JPH08118639A - Ink jet recording head and ink jet recording apparatus - Google Patents
Ink jet recording head and ink jet recording apparatusInfo
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- JPH08118639A JPH08118639A JP26555394A JP26555394A JPH08118639A JP H08118639 A JPH08118639 A JP H08118639A JP 26555394 A JP26555394 A JP 26555394A JP 26555394 A JP26555394 A JP 26555394A JP H08118639 A JPH08118639 A JP H08118639A
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- B41J2002/14362—Assembling elements of heads
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、記録用の液体(インク
など)を飛翔液滴として吐出口から吐出させ、被記録媒
体に付着させることによって記録を行なうインクジェッ
ト記録ヘッドおよびインクジェット記録装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus for recording by ejecting a recording liquid (ink or the like) as a flying droplet from an ejection port and adhering it onto a recording medium.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、インクジェット記録ヘッドは、イ
ンクを吐出する吐出口と、インクタンクからのインクを
吐出口に供給するためのインク流路と、インク流路に配
置されインク流路内のインクに与える吐出エネルギーを
発生するためのエネルギー発生素子とを備えたものが知
られている。そして、その構造としては、吐出口および
インク流路を構成する溝が形成された溝付部材を、エネ
ルギー発生素子が設けられた基板上に接合した構成のも
のが一般的である。2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet recording head has an ejection port for ejecting ink, an ink channel for supplying ink from an ink tank to the ejection port, and an ink in the ink channel disposed in the ink channel. There is known a device including an energy generating element for generating ejection energy given to the. The structure thereof is generally a structure in which a grooved member having a groove forming an ejection port and an ink flow path is bonded to a substrate provided with an energy generating element.
【0003】その中でも特に、ラインタイプのインクジ
ェット記録ヘッド等、長尺のインクジェット記録ヘッド
の場合は、数千個といった多数個のエネルギー発生素子
を必要とし、その中の1つでも不具合があると、基板全
体が不良品となり基板の歩留りが悪くなってしまう。そ
こで、64個あるいは128個といった比較的少ない数
のエネルギー発生素子を設けた素子基板を用い、それを
基体上に精度よく並べることによって、歩留りを向上さ
せたものがある。そして、この基体上に、各素子基板を
覆うようにして溝付部材を接合することで、インクジェ
ット記録ヘッドを製造していた。In particular, in the case of a long type ink jet recording head such as a line type ink jet recording head, a large number of energy generating elements such as several thousand are required, and even one of them has a problem. The entire board becomes defective and the yield of the board deteriorates. Therefore, there is one in which the yield is improved by using an element substrate provided with a relatively small number of energy generating elements, such as 64 or 128, and arranging them accurately on a base. Then, an ink jet recording head is manufactured by joining a grooved member on the base so as to cover each element substrate.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように、基体上に複数の素子基板を並べて固定したイ
ンクジェット記録ヘッドでは、隣り合う素子基板を確実
に密着して固定することは難しく、素子基板間には隙間
が生じてしまう。この隙間は非常に小さいものである
が、微細な構造であるインクジェット記録ヘッドには無
視できないものであり、素子基板の境界部においては、
溝付部材の溝間の壁が2つの素子基板をまたぐように、
溝付部材が接合されないと、素子基板間の隙間からイン
クが漏れ、インクの吐出不良を起こしてしまう。However, as described above, in an ink jet recording head in which a plurality of element substrates are arranged and fixed on a substrate, it is difficult to firmly adjoin adjacent element substrates and it is difficult to fix them. There will be a gap between them. Although this gap is very small, it cannot be ignored for an inkjet recording head having a fine structure, and at the boundary of the element substrate,
As the wall between the grooves of the grooved member straddles the two element substrates,
If the grooved member is not joined, the ink leaks from the gap between the element substrates, resulting in defective ink ejection.
【0005】これを防止するために、素子基板間の隙間
に対応する溝付部材の壁の幅を大きくし、壁が、素子基
板間の隙間にまたがりやすいようにする構成が考えられ
る。しかし、図13に示すように、素子基板1100、
1100’を固定する際には、隙間sだけでなく、段差
dも生じる場合もある。段差dが生じると、溝付部材の
壁1209の幅を大きくしても、溝付部材の壁1209
は一方の素子基板1100のみに圧接され、他方の素子
基板1100’とは接触しないので、結局は、他方の素
子基板1100’に対しては隙間が生じてしまうことに
なる。In order to prevent this, it is conceivable to increase the width of the wall of the grooved member corresponding to the gap between the element substrates so that the wall easily extends over the gap between the element substrates. However, as shown in FIG. 13, the element substrate 1100,
When fixing 1100 ′, not only the gap s but also the step d may occur. When the step d is generated, even if the width of the grooved member wall 1209 is increased, the grooved member wall 1209 is formed.
Is pressed against only one element substrate 1100 and does not come into contact with the other element substrate 1100 ′, so that a gap is eventually created with respect to the other element substrate 1100 ′.
【0006】そこで本発明は、素子基板間に隙間や段差
が生じていても確実にインク流路間が素子基板に圧接さ
れ、良好なインク吐出を行えるインクジェット記録ヘッ
ドおよびインクジェット記録装置を提供することを目的
とする。Therefore, the present invention provides an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus capable of reliably ejecting ink by reliably pressing the ink flow paths against the element substrate even if a gap or a step is formed between the element substrates. With the goal.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクに与える
吐出エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が
配列された複数の素子基板が、前記各エネルギー発生素
子の配列方向に沿って固定された基体と、インクを吐出
する複数の吐出口および前記各吐出口に連通する溝が形
成され、前記複数の素子基板に圧接されて前記基体に接
合されることで前記各エネルギー発生素子に対応した複
数のインク流路を構成する溝付部材とを有するインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、前記溝付部材の前記素子基
板と接する部分には、該部分の形状に沿って前記素子基
板に圧接される圧接部を有し、前記圧接部のうち、前記
溝を仕切り、かつ、互いに隣接する2つの素子基板の境
界部に対向する壁の圧接部は、それぞれ異なる素子基板
に圧接される2本のリブで構成されていることを特徴と
する。In order to achieve the above object, in an ink jet recording head of the present invention, a plurality of element substrates on which a plurality of energy generating elements for generating ejection energy to be applied to ink are arrayed are provided. A base fixed along the arrangement direction of the elements, a plurality of ejection openings for ejecting ink, and a groove communicating with each of the ejection openings are formed, and are pressed against the plurality of element substrates to be bonded to the base. In an ink jet recording head having a grooved member that forms a plurality of ink flow paths corresponding to each of the energy generating elements, a portion of the grooved member that is in contact with the element substrate is formed along the shape of the portion. A wall having a pressure contact portion that is in pressure contact with the element substrate, partitioning the groove of the pressure contact portion, and facing a boundary portion between two adjacent element substrates. Pressure contact portion, characterized in that it consists of two ribs which are pressed against the different element substrate, respectively.
【0008】また、前記圧接部のうち、前記溝を仕切
り、かつ、1つの素子基板にのみ対向する壁の圧接部
が、1本のリブで構成されるものや、前記リブの形状が
レーザ加工により形成されたものや、前記複数の吐出口
は、記録が行われる被記録媒体の記録領域の幅方向に沿
って形成されているものであってもよい。In the pressure contact portion, the pressure contact portion of the wall that partitions the groove and faces only one element substrate is formed by one rib, or the shape of the rib is laser processed. The plurality of ejection openings may be formed along the width direction of the recording area of the recording medium on which recording is performed.
【0009】さらに、前記エネルギー発生素子は、イン
クを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する
ための電気熱変換体であるものであってもよく、この場
合、インクは、前記電気熱変換体によって印加される熱
エネルギーによって生じる膜沸騰を利用して前記吐出口
から吐出されるものであってもよい。Further, the energy generating element may be an electrothermal converter for generating thermal energy used for ejecting ink, in which case the ink is the electrothermal converter. The liquid may be discharged from the discharge port by utilizing the film boiling generated by the thermal energy applied by the body.
【0010】本発明のインクジェット記録装置は、上記
本発明ののインクジェット記録ヘッドを備え、記録信号
に基づいてインクを前記インクジェット記録ヘッドの吐
出口から吐出して記録を行なうものである。The ink jet recording apparatus of the present invention comprises the ink jet recording head of the present invention described above, and carries out recording by ejecting ink from the ejection port of the ink jet recording head based on a recording signal.
【0011】[0011]
【作用】上記のとおり構成された本発明のインクジェッ
ト記録ヘッドでは、エネルギー発生素子が設けられた複
数の素子基板が基体上に固定され、さらに各素子基板を
覆うようにして、吐出口および溝が形成された溝付部材
が接合されることで、エネルギー発生素子に対応した複
数のインク流路が構成される。この際、溝付部材の素子
基板と接する部分には、その部分の形状に沿って圧接さ
れる圧接部を有し、この圧接部が素子基板に押圧され
る。ここで、上記圧接部のうち、溝を仕切り、かつ、互
いに隣接する2つの素子基板の境界部に対向する壁の圧
接部は、それぞれ異なる素子基板に圧接される2つのリ
ブで構成されているので、隣接する素子基板間に隙間や
段差が生じていても、2つのリブはそれぞれ素子基板に
別々に圧接される。したがって、溝を仕切る壁と素子基
板とは隙間なく圧接され、その結果、溝付部材と素子基
板とが確実に圧接されるので、インク流路からインクが
漏れることはなくなる。In the ink jet recording head of the present invention constructed as described above, a plurality of element substrates provided with energy generating elements are fixed on a substrate, and each element substrate is covered so that ejection ports and grooves are formed. By joining the formed grooved members, a plurality of ink flow paths corresponding to the energy generating elements are formed. At this time, a portion of the grooved member that is in contact with the element substrate has a pressure contact portion that is pressed against the element substrate, and the pressure contact portion is pressed against the element substrate. Here, of the above pressure contact portions, the pressure contact portion of the wall that partitions the groove and faces the boundary between two element substrates adjacent to each other is composed of two ribs that are pressed against different element substrates. Therefore, even if a gap or a step is formed between the adjacent element substrates, the two ribs are separately pressed against the element substrates. Therefore, the wall partitioning the groove and the element substrate are pressed against each other without a gap, and as a result, the grooved member and the element substrate are reliably pressed against each other, so that ink does not leak from the ink flow path.
【0012】また、溝付部材に設けられる圧接部のう
ち、溝を仕切り、かつ、1つの素子基板にのみ対向する
壁の圧接部を、1本のリブで構成することで、リブと素
子基板との接触面積が小さくなる。これにより、溝付部
材を基体に接合したとき、リブにかかる圧力が大きくな
り、溝付部材と素子基板とはより確実に圧接される。Further, among the pressure contact portions provided on the grooved member, by partitioning the groove and forming the pressure contact portion of the wall facing only one element substrate with one rib, the rib and the element substrate are formed. The contact area with As a result, when the grooved member is joined to the base body, the pressure applied to the ribs increases, and the grooved member and the element substrate are more reliably pressed against each other.
【0013】[0013]
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.
【0014】(第1実施例)図1は、本発明のインクジ
ェット記録ヘッドの第1実施例の主要な部品の構成を説
明するための図である。本実施例では、吐出口の密度が
360dpi(70.5μmピッチ)、吐出口の数が3
008個(印字幅212mm)のインクジェット記録ヘ
ッドについて説明する。(First Embodiment) FIG. 1 is a diagram for explaining the construction of main components of a first embodiment of an ink jet recording head of the present invention. In this embodiment, the density of the discharge ports is 360 dpi (70.5 μm pitch) and the number of the discharge ports is 3.
008 (printing width 212 mm) inkjet recording heads will be described.
【0015】図1において、ガラス、シリコン、セラミ
ックス、金属等からなる基体としてのベースプレート3
00上には、素子基板である複数のヒーターボード10
0が並べられて配置され、接着剤等により固定されてい
る。各ヒータボード100には、エネルギー発生素子1
01が所定の位置に360dpiの密度にて128ヶ設
けられており、各ヒーターボード100は、これらエネ
ルギー発生素子101の配列方向に沿って、各エネルギ
ー発生素子101のピッチが等しくなるように精度よく
並べられている。In FIG. 1, a base plate 3 as a base made of glass, silicon, ceramics, metal or the like.
00, a plurality of heater boards 10 which are element substrates.
0s are arranged side by side and fixed by an adhesive or the like. Each heater board 100 has an energy generating element 1
01 heaters are provided at a predetermined position with a density of 360 dpi, and 128 heaters are provided in each heater board 100 with high precision so that the pitches of the energy generating elements 101 are equal along the arrangement direction of the energy generating elements 101. It is lined up.
【0016】また、各ヒーターボード100には、各エ
ネルギー発生素子101を駆動する電気信号や駆動電力
を供給するためのパッド102が設けられている。これ
らパッド102は、ベースプレート300に接着されて
固定された配線基板400のパッド401とワイヤボン
ディング等により電気的に接続されている。配線基板4
00は、記録装置本体(不図示)に装着されることで記
録装置本体の制御基板(不図示)に電気的に接続される
コネクター402を有し、制御基板からの記録信号およ
び駆動電力は、この配線基板400を介して各エネルギ
ー発生素子101に供給され、これにより各エネルギー
発生素子101は任意のタイミングで駆動される。Further, each heater board 100 is provided with a pad 102 for supplying an electric signal or driving power for driving each energy generating element 101. These pads 102 are electrically connected to the pads 401 of the wiring board 400 fixed to the base plate 300 by wire bonding or the like. Wiring board 4
00 has a connector 402 that is electrically connected to a control board (not shown) of the printing apparatus main body by being attached to the printing apparatus main body (not shown). A recording signal and driving power from the control board are It is supplied to each energy generating element 101 via this wiring board 400, and thereby each energy generating element 101 is driven at an arbitrary timing.
【0017】一方、ベースプレート300には、各エネ
ルギー発生素子101に対応して、インクを吐出するた
めの吐出口203および後述する溝202(図2参照)
が形成された溝付部材としての天板200が、各ヒータ
ーボード100を覆うようにして接合されている。On the other hand, in the base plate 300, an ejection port 203 for ejecting ink and a groove 202 described later (see FIG. 2) corresponding to each energy generating element 101.
A top plate 200 as a grooved member in which is formed is joined so as to cover each heater board 100.
【0018】ここで、天板200について図2を参照し
て説明する。図2は、図1に示した天板の平面図、正面
図および底面図である。Now, the top plate 200 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a plan view, a front view and a bottom view of the top plate shown in FIG.
【0019】図2に示すように、天板200は、各吐出
エネルギー発生素子101(図1参照)に対応して設け
られた複数の溝202と、各溝202に対応して各溝2
02に連通して設けられた吐出口203と、各溝202
に連通し各溝202に流入されるインクを一時的に保持
する液室201とを有する。この天板200が、各ヒー
ターボード100を覆うようにしてベースプレート30
0に接合されることで、天板200は各ヒーターボード
100に圧接され、各溝202とヒーターボード100
とで囲まれる空間がそれぞれインク流路となる。また、
インク流路が構成された状態では、各インク流路内に、
エネルギー発生素子101が位置することになる。As shown in FIG. 2, the top plate 200 has a plurality of grooves 202 provided corresponding to each ejection energy generating element 101 (see FIG. 1) and each groove 2 corresponding to each groove 202.
02 and the grooves 202 that are provided in communication with each other.
And a liquid chamber 201 that communicates with each other and temporarily holds the ink that flows into each groove 202. The top plate 200 covers each heater board 100 so as to cover the base plate 30.
By being bonded to 0, the top plate 200 is pressed against each heater board 100 and each groove 202 and the heater board 100.
The space surrounded by and becomes the ink flow path. Also,
In the state where the ink flow path is configured, in each ink flow path,
The energy generating element 101 is located.
【0020】天板200を構成する材料としては、正確
に溝202を形成できる樹脂であればよいが、さらに機
械的強度、寸法安定性、耐インク性に優れたものである
ことが望ましい。このような材料としてはエポキシ樹
脂、アクリル樹脂、ジクリコール、ジアルキルカーボネ
ート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹
脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、
尿素樹脂等が望ましく、特にポリサルフォンやポリエー
テルサルフォン等の樹脂がその成型性、耐液性等の観点
から望ましい。The top plate 200 may be made of any resin as long as it can accurately form the grooves 202, but it is desirable that the top plate 200 is further excellent in mechanical strength, dimensional stability and ink resistance. Such materials include epoxy resin, acrylic resin, diglycol, dialkyl carbonate resin, unsaturated polyester resin, polyurethane resin, polyimide resin, melamine resin, phenol resin,
A urea resin or the like is desirable, and a resin such as polysulfone or polyether sulfone is particularly desirable from the viewpoint of its moldability, liquid resistance and the like.
【0021】また、天板200には、図3の断面図に示
すように、外部のインクタンク(不図示)に収納された
インクを液室201に供給するためのパイプ205が挿
入されている。パイプ205には、液室206に連通す
る供給口206が開口しており、パイプ205内のイン
クは、この供給口206を通じて液室201に供給され
る。パイプ205は、天板200の熱膨張率を規制する
ために、ベースプレート300(図1参照)の材料と同
じステンレス鋼でできている。また、支持部材205の
外表面には、天板200とのブラスト加工、ローレット
加工といった表面加工が施されており、天板200との
密着度が向上するようになっている。これにより、その
機械的強度から天板200の熱膨張率はステンレス鋼の
それにならうようになっており、しかも、天板200と
ベースプレート300は同一の熱膨張率を持つことにな
る。その結果、エネルギー発生素子101(図1参照)
を駆動したときに発生する熱による、ヒーターボード1
00(図1参照)とのずれは発生しない。Further, as shown in the cross-sectional view of FIG. 3, a pipe 205 for supplying the ink stored in an external ink tank (not shown) to the liquid chamber 201 is inserted into the top plate 200. . A supply port 206 communicating with the liquid chamber 206 is opened in the pipe 205, and the ink in the pipe 205 is supplied to the liquid chamber 201 through the supply port 206. The pipe 205 is made of the same stainless steel as the material of the base plate 300 (see FIG. 1) in order to regulate the coefficient of thermal expansion of the top plate 200. In addition, the outer surface of the support member 205 is subjected to surface processing such as blasting and knurling with the top plate 200 to improve the degree of adhesion with the top plate 200. As a result, the thermal expansion coefficient of the top plate 200 follows that of stainless steel due to its mechanical strength, and the top plate 200 and the base plate 300 have the same thermal expansion coefficient. As a result, the energy generating element 101 (see FIG. 1)
Heater board 1 due to heat generated when driving
No deviation from 00 (see FIG. 1) occurs.
【0022】さらに、天板200の底面、すなわちヒー
ターボード100と接する部分には、ヒーターボード1
00と接する部分の形状に沿って、図4に示すような、
圧接部となるリブ210a、210b、210cが形成
されている。天板200のヒーターボード100と接す
る部分の中でも特に、互いに隣接する溝202を仕切る
壁209には、2本のリブ210b、210cが形成さ
れており、これら各リブ210b、210cは、吐出口
203を有する面に形成されたリブ210aにつながっ
ている。図5に、互いに隣接する溝202を仕切る壁2
09の断面図を示す。図5に示すように、壁209に形
成された2本のリブ210b、210cは、先端での壁
209の幅Wに対して両端部に位置し、その高さhおよ
び幅wはともに等しい。壁の幅Wは、インク流路のピッ
チや吐出特性等の制約によって決められるが、本実施例
では約12μmとした。また、リブ210b、210c
の高さhについては、天板200の材質やヒーターボー
ド100との圧接力にもよるが、本実施例では約2μm
とした。Further, the heater board 1 is provided on the bottom surface of the top plate 200, that is, the portion in contact with the heater board 100.
Along the shape of the part that contacts 00, as shown in FIG.
Ribs 210a, 210b, and 210c, which are pressure contact portions, are formed. Among the portions of the top plate 200 that are in contact with the heater board 100, two ribs 210b and 210c are formed on the wall 209 that partitions the grooves 202 that are adjacent to each other, and these ribs 210b and 210c form the discharge ports 203. Is connected to the rib 210a formed on the surface having. FIG. 5 shows a wall 2 that partitions the grooves 202 adjacent to each other.
09 shows a cross-sectional view of 09. As shown in FIG. 5, the two ribs 210b and 210c formed on the wall 209 are located at both ends with respect to the width W of the wall 209 at the tip, and both the height h and the width w thereof are equal. The width W of the wall is determined by constraints such as the pitch of the ink flow path and the ejection characteristics, but in this embodiment, it is set to about 12 μm. Also, the ribs 210b, 210c
The height h depends on the material of the top plate 200 and the pressure contact force with the heater board 100, but is about 2 μm in this embodiment.
And
【0023】上記構成に基づき、天板200をベースプ
レート300に接合すると、天板200に形成されたリ
ブ210a、210b、210cがヒーターボード10
0に圧接され、ヒーターボード100と天板200の溝
202とでインク流路が構成される。When the top plate 200 is joined to the base plate 300 based on the above structure, the ribs 210a, 210b, 210c formed on the top plate 200 are attached to the heater board 10.
The heater board 100 and the groove 202 of the top plate 200 form an ink flow path.
【0024】ここで、溝202を仕切る壁209、すな
わちインク流路を仕切る壁209でのリブ210b、2
10cの圧接状態を考える。図6に、ヒーターボード1
00とインク流路を仕切る壁209との圧接状態を示
す。図6に示すように、互いに隣接するヒーターボード
100間には、ヒーターボード100の切断精度や配列
精度によって3〜5μm程度の隙間sが生じている。ま
た、ヒーターボード100の配列時に、最大で3μm程
度の段差dも生じている。本実施例では、上述したよう
にインク流路を仕切る壁209には2本のリブ210
b、210cが形成されているので、互いに隣り合うヒ
ーターボード100の境界部に位置する壁209におい
ては、それぞれのリブ210b、210cがヒーターボ
ード100間の隙間sをまたいでヒーターボード100
に圧接される。段差dについても、高い位置にあるヒー
ターボード100に圧接されるリブ210cは段差dの
量に応じて圧縮されてヒーターボード100と密着し、
段差dが吸収される。したがって、ヒーターボード10
0間の隙間sは確実に封止され、ここからインクが漏れ
ることがなくなるので、インクの漏れによるインクの吐
出不良が発生しなくなる。しかも、天板200のベース
プレート300への接合に際しては、従来と同様の工程
で行えるので、インクジェット記録ヘッドの組み立て工
程を変えることなく、高品質のインクジェット記録ヘッ
ドを製造することができる。Here, ribs 210b, 2 on the wall 209 partitioning the groove 202, that is, the wall 209 partitioning the ink flow path.
Consider a pressure contact state of 10c. In Figure 6, heater board 1
00 and a wall 209 partitioning the ink flow path are in a pressure contact state. As shown in FIG. 6, a gap s of about 3 to 5 μm is formed between the heater boards 100 adjacent to each other depending on the cutting accuracy and arrangement accuracy of the heater boards 100. Further, when the heater boards 100 are arranged, a step difference d of about 3 μm at maximum is also generated. In this embodiment, as described above, the two ribs 210 are provided on the wall 209 partitioning the ink flow path.
Since the ribs 210b and 210c are formed, the ribs 210b and 210c on the wall 209 located at the boundary between the heater boards 100 adjacent to each other straddle the gap s between the heater boards 100 and the heater board 100.
Is pressed against. As for the step d, the rib 210c pressed against the heater board 100 located at a high position is compressed according to the amount of the step d and comes into close contact with the heater board 100,
The step d is absorbed. Therefore, the heater board 10
The gap s between 0s is surely sealed, and the ink does not leak from here, so that the ejection failure of the ink due to the leakage of the ink does not occur. Moreover, since the top plate 200 can be joined to the base plate 300 by the same process as the conventional process, a high quality inkjet recording head can be manufactured without changing the assembly process of the inkjet recording head.
【0025】リブ210b、210cの高さh(図5参
照)は、ヒーターボード100の段差d以上であればよ
いが、天板200の材質やヒーターボード100との圧
接力に応じて、圧接力(応力)と歪みとの関係よりリブ
210b、210cの圧縮量を求め、高さhおよび幅w
(図5参照)を設定するのが好ましい。The height h of the ribs 210b and 210c (see FIG. 5) may be greater than or equal to the step d of the heater board 100, but depending on the material of the top plate 200 and the pressure contact force with the heater board 100, the pressure contact force can be increased. The amount of compression of the ribs 210b and 210c is calculated from the relationship between (stress) and strain, and the height h and width w are obtained.
(See FIG. 5) is preferably set.
【0026】次に、本実施例のインクジェット記録ヘッ
ドにおける、天板200への溝202およびリブ210
a、210b、210cの形成方法について説明する。
本実施例では、リブ210a、210b、210cの形
成はレーザー加工により行った。Next, in the ink jet recording head of this embodiment, the groove 202 and the rib 210 on the top plate 200 are formed.
A method of forming a, 210b, and 210c will be described.
In this embodiment, the ribs 210a, 210b and 210c are formed by laser processing.
【0027】図7は、溝202およびリブ210a、2
10b、210cの形成に用いられるレーザ加工装置の
一例の概略構成図である。図7に示すように、このレー
ザ加工装置は、レーザ光2を発するレーザ発振器1と、
レーザ発振器1からのレーザ光によりワークWの加工を
行なう加工系が設けられた装置フレーム6と、ワークW
の加工に関する情報処理および制御を行なう情報処理・
制御系7とを有する。ここで、ワークWというのは、上
述した天板200である。FIG. 7 shows the groove 202 and ribs 210a, 2
It is a schematic structure figure of an example of a laser processing device used for formation of 10b and 210c. As shown in FIG. 7, this laser processing apparatus includes a laser oscillator 1 that emits a laser beam 2,
An apparatus frame 6 provided with a processing system for processing the work W by the laser light from the laser oscillator 1, and the work W.
Information processing and control for processing of
And a control system 7. Here, the work W is the top plate 200 described above.
【0028】レーザ発振器1から発生されたレーザ光2
は、その一部がビームスプリッター3に反射され、この
反射光はパワーディテクター4によってモニターされ
る。一方、ビームスプリッター3を透過したレーザ光2
は、2つの45°全反射ミラー5で反射されて装置フレ
ーム6に入射される。ビームスプリッター3としては、
合成石英の平行平面板を用い、表面反射のみでレーザ光
2の一部を分離している。Laser light 2 generated from laser oscillator 1
Is partially reflected by the beam splitter 3, and the reflected light is monitored by the power detector 4. On the other hand, the laser beam 2 transmitted through the beam splitter 3
Is reflected by the two 45 ° total reflection mirrors 5 and is incident on the device frame 6. As the beam splitter 3,
A part of the laser beam 2 is separated only by surface reflection using a parallel flat plate of synthetic quartz.
【0029】装置フレーム6は、光学系8と、ワークW
の位置を観察および測定する観察・測定系9と、マスク
部10と、ワークWを移動させるためのワークステーシ
ョン11とを有する。光学系8は、装置フレーム6に入
射されるレーザ光2の光軸a上に配置されたビーム整形
光学系およびケラー照明光学系8aと、マスク部10の
像をワークWの加工面に結像させる投影光学系8bとを
有し、ビーム整形光学系およびケラー照明光学系8aと
投影光学系8bとの間にマスク部10が配置されてい
る。なお、投影光学系8bには、マスク部10の耐久性
を考慮し、縮小光学系を用いるとよい。本実施例では、
4分の1倍縮小の投影光学系8bを用いた。The device frame 6 includes an optical system 8 and a work W.
It has an observing / measuring system 9 for observing and measuring the position, a mask section 10, and a workstation 11 for moving the work W. The optical system 8 forms an image of the beam shaping optical system and the Keller illumination optical system 8a arranged on the optical axis a of the laser light 2 incident on the apparatus frame 6 and the mask portion 10 on the processed surface of the work W. The projection optical system 8b is provided, and the mask unit 10 is arranged between the beam shaping optical system and the Keller illumination optical system 8a and the projection optical system 8b. A reduction optical system may be used for the projection optical system 8b in consideration of the durability of the mask portion 10. In this embodiment,
The projection optical system 8b with a 1/4 reduction was used.
【0030】上記光軸aに対するワークWの傾きを調整
するために、ワークステーション11は、適宜な調整手
段を備えるとよい。例えば、互いに直交する3軸と、2
つの軸回りの回転の5軸について自由度を持つステージ
の組合せでワークステーション11を構成してもよい。
回転調整のための中心をワークWの加工中心に合わせる
構成にすることで、調整手段の制御を簡素化することが
できる。In order to adjust the inclination of the work W with respect to the optical axis a, the work station 11 may be provided with an appropriate adjusting means. For example, 3 axes orthogonal to each other and 2
The workstation 11 may be constituted by a combination of stages having degrees of freedom about five axes of rotation around one axis.
By configuring the center for rotation adjustment to match the machining center of the work W, the control of the adjusting unit can be simplified.
【0031】ワークステーション11上でのワークWの
位置決めのために、ワークWをワークステーション11
に取り付ける治具11aには、ワークステーション11
上に配置したワークWに突き当てる複数の基準ピンが設
けられているとよい。また、治具11a上に、上記突き
当て機構の他に、エアー吸引などによるクランプ機構を
設けて、これをオートハンドと一体化し、ワークステー
ション11へのワークWの自動供給を可能にするとよ
い。また、ワークWを複数個同時にワークステーション
11にセットすることで、とりおき時間を短縮するよう
にしてもよい。ただし、この場合には、調整手段の回転
方向の1軸については、これをワークWの中心に位置で
きないので、測定時とワークWの移動時とで、基準値の
変換を行なう必要がある。To position the work W on the work station 11, the work W is placed on the work station 11.
The jig 11a attached to the
It is preferable to provide a plurality of reference pins that abut the workpiece W arranged above. In addition to the above-described abutting mechanism, a clamping mechanism such as air suction may be provided on the jig 11a and integrated with an automatic hand to enable automatic supply of the work W to the workstation 11. Further, the storage time may be shortened by setting a plurality of works W on the work station 11 at the same time. However, in this case, since one axis in the rotation direction of the adjusting means cannot be positioned at the center of the work W, it is necessary to convert the reference value between the measurement and the movement of the work W.
【0032】観察・測定系9は、対物レンズを備えた鏡
筒9aと、鏡筒9aに組み込まれた落射照明光源9b
と、鏡筒9aに接続されたCCDカメラセンサ9cとか
らなる1対の観測器、および光軸a上に配置された2面
のミラー9dにより構成されている。各測定器およびミ
ラー9dは、投影光学系8bとワークステーション11
との間に配置されており、レーザ照射時にはミラー9d
は光軸aから外れ、測定時にのみ光軸a上に移動するよ
うにしている。本実施例では、ミラー9dの移動を、エ
アシリンダ機構により制御している。The observation / measurement system 9 includes a lens barrel 9a having an objective lens and an epi-illumination light source 9b incorporated in the lens barrel 9a.
And a pair of observers consisting of a CCD camera sensor 9c connected to the lens barrel 9a, and two mirrors 9d arranged on the optical axis a. The measuring instruments and the mirror 9d are connected to the projection optical system 8b and the workstation 11
And the mirror 9d during laser irradiation.
Is deviated from the optical axis a and moves on the optical axis a only at the time of measurement. In this embodiment, the movement of the mirror 9d is controlled by the air cylinder mechanism.
【0033】観察・測定系9からのワークWの位置デー
タ、およびパワーディテクター4からのビームパワーの
データは、情報処理・制御系7にフィードバックされ
る。まず、観察・測定系9による測定結果が、各測定器
ごとに画像処理系7aにもたらされ、信号処理の結果を
制御系7bに与える。制御系7bでは上記測定結果に基
づいてワークWの移動距離を算出し、ワークステーショ
ン11におけるステージ移動を移動手段7cで行なわせ
る。そして、観察・制御系9の値が一定値になると移動
手段7cによる位置調整を終了し、ミラー9dを光軸a
からずらし、レーザ発振器1に対してレーザ光2の発光
を行なわせる信号を一定時間あるいは一定パルス数与え
る。また、パワーディテクター4からのビームパワー情
報は、制御系7bにフィードバックされ、インターフェ
ース7dを介してレーザ発振器1に与える出力の調整を
行なう。The position data of the work W from the observation / measurement system 9 and the beam power data from the power detector 4 are fed back to the information processing / control system 7. First, the measurement result by the observation / measurement system 9 is brought to the image processing system 7a for each measuring instrument, and the result of signal processing is given to the control system 7b. The control system 7b calculates the moving distance of the work W based on the measurement result, and causes the moving means 7c to move the stage in the workstation 11. Then, when the value of the observation / control system 9 becomes a constant value, the position adjustment by the moving means 7c is completed, and the mirror 9d is moved to the optical axis a.
Then, the laser oscillator 1 is given a signal for emitting the laser beam 2 for a certain period of time or a certain number of pulses. The beam power information from the power detector 4 is fed back to the control system 7b and the output given to the laser oscillator 1 is adjusted via the interface 7d.
【0034】このレーザ加工装置で使用するレーザ発振
器1としては、YAGレーザ発振器や、CO2 レーザ発
振器や、エキシマレーザ発振器や、N2 レーザ発振器
等、高出力のものが適用できるが、本実施例では、ワー
クWとしてポリマー樹脂の一種であるポリサルフォン樹
脂を用いており、以下に述べる理由により、エキシマレ
ーザ発振器、その中でも特にKr−Fエキシマレーザ発
振器を用いている。As the laser oscillator 1 used in this laser processing apparatus, a high output one such as a YAG laser oscillator, a CO 2 laser oscillator, an excimer laser oscillator or an N 2 laser oscillator can be applied. Uses a polysulfone resin, which is a kind of polymer resin, as the work W, and uses an excimer laser oscillator, and in particular, a Kr-F excimer laser oscillator, for the reasons described below.
【0035】エキシマレーザは、紫外光を発振できるレ
ーザであり、高強度のエネルギーを出力でき、単色性に
優れ、指向性がよく、短パルス発振ができるだけでな
く、レンズで集光することによりエネルギー密度を大き
くできる利点がある。すなわち、エキシマレーザ発振器
は希ガスとハロゲンの混合気体を放電励起することで、
短パルス(15〜35ns)の紫外光を発振でき、Kr
−F、Xe−Cl、Ar−Fレーザ等がよく用いられ
る。これらの発振エネルギー数は100mJ/パルス、
パルスの繰返し周波数は30〜100Hzである。この
ように、高輝度の短パルス紫外光をポリマー樹脂の表面
に照射すると、照射部分が瞬間的にプラズマ発光と衝突
音を伴って分解、飛散する。いわゆる、”ABLATIVE PHO
TODECOMPOSITION (APD) ”過程を生じ、これによってポ
リマー樹脂の加工ができるのである。これは、他のレー
ザ、例えば赤外線であるCO2 レーザによる孔明けの場
合と明らかな差を生じる。例えば、ポリイミド(PI)
フィルムにエキシマレーザ(Kr−Fレーザ)を用いて
レーザ光を照射すると、PIフィルムの光吸収波長がU
V領域にあるため、きれいな孔を明けることができる
が、UV領域にないYAGレーザでは孔のエッジが荒
れ、CO2 レーザでは孔の周囲にクレータができるので
ある。The excimer laser is a laser capable of oscillating ultraviolet light, can output high-intensity energy, is excellent in monochromaticity, has good directivity, and can perform short pulse oscillation. There is an advantage that the density can be increased. That is, the excimer laser oscillator discharge-excites a mixed gas of a rare gas and a halogen,
Can generate short-pulse (15-35ns) ultraviolet light,
A -F, Xe-Cl, Ar-F laser or the like is often used. These oscillation energy numbers are 100 mJ / pulse,
The pulse repetition frequency is 30 to 100 Hz. Thus, when the surface of the polymer resin is irradiated with high-intensity short-pulse ultraviolet light, the irradiated portion is instantaneously decomposed and scattered with plasma emission and collision sound. So-called "ABLATIVE PHO
TODECOMPOSITION (APD) "process, which allows the processing of polymer resins. This makes a clear difference from the case of drilling with other lasers, such as the CO 2 laser, which is infrared. For example, polyimide ( PI)
When the film is irradiated with laser light using an excimer laser (Kr-F laser), the light absorption wavelength of the PI film is U.
Since it is in the V region, a clean hole can be formed, but in the YAG laser which is not in the UV region, the edge of the hole is rough, and in the CO 2 laser, craters are formed around the hole.
【0036】このように、紫外光を発振できるレーザは
ポリマー樹脂の加工性に優れているが、紫外光を発振で
きるレーザとして、エキシマレーザの他にも、YAGレ
ーザの4次高調波、YAGレーザの基本波と2次高調波
とのミキシング光、N2 レーザが挙げられる。As described above, the laser capable of oscillating ultraviolet light is excellent in processability of the polymer resin, but as the laser capable of oscillating ultraviolet light, besides the excimer laser, the fourth harmonic of the YAG laser, the YAG laser is used. The mixing light of the fundamental wave and the second harmonic wave, and the N 2 laser are included.
【0037】以上のようななレーザー加工装置を用いて
天板200に溝202およびリブ210a、210b、
210cを形成するわけであるが、その形成手順につい
て図8を参照して説明する。Grooves 202 and ribs 210a, 210b are formed on the top plate 200 by using the laser processing apparatus as described above.
Although 210c is formed, the forming procedure will be described with reference to FIG.
【0038】まず、天板となる部材に、溝を形成するた
めの平坦な面200aを形成しておく(図8(a))。
この面200aは、成形により形成してもよいし、成形
後に機械加工等により形成してもよい。次に、溝202
のパターンをもつマスクを介して面200aの所定の部
位にレーザー光を照射し、複数の溝202を形成する
(図8(b))。溝202の形成後、マスクを交換し、
図8(c)に示した斜線の領域をマスク部分220とし
てレーザー光を照射する。これにより、面200aのう
ちマスク部分220を除く部位が除去され、マスク部分
220がリブ210a、210b、210cとして形成
される。First, a flat surface 200a for forming a groove is formed on a member serving as a top plate (FIG. 8A).
This surface 200a may be formed by molding, or may be formed by machining after molding. Next, the groove 202
A plurality of grooves 202 are formed by irradiating a predetermined portion of the surface 200a with laser light through a mask having the pattern (1) (FIG. 8B). After forming the groove 202, the mask is replaced,
Laser light is irradiated using the shaded area shown in FIG. 8C as a mask portion 220. As a result, the portion of the surface 200a excluding the mask portion 220 is removed, and the mask portion 220 is formed as the ribs 210a, 210b, 210c.
【0039】このようにして溝202やリブ210a、
210b、210cが形成され、さらに溝202に対応
して吐出口203が形成された天板200を、エネルギ
ー発生素子101が設けられた複数の素子基板を精度よ
く並べて配置したベースプレート300上に接合するこ
とによって、インクジェット記録ヘッドが製造される。In this way, the groove 202 and the rib 210a,
The top plate 200 on which 210b and 210c are formed and the discharge port 203 is formed corresponding to the groove 202 is bonded onto a base plate 300 in which a plurality of element substrates provided with the energy generating elements 101 are accurately arranged. Thus, the inkjet recording head is manufactured.
【0040】次に、図1に示したようなラインタイプの
インクジェット記録ヘッドを用いたインクジェット記録
装置について説明する。図9は、いわゆるフルラインタ
イプのインクジェット記録装置の模式的概略図である。Next, an ink jet recording apparatus using the line type ink jet recording head as shown in FIG. 1 will be described. FIG. 9 is a schematic diagram of a so-called full-line type inkjet recording device.
【0041】図9において、紙や布等の被記録媒体50
2は、互いに平行に配置された2つの搬送ローラ501
により、図示矢印方向に搬送される。被記録媒体502
に対向して、フルラインタイプのインクジェット記録ヘ
ッド503が、被記録媒体502と所定の間隔をおいて
配置される。このインクジェット記録ヘッド503に
は、被記録媒体502の記録幅の幅方向の全幅にわたっ
て吐出口(不図示)が形成されており、被記録媒体50
2を搬送しながら、記録信号に基づいてエネルギー発生
素子(不図示)を駆動し、吐出口からインクを吐出させ
ることで、被記録媒体502に記録が行われる。本発明
のインクジェット記録ヘッドは上述したように、エネル
ギー発生素子を設けたヒーターボードを複数個並べて構
成され、長尺のものを容易に製造することができるの
で、このようなフルラインタイプのインクジェット記録
ヘッド503に特に適している。In FIG. 9, a recording medium 50 such as paper or cloth is used.
2 is two conveyance rollers 501 arranged in parallel to each other.
Thus, it is conveyed in the direction of the arrow shown. Recording medium 502
A full-line type inkjet recording head 503 is arranged facing the recording medium 502 at a predetermined interval. The inkjet recording head 503 has ejection ports (not shown) formed over the entire width of the recording width of the recording medium 502.
Recording is performed on the recording medium 502 by driving an energy generating element (not shown) based on a recording signal while ejecting 2 to eject ink from the ejection port. As described above, the inkjet recording head of the present invention is configured by arranging a plurality of heater boards provided with energy generating elements, and a long product can be easily manufactured. It is particularly suitable for the head 503.
【0042】本発明のインクジェット記録ヘッドの形態
としては、図1に示したようなラインタイプのインクジ
ェット記録ヘッドの他に、図10に示すようなインクジ
ェットカートリッジ600にも適用できる。インクジェ
ットカートリッジ600は、インクジェット記録ヘッド
601と、インクジェット記録ヘッド601に供給する
ためのインクを貯蔵するインクタンク602とを一体と
し、小型化を図ったものである。また、このようなイン
クジェットカートリッジ600は、インクタンク602
内のインクがなくなったらインクジェット記録ヘッド6
01ごと交換できるようになっており、インクタンク6
02とインクジェット記録ヘッド601との間の配管の
着脱が必要なくなるので、インクタンク602の交換が
容易に行える。The form of the ink jet recording head of the present invention can be applied not only to the line type ink jet recording head shown in FIG. 1 but also to an ink jet cartridge 600 shown in FIG. The inkjet cartridge 600 is a miniaturized one in which an inkjet recording head 601 and an ink tank 602 that stores ink to be supplied to the inkjet recording head 601 are integrated. In addition, such an ink jet cartridge 600 has an ink tank 602.
When the ink inside is exhausted, the inkjet recording head 6
The ink tank 6 can be replaced every 01.
02 is not required to be attached / detached between the ink jet recording head 601 and the ink tank 602 can be easily replaced.
【0043】インクジェットカートリッジ600を用い
たインクジェット記録装置について、図11を参照して
説明する。図11において、ら線溝755の刻まれたリ
ードスクリュー756は、駆動モータ764の正逆回転
に連動し、駆動力伝達ギア762、760を介して回転
駆動される。キャリッジ710は、リードスクリュー7
56との嵌合部に設けられたピン(不図示)によってら
線溝755に対して係合し、さらに案内レール754に
摺動自在に案内されていることにより、図示矢印a,b
方向に往復移動できるようになっている。An ink jet recording apparatus using the ink jet cartridge 600 will be described with reference to FIG. In FIG. 11, the lead screw 756 having the spiral groove 755 engraved is interlocked with the forward and reverse rotations of the drive motor 764, and is rotationally driven via the drive force transmission gears 762 and 760. The carriage 710 is a lead screw 7
By engaging with the spiral groove 755 by a pin (not shown) provided in the fitting portion with 56, and being slidably guided by the guide rail 754, the arrows a and b in the drawing are shown.
It can move back and forth in any direction.
【0044】一方、被記録媒体771は、ガイド部材7
41によってガイドされ、搬送モータ743を駆動源と
して回転するプラテンローラ751によって搬送され
る。紙送りモータ36を駆動源として行われる。搬送さ
れた被記録媒体771は、インクジェットカートリッジ
600と対向する位置において紙押え板753によりプ
ラテンローラ751に対して押圧され、インクジェット
記録ヘッド601(図10参照)との距離が所定の距離
に保持される。ここで、被記録媒体771の所定ピッチ
でのピッチ送りとキャリッジ710の往復移動とを繰り
返しながら、記録信号に基づいてエネルギー発生素子
(不図示)を駆動し、吐出口(不図示)からインクを吐
出することで、記録が行われる。On the other hand, the recording medium 771 has a guide member 7
The sheet is guided by the platen roller 41 and is conveyed by the platen roller 751 which rotates using the conveyance motor 743 as a drive source. The paper feed motor 36 is used as a drive source. The conveyed recording medium 771 is pressed against the platen roller 751 by the paper pressing plate 753 at a position facing the inkjet cartridge 600, and the distance from the inkjet recording head 601 (see FIG. 10) is maintained at a predetermined distance. It Here, while repeating the pitch feed of the recording medium 771 at a predetermined pitch and the reciprocating movement of the carriage 710, the energy generating element (not shown) is driven based on the recording signal, and the ink is ejected from the ejection port (not shown). Recording is performed by discharging.
【0045】フォトカプラ758、759は、キャリッ
ジ710のレバー757のこの域での存在を確認して駆
動モータ764の回転方向の逆転等を行なうためのホー
ムポジション検知手段を構成する。The photocouplers 758 and 759 constitute a home position detecting means for confirming the presence of the lever 757 of the carriage 710 in this area and performing the reverse rotation of the rotation direction of the drive motor 764.
【0046】インクジェットカートリッジ600の前面
をキャップするキャップ部材770は、支持部材765
によって支持され、さらに吸引手段773を備え、キャ
ップ内開口771を介してインクジェット記録ヘッド6
02の吸引回復を行なう。本体支持板767には支持板
768が取付けられており、この支持板768に摺動自
在に支持されたクリーニングブレード766は、図示し
ない駆動手段によって前後方向に移動される。クリーニ
ングブレード766の形態は図示するものに限られず、
公知のものが本例に適用できることは言うまでもない。
レバー763は、吸引回復操作を開始するためのもの
で、キャリッジ710と当接するカム769の移動にと
もなって移動し、駆動モータ764からの駆動力がギア
761やクラッチ切換等の公知の伝達手段によって移動
制御される。The cap member 770 that caps the front surface of the ink jet cartridge 600 is a support member 765.
Supported by the ink jet recording head 6 through the opening 771 in the cap.
Perform 02 suction recovery. A support plate 768 is attached to the main body support plate 767, and the cleaning blade 766 slidably supported by the support plate 768 is moved in the front-rear direction by a driving unit (not shown). The form of the cleaning blade 766 is not limited to the illustrated one,
It goes without saying that a known one can be applied to this example.
The lever 763 is for starting the suction recovery operation, and moves with the movement of the cam 769 that abuts the carriage 710, and the driving force from the driving motor 764 is transmitted by a known transmission means such as a gear 761 or clutch switching. Movement controlled.
【0047】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復の各処理は、キャリッジ710がホームポジショ
ン側領域にきたときリードスクリュー756の作用によ
って、それぞれの対応位置で行なわれるようになってい
る。周知のタイミングで所望の作動を行なうようにすれ
ば、本例にはいずれも適用できる。Each of the capping, cleaning, and suction recovery processes is performed at the corresponding position by the action of the lead screw 756 when the carriage 710 reaches the home position side area. If the desired operation is performed at a known timing, any of the embodiments can be applied.
【0048】(第2実施例)図12は、本発明のインク
ジェット記録ヘッドの第2実施例の、ヒーターボード1
50とインク流路を仕切る壁259との圧接状態であ
る。図6に示すように、本実施例では、互いに隣接する
ヒーターボード150の境界部に対向する壁259につ
いては、第1実施例と同様に2本のリブ260b、26
0cを形成し、その他の壁259’には、その幅方向の
中央部に1本のリブ260dを形成している。(Second Embodiment) FIG. 12 shows a heater board 1 of a second embodiment of the ink jet recording head of the present invention.
It is in a pressure contact state between 50 and the wall 259 partitioning the ink flow path. As shown in FIG. 6, in this embodiment, as for the wall 259 facing the boundary between the heater boards 150 adjacent to each other, the two ribs 260b and 26 are formed as in the first embodiment.
0c is formed, and one rib 260d is formed on the other wall 259 'at the center in the width direction.
【0049】この構成によると、ヒーターボード150
とリブ260b、260c、260dとの接触面積が第
1実施例の場合に比べて少なくなるため、同一の圧接力
に対しては、リブ260b、260c、260dにかか
る圧力が大きくなる。このため、天板がヒーターボード
150に圧接されたときにリブ260b、260c、2
60dが圧縮されやすくなり、ヒーターボード150間
の段差の吸収効果が上がることになる。According to this structure, the heater board 150
Since the contact area between the ribs 260b, 260c and 260d is smaller than that in the first embodiment, the pressure applied to the ribs 260b, 260c and 260d is increased for the same pressure contact force. Therefore, when the top plate is pressed against the heater board 150, the ribs 260b, 260c, 2
60d is easily compressed, and the effect of absorbing the step between the heater boards 150 is improved.
【0050】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式の記録ヘッド、記録装置に
おいて、優れた効果をもたらすものである。The present invention is particularly effective in an ink jet type recording head and recording apparatus for recording by forming flying droplets by utilizing thermal energy among the ink jet recording systems.
【0051】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
(インク)内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体(イン
ク)を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた液体(イ
ンク)の吐出が達成でき、より好ましい。Regarding the typical structure and principle thereof, see, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4740.
What is done using the basic principles disclosed in 796 is preferred. This method can be applied to both the so-called on-demand type and continuous type, but especially in the case of the on-demand type, liquid (ink)
By applying at least one drive signal to the electrothermal converter arranged corresponding to the sheet or liquid path in which is stored, which corresponds to the recorded information and causes a rapid temperature rise exceeding nucleate boiling. , It is effective because it generates heat energy in the electrothermal converter and causes film boiling on the heat-acting surface of the recording head, resulting in the formation of bubbles in the liquid (ink) corresponding to this drive signal on a one-to-one basis. Is. The liquid (ink) is ejected through the ejection openings by the growth and contraction of the bubbles to form at least one droplet. It is more preferable to make the driving signal into a pulse shape because bubbles can be grown and contracted immediately and appropriately, and thus a liquid (ink) with excellent responsiveness can be ejected.
【0052】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第4463359号明細書、同第4345262号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第4313124号明細書に記載されている条件を採用
すると、更に優れた記録を行なうことができる。As the pulse-shaped drive signal, those described in US Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,262 are suitable. If the conditions described in US Pat. No. 4,313,124 of the invention relating to the rate of temperature rise of the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.
【0053】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成(直線状液流路または直角液流路)の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第4558333号明細書、米国特許
第4459600号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。As the constitution of the recording head, in addition to the combination constitution of the discharge port, the liquid passage, and the electrothermal converter (the linear liquid passage or the right-angled liquid passage) as disclosed in the above-mentioned respective specifications, The present invention also includes configurations using US Pat. No. 4,558,333 and US Pat. No. 4,459,600, which disclose a configuration in which a heat acting portion is arranged in a bending region.
【0054】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭59−123670号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭59−138461号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。In addition, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-123670 discloses a structure in which a common slit is used as a discharge portion of an electrothermal converter for a plurality of electrothermal converters, and a pressure wave of thermal energy is absorbed. The present invention is also effective as a configuration based on Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-138461, which discloses a configuration in which an opening corresponds to a discharge portion.
【0055】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数個の記録ヘッドの組み合わせによってその長さを
満たす構成や、一体的に形成された1個の記録ヘッドと
しての構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効
果を一層有効に発揮することができる。Further, as a full line type recording head having a length corresponding to the width of the maximum recording medium which can be recorded by the recording apparatus, a combination of a plurality of recording heads as disclosed in the above-mentioned specification is used. Either the structure that satisfies the length or the structure as one recording head integrally formed may be used, but the present invention can more effectively exhibit the above-described effects.
【0056】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。In addition, by being mounted on the apparatus main body, it can be electrically connected to the apparatus main body and can be supplied with ink from the apparatus main body by a replaceable chip type recording head or the recording head itself. The present invention is also effective when a cartridge-type recording head provided with an ink tank is used.
【0057】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。Further, it is preferable to add recovery means for the recording head, preliminary auxiliary means, etc., which are provided as a configuration of the recording apparatus of the present invention, because the effects of the present invention can be further stabilized. If you list these specifically,
Capping means, cleaning means, pressurizing or sucking means for the recording head, preheating means using an electrothermal converter or another heating element or a combination thereof, and a preliminary ejection mode for performing ejection other than recording It is also effective to perform stable recording.
【0058】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。Further, the recording mode of the recording apparatus is not limited to the recording mode of only the mainstream color such as black, but the recording head may be integrally formed or a plurality of combinations may be used. The present invention is also extremely effective for a device provided with at least one of full colors by color mixing.
【0059】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を30℃以上70℃以下の範囲内で温度調
整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温
度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与
時にインクが液状をなすものであれば良い。In the embodiments of the present invention described above, the ink is described as a liquid, but it is an ink that solidifies at room temperature or below and softens at room temperature, or is a liquid, or the above-mentioned. In the inkjet method, the temperature of the ink itself is generally adjusted within a range of 30 ° C. or higher and 70 ° C. or lower to control the temperature of the ink so that the viscosity of the ink is within a stable ejection range. Any material that is in liquid form may be used.
【0060】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで防止するか、またはイン
クの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを
用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号
に応じた付与によってインクが液化し、液状インクとし
て吐出するものや、記録媒体に到達する時点では既に固
化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初め
て液化する性質のインクの使用も本発明には適用可能で
ある。このような場合インクは、特開昭54−5684
7号公報あるいは特開昭60−71260号公報に記載
されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状ま
たは固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。本発明において
は、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述
した膜沸騰方式を実行するものである。In addition, the temperature rise due to the thermal energy is positively prevented by using it as the energy for changing the state of the ink from the solid state to the liquid state, or the ink is solidified in a standing state for the purpose of preventing evaporation of the ink. In some cases, such as ink that is liquefied by applying heat energy according to a recording signal and ejected as a liquid ink, or one that has already started to solidify when it reaches a recording medium. The use of an ink having a property of being liquefied only by heat energy is also applicable to the present invention. In such a case, the ink is disclosed in JP-A-54-5684.
No. 7 or JP-A-60-71260, a mode in which the porous sheet is opposed to the electrothermal converter in the state of being held as a liquid or solid in the recess or through hole of the porous sheet. Also good. In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.
【0061】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダと組み合せた複写装置、さらには
送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採るもの
であってもよい。In addition, as the form of the recording apparatus according to the present invention, in addition to the one provided integrally or separately as an image output terminal of information processing equipment such as a word processor and a computer, a copying apparatus combined with a reader, and further It may take the form of a facsimile machine having a transmission / reception function.
【0062】[0062]
【発明の効果】本発明は、以上説明したとおり構成され
ているので、以下に記載する効果を奏する。Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.
【0063】本発明のインクジェット記録ヘッドは、溝
付部材の素子基板と接する部分に圧接部を設け、そのう
ち、溝を仕切り、かつ、互いに隣接する2つの素子基板
の境界部に対向する壁の圧接部を、それぞれ異なる素子
基板に圧接される2つのリブで構成することで、隣接す
る素子基板間に隙間や段差が生じていても、溝と素子基
板との間を隙間なく圧接させることができる。その結
果、インク流路間のインクの漏れのない高品質なインク
ジェット記録ヘッドを得ることができる。また、組み立
て工程についても従来の同様の工程でよく、高品質のイ
ンクジェット記録ヘッドを容易に得ることができる。さ
らに、リブの形成については、レーザ加工を用いて行う
ことができるので、容易である。In the ink jet recording head of the present invention, a pressure contact portion is provided in a portion of the grooved member which is in contact with the element substrate, of which a groove is partitioned and a wall which is opposed to a boundary portion between two element substrates adjacent to each other is pressure-contacted. By forming the part with two ribs that are pressed against different element substrates, even if a gap or a step is formed between the adjacent element substrates, the groove and the element substrate can be pressed together without a gap. . As a result, it is possible to obtain a high quality inkjet recording head in which ink does not leak between the ink flow paths. Further, the assembly process may be the same as the conventional process, and a high quality ink jet recording head can be easily obtained. Further, the ribs can be formed easily by using laser processing.
【0064】また、溝付部材に設けられる圧接部のう
ち、溝を仕切り、かつ、1つの素子基板にのみ対向する
壁の圧接部を1本のリブで構成することで、溝付部材を
基体に接合したとき、リブにかかる圧力が大きくなり、
溝付部材と素子基板とをより確実に圧接することができ
る。Further, of the pressure-contacting portions provided on the grooved member, the groove is partitioned, and the pressure-contacting portion of the wall facing only one element substrate is constituted by one rib, so that the grooved member is formed as a base body. When joined to, the pressure applied to the ribs increases,
The grooved member and the element substrate can be pressed against each other more reliably.
【0065】さらに、素子基板の数を多くすれば、長尺
のインクジェット記録ヘッドを容易に製造することがで
きるので、本発明のインクジェット記録ヘッドは、フル
ラインタイプのインクジェット記録ヘッド等のラインヘ
ッドに適している。Furthermore, since a long ink jet recording head can be easily manufactured by increasing the number of element substrates, the ink jet recording head of the present invention can be used as a line head such as a full line type ink jet recording head. Is suitable.
【0066】本発明のインクジェット装置は、上述した
本発明のインクジェット記録ヘッドを備えることによ
り、インクジェット記録ヘッドの溝と素子基板との間が
確実に密着されており、良好な記録を行なうことができ
る。Since the ink jet apparatus of the present invention is equipped with the above-mentioned ink jet recording head of the present invention, the groove of the ink jet recording head and the element substrate are surely brought into close contact with each other, and good recording can be performed. .
【図1】本発明のインクジェット記録ヘッドの第1実施
例の主要な部品の構成を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining a configuration of main components of a first embodiment of an inkjet recording head of the present invention.
【図2】図1に示したインクジェット記録ヘッドの天板
の平面図、正面図および底面図である。2A and 2B are a plan view, a front view, and a bottom view of a top plate of the inkjet recording head shown in FIG.
【図3】図2に示した天板のX−X線断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line XX of the top plate shown in FIG.
【図4】図2に示した天板を、溝の形成面側から見た拡
大斜視図である。FIG. 4 is an enlarged perspective view of the top plate shown in FIG. 2 as viewed from the groove forming surface side.
【図5】図2に示した天板の、互いに隣接する溝を仕切
る壁の断面図である。5 is a cross-sectional view of walls of the top plate shown in FIG. 2 that partition adjacent grooves.
【図6】図1に示したインクジェット記録ヘッドの、ヒ
ーターボードとインク流路を仕切る壁との圧接状態を示
す図である。6 is a diagram showing a state where the ink jet recording head shown in FIG. 1 is in pressure contact with a heater board and a wall partitioning an ink flow path.
【図7】天板に溝およびリブを形成する際に用いられる
レーザ加工装置の一例の概略構成図である。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of an example of a laser processing apparatus used when forming a groove and a rib on a top plate.
【図8】天板に溝およびリブを形成する手順を説明する
ための図である。FIG. 8 is a view for explaining the procedure of forming grooves and ribs on the top plate.
【図9】本発明のインクジェット記録ヘッドを備えたフ
ルラインタイプのインクジェット記録装置の一例の模式
的概略構成図である。FIG. 9 is a schematic diagram of an example of a full-line type inkjet recording apparatus including the inkjet recording head of the present invention.
【図10】本発明のインクジェット記録ヘッドを備えた
インクジェットカートリッジの一例の斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of an example of an ink jet cartridge including the ink jet recording head of the present invention.
【図11】図10に示したインクジェットカートリッジ
を備えたインクジェット記録装置の一例の概略構成図で
ある。11 is a schematic configuration diagram of an example of an inkjet recording apparatus including the inkjet cartridge shown in FIG.
【図12】本発明のインクジェット記録ヘッドの第2実
施例の、ヒーターボードとインク流路を仕切る壁との圧
接状態を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a pressure contact state between a heater board and a wall partitioning an ink flow path in a second embodiment of the ink jet recording head of the present invention.
【図13】従来のインクジェット記録ヘッドにおいて、
素子基板に段差が生じた状態での素子基板とインク流路
を仕切る壁との圧接状態を示す図である。FIG. 13 shows a conventional inkjet recording head.
FIG. 6 is a diagram showing a pressure contact state between an element substrate and a wall that partitions an ink flow path when a step is formed on the element substrate.
100、150 ヒーターボード 101 エネルギー発生素子 102、401 パッド 200 天板 200a 面 201 液室 202 溝 203 吐出口 205 パイプ 206 供給口 209、269、259’ 壁 210a、210b、210c、260b、260c、
260d リブ 220 マスク部分 300 ベースプレート 400 配線基板 402 コネクター 501 搬送ローラ 502、771 被記録媒体 503、601 インクジェット記録ヘッド 600 インクジェットカートリッジ 602 インクタンク 710 キャリッジ 741 ガイド部材 743 搬送モータ 751 プラテンローラ 753 紙押え板 754 案内レール 755 ら線溝 756 リードスクリュー 757、763 レバー 758、759 フォトカプラ 760、762 駆動力伝達ギア 761 ギア 764 駆動モータ 765 支持部材 766 クリーニングブレード 767 本体支持板 768 支持板 769 カム 770 キャップ部材 771 キャップ内開口 773 吸引手段100, 150 Heater board 101 Energy generating element 102, 401 Pad 200 Top plate 200a Surface 201 Liquid chamber 202 Groove 203 Discharge port 205 Pipe 206 Supply port 209, 269, 259 'Wall 210a, 210b, 210c, 260b, 260c,
260d rib 220 mask part 300 base plate 400 wiring board 402 connector 501 conveying rollers 502, 771 recording medium 503, 601 inkjet recording head 600 inkjet cartridge 602 ink tank 710 carriage 741 guide member 743 conveying motor 751 platen roller 753 paper pressing plate 754 guide Rail 755 Wire groove 756 Lead screw 757, 763 Lever 758, 759 Photocoupler 760, 762 Drive force transmission gear 761 Gear 764 Drive motor 765 Support member 766 Cleaning blade 767 Main body support plate 768 Support plate 769 Cam 770 Cap member 771 Inside the cap Opening 773 suction means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樫野 俊雄 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 寺井 晴彦 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小俣 好一 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 池谷 優 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Toshio Kashino 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Haruhiko Terai 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Incorporated (72) Inventor Koichi Omata 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Yu Yu Iketani 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc.
Claims (7)
る複数のエネルギー発生素子が配列された複数の素子基
板が、前記各エネルギー発生素子の配列方向に沿って固
定された基体と、インクを吐出する複数の吐出口および
前記各吐出口に連通する溝が形成され、前記複数の素子
基板に圧接されて前記基体に接合されることで前記各エ
ネルギー発生素子に対応した複数のインク流路を構成す
る溝付部材とを有するインクジェット記録ヘッドにおい
て、 前記溝付部材の前記素子基板と接する部分には、該部分
の形状に沿って前記素子基板に圧接される圧接部を有
し、 前記圧接部のうち、前記溝を仕切り、かつ、互いに隣接
する2つの素子基板の境界部に対向する壁の圧接部は、
それぞれ異なる素子基板に圧接される2本のリブで構成
されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。1. A substrate having a plurality of element substrates on which a plurality of energy generating elements for generating ejection energy applied to ink are arranged, and a plurality of elements for ejecting ink, the base being fixed along the arrangement direction of the energy generating elements. And a groove that forms a plurality of ink flow paths corresponding to each energy generating element by being pressed against the plurality of element substrates and bonded to the base body. In an ink jet recording head having an attaching member, a portion of the grooved member that is in contact with the element substrate has a pressure contact portion that is in pressure contact with the element substrate along the shape of the portion, and among the pressure contact portions, The pressure contact portion of the wall that partitions the groove and faces the boundary portion of two element substrates adjacent to each other is
An ink jet recording head comprising two ribs pressed against different element substrates.
つ、1つの素子基板にのみ対向する壁の圧接部は、1本
のリブで構成される請求項1に記載のインクジェット記
録ヘッド。2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein among the pressure contact portions, the pressure contact portion of the wall that partitions the groove and faces only one element substrate is composed of one rib.
された請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘ
ッド。3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the shape of the rib is formed by laser processing.
記録媒体の記録領域の幅方向に沿って形成されている請
求項1、2または3に記載のインクジェット記録ヘッ
ド。4. The ink jet recording head according to claim 1, 2 or 3, wherein the plurality of ejection openings are formed along a width direction of a recording area of a recording medium on which recording is performed.
出するために利用される熱エネルギーを発生するための
電気熱変換体である請求項1、2、3または4に記載の
インクジェットヘッド。5. The ink jet head according to claim 1, 2, 3, or 4, wherein the energy generating element is an electrothermal converter for generating thermal energy used for ejecting ink.
加される熱エネルギーによって生じる膜沸騰を利用して
前記吐出口から吐出される請求項5に記載のインクジェ
ット記録ヘッド。6. The ink jet recording head according to claim 5, wherein the ink is ejected from the ejection port by utilizing film boiling generated by thermal energy applied by the electrothermal converter.
のインクジェット記録ヘッドを備え、記録信号に基づい
てインクを前記インクジェット記録ヘッドの吐出口から
吐出して記録を行なうインクジェット記録装置。7. An ink jet recording apparatus comprising the ink jet recording head according to claim 1, wherein ink is ejected from ejection ports of the ink jet recording head based on a recording signal to perform recording.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26555394A JP3198219B2 (en) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus |
EP95117004A EP0709199B1 (en) | 1994-10-28 | 1995-10-27 | Ink jet head, ink jet head cartridge, ink jet apparatus, and method for manufacturing such ink head |
US08/549,200 US5748213A (en) | 1994-10-28 | 1995-10-27 | Ink jet head having plural elemental substrates, apparatus having the ink jet head, and method for manufacturing the ink jet head |
DE69531185T DE69531185T2 (en) | 1994-10-28 | 1995-10-27 | Ink jet head, ink jet head cartridge, ink jet apparatus, and method of manufacturing such an ink jet head |
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