JPH0810171B2 - Ionization vacuum gauge - Google Patents
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- JPH0810171B2 JPH0810171B2 JP62166173A JP16617387A JPH0810171B2 JP H0810171 B2 JPH0810171 B2 JP H0810171B2 JP 62166173 A JP62166173 A JP 62166173A JP 16617387 A JP16617387 A JP 16617387A JP H0810171 B2 JPH0810171 B2 JP H0810171B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、電流制御の点に改良を加えた熱フィラメン
トを用いた電離真空計に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an ionization vacuum gauge using a hot filament improved in terms of current control.
（従来の技術） 電離真空計は一般的には10-3Torr台の中真空領域から
10-10Torr台の超高真空領域に渡る広範囲の圧力領域で
の計測に用いられている。前記の圧力領域をカバーする
真空計としては、現在のところ電離真空計が最も簡便で
多用されている。気体分子の電離手段としては、熱フィ
ラメントを利用するもの、放電を利用するものなどが、
熱フィラメントタイプが多く用いられている。(Prior Art) Ionization vacuum gauges are generally used in the medium vacuum range of 10 -3 Torr level.
It is used for measurement in a wide range of pressure range over the ultra-high vacuum range of 10 -10 Torr level. At present, an ionization vacuum gauge is the most simple and widely used as a vacuum gauge that covers the pressure range. As a means for ionizing gas molecules, one that uses a hot filament, one that uses discharge,
The hot filament type is often used.
（発明が解決しようとする問題点） 電離真空計の測定原理について簡単に図を用いて説明
すると、第３図はＢ−Ａ型電離真空計球の電極構成と駆
動電源を示す図である。(Problems to be Solved by the Invention) The measurement principle of the ionization vacuum gauge will be briefly described with reference to the drawings. FIG. 3 is a diagram showing an electrode configuration and a driving power supply of the BA ionization vacuum gauge sphere.
開口端が被測定真空装置Ａに連結されたガラス管より
なる電離真空計球１の内部には、熱フィラメント２、集
電子電極としてのグリッド３、集イオン電極としてのイ
オンコレクター４が配置されている。電離真空計球１内
の気体部子５は、熱フィラメント２から放出される電子
６によってイオン化され、イオンコレクター４に集めら
れる。Inside the ionization vacuum gauge sphere 1 composed of a glass tube whose open end is connected to the vacuum device A to be measured, a hot filament 2, a grid 3 as a current collecting electrode, and an ion collector 4 as a current collecting electrode are arranged. There is. The gas particles 5 in the ionization vacuum gauge sphere 1 are ionized by the electrons 6 emitted from the hot filament 2 and collected in the ion collector 4.
このときの圧力Ｐと、熱フィラメント２から放出され
る電子の電流（以下、熱電子放出電流）I1と、イオンが
イオンコレクター４に流入することによりイオンコレク
ター４に流れる電流（以下、イオンコレクター電流）Ic
との間には、比例係数をＳとして次式の成立することが
知られている。At this time, the pressure P, the current of electrons emitted from the hot filament 2 (hereinafter, thermionic emission current) I 1, and the current flowing in the ion collector 4 when the ions flow into the ion collector 4 (hereinafter, ion collector) Current) I c
It is known that the following equation is established between and, where S is a proportional coefficient.
Ｐ＝（1/S）×（Ic/I1） このＳの感度係数と呼ばれ、電離真空計固有の定数と
考えられるため、熱電子放出電流I1を一定に制御するこ
とによって、圧力Ｐはイオンコレクター電流Icを測定し
それに比例する量として求めることが出来る。P = (1 / S) × (I c / I 1 ) This is called the sensitivity coefficient of S and is considered to be a constant peculiar to the ionization vacuum gauge. Therefore, by controlling the thermoelectron emission current I 1 to a constant value, P can be obtained as a quantity proportional to the measured ion collector current I c .
圧力Ｐの測定範囲は、熱フィラメント２とガスとの反
応による熱フィラメント２の消耗が著しくなく、かつ、
圧力Ｐとイオンコレクター電流Icが比例関係にある圧力
範囲に限定される。高圧力領域では、圧力Ｐとイオンコ
レクター電流Icの直線関係が失われて、第５図の曲線の
ような現象を示すことはよく知られており、これは次の
ように説明されている。第３図で、熱フィラメント２を
発した電子６は最終的に全てグリッド３に流れ込むが、
この電子６に途中で衝突した気体分子は、同数のイオン
７と電子６′とに分離され、電子６′はグリッド３に収
集されI2となる。イオン７の大部分はイオンコレクター
４に流入してイオンコレクター電流Icとなり、一部は熱
フィラメント２に集められ、I2−Icとなる。この過程
は、第４図の各電極ボテンシャルからも理解される。The measurement range of the pressure P is such that the consumption of the hot filament 2 due to the reaction between the hot filament 2 and the gas is not remarkable, and
The pressure P is limited to the pressure range in which the ion collector current I c is in a proportional relationship. It is well known that in the high pressure region, the linear relationship between the pressure P and the ion collector current I c is lost, and a phenomenon like the curve of FIG. 5 is exhibited, which is explained as follows. . In FIG. 3, all the electrons 6 emitted from the hot filament 2 finally flow into the grid 3,
The gas molecules that collide with the electrons 6 on the way are separated into the same number of ions 7 and electrons 6 ′, and the electrons 6 ′ are collected by the grid 3 and become I 2 . Most of the ions 7 flow into the ion collector 4 to become the ion collector current I c , and part of them are collected in the hot filament 2 to become I 2 −I c . This process can be understood from the electrode potentials shown in FIG.
ただしこの第４図のVfはフィラメント電位、Vgはグリ
ッド電位、Vcはイオンコレクター電位である。However, in this FIG. 4, V f is the filament potential, V g is the grid potential, and V c is the ion collector potential.
第２図は、第１図に示す従来の電離真空計の回路の概
略を示す図である。第２図に示すように、熱フィラメン
ト２には、交流電源よりなるフィラメント電源が接続さ
れて交流電力が印加されるようになっている。フィラメ
ント電源の接続回路には、熱フィラメント２に所定のフ
ィラメント電位を供給する補助直流電源15の一端が接続
されている。補助直流電源15の他端は検出抵抗13を介し
て接地されている。一方、フィラメント電源の接続回路
には、定電流制御を行う制御器14が設けられており、検
出抵抗13で検出された電流に従ってこの制御器14が負帰
還制御される。FIG. 2 is a schematic diagram of a circuit of the conventional ionization vacuum gauge shown in FIG. As shown in FIG. 2, a filament power supply, which is an AC power supply, is connected to the hot filament 2 to apply AC power. One end of an auxiliary DC power supply 15 for supplying a predetermined filament potential to the hot filament 2 is connected to the filament power supply connection circuit. The other end of the auxiliary DC power supply 15 is grounded via the detection resistor 13. On the other hand, the filament power supply connection circuit is provided with a controller 14 that performs constant current control, and the controller 14 is negatively feedback-controlled according to the current detected by the detection resistor 13.
具体的に説明すると、熱フィラメント２には、フィラ
メント電源により印加された交流電圧に、補助直流電源
15が供給する電位が重畳して印加されるようになってい
る。この場合、熱フィラメント２に流れる電流のうちの
直流分の電流は、熱フィラメント２から放出される電子
による熱電子放出電流I1と、熱フィラメント２に流入す
るイオンによる電流I2−Icとの和である。第２図から分
かる通り、これらの直流分の電流は、検出抵抗13を通し
て流れてアースに流れる。この際検出抵抗13には流れた
電流に応じた電圧が生じ、この電圧が検出されて前述の
制御器14の負帰還制御に利用される。尚、グリッド３に
はグリッド用直流電源16による電位が供給されている。More specifically, the hot filament 2 includes an auxiliary DC power supply for the AC voltage applied by the filament power supply.
The potential supplied by 15 is superimposed and applied. In this case, the direct current of the current flowing through the hot filament 2 is the thermoelectron emission current I 1 due to the electrons emitted from the hot filament 2 and the current I 2 −I c due to the ions flowing into the hot filament 2. Is the sum of As can be seen from FIG. 2, these direct currents flow through the detection resistor 13 to the ground. At this time, a voltage corresponding to the flowing current is generated in the detection resistor 13, and this voltage is detected and used for the negative feedback control of the controller 14 described above. The grid 3 is supplied with a potential by a grid DC power supply 16.
第２図に示す従来の電離真空計では、検出抵抗13を通
って流れる熱フィラメント２の直流分の電流（電子の放
出及びイオンの流入による電流なので、以下、エミッシ
ョン電流Iefと呼ぶ）を一定にするよう制御器14が制御
される。つまり、検出抵抗13でエミッション電流Iefを
検出し、これが一定になるようにサイリスター等で構成
された制御器14を負帰還制御する。In the conventional ionization vacuum gauge shown in FIG. 2, the direct current of the hot filament 2 flowing through the detection resistor 13 (which is hereinafter referred to as the emission current I ef because it is a current due to electron emission and ion inflow) is constant. The controller 14 is controlled so that That is, the detection resistor 13 detects the emission current I ef , and the controller 14 constituted by a thyristor or the like performs negative feedback control so that the emission current I ef becomes constant.
この場合、定電流されるエミッション電流Iefは、前
述の通り電離に有効に関与する熱電子放出電流I1と、熱
フィラメントに流入するイオンによる電流I2−Icの和で
表され、 Ief＝I1＋I2−Icとなる。In this case, the constant-current emission current I ef is represented by the sum of the thermionic emission current I 1 effectively involved in ionization and the current I 2 −I c due to the ions flowing into the hot filament, as described above. the ef = I 1 + I 2 -I c.
圧力が低い領域では生成されるイオンの量が電子に比
して圧倒的に少ないので、I1》I2,Icとなり、Ief≒I1で
ある。このため、Iefを一定に制御することでI1が一定
であるとみなすことができ、前掲の式に従って圧力測定
が可能となる。しかし、圧力が高くなると、生成イオン
の数が熱電子放出電流に比して無視出来なくなり、Ief
中のI2の量が相対的に大きくなる。Iefは前述の通り定
電流制御されているため、結果的にI1が相対的に小さく
なる。その結果、電子によってイオン化される気体分子
の量も少なくなり、イオンコレクター電流Icも減少して
いく。In the low pressure region, the amount of generated ions is overwhelmingly smaller than that of electrons, so that I 1 >> I 2 , I c , and I ef ≈I 1 . Therefore, by controlling I ef to be constant, I 1 can be regarded as constant, and the pressure can be measured according to the above equation. However, when the pressure increases, the number of generated ions becomes non-negligible compared to the thermionic emission current, and I ef
The amount of I 2 in it becomes relatively large. Since I ef is controlled by the constant current as described above, I 1 becomes relatively small as a result. As a result, the amount of gas molecules ionized by the electrons also decreases, and the ion collector current I c also decreases.
そこで従来電離真空計の電源部17では圧力Ｐと電流Ic
とが比例関係にあるとみなせる範囲の上限付近にて熱フ
ィラメント２の加熱を自動的に停止させて、熱フィラメ
ントの保護および測定の中止を行っていた。その回路は
概念的には第２図で説明される。即ち、電離真空計１に
より電離されたイオン７は、イオンコレクター４に集め
られ、それによって生じたイオンコレクター電流はエレ
クトロメータ８にて増幅される。この出力は、一つの圧
力メータ９にて圧力値として表示され、同時に、比較器
10によって、予め圧力上限値に対応して設けられた基準
電圧11と比較され、圧力上限Pmaxに達すると、比較器10
が作動し、フィラメントスイッチ12をオフしている。Therefore, in the power supply section 17 of the conventional ionization vacuum gauge, pressure P and current I c
The heating of the hot filament 2 is automatically stopped near the upper limit of the range in which can be considered to be proportional, and the hot filament is protected and the measurement is stopped. The circuit is conceptually illustrated in FIG. That is, the ions 7 ionized by the ionization vacuum gauge 1 are collected in the ion collector 4, and the ion collector current generated thereby is amplified by the electrometer 8. This output is displayed as a pressure value on one pressure meter 9, and at the same time, the comparator
10 is compared with a reference voltage 11 provided in advance corresponding to the pressure upper limit value, and when the pressure upper limit P max is reached, the comparator 10
Is activated and the filament switch 12 is turned off.
（従来技術の問題点） しかしながら、上記従来の電離真空計球１および電源
部17には次のような欠点がある。(Problems of Prior Art) However, the conventional ionization vacuum gauge ball 1 and the power supply unit 17 have the following drawbacks.
即ち、電離真空計の圧力Ｐと、イオンコレクター電流
Icの間には第５図に見られる基本特性があるため、測定
上限圧力Pthより十分高い圧力P1にて熱フィラメントを
点灯させた場合に、（フィラメントの消耗による断線が
ない場合には）、実際の圧力がP1であるにもかかわら
ず、あたかも別の低圧力P2であるような表示をしてしま
うことがあった。即ち例えば、実際の圧力P1が数10Torr
の時に熱フィラメント２を点灯させると比較器10が作動
せず、熱フィラメント２の停止判断が出来ないため測定
は継続され、誤った圧力表示を与えてしまうことがあっ
た（例えばP2として10-3〜10-4Torr台を表示したりす
る。） このようなことが発生すると、真空中でのプロセス作
業に重大な影響を及ぼし、且つ、熱フィラメント断線の
原因ともなる。That is, the pressure P of the ionization vacuum gauge and the ion collector current
Since there is a basic characteristic shown in FIG. 5 between I c , when the hot filament is turned on at a pressure P 1 that is sufficiently higher than the measurement upper limit pressure P th , (when there is no disconnection due to filament consumption, ), The actual pressure was P 1 , but it was displayed as if it was another low pressure P 2 . That is, for example, the actual pressure P 1 is several tens Torr
When the hot filament 2 is turned on at the time, the comparator 10 does not operate, and it is not possible to determine whether the hot filament 2 is stopped. Therefore, the measurement may be continued and an erroneous pressure display may be given (for example, as P 2 10 -3 to 10 -4 Torr level is displayed.) When such a thing occurs, it has a serious influence on the process work in a vacuum and also causes a break of the hot filament.
（発明の目的） 本発明は、上記問題を解決し、圧力上限を越えた圧力
領域では熱フィラメントの保護回路が必ず作動し、信頼
性のある圧力測定と熱フィラメント保護が可能となるよ
うな電離真空計の提供を目的とする。(Object of the Invention) The present invention solves the above-mentioned problems, and the protection circuit of the hot filament always operates in a pressure region exceeding the upper pressure limit, and ionization is performed so that reliable pressure measurement and hot filament protection can be performed. The purpose is to provide a vacuum gauge.
（発明の構成） 本発明は、熱フィラメントにフィラメント電源から電
力を供給し、熱フィラメントから放出された電子が測定
空間に存在する気体分子をイオン化させ、このイオン化
による電流を検出して測定空間の真空圧力を測定する電
離真空計であって、 熱フィラメントから放出される電子及び熱フィラメン
トに流入するイオンによって流れるエミッション電流を
検出し、このエミッション電流が一定になるように前記
熱フィラメントへの電力供給を制御する電離真空計にお
いて、 前記フィラメント電源によって電力供給される熱フィ
ラメントの通電電流をモニターする電流モニター手段
と、測定空間の圧力が所定の値よりも高くなることによ
って熱フィラメントの通電電流が所定の値以下になった
のを当該電流モニター手段からの信号で検出して前記熱
フィラメントへの電力供給を停止させる手段とを備えた
電離真空計によって前記目的を達成したものである。(Structure of the Invention) The present invention supplies electric power to a hot filament from a filament power source, electrons emitted from the hot filament ionize gas molecules existing in the measurement space, and the current due to this ionization is detected to detect the current in the measurement space. An ionization vacuum gauge for measuring vacuum pressure, which detects an emission current flowing by electrons emitted from a hot filament and ions flowing into the hot filament, and supplies electric power to the hot filament so that the emission current becomes constant. In the ionization vacuum gauge for controlling the current, the current monitoring means for monitoring the energizing current of the hot filament supplied by the filament power source, and the energizing current of the hot filament is set to a predetermined value by the pressure in the measurement space becoming higher than a predetermined value The signal from the current monitoring means is below the value of The ionization vacuum gauge and means for stopping detecting and power supply to the heat filament is obtained by achieving the above object.
（作用） 上記構成にかかる本願発明の電離真空計においては、
測定空間の圧力が所定の値よりも高い場合、熱フィラメ
ントの通電電流が所定の値以下になり、これを電流モニ
ター手段が検出する。この電流モニター手段の検出によ
って、熱フィラメントへの電力供給が停止される。(Operation) In the ionization vacuum gauge of the present invention according to the above configuration,
When the pressure in the measurement space is higher than a predetermined value, the current passing through the hot filament becomes a predetermined value or less, which is detected by the current monitor means. The electric power supply to the hot filament is stopped by the detection of the current monitor means.
（実施例） 第１図は本発明の実施例の電離真空計の回路の概略を
示す図である。１は電離真空計球であり、真空容器Ａに
接続されている。２は熱フィメント、３はグリッド、４
はイオンコレクター、５は電離真空計球１内の気体分
子、６は熱電子放出により放出された電子、７は電離さ
れたイオンである。イオン７は、イオンコレクター４に
より集められイオンコレクター電流となる。イオンコレ
クター電流は、エレクロメータ８で増幅される。エレク
トロメータ８により増幅された信号は、圧力値として圧
力メータ９に表示されるが、それに平行して比較器10に
入力される。また熱フィラメント２側のエミッション電
流Iefは検出抵抗13により検出され、制御器14によってI
efは一定となるよう制御されている。15はフィラメント
電位を供給する直流電源、16はグリッド電位を供給する
グリッド用直流電源、17は電源部である。(Embodiment) FIG. 1 is a diagram showing a schematic circuit of an ionization vacuum gauge according to an embodiment of the present invention. An ionization vacuum gauge ball 1 is connected to the vacuum container A. 2 is heat fiment, 3 is grid, 4
Is an ion collector, 5 is a gas molecule in the ionization vacuum gauge sphere 1, 6 is an electron emitted by thermionic emission, and 7 is an ionized ion. The ions 7 are collected by the ion collector 4 and become an ion collector current. The ion collector current is amplified by the electrometer 8. The signal amplified by the electrometer 8 is displayed as a pressure value on the pressure meter 9, and is input to the comparator 10 in parallel therewith. Further, the emission current I ef on the side of the hot filament 2 is detected by the detection resistor 13 and I by the controller 14.
ef is controlled to be constant. Reference numeral 15 is a DC power supply that supplies a filament potential, 16 is a grid DC power supply that supplies a grid potential, and 17 is a power supply unit.
本実施例では、フィラメント通電電流Ifをモニターす
る電流モニター手段としてフィラメント通電電流検出機
構19が設けられている。フィラメント通電電流Ifは、交
流電源よりなるフィラメント電源によって熱フィラメン
ト２に通電される電流の実際の大きさのことである。In this embodiment, the filament energizing current detecting mechanism 19 is provided as a current monitoring means for monitoring the filament energizing current I f. The filament current I f is the actual magnitude of the current that is applied to the hot filament 2 by the filament power source that is an AC power source.
圧力が高くなると、上記フィラメント通電電流検出機
構19により検出されるフィラメント通電電流が小さくな
り、これが所定の値以下になると、圧力上限を越えたと
判断して熱フィラメント２への電力供給を停止するよう
構成されている。When the pressure becomes higher, the filament energizing current detected by the filament energizing current detecting mechanism 19 becomes smaller, and when it becomes a predetermined value or less, it is judged that the pressure upper limit is exceeded and the power supply to the hot filament 2 is stopped. It is configured.
圧力上昇によってフィラメント通電電流Ifが低下する
理由は、第３図により説明される。即ち第３図におい
て、熱フィラメント２から放出される電子と熱フィラメ
ント２に流入するイオンとによって流れるエミッション
電流Iefは Ief＝I1＋I2−Ic＝CONST となりこれが一定値になるように制御されている。前述
のように、低圧側ではIef≒I1であるが、圧力が増加し
ていくと熱フィラメント２に流れ込むイオンの量が増加
し、I2−Icが増加する。Iefは定電流制御されているの
で、I2−Icの増加に伴い、相対的に熱電子放出電流I1が
減少する。この場合、熱電子放出電流I1はフィラメント
加熱のためのフィラメント通電電流Ifの関数であるか
ら、熱電子放出電流I1の減少に伴い、必要なフィラメン
ト電流電流Ifも減少する。つまり、圧力上昇によってI2
−Icが増加した場合、制御器14は、Iefを一定に保つた
めフィラメント通電電流Ifを減少させて熱電子放出電流
I1が少なくなるよう制御するのである。The reason why the filament current I f decreases due to the increase in pressure is explained with reference to FIG. That is, in FIG. 3, the emission current I ef flowing by the electrons emitted from the hot filament 2 and the ions flowing into the hot filament 2 becomes I ef = I 1 + I 2 −I c = CONST, so that this becomes a constant value. Controlled. As described above, I ef ≈I 1 on the low pressure side, but as the pressure increases, the amount of ions flowing into the hot filament 2 increases and I 2 −I c increases. Since I ef is under constant current control, the thermionic emission current I 1 relatively decreases as I 2 −I c increases. In this case, since the thermoelectron emission current I 1 is a function of the filament conduction current I f for heating the filament, the required filament current current I f also decreases as the thermoelectron emission current I 1 decreases. That is, I 2
When −I c increases, the controller 14 decreases the filament conduction current I f to keep I ef constant and decreases the thermionic emission current.
It is controlled so that I 1 becomes small.
電力供給を停止する手段について説明すると、フィラ
メント通電電流検出機構19は、上記フィラメント通電電
流Ifを検出するとともにこれを基準電圧21と比較する。Explaining the means for stopping the power supply, the filament conduction current detection mechanism 19 detects the filament conduction current If and compares it with the reference voltage 21.
比較器10は、フィラメント通電電流検出機構19で得ら
れた結果は、論理和回路22に入る。そして比較器10,フ
ィラメント通電電流検出機構19の何れかが動作すると、
フィラメントスイッチ12がオフとなり、熱フィラメント
２への電力供給が停止されるようになっている。In the comparator 10, the result obtained by the filament conduction current detection mechanism 19 is input to the logical sum circuit 22. Then, when either the comparator 10 or the filament conduction current detection mechanism 19 operates,
The filament switch 12 is turned off, and the power supply to the hot filament 2 is stopped.
論理回路22への入力は比較器19の単独入力でも問題は
ない。The input to the logic circuit 22 may be the single input of the comparator 19 without any problem.
（発明の効果） 本発明によれば、電離真空計の圧力上限値以上の圧力
領域では熱フィラメントの点灯が停止され、圧力の誤表
示をなくするとともに、信頼性のある圧力測定が可能と
なる。(Effects of the Invention) According to the present invention, lighting of the hot filament is stopped in the pressure region of the pressure upper limit value or more of the ionization vacuum gauge, and erroneous display of pressure can be eliminated and reliable pressure measurement can be performed. .
第１図は、本発明の実施例の電離真空計の回路の概略を
示す図。 第２図は、従来の電離真空計の回路の概略を示す図。 第３図は、Ｂ−Ａ型電離真空計球の電極構成と駆動電源
示す図。 第４図は、各電極ボテンシャルの図。 第５図は、圧力とイオンコレクター電流の関係を示すグ
ラフ。 第６図は、真空圧力の圧力上限値付近における判別の
図。 Ａは真空容器、１は電離真空計球、２は熱フィラメン
ト、３は集電子電極としてのグリッド、４は集イオン電
極としてのイオンコレクター、５は気体分子、６は熱電
子、７は電離されたイオン、８はエレクトロメータ、９
は圧力メータ、10は比較器、12はフィラメントスイッ
チ、13は検出抵抗、14は制御器、15はフィラメント電位
を供給する補助直流電源、16はグリッド電位を供給する
グリッド用直流電源、17は電源部、19はフィラメント通
電電流検出機構、21は基準電圧、22は論理和回路であ
る。FIG. 1 is a diagram showing an outline of a circuit of an ionization vacuum gauge according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram schematically showing a circuit of a conventional ionization vacuum gauge. FIG. 3 is a diagram showing an electrode configuration and a driving power source of a BA type ionization vacuum gauge sphere. FIG. 4 is a diagram of each electrode potential. FIG. 5 is a graph showing the relationship between pressure and ion collector current. FIG. 6 is a diagram of discrimination in the vicinity of the upper pressure limit of the vacuum pressure. A is a vacuum container, 1 is an ionization vacuum gauge ball, 2 is a hot filament, 3 is a grid as a collector electrode, 4 is an ion collector as a collector ion electrode, 5 is a gas molecule, 6 is a thermoelectron, and 7 is ionized. Ion, 8 is electrometer, 9
Is a pressure meter, 10 is a comparator, 12 is a filament switch, 13 is a detection resistor, 14 is a controller, 15 is an auxiliary DC power supply that supplies a filament potential, 16 is a grid DC power supply that supplies a grid potential, and 17 is a power supply. Reference numeral 19 is a filament conduction current detection mechanism, 21 is a reference voltage, and 22 is an OR circuit.
Claims (1)
力を供給し、熱フィラメントから放出された電子が測定
空間に存在する気体分子をイオン化させ、このイオ化に
よる電流を検出して測定空間の真空圧力を測定する電離
真空計であって、 熱フィラメントから放出される電子及び熱フィラメント
に流入するイオンによって流れるエミッション電流を検
出し、このエミッション電流が一定になるように前記熱
フィラメントへの電力供給を制御する電離真空計におい
て、 前記フィラメント電源によって電力供給される熱フィラ
メントの通電電流をモニターする電流モニター手段と、
測定空間の圧力が所定の値よりも高くなることによって
熱フィラメントの通電電流が所定の値以下になったのを
当該電流モニター手段からの信号で検出して前記フィラ
メントへの電力供給を停止させる手段とを備えたことを
特徴とする電離真空計。1. A hot filament is supplied with electric power from a filament power source, electrons emitted from the hot filament ionize gas molecules existing in the measurement space, and the current due to this ionization is detected to detect the vacuum pressure in the measurement space. An ionization vacuum gauge for measuring, detecting an emission current flowing by electrons emitted from a hot filament and ions flowing into the hot filament, and controlling power supply to the hot filament so that the emission current becomes constant. In the ionization vacuum gauge, current monitor means for monitoring the current flow of the hot filament supplied by the filament power supply,
A means for stopping the supply of electric power to the filament by detecting that the energizing current of the hot filament becomes a predetermined value or less due to the pressure in the measurement space becoming higher than a predetermined value by a signal from the current monitoring means. An ionization vacuum gauge characterized by having and.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62166173A JPH0810171B2 (en) | 1987-07-02 | 1987-07-02 | Ionization vacuum gauge |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62166173A JPH0810171B2 (en) | 1987-07-02 | 1987-07-02 | Ionization vacuum gauge |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6410143A JPS6410143A (en) | 1989-01-13 |
| JPH0810171B2 true JPH0810171B2 (en) | 1996-01-31 |
Family
ID=15826427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62166173A Expired - Lifetime JPH0810171B2 (en) | 1987-07-02 | 1987-07-02 | Ionization vacuum gauge |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810171B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9906788D0 (en) * | 1999-03-24 | 1999-05-19 | Boc Group Plc | Vacuum gauge |
| CN102138070B (en) * | 2009-03-18 | 2014-01-15 | 株式会社爱发科 | Method for detecting oxigen, method for determining air leakage, gas component detector, and vacuum processor |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5465076A (en) * | 1977-11-01 | 1979-05-25 | Yoshio Iijima | Filament burn prevented ionization vacuum gauge |
-
1987
- 1987-07-02 JP JP62166173A patent/JPH0810171B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6410143A (en) | 1989-01-13 |
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