JPH08110177A - Hot air circulation furnace - Google Patents

Hot air circulation furnace

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JPH08110177A
JPH08110177A JP22931994A JP22931994A JPH08110177A JP H08110177 A JPH08110177 A JP H08110177A JP 22931994 A JP22931994 A JP 22931994A JP 22931994 A JP22931994 A JP 22931994A JP H08110177 A JPH08110177 A JP H08110177A
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heat treatment
treatment chamber
atmospheric gas
atmospheric
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Abstract

PURPOSE: To provide a hot air circulation furnace in which productivity can be improved and a high purity control over atmospheric gas can be realized under a simple configuration not using any equipment and the like. CONSTITUTION: There are provided a heat treatment chamber 3 having item to be processed stored therein ; a gas circulation passage 4 arranged at an outer circumference of the heat treatment chamber 3, connected to the heat treatment chamber 3 and for causing atmospheric gas G flowed even in the heat treatment chamber 3; a gas supplying pipe 6 inserted into the gas circulation passage 4, arranged along a circulating direction of the atmospheric gas G and to which external atmospheric gas is supplied. To the extremity end of the gas supplying pipe 6 is fixed a gas injection nozzle 7 for use in injecting the atmospheric gas G.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は熱風循環炉にかかり、詳
しくは、熱処理室に対して供給される雰囲気ガスの循環
方式に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hot air circulating furnace, and more particularly to a method of circulating atmospheric gas supplied to a heat treatment chamber.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、セラミック製品に対する焼成
などの熱処理を行うに際しては、図4の縦断面図で示す
ような構成とされた熱風循環炉を用いることが行われて
いる。すなわち、500ないし600℃以下程度の温度
域における熱伝達では輻射伝熱よりも対流伝熱の方が主
となるため、予め加熱された雰囲気ガスが熱処理室内を
流通することによって被処理物の熱処理を行う構成とさ
れた熱風循環炉を用いることが炉内温度分布のバラツキ
を低下させるうえで好都合となるからである。そして、
この熱風循環炉は、断熱構造を有する炉体11と、熱処
理室であるところのマッフル、つまり耐熱金属板を組み
合わせて作製されたマッフル12と、このマッフル12
と炉体11との間に設けられ、かつ、外部から供給され
たうえで加熱された窒素などの雰囲気ガスGが流通する
ガス流通路13とを備えている。
2. Description of the Related Art Conventionally, when a heat treatment such as firing is performed on a ceramic product, a hot air circulating furnace configured as shown in the vertical sectional view of FIG. 4 has been used. That is, in heat transfer in a temperature range of about 500 to 600 ° C. or less, convective heat transfer is more dominant than radiant heat transfer. This is because it is convenient to use the hot air circulating furnace configured to perform the above in order to reduce the variation in the temperature distribution inside the furnace. And
This hot-air circulation furnace has a furnace body 11 having a heat insulating structure, a muffle 12 which is a heat treatment chamber, that is, a muffle 12 made by combining a heat-resistant metal plate, and the muffle 12
And a furnace body 11, and a gas flow passage 13 through which an atmospheric gas G such as nitrogen supplied from the outside and heated is circulated.

【0003】さらに、この際のマッフル12内には被処
理物であるセラミック製品などを収容した匣(図示して
いない)が多段に積み重ねられた状態で収納されること
になっており、マッフル12を構成して互いに対向する
側面板のそれぞれには雰囲気ガスGを流通させる多数の
通気孔14が形成されている。また、マッフル12上に
位置するガス循環路13内には、外部から導入した雰囲
気ガスGを供給するためのガス供給管15が引き込まれ
ているとともに、供給された雰囲気ガスGを循環させる
シロッコファン16と、循環する雰囲気ガスGを所要温
度まで加熱する電熱ヒータ17とがそれぞれ配設されて
おり、シロッコファン16は密封軸受18を介して電動
機19と連結されたうえ、この電動機19を用いて回転
駆動されるようになっている。
Further, at this time, the muffle 12 is supposed to house a box (not shown) containing a ceramic product or the like to be processed in a multi-tiered manner. A large number of vent holes 14 through which the atmospheric gas G is circulated are formed in each of the side plates that constitute the above and face each other. In addition, a gas supply pipe 15 for supplying the atmospheric gas G introduced from the outside is drawn into the gas circulation path 13 located on the muffle 12, and a sirocco fan for circulating the supplied atmospheric gas G is also provided. 16 and an electric heater 17 for heating the circulating atmospheric gas G to a required temperature are respectively arranged. The sirocco fan 16 is connected to an electric motor 19 via a sealed bearing 18, and the electric motor 19 It is designed to be rotated.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来構
成とされた熱風循環炉においては、耐熱性に優れたシロ
ッコファン16や高度の軸シール性能を有する密封軸受
18などの機器類を用いる必要があるためにコストの増
大を招くことになるばかりか、これら機器類の素材や性
能に基づく制限を受けるために雰囲気ガスGの温度をさ
らに上昇させることによって生産性の向上を図ることが
できないことになっていた。また、密封軸受18が炉内
外の温度差に基づく影響を大きく受けるために軸シール
性能の劣化が避けられず、炉外からの空気(酸素)の侵
入を防ぎながら雰囲気ガスを高純度に制御することが困
難になるという不都合も生じていた。
By the way, in the hot air circulating furnace having the above-mentioned conventional structure, it is necessary to use equipment such as a sirocco fan 16 having excellent heat resistance and a sealed bearing 18 having a high degree of shaft sealing performance. Not only does this lead to an increase in cost, but it is not possible to improve productivity by further raising the temperature of the atmosphere gas G due to restrictions imposed by the materials and performance of these devices. Was becoming. Further, since the sealed bearing 18 is greatly affected by the temperature difference between the inside and outside of the furnace, deterioration of the shaft seal performance is unavoidable, and the atmospheric gas is controlled to have a high purity while preventing the intrusion of air (oxygen) from the outside of the furnace. There was also the inconvenience that it became difficult.

【0005】本発明は、これらの不都合に鑑みて創案さ
れたものであり、機器類を用いない簡単な構成でもって
生産性の向上及び雰囲気ガスの高純度制御を実現するこ
とができる熱風循環炉の提供を目的としている。
The present invention was devised in view of these inconveniences, and a hot air circulation furnace capable of improving productivity and controlling high purity of atmospheric gas with a simple structure without using any equipment. The purpose is to provide.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明にかかる熱風循環
炉は、被処理物が収納される熱処理室と、該熱処理室の
外周囲に配設されたうえで熱処理室に接続され、かつ、
熱処理室内をも流通する雰囲気ガスが循環するガス循環
路と、該ガス循環路内に挿入されて雰囲気ガスの循環方
向に沿って配設され、かつ、外部からの雰囲気ガスが供
給されるガス供給管とを備えており、該ガス供給管の先
端には雰囲気ガスを噴出するガス噴出ノズルが取り付け
られていることを特徴とするものである。なお、この際
におけるガス循環路は、雰囲気ガスが熱処理室内を水平
もしくは垂直いずれかの方向に沿って流通する向きとな
るように接続されている。
A hot-air circulation furnace according to the present invention is provided with a heat treatment chamber in which an object to be treated is housed, and the heat treatment chamber is arranged around the outer periphery of the heat treatment chamber and is connected to the heat treatment chamber.
A gas circulation path in which the atmospheric gas that also circulates in the heat treatment chamber circulates, and a gas supply that is inserted in the gas circulation path and is arranged along the circulation direction of the atmospheric gas and that is supplied with the atmospheric gas from the outside And a pipe, and a gas jet nozzle for jetting an atmospheric gas is attached to the tip of the gas supply pipe. The gas circulation path at this time is connected so that the atmospheric gas flows in the heat treatment chamber in either the horizontal or vertical direction.

【0007】[0007]

【作用】上記構成によれば、ガス供給管を通じて外部か
ら供給された新たな雰囲気ガスはガス噴出ノズルを通じ
て噴出してくることになり、このガス噴出ノズルの周囲
に存在していた雰囲気ガスは新たに噴出する雰囲気ガス
の噴出作用によって循環方向に沿って誘引されたうえで
ガス循環路内を熱処理室へと流れた後、熱処理室内を流
通することになる。
According to the above structure, the new atmospheric gas supplied from the outside through the gas supply pipe is ejected through the gas ejection nozzle, and the atmospheric gas existing around the gas ejection nozzle is regenerated. After being drawn along the circulation direction by the jetting action of the atmospheric gas jetted to the heat treatment chamber, the gas flows into the heat treatment chamber in the gas circulation path and then flows in the heat treatment chamber.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】図1は本実施例にかかる熱風循環炉の概略
構造を示す縦断面図であり、図2及び図3のそれぞれは
その変形例を示す縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical sectional view showing a schematic structure of a hot air circulating furnace according to this embodiment, and FIGS. 2 and 3 are vertical sectional views showing modifications thereof.

【0010】本実施例にかかる熱風循環炉はバッチ式と
いわれるものであり、電熱ヒータ1が埋設された断熱構
造を有する炉体2と、被処理物であるところのセラミッ
ク製品などを収容したうえで多段積みされた匣(図示し
ていない)が収納される熱処理室、つまり耐熱金属板を
組み合わせてなるマッフル3と、このマッフル3の外周
囲に沿って配設されたうえでマッフル3に対して接続さ
れ、かつ、このマッフル3内をも流通する雰囲気ガスG
が循環するガス循環路4とを備えている。そして、この
際におけるガス循環路4は耐熱金属製の配管材を使用し
て構成されたうえ、このガス循環路4内を循環しながら
電熱ヒータ1によって加熱された雰囲気ガスGがマッフ
ル3内を水平方向に沿って流通する向きとなる状態でマ
ッフル3に対して接続されており、マッフル3を構成し
て対向配置された側面板それぞれのガス循環路4が接続
された箇所には雰囲気ガスGを流通させる多数の通気孔
5が形成されている。
The hot air circulating furnace according to the present embodiment is called a batch type furnace, in which a furnace body 2 having a heat insulating structure in which an electric heater 1 is embedded and a ceramic product which is an object to be treated are housed. The heat treatment chamber that accommodates the boxes (not shown) stacked in multiple stages, that is, the muffle 3 made of a combination of heat-resistant metal plates, and the muffle 3 is arranged along the outer periphery of the muffle 3 and Gas G that is connected to the muffle 3 and that also flows through the muffle 3.
And a gas circulation path 4 that circulates. In addition, the gas circulation path 4 at this time is configured by using a pipe material made of a heat-resistant metal, and the atmosphere gas G heated by the electric heater 1 while circulating in the gas circulation path 4 flows in the muffle 3. The atmosphere gas G is connected to the muffle 3 in a state of flowing along the horizontal direction, and is connected to the gas circulation passages 4 of the side plates that constitute the muffle 3 and are opposed to each other. A large number of vent holes 5 are formed to circulate.

【0011】また、ガス循環路4内には外部から導入し
た雰囲気ガスGを供給するためのガス供給管6が挿入さ
れており、直管状とされたガス供給管6はその長手方向
がガス循環路4内における雰囲気ガスGの循環方向に沿
って固定的に配設されたものとなっている。そして、ガ
ス循環路4の長手方向における中央部近くに位置するガ
ス供給管6の先端にはガス噴出ノズル7が取り付けられ
ており、ガス供給管6によって供給された雰囲気ガスG
はガス噴出ノズル7によって絞られながらガス循環路4
内へと噴出することになっている。
Further, a gas supply pipe 6 for supplying an atmospheric gas G introduced from the outside is inserted in the gas circulation passage 4, and the gas supply pipe 6 in the form of a straight pipe circulates gas in the longitudinal direction. It is arranged fixedly along the circulation direction of the atmospheric gas G in the passage 4. A gas injection nozzle 7 is attached to the tip of the gas supply pipe 6 located near the center of the gas circulation path 4 in the longitudinal direction, and the atmospheric gas G supplied by the gas supply pipe 6 is supplied.
Is squeezed by the gas ejection nozzle 7 and is circulated in the gas circulation path 4
It is supposed to squirt inward.

【0012】そこで、本実施例にかかる熱風循環炉で
は、ガス供給管6を通じて外部から供給された新たな雰
囲気ガスGがガス噴出ノズル7を通じたうえで噴出する
ことになり、ガス循環路4内におけるガス噴出ノズル7
の周囲に存在していた雰囲気ガスGは新たに噴出してき
た雰囲気ガスGの噴出作用によって循環方向へと誘引さ
れることになる。すなわち、この際においては、新たに
供給された雰囲気ガスGの噴流の持つ運動量が周囲の雰
囲気ガスGに拡散して影響を及ぼすことになり、影響を
受けた雰囲気ガスGが噴流の周囲を取り巻く周囲流とし
て誘引されることが起こるのである。そして、新たな雰
囲気ガスG及び誘引された雰囲気ガスGは、炉体2に埋
設された電熱ヒータ1によってともに加熱されながらガ
ス循環路4内をマッフル3へと向かって流れた後、通気
孔5を通じてマッフル3内に流入したうえ、このマッフ
ル3内を流通しながら被処理物であるセラミック製品の
焼成などを行うことになる。
Therefore, in the hot air circulating furnace according to the present embodiment, a new atmosphere gas G supplied from the outside through the gas supply pipe 6 will be ejected after passing through the gas ejection nozzle 7, and the inside of the gas circulation passage 4 will be ejected. Gas injection nozzle 7
The atmospheric gas G existing around the is attracted in the circulation direction by the ejection action of the newly ejected atmospheric gas G. That is, at this time, the momentum of the newly supplied jet of the atmospheric gas G diffuses and affects the surrounding atmospheric gas G, and the affected atmospheric gas G surrounds the periphery of the jet. It will be attracted as a surrounding flow. Then, the new atmosphere gas G and the attracted atmosphere gas G flow toward the muffle 3 in the gas circulation path 4 while being heated together by the electric heater 1 embedded in the furnace body 2, and then the ventilation hole 5 In addition to flowing into the muffle 3 through, the ceramic product, which is the object to be processed, is fired while flowing through the muffle 3.

【0013】なお、図示していないが、新たな雰囲気ガ
スGの供給量に見合う使用済みの雰囲気ガスGを排出す
るための排気孔が予めガス循環路4中に設けられている
ことは当然である。また、この際における新たな雰囲気
ガスGの供給量を調整することによって雰囲気ガスGの
循環量を比例的に調整しうることは勿論であり、本発明
の発明者が検討したところによれば、供給量の7倍近い
循環量を得ることも可能である。
Although not shown, it is a matter of course that an exhaust hole for discharging the used atmosphere gas G corresponding to the supply amount of the new atmosphere gas G is provided in the gas circulation path 4 in advance. is there. In addition, it is needless to say that the circulation amount of the atmosphere gas G can be proportionally adjusted by adjusting the supply amount of the new atmosphere gas G at this time, and according to the study conducted by the inventor of the present invention, It is also possible to obtain a circulation amount close to 7 times the supply amount.

【0014】さらにまた、本実施例においては、熱処理
室3内を流通しながらセラミック製品の焼成などを行っ
た雰囲気ガスGが流入してくるガス循環路4の流入部位
に、酸素濃度計などのガス成分検出用機器に対して接続
されるサンプリングポートSを取り付けている。そし
て、このような構成とした場合には、サンプリングポー
トSを通じたうえで処理中であるセラミック製品の周囲
を通過したばかりの雰囲気ガスGの成分検出を行うこと
によっての的確な酸素濃度制御などの雰囲気ガス制御を
行うことが可能となる。
Furthermore, in this embodiment, an oxygen concentration meter or the like is provided at the inflow portion of the gas circulation path 4 into which the atmospheric gas G, which has been obtained by firing the ceramic product while flowing through the heat treatment chamber 3, flows in. A sampling port S connected to the gas component detection device is attached. In the case of such a configuration, an accurate oxygen concentration control is performed by detecting the components of the atmosphere gas G that has just passed through the periphery of the ceramic product being processed through the sampling port S. Atmosphere gas control can be performed.

【0015】ところで、本実施例におけるガス循環路4
は雰囲気ガスGがマッフル3内を水平方向に沿って流通
する向きとなるよう接続されているのであるが、例え
ば、図2もしくは図3の変形例でそれぞれ示すように、
雰囲気ガスGがマッフル3内を垂直方向に沿って流通す
る向きとしてガス循環路4をマッフル3に接続してもよ
い。なお、これらの図2及び図3において図1と互いに
同一となる部品、部分については同一符号を付し、ここ
での詳しい説明は省略する。
By the way, the gas circulation path 4 in this embodiment
Is connected so that the atmospheric gas G is oriented to flow in the muffle 3 along the horizontal direction. For example, as shown in the modification of FIG. 2 or 3,
The gas circulation path 4 may be connected to the muffle 3 so that the atmosphere gas G flows in the muffle 3 along the vertical direction. 2 and 3, those parts and portions that are the same as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0016】まず、図2で示す第1の変形例にかかる熱
風循環炉は、マッフル3内の垂直方向に沿って雰囲気ガ
スGが流通する向きとなるようガス循環路4がマッフル
3に接続されたものであり、ここでのガス循環路4はマ
ッフル3を構成して上下に対向する天井板及び底面板の
それぞれに対して接続されている。そして、この際にお
ける天井板及び底面板には多数の通気孔5が形成されて
おり、底面板側から流入した雰囲気ガスGはマッフル3
内を下側から上側へと流通したうえで天井板側から流出
していくことになる。ところで、このような構成を採用
した場合には、セラミック製品などを収容した匣(図示
していない)が多段に積み重ねられた状態で収納された
マッフル3内における温度分布のバラツキが図1で示し
た構成の場合よりも改善されると考えられる。
First, in the hot air circulating furnace according to the first modification shown in FIG. 2, the gas circulation passage 4 is connected to the muffle 3 so that the atmosphere gas G flows in the vertical direction in the muffle 3. The gas circulation path 4 here constitutes a muffle 3 and is connected to each of a ceiling plate and a bottom plate which face each other vertically. At this time, a large number of vent holes 5 are formed in the ceiling plate and the bottom plate, and the atmospheric gas G flowing in from the bottom plate side is in the muffle 3.
It flows through the inside from the bottom to the top and then flows out from the ceiling board side. By the way, when such a configuration is adopted, the variation of the temperature distribution in the muffle 3 in which the boxes (not shown) accommodating the ceramic products and the like are stacked and stacked in multiple stages are shown in FIG. It is considered to be improved over the case of the above configuration.

【0017】また、図3で示す第2の変形例にかかる熱
風循環炉は、マッフル3を構成する側面板それぞれの下
半側に対してガス循環路4を接続する一方、このガス循
環路4から引き出されたガス流出管8をマッフル3の天
井板から突入させた構成を有するものであり、この熱風
循環炉においてもマッフル3の下側から流入した雰囲気
ガスGがマッフル3内を上向きに流通していくことにな
る。さらに、これら第1及び第2の変形例にかかる熱風
循環炉においても、熱処理室3内を流通した雰囲気ガス
Gが流入してくるガス循環路4の流入部位に、ガス成分
検出用機器に対して接続されるサンプリングポートSが
取り付けられている。そして、これら変形例の場合にお
いては、セラミック製品の周囲を通過した雰囲気ガスG
がガス循環路4の流入部位、例えば、ガス流出管8を集
中して流れることになり、雰囲気ガスGが集中している
分だけ精度の高い成分検出を行うことが可能となる。
In the hot air circulating furnace according to the second modification shown in FIG. 3, the gas circulation passage 4 is connected to the lower half of each of the side plates constituting the muffle 3, while the gas circulation passage 4 is connected. In this hot-air circulating furnace, the atmospheric gas G flowing from the lower side of the muffle 3 flows upward in the muffle 3 as well. Will be done. Further, also in the hot air circulating furnaces according to the first and second modified examples, the gas component detecting device is provided at the inflow portion of the gas circulation path 4 into which the atmospheric gas G flowing in the heat treatment chamber 3 flows. A sampling port S to be connected is attached. In the case of these modified examples, the atmospheric gas G that has passed around the ceramic product
Will flow intensively through the inflow site of the gas circulation path 4, for example, the gas outflow pipe 8, and it will be possible to perform highly accurate component detection as much as the atmospheric gas G is concentrated.

【0018】なお、以上説明した熱風循環炉において
は、雰囲気ガスGを加熱するための電熱ヒータ1を炉体
2に埋設しているが、これに限定されることはなく、電
熱ヒータ1を炉体2の内表面上に配設しておいても、あ
るいはまた、ガス循環路4内に設けておいてもよいこと
は勿論である。そして、電熱ヒータ1を炉体2に埋設し
たり、炉体2上に配設したりしておいた場合には、雰囲
気ガスGのみならず、マッフル3をも電熱ヒータ1によ
って直接的に加熱することが可能となる結果、炉内温度
分布や炉内熱応答性の改善を図ることができるという利
点が得られる。さらにまた、以上の説明においては熱風
循環炉がバッチ式であることを前提としているが、本発
明の適用範囲がバッチ式のみに限定されないことは勿論
である。すなわち、例えば、複数個のマッフル3を互い
に連通接続したうえでガス循環路4及びガス供給管6、
ガス噴出ノズル7を各マッフル3ごとに対して設けるこ
ととすれば、連続式といわれる熱風循環炉をも構成しう
ることになる。
In the hot air circulation furnace described above, the electric heater 1 for heating the atmospheric gas G is embedded in the furnace body 2. However, the present invention is not limited to this, and the electric heater 1 is a furnace. Needless to say, it may be arranged on the inner surface of the body 2 or may be arranged in the gas circulation path 4. When the electric heater 1 is embedded in the furnace body 2 or disposed on the furnace body 2, not only the atmospheric gas G but also the muffle 3 is directly heated by the electric heater 1. As a result, it is possible to improve the temperature distribution in the furnace and the thermal responsiveness in the furnace. Furthermore, in the above description, it is assumed that the hot air circulating furnace is a batch type, but it goes without saying that the scope of application of the present invention is not limited to the batch type. That is, for example, a plurality of muffles 3 are connected to each other, and then a gas circulation path 4 and a gas supply pipe 6 are provided.
If the gas ejection nozzle 7 is provided for each muffle 3, it is possible to configure a hot air circulating furnace called a continuous type.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる熱
風循環炉によれば、雰囲気ガスを循環させるための機器
類を何ら用いることなく、外部から新たに供給された雰
囲気ガスを噴出させるだけのことによってガス噴出ノズ
ルの周囲に存在する雰囲気ガスをも循環させることが可
能となる。したがって、シロッコファンなどの機器類や
これらを駆動するための動力を使用する必要がなくな
り、コストの低減を図ることが可能となるばかりか、雰
囲気ガスの高純度制御を容易に行えるという効果が得ら
れる。また、機器類による制限を受けることがなく、雰
囲気ガスの温度を900℃以上にまで上昇させたうえで
使用することが可能となる結果、生産性の向上を図るこ
とができるという効果も得られる。
As described above, according to the hot air circulating furnace of the present invention, the ambient gas newly supplied from the outside can be jetted out without using any equipment for circulating the ambient gas. This makes it possible to circulate the ambient gas existing around the gas ejection nozzle. Therefore, it is not necessary to use equipment such as sirocco fan and power for driving them, which not only makes it possible to reduce costs, but also has an effect that high purity control of atmosphere gas can be easily performed. To be Further, it is possible to raise the temperature of the atmospheric gas to 900 ° C. or more before use without being restricted by the equipment, and as a result, it is possible to obtain the effect that the productivity can be improved. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本実施例にかかる熱風循環炉の概略構造を示す
縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing a schematic structure of a hot air circulating furnace according to this embodiment.

【図2】第1の変形例にかかる熱風循環炉の概略構造を
示す縦断面図である。
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing a schematic structure of a hot air circulating furnace according to a first modification.

【図3】第2の変形例にかかる熱風循環炉の概略構造を
示す縦断面図である。
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing a schematic structure of a hot air circulating furnace according to a second modification.

【図4】従来例にかかる熱風循環炉の概略構造を示す縦
断面図である。
FIG. 4 is a vertical sectional view showing a schematic structure of a hot air circulating furnace according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 マッフル(熱処理室) 4 ガス循環路 6 ガス供給管 7 ガス噴出ノズル G 雰囲気ガス S サンプリングポート 3 Muffle (heat treatment room) 4 Gas circulation path 6 Gas supply pipe 7 Gas ejection nozzle G Atmosphere gas S Sampling port

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被処理物が収納される熱処理室(3)
と、該熱処理室(3)の外周囲に配設されたうえで熱処
理室(3)に接続され、かつ、熱処理室(3)内をも流
通する雰囲気ガス(G)が循環するガス循環路(4)
と、該ガス循環路(4)内に挿入されて雰囲気ガス
(G)の循環方向に沿って配設され、かつ、外部からの
雰囲気ガス(G)が供給されるガス供給管(6)とを備
えており、該ガス供給管(6)の先端には雰囲気ガス
(G)を噴出するガス噴出ノズル(7)が取り付けられ
ていることを特徴とする熱風循環炉。
1. A heat treatment chamber (3) for accommodating an object to be treated.
And a gas circulation path, which is arranged on the outer periphery of the heat treatment chamber (3) and is connected to the heat treatment chamber (3), and in which the atmosphere gas (G) circulating in the heat treatment chamber (3) circulates (4)
And a gas supply pipe (6) inserted into the gas circulation path (4) and arranged along the circulation direction of the atmospheric gas (G) and supplied with the atmospheric gas (G) from the outside. A hot-air circulation furnace, characterized in that a gas jet nozzle (7) for jetting an atmospheric gas (G) is attached to the tip of the gas supply pipe (6).
【請求項2】 ガス循環路(4)は、雰囲気ガス(G)
が熱処理室(3)内を水平方向に沿って流通する向きで
接続されていることを特徴とする請求項1記載の熱風循
環炉。
2. The gas circulation path (4) comprises an atmospheric gas (G).
The hot-air circulating furnace according to claim 1, wherein the heat-air circulating furnace is connected in such a manner as to flow in the heat treatment chamber (3) along a horizontal direction.
【請求項3】 ガス循環路(4)は、雰囲気ガス(G)
が熱処理室(3)内を垂直方向に沿って流通する向きで
接続されていることを特徴とする請求項1記載の熱風循
環炉。
3. The gas circulation path (4) is provided with an atmospheric gas (G).
2. The hot-air circulation furnace according to claim 1, wherein the hot air circulation furnace is connected in such a manner that the heat flows in the heat treatment chamber (3) along a vertical direction.
【請求項4】 熱処理室(3)内を流通した雰囲気ガス
(G)が流入してくるガス循環路(4)の流入部位に、
ガス成分検出用機器に対して接続されるサンプリングポ
ート(S)が取り付けられていることを特徴とする請求
項1ないし請求項3に記載の熱風循環炉。
4. An inflow part of a gas circulation path (4) into which an atmospheric gas (G) flowing in the heat treatment chamber (3) flows,
The hot-air circulation furnace according to claim 1, further comprising a sampling port (S) connected to the gas component detection device.
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KR101353584B1 (en) * 2012-07-06 2014-01-22 허혁재 Continuous furnace and detachalbe gas supply & exhaust unit for continuous furnace

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2005221135A (en) * 2004-02-05 2005-08-18 Ishin Giken:Kk Burning furnace
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