, and then converted into a large-diameter laser beam by a beam expander 10 and incident on a beam splitter 4. To do. The laser light flux transmitted through the beam splitter 4 enters the read head Hr.

前記したように読取りヘッドHrは透明電極Etと光変調
材層部材PML{印加された電圧によって光の状態を変化
させうるような特性を示す光変調材層部材PML(例え
ば、電気光学効果を有するニオブ酸リチュウム単結晶、
あるいは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層のよう
な光変調用の材料層などが用いられてよい)}と誘電体
ミラーDMLとを積層して構成されており、それの誘電体
ミラーDML側が被検出体Oの表面に接近して対面してい
るように配置されていて、読取りヘッドHrにおける光変
調材層部材PMLには前記した誘電体ミラーDMLを介して被
検出体Oによる電界が与えられているから、前記のよう
に読取りヘッドHrに入射したレーザ光束は、前記した電
荷像読取りヘッドHrにおける前記した誘電体ミラーDML
の側に与えられた電荷パターンで生じている電界に応じ
て光変調材層部材PMLを通過する光の状態(前記の例の
場合には偏光面の角度)が変化する。
As described above, the read head Hr has the transparent electrode Et and the light modulation material layer member PML {a light modulation material layer member PML (for example, which has an electro-optical effect) which has a characteristic that the state of light can be changed by an applied voltage. Lithium niobate single crystal,
Alternatively, a material layer for light modulation such as a layer of nematic liquid crystal exhibiting an electric field scattering effect may be used)} and a dielectric mirror DML are laminated, and the dielectric mirror DML side thereof is covered. The light modulation material layer member PML in the read head Hr is arranged so as to closely face the surface of the detection object O, and an electric field generated by the detection object O is given to the light modulation material layer member PML via the dielectric mirror DML. Therefore, the laser beam incident on the read head Hr as described above is transmitted by the dielectric mirror DML in the charge image read head Hr.
The state of light passing through the light modulation material layer member PML (the angle of the polarization plane in the case of the above example) changes according to the electric field generated by the charge pattern applied to the side.

それで前記のように読取りヘッドHrの透明電極Et側か
ら入射したレーザ光束が、光変調材層部材PMLを通過し
て誘電体ミラーDMLにより反射した後に再び光変調材層
部材PMLを通過して透明電極Etの面から出射した光の状
態(前記の例の場合には偏光面の角度)は、前記した被
検出体Oにおける電荷像の電位分布と対応して変化して
いるものになっている。
Therefore, as described above, the laser light flux incident from the transparent electrode Et side of the read head Hr passes through the light modulation material layer member PML, is reflected by the dielectric mirror DML, and then passes through the light modulation material layer member PML again to be transparent. The state of the light emitted from the surface of the electrode Et (the angle of the polarization plane in the case of the above example) is changed corresponding to the potential distribution of the charge image on the detected object O. .

前記のように読取りヘッドHrから出射された広い面形
状を有するレーザ光は、読取りヘッドHrへ入射した広い
面形状を有するレーザ光が被検出体Oにおける表面電位
分布に応じて偏光面の回転量が変化している状態のもの
である。それで読取りヘッドHrからの出射光がビームス
プリッタ4で反射されてから、必要に応じて設けられて
いる光量調節用の波長板5と、偏光面の回転量を明るさ
の変化に変換するための検光子6とを介して、2次元イ
メージセンサ12に入射させると、前記の2次元イメージ
センサ12からは被検出体Oにおける二次元的な電荷像の
各部分の電荷量に応じて振幅が変化している電気信号
(映像信号)が得られる。
As described above, the laser light having a wide surface shape emitted from the read head Hr is a laser light having a wide surface shape that is incident on the read head Hr, and the rotation amount of the polarization plane is changed according to the surface potential distribution in the object O to be detected. Is in a changing state. Therefore, after the emitted light from the read head Hr is reflected by the beam splitter 4, a wavelength plate 5 for adjusting the light amount, which is provided as necessary, and a rotation amount of the polarization plane for converting the rotation amount into a change in brightness. When the light is incident on the two-dimensional image sensor 12 via the analyzer 6, the amplitude changes from the two-dimensional image sensor 12 in accordance with the charge amount of each part of the two-dimensional charge image on the detected object O. An electric signal (video signal) is being obtained.

なお、前記した2次元イメージセンサ12を画素が配列
されている方向について微小な距離だけ変位させた状態
にして同一の電荷像について複数回の読取り動作を行う
ようにし、その際に得られた出力信号を合成して精細度
の高い映像信号を発生させるようにすることもできる。
The two-dimensional image sensor 12 described above is displaced by a minute distance in the direction in which the pixels are arranged so that the same charge image is read a plurality of times, and the output obtained at that time is obtained. It is also possible to synthesize the signals to generate a high definition video signal.

(発明の効果) 以上、詳細に説明したところから明らかなように、本
発明の透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラーとを積
層して構成された読取りヘッドを、それの誘電体ミラー
側が検出の対象にされている表面電位分布を有する被検
出体に近接させて配置する手段と、前記した読取りヘッ
ドにおける透明電極側から所定の方向に偏向されている
レーザ光束を入射させる手段と、前記した読取りヘッド
から出射したレーザ光束を検光子を介して光電変換素子
に与える手段とを備えてなる表面電位分布と対応する電
気信号の発生装置と、透明電極と光変調材層部材と誘電
体ミラーとを積層して構成された読取りヘッドを、それ
の誘電体ミラー側が検出の対象にされている表面電位分
布を有する被検出体に近接させて配置する手段と、前記
した読取りヘッドにおける透明電極側から直線形状の断
面を有するレーザ光束を入射させる手段と、前記した読
取りヘッドから出射した直線形状の断面を有するレーザ
光束を検光子を介してライン・イメージセンサに与える
手段とを備えてなる表面電位分布と対応する電気信号の
発生装置、及び、透明電極と光変調材層部材と誘電体ミ
ラーとを積層して構成された読取りヘッドを、それの誘
電体ミラー側が検出の対象にされている表面電位分布を
有する被検出体に近接させて配置する手段と、前記した
読取りヘッドにおける透明電極側からビームエキスパン
ダによって拡大した面状断面を有するレーザ光束を入射
させる手段と、前記した読取りヘッドから出射したレー
ザ光束を検光子を介して副走査方向に駆動変位されてい
るライン・イメージセンサに与える手段とを備えてなる
表面電位分布と対応する電気信号の発生装置、ならびに
透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラーとを積層して
構成された読取りヘッドを、それの誘電体ミラー側が検
出の対象にされている表面電位分布を有する被検出体に
近接させて配置する手段と、前記した読取りヘッドにお
ける透明電極側からビームエキスパンダによって拡大し
た面状断面を有するレーザ光束を入射させる手段と、前
記した読取りヘッドから出射したレーザ光束を検光子を
介して2次元イメージセンサに与える手段とを備えてな
る表面電位分布と対応する電気信号の発生装置であるか
ら、この本発明の表面電位分布と対応する電気信号の発
生装置では電荷像として記録されている電荷像を光学的
な読取り手段によって高画質・高解像度の再生画像を再
生させることの可能な映像信号を容易に発生させること
ができるのであり、本発明の表面電位分布と対応する電
気信号の発生装置によれば従来の問題点を良好に解決で
きる。
(Effect of the Invention) As is clear from the above description, the read head constituted by laminating the transparent electrode, the light modulation material layer member, and the dielectric mirror of the present invention has a dielectric mirror. Means for arranging in close proximity to the object to be detected having a surface potential distribution whose side is the object of detection, and means for injecting a laser light beam deflected in a predetermined direction from the transparent electrode side of the read head, A device for generating an electric signal corresponding to a surface potential distribution, which comprises means for giving a laser beam emitted from the reading head to a photoelectric conversion element through an analyzer, a transparent electrode, a light modulation material layer member, and a dielectric. A means for arranging a read head constituted by laminating a mirror and a dielectric mirror side thereof close to an object to be detected having a surface potential distribution targeted for detection; Means for injecting a laser beam having a linear cross section from the transparent electrode side of the read head, and means for giving a laser beam having a linear cross section emitted from the read head to the line image sensor via an analyzer. A device for generating an electric signal corresponding to the surface potential distribution, and a read head constituted by laminating a transparent electrode, a light modulation material layer member and a dielectric mirror, the dielectric mirror side of which is used for detection. A means for placing the object to be detected having a surface potential distribution in close proximity to the object, and a means for injecting a laser beam having a planar cross section enlarged by a beam expander from the transparent electrode side of the read head, The line image sensor in which the laser beam emitted from the reading head is driven and displaced in the sub-scanning direction through the analyzer. A read head composed of a transparent electrode, a light modulation material layer member, and a dielectric mirror, and a device for generating an electric signal corresponding to the surface potential distribution. Means for arranging the mirror side in close proximity to the object to be detected having a surface potential distribution to be detected, and a laser beam having a planar cross section enlarged by a beam expander from the transparent electrode side of the above-mentioned read head are incident. And a means for applying the laser light flux emitted from the read head to the two-dimensional image sensor through the analyzer, the electric potential generator corresponding to the surface potential distribution. In the electric signal generator that corresponds to the surface potential distribution, the charge image recorded as a charge image is recorded with an optical reading means to provide high image quality and high resolution. A video signal capable of regenerating a reproduced image is as it can be generated easily, can be satisfactorily solve the conventional problems, according the surface potential distribution and the generator of the corresponding electrical signals of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図乃至第4図は本発明の表面電位分布と対応する電
気信号の発生装置の異なる実施例の斜視図である。 LS……レーザ光源、1……偏光子、4……ビームスプリ
ッタ、5……波長板、6……検光子、O……表面電位の
検出が行われるべき被検出体、Hr……読取りヘッド、Et
……透明電極、PML……光変調材層部材、DML……誘電体
ミラー、2……回転鏡車、3……レンズ、7……集光レ
ンズ、8……シリンドリカルレンズ、9……ラインイメ
ージセンサ、10……ビームエキスパンダ、11……ライン
イメージセンサ、12……2次元イメージセンサ、
1 to 4 are perspective views of different embodiments of an electric signal generator corresponding to the surface potential distribution of the present invention. LS ... laser light source, 1 ... polarizer, 4 ... beam splitter, 5 ... wave plate, 6 ... analyzer, O ... detected object on which surface potential should be detected, Hr ... reading head , Et
...... Transparent electrode, PML ...... Light modulation material layer member, DML ...... Dielectric mirror, 2 ...... Rotating mirror wheel, 3 ...... Lens, 7 ...... Condensing lens, 8 ...... Cylindrical lens, 9 ...... Line Image sensor, 10 …… Beam expander, 11 …… Line image sensor, 12 …… Two-dimensional image sensor,

フロントページの続き (72)発明者 浅倉 伝 神奈川県横浜市神奈川区守屋町3丁目12番 地 日本ビクター株式会社内 (72)発明者 古屋 正人 神奈川県横浜市神奈川区守屋町3丁目12番 地 日本ビクター株式会社内Front page continuation (72) Inventor Asakura, 3-12 Moriya-cho, Kanagawa-ku, Yokohama, Kanagawa Japan Victor Company of Japan (72) Masato Furuya 3--12, Moriya-cho, Kanagawa-ku, Yokohama Japan Victor Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラー
とを積層して構成された読取りヘッドを、それの誘電体
ミラー側が検出の対象にされている表面電位分布を有す
る被検出体に近接させて配置する手段と、前記した読取
りヘッドにおける透明電極側から所定の方向に偏向され
ているレーザ光束を入射させる手段と、前記した読取り
ヘッドから出射したレーザ光束を検光子を介して光電変
換素子に与える手段とを備えてなる表面電位分布と対応
する電気信号の発生装置
1. A read head having a transparent electrode, a light modulation material layer member, and a dielectric mirror laminated on each other, and a dielectric mirror side of the read head being a detection target having a surface potential distribution. Means for arranging the laser light beam deflected in a predetermined direction from the transparent electrode side of the reading head, and a laser light beam emitted from the reading head for photoelectric conversion through an analyzer. A device for generating an electric signal corresponding to the surface potential distribution, which comprises means for supplying the conversion element.
【請求項2】透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラー
とを積層して構成された読取りヘッドを、それの誘電体
ミラー側が検出の対象にされている表面電位分布を有す
る被検出体に近接させて配置する手段と、前記した読取
りヘッドにおける透明電極側から直線形状の断面を有す
るレーザ光束を入射させる手段と、前記した読取りヘッ
ドから出射した直線形状の断面を有するレーザ光束を検
光子を介してライン・イメージセンサに与える手段とを
備えてなる表面電位分布と対応する電気信号の発生装置
2. A read head comprising a transparent electrode, a light modulation material layer member, and a dielectric mirror laminated on each other, and an object to be detected having a surface potential distribution whose dielectric mirror side is the object of detection. Means for arranging the laser beam having a linear cross section from the transparent electrode side of the read head, and a laser beam having a linear cross section emitted from the read head for analyzing. For generating an electric signal corresponding to the surface potential distribution, which comprises means for supplying the line image sensor via the
【請求項3】透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラー
とを積層して構成された読取りヘッドを、それの誘電体
ミラー側が検出の対象にされている表面電位分布を有す
る被検出体に近接させて配置する手段と、前記した読取
りヘッドにおける透明電極側からビームエキスパンダに
よって拡大した面状断面を有するレーザ光束を入射させ
る手段と、前記した読取りヘッドから出射したレーザ光
束を検光子を介して副走査方向に駆動変位されているラ
イン・イメージセンサに与える手段とを備えてなる表面
電位分布と対応する電気信号の発生装置
3. An object to be detected having a surface potential distribution in which a dielectric mirror side of a read head is formed by laminating a transparent electrode, a light modulation material layer member and a dielectric mirror. A means for arranging the laser light flux having a planar cross section enlarged by a beam expander from the transparent electrode side of the read head, and a laser light flux emitted from the read head for the analyzer. And a means for giving to a line image sensor which is driven and displaced in the sub-scanning direction via a device for generating an electric signal corresponding to the surface potential distribution.
【請求項4】透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラー
とを積層して構成された読取りヘッドを、それの誘電体
ミラー側が検出の対象にされている表面電位分布を有す
る被検出体に近接させて配置する手段と、前記した読取
りヘッドにおける透明電極側からビームエキスパンダに
よって拡大した面状断面を有するレーザ光束を入射させ
る手段と、前記した読取りヘッドから出射したレーザ光
束を検光子を介して2次元イメージセンサに与える手段
とを備えてなる表面電位分布と対応する電気信号の発生
装置
4. An object to be detected having a surface potential distribution in which a dielectric mirror side of a read head constituted by laminating a transparent electrode, a light modulation material layer member and a dielectric mirror is an object of detection. A means for arranging the laser light flux having a planar cross section enlarged by a beam expander from the transparent electrode side of the read head, and a laser light flux emitted from the read head for the analyzer. For generating an electric signal corresponding to the surface potential distribution, which includes means for giving a two-dimensional image sensor through the same.
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