JPH0796468A - Abrasive tape and its manufacture - Google Patents

Abrasive tape and its manufacture

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JPH0796468A
JPH0796468A JP26296693A JP26296693A JPH0796468A JP H0796468 A JPH0796468 A JP H0796468A JP 26296693 A JP26296693 A JP 26296693A JP 26296693 A JP26296693 A JP 26296693A JP H0796468 A JPH0796468 A JP H0796468A
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JP
Japan
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polishing
layer
polishing layer
tape
binder resin
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Application number
JP26296693A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahisa Yamaguchi
正久 山口
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Dai Nippon Printing Co Ltd
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Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide an abrasive tape where the abrasive dot is not present, and the polishing with high polishing performance can be realized, and its manufacturing method. CONSTITUTION:The resin for the binder on the surface of the abrasive layer is removed by executing the etching treatment on the surface of the abrasive layer consisting of the transfer layer after forming the abrasive layer by the transfer layer, and the abrasive grains which are present on the surface of the abrasive layer are exposed from the resin for the binder.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドや磁気ディ
スクの仕上げ研磨、金型の精密仕上げ研磨等に使用する
研磨テープ及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing tape used for finish polishing of magnetic heads and magnetic disks, precision finish polishing of dies, and the like, and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ヘッドや磁気ディスクの仕上げ研
磨、金型の精密仕上げ研磨等は、研磨テープ用基材に対
して、砥粒をバインダー用樹脂液中に分散させたコーテ
ィング剤を塗布、乾燥して研磨層を形成した研磨テープ
(例えば特公昭53−44714号公報)が利用されて
いる。
2. Description of the Related Art For finish polishing of magnetic heads and magnetic disks, precision finish polishing of dies, etc., a coating agent in which abrasive grains are dispersed in a binder resin solution is applied to a polishing tape base material and dried. A polishing tape having a polishing layer formed thereon (for example, JP-B-53-44714) is used.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来の研磨テープは、
研磨層を形成しているバインダー用樹脂中に砥粒が埋没
しており、研磨層中の砥粒は該樹脂で被覆された状態に
ある。
The conventional polishing tape is
Abrasive grains are embedded in the binder resin forming the polishing layer, and the abrasive grains in the polishing layer are in a state of being covered with the resin.

【0004】この研磨テープでの研磨作業においては、
被研磨物の加工面に研磨層の表面をなすバインダー用樹
脂が当たるため、効率の高い研磨を行なうことができな
い。
In the polishing work with this polishing tape,
Since the binder resin forming the surface of the polishing layer hits the processed surface of the object to be polished, highly efficient polishing cannot be performed.

【0005】また、研磨テープ用基材にコーティング剤
を塗布することによって形成した研磨層を有する研磨テ
ープは、研磨層の表面粗さが大きいため、均一な研磨仕
上げを行なうことができない。
A polishing tape having a polishing layer formed by applying a coating agent to a polishing tape substrate cannot have a uniform polishing finish because the polishing layer has a large surface roughness.

【0006】これに対して本発明は、研磨層の表面が平
坦であることから研磨斑の無い均一な研磨を行なうこと
ができ、しかも研磨層の表面に砥粒が露呈していること
から研磨性能の高い研磨を行なうことができる研磨テー
プ、及びその製造方法を提供する。
On the other hand, according to the present invention, since the surface of the polishing layer is flat, uniform polishing can be performed without unevenness of polishing, and since the abrasive grains are exposed on the surface of the polishing layer, the polishing is performed. Provided are a polishing tape capable of performing high-performance polishing and a method for manufacturing the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の研磨テープは、
研磨テープ用基材の表面に形成されている研磨層が、バ
インダー用樹脂に砥粒を分散させてなるものであり、し
かも、該研磨層が転写層からなり、かつ、研磨層の表面
に存在する砥粒がバインダー用樹脂から露呈しているこ
とを特徴とする。
The polishing tape of the present invention comprises:
The polishing layer formed on the surface of the base material for the polishing tape is one in which abrasive grains are dispersed in a binder resin, and the polishing layer is composed of a transfer layer and is present on the surface of the polishing layer. The abrasive grains are exposed from the binder resin.

【0008】また、本発明の研磨テープの製造方法は、
離型フィルムの表面に、バインダー用樹脂液中に砥粒を
分散させたコーティング剤を塗布、乾燥して研磨層を形
成することにより、研磨層形成用の転写材を得る工程
と、研磨テープ用基材の表面に、前記転写材における研
磨層を接着剤層または粘着剤層を介して転写する工程
と、研磨テープ用基材に転写した研磨層の表面をエッチ
ング処理に付し、研磨層の表面のバインダー用樹脂を除
去して砥粒を露呈させる工程とからなることを特徴とす
る。
The method of manufacturing the polishing tape of the present invention is
A step of obtaining a transfer material for forming a polishing layer by applying a coating agent in which abrasive particles are dispersed in a binder resin liquid to the surface of a release film and drying the coating agent to form a polishing layer; The step of transferring the polishing layer of the transfer material to the surface of the base material via the adhesive layer or the pressure-sensitive adhesive layer, and the surface of the polishing layer transferred to the base material for the polishing tape are subjected to an etching treatment, And removing the binder resin on the surface to expose the abrasive grains.

【0009】本発明の研磨テープの製造方法において、
研磨層形成用の転写材を得る際の離型フィルムには、必
要によりシリコーン等の離型剤処理を付したプラスチッ
クフィルム、例えばポリプロピレンフィルムやポリエチ
レンテレフタレートフィルム等が利用される。
In the method of manufacturing the polishing tape of the present invention,
A plastic film, such as a polypropylene film or a polyethylene terephthalate film, optionally treated with a release agent such as silicone is used as the release film when obtaining the transfer material for forming the polishing layer.

【0010】離型フィルムの離型面に、バインダー用樹
脂液中に、高硬度の無機質微粉末からなる砥粒、例えば
酸化アルミニウム,シリコンカーバイト,酸化クロム,
酸化ジルコニウム,ダイヤモンド,酸化鉄,窒化ホウ
素,エメリー等による粒径0.1〜60μ程度の砥粒を
分散させたコーテイング剤を、5〜60g(固形成分)
/m2 程度に塗布することにより、研磨層を形成する。
On the release surface of the release film, in the binder resin liquid, abrasive grains made of high hardness inorganic fine powder such as aluminum oxide, silicon carbide, chromium oxide,
5 to 60 g (solid component) of a coating agent in which abrasive grains having a particle diameter of about 0.1 to 60 μ are dispersed with zirconium oxide, diamond, iron oxide, boron nitride, emery, etc.
A polishing layer is formed by applying the polishing layer at a coating amount of about / m 2 .

【0011】研磨層のバインダー用樹脂としては、ポリ
エステル,塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体,塩化ビニ
ル・塩化ビニリデン共重合体,アクリル酸エステル共重
合体,メタクリル酸エステル共重合体,ウレタン樹脂等
の熱可塑性樹脂、フェノール樹脂,エポキシ樹脂,ウレ
タン硬化型樹脂,メラミン樹脂等の熱硬化性樹脂、前述
の各熱可塑性樹脂とエポキシ化合物やイソシアネート化
合物等の架矯性結合剤との混合物による反応型樹脂、さ
らには放射線によって重合,架橋する樹脂等が利用され
る。
As the binder resin for the polishing layer, polyester, vinyl chloride / vinyl acetate copolymer, vinyl chloride / vinylidene chloride copolymer, acrylic ester copolymer, methacrylic ester copolymer, urethane resin, etc. may be used. Thermosetting resins such as thermoplastic resins, phenolic resins, epoxy resins, urethane curable resins, melamine resins, etc., and reactive resins made from a mixture of the above-mentioned thermoplastic resins and a bridging binder such as an epoxy compound or an isocyanate compound. Further, a resin or the like which is polymerized and crosslinked by radiation is used.

【0012】尚、前述のバインダー用樹脂における官能
基(−OH,−NH2 ,−COOH等)に対して、トル
イレンジイソシアナート(TDI),キシリレンジイソ
シアナート(XDI), ヘキサメチレジイソシアナー
ト(HMDI)等のイソシアナート系硬化剤を、[イソ
シアナート基(−NCO)/樹脂の官能基]で表示され
る当量比が0.5〜10程度の範囲内となる程度に混合
した研磨層形成用のコーテイング剤を使用することによ
り、バインダー用樹脂における官能基と硬化剤との反応
による熱硬化樹脂層からなる研磨層とすると、耐摩耗性
および耐熱性に極めて優れた作用を奏する研磨層が得ら
れる。
[0012] Toluene diisocyanate (TDI), xylylene diisocyanate (XDI), and hexamethylesylisocyanate are used for the functional groups (-OH, -NH 2 , -COOH, etc.) in the binder resin. A polishing layer in which an isocyanate-based curing agent such as (HMDI) is mixed to an extent that the equivalent ratio represented by [isocyanate group (-NCO) / functional group of resin] is in the range of about 0.5 to 10 By using a coating agent for formation, a polishing layer composed of a thermosetting resin layer formed by a reaction between a functional group in a binder resin and a curing agent is used, and the polishing layer exhibits extremely excellent wear resistance and heat resistance. Is obtained.

【0013】離型フィルムの離型面への研磨層形成用の
コーテイング剤の適用は、2本ロール、3本ロール、4
本ロール等のロールコート、グラビアコート、キスコー
ト、ナイフコート、バーコート、ロッドコート、コンマ
コート、スプレイコート、パークコート等の方法を利用
して行なえる。
The application of the coating agent for forming the polishing layer on the release surface of the release film is performed by two rolls, three rolls, and four rolls.
It can be carried out by a method such as roll coating such as a main roll, gravure coating, kiss coating, knife coating, bar coating, rod coating, comma coating, spray coating, park coating and the like.

【0014】研磨層を形成するためのコーテイング剤中
のバインダー用樹脂と砥粒との割合は、一般的には、バ
インダー用樹脂100重量部に対して砥粒が100重量
部未満になると、研磨作用の良好な研磨層が得られなく
なる恐れがあり、また、バインダー用樹脂100重量部
に対して砥粒が1400重量部を超えると、研磨層にお
けるバインダー成分のバインダー力が不足し、研磨テー
プによる研磨工程中に砥粒が脱落する恐れがある。
The ratio of the binder resin and the abrasive grains in the coating agent for forming the polishing layer is generally such that when the abrasive grains are less than 100 parts by weight relative to 100 parts by weight of the binder resin, the polishing is performed. There is a possibility that a polishing layer having a good action may not be obtained, and if the abrasive grains exceed 1400 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the binder resin, the binder strength of the binder component in the polishing layer may be insufficient and the polishing tape Abrasive grains may fall off during the polishing process.

【0015】このため、バインダー用樹脂100重量部
に対して砥粒100〜1400重量部程度を含有するコ
ーテイング剤を使用して研磨層を形成するのが良い。
Therefore, it is preferable to form the polishing layer by using a coating agent containing 100 to 1400 parts by weight of abrasive grains with respect to 100 parts by weight of the binder resin.

【0016】研磨層形成用のコーテイング剤の塗布、乾
燥後には、前記コーテイング剤中のバインダー用樹脂の
種類に応じて、加熱,放射線照射等の後処理が施され、
通常5〜80μ程度の厚さの研磨層が形成される。
After coating and drying the coating agent for forming the polishing layer, a post-treatment such as heating or radiation irradiation is applied depending on the kind of the binder resin in the coating agent.
Usually, a polishing layer having a thickness of about 5 to 80 μm is formed.

【0017】研磨層形成用の転写材における研磨層を接
着剤層または粘着剤層を介して研磨テープ用基材の表面
に転写する工程は、研磨層形成用の転写材の研磨層面に
研磨テープ用基材を重ね合わせて押圧する工程により実
施する。
In the step of transferring the polishing layer in the transfer material for forming the polishing layer onto the surface of the base material for the polishing tape via the adhesive layer or the pressure-sensitive adhesive layer, the polishing tape is applied to the surface of the polishing layer of the transfer material for forming the polishing layer. This is carried out by the step of stacking and pressing the base materials for use.

【0018】研磨テープ用基材の表面に研磨層を転写す
る際に利用する接着剤層または粘着剤層は、研磨層形成
用の転写材の研磨層の表面に形成したものであっても、
あるいは、研磨テープ用基材の表面に形成したものであ
っても良い。
The adhesive layer or pressure-sensitive adhesive layer used for transferring the polishing layer to the surface of the base material for the polishing tape may be formed on the surface of the polishing layer of the transfer material for forming the polishing layer,
Alternatively, it may be formed on the surface of the base material for the polishing tape.

【0019】研磨テープ用基材には、紙、不織布、合成
紙、または、機械的強度,寸法安定性,耐熱性等におい
て優れた性質を有する厚さ12〜150μ程度のプラス
チックフィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレー
ト,ポリプロピレン,ポリカーボネート,ジ−酢酸アセ
テート,トリ−酢酸アセテート,ポリエチレン,ポリブ
チレンテレフタレート,ポリアリレート等によるプラス
チックフィルムが利用される。
The polishing tape base material is paper, non-woven fabric, synthetic paper, or a plastic film having a thickness of about 12 to 150 μm, which has excellent properties such as mechanical strength, dimensional stability, and heat resistance. Plastic films made of terephthalate, polypropylene, polycarbonate, di-acetate acetate, tri-acetate acetate, polyethylene, polybutylene terephthalate, polyarylate, etc. are used.

【0020】研磨テープ用基材の表面への研磨層の転写
は、研磨層形成用の転写材における離型フィルムを剥
離、除去することによって完了する。
The transfer of the polishing layer to the surface of the base material for the polishing tape is completed by peeling and removing the release film of the transfer material for forming the polishing layer.

【0021】しかる後に、研磨テープ用基材に転写させ
た研磨層の表面をエッチング処理に付し、研磨層の表面
のバインダー用樹脂を除去して砥粒を露呈させることに
より、本発明の目的の研磨テープを得る。
Thereafter, the surface of the polishing layer transferred to the base material for the polishing tape is subjected to an etching treatment to remove the binder resin on the surface of the polishing layer to expose the abrasive grains, whereby the object of the present invention. Get the polishing tape.

【0022】転写層からなる研磨層の表面のエッチング
処理には、例えば、酸素プラズマエッチャー、イオンミ
ーリングまたは光アッシング装置等によるエッチング方
法を利用し得る。
For the etching treatment of the surface of the polishing layer composed of the transfer layer, an etching method using, for example, an oxygen plasma etcher, ion milling or an optical ashing device can be used.

【0023】研磨層の表面のエッチング処理により、該
研磨層の表面を0.01〜1.00μ程度の深さまでエ
ッチングするのが良い。
The surface of the polishing layer is preferably etched to a depth of about 0.01 to 1.00 μm by etching the surface of the polishing layer.

【0024】[0024]

【作用】本発明の研磨テープは、研磨テープ用基材の表
面に形成されている研磨層が、バインダー用樹脂に砥粒
を分散させてなるものであり、しかも該研磨層が転写層
からなり、かつ、研磨層の表面に存在する砥粒がバイン
ダー用樹脂から露呈してなるものである。
In the polishing tape of the present invention, the polishing layer formed on the surface of the base material for the polishing tape has the abrasive grains dispersed in the binder resin, and the polishing layer is composed of the transfer layer. Moreover, the abrasive grains present on the surface of the polishing layer are exposed from the binder resin.

【0025】また、本発明の研磨テープの製造方法は、
研磨テープ用基材の表面に転写層からなる研磨層を形成
することにより、表面が平坦で、かつ砥粒がバインダー
用樹脂で被覆されている目詰まり状態の研磨層を形成
し、続いて、転写層からなる研磨層の表面をエッチング
処理に付すことにより、該研磨層の表面のバインダー用
樹脂を除去し、該研磨層の表面に存在する砥粒をバイン
ダー用樹脂から露呈させるものである。
Further, the method for producing the polishing tape of the present invention is
By forming a polishing layer comprising a transfer layer on the surface of the base material for the polishing tape, the surface is flat, and the polishing layer in a clogged state in which the abrasive grains are coated with the binder resin is formed, and subsequently, By subjecting the surface of the polishing layer composed of the transfer layer to an etching treatment, the binder resin on the surface of the polishing layer is removed, and the abrasive grains present on the surface of the polishing layer are exposed from the binder resin.

【0026】したがって、本発明の研磨テープは、研磨
層が転写層からなるものであるため、研磨層の表面が平
坦であることにより研磨斑の無い均一な研磨を行なうこ
とができる。
Therefore, in the polishing tape of the present invention, since the polishing layer is composed of the transfer layer, the flatness of the surface of the polishing layer allows uniform polishing without polishing spots.

【0027】また、本発明の研磨テープは、研磨層の表
面に砥粒が露呈しているため、被研磨物の加工面に研磨
層における砥粒が直接当たることにより、研磨効率の高
い研磨を行なうことができる。
Further, in the polishing tape of the present invention, since the abrasive grains are exposed on the surface of the polishing layer, the abrasive grains in the polishing layer directly contact the processed surface of the object to be polished, so that polishing with high polishing efficiency is achieved. Can be done.

【0028】さらに、本発明の研磨テープの製造方法に
よれば、研磨層の表面が平坦で、しかも、研磨層の表面
に砥粒が露呈している研磨テープ、すなわち、研磨斑の
無い均一な研磨を効率良く行なえる研磨テープを、容易
かつ的確に得ることができる。
Further, according to the method for producing a polishing tape of the present invention, the surface of the polishing layer is flat, and the polishing tape has the abrasive grains exposed on the surface of the polishing layer, that is, the polishing tape has no unevenness and is uniform. A polishing tape that can be polished efficiently can be obtained easily and accurately.

【0029】[0029]

【実施例】以下、本発明の研磨テープの具体的な構成を
製造実施例に基づいて説明する。
EXAMPLES The specific constitution of the polishing tape of the present invention will be described below based on manufacturing examples.

【0030】実施例1 表面がシリコーンによる離型剤処理されている厚さ25
μのポリエチレンテレフタレートフィルム「帝人 (株)
:SP−4」からなる離型フィルムの離型剤処理面
に、下記の組成「A」による研磨層形成用のコーティン
グ剤を20g(dry)/m2 に塗布、乾燥し、転写材
を得た。
Example 1 Thickness 25 whose surface is treated with a release agent of silicone
µ polyethylene terephthalate film "Teijin Ltd."
: SP-4 "on the release agent-treated surface of the release film, a coating agent for forming a polishing layer having the following composition" A "is applied at 20 g (dry) / m 2 and dried to obtain a transfer material. It was

【0031】 組成「A」 (1) 砥粒「平均粒径2μのホワイトアルミナ(WA−6000)[昭和電工 ( 株) ]」・・・・・・・・・・50重量部 (2) バインダー用樹脂「線状ポリエステル樹脂[東洋紡績 (株) :バイロン# 200]」・・・・・・・・20重量部 (3) 溶剤「トルエン/MEK=1/1」・・・・・・・・30重量部Composition “A” (1) Abrasive grains “White alumina with an average particle size of 2 μm (WA-6000) [Showa Denko KK]” 50 parts by weight (2) Binder Resin "Linear polyester resin [Toyobo Co., Ltd .: Byron # 200]" ... 20 parts by weight (3) Solvent "Toluene / MEK = 1/1" ...・ 30 parts by weight

【0032】続いて、転写材の研磨層面にウレタン系接
着剤「武田薬品工業 (株) :タケラックA−515/タ
ケネートA−50=9/1」を5g/m2 に塗布し、そ
の上に厚さ31μの2軸延伸ポリエチレンテレフタレー
トフィルム「帝人 (株) :SGタイプ」からなる研磨テ
ープ用基材を積層した。
Then, a urethane adhesive "Takeda Pharmaceutical Co., Ltd .: Takelac A-515 / Takenate A-50 = 9/1" was applied to the polishing layer surface of the transfer material at 5 g / m 2 and then applied. A polishing tape substrate made of a 31 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film “Teijin KK: SG type” was laminated.

【0033】さらに、40℃、72時間のエージングに
付して接着剤を硬化させた後、離型フィルムを剥離、除
去した。
Further, after aging at 40 ° C. for 72 hours to cure the adhesive, the release film was peeled off and removed.

【0034】しかる後に、酸素プラズマエッチャー装置
「Samco RIE 10NL(サムコインターナシ
ョナル研究所製)」により、研磨層の表面を0.1μの
深さまでエッチングし、研磨層の表面の砥粒がバインダ
ー用樹脂から露呈している研磨層を有する研磨テープ
(1)を得た。
Then, the surface of the polishing layer was etched to a depth of 0.1 μ by an oxygen plasma etcher “Samco RIE 10NL” (manufactured by Samco International Laboratories), and the abrasive grains on the surface of the polishing layer were removed from the binder resin. A polishing tape (1) having an exposed polishing layer was obtained.

【0035】比較例1 厚さ31μの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム「帝人 (株) :SGタイプ」からなる研磨テープ用
基材の上に、先の実施例1で利用した組成「A」による
研磨層形成用のコーティング剤を20g(dry)/m
2 に塗布、乾燥し、比較のための研磨テープ(2)を得
た。
Comparative Example 1 A polishing tape base material made of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film “Teijin KK: SG type” having a thickness of 31 μ was polished with the composition “A” used in Example 1 above. 20 g (dry) / m of coating agent for layer formation
2 was applied and dried to obtain a polishing tape (2) for comparison.

【0036】比較例2 実施例1の研磨テープの製造工程中の酸素プラズマエッ
チャー装置による研磨層のエッチング工程を省略するこ
とにより、比較のための研磨テープ(3)を得た。
Comparative Example 2 A polishing tape (3) for comparison was obtained by omitting the step of etching the polishing layer with the oxygen plasma etcher during the manufacturing process of the polishing tape of Example 1.

【0037】実験1 実施例1、比較例1〜比較例2の各研磨テープの研磨層
の表面粗さ(中心線平均粗さ:Ra)を、3次元表面粗
度計「小坂研究所 (株) 」によって測定した。結果を
[表1]に示す。
Experiment 1 The surface roughness (center line average roughness: Ra) of the polishing layer of each of the polishing tapes of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 was measured by a three-dimensional surface roughness meter "Kosaka Laboratory Ltd. ) ”. The results are shown in [Table 1].

【0038】実験2 実施例1、比較例1〜比較例2の各研磨テープを利用
し、回転式テープ研磨機により、回転数4000rp
m、圧力0.7kg/cm2 、研磨テープ送り速度5m
m/sec、研磨時間3secの研磨条件で、ハードデ
ィスク用アルミ基盤の表面の研磨を行なった。
Experiment 2 Using each of the polishing tapes of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2, a rotary tape polishing machine was used to rotate at 4000 rpm.
m, pressure 0.7 kg / cm 2 , polishing tape feed rate 5 m
The surface of the aluminum substrate for hard disk was polished under the polishing conditions of m / sec and polishing time of 3 sec.

【0039】研磨した後のハードディスク用アルミ基盤
の表面状態を100倍の光学顕微鏡で観察した。結果を
[表1]に示す。
The surface condition of the aluminum substrate for hard disk after polishing was observed with a 100 × optical microscope. The results are shown in [Table 1].

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】比較例1の研磨テープの実験結果から明ら
かなように、研磨テープ用基材の表面に、バインダー用
樹脂液中に砥粒を分散させたコーティング剤を塗布、乾
燥して研磨層を形成した研磨テープは、研磨層の表面粗
さが大きく不均一なため、研磨したハードディスク用ア
ルミ基盤の表面の研磨斑が多く、しかも、スクラッチ傷
の発生もあった。
As is clear from the experimental results of the polishing tape of Comparative Example 1, the surface of the polishing tape base material was coated with a coating agent containing abrasive grains dispersed in a binder resin solution and dried to form a polishing layer. Since the surface roughness of the polishing layer of the formed polishing tape was large and non-uniform, there were many polishing spots on the surface of the polished aluminum base for a hard disk, and scratches were generated.

【0042】また、転写層による研磨層を有する研磨テ
ープは、比較例2の研磨テープに対する実験結果から明
らかなように、研磨層の表面は極めて平坦であるが、研
磨層を形成しているバインダー用樹脂中に砥粒が埋没
し、研磨層中の砥粒はバインダー用樹脂で被覆されてい
る状態にある。
In the polishing tape having the polishing layer formed of the transfer layer, as is clear from the experimental results for the polishing tape of Comparative Example 2, the surface of the polishing layer is extremely flat, but the binder forming the polishing layer. Abrasive grains are buried in the resin for use, and the abrasive grains in the polishing layer are covered with the binder resin.

【0043】このため、比較例2の研磨テープによる研
磨加工時には、ハードディスク用アルミ基盤の表面に研
磨層の表面をなすバインダー用樹脂が当たるため、良好
な研磨効果が得られなかった。
For this reason, at the time of polishing with the polishing tape of Comparative Example 2, the resin for the binder forming the surface of the polishing layer hits the surface of the aluminum substrate for hard disk, so that a good polishing effect was not obtained.

【0044】これに対して、実施例1による研磨テープ
は、研磨層の表面が平坦であり、かつ、研磨層の表面に
砥粒が露呈しているため、ハードディスク用アルミ基盤
の表面を鏡面に近い状態に効率良く研磨することができ
た。
On the other hand, in the polishing tape according to Example 1, since the surface of the polishing layer was flat and the abrasive grains were exposed on the surface of the polishing layer, the surface of the aluminum base for hard disk was mirror-finished. It was possible to efficiently polish to a close state.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明の研磨テープによれば、斑の無い
均一な研磨を効率良く行なうことができる。
According to the polishing tape of the present invention, uniform polishing without spots can be efficiently performed.

【0046】また、本発明の研磨テープの製造方法によ
れば、斑の無い均一な研磨を効率良く行なうことのでき
る研磨テープを的確に得ることができる。
Further, according to the method for manufacturing a polishing tape of the present invention, it is possible to accurately obtain a polishing tape capable of efficiently performing uniform polishing without spots.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 バインダー用樹脂に砥粒を分散させてな
る研磨層を有する研磨テープにおいて、前記研磨層が転
写層からなり、かつ、研磨層の表面に存在する砥粒がバ
インダー用樹脂から露呈していることを特徴とする研磨
テープ。
1. A polishing tape having a polishing layer obtained by dispersing abrasive grains in a binder resin, wherein the polishing layer comprises a transfer layer, and the abrasive grains present on the surface of the polishing layer are exposed from the binder resin. Abrasive tape characterized by being.
【請求項2】 離型フィルムの表面に、バインダー用樹
脂液中に砥粒を分散させたコーティング剤を塗布、乾燥
して研磨層を形成することにより、研磨層形成用の転写
材を得る工程と、研磨テープ用基材の表面に、前記転写
材における研磨層を接着剤層または粘着剤層を介して転
写する工程と、研磨テープ用基材に転写した研磨層の表
面をエッチング処理に付し、研磨層の表面のバインダー
用樹脂を除去して砥粒を露呈させる工程とからなること
を特徴とする研磨テープの製造方法。
2. A step of obtaining a transfer material for forming a polishing layer by applying a coating agent having abrasive particles dispersed in a binder resin liquid on the surface of a release film and drying the coating agent to form a polishing layer. And a step of transferring the polishing layer of the transfer material to the surface of the polishing tape base material via an adhesive layer or an adhesive layer, and subjecting the surface of the polishing layer transferred to the polishing tape base material to an etching treatment. And then removing the binder resin on the surface of the polishing layer to expose the abrasive grains, thereby producing a polishing tape.
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