JPH0791959A - Vibration gyroscope - Google Patents

Vibration gyroscope

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JPH0791959A
JPH0791959A JP5261703A JP26170393A JPH0791959A JP H0791959 A JPH0791959 A JP H0791959A JP 5261703 A JP5261703 A JP 5261703A JP 26170393 A JP26170393 A JP 26170393A JP H0791959 A JPH0791959 A JP H0791959A
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JP
Japan
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temperature
vibrating body
circuit
piezo
vibrating
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Application number
JP5261703A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiro Yoshitani
谷 和 博 吉
Katsumi Fujimoto
本 克 己 藤
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To make it possible to compensate the temperature characteristic of detection sensitivity at a low cost. CONSTITUTION:A vibration gyroscope 10 contains a vibrator 12 which comprises a triangle pole shaped vibrator 14 an piezo-electric elements 16a, 16b and 16c. An oscillation circuit 26 is connected between the piezo-electric elements 16a and 16b and the piezo-electric element 16c. Moreover, output signals of the piezo-electric elements 16a and 16b are inputted to a differential circuit 28. The differential circuit 28 is connected to a synchronous detection circuit 30, which 30 is connected to a smoothing circuit 32. A capacitor 34 for temperature compensation is connected to between the piezo-electric element 16a and 16b.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、柱状の振動体の屈曲振動を利用した振動
ジャイロに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration gyro,
In particular, for example, the present invention relates to a vibration gyro utilizing bending vibration of a columnar vibrating body.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は従来の振動ジャイロの一例を示す
図解図である。振動ジャイロ1は、たとえば正3角柱状
の振動体2を含む。振動体2の側面には、それぞれ圧電
素子3a,3b,3cが形成される。圧電素子3a,3
bは、振動体2を屈曲振動させるための駆動用として用
いられ、また回転角速度に応じた信号を検出するための
検出用としても用いられる。そして、圧電素子3cは、
振動体2を駆動するための帰還用として用いられる。圧
電素子3a,3bと圧電素子3cとの間には、発振回路
4が接続される。また、圧電素子3a,3bは、差動回
路5の入力端に接続される。差動回路5の出力端は同期
検波回路6に接続され、さらに同期検波回路6は平滑回
路7に接続される。
2. Description of the Related Art FIG. 7 is an illustrative view showing one example of a conventional vibrating gyro. The vibrating gyro 1 includes a vibrating body 2 having, for example, a regular triangular prism shape. Piezoelectric elements 3a, 3b, 3c are formed on the side surfaces of the vibrating body 2, respectively. Piezoelectric elements 3a, 3
b is used for driving to vibrate and vibrate the vibrating body 2, and is also used for detecting to detect a signal corresponding to the rotational angular velocity. The piezoelectric element 3c is
It is used for feedback to drive the vibrator 2. The oscillation circuit 4 is connected between the piezoelectric elements 3a and 3b and the piezoelectric element 3c. The piezoelectric elements 3a and 3b are connected to the input ends of the differential circuit 5. The output terminal of the differential circuit 5 is connected to the synchronous detection circuit 6, and the synchronous detection circuit 6 is further connected to the smoothing circuit 7.

【0003】この振動ジャイロ1では、発振回路4から
の駆動信号によって、振動体2が圧電素子3c形成面に
直交する方向に屈曲振動する。この状態で、振動体2の
軸を中心として回転すると、コリオリ力により振動体2
の振動方向が変わる。それにより、検出用の圧電素子3
a,3b間に出力信号の差が生じ、この出力信号の差が
差動回路5から出力される。そして、差動回路5の出力
信号を検波し、平滑することによって、振動ジャイロ1
に加わった回転角速度に対応した信号を検出することが
できる。
In the vibrating gyro 1, the vibrating body 2 flexurally vibrates in the direction orthogonal to the surface on which the piezoelectric element 3c is formed by the drive signal from the oscillating circuit 4. In this state, when rotating around the axis of the vibrating body 2, the vibrating body 2 is caused by Coriolis force.
Vibration direction changes. Thereby, the piezoelectric element 3 for detection
A difference between the output signals occurs between a and 3b, and the difference between the output signals is output from the differential circuit 5. Then, the output signal of the differential circuit 5 is detected and smoothed, so that the vibration gyro 1
It is possible to detect a signal corresponding to the rotational angular velocity applied to the.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな振動ジャイロでは、雰囲気温度の変化によって検出
感度が変化してしまう。このような検出感度の温度特性
は、振動体部分,発振回路部分および検出回路部分の温
度特性の組み合わせによって決定される。従来、このよ
うな振動ジャイロの検出感度の温度特性を補正すること
が困難であった。
However, in such a vibration gyro, the detection sensitivity changes due to the change in the ambient temperature. The temperature characteristic of such detection sensitivity is determined by a combination of the temperature characteristics of the vibrating body portion, the oscillation circuit portion, and the detection circuit portion. Conventionally, it has been difficult to correct the temperature characteristic of the detection sensitivity of such a vibration gyro.

【0005】それゆえに、この発明の主たる目的は、安
価に、検出感度の温度特性を補償することができる振動
ジャイロを提供することである。
Therefore, a main object of the present invention is to provide a vibrating gyroscope capable of compensating the temperature characteristic of detection sensitivity at low cost.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明は、柱状の振動
体と、振動体の側面に形成され、回転角速度に対応した
信号を検出するための複数の検出片と、複数の検出片間
に接続される温度補償用コンデンサとを含む、振動ジャ
イロである。
According to the present invention, a columnar vibrating body, a plurality of detection pieces formed on a side surface of the vibrating body for detecting a signal corresponding to a rotational angular velocity, and between the plurality of detection pieces. A vibration gyro including a temperature compensation capacitor connected thereto.

【0007】[0007]

【作用】雰囲気温度の変化により、温度補償用コンデン
サの静電容量が変化する。静電容量の変化により、振動
ジャイロの検出感度の温度特性が変化する。
The capacitance of the temperature compensating capacitor changes due to the change of the ambient temperature. The temperature characteristic of the detection sensitivity of the vibration gyro changes due to the change in capacitance.

【0008】[0008]

【発明の効果】この発明によれば、振動ジャイロの温度
特性と逆の特性をもつように温度補償用コンデンサを選
ぶことによって、雰囲気温度の変化による振動ジャイロ
の検出感度の温度変化を相殺することができる。したが
って、雰囲気温度の変化にかかわらず、振動ジャイロの
検出感度をほぼ一定に保つことができる。しかも、温度
補償用コンデンサは安価であり、温度補償のためのコス
トを抑えることができる。
According to the present invention, by selecting the temperature compensating capacitor so as to have a characteristic opposite to the temperature characteristic of the vibration gyro, the temperature change of the detection sensitivity of the vibration gyro due to the change of the ambient temperature is canceled. You can Therefore, the detection sensitivity of the vibration gyro can be kept substantially constant regardless of changes in the ambient temperature. Moreover, the temperature compensating capacitor is inexpensive, and the cost for temperature compensation can be suppressed.

【0009】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the embodiments with reference to the drawings.

【0010】[0010]

【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す図解図であ
る。振動ジャイロ10は、振動子12を含む。振動子1
2は、図2および図3に示すように、たとえば正3角柱
状の振動体14を含む。振動体14は、たとえばエリン
バ,鉄−ニッケル合金,石英,ガラス,水晶,セラミッ
クなど、一般的に機械的な振動を生じる材料で形成され
る。
1 is an illustrative view showing one embodiment of the present invention. The vibrating gyro 10 includes a vibrator 12. Oscillator 1
As shown in FIGS. 2 and 3, the reference numeral 2 includes a vibrating body 14 having, for example, a regular triangular prism shape. The vibrating body 14 is formed of a material that generally causes mechanical vibration, such as elinvar, iron-nickel alloy, quartz, glass, crystal, or ceramic.

【0011】振動体14の3つの側面には、それぞれ圧
電素子16a,16bおよび16cが形成される。圧電
素子16aは、たとえば磁器からなる圧電層18aを含
み、圧電層18aの両主面にはそれぞれ電極20aおよ
び22aが形成される。そして、一方の電極20aが振
動体14の側面に接着される。同様に、圧電素子16
b,16cは圧電層18b,18cを含み、圧電層18
b,18cの両主面に電極20b,22bおよび電極2
0c,22cが形成される。そして、これらの圧電素子
16b,16cの一方の電極20b,20cが、振動体
14の側面に接着される。さらに、振動体14のノード
点近傍の稜線部分は、たとえば金属線からなる支持部材
24a,24bで支持される。これらの支持部材24
a,24bは、たとえば溶接することによって、振動体
14に固着される。
Piezoelectric elements 16a, 16b and 16c are formed on three side surfaces of the vibrating body 14, respectively. The piezoelectric element 16a includes a piezoelectric layer 18a made of, for example, porcelain, and electrodes 20a and 22a are formed on both main surfaces of the piezoelectric layer 18a, respectively. Then, the one electrode 20a is bonded to the side surface of the vibrating body 14. Similarly, the piezoelectric element 16
b and 16c include piezoelectric layers 18b and 18c.
The electrodes 20b and 22b and the electrode 2 are provided on both main surfaces of b and 18c.
0c and 22c are formed. Then, one electrodes 20b and 20c of the piezoelectric elements 16b and 16c are bonded to the side surface of the vibrating body 14. Further, the ridgeline portion near the node point of the vibrating body 14 is supported by the supporting members 24a and 24b made of, for example, metal wires. These support members 24
The a and 24b are fixed to the vibrating body 14 by welding, for example.

【0012】圧電素子16a,16bは、振動体14を
屈曲振動させるための駆動用として用いられ、また回転
角速度に応じた信号を検出するための検出用としても用
いられる。そして、圧電素子16cは、振動体14を駆
動するための帰還用として用いられる。駆動用の圧電素
子16a,16bと帰還用の圧電素子16cとの間に
は、発振回路26が接続される。この発振回路26から
の駆動信号によって、振動体14は屈曲振動させられ
る。さらに、圧電素子16a,16bは、差動回路28
の入力端に接続される。差動回路28の出力端は同期検
波回路30に接続され、さらに同期検波回路30は平滑
回路32に接続される。同期検波回路30では、差動回
路28の出力信号が、発振回路26からの信号に同期し
て検波される。また、振動子12の2つの圧電素子16
a,16b間には、温度補償用コンデンサ34が接続さ
れる。
The piezoelectric elements 16a and 16b are used as a drive for bending and vibrating the vibrating body 14, and also as a detection for detecting a signal according to the rotational angular velocity. The piezoelectric element 16c is used for feedback to drive the vibrating body 14. An oscillation circuit 26 is connected between the driving piezoelectric elements 16a and 16b and the feedback piezoelectric element 16c. The vibrating body 14 is flexibly vibrated by the drive signal from the oscillation circuit 26. Further, the piezoelectric elements 16a and 16b are connected to the differential circuit 28.
Connected to the input end of. The output terminal of the differential circuit 28 is connected to the synchronous detection circuit 30, and the synchronous detection circuit 30 is further connected to the smoothing circuit 32. In the synchronous detection circuit 30, the output signal of the differential circuit 28 is detected in synchronization with the signal from the oscillation circuit 26. In addition, the two piezoelectric elements 16 of the vibrator 12
A temperature compensating capacitor 34 is connected between a and 16b.

【0013】この振動ジャイロ10では、発振回路26
によって、振動体14が圧電素子16c形成面に直交す
る方向に屈曲振動させられる。このとき、圧電素子16
a,16bに入力される励振信号は同じ信号であるた
め、差動回路28からは信号が出力されない。この状態
で、振動体14の軸を中心として回転すると、コリオリ
力によって振動体14の振動方向が変わる。それによ
り、圧電素子16a,16b間に出力信号の差が生じ、
差動回路28から信号が出力される。差動回路28の出
力信号は同期検波回路30で検波され、さらに平滑回路
32で平滑される。差動回路28の出力信号は振動体1
4の振動方向の変化に対応しているため、平滑回路32
の出力信号を測定すれば、振動ジャイロ10に加わった
回転角速度を検出することができる。
In this vibrating gyro 10, the oscillation circuit 26
Thus, the vibrating body 14 is flexibly vibrated in a direction orthogonal to the surface on which the piezoelectric element 16c is formed. At this time, the piezoelectric element 16
Since the excitation signals input to a and 16b are the same signal, no signal is output from the differential circuit 28. When rotating around the axis of the vibrating body 14 in this state, the vibration direction of the vibrating body 14 changes due to the Coriolis force. This causes a difference in output signal between the piezoelectric elements 16a and 16b,
A signal is output from the differential circuit 28. The output signal of the differential circuit 28 is detected by the synchronous detection circuit 30 and further smoothed by the smoothing circuit 32. The output signal of the differential circuit 28 is the vibrating body 1.
4 corresponds to the change in the vibration direction, the smoothing circuit 32
By measuring the output signal of, the rotational angular velocity applied to the vibration gyro 10 can be detected.

【0014】この振動ジャイロ10の検出感度の温度特
性を補正するために、圧電素子16a,16b間に温度
補償用コンデンサ34が接続されている。温度補償用コ
ンデンサ34としては、図4に示すように、種々の特性
のものがあり、必要に応じて適当な特性を有する温度補
償用コンデンサが選ばれる。図4において、CHは0±
60ppm/℃,PHは−150±60ppm/℃,R
Hは−220±60ppm/℃,SHは−330±60
ppm/℃,THは−470±60ppm/℃,UJは
−750±120ppm/℃の特性を有している。
In order to correct the temperature characteristic of the detection sensitivity of the vibration gyro 10, a temperature compensating capacitor 34 is connected between the piezoelectric elements 16a and 16b. As shown in FIG. 4, the temperature compensating capacitor 34 has various characteristics, and a temperature compensating capacitor having appropriate characteristics is selected as necessary. In FIG. 4, CH is 0 ±
60ppm / ℃, PH is -150 ± 60ppm / ℃, R
H is -220 ± 60ppm / ℃, SH is -330 ± 60
It has characteristics of ppm / ° C., TH of −470 ± 60 ppm / ° C., and UJ of −750 ± 120 ppm / ° C.

【0015】この振動ジャイロ10では、図5に示すよ
うに、温度補償用コンデンサ34の静電容量が大きくな
るにしたがって、検出感度が低くなる。逆に、温度補償
用コンデンサ34の静電容量が小さくなると、検出感度
が高くなる。したがって、温度が高くなると温度補償用
コンデンサ34の静電容量が小さくなり、検出感度は高
くなる。また、温度が低くなると、温度補償用コンデン
サ34の静電容量が大きくなり、検出感度は低くなる。
そのため、図6のAに示すように、温度が高くなるにし
たがって検出感度が低くなる特性を有する振動ジャイロ
においても、この図4に示す特性の温度補償用コンデン
サを用いることによって、図6のBに示すように、温度
の変化による検出感度の変化の小さい特性を得ることが
できる。
In this vibrating gyroscope 10, as shown in FIG. 5, the detection sensitivity decreases as the capacitance of the temperature compensating capacitor 34 increases. On the contrary, when the capacitance of the temperature compensating capacitor 34 becomes smaller, the detection sensitivity becomes higher. Therefore, as the temperature rises, the capacitance of the temperature compensating capacitor 34 decreases and the detection sensitivity increases. Further, when the temperature becomes low, the capacitance of the temperature compensating capacitor 34 becomes large and the detection sensitivity becomes low.
Therefore, as shown in FIG. 6A, even in the vibration gyro having the characteristic that the detection sensitivity becomes lower as the temperature becomes higher, the temperature compensation capacitor having the characteristic shown in FIG. As shown in, it is possible to obtain the characteristic that the change of the detection sensitivity due to the change of the temperature is small.

【0016】また、温度が高くなるにしたがって静電容
量が大きくなる温度補償用コンデンサを用いれば、図6
のCに示すように、温度が高くなるにしたがって検出感
度が低くなる特性を得ることができる。したがって、こ
のような温度補償用コンデンサを用いれば、温度が高く
なるにしたがって検出感度が高くなるような振動ジャイ
ロの特性を改善することができる。このように、適当な
特性の温度補償用コンデンサを選ぶことにより、温度変
化による振動ジャイロの検出感度の変動を少なくするこ
とができる。
If a temperature compensating capacitor whose capacitance increases as the temperature rises is used, FIG.
As shown in C of No. 1, it is possible to obtain the characteristic that the detection sensitivity decreases as the temperature increases. Therefore, if such a temperature compensating capacitor is used, it is possible to improve the characteristics of the vibration gyro that the detection sensitivity increases as the temperature increases. As described above, by selecting the temperature compensating capacitor having an appropriate characteristic, it is possible to reduce the fluctuation of the detection sensitivity of the vibration gyro due to the temperature change.

【0017】このように、圧電素子16a,16b間に
温度補償用コンデンサ34を接続することによって、振
動ジャイロ10の感度の温度特性を補正することができ
る。このような温度補償用コンデンサは安価であり、サ
ーミスタなどのような高価な部品を用いて温度補償する
場合に比べて部品コストを抑えることができる。
As described above, by connecting the temperature compensating capacitor 34 between the piezoelectric elements 16a and 16b, the temperature characteristic of the sensitivity of the vibration gyro 10 can be corrected. Such a temperature compensating capacitor is inexpensive and can reduce the cost of parts as compared with the case of using an expensive part such as a thermistor for temperature compensation.

【0018】なお、上述の実施例では、振動体14を正
3角柱状に形成したが、たとえば4角柱状など他の角柱
状に形成してもよい。また、振動体14の材料として圧
電体を用いてもよい。この場合、振動体14の側面に
は、圧電素子の代わりに電極が形成される。このような
振動子では、振動体の形状として円柱状のものを用いる
ことができる。このような振動子を使用した場合でも、
検出用の電極間に温度補償用コンデンサを接続すること
により、雰囲気温度の変化に対してほぼ一定の感度を有
する振動ジャイロを得ることができる。
Although the vibrating body 14 is formed in the regular triangular prism shape in the above-mentioned embodiments, it may be formed in another prismatic shape such as a quadrangular prism shape. A piezoelectric body may be used as the material of the vibrating body 14. In this case, an electrode is formed on the side surface of the vibrating body 14 instead of the piezoelectric element. In such a vibrator, a cylindrical shape can be used as the shape of the vibrating body. Even when using such a vibrator,
By connecting a temperature compensating capacitor between the detection electrodes, it is possible to obtain a vibration gyro having substantially constant sensitivity to changes in the ambient temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す図解図である。FIG. 1 is an illustrative view showing one embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す振動ジャイロに用いられる振動子を
示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a vibrator used in the vibrating gyro shown in FIG.

【図3】図2に示す振動子の断面図である。3 is a cross-sectional view of the vibrator shown in FIG.

【図4】図1の振動ジャイロに用いられる温度補償用コ
ンデンサの温度特性を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing temperature characteristics of a temperature compensating capacitor used in the vibration gyro of FIG.

【図5】温度補償用コンデンサの静電容量と振動ジャイ
ロの感度変化率との関係を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between the capacitance of the temperature compensation capacitor and the sensitivity change rate of the vibration gyro.

【図6】振動ジャイロの感度変化率と温度補償用コンデ
ンサを使用した場合の振動ジャイロの感度変化率とを示
すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing a sensitivity change rate of the vibration gyro and a sensitivity change rate of the vibration gyro when a temperature compensation capacitor is used.

【図7】従来の振動ジャイロの一例を示す図解図であ
る。
FIG. 7 is an illustrative view showing one example of a conventional vibrating gyro.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 振動ジャイロ 12 振動子 14 振動体 16a,16b,16c 圧電素子 34 温度補償用コンデンサ 10 Vibration Gyro 12 Vibrator 14 Vibrators 16a, 16b, 16c Piezoelectric Element 34 Temperature Compensating Capacitor

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 柱状の振動体、 前記振動体の側面に形成され、回転角速度に対応した信
号を検出するための複数の検出片、および前記複数の検
出片間に接続される温度補償用コンデンサを含む、振動
ジャイロ。
1. A columnar vibrating body, a plurality of detection pieces formed on a side surface of the vibrating body for detecting a signal corresponding to a rotational angular velocity, and a temperature compensating capacitor connected between the plurality of detection pieces. Vibrating gyro including.
JP5261703A 1993-09-24 1993-09-24 Vibration gyroscope Pending JPH0791959A (en)

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JP5261703A JPH0791959A (en) 1993-09-24 1993-09-24 Vibration gyroscope
EP94114974A EP0645602B1 (en) 1993-09-24 1994-09-22 Vibrating gyroscope
DE69411108T DE69411108T2 (en) 1993-09-24 1994-09-22 Vibrator rotation sensor
US08/798,989 US5824899A (en) 1993-09-24 1997-02-11 Vibratory gyroscope
US08/874,672 US5962785A (en) 1993-09-24 1997-06-13 Vibrating gyroscope

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