JPH0795045B2 - X-ray spectrometer - Google Patents
X-ray spectrometerInfo
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- JPH0795045B2 JPH0795045B2 JP63005328A JP532888A JPH0795045B2 JP H0795045 B2 JPH0795045 B2 JP H0795045B2 JP 63005328 A JP63005328 A JP 63005328A JP 532888 A JP532888 A JP 532888A JP H0795045 B2 JPH0795045 B2 JP H0795045B2
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- rays
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Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、EPMA、PIXE、蛍光Ｘ線分析等に使用されるＸ
線分光装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to XMA used for EPMA, PIXE, fluorescent X-ray analysis and the like.
The present invention relates to a line spectrometer.
（ロ）従来技術とのその問題点 従来のこの種の装置には、第３図に示すものがある。こ
のＸ線分光装置が、ローランド円Ｌ上に試料S1のＸ線発
生点Ｅ、ローランド円Ｌに沿う円弧面をもつ分光結晶C1
およびＸ線検出器D1がそれぞれ配置されている。そし
て、試料S1からのＸ線を分光結晶C1で分光し、特定波長
のＸ線をＸ線検出器D1に向けて収束させて検出する。こ
の構成のものは、一般定波長のＸ線のみを分光結晶C1で
分光してＸ線検出器D1に入射させるので、Ｘ線強度の大
きい信号が得られるものの、多元素分析を行う場合には
波長走査をする必要があり、そのために分析に時間がか
かる不具合がある。(B) Problems with the Prior Art As a conventional device of this type, there is one shown in FIG. This X-ray spectroscopic apparatus has an X-ray generation point E of the sample S 1 on the Rowland circle L and a dispersive crystal C 1 having an arc surface along the Rowland circle L.
And an X-ray detector D 1 are arranged respectively. Then, the X-ray from the sample S 1 is dispersed by the dispersive crystal C 1 , and the X-ray of the specific wavelength is converged toward the X-ray detector D 1 and detected. With this configuration, only X-rays of a general constant wavelength are split by the dispersive crystal C 1 and made incident on the X-ray detector D 1 , so that a signal with a high X-ray intensity can be obtained, but when performing multi-element analysis. It is necessary to perform wavelength scanning, which causes a problem that analysis takes time.
分析時間を短縮するようにした従来装置としては、第４
図に示すものが提案されている。この装置では、平板状
の分光結晶C2と位置敏感型比例計数器D2とを組み合わせ
て構成されており、試料S2から発生された広い波長範囲
のＸ線を同時にこの分光結晶C2で分光し、分光された各
波長のＸ線を位置敏感型比例計数器D2で位置検出するこ
とによりＸ線を各波長ごとに分解するものである。この
装置を使用すれば同時多元素分析が可能であるが、分光
装置C2が平板状であるため位置敏感型比例計数器D2に対
するＸ線の入射角はＸ線の波長によって異なり、そのた
め、各波長に対するＸ線の検出効率も変動する。したが
って、検出出力に対する較正が必要となるばかりか、波
長分解能の低下をもたらす。As a conventional device that shortens the analysis time,
The one shown in the figure has been proposed. In this device, a flat dispersive crystal C 2 and a position-sensitive proportional counter D 2 are combined to construct X-rays in a wide wavelength range generated from a sample S 2 at the same time by the dispersive crystal C 2 . The X-rays are separated for each wavelength by spectrally separating and detecting the position of the separated X-rays of each wavelength with a position-sensitive proportional counter D 2 . Simultaneous multi-element analysis is possible using this device, but since the spectroscopic device C 2 is flat, the incident angle of the X-rays on the position-sensitive proportional counter D 2 differs depending on the wavelength of the X-rays. The detection efficiency of X-rays for each wavelength also changes. Therefore, not only calibration for the detection output is required, but also the wavelength resolution is deteriorated.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、Ｘ線の検出効率を波長に依存することなく一定に保
つとともに、波長分解能の向上を図った多元素同時分析
が実現できるようにすることを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to realize multi-element simultaneous analysis with the X-ray detection efficiency kept constant without depending on the wavelength and the wavelength resolution improved. The purpose is to
（ハ）問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するために、次の構成を採
る。(C) Means for Solving Problems The present invention adopts the following configuration in order to achieve the above object.
すなわち、本発明のＸ線分光装置においては、分光結晶
と、位置敏感型Ｘ線検出器とを有したＸ線分光装置であ
って、前記分光結晶は、放射線の焦点に配置され励起源
からの励起線が照射される試料からの発生Ｘ線を平行に
反射するよう前記放射線に沿って湾曲されて配置されて
おり、かつ、放物線上の任意の位置で反射したＸ線を反
射面から所定の距離で収束させる円弧形状を有するもの
であり、前記位置敏感型Ｘ線検出器は、前記分光結晶か
ら前記所定の距離のところで前記分光結晶から平行に反
射してくるＸ線の反射光路に対して直交する方向に直線
状に配置されて、前記分光結晶で反射されたＸ線を検出
するものであることを特徴としている。That is, the X-ray spectroscopic device of the present invention is an X-ray spectroscopic device having a dispersive crystal and a position-sensitive X-ray detector, wherein the dispersive crystal is disposed at the focal point of radiation and emitted from an excitation source. The X-ray generated from the sample irradiated with the excitation ray is curved along the radiation so as to be reflected in parallel, and the X-ray reflected at an arbitrary position on the parabola is reflected from the reflecting surface by a predetermined value. The position-sensitive X-ray detector has an arc shape that converges at a distance, and the position-sensitive X-ray detector is arranged with respect to a reflection optical path of X-rays reflected in parallel from the dispersive crystal at the predetermined distance from the dispersive crystal. The X-rays are arranged in a straight line in a direction orthogonal to each other and detect X-rays reflected by the dispersive crystal.
（ニ）作用 上記構成によれば、試料から発生された散乱Ｘ線は、分
光結晶で各波長ごとに所定の角度で反射されるが、その
反射Ｘ線は全て平行になる。このため、分光されたＸ線
は位置敏感型Ｘ線検出器に常に一定角度で入射する。し
たがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変化が無くな
る。しかも、一般に波長分解能はＸ線の検出市の精度に
依存するので、Ｘ線の入射角が一定になることにより位
置精度も高くなって波長分解能が向上する。(D) Action According to the above configuration, the scattered X-rays generated from the sample are reflected by the dispersive crystal at a predetermined angle for each wavelength, but the reflected X-rays are all parallel. Therefore, the separated X-rays always enter the position-sensitive X-ray detector at a constant angle. Therefore, there is no change in the X-ray detection efficiency depending on the incident position. Moreover, since the wavelength resolution generally depends on the accuracy of the X-ray detection market, the positional accuracy is improved and the wavelength resolution is improved by keeping the X-ray incident angle constant.
（ホ）実施例 第１図はＸ線分光装置の全体構成図、第２図は分光結晶
と位置敏感型Ｘ線検出器の斜視図である。これらの図に
おいて、符号１はＸ線分析装置の全体を示し、２は分析
対象となる試料、４は分光結晶、６は分光結晶４で反射
されたＸ線を検出する位置敏感型Ｘ線検出器（本例では
位置敏感型比例計数器）である。上記の分光結晶４は、
所定の放物線Ｐに沿って湾曲されており、その放物線焦
点Ｆが試料２上のＸ線の発生位置と一致するように設定
されている。さらに、この分光結晶４は、放射線Ｐとの
直交面が位置敏感型比例計数器６の前面に配置されたス
リット８に向けてＸ線が収束されるように円弧状に形成
されている。また、上記の位置敏感型比例計数器６は、
Ｘ線の反射光路に対して直交配置されている。(E) Example FIG. 1 is an overall configuration diagram of an X-ray spectroscope, and FIG. 2 is a perspective view of a dispersive crystal and a position-sensitive X-ray detector. In these figures, reference numeral 1 denotes the entire X-ray analyzer, 2 is a sample to be analyzed, 4 is a dispersive crystal, and 6 is position-sensitive X-ray detection for detecting X-rays reflected by the dispersive crystal 4. Device (position-sensitive proportional counter in this example). The dispersive crystal 4 is
It is curved along a predetermined parabola P, and its parabolic focus F is set so as to coincide with the X-ray generation position on the sample 2. Further, the dispersive crystal 4 is formed in an arc shape so that the plane orthogonal to the radiation P converges the X-ray toward the slit 8 arranged on the front surface of the position-sensitive proportional counter 6. Further, the position-sensitive proportional counter 6 described above is
It is arranged orthogonal to the reflected light path of the X-ray.
なお、6a、6bは位置敏感型比例計数器６のアノードおよ
びカソード、8a〜8cは像幅器、10a、10bは遅延回路、12
a〜12cはTSCA（Timing Single Channel Analyzer）、14
は時間／波高変換器、16はリニアゲート、18は波高分析
器である。6a and 6b are anodes and cathodes of the position sensitive proportional counter 6, 8a to 8c are image width units, 10a and 10b are delay circuits, and 12
a to 12c are TSCA (Timing Single Channel Analyzer), 14
Is a time / wave height converter, 16 is a linear gate, and 18 is a wave height analyzer.
上記構成において、試料２に電子ビーム等の励起線が照
射されると、試料２からＸ線が発生される。試料２から
発生したＸ線は、分光結晶４で各波長に応じて反射され
るが、分光結晶４の放射線焦点Ｆは予め試料２上のＸ線
の発生位置と一致するように設定されているから、その
反射Ｘ線は全て平行になる。しかも、位置敏感型比例計
数器６は、予め反射光路に対して直交配置されているの
で、分光されたＸ線は位置敏感型Ｘ線検出器に垂直に入
射する。したがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変
化は無く一定である。また、波長分解能はＸ線の検出位
置の精度に依存するので、Ｘ線の入射角が一定になるこ
とにより位置精度が高くなって波長分解能が向上する。In the above configuration, when the sample 2 is irradiated with an excitation beam such as an electron beam, the sample 2 generates X-rays. The X-ray generated from the sample 2 is reflected by the dispersive crystal 4 according to each wavelength, and the radiation focus F of the dispersive crystal 4 is set in advance so as to coincide with the generation position of the X-ray on the sample 2. Therefore, the reflected X-rays are all parallel. Moreover, since the position-sensitive proportional counter 6 is arranged in advance at right angles to the reflected light path, the separated X-rays enter the position-sensitive X-ray detector vertically. Therefore, the X-ray detection efficiency does not change depending on the incident position and is constant. Further, since the wavelength resolution depends on the accuracy of the X-ray detection position, the positional accuracy is improved and the wavelength resolution is improved by keeping the incident angle of the X-rays constant.
なお、位置敏感型比例計数器６に入射したＸ線は、入射
位置に応じた時間差信号としてカソード6bで位置検出さ
れる。また、Ｘ線強度に対応する信号はアノード6aの検
出出力となる。カソード6bで得られた時間差信号は時間
／波高変換回路14で時間差に対応する電圧値に変換さ
れ、次いで、アノード6aからＸ線強度信号によりゲート
がかけられた後、波高分析器18に入力される。また、ア
ノード6aからのＸ線強度信号も波高分析器18に入力され
る。これにより、横軸を波長、縦軸をＸ線強度としたス
ペクトルが測定される。The position of the X-ray incident on the position-sensitive proportional counter 6 is detected by the cathode 6b as a time difference signal corresponding to the incident position. The signal corresponding to the X-ray intensity is the detection output of the anode 6a. The time difference signal obtained at the cathode 6b is converted into a voltage value corresponding to the time difference by the time / wave height conversion circuit 14, and then gated by the X-ray intensity signal from the anode 6a, and then input to the wave height analyzer 18. It The X-ray intensity signal from the anode 6a is also input to the wave height analyzer 18. As a result, a spectrum having the horizontal axis as the wavelength and the vertical axis as the X-ray intensity is measured.
（ヘ）効果 本発明によれば、位置敏感型Ｘ線検出器に対するＸ線の
入射角が波長によらず一定になるので、Ｘ線の検出効率
の変化を防止でき、また、波長分解能の向上を図った多
元素同時分析が可能となる等の優れた効果が発揮され
る。(F) Effect According to the present invention, since the incident angle of X-rays on the position-sensitive X-ray detector is constant regardless of wavelength, it is possible to prevent changes in X-ray detection efficiency and improve wavelength resolution. Excellent effects such as simultaneous analysis of multi-elements are possible.
第１図および第２図は本発明の実施例を、第３図および
第４図は従来例をそれぞれ示し、第１図はＸ線分光装置
の全体構成図、第２図は分光結晶と位置敏感型Ｘ線検出
器の斜視図、第３図および第４図はＸ線分光装置の説明
図である。 １……Ｘ線分光装置、２……試料、４……分光結晶、６
……位置敏感型Ｘ線検出器。FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the present invention, FIGS. 3 and 4 show a conventional example, FIG. 1 is an overall configuration diagram of an X-ray spectroscope, and FIG. 2 is a dispersive crystal and its position. FIG. 3 is a perspective view of the sensitive X-ray detector, and FIGS. 3 and 4 are explanatory views of the X-ray spectroscope. 1 ... X-ray spectroscope, 2 ... Sample, 4 ... Spectroscopic crystal, 6
...... Position-sensitive X-ray detector.
Claims (1)
したＸ線分光装置であって、 前記分光結晶は、放射線の焦点に配置され励起源からの
励起線が照射される試料からの発生Ｘ線を平行に反射す
るよう前記放射線に沿って湾曲されて配置されており、
かつ、放物線上の任意の位置で反射したＸ線を反射面か
ら所定の距離で収束させる円弧形状を有するものであ
り、 前記位置敏感型Ｘ線検出器は、前記分光結晶からは前記
所定の距離のところで前記分光結晶から平行に反射して
くるＸ線の反射光路に対して直交する方向に直線状に配
置されて、前記分光結晶で反射されたＸ線を検出するも
のであることを特徴とするＸ線分光装置。1. An X-ray spectroscope having a dispersive crystal and a position-sensitive X-ray detector, wherein the dispersive crystal is placed at a focal point of radiation and irradiated with an excitation line from an excitation source. Is arranged along the radiation so as to reflect the X-rays generated from
And, it has a circular arc shape that converges the X-ray reflected at any position on the parabola from the reflecting surface at a predetermined distance, the position-sensitive X-ray detector, the predetermined distance from the dispersive crystal. By the way, it is arranged linearly in a direction orthogonal to a reflection optical path of X-rays reflected in parallel from the dispersive crystal and detects the X-rays reflected by the dispersive crystal. X-ray spectrometer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005328A JPH0795045B2 (en) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | X-ray spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005328A JPH0795045B2 (en) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | X-ray spectrometer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01180439A JPH01180439A (en) | 1989-07-18 |
| JPH0795045B2 true JPH0795045B2 (en) | 1995-10-11 |
Family
ID=11608177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63005328A Expired - Fee Related JPH0795045B2 (en) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | X-ray spectrometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH0795045B2 (en) |
Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50115085A (en) * | 1974-02-20 | 1975-09-09 | ||
| JPS6122240A (en) * | 1984-07-11 | 1986-01-30 | Rigaku Denki Kk | X-ray analysis apparatus for minute part |
-
1988
- 1988-01-12 JP JP63005328A patent/JPH0795045B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH01180439A (en) | 1989-07-18 |
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