JPH08101364A - Production of liquid crystal panel and apparatus for producing the same - Google Patents

Production of liquid crystal panel and apparatus for producing the same

Info

Publication number
JPH08101364A
JPH08101364A JP23908094A JP23908094A JPH08101364A JP H08101364 A JPH08101364 A JP H08101364A JP 23908094 A JP23908094 A JP 23908094A JP 23908094 A JP23908094 A JP 23908094A JP H08101364 A JPH08101364 A JP H08101364A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printing
substrate
alignment film
alignment
mark
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP23908094A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kuniaki Furukawa
訓朗 古川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP23908094A priority Critical patent/JPH08101364A/en
Publication of JPH08101364A publication Critical patent/JPH08101364A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PURPOSE: To improve productivity by obviating mispositioning of the oriented film forming area of a glass substrate surface with respect to a glass substrate. CONSTITUTION: This process is constituted by including a stage for detecting the mispositioning of a positioning mark 122a and positioning mark 411a formed in the position corresponding to the positioning mark 411a of the substrate at the moment the positioning mark 411a during the stage of rotating a plate cylinder 243 having a letterpress part 243a for printing an oriented film soln. and the positioning mark 411a near the outer side thereof in the state of bringing this plate cylinder into contact with the substrate on a printing stage 412 and printing the surface of the substrate moving cooperatively with rotation of the plate cylinder 243 with the oriented film soln. 123' applied on the letterpress part 243a faces the substrate or comes into contact therewith into a stage for printing the substrate existing on the printing stage 412 in the positioned state with the oriented film soln. 123' by a letterpress printing technique.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は液晶パネルの製造方法と
製造装置に係り、特に配向膜形成域の基板に対する位置
ずれをなくして生産性向上を図った液晶パネルの製造方
法と製造装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a manufacturing method and a manufacturing apparatus for a liquid crystal panel, and more particularly to a manufacturing method and a manufacturing apparatus for a liquid crystal panel which eliminates misalignment of an alignment film forming region with respect to a substrate to improve productivity.

【0002】パーソナルコンピュータやワードプロセッ
サ等の分野では情報表示手段に従来のブラウン管(CR
T)表示に代わるものとして薄型化,軽量化,低消費電
力化が実現し得る液晶表示装置が多用されるようになっ
てきている。
In the field of personal computers, word processors, etc., conventional cathode ray tubes (CR) are used as information display means.
T) As an alternative to the display, a liquid crystal display device that can realize thinness, lightness, and low power consumption has been widely used.

【0003】そしてかかる液晶表示装置を構成する液晶
パネルには、二枚の透明基板で単純な電極線マトリック
スを形成した後液晶体を封入して構成するSTN(Supe
r Twist Nematic )液晶パネルと、例えば一枚の基板上
に各交点が短絡しない電極線マトリックスとそれぞれの
各交点近傍にX,Y 電極線に繋がる薄膜トランジスタとを
パターン形成した後他の基板との間に液晶体を封入して
構成したTFT(ThinFilm Transistor)液晶パネルとが
実用化されている。
In a liquid crystal panel constituting such a liquid crystal display device, an STN (Supe) is formed by forming a simple electrode line matrix with two transparent substrates and then enclosing a liquid crystal body.
r Twist Nematic) Between a liquid crystal panel and another substrate, for example, after patterning an electrode line matrix that does not short-circuit each intersection on one substrate and a thin film transistor connected to the X and Y electrode lines near each intersection. A TFT (Thin Film Transistor) liquid crystal panel which is configured by enclosing a liquid crystal body in the above has been put into practical use.

【0004】[0004]

【従来の技術】技術的背景としての図5は液晶パネルと
しての基本的構成例を概略的に説明する図であり、図6
は従来の配向膜溶液の印刷方法をその装置と共に説明す
る図である。
2. Description of the Related Art FIG. 5 as a technical background is a diagram for schematically explaining a basic configuration example of a liquid crystal panel.
FIG. 6 is a diagram illustrating a conventional method of printing an alignment film solution together with the apparatus.

【0005】一部を拡大して断面視した図5で液晶パネ
ル1は、バックライトL1側表面に第1の偏光板11が添着
された第1の基板12と、透過光L2側表面すなわち作業者
観察側表面に第2の偏光板15が添着された第2の基板1
6、および該第1,第2の基板12,16 の間に封入された
液晶体13とで構成されている。
In a partially enlarged cross-sectional view of FIG. 5, a liquid crystal panel 1 has a first substrate 12 in which a first polarizing plate 11 is attached to a surface of a backlight L 1 side and a surface of a transmitted light L 2 side. That is, the second substrate 1 having the second polarizing plate 15 attached to the operator observation side surface
6 and a liquid crystal body 13 enclosed between the first and second substrates 12 and 16.

【0006】この内第1の基板12は、透明なガラス基板
121 の内側片面(図では上面)に矢印Aを長手方向とす
る複数の透明電極122 を平行して形成した後、液晶分子
配列を整えるためのポリイミド樹脂からなる第1の配向
膜123 を該各透明電極122 を覆うように該ガラス基板12
1 の所定領域に被覆形成して構成されているものであ
る。
The first substrate 12 is a transparent glass substrate.
After forming a plurality of transparent electrodes 122 having the arrow A as the longitudinal direction in parallel on one inner surface (upper surface in the figure) of 121, a first alignment film 123 made of a polyimide resin for aligning liquid crystal molecules is formed on each of the transparent electrodes 122. The glass substrate 12 so as to cover the transparent electrode 122.
1 is formed by coating on a predetermined area.

【0007】また第2の基板16は透明なガラス基板161
の内側片面(図では下面)に、後述する所定位置に開口
窓162aを具えたクロム(Cr)等からなるブラックマスク16
2 とその開口窓162aの領域にカラーフィルタ163 とを層
形成し更に該カラーフィルタ163 を含むブラックマスク
162 の全面を保護膜としてのトップコート164 で被覆し
た後、該トップコート164 の表面(図では下面)に矢印
Bを長手方向とする複数の透明電極165 を平行して形成
し更に液晶分子配列を整えるためのポリイミド樹脂から
なる第2の配向膜166 を該各透明電極165 を覆うように
該ガラス基板161 の所定領域に上記方法で被覆形成して
構成されているものである。
The second substrate 16 is a transparent glass substrate 161.
A black mask 16 made of chrome (Cr) or the like having an opening window 162a at a predetermined position described later on one inner surface (lower surface in the figure) of the
2 and a color filter 163 formed in the area of the opening window 162a thereof, and a black mask including the color filter 163.
After the entire surface of 162 is covered with a top coat 164 as a protective film, a plurality of transparent electrodes 165 with the arrow B in the longitudinal direction are formed in parallel on the surface (lower surface in the figure) of the top coat 164, and liquid crystal molecular alignment is performed. A second alignment film 166 made of a polyimide resin for adjusting the above is formed by coating the predetermined region of the glass substrate 161 by the above method so as to cover each transparent electrode 165.

【0008】なおこの場合の第1及び第2の各配向膜12
3,163 は、いずれもポリイミド樹脂の前駆体であるポリ
アミック酸溶液または可溶性ポリイミド溶液(以下文中
では一括して配向膜溶液とする)等をガラス基板の表面
所定領域に例えば凸版印刷方法等で印刷した後、通常の
乾燥炉等による加熱で乾燥硬化せしめて形成するように
している。
In this case, each of the first and second alignment films 12
3,163 is a polyimide resin precursor after printing a polyamic acid solution or a soluble polyimide solution (hereinafter collectively referred to as an alignment film solution) on a predetermined area of the surface of the glass substrate by, for example, a letterpress printing method or the like. It is formed by being dried and cured by heating in a normal drying oven or the like.

【0009】また上記ブラックマスク162 の各開口窓16
2aは、上記第1の基板12と該第2の基板16とを位置決め
して対向させたときの上記透明電極122 と165 の全交点
領域に形成されるようになっている。
Further, each opening window 16 of the black mask 162
2a is formed in the entire intersection area of the transparent electrodes 122 and 165 when the first substrate 12 and the second substrate 16 are positioned and opposed to each other.

【0010】そこで、上記第1,第2の各配向膜123,16
6 が対面するように第1,第2の基板12,16 の周辺をエ
ポキシ系樹脂等からなるシール材167 で所定ギャップを
保って位置決め固定した後該ギャップ領域に液晶体13を
封入し、該第1および第2の基板11,16 の両外面に偏光
方向が互いに直交するように上記第1,第2の偏光板1
1,15 を添着することで所要の液晶パネル1を構成する
ことができる。
Therefore, the first and second alignment films 123 and 16 are formed.
The peripheral surfaces of the first and second substrates 12 and 16 are positioned and fixed with a sealing material 167 made of epoxy resin or the like so as to face each other with a predetermined gap maintained so that the liquid crystal body 13 is sealed in the gap region. The first and second polarizing plates 1 are arranged on both outer surfaces of the first and second substrates 11 and 16 so that their polarization directions are orthogonal to each other.
The required liquid crystal panel 1 can be constructed by attaching 1,15.

【0011】かかる液晶パネル1では、第1の基板12の
表面すなわち第1の偏光板11側の面全面から入射するバ
ックライトL1が上述したブラックマスク16のマトリック
ス状に位置する開口窓162aひいてはカラーフィルタ163
の領域でのみ透過し得るので、該各開口窓162aを透過す
る光を遮断しまたは通すことで所要の文字や記号を表示
することができる。
In such a liquid crystal panel 1, the backlight L 1 incident from the entire surface of the first substrate 12, that is, the entire surface on the side of the first polarizing plate 11, has the opening windows 162a and thus the opening windows 162a arranged in the matrix of the black mask 16 described above. Color filter 163
Since the light can be transmitted only in the area of, the required characters and symbols can be displayed by blocking or passing the light transmitted through the respective opening windows 162a.

【0012】ガラス基板121 の表面所定域に第1の配向
膜123 を形成する場合を例とする図6で、配向膜溶液印
刷装置2は大別すると、基盤21上の基板流れ方向すなわ
ち図示X1方向に順に整列して固定された基板載置台22
と, 第1のキャリア23, 凸版印刷部24, 第2のキャリア
25, 及びストッカ装置26からなる。
In FIG. 6, which illustrates the case where the first alignment film 123 is formed in a predetermined area on the surface of the glass substrate 121, the alignment film solution printing apparatus 2 is roughly classified into the substrate flow direction on the substrate 21, that is, the X Substrate mounting table 22 aligned and fixed in order in one direction 22
And, first carrier 23, letterpress printing section 24, second carrier
25 and a stocker device 26.

【0013】この内基板載置台22は、例えば表面から突
出し電気信号によって移動し得る複数(図では8個)の
位置決めピン221aによる載置された基板の周辺への押圧
で該基板をX,Y方向に移動させたり同一平面内で回転
させて該基板としての位置調整が実現し得る基板位置調
整機構部221 と、その上面に装着された基板載置板222
とからなっているものである。
The inner substrate mounting table 22 pushes the substrate X, Y by pressing a plurality of (eight in the figure) positioning pins 221a to the periphery of the mounted substrate, which project from the surface and can be moved by an electric signal. A substrate position adjusting mechanism portion 221 capable of adjusting the position of the substrate by moving it in the same direction or rotating in the same plane, and a substrate mounting plate 222 mounted on the upper surface thereof.
It consists of and.

【0014】そして、配向膜形成面を上側にしたガラス
基板121 が図示されないキャリア等で該載置板222 上に
載置されると、該載置板222 から突出し図示されない制
御部からの信号で作動する上記位置決めピン221aによっ
て該基板121 が位置決めされると共に、上記信号を変え
ることで基板としての位置が微調整し得るようになって
いる。
Then, when the glass substrate 121 with the orientation film forming surface facing upward is placed on the mounting plate 222 by a carrier (not shown) or the like, it projects from the mounting plate 222 and receives a signal from a control unit (not shown). The board 121 is positioned by the operating positioning pin 221a, and the position of the board can be finely adjusted by changing the signal.

【0015】また第1のキャリア23と第2のキャリア25
は、基盤21に対して例えば 180°の範囲で回転し得る回
転軸23a,25a の上端に水平方向に延びるハンドラ23b,25
b を備えて構成されているものであり、該各ハンドラ23
b,25b にはそれに対して前後進し得るフォーク爪23c,25
c (25cは図示されない) が配設されている。
Further, the first carrier 23 and the second carrier 25
Is a handler 23b, 25 that extends horizontally at the upper end of rotating shafts 23a, 25a that can rotate, for example, in the range of 180 ° with respect to the base 21.
Each of the handlers 23
b and 25b have fork claws 23c and 25 that can move forward and backward.
c (25c is not shown) is provided.

【0016】そして、該各回転軸23a,25a の回転とそれ
ぞれのフォーク爪23c,25c の前後進とはいずれも図示さ
れない制御部からの信号で動作するようになっており、
例えば第1のキャリア23は上記フォーク爪23c で上述し
た基板載置板222 上のガラス基板121 をその下面側で保
持した状態で水平方向に 180°回転し後述する印刷ステ
ージ上に載置し得るようになっていると共に、第2のキ
ャリア25はそのフォーク爪25c (図では記載せず)で上
記印刷ステージ上のガラス基板121 をその下面側で保持
した状態で水平方向に 180°回転して上記ストッカ装置
26上の所定位置に移送し得るようになっている。
The rotation of the rotary shafts 23a and 25a and the forward and backward movement of the fork pawls 23c and 25c are both operated by signals from a control unit (not shown).
For example, the first carrier 23 can be mounted on the printing stage to be described later by rotating 180 ° horizontally while holding the glass substrate 121 on the substrate mounting plate 222 on the lower surface side by the fork claws 23c. In addition, the second carrier 25 is rotated 180 ° in the horizontal direction with the fork claw 25c (not shown in the figure) holding the glass substrate 121 on the printing stage on its lower surface side. The stocker device
It can be transferred to a predetermined position on 26.

【0017】また上記第1のキャリア23と第2のキャリ
ア25の中間に配置された凸版印刷部24は、上記Y方向に
配設されて制御部241 からの信号で該Y方向を軸として
回転する回転軸242 に一体化された版胴243 と該版胴24
3 の下部対応位置に配置されて制御部241 からの信号で
上下及びX方向に移動し得る上記印刷ステージ244 とで
構成されている。
The letterpress printing section 24, which is arranged between the first carrier 23 and the second carrier 25, is arranged in the Y direction and rotates about the Y direction by a signal from the control section 241. Plate cylinder 243 integrated with the rotating shaft 242 and the plate cylinder 24
The print stage 244 is arranged at a position corresponding to the lower part of 3 and can move up and down and in the X direction in response to a signal from the control unit 241.

【0018】なおこの場合の該印刷ステージ244 は、そ
の上面に載置された上記ガラス基板121 の表面が版胴24
3 の表面所定位置に突出して形成されている配向膜形成
域と等しい大きさの凸版部243aと接触した時点で該版胴
243 の回転に連動してX1方向に移動し、その接触がなく
なった時点で逆方向すなわちX2方向に移動して初期位置
に戻るようになっていると共に、該版胴243 の回転に関
係なく上記制御部241からの信号で上下方向に移動し得
るようになっている。
In the printing stage 244 in this case, the surface of the glass substrate 121 placed on the upper surface of the printing stage 244 is the plate cylinder 24.
When the plate cylinder 243a having the same size as the alignment film forming region protrudingly formed at a predetermined position on the surface of the plate 3 comes into contact with the plate cylinder.
It moves in the X 1 direction in conjunction with the rotation of the 243, and when the contact is lost, moves in the opposite direction, that is, the X 2 direction to return to the initial position, and is related to the rotation of the plate cylinder 243. Instead, it can move in the vertical direction by a signal from the control unit 241.

【0019】従って、上記基板載置板222 に位置決め載
置されているガラス基板121 を第1のキャリア23で矢印
A1のように印刷ステージ244 上に載置した後、該印刷ス
テージ244 を制御部241 からの信号で上記凸版部243aが
該ガラス基板121 と接触する位置まで上昇せしめ、上述
した配向膜溶液 123′が凸版部243aに塗布されている上
記版胴243 を回転させると、該凸版部243aの回転に連動
してX1方向に移動する印刷ステージ244 上のガラス基板
面に上記配向膜溶液 123′を印刷することができる。
Therefore, the glass substrate 121 positioned and placed on the substrate placing plate 222 is indicated by the arrow of the first carrier 23.
After being placed on the printing stage 244 as in A 1 , the printing stage 244 is raised to a position where the letterpress section 243a comes into contact with the glass substrate 121 by a signal from the control section 241, and the above alignment film solution 123 'When the plate cylinder 243 coated on the relief plate portion 243a is rotated, the alignment film solution 123' on the glass substrate surface on the printing stage 244 that moves in the X 1 direction in conjunction with the rotation of the relief plate portion 243a. Can be printed.

【0020】次いで該印刷ステージ244 を初期位置まで
降下せしめた後、第2のキャリア25で該ガラス基板121
を矢印A2のようにストッカ装置26に移送して図示のガラ
ス基板 121′の状態にし、更に例えば乾燥炉等で上記配
向膜溶液 123′を乾燥硬化せしめて該ガラス基板121 上
に図5で説明した所要の配向膜123 を形成するようにし
ている。
Next, after the printing stage 244 is lowered to the initial position, the glass substrate 121 is moved by the second carrier 25.
Is transferred to the stocker device 26 as indicated by an arrow A 2 to form the illustrated glass substrate 121 ′, and the alignment film solution 123 ′ is dried and hardened in, for example, a drying oven or the like, and the glass substrate 121 ′ shown in FIG. The required alignment film 123 described above is formed.

【0021】一方、配向膜形成域は液晶パネルとしての
表示領域を規制するものであるため可能な限り大きくす
ることが望ましいが、該配向膜形成域の周辺は図5で説
明したようにシール材167 で封止される。
On the other hand, since the alignment film formation region regulates the display region of the liquid crystal panel, it is desirable to make it as large as possible. However, the periphery of the alignment film formation region is the sealing material as described in FIG. Sealed with 167.

【0022】この場合上記配向膜が該シール材167 によ
る封止域まで形成されていると、該シール材167 とガラ
ス基板面との間に配向膜が介在することになってガラス
基板面とシール材167 との間の密着性が低下して封止不
良が生じ易く、結果的に液晶パネルとしての特性が低下
することがある。
In this case, if the alignment film is formed up to the sealing region by the sealing material 167, the alignment film is interposed between the sealing material 167 and the glass substrate surface, and the glass substrate surface is sealed. Adhesion with the material 167 may be deteriorated and a sealing failure may easily occur, resulting in deterioration of the characteristics of the liquid crystal panel.

【0023】従って、シール材形成部内側のできるだけ
大きい領域まで配向膜を形成する必要がある。このこと
はガラス基板と配向膜形成域との相対的位置関係を厳し
く設定した上で上述した配向膜溶液を印刷する必要があ
ることを意味する。
Therefore, it is necessary to form the alignment film in a region as large as possible inside the seal material forming portion. This means that it is necessary to strictly set the relative positional relationship between the glass substrate and the alignment film forming region and then print the above-mentioned alignment film solution.

【0024】そこで従来は、位置合わせ用として予め準
備したガラス基板に図6で説明した手順を経て配向膜を
形成し、得られた配向膜形成域の該ガラス基板に対する
位置ずれ量を測定して上記基板載置板222 上のガラス基
板の位置調整を行った後、量産用のガラス基板121 への
配向膜形成作業を行うようにしている。
Therefore, conventionally, an alignment film is formed on a glass substrate prepared in advance for alignment through the procedure described with reference to FIG. 6, and the amount of misalignment of the obtained alignment film formation region with respect to the glass substrate is measured. After the position of the glass substrate on the substrate mounting plate 222 is adjusted, the work of forming the alignment film on the glass substrate 121 for mass production is performed.

【0025】なお上記説明では光透過形液晶パネルを例
としているため透明なガラス基板上に配向膜を形成して
いるが、例えば光反射形液晶パネルルの如く不透明な基
板に配向膜を形成する場合でも上記同様の配向膜形成作
業を行うようにしている。
In the above description, the light transmission type liquid crystal panel is taken as an example so that the alignment film is formed on the transparent glass substrate. However, when the alignment film is formed on an opaque substrate such as a light reflection type liquid crystal panel. However, the same alignment film forming work as described above is performed.

【0026】[0026]

【発明が解決しようとする課題】しかしかかる配向膜溶
液印刷作業を伴う液晶パネルの製造方法では、作業開始
前に位置合わせ用の基板による配向膜形成作業が必要と
なるので工数がかかって生産性向上を期待することがで
きないと共に、全ての基板を検査することができず配向
膜溶液印刷作業中における基板と配向膜溶液印刷域との
相対的な位置ずれに起因する不良の発生を抑制すること
ができないと言う問題があった。
However, in the method of manufacturing a liquid crystal panel which involves such an alignment film solution printing operation, it is necessary to perform an alignment film forming operation using a substrate for alignment before starting the operation. In addition to being unable to expect improvement, it is possible to prevent the occurrence of defects due to the relative misalignment between the substrate and the alignment film solution printing area during the alignment film solution printing operation because all the substrates cannot be inspected. There was a problem that I could not do it.

【0027】[0027]

【課題を解決するための手段】上記課題は、基板の表面
に配向膜が形成されてなる液晶パネルの製造方法であっ
て、位置決めされた状態で印刷ステージ上に位置する基
板への凸版印刷技術による配向膜溶液の印刷工程に、配
向膜溶液印刷用の凸版部とその外側近傍の位置合わせマ
ークとを備えた版胴を上記印刷ステージ上の基板に接触
させた状態で回転せしめ、該版胴の回転に連動して移動
する基板表面に上記凸版部に塗布されている配向膜溶液
を印刷する工程中の上記位置合わせマークが該基板面と
対面しまたは接触する瞬間に、上記基板の位置合わせマ
ークと対応する位置に設けられた位置決めマークと上記
位置合わせマークとの位置ずれを検出せしめる工程、を
含める液晶パネルの製造方法によって達成される。
The above problem is a method of manufacturing a liquid crystal panel in which an alignment film is formed on the surface of a substrate, and a letterpress printing technique for a substrate positioned on a printing stage in a positioned state. In the printing process of the alignment film solution by the method, a plate cylinder provided with a relief plate portion for printing the alignment film solution and a registration mark near the outside of the alignment film solution is rotated in a state of being brought into contact with the substrate on the printing stage. When the alignment mark faces or contacts the substrate surface during the step of printing the alignment film solution applied to the relief plate on the surface of the substrate that moves in association with the rotation of the substrate, the alignment of the substrate is performed. This is achieved by a method for manufacturing a liquid crystal panel, which includes a step of detecting a positional deviation between a positioning mark provided at a position corresponding to the mark and the alignment mark.

【0028】また、基板の表面に配向膜が形成されてな
る液晶パネルの製造装置であって、配向膜形成用の上記
基板を載置する基板載置台上の該基板を凸版印刷部に移
送する第1のキャリアと、該凸版印刷部と、該凸版印刷
部に位置する基板をストッカ装置に移送する第2のキャ
リアとを少なくとも備えてなり、配向膜形成域外側近傍
の余白部に位置決めマークが形成されている上記基板の
表面に配向膜溶液を凸版印刷技術で印刷する配向膜溶液
印刷装置における上記凸版印刷部が、配向膜溶液印刷用
の凸版部とその外側近傍の位置合わせマークとを備えた
印刷凸版が装着された円柱状でその中心軸を中心として
回転し得る版胴と、上記凸版部表面との接触時に該版胴
の回転に連動して移動し得る印刷ステージとで構成さ
れ、該印刷ステージには上記位置合わせマーク最接近位
置に該位置合わせマーク方向を向くように撮像装置が内
設され、該撮像装置に繋がる信号線が、該撮像装置で得
られる上記位置合わせマークと位置決めマークとの合成
された画像信号から該各マーク間の位置ずれが検出し得
るイメージプロセッサとアライメント制御部とを介し
て、上記基板載置台の基板位置調整機構部に接続されて
なる液晶パネルの製造装置によって達成される。
Further, in a liquid crystal panel manufacturing apparatus in which an alignment film is formed on the surface of a substrate, the substrate on a substrate mounting table on which the substrate for forming the alignment film is placed is transferred to a relief printing section. At least a first carrier, the letterpress printing section, and a second carrier for transferring the substrate located in the letterpress printing section to the stocker device are provided, and a positioning mark is provided in a blank portion near the alignment film formation region. The relief printing section in the orientation film solution printing apparatus that prints the orientation film solution on the surface of the formed substrate by a relief printing technique, comprises a relief printing portion for alignment film solution printing and an alignment mark near the outside thereof. A printing cylinder, which is a cylinder mounted with a printing plate and is rotatable about its central axis, and a printing stage, which can move in conjunction with the rotation of the plate cylinder when in contact with the surface of the relief plate, The printing stage Is an image pickup device internally provided so as to face the position of the alignment mark toward the position of the alignment mark, and a signal line connected to the image pickup device is a combination of the alignment mark and the positioning mark obtained by the image pickup device. This is achieved by an apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, which is connected to a substrate position adjusting mechanism section of the substrate mounting table via an image processor and an alignment control section capable of detecting a positional deviation between the marks from the generated image signal. It

【0029】[0029]

【作用】基板に設けた位置決めマークと版胴の印刷凸版
に設けた位置合わせマークとで両者の位置ずれが検出し
得るように、またその位置ずれ情報に基づいて後続する
基板の位置が調整し得るように配向膜溶液印刷装置を構
成すると、全ての基板の上記印刷凸版に対する位置ずれ
の検出と後続する基板の位置調整とを自動的に行わしめ
ることができる。
The position of the succeeding substrate is adjusted based on the positional shift information so that the positional shift between the positioning mark provided on the substrate and the alignment mark provided on the printing relief plate of the plate cylinder can be detected. When the alignment film solution printing apparatus is configured to obtain the above, it is possible to automatically detect the positional deviation of all the substrates with respect to the printing relief plate and automatically perform the subsequent position adjustment of the substrates.

【0030】そこで本発明では、基板の配向膜形成域外
側余白部に設けた位置決めマークと、版胴に装着した印
刷凸版の該マーク対応位置に設けた位置合わせマークと
の合致状態を印刷ステージに内設せしめた撮像装置で画
像信号に変えた後、該画像信号から得られる上記位置決
めマークと位置合わせマークとの間の位置ずれ量を基板
載置台または印刷ステージに設けた基板位置調整機構部
にフィードバックさせて後続する基板の位置を調整する
ようにしている。
Therefore, in the present invention, the matching state of the positioning mark provided on the margin portion outside the alignment film forming area of the substrate and the alignment mark provided at the mark corresponding position of the printing relief plate mounted on the plate cylinder is set on the printing stage. After converting to an image signal with an image pickup device installed internally, the amount of positional deviation between the positioning mark and the alignment mark obtained from the image signal is applied to the substrate position adjusting mechanism provided on the substrate mounting table or the printing stage. The position of the subsequent substrate is adjusted by feedback.

【0031】このことは、版胴側印刷凸版と全ての基板
との位置ずれが自動的に調整されることを意味する。従
って、各基板と配向膜溶液印刷域間の位置ずれをなくす
ことができて生産性の向上を期待することができる。
This means that the positional deviation between the printing cylinder side printing relief plate and all the substrates is automatically adjusted. Therefore, it is possible to eliminate the positional deviation between each substrate and the printing area for the alignment film solution, and it can be expected that the productivity is improved.

【0032】[0032]

【実施例】図1は本発明になる液晶パネルの製造方法を
説明する工程図(その1)、図2は本発明になる液晶パ
ネルの製造方法を説明する工程図(その2)である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a process diagram (1) for explaining a method for manufacturing a liquid crystal panel according to the present invention, and FIG. 2 is a process diagram (2) for explaining a method for manufacturing a liquid crystal panel according to the present invention.

【0033】また図3は本発明を実現する配向膜溶液印
刷装置の構成例を示す図、図4は本発明を実現する他の
配向膜溶液印刷装置の構成例を示す図である。なお図に
おける説明では、いずれも図6における配向膜溶液印刷
装置を転用して図5で説明したガラス基板に配向膜溶液
を印刷する場合を例としているので、図5,図6と同じ
対象部材や部位には同一の記号を付すと共に重複する説
明についてはそれを省略する。
FIG. 3 is a diagram showing a structural example of an alignment film solution printing apparatus which realizes the present invention, and FIG. 4 is a diagram showing a structural example of another alignment film solution printing apparatus which realizes the present invention. In the description of the drawings, the case where the alignment film solution printing apparatus in FIG. 6 is diverted to print the alignment film solution on the glass substrate described in FIG. The same symbols are given to the parts and parts, and the duplicate description is omitted.

【0034】図1の(A) で、図6で説明した版胴243 の
表面所定位置には、前述した凸版部243aとその外側近傍
基板領域内の所定箇所(図では1箇所)に同じ高さに突
出させた例えばリング状の位置合わせマーク411aとが一
体化形成された印刷凸版411が装着されている。
In FIG. 1 (A), at the predetermined position on the surface of the plate cylinder 243 described with reference to FIG. A printing relief plate 411 integrally formed with a ring-shaped alignment mark 411a that is protruded further is mounted.

【0035】そして図6同様の構成になる印刷ステージ
412 には、版胴243 と共に回転する上記印刷凸版411 の
位置合わせマーク411aが最下点に位置したとき,換言す
れば該位置合わせマーク411aが印刷ステージ412 に最接
近したとき,と対応する位置に、該位置合わせマーク41
1aの方向すなわち図の場合では上方を向くCCD(Charg
e Coupled Device) の如き撮像装置413 がそれを内設す
る観察孔412aと共に形成されている。
A printing stage having the same structure as that shown in FIG.
412 has a position corresponding to when the alignment mark 411a of the printing relief plate 411 rotating with the plate cylinder 243 is located at the lowest point, in other words, when the alignment mark 411a is closest to the printing stage 412. , The alignment mark 41
In the direction of 1a, that is, in the case of the figure, the CCD (Charg
An imaging device 413 such as an e-coupled device) is formed with an observation hole 412a in which it is installed.

【0036】他方、図5で説明したガラス基板121 と同
じ大きさのガラス基板 122は、上記凸版部243aと同じ大
きさの破線Bで示す配向膜形成域の周囲余白部の上記位
置合わせマーク411aと対応する位置に、該マーク411aの
内径より小さいドット状の位置決めマーク122aがパター
ニング形成されているものである。
On the other hand, the glass substrate 122 having the same size as the glass substrate 121 described with reference to FIG. 5 has the above-mentioned alignment mark 411a in the peripheral margin portion of the alignment film forming area shown by the broken line B having the same size as the relief plate portion 243a. A dot-shaped positioning mark 122a smaller than the inner diameter of the mark 411a is patterned and formed at a position corresponding to.

【0037】そこで図6で説明した基板載置板222 に位
置決め載置されているガラス基板122 を第1のキャリア
23で移送して該印刷ステージ412 に載置した後、該基板
122の表面と上記凸版部243aとが接触する位置まで該印
刷ステージ412 を上昇させることで図示の状態にするこ
とができる。
Therefore, the glass substrate 122 positioned and mounted on the substrate mounting plate 222 described with reference to FIG.
After being transferred at 23 and placed on the printing stage 412, the substrate
By raising the printing stage 412 to a position where the surface of 122 and the relief plate 243a come into contact with each other, the state shown in the drawing can be obtained.

【0038】次いで、印刷凸版411 の凸版部243aに上述
した配向膜溶液 123′が塗布されている上記版胴243 を
図6で説明した制御部241 からの信号で回転せしめる
と、先ず印刷凸版411 の凸版部243aが上記ガラス基板12
2 と接触して(B) に示す状態となる。
Next, when the plate cylinder 243 in which the above-mentioned alignment film solution 123 'is applied to the relief plate portion 243a of the printing relief plate 411 is rotated by a signal from the control unit 241 described in FIG. The letterpress portion 243a of the glass substrate 12
The state shown in (B) comes into contact with 2.

【0039】そして該版胴243 を上記位置合わせマーク
411aが最下点に位置するまで更に回転させると、その回
転と連動して印刷ステージ412 が矢印 C1 のように移動
するが、その移動中に該位置合わせマーク411aがガラス
基板122 の表面と接触する時点があるが、(C) はそのと
きの状態を示したものである。
Then, the plate cylinder 243 is attached to the above-mentioned alignment mark.
When 411a is further rotated until it is located at the lowest point, the printing stage 412 moves in association with the rotation as shown by arrow C 1 , but during the movement, the alignment mark 411a is moved to the surface of the glass substrate 122. There is a point of contact, but (C) shows the state at that time.

【0040】この時点で該印刷ステージ412 に設けられ
ている観察孔412a内の撮像装置413が上記位置合わせマ
ーク411aと対面するので、該位置合わせマーク411a(図
の場合ではリング状マーク)を該撮像装置413 によって
画像信号に変えることができる。
At this point, since the image pickup device 413 in the observation hole 412a provided in the printing stage 412 faces the alignment mark 411a, the alignment mark 411a (a ring-shaped mark in the figure) is It can be converted into an image signal by the imaging device 413.

【0041】一方、該撮像装置413 と上記位置合わせマ
ーク411aの間には、上記ガラス基板122 の上述した位置
決めマーク122a(図の場合ではドット状マーク)が位置
するので、該マーク122aも撮像装置413 によって同時に
画像信号化される。
On the other hand, since the above-mentioned positioning mark 122a (dot mark in the case of the figure) of the glass substrate 122 is positioned between the image pickup device 413 and the alignment mark 411a, the mark 122a is also taken by the image pickup device. Image signals are simultaneously converted by 413.

【0042】このことは、該撮像装置413 によって印刷
凸版411 の位置合わせマーク411aとガラス基板122 の位
置決めマーク122aとの合成された画像信号が得られるこ
とを示している。
This indicates that the image pickup device 413 can obtain a combined image signal of the alignment mark 411a of the printing relief plate 411 and the positioning mark 122a of the glass substrate 122.

【0043】従って、該撮像装置413 からの画像信号を
図示されないイメージプロセッサ等を介して表示装置に
接続することで、位置合わせマーク411aの中に位置決め
マーク122aが位置する例えば図(C′) や両者が位置的に
ずれた図(C″) のような画像を得ることができる。
Therefore, by connecting the image signal from the image pickup device 413 to the display device via an image processor or the like (not shown), the positioning mark 122a is positioned in the alignment mark 411a, for example, as shown in FIG. It is possible to obtain an image as shown in the figure (C ″) in which the two are displaced in position.

【0044】なお上記凸版部243aの表面に塗布されてい
る配向膜溶液 123′は、(B) から(C) に到る間でガラス
基板と接触した領域が該ガラス基板上に印刷される。更
に該版胴243 を回転させると、その回転に連動して印刷
ステージ412 すなわちガラス基板122 が矢印 C2 のよう
に移動し凸版部243aの後方端部が該ガラス基板122 の表
面と接触する図2(D) の状態となるが、この時点で上記
配向膜溶液 123′の全てが該基板122 に印刷される。
The orientation film solution 123 'applied to the surface of the relief plate 243a is printed on the glass substrate in the area in contact with the glass substrate from the time (B) to the time (C). When the plate cylinder 243 is further rotated, the printing stage 412, that is, the glass substrate 122 moves in association with the rotation as shown by an arrow C 2 , and the rear end of the relief plate portion 243a comes into contact with the surface of the glass substrate 122. The state of 2 (D) is reached, but at this point, all of the alignment film solution 123 ′ is printed on the substrate 122.

【0045】以後、該版胴243 を回転させると共に印刷
ステージ412 を降下させ更に上記“C1+C2”に対応する
C3 だけ逆方向に移動せしめて(E) に示す初期位置に戻
し、更に(F) で示すように第2のキャリア25で上記ガラ
ス基板122 を取り出すと、(A) で説明した配向膜形成域
Bの領域に配向膜溶液 123′が印刷されたガラス基板12
2′を抽出図(F′) のように得ることができる。
Thereafter, the plate cylinder 243 is rotated and the printing stage 412 is lowered to correspond to the above "C 1 + C 2 ".
By moving only C 3 in the opposite direction to return to the initial position shown in (E), and further taking out the glass substrate 122 with the second carrier 25 as shown in (F), the alignment film formation described in (A) is formed. Glass substrate 12 having alignment film solution 123 'printed on the area B
2'can be obtained as in the extraction diagram (F ').

【0046】従って以下図6で説明したように、該配向
膜溶液 123′を乾燥硬化せしめることで所要の配向膜12
3 が形成された所要のガラス基板を得ることができる。
なお、撮像装置413 による画像が例えば上記(C) の抽出
図(C″) のように、印刷凸版411 の位置合わせマーク41
1aとガラス基板122 の位置決めマーク122aとが偏芯し、
更に各マーク中心点のX方向及びY方向の偏芯量が予め
設定した範囲を越えているときには、該撮像装置413 に
よる画像信号を例えば図示されないイメージプロセッサ
等でX及びY方向のずれ量に変換し、その信号データを
図6で説明した基板載置台22の基板位置調整機構部221
にフィードバックして基板載置板222 ひいてはそれに載
置されているガラス基板122 の位置を調整した後上述し
た(A) 〜(F) の工程を経ることで、ガラス基板に対する
配向膜溶液印刷域の位置ずれを容易になくすことができ
る。
Therefore, as described below with reference to FIG. 6, the desired alignment film 12 is obtained by drying and hardening the alignment film solution 123 '.
The required glass substrate on which 3 is formed can be obtained.
The image taken by the image pickup device 413 is, for example, as shown in the extraction diagram (C ″) of (C) above, the alignment mark 41 of the printing letterpress 411.
1a and the positioning mark 122a of the glass substrate 122 are eccentric,
Further, when the eccentricity amounts of the center points of the respective marks in the X and Y directions exceed a preset range, the image signal from the image pickup device 413 is converted into a shift amount in the X and Y directions by an image processor (not shown) or the like. Then, the signal data is used for the substrate position adjusting mechanism 221 of the substrate mounting table 22 described with reference to FIG.
After adjusting the position of the glass substrate 122 placed on it by feeding back to the substrate mounting plate 222, by going through the steps (A) to (F) described above, the alignment film solution printing area on the glass substrate is Positional deviation can be easily eliminated.

【0047】かかる配向膜溶液印刷工程に基づく配向膜
形成方法では、配向膜形成域を規定する凸版部243aとガ
ラス基板122 に対する位置合わせマーク411aとが印刷凸
版411 に一体化されているため、該マーク411aとガラス
基板122 の位置決めマーク122aとの合致のみで凸版部24
3aひいては配向膜形成域とガラス基板122 との相対的位
置が確実に合わせられると共に、各基板ごとに上記撮像
装置413 による画像信号が得られるのでそのデータの上
述した位置調整機構部221 へのフィードバックで後続す
るガラス基板122 の連続した不良発生を抑制することが
できる。
In the alignment film forming method based on such an alignment film solution printing step, since the relief plate portion 243a defining the alignment film formation region and the alignment mark 411a for the glass substrate 122 are integrated in the printing relief plate 411, Only when the mark 411a and the positioning mark 122a on the glass substrate 122 match, the letterpress section 24
3a As a result, the relative positions of the alignment film forming area and the glass substrate 122 are surely aligned, and the image signal from the image pickup device 413 is obtained for each substrate. Therefore, the data is fed back to the position adjusting mechanism section 221. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of continuous defects of the glass substrate 122 that follows.

【0048】本発明になる製造装置を例示説明する図3
で、本発明を実現する配向膜溶液印刷装置4は図6で説
明した配向膜溶液印刷装置2における凸版印刷部24のみ
を本発明になる凸版印刷部41に置き換えたものであり、
その他は上記配向膜溶液印刷装置2と全く同様である。
FIG. 3 illustrating the manufacturing apparatus according to the present invention.
In the alignment film solution printing apparatus 4 for realizing the present invention, only the relief printing section 24 in the alignment film solution printing apparatus 2 described in FIG. 6 is replaced with the relief printing section 41 according to the present invention.
Others are the same as those of the alignment film solution printer 2.

【0049】なお図では理解し易くするため、基板載置
台22と第1のキャリア23及び第2のキャリア25をいずれ
も一部で切断除去して表わしている。そして特にこの場
合の凸版印刷部41は、上記Y方向に配設されて制御部24
1 からの信号で回転する回転軸242 に一体化された版胴
243 と、該版胴243 の下部対応位置に配置されて制御部
241 からの信号で上下及びX方向に移動し得る図1で説
明した印刷ステージ412 とからなる。
In the figure, for easy understanding, all of the substrate mounting table 22, the first carrier 23 and the second carrier 25 are cut and removed. Particularly, in this case, the letterpress printing section 41 is disposed in the Y direction and is controlled by the control section 24.
Plate cylinder integrated with the rotary shaft 242 that rotates by the signal from 1.
243 and a control unit arranged at a position corresponding to the lower part of the plate cylinder 243.
The print stage 412 described in FIG. 1 can move up and down and in the X direction in response to a signal from 241.

【0050】この内版胴243 の表面所定位置には、図1
で説明した印刷凸版411 が装着されている。また印刷ス
テージ412 は、図5における印刷ステージ244 と同様に
上面に位置決め載置したガラス基板が上記印刷凸版411
の凸版部243aと接触している間は版胴243 の回転に連動
してX1方向に移動し該接触がなくなった時点でのX2方向
への移動で初期位置に戻ると共に、上下方向が該版胴24
3 の回転に関係なく移動し得るものである。
The predetermined position on the surface of the inner plate cylinder 243 is shown in FIG.
The printing letterpress 411 described in 1 is attached. The printing stage 412 has a glass substrate positioned and placed on the upper surface, similar to the printing stage 244 in FIG.
While it is in contact with the relief plate 243a, it moves in the X 1 direction in conjunction with the rotation of the plate cylinder 243 and returns to the initial position by moving in the X 2 direction when the contact disappears and the vertical direction changes. The plate cylinder 24
It can move regardless of the rotation of 3.

【0051】そして、上記ガラス基板と接触した状態で
回転する印刷凸版411 の上記位置合わせマーク411aが最
下点に到達したときの位置に対応する観察孔412 には図
1で説明した撮像装置413 が内設されている。
Then, in the observation hole 412 corresponding to the position when the alignment mark 411a of the printing relief plate 411 rotating in contact with the glass substrate reaches the lowest point, the image pickup device 413 described in FIG. Is installed inside.

【0052】このことは上記位置合わせマーク411aが最
下点に到達した時点で該撮像装置413 によって画像信号
化されることを示しているが、上述したガラス基板 122
にも図1で説明したようにドット状の位置決めマーク12
2aがパターニング形成されているので、結果的に該ガラ
ス基板122 を上記印刷ステージ412 上に載置せしめるこ
とで上記位置合わせマーク411aと該位置決めマーク122a
との合成された画像が信号化されることとなる。
This indicates that the image pickup device 413 converts the image signal into an image signal when the alignment mark 411a reaches the lowest point.
Also, as described in FIG. 1, the dot-shaped positioning mark 12
Since the pattern 2a is formed, as a result, the glass substrate 122 is placed on the printing stage 412, whereby the alignment mark 411a and the positioning mark 122a are formed.
The image combined with is converted into a signal.

【0053】この場合、合成された画像が例えば上述し
た図1の(C′) のように位置決めマーク122aが位置合わ
せマーク411aの内側にあるとき(換言すれば該各マーク
の中心点間のX方向及びY方向のずれ量が小さいとき)
を良品と設定し、該各マークの中心点間のX方向及びY
方向のずれ量が大きくなって図1の(C″) に示すように
位置決めマーク122aが位置合わせマーク411aを越えると
きを不良と判断させることは一般的に容易である。
In this case, when the combined image has the positioning mark 122a inside the alignment mark 411a as shown in (C ') of FIG. 1 (in other words, X between the center points of the respective marks). (When the amount of deviation in the Y and Y directions is small)
Is set as a non-defective item, and the X direction and Y between the center points of the marks are set.
It is generally easy to determine a defect when the amount of deviation in the direction becomes large and the positioning mark 122a exceeds the alignment mark 411a as shown in FIG. 1 (C ″).

【0054】そこでかかる判断と対応を自動的に行わし
めるため、上記撮像装置413 に繋がる信号線413 を、イ
メージプロセッサ414 を介して表示装置415 に、また該
イメージプロセッサ414 からアライメント制御部416 を
経て上記基板載置台22の基板位置調整機構部221 に、更
に該イメージプロセッサ414 からバッファ制御装置を経
てシーケンサ421 を備えたストッカ装置42にそれぞれ接
続させている。
Therefore, in order to automatically make such judgment and response, the signal line 413 connected to the image pickup device 413 is connected to the display device 415 via the image processor 414, and from the image processor 414 via the alignment control section 416. The substrate position adjusting mechanism portion 221 of the substrate mounting table 22 is further connected to the stocker device 42 including the sequencer 421 from the image processor 414 via the buffer controller.

【0055】従って、上述した位置合わせマーク411aと
位置決めマーク122aとの合成された画像信号から図1で
説明したようにガラス基板122 に対する配向膜溶液印刷
域の位置ずれを容易に知ることができるので、その位置
ずれ情報を表示装置415 に送達することで該位置ずれの
黙視観察が可能になると共に、該情報を基板載置台22の
基板位置調整機構部221 に送達することで後続する基板
の位置調整が可能となり、更に該情報をストッカ装置42
に送達することで不良となる位置ずれが発生した基板の
みのリジェクト化を図ることができる。
Therefore, the position shift of the alignment film solution printing area with respect to the glass substrate 122 can be easily known from the image signal in which the alignment mark 411a and the positioning mark 122a are combined as described above with reference to FIG. By transmitting the positional deviation information to the display device 415, the visual observation of the positional deviation becomes possible, and by transmitting the information to the substrate position adjusting mechanism section 221 of the substrate mounting table 22, the position of the succeeding substrate is moved. Adjustment is possible, and the information is further stored in the stocker device 42.
It is possible to reject only the substrate in which the defective positional displacement has occurred by delivering it to the substrate.

【0056】そこで以下図6で説明したように、該印刷
ステージ412 を初期位置まで降下せしめた後該ガラス基
板122 を第2のキャリア25でストッカ装置42に移送して
図のガラス基板 122′の状態にした後、例えば乾燥炉等
で上記配向膜前駆体溶液を乾燥硬化せしめることで、ガ
ラス基板122 上に図6で説明した所要の配向膜123 を形
成することができる。
Therefore, as described below with reference to FIG. 6, after the printing stage 412 is lowered to the initial position, the glass substrate 122 is transferred to the stocker device 42 by the second carrier 25 and the glass substrate 122 'shown in FIG. After the state, the alignment film precursor solution is dried and hardened in, for example, a drying oven, so that the required alignment film 123 described with reference to FIG. 6 can be formed on the glass substrate 122.

【0057】他の製造装置を例示説明する図4で、配向
膜溶液印刷装置5は図3で説明した配向膜溶液印刷装置
4における凸版印刷部41のみを、その印刷ステージ412
に図3で説明した基板位置調整機構部221 を付加せしめ
た凸版印刷部51に置き換えると共に、該印刷ステージ41
2 に内設されている撮像装置413 に繋がる信号線をイメ
ージプロセッサ414 とアライメント制御部416 を介して
上記凸版印刷部51の基板位置調整機構部221 に接続した
ものである。
In FIG. 4, which illustrates another manufacturing apparatus, the alignment film solution printing apparatus 5 includes only the relief printing section 41 of the alignment film solution printing apparatus 4 described in FIG.
3 is replaced with the letterpress printing section 51 to which the substrate position adjusting mechanism section 221 described in FIG.
The signal line connected to the image pickup device 413 installed in 2 is connected to the substrate position adjusting mechanism section 221 of the relief printing section 51 via the image processor 414 and the alignment control section 416.

【0058】かかる構成になる凸版印刷部51では、撮像
装置413 で検出された前記位置合わせマーク411aと位置
決めマーク122aとの位置ずれ情報が直接印刷ステージ41
2 の基板位置調整機構部221 に送達されるので、図6及
び図3で該凸版印刷部51の直前に配置した基板載置台に
基板位置調整機構部221 を設ける必要がなく、如何なる
直前工程からでも基板を該凸版印刷部51に移送し得るメ
リットがある。
In the relief printing section 51 having such a structure, the positional deviation information between the alignment mark 411a and the positioning mark 122a detected by the image pickup device 413 is directly printed on the printing stage 41.
Since it is delivered to the second substrate position adjusting mechanism unit 221, it is not necessary to provide the substrate position adjusting mechanism unit 221 on the substrate placing table arranged immediately before the letterpress printing unit 51 in FIGS. However, there is an advantage that the substrate can be transferred to the relief printing section 51.

【0059】[0059]

【発明の効果】上述の如く本発明により、基板面配向膜
形成域の該基板に対する位置ずれをなくして生産性向上
を図った液晶パネルの製造方法とその製造装置を提供す
ることができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a method of manufacturing a liquid crystal panel and a manufacturing apparatus therefor, in which the positional deviation of the substrate surface alignment film forming region with respect to the substrate is eliminated to improve the productivity.

【0060】なお本発明の説明では版胴側に設ける位置
合わせマークがリング状でありまた基板側に設ける位置
決めマークがドット状である場合を例としているが、例
えば“+形二重枠”と“+”の如く中心点における相対
的位置ずれが検出し得る形状であれば如何なるマーク間
でも同等の効果が得られることは明らかである。
In the description of the present invention, the case where the alignment mark provided on the plate cylinder side is ring-shaped and the positioning mark provided on the substrate side is dot-shaped is used as an example. It is obvious that the same effect can be obtained between any marks as long as the relative displacement at the center point can be detected as in "+".

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明になる液晶パネルの製造方法を説明す
る工程図(その1)。
FIG. 1 is a process diagram (1) for explaining a method for manufacturing a liquid crystal panel according to the present invention.

【図2】 本発明になる液晶パネルの製造方法を説明す
る工程図(その2)。
FIG. 2 is a process diagram (2) for explaining the method of manufacturing a liquid crystal panel according to the present invention.

【図3】 本発明を実現する配向膜溶液印刷装置の構成
例を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a configuration example of an alignment film solution printing apparatus that realizes the present invention.

【図4】 本発明を実現する他の配向膜溶液印刷装置の
構成例を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a configuration example of another alignment film solution printing apparatus that realizes the present invention.

【図5】 液晶パネルとしての基本的構成例を概略的に
説明する図。
FIG. 5 is a diagram schematically illustrating a basic configuration example of a liquid crystal panel.

【図6】 従来の配向膜溶液の印刷方法をその装置と共
に説明する図。
FIG. 6 is a diagram illustrating a conventional method of printing an alignment film solution together with the apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4,5 配向膜溶液印刷装置 21 基盤 22 基板載置台 23 第1のキャリア 23c フォーク
爪 25 第2のキャリア 26,42 ストッカ装置 41,51 凸版印刷部 122,122′ ガラス基板(透明基板) 122a 位置
決めマーク 123 配向膜 123′ 配向
膜溶液 221 基板位置調整機構部 221a 位置
決めピン 222 基板載置板 241 制御部 242 軸 243 版胴 243a 凸部 411 印刷凸版 411a 位置
合わせマーク 412 印刷ステージ 412a 観察
孔 413 撮像装置 414 イメージプロセッサ 415 表示装置 416 アライメント制御部 417 バッファ装置 421 シーケンサ
4,5 Alignment film solution printing device 21 Base 22 Substrate placing table 23 First carrier 23c Fork claw 25 Second carrier 26,42 Stocker device 41,51 Letterpress printing part 122,122 'Glass substrate (transparent substrate) 122a Positioning mark 123 Alignment film 123 ′ Alignment film solution 221 Substrate position adjustment mechanism 221a Positioning pin 222 Substrate mounting plate 241 Control unit 242 Axis 243 Plate cylinder 243a Convex part 411 Printing letterpress 411a Alignment mark 412 Printing stage 412a Observation hole 413 Imager 414 image Processor 415 Display device 416 Alignment control unit 417 Buffer device 421 Sequencer

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板の表面に配向膜が形成されてなる液
晶パネルの製造方法であって、 位置決めされた状態で印刷ステージ上に位置する基板へ
の凸版印刷技術による配向膜溶液の印刷工程に、 配向膜溶液印刷用の凸版部とその外側近傍の位置合わせ
マークとを備えた版胴を上記印刷ステージ上の基板に接
触させた状態で回転せしめ、該版胴の回転に連動して移
動する基板表面に上記凸版部に塗布されている配向膜溶
液を印刷する工程中の上記位置合わせマークが該基板面
と対面しまたは接触する瞬間に、上記基板の位置合わせ
マークと対応する位置に設けられた位置決めマークと上
記位置合わせマークとの位置ずれを検出せしめる工程、 を含めることを特徴とする液晶パネルの製造方法。
1. A method of manufacturing a liquid crystal panel in which an alignment film is formed on a surface of a substrate, which comprises a step of printing an alignment film solution on a substrate positioned on a printing stage in a positioned state by a relief printing technique. , A plate cylinder provided with a relief printing portion for printing an alignment film solution and alignment marks near the outside of the alignment film solution is rotated while being in contact with the substrate on the printing stage, and the plate cylinder moves in conjunction with the rotation of the plate cylinder. It is provided at a position corresponding to the alignment mark of the substrate at the moment when the alignment mark faces or contacts the substrate surface in the step of printing the alignment film solution applied to the letterpress portion on the substrate surface. And a step of detecting a positional shift between the positioning mark and the alignment mark, the manufacturing method of the liquid crystal panel.
【請求項2】 請求項1記載の配向膜溶液の印刷工程
に、 検出された位置合わせマークと位置決めマークとの位置
ずれ情報を該印刷工程の直前に位置する基板載置台の基
板位置調整機構部にフィードバックし、基板載置台とし
ての位置ずれを修正させる工程、 を含めることを特徴とする液晶パネルの製造方法。
2. A substrate position adjusting mechanism section of a substrate mounting table, which is located immediately before the printing step, in which positional deviation information between the detected alignment mark and the positioning mark is detected in the printing process of the alignment film solution according to claim 1. And a step of correcting the positional deviation of the substrate mounting table to correct the positional deviation.
【請求項3】 請求項1または請求項2記載の配向膜溶
液の印刷工程に、 検出された位置合わせマークと位置決めマークとの位置
ずれ情報を該印刷工程の直後に位置するシーケンサを備
えたストッカ装置に送達せしめ、位置ズレ量が許容値を
越える基板が該ストッカ装置に移送された時点で該基板
をリジェクトさせる工程、 を含めることを特徴とする液晶パネルの製造方法。
3. A stocker provided with a sequencer in the printing process of the alignment film solution according to claim 1 or 2, wherein the positional deviation information between the detected alignment mark and the positioning mark is located immediately after the printing process. And a step of causing the substrate to be delivered to the device and rejecting the substrate when the amount of positional deviation exceeds an allowable value is transferred to the stocker device.
【請求項4】 請求項1記載の位置決めマークと位置合
わせマークとの位置ずれを、 印刷ステージの上記位置合わせマーク最接近位置に内設
させた撮像装置で得られる上記位置決めマークと位置合
わせマークとの合成された映像信号における該各マーク
中心点のX方向およびY方向の相対的なずれで検出する
ことを特徴とする液晶パネルの製造方法。
4. The positioning mark and the alignment mark obtained by an image pickup device, which is installed at the position closest to the alignment mark of the printing stage, for the positional deviation between the positioning mark and the alignment mark according to claim 1. A method for manufacturing a liquid crystal panel, which is characterized by detecting the relative shifts of the center points of the marks in the combined video signal in the X and Y directions.
【請求項5】 基板の表面に配向膜が形成されてなる液
晶パネルの製造装置であって、 配向膜形成用の上記基板を載置する基板載置台上の該基
板を凸版印刷部に移送する第1のキャリアと、該凸版印
刷部と、該凸版印刷部に位置する基板をストッカ装置に
移送する第2のキャリアとを少なくとも備えてなり、配
向膜形成域外側近傍の余白部に位置決めマークが形成さ
れている上記基板の表面に配向膜溶液を凸版印刷技術で
印刷する配向膜溶液印刷装置における上記凸版印刷部
が、 配向膜溶液印刷用の凸版部とその外側近傍の位置合わせ
マークとを備えた印刷凸版が装着された円柱状でその中
心軸を中心として回転し得る版胴と、上記凸版部表面と
の接触時に該版胴の回転に連動して移動し得る印刷ステ
ージとで構成され、 該印刷ステージには上記位置合わせマーク最接近位置に
該位置合わせマーク方向を向くように撮像装置が内設さ
れ、 該撮像装置に繋がる信号線が、該撮像装置で得られる上
記位置合わせマークと位置決めマークとの合成された画
像信号から該各マーク間の位置ずれが検出し得るイメー
ジプロセッサとアライメント制御部とを介して、上記基
板載置台の基板位置調整機構部に接続されてなることを
特徴とする液晶パネルの製造装置。
5. An apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, wherein an alignment film is formed on the surface of a substrate, wherein the substrate on a substrate mounting table on which the substrate for forming the alignment film is placed is transferred to a relief printing section. At least a first carrier, the letterpress printing section, and a second carrier for transferring the substrate located in the letterpress printing section to the stocker device are provided, and a positioning mark is provided in a blank portion near the alignment film formation region. The relief printing section in the orientation film solution printing apparatus that prints the orientation film solution on the surface of the formed substrate by a relief printing technique, includes a relief printing portion for alignment film solution printing and an alignment mark near the outside thereof. A printing cylinder, which is a cylinder mounted with a printing plate and is rotatable about its central axis, and a printing stage, which can move in conjunction with the rotation of the plate cylinder when in contact with the surface of the relief plate, On the printing stage An image pickup device is provided in the closest position of the alignment mark so as to face the alignment mark, and a signal line connected to the image pickup device is composed of the alignment mark and the positioning mark obtained by the image pickup device. A liquid crystal panel, which is connected to a substrate position adjusting mechanism unit of the substrate placing table via an image processor and an alignment control unit capable of detecting the positional deviation between the marks from the image signal. apparatus.
【請求項6】 請求項5記載の撮像装置に繋がる信号線
が、前記イメージプロセッサからバッファ制御部を経て
シーケンサを備えた前記ストッカ装置に接続されてなる
ことを特徴とする液晶パネルの製造装置。
6. An apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, wherein a signal line connected to the image pickup apparatus according to claim 5 is connected from the image processor to a stocker apparatus having a sequencer via a buffer control unit.
【請求項7】 請求項5または請求項6記載の撮像装置
に繋がる信号線が、前記イメージプロセッサから表示装
置に接続されてなることを特徴とする液晶パネルの製造
装置。
7. A liquid crystal panel manufacturing apparatus, wherein a signal line connected to the image pickup device according to claim 5 or 6 is connected from the image processor to a display device.
【請求項8】 請求項5記載の配向膜溶液印刷装置が、
直前の工程に位置する基板を凸版印刷部に移送する第1
のキャリアと、該凸版印刷部と、該凸版印刷部に位置す
る基板を直後の工程に移送する第2のキャリアとで構成
され、 上記凸版印刷部に内設された撮像装置に繋がる信号線
が、イメージプロセッサとアライメント制御部とを介し
て該凸版印刷部を構成する印刷ステージの基板位置調整
機構部に接続されてなることを特徴とする液晶パネルの
製造装置。
8. The alignment film solution printing apparatus according to claim 5,
First transfer of the substrate located in the immediately preceding process to the relief printing unit
Carrier, the letterpress printing section, and a second carrier for transferring the substrate located in the letterpress printing section to the next step, and the signal line connected to the image pickup device provided in the letterpress printing section is An apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, which is connected to a substrate position adjusting mechanism section of a printing stage constituting the relief printing section via an image processor and an alignment control section.
JP23908094A 1994-10-03 1994-10-03 Production of liquid crystal panel and apparatus for producing the same Withdrawn JPH08101364A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23908094A JPH08101364A (en) 1994-10-03 1994-10-03 Production of liquid crystal panel and apparatus for producing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23908094A JPH08101364A (en) 1994-10-03 1994-10-03 Production of liquid crystal panel and apparatus for producing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08101364A true JPH08101364A (en) 1996-04-16

Family

ID=17039540

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23908094A Withdrawn JPH08101364A (en) 1994-10-03 1994-10-03 Production of liquid crystal panel and apparatus for producing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08101364A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014119673A (en) * 2012-12-19 2014-06-30 Japan Display Inc Production method for liquid crystal display device and alignment layer printing device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014119673A (en) * 2012-12-19 2014-06-30 Japan Display Inc Production method for liquid crystal display device and alignment layer printing device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101183374B1 (en) Liquid crystal display device and method of lcd thereof
JP2655941B2 (en) Active matrix type liquid crystal display device and manufacturing method thereof
US7567335B2 (en) Method for fabricating liquid crystal display device
WO2016173210A1 (en) Manufacturing method for black matrix
JPH10282464A (en) Liquid crystal display device and its production
US6502324B2 (en) Method of alignment between sheet materials, method of alignment, substrate assembling method and aligning apparatus
US6924917B2 (en) Color filter substrate and method of fabricating the same
KR20110077550A (en) Apparatus for fabricating liquid crystal display device and method for fabricating liquid crystal display device
US6875704B2 (en) Method for forming pattern using printing process
US20010030728A1 (en) Liquid crystal display and inspection method thereof
JPH08101364A (en) Production of liquid crystal panel and apparatus for producing the same
US7520220B2 (en) Cliché unit, printing apparatus, and printing method using the same
JP6097551B2 (en) Method for manufacturing liquid crystal display device and alignment film printing apparatus
US7528922B2 (en) Apparatus and method for measuring ground amounts of liquid crystal display panel
US20080276813A1 (en) Method and Apparatus for Printing a Patterned Layer on a Flatsubstate with a Flat-Type-Bed
US6893782B2 (en) Method of fabricating color filter substrate for liquid crystal display device
JP2895337B2 (en) Liquid crystal display panel manufacturing method
KR20080089959A (en) Printing apparatus for liquid crystal display
KR101189148B1 (en) Rubbing device of an alignment layer for liquid crystal display device
JP2917387B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal element
KR101055199B1 (en) Alignment film printing system and alignment film printing method using same
JPH01201624A (en) Liquid crystal display panel
KR101350660B1 (en) Blanket roller for roll printing and manufacturing method thereof
JPS6243125A (en) Pattern printing machine
JP2745544B2 (en) Manufacturing method of TFT type liquid crystal display device

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20020115