JPH08124119A - Thin-film magnetic head assembly - Google Patents

Thin-film magnetic head assembly

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Publication number
JPH08124119A
JPH08124119A JP26388594A JP26388594A JPH08124119A JP H08124119 A JPH08124119 A JP H08124119A JP 26388594 A JP26388594 A JP 26388594A JP 26388594 A JP26388594 A JP 26388594A JP H08124119 A JPH08124119 A JP H08124119A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slider
bonding
magnetic head
film magnetic
wire
Prior art date
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Pending
Application number
JP26388594A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Fujii
浩司 藤井
Izumi Yamamoto
泉 山本
Nobuhito Fukushima
信人 福島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Citizen Watch Co Ltd
Original Assignee
Citizen Watch Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Citizen Watch Co Ltd filed Critical Citizen Watch Co Ltd
Priority to JP26388594A priority Critical patent/JPH08124119A/en
Publication of JPH08124119A publication Critical patent/JPH08124119A/en
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Abstract

PURPOSE: To impart stable floating to a slider while assuring the degree of freedom of the slider by connecting bonding pads to each other to an optimum positional relation by means of wires. CONSTITUTION: This thin-film magnetic head assembly is composed of the slider 2, a flexible wiring board 4, gimbals 3 and the wires 13. The slider 2 has a thin-film magnetic head element 1 and the bonding pads 5 on its side face and is worked with rails in such a manner that its rear surface acts as a floating surface. The front surface of the slider is joined to the prescribed position of the joint part 30 of the gimbals 3 having a spring characteristic. The flexible wiring board 4 is stuck onto the gimbals 3 and has wiring conductors 41 and the bonding pads 40. The flexible wiring board 41 is adhered to the prescribed position on the gimbals 3 in such a manner that the positional relation between the surfaces of the bonding pads 40 of the wiring board 4 and the surfaces of the bonding pads 5 of the slider 2 is made nearly perpendicular. The bonding pads 40, 5 are connected to each other by the wires 13.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置、磁気
テープ装置等に用いられる薄膜磁気ヘッドアセンブリに
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film magnetic head assembly used in magnetic disk devices, magnetic tape devices and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来実用化されている薄膜磁気ヘッドア
センブリの構成を図.5を用いて説明する。薄膜磁気ヘ
ッドアセンブリ10は、薄膜磁気ヘッド素子1を側面に
有するスライダー2と、前記スライダーを保持するため
のジンバル3と、前記磁気ヘッド素子のボンディングパ
ッド5から外部へ電気的接続をとるためのワイヤ13で
構成されている。ワイヤはジンバル等と接触する恐れが
あるため、通常絶縁被覆されたAuメッキCu線が用い
られている。しかしこの場合、ワイヤの引き回し等の工
程があるために自動化が難しく、アセンブリは手作業で
行われており、工程短縮のためにも自動化に適した薄膜
磁気ヘッドアセンブリの電気的接続方法が望まれてい
る。
2. Description of the Related Art FIG. 1 is a diagram showing the structure of a thin film magnetic head assembly that has been put into practical use. This will be described using 5. The thin film magnetic head assembly 10 includes a slider 2 having a thin film magnetic head element 1 on its side surface, a gimbal 3 for holding the slider, and a wire for electrically connecting the bonding pad 5 of the magnetic head element to the outside. It is composed of 13. Since the wire may come into contact with a gimbal or the like, an Au-plated Cu wire coated with insulation is usually used. However, in this case, it is difficult to automate because there are processes such as wiring of wires, and the assembly is performed manually, and an electrical connection method of the thin film magnetic head assembly suitable for automation is also desired to shorten the process. ing.

【0003】また前記構造により接続を取ると、Auメ
ッキCu線の高い剛性のためワイヤにより引き起こされ
る負荷がスライダの浮上姿勢に悪影響を与える。このた
めワイヤにサービスループ(図5中A部)とよばれる冗
長部を設け、その影響を軽減している。しかし前記構造
において浮上量が0.1μmを越える場合はさほど問題
にはならなかったが、高記録密度化が進行する昨今で
は、スライダーが小型化し、浮上量も0.1μmを下回
る状況になり、ワイヤ負荷の影響を軽減するのにサービ
スループの利用では不十分となってきた。またサービス
ループはスライダー側面に大きく張り出した構造をとる
ため、磁気ディスク装置の製造工程において作業者の手
や治具等に接触し、変形を生じて、悪影響を与えること
がままあった。
Further, when the connection is made by the above structure, the load caused by the wire adversely affects the flying posture of the slider due to the high rigidity of the Au-plated Cu wire. Therefore, a redundant portion called a service loop (A portion in FIG. 5) is provided on the wire to reduce the influence. However, when the flying height exceeds 0.1 μm in the above structure, it did not become a problem, but in recent years when the recording density has increased, the slider has become smaller and the flying height has fallen below 0.1 μm. The use of service loops has become insufficient to mitigate the effects of wire load. Further, since the service loop has a structure that greatly extends to the side surface of the slider, it often comes into contact with an operator's hand, a jig, or the like in the manufacturing process of the magnetic disk device and causes deformation, which adversely affects the operation.

【0004】この様な従来技術の課題を解決する薄膜磁
気ヘッドアセンブリの電気的接続方法としていくつかの
構造が提案されている。
Several structures have been proposed as a method of electrically connecting a thin-film magnetic head assembly that solves the problems of the prior art.

【0005】実開昭61−153117においては、ジ
ンバルの折曲げ部に配置されたフレキシブル配線板上の
信号取り出し用ボンディングパッドと、薄膜ヘッドのボ
ンディングパッドが、ワイヤにより接続された構造の電
気的接続方法が提案されている。この構成においては磁
気ヘッドおよびフレキシブル配線板のボンディングパッ
ドが平行面上に配置されていることから、通常のワイヤ
ボンディング装置にて接続可能であることが容易に想像
される。しかし本構造では磁気ヘッドのボンディングパ
ッドがジンバル長手方向に対して直行した面にとりつけ
られた場合に限られ、近年小型の磁気ディスク装置で用
いられている構造、すなわち磁気ヘッドのボンディング
パッドがジンバル長手方向線上に位置するいわゆるイン
ライン型の薄膜磁気ヘッドアセンブリには適用できな
い。
In Japanese Utility Model Laid-Open No. 61-153117, an electrical connection is made in which a signal extraction bonding pad on a flexible wiring board arranged at a bent portion of a gimbal and a bonding pad of a thin film head are connected by a wire. A method has been proposed. In this configuration, since the magnetic head and the bonding pads of the flexible wiring board are arranged on the parallel surfaces, it is easily imagined that they can be connected by a normal wire bonding apparatus. However, this structure is limited to the case where the bonding pad of the magnetic head is attached to the surface orthogonal to the longitudinal direction of the gimbal, and the structure used in a small magnetic disk device in recent years, that is, the bonding pad of the magnetic head is the longitudinal direction of the gimbal. It cannot be applied to a so-called in-line type thin film magnetic head assembly located on the direction line.

【0006】また特開昭61−160815においては
フレキシブル配線板を折り曲げ、スライダー側面の薄膜
ヘッド素子と近接して配置し、ボンディングして電気的
接続をとる方法が提案されている。ここではフレキシブ
ル配線板の配線材料について述べられていないが、通常
はCuが一般的であり、抵抗から考慮して断面積は小さ
くできないため、この配線の剛性はかなり大きいものと
なる。とくにインダクティブ−MR複合ヘッドの様に4
本以上の配線が必要な場合には更に大きな問題となるこ
とが容易に想像できる。
Further, Japanese Patent Laid-Open No. 61-160815 proposes a method of bending a flexible wiring board, disposing the flexible wiring board close to the thin film head element on the side surface of the slider, and performing electrical connection by bonding. Although the wiring material of the flexible wiring board is not described here, Cu is generally common, and the cross-sectional area cannot be reduced in consideration of resistance, so that the rigidity of this wiring is considerably large. Especially 4 like the inductive-MR composite head
It can be easily imagined that the problem will be more serious when more than two wirings are required.

【0007】また上記2件の構成ではワイヤボンディン
グの方法について具体的には述べられていない。ヘッド
素子内のボンディングパッドにボンディングを行うため
には、スライダーを固定しなければならないが、スライ
ダーが小型でかつ、ヘッドとジンバルがアセンブリされ
た状態でスライダーを固定するのは非常に困難を有す
る。
Further, in the above two configurations, the wire bonding method is not specifically described. The slider must be fixed in order to perform bonding to the bonding pad in the head element, but it is very difficult to fix the slider when the slider is small and the head and gimbal are assembled.

【0008】2つの垂直をなす面上の2つのパッド部を
接続するワイヤボンディング装置は特開平4−1965
49号に開示されている。しかし本件でもワークの保持
方法について詳細に述べられてはおらず、本構成を磁気
ヘッドの接続にそのまま適用するのは困難である。
A wire bonding apparatus for connecting two pad portions on two vertical surfaces is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1965/1992.
No. 49. However, even in this case, the method of holding the work is not described in detail, and it is difficult to directly apply this configuration to the connection of the magnetic head.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク装置に搭
載される薄膜磁気ヘッドアセンブリにおいては装置の小
型化にともない、量産時には特に電気的接続方法の取扱
いが煩雑になり、自動化が強く望まれている。またその
時には、ワイヤの剛性や信頼性を確保する必要がある。
前述したように、現在広く用いられている薄膜磁気ヘッ
ドアセンブリは、自動化に不向きであり、かつ剛性の高
いCu線を用いていることから、ヘッドスライダの浮上
姿勢に悪影響を与えてしまうという課題がある。
In a thin-film magnetic head assembly mounted on a magnetic disk device, the miniaturization of the device complicates the handling of the electrical connection method particularly during mass production, and automation is strongly desired. . At that time, it is necessary to secure the rigidity and reliability of the wire.
As described above, since the thin film magnetic head assembly which is widely used at present is not suitable for automation and uses Cu wire having high rigidity, there is a problem that the flying posture of the head slider is adversely affected. is there.

【0010】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、量産性、信頼性に優れ、安定な浮上姿勢を与え
ることが可能な電気的接続方法を備えた薄膜磁気ヘッド
アセンブリを提供する。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a thin film magnetic head assembly provided with an electrical connection method which is excellent in mass productivity and reliability and which can provide a stable flying posture.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明による薄膜磁気ヘ
ッドアセンブリは、磁気媒体と対向するスライダ一浮上
面に対して垂直な同一面に薄膜磁気ヘッド素子と該薄膜
磁気ヘッド素子からの信号を検出するためのボンディン
グパッドとが近接されているスライダ一と、該スライダ
一を接着するための接合部を所定の位置に有するジンバ
ルと、配線導体の端部にボンディングパッドを有するフ
レキシブル配線板と、ワイヤとを有し、前記ジンバルの
接合部に前記スライダの上面が接着されており、さらに
前記フレキシブル配線板は該フレキシブル配線板のボン
ディングパッドと前記スライダ一のボンディングパッド
の位置関係がほぼ直角をなすように前記ジンバル上の所
定位置に接着され、かつ前記ボンディングパッドの間は
前記ワイヤにより接続されていることを特徴とする薄膜
磁気ヘッドアセンブリにより構成される。
A thin-film magnetic head assembly according to the present invention detects a thin-film magnetic head element and a signal from the thin-film magnetic head element on the same plane which is perpendicular to a slider's air bearing surface facing a magnetic medium. And a bonding pad for adhering the slider, a gimbal having a bonding portion at a predetermined position for bonding the slider, a flexible wiring board having a bonding pad at an end of a wiring conductor, and a wire. The upper surface of the slider is adhered to the joint portion of the gimbal, and the flexible wiring board has a bonding pad of the flexible wiring board and a bonding pad of the slider that are substantially perpendicular to each other. Is bonded to the gimbal at a predetermined position, and the space between the bonding pads is fixed by the wire. Constituted by a thin film magnetic head assembly, characterized in that it is continued.

【0012】[0012]

【作用】本発明によれば、フレキシブル配線板のボンデ
ィングパッドとスライダ一のボンディングパッドの位置
関係がほぼ直角をなすように配設され、かつボンディン
グパッドの間はワイヤにより最適な位置関係で接続され
ていることにより、量産性や信頼性に優れた薄膜磁気ヘ
ッドの電気的接続が可能となり、またワイヤの径、材料
を選択することでスライダーの自由度を確保し、安定な
浮上を与えることができる。
According to the present invention, the bonding pads of the flexible wiring board and the bonding pads of the slider 1 are arranged such that the positional relationship between them is substantially right, and the bonding pads are connected by wires in an optimal positional relationship. Therefore, it is possible to electrically connect a thin film magnetic head with excellent mass productivity and reliability, and by selecting the wire diameter and material, the degree of freedom of the slider can be secured and stable flying can be provided. it can.

【0013】[0013]

【実施例】【Example】

(実施例1)図1は本発明の実施例を示す斜視図であ
る。薄膜磁気ヘッドアセンブリは、スライダー2、フレ
キシブル配線板4(以下FPCと記す)、ジンバル3、
ワイヤ13で構成されている。前記スライダーは側面に
薄膜磁気ヘッド素子1及びボンディングパッド5を有
し、下面が浮上面として動作するようにレール加工され
ている。またスライダー上面はバネ性を有するジンバル
3の接合部30に所定の位置に接着される。またFPC
がジンバル上にはりつけてあり、配線導体41及びボン
ディングパッド40を有する。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention. The thin film magnetic head assembly includes a slider 2, a flexible wiring board 4 (hereinafter referred to as FPC), a gimbal 3,
It is composed of a wire 13. The slider has a thin film magnetic head element 1 and a bonding pad 5 on its side surface, and its lower surface is rail processed so that it operates as an air bearing surface. Further, the upper surface of the slider is bonded to the joint portion 30 of the gimbal 3 having a spring property at a predetermined position. Also FPC
Is attached to the gimbal and has a wiring conductor 41 and a bonding pad 40.

【0014】本発明においては前記素子のボンディング
パッドとFPC上のボンディングパッドは垂直をなす面
上にあり、それぞれ表面はAuメッキを施してある。こ
の2つのボンディングパッドをAu線を用いたワイヤボ
ンディング、具体的にはボールボンディングで接続し
た。ファースト側が薄膜磁気ヘッド素子、セカンド側が
FPCである。
In the present invention, the bonding pad of the above-mentioned element and the bonding pad on the FPC are on a plane perpendicular to each other, and each surface is plated with Au. The two bonding pads were connected by wire bonding using Au wire, specifically ball bonding. The first side is the thin-film magnetic head element, and the second side is the FPC.

【0015】ボールボンディングにおいては熱と超音波
を同時に印加する事が一般的であり、ICチップ等での
ボンディング時には150℃程度の加熱を行う。しかし
本実施例においては、スライダーとジンバル、ジンバル
とFPCの接続に接着剤を用いており、前記接着剤の軟
化点が約80℃と低いため、ボンディングは50℃の低
温加熱で行った。従ってボンディング力を補償するた
め、適切な超音波印加条件を選択した。適切なボンディ
ングが行われた場合、ボンディング後の引っ張り試験で
の接着力測定では25μmのワイヤを使用した場合約5
gfが得られ、使用上問題ないレベルである。接着剤に
耐熱性の材料を用いた場合には、通常の熱と超音波を併
用してボンディングを行うのが望ましい。
In ball bonding, it is general to apply heat and ultrasonic waves at the same time, and heating at about 150 ° C. is performed at the time of bonding on an IC chip or the like. However, in this embodiment, an adhesive is used to connect the slider and the gimbal and the gimbal and the FPC, and since the softening point of the adhesive is as low as about 80 ° C., the bonding was performed at a low temperature of 50 ° C. Therefore, in order to compensate the bonding force, an appropriate ultrasonic wave application condition was selected. Adequate bonding is performed, and the adhesive strength measurement in the tensile test after bonding is about 5 when using a 25 μm wire.
gf is obtained, which is at a level where there is no problem in use. When a heat-resistant material is used for the adhesive, it is desirable to use ordinary heat and ultrasonic waves in combination for bonding.

【0016】(実施例2)次にボンディング方法につい
て詳細に説明する。ボンディングに使用した治具につい
ては、全体の斜視図である図.2及び真空チャック部を
拡大して示す図.3を用いて説明する。図.2におい
て、薄膜磁気ヘッドアセンブリ10は移動ステージ20
上の2カ所のピン21に落とし込む。そして図.3にお
いて、スライダー2はスライダー固定部材25に2つの
側面で押し当てられた状態で、残り2つの側面をバネ性
のあるもう一つの固定部材28により固定する。更に
図.2において、ジンバル中央部をバネに連結したジン
バル押さえ部材23により適切な荷重で押さえる。この
状態でステージ移動用レバー22をAからB方向へ90
度回転する。これに伴ってレバーと連結された移動ステ
ージが90度回転し、薄膜磁気ヘッド素子のボンディン
グパッドの面が上面を向くことになる。この状態で位置
決めを行い、ファーストボンディングが行える状態とな
る。
(Embodiment 2) Next, a bonding method will be described in detail. The jig used for bonding is an overall perspective view. 2 and an enlarged view of the vacuum chuck portion. 3 will be used for the explanation. Fig. 2, the thin film magnetic head assembly 10 has a moving stage 20.
Drop it into the top two pins 21. And Figure. 3, the slider 2 is pressed against the slider fixing member 25 by the two side surfaces, and the remaining two side surfaces are fixed by another fixing member 28 having a spring property. Further Fig. In 2, the central portion of the gimbal is pressed by an appropriate load by the gimbal pressing member 23 connected to the spring. In this state, move the stage moving lever 22 from A to B direction 90
Rotate once. Along with this, the movable stage connected to the lever rotates 90 degrees, and the surface of the bonding pad of the thin film magnetic head element faces the upper surface. Positioning is performed in this state, and the state in which fast bonding can be performed is obtained.

【0017】ただしこのままではファーストボンディン
グ時に、キャピラリー先端がスライダー素子面をかなり
の力で押さえつけるため、ジンバルの剛性が弱いと変形
してボンディングができないことが判った。そこで図.
3の様に丁度スライダーを所定の位置に固定したとき
に、スライダー浮上面12に接する治具の固定面上にス
ライダーより小さな穴27を設け、ここに真空ラインを
接続することでスライダーが吸着固定され、ボンディン
グが可能となった。図.3中、スライダー浮上面に接す
る治具の固定面の穴と連結する真空チャック用穴26と
図.2中真空チャック用ライン24が接続されており、
この先端には3方コックが接続され(図示せず)、吸
着、リークは切り換えで選択できる。スライダー浮上面
はレール加工されており、凹凸はあるが、吸着固定する
には十分であることが確認された。
However, it has been found that the tip of the capillaries presses the slider element surface with a considerable force at the time of the first bonding, so that if the rigidity of the gimbal is weak, the bonding cannot be performed. Therefore, Fig.
As shown in 3, when the slider is just fixed at a predetermined position, a hole 27 smaller than the slider is provided on the fixing surface of the jig that is in contact with the slider floating surface 12, and the vacuum line is connected here to fix the slider by suction. The bonding is now possible. Fig. 3, a hole 26 for a vacuum chuck that is connected to a hole on the fixing surface of the jig that contacts the slider air bearing surface and FIG. 2 is connected to the vacuum chuck line 24,
A three-way cock is connected to this tip (not shown), and suction and leak can be selected by switching. It was confirmed that the slider air bearing surface was rail-processed and had irregularities, but it was sufficient for adsorption and fixation.

【0018】ファーストボンディング時の条件として
は、ボンディング荷重50gf、超音波出力0.5W、
超音波印加時間60msecで行った。図2において、
ステージ移動用レバー22をBの位置とし、薄膜ヘッド
素子のボンディングパッドにファーストボンディングを
終了した後、レバーを90度回転してAの位置に戻し、
ジンバル上に貼り付けられたFPCのボンディングパッ
ドにセカンドボンディングを行い、ワイヤ接続が完了す
る。セカンドボンディングの条件はボンディング荷重9
0gf、超音波出力0.6W、超音波印加時間70ms
ecで行った。セカンドボンディング時は、多少ジンバ
ルがたわむため、スライダーが完全に固定されている
と、歪みがワイヤに集中してファーストボンディング部
がはずれる場合があるため、多少自由度をもたせるた
め、スライダーの真空チャックは行わない方がよい。フ
ァーストボンディング、セカンドボンディングいずれに
おいても超音波出力0.3W以下、超音波印加時間40
msec以下では十分なボンディング強度が得られず、
逆に超音波出力0.8W以上、超音波印加時間80ms
ec以上の条件でも、十分なボンディング強度が得られ
なかったり、キャピラリー先端が破損する等の問題が生
じた。
The conditions for the first bonding are as follows: bonding load 50 gf, ultrasonic output 0.5 W,
The ultrasonic wave was applied for 60 msec. In FIG.
After the stage moving lever 22 is set to the B position and the first bonding is completed on the bonding pad of the thin film head element, the lever is rotated 90 degrees to return to the A position.
Second bonding is performed on the bonding pad of the FPC attached on the gimbal to complete the wire connection. Second bonding condition is bonding load 9
0gf, ultrasonic output 0.6W, ultrasonic application time 70ms
It went in ec. Since the gimbal flexes slightly during the second bonding, if the slider is completely fixed, the strain may concentrate on the wire and the first bonding part may come off. It is better not to do it. In both first bonding and second bonding, ultrasonic output is 0.3W or less, ultrasonic application time is 40
If it is less than msec, sufficient bonding strength cannot be obtained,
On the contrary, ultrasonic output 0.8W or more, ultrasonic application time 80ms
Even under the condition of ec or more, problems such as insufficient bonding strength being obtained and damage to the tip of the capillary occurred.

【0019】上記実施例において、Auワイヤは25μ
m径のものを用い、キャピラリも推奨ワイヤ径が25μ
m相当のボトルネックタイプのセラミック製キャピラリ
を使用した。
In the above embodiment, the Au wire is 25 μm.
Use a diameter of m and recommend a wire diameter of 25μ for the capillary.
A bottleneck-type ceramic capillary corresponding to m was used.

【0020】また移動ステージ回転系の回転中心はスラ
イダーのエッジに一致させており、この位置によってワ
イヤループ形状が変わることを確認した。
Further, it was confirmed that the center of rotation of the rotating system of the moving stage was aligned with the edge of the slider, and the wire loop shape changed depending on this position.

【0021】本実施例ではレバーを用いたマニュアル操
作でのボンディングについて述べたが移動ステージの駆
動、真空チャック等は電磁弁を用いた自動操作にする事
も可能である。またボンディングも自動認識装置を搭載
して自動化する事も可能である。
In the present embodiment, the manual operation bonding using the lever is described, but the driving of the moving stage, the vacuum chuck and the like can be performed automatically by using the solenoid valve. It is also possible to automate the bonding by mounting an automatic recognition device.

【0022】(実施例3)本発明の構成ではAu線を用
いているためワイヤとジンバルが接触してはならない。
またドライブに搭載する磁気ヘッドとして薄型化が望ま
れており、上下ヘッドの干渉を避けるため、ワイヤは接
触させずにしかもジンバル面から離さずにひきまわす必
要がある。
(Embodiment 3) Since the Au wire is used in the structure of the present invention, the wire and the gimbal should not be in contact with each other.
Further, there is a demand for a thinner magnetic head to be mounted on a drive, and in order to avoid interference between the upper and lower heads, it is necessary to pull the wires apart without contacting them and without separating them from the gimbal surface.

【0023】ワイヤのループ形状はワイヤ線種の選別、
ボンディング条件により制御できる。屈曲部の形状はA
uワイヤにボールを形成する際、Auの結晶粒が熱で再
結晶を起こし結晶成長が生じ、部分的に硬くなるために
起こる。従って各々設計されたヘッドジンバルアセンブ
リのディメンジョンに従ってワイヤ線種、ボンディング
条件、移動ステージ回転系の回転中心を選択することに
よってワイヤのループ形状を決定できる。
The wire loop shape is selected according to the wire type.
It can be controlled by the bonding conditions. The shape of the bent part is A
This occurs because when Au balls are formed on the u-wire, the Au crystal grains are recrystallized by heat to cause crystal growth and become partially hard. Therefore, the loop shape of the wire can be determined by selecting the wire line type, the bonding condition, and the rotation center of the moving stage rotation system according to the dimensions of the head gimbal assembly designed.

【0024】本実施例における4本のAuワイヤの高さ
は、いずれもジンバル面から150μm以下に抑えられ
ていることが確認された。薄膜ヘッドアセンブリ全体の
高さを抑えることで磁気ディスク装置(HDD)への実
装がしやすくなり、またHDDの薄型化達成に有効であ
る。
It was confirmed that the height of each of the four Au wires in this example was suppressed to 150 μm or less from the gimbal surface. By suppressing the height of the thin film head assembly as a whole, the thin film head assembly can be easily mounted on a magnetic disk device (HDD), and it is effective in achieving a thinner HDD.

【0025】(実施例4)本構成の接続方法においても
ワイヤの剛性によりスライダーに負荷を与え、浮上姿勢
等に悪影響を与えるおそれがある。そこで4本端子の場
合のピッチ方向、ロール方向のワイヤが与える剛性を有
限要素法を用いて計算した。この結果を図.4に示す。
このヘッドジンバルアセンブリでのシミュレーションに
おいては規格値以下に剛性を抑えるためには、接続に用
いるAuの線径は25μm以下でなければならないこと
がわかる。この値は当然ながらディメンジョン等により
変わる値であるが、今後スライダーサイズが小さくな
り、ジンバルも薄くよりバネ性も下げる方向であること
から、本構成におけるワイヤ径は25μm以下にする必
要があることは明かである。同図には線径25μmのワ
イヤ4本を接続した薄膜ヘッドアセンブリの剛性の実測
値をプロットする。ピッチ、ロール方向ともほぼ計算値
に一致していることがわかる。
(Embodiment 4) Even in the connecting method of this construction, the rigidity of the wire may exert a load on the slider, which may adversely affect the flying posture and the like. Therefore, the rigidity given by the wires in the pitch direction and the roll direction in the case of four terminals was calculated using the finite element method. This result is shown in Fig. 4 shows.
In the simulation with this head gimbal assembly, it is understood that the wire diameter of Au used for the connection must be 25 μm or less in order to suppress the rigidity below the standard value. This value naturally changes depending on the dimension and the like, but since the slider size will become smaller in the future, the gimbal will be thinner, and the spring property will also be reduced, it is not necessary to set the wire diameter to 25 μm or less in this configuration. It's clear. In the same figure, the measured values of the rigidity of the thin film head assembly in which four wires having a wire diameter of 25 μm are connected are plotted. It can be seen that both the pitch and roll directions agree with the calculated values.

【0026】以上の実施例はAu線を用いたボールボン
ディングについて述べたが、剛性の小さな他の材料を用
いたワイヤ、例えばAlやAuを主原料とする合金等を
用いた場合でもかまわないし、更に接続方法をウェッジ
ボンディングや熱圧着、レーザーを用いた方法で行って
も同様の効果を有する薄膜ヘッドアセンブリが得られる
ことは言うまでもない。
In the above-mentioned embodiments, the ball bonding using Au wire is described. However, it is also possible to use a wire using another material having low rigidity, for example, an alloy containing Al or Au as a main raw material. Needless to say, a thin film head assembly having the same effect can be obtained even if the connection method is wedge bonding, thermocompression bonding, or a method using a laser.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上のように本発明の構成により、ワイ
ヤが与える剛性を小さくできることにより浮上姿勢に悪
影響を与えることがなく、かつ自動化が容易となること
により生産性、信頼性ともに優れた薄膜磁気ヘッドアセ
ンブリを提供できる。
As described above, according to the structure of the present invention, since the rigidity given by the wire can be reduced, the flying posture is not adversely affected, and the automation is facilitated, and the thin film excellent in productivity and reliability is obtained. A magnetic head assembly can be provided.

【0028】さらに本発明の薄膜磁気ヘッドアセンブリ
の構成ではワイヤのサービスループがないために小型化
に有利であり、磁気ディスク装置の製造工程での組立に
おいて取扱いにも有利である。
Further, since the thin film magnetic head assembly of the present invention has no wire service loop, it is advantageous for downsizing and is also advantageous for handling during assembly in the manufacturing process of the magnetic disk device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の薄膜磁気ヘッドアセンブリの斜視概略
図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view of a thin film magnetic head assembly of the present invention.

【図2】本発明のワイヤボンド時に使用した治具の斜視
図である。
FIG. 2 is a perspective view of a jig used for wire bonding of the present invention.

【図3】本発明のワイヤボンド時に使用した治具のスラ
イダー吸着部を拡大した断面図である。
FIG. 3 is an enlarged sectional view of a slider suction portion of a jig used for wire bonding of the present invention.

【図4】本発明の実施例4で示した場合のAuワイヤ線
径とピッチ方向、ロール方向の剛性の関係を示す線図で
ある。
FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the Au wire wire diameter and the rigidity in the pitch direction and the roll direction in the case of Example 4 of the present invention.

【図5】従来の薄膜磁気ヘッドアセンブリの斜視図であ
る。
FIG. 5 is a perspective view of a conventional thin film magnetic head assembly.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 薄膜磁気ヘッド素子 2 スライダー 3 ジンバル 4 フレキシブル配線板 5 ボンディングパッド 10 薄膜磁気ヘッドアセンブリ 11 薄膜磁気ヘッド素子 12 スライダー浮上面 13 ワイヤ 20 移動ステージ 21 位置決め用ピン 22 ステージ移動用レバー 23 ジンバル押さえ部材 24 真空チャック用ライン 25 スライダー固定部材 30 接合部 40 ボンディングパッド 41 配線導体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 thin film magnetic head element 2 slider 3 gimbal 4 flexible wiring board 5 bonding pad 10 thin film magnetic head assembly 11 thin film magnetic head element 12 slider air bearing surface 13 wire 20 moving stage 21 positioning pin 22 stage moving lever 23 gimbal pressing member 24 vacuum Chuck line 25 Slider fixing member 30 Bonding part 40 Bonding pad 41 Wiring conductor

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気媒体と対向するスライダ一浮上面に
対して垂直な面に薄膜磁気ヘッド素子と該薄膜磁気ヘッ
ド素子からの信号を検出するためのボンディングパッド
とが近接されているスライダ一と、該スライダ一を接着
するための接合部を所定の位置に有するジンバルと、配
線導体の端部にボンディングパッドを有するフレキシブ
ル配線板と、ワイヤとを有し、前記ジンバルの接合部に
前記スライダの上面が接着されており、さらに前記フレ
キシブル配線板は該フレキシブル配線板のボンディング
パッドの面と前記スライダ一のボンディングパッドの面
の位置関係がほぼ直角をなすように前記ジンバル上の所
定位置に接着され、かつ前記ボンディングパッドの間は
前記ワイヤにより接続されていることを特徴とする薄膜
磁気ヘッドアセンブリ。
1. A slider having a thin film magnetic head element and a bonding pad for detecting a signal from the thin film magnetic head element adjacent to each other on a surface of the slider facing the magnetic medium, the surface being perpendicular to the air bearing surface. A gimbal having a bonding portion for adhering the slider one at a predetermined position, a flexible wiring board having a bonding pad at an end portion of a wiring conductor, and a wire. The upper surface is adhered, and the flexible wiring board is adhered to a predetermined position on the gimbal so that the bonding pad surface of the flexible wiring board and the bonding pad surface of the slider 1 form a substantially right angle. The thin film magnetic head assembly is characterized in that the bonding pads are connected by the wires. Li.
【請求項2】 前記ワイヤの径が25μm以下であるこ
とを特徴とする請求項1記載の薄膜磁気ヘッドアセンブ
リ。
2. The thin-film magnetic head assembly according to claim 1, wherein the wire has a diameter of 25 μm or less.
【請求項3】 前記ワイヤの材質がAuであることを特
徴とする請求項1、2記載の薄膜磁気ヘッドアセンブ
リ。
3. The thin film magnetic head assembly according to claim 1, wherein the material of the wire is Au.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007127656A (en) * 1997-05-28 2007-05-24 Laser Aligment Inc Electric power and transmission system of laser beam projector

Cited By (2)

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