JPH0788953B2 - Mobile clean room workbench - Google Patents
Mobile clean room workbenchInfo
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- JPH0788953B2 JPH0788953B2 JP61000575A JP57586A JPH0788953B2 JP H0788953 B2 JPH0788953 B2 JP H0788953B2 JP 61000575 A JP61000575 A JP 61000575A JP 57586 A JP57586 A JP 57586A JP H0788953 B2 JPH0788953 B2 JP H0788953B2
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- JP
- Japan
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- clean room
- workbench
- air
- fan
- clean
- Prior art date
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Movable Scaffolding (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は無塵あるいは無菌状態に保持されるクリーンル
ーム内で使用するクリーンルーム作業台に関するもので
ある。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a clean room workbench used in a clean room maintained in a dust-free or aseptic state.
半導体の微細化，高集積化に伴いよりクリーン度の高い
クリーンルームが要求されており、最近ではクラス１以
下のものまで出現してきた。このクリーン化の傾向は今
後も続き、将来はクリーンロボットが作業時の主体とな
ると考えられクリーンロボットの開発が進められてい
る。Along with the miniaturization and high integration of semiconductors, a clean room with a higher degree of cleanliness has been required, and recently, even class 1 or less has appeared. This trend of cleanliness continues, and clean robots are considered to be the main body during work in the future, and clean robots are being developed.
一方、クリーンルーム内で作業を行う場合、組立作業な
ど発塵が起る場合にはクリーンルームを間仕切によって
仕切り、他の場所に塵埃が飛散するのを防いでいる。例
えば、実開昭60−10140号公報に示されるようにクリー
ンルーム内を仕切り、作業台と作業員が入るだけの作業
空間を作り、そこに、クリーン度の高いクリーンエアー
を吸込んでクリーンベンチまたはクリーンスポットを形
成し、小物の組立や修理を行っている。On the other hand, when working in a clean room or when dust is generated due to assembly work or the like, the clean room is partitioned by partitions to prevent dust from scattering to other places. For example, as shown in Japanese Utility Model Laid-Open No. 60-10140, the inside of a clean room is partitioned to create a work space for a workbench and a worker, and a clean bench or a clean bench is created by sucking clean air into it. We form spots and assemble and repair small items.
上記従来例ではクリーンルーム内を間仕切りによって分
け、クリーンベンチまたはクリーンスポット等の場所は
クリーンルームの特定の場所に限られ任意の場所での発
塵作業ができない問題がある。また、作業員がクリーン
ベンチまたはクリーンスポットに出入する度にクリーン
ベンチまたはスポット内のクリーン度が劣化する恐れが
あった。In the above-mentioned conventional example, the inside of the clean room is divided by partitions, and the place such as the clean bench or the clean spot is limited to a specific place in the clean room, and there is a problem that dusting work cannot be performed at any place. Moreover, the cleanliness in the clean bench or the spot may be deteriorated every time the worker goes in and out of the clean bench or the clean spot.
また、これらの作業領域はクリーンルーム内の特定の場
所にあるため、作業上一旦クリーンルーム外に出ること
による塵埃の付着の影響が有からであり、この影響を極
力少なくするために拭掃除に多大な労力を要する問題が
あった。また、上記クリーンロボットを開発するために
は同一のクリーンルームで、ロボットの組立から機能試
験及びクリーン度の評価を一貫して行う必要がある。こ
のことはクリーンルームの中に組立作業等を行う作業台
からの多量の発塵を招き、クリーン環境が破壊される要
因が常に存在していることを意味する。In addition, since these work areas are located at specific places in the clean room, they may be affected by dust adhering when they go out of the clean room for work. There was a labor-intensive problem. Further, in order to develop the above-mentioned clean robot, it is necessary to consistently perform robot assembly, functional test and evaluation of cleanliness in the same clean room. This means that there is always a factor in the clean room that causes a large amount of dust from the workbench that performs assembly work and the like, and that the clean environment is destroyed.
従って、作業台には囲りのクリーンな領域に塵埃が飛散
する前に速やかに塵埃を除去する装置と、囲りのクリー
ンな領域よりもさらにクリーン化したクリーンエアーを
供給する装置を設ける必要がある。本発明はクリーンル
ーム内を走行自在に、かつ発塵した塵埃を速やかに排気
し得るクリーンルーム作業台を提供することを目的とす
るものである。Therefore, it is necessary to provide the workbench with a device that quickly removes dust before it scatters in the clean area of the enclosure and a device that supplies clean air that is cleaner than in the clean area of the enclosure. is there. An object of the present invention is to provide a clean room workbench capable of traveling freely in a clean room and promptly exhausting generated dust.
上記問題点は、エアーが貫流する作業板21と、前記作業
板上部に取り付けられたファンによってクリーンエアー
を作業板21に向けて送り出すエアー吹出口22と、前記作
業板下部に取り付けられ前記エアー吹出口22と対向して
設けられた受塵口23と、前記エアー吹出口22と前記ファ
ンとの間に設けられたフィルタ24を内蔵しクリーンエア
ーを供給する給気パイプ19とを備えてなるクリーンルー
ム作業台において、前記クリーンルーム作業台はクリー
ンルーム１の作業室２内に設置され、この作業室２内を
走行自在に移動して作業可能とするための、前記クリー
ンルーム１の側壁に取り付けた固定ビーム12,この固定
ビーム12に載置した前記クリーンルーム１の天井に沿っ
て移動する移動ビーム13,この移動ビーム13に沿って移
動する移動車15に固定したフレキシブルパイルからなる
前記給気パイプ19を有する移動装置を備えたことにより
解決される。The above-mentioned problems are caused by a working plate 21 through which air flows, an air outlet 22 for sending clean air toward the working plate 21 by a fan attached to the upper part of the working plate, and an air blowing port attached to the lower part of the working plate. A clean room provided with a dust receiving port 23 provided opposite to the outlet 22, and an air supply pipe 19 which contains a filter 24 provided between the air outlet 22 and the fan and supplies clean air. In the workbench, the clean room workbench is installed in a work room 2 of the clean room 1, and a fixed beam 12 attached to a side wall of the clean room 1 for moving in the work room 2 to enable working. A moving beam 13 moving along the ceiling of the clean room 1 mounted on the fixed beam 12, and a frame fixed to a moving vehicle 15 moving along the moving beam 13. This is solved by providing a moving device having the air supply pipe 19 made of a kisible pile.
又、エアーが貫流する作業板21と、前記作業板上部に取
り付けられたファンによってクリーンエアーを作業板21
に向けて送り出すエアー吹出口22と、前記作業板下部に
取り付けられ前記エアー吹出口22と対向して設けられた
受塵口23と、前記エアー吹出口22と前記ファンとの間に
設けられたフィルタ24を内蔵しクリーンエアーを供給す
る給気パイプ19とを備えてなるクリーンルーム作業台に
おいて、前記クリーンルーム作業台はクリーンルーム１
の作業室２内に設置され、この作業室２内を走行自在に
移動して作業可能とするための、前記クリーンルーム作
業台18の下端にこの作業台を支持する架台を設け、この
架台に車輪を取り付けて構成され、前記ファン20と前記
エアー吹出口22との間の前記フレキシブルパイプの周囲
に伸縮アーム17を取り付けた前記給気パイプ19を有する
移動装置を備えたことにより解決される。In addition, the work plate 21 through which air flows, and clean air is supplied to the work plate 21 by a fan attached to the upper part of the work plate.
An air blowout port 22 that is sent toward the air blower, a dust receiving port 23 that is attached to the lower portion of the work plate and that faces the air blowout port 22, and is provided between the air blowout port 22 and the fan. In a clean room workbench including a filter 24 and an air supply pipe 19 for supplying clean air, the clean room workbench is the clean room 1
Is installed in the work room 2 of the above, and a pedestal supporting the work table is provided at the lower end of the clean room work table 18 for movably moving inside the work room 2 and the work can be performed. It is solved by providing a moving device having the air supply pipe 19 in which a telescopic arm 17 is attached around the flexible pipe between the fan 20 and the air outlet 22.
上記のようにクリーンルーム内に移動可能なクリーンル
ーム作業台を配備することにより、クリーンルームの他
の場所のクリーン度を低下させることなく、同一のクリ
ーンルーム内の任意の場所で組立作業を実施することが
できる。また、クリーンロボット等の組立から機能試
験，クリーン度評価試験を一貫して実施できる。By arranging the movable clean room workbench in the clean room as described above, the assembly work can be performed at any place in the same clean room without deteriorating the cleanliness of other places in the clean room. . In addition, it is possible to consistently carry out functional tests and cleanliness evaluation tests from the assembly of clean robots.
以下、本発明の一実施例を第１図，第２図について説明
する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
第１図はクリーンルームの全体構成を示す縦断面図であ
り、第２図は第１図のクリーンルーム作業台部の拡大図
である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing the overall configuration of the clean room, and FIG. 2 is an enlarged view of the clean room workbench portion of FIG.
図において、クリーンルーム１は中央の作業室２と、こ
の作業室２に通じる天井通風路３と、この天井通風路３
と対向する床下通風路４と、天井通風路３と床下通風路
４を接続する側部通風路５とを備えて構成されている。
側部通風路５には循環ファン６が設けられ、天井通風路
３には天井スラブから吊ボルト７で吊下された取付フレ
ームに高性能フィルタ８が設けられており、作業室２内
のクリーンエアーを循環する。また、天井部には整流格
子９が配置され対向する床面にはグレーチイング10が配
置されており、作業室２におけるエアーを一様に下方に
導くように構成されている。In the figure, a clean room 1 includes a working room 2 in the center, a ceiling ventilation path 3 communicating with the working room 2, and a ceiling ventilation path 3
And a side air passage 5 that connects the ceiling air passage 3 and the under-floor air passage 4 to each other.
The side ventilation passage 5 is provided with a circulation fan 6, and the ceiling ventilation passage 3 is provided with a high-performance filter 8 on a mounting frame suspended from a ceiling slab by a suspension bolt 7. Circulate the air. Further, a rectifying grid 9 is arranged on the ceiling part and a grating 10 is arranged on the opposing floor surface so as to uniformly guide the air in the working chamber 2 downward.
このようなクリーンルーム１において、側部通風路５を
形成する側壁11には固定ビーム12が固定され、この固定
ビーム12は移動ビーム13が載置されておりモータ14によ
って駆動される。移動車15は移動ビーム13に移動自在に
取付けられており、モータ16によって移動ビーム13に沿
って移動する。移動車15の下部には伸縮アーム17を介し
てクリーンルーム作業台18が吊下されている。このクリ
ーンルーム作業台18の上部はパイプ19が設けられ移動車
15に固定される。パイプ19の先端は天井通路２に向けて
開口する給気口19aが給気ファン20を介して設けられて
いる。このパイプ19はフレキシブルパイプ、例えば蛇腹
状パイプで形成されている。また、クリーンルーム作業
台18はエアーが貫流する例えば綱目状の作業板21と、こ
の作業板21の上部に取付けられ給気ファン20によってク
リーンエアーを作業板21に向けて送り出すエアー吹出口
22と、作業板21の下部に取付けられたエアー吹出口22と
対向する受塵口23と、エアー吹出口22の上部の給気パイ
プ19内に内蔵されるフィルタ24とからクリーンルーム作
業台18が構成される。さらに、必要であれば受塵口23の
下部に排気パイプ25を取付け、この排気パイプ25の排気
端に排気ファン26を設けるようにしてもよい。また、27
は側面蓋であり、この蓋27をエアー吹出口22と受塵口23
との間に滑動するように配置すれば作業台18での発塵を
他部に飛散するのを低減できる。把手28は側面蓋27に取
付けられ、移動を容易にできる。In such a clean room 1, a fixed beam 12 is fixed to a side wall 11 forming the side ventilation passage 5, and a fixed beam 12 is mounted with a movable beam 13 and is driven by a motor 14. The moving vehicle 15 is movably attached to the moving beam 13, and is moved by the motor 16 along the moving beam 13. A clean room workbench 18 is hung at the lower part of the mobile vehicle 15 via a telescopic arm 17. A pipe 19 is provided above the clean room workbench 18 for moving vehicles.
Fixed at 15. An air supply port 19a opening toward the ceiling passage 2 is provided at the tip of the pipe 19 through an air supply fan 20. The pipe 19 is formed of a flexible pipe, for example, a bellows pipe. Further, the clean room workbench 18 has, for example, a rope-like work plate 21 through which air flows, and an air outlet that is attached to the upper part of the work plate 21 and sends clean air toward the work plate 21 by the air supply fan 20.
The clean room workbench 18 is composed of the dust collection port 23 that is opposed to the air outlet 22 attached to the lower portion of the work plate 21, and the filter 24 that is built in the air supply pipe 19 above the air outlet 22. Composed. Further, if necessary, the exhaust pipe 25 may be attached to the lower portion of the dust receiving port 23, and the exhaust fan 26 may be provided at the exhaust end of the exhaust pipe 25. Also, 27
Is a side cover, and this cover 27 is used to cover the air outlet 22 and the dust receiving port 23.
If it is arranged so as to slide between the work table 18 and the work table 18, it is possible to reduce the scattering of dust on the work table 18 to other parts. The handle 28 is attached to the side cover 27 to facilitate movement.
本発明は上記構成であり、クリーンルーム作業台18は移
動ビーム13に載置された移動車15に伸縮アーム17によっ
て吊下されている。The present invention is configured as described above, and the clean room workbench 18 is suspended by the telescopic arm 17 on the moving vehicle 15 placed on the moving beam 13.
移動車15が載置された移動ビーム13は側壁11に取り付け
られた固定ビーム12上を固定ビーム12に対して直角方向
に移動し、移動車15は移動ビーム13上を移動する。した
がって、この運動の合成により、移動車15の吊下された
クリーンルーム作業台18の作業室２内の任意の位置に移
動できる。また、移動ビーム13はモータ14によって、移
動車15はモータ16によって走行する。The moving beam 13 on which the moving vehicle 15 is mounted moves on the fixed beam 12 attached to the side wall 11 in a direction perpendicular to the fixed beam 12, and the moving vehicle 15 moves on the moving beam 13. Therefore, by combining these motions, it is possible to move the clean room work table 18 on which the mobile vehicle 15 is suspended to any position in the work room 2. The moving beam 13 is driven by a motor 14, and the moving vehicle 15 is driven by a motor 16.
給気口19aから給気ファン20によって吸引されたクリー
ンエアーはフィルタ24によってさらに清浄化され給気パ
イプ19を経てエアー吹出口22から綱目状の作業板21上に
吹き出される。The clean air sucked from the air supply port 19a by the air supply fan 20 is further purified by the filter 24, and is blown out from the air outlet 22 through the air supply pipe 19 onto the work plate 21 having a mesh shape.
作業者29の作業によって発生した発塵は排気ファン26に
よつて作業板21の綱目部を経て受塵口23,排気パイプ25
を通り、側部通風路５に排気される。側部通風路５に吹
出された塵は側部通風路５を流通する循環エアーと合流
し、天井通風路３に設けられた高性能フィルタ８に捕捉
される。The dust generated by the work of the worker 29 passes through the rope portion of the work plate 21 by the exhaust fan 26 and the dust receiving port 23 and the exhaust pipe 25.
To the side ventilation passage 5. The dust blown to the side ventilation passages 5 joins the circulating air flowing through the side ventilation passages 5 and is captured by the high performance filter 8 provided in the ceiling ventilation passage 3.
上記作業板21部の作業空間はエアー吹出口22と受塵口23
との間に滑動自在に配置された側面蓋27によって作業室
２との連通面積を変えることができる。The working space of the working plate 21 is an air outlet 22 and a dust receiving opening 23.
The side surface lid 27 slidably arranged between the and can change the area of communication with the working chamber 2.
クリーンルーム作業台18での発塵作業によって発生した
塵は作業室２の他の場所を汚染することがないので、作
業室２内のクリーン度を低下させない効果がある。The dust generated by the dust-generating work on the clean room workbench 18 does not contaminate other places in the work chamber 2, so that the cleanliness inside the work chamber 2 is not lowered.
第３図は本発明のクリーンルーム作業台の他の実施例を
示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing another embodiment of the clean room workbench of the present invention.
第１図，第２図と同一部分には同一符号を付して説明を
省略する。クリーンルーム作業台18の下端は車輪30〜33
を備えた支持台34に載置されグレーチイング10上を移動
自在に支持されている。The same parts as those in FIGS. 1 and 2 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. The lower end of the clean room workbench 18 has wheels 30 to 33
It is placed on a support table 34 provided with and is movably supported on the grating 10.
受塵口23の下端には排気ファン26を内蔵する排気ノズル
36が設けられ、作業台18の上端はフィルタ24を介して給
気パイプ19が設けられ、側部通風路５に設けられた給気
ファン20に接続されている。この給気パイプ19には伸縮
アーム17が配置され、給気パイプ19を保護するように構
成されている。An exhaust nozzle with a built-in exhaust fan 26 at the lower end of the dust inlet 23
36 is provided, an air supply pipe 19 is provided at the upper end of the work table 18 through a filter 24, and is connected to an air supply fan 20 provided in the side ventilation passage 5. A telescopic arm 17 is arranged on the air supply pipe 19 so as to protect the air supply pipe 19.
本実施例では上記のように構成されているので、クリー
ンルーム作業台18に送り込まれるエアーは側部通風路５
に設けられた給気ファン20により給気パイプ19を通りフ
ィルタ24を経て清浄化されてエアー吹出口22より作業板
21に向けて吹出される。作業板21を経て受塵口23に向か
うエアーは排気ファン26によってグレーチイング10に吐
出される。クリーンルーム作業台18の上部は伸縮アーム
17によって保護された給気パイプ19に支持され、また作
業台18の下部は車輪30〜33に支持されているので、走行
移動に際して固定ビーム，移動ビーム，そして、その移
動のためのモータが不要になり構造を簡単にすることが
できる。In this embodiment, the air is sent to the clean room workbench 18 because of the above-mentioned structure.
It is cleaned by the air supply fan 20 provided in the air supply pipe 19 through the air supply pipe 19 and the filter 24, and the work plate is supplied from the air outlet 22.
It blows toward 21. The air flowing toward the dust inlet 23 through the work plate 21 is discharged to the grating 10 by the exhaust fan 26. Telescopic arm on top of clean room workbench 18
Since it is supported by the air supply pipe 19 protected by 17, and the lower part of the workbench 18 is supported by the wheels 30 to 33, a fixed beam, a moving beam, and a motor for moving the same are not required when traveling. Therefore, the structure can be simplified.
第４図は本発明のクリーンルーム作業台の更に他の実施
例を示す概略図であり、第３図と同一部分には同一符号
を付して説明する。第３図と相違する構成はエアー吹出
口22上部のフィルタ24に直接給気ファン20を載置するよ
うにした点であり、このように構成することにより、ク
リーンルーム作業台18は作業室２の固定部分に配管接続
を要しないため室内を自在に移動できる効果を奏する。FIG. 4 is a schematic view showing still another embodiment of the clean room workbench of the present invention, and the same parts as those in FIG. The configuration different from FIG. 3 is that the air supply fan 20 is directly placed on the filter 24 above the air outlet 22. With this configuration, the clean room workbench 18 is installed in the work room 2 Since there is no need to connect pipes to the fixed part, it is possible to move freely inside the room.
以上説明したように、本発明によればクリーンルーム作
業台はクリーンルーム作業室内の任意の場所に移動でき
るようにしたので、発塵を伴う装置の組立，機能試験，
評価を他の場所のクリーン度を低下させることなくでき
る。また、クリーンルーム作業室内を循環するエアーを
よりクリーン化して用いることができると共に、クリー
ンルーム作業台部のクリーン度を常に一定に保持でき
る。As described above, according to the present invention, the clean room workbench can be moved to any place in the clean room work room.
Evaluation can be done without degrading the cleanliness of other places. In addition, the air circulating in the clean room work chamber can be used after being cleaned, and the cleanliness of the clean room workbench can be constantly maintained.
第１図は本発明のクリーンルーム作業台の全体構成を示
す縦断面図、第２図は第１図のクリーンルーム作業台の
拡大図、第３図は本発明のクリーンルーム作業台の他の
実施例を示す概略図、第４図は本発明のクリーンルーム
作業台の更に他の実施例を示す概略図である。 １……クリーンルーム、10……グレーチイング、12……
固定ビーム、13……移動ビーム、15……移動車、18……
クリーンルーム作業台、19……給気パイプ、20……給気
ファン、21……作業板、22……エアー吹出口、23……受
塵口、25……排気パイプ、26……排気ファン、27……側
面蓋。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the overall structure of the clean room workbench of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of the clean room workbench of FIG. 1, and FIG. 3 is another embodiment of the clean room workbench of the present invention. FIG. 4 is a schematic view showing yet another embodiment of the clean room workbench of the present invention. 1 …… Clean room, 10 …… Grating, 12 ……
Fixed beam, 13 …… Moving beam, 15 …… Moving vehicle, 18 ……
Clean room workbench, 19 ... air supply pipe, 20 ... air supply fan, 21 ... work plate, 22 ... air outlet, 23 ... dust inlet, 25 ... exhaust pipe, 26 ... exhaust fan, 27 …… Side lid.
Claims (8)
上部に取り付けられたファンによってクリーンエアーを
作業板21に向けて送り出すエアー吹出口22と、前記作業
板下部に取り付けられ前記エアー吹出口22と対向して設
けられた受塵口23と、前記エアー吹出口22と前記ファン
との間に設けられたフィルタ24を内蔵しクリーンエアー
を供給する給気パイプ19とを備えてなるクリーンルーム
作業台において、前記クリーンルーム作業台はクリーン
ルーム１の作業室２内に設置され、この作業室２内を走
行自在に移動して作業可能とするための、前記クリーン
ルーム１の側壁に取り付けた固定ビーム12,この固定ビ
ーム12に載置した前記クリーンルーム１の天井に沿って
移動する移動ビーム13,この移動ビーム13に沿って移動
する移動車15に固定したフレキシブルパイプからなる前
記給気パイプ19を有する移動装置を備えたことを特徴と
する移動式クリーンルーム作業台。1. A work plate 21 through which air flows, an air outlet 22 for sending clean air toward the work plate 21 by a fan attached to the upper part of the work plate, and an air blower attached to the lower part of the work plate. A clean room provided with a dust receiving port 23 provided opposite to the outlet 22, and an air supply pipe 19 which contains a filter 24 provided between the air outlet 22 and the fan and supplies clean air. In the workbench, the clean room workbench is installed in a work room 2 of the clean room 1, and a fixed beam 12 attached to a side wall of the clean room 1 for moving in the work room 2 to enable working. A movable beam 13 moving along the ceiling of the clean room 1 mounted on the fixed beam 12 and a flexible vehicle fixed on a moving vehicle 15 moving along the movable beam 13. A mobile clean room workbench equipped with a moving device having the air supply pipe 19 made of a sibble pipe.
ビーム13および前記移動車15はモータによって駆動され
ることを特徴とする移動式クリーンルーム作業台。2. The mobile clean room workbench according to claim 1, wherein the moving beam 13 and the moving vehicle 15 are driven by a motor.
ビーム13と前記クリーンルーム作業台との間にクリーン
ルーム作業台を吊下支持する伸縮アーム17を備えること
を特徴とする移動式クリーンルーム作業台。3. The movable clean room workbench according to claim 1, further comprising an extendable arm 17 for suspending and supporting the cleanroom workbench between the movable beam 13 and the cleanroom workbench. .
ーンルーム作業台下部の前記受塵口からのエアーを排出
するためのファン26を前記クリーンルームの側部通風路
５内に取り付け、このファン26と前記受塵口とをフレキ
シブルパイプ25で接続してなることを特徴とする移動式
クリーンルーム作業台。4. A fan 26 for exhausting air from the dust receiving port at the lower portion of the clean room workbench is mounted in the side ventilation passage 5 of the clean room according to claim 1, and the fan 26 is provided. A mobile clean room workbench, characterized in that the dust collecting port and the dust receiving port are connected by a flexible pipe 25.
上部に取り付けられたファンによってクリーンエアーを
作業板21に向けて送り出すエアー吹出口22と、前記作業
板下部に取り付けられ前記エアー吹出口22と対向して設
けられた受塵口23と、前記エアー吹出口22と前記ファン
との間に設けられたフィルタ24を内蔵しクリーンエアー
を供給する給気パイプ19とを備えてなるクリーンルーム
作業台において、前記クリーンルーム作業台はクリーン
ルーム１の作業室２内に設置され、この作業室２内を走
行自在に移動して作業可能とするための、前記クリーン
ルーム作業台18の下端にこの作業台を支持する架台を設
け、この架台に車輪を取り付けて構成され、前記ファン
20と前記エアー吹出口22との間の前記フレキシブルパイ
プの周囲に伸縮アーム17を取り付けた前記給気パイプ19
を有する移動装置を備えたことを特徴とする移動式クリ
ーンルーム作業台。5. A work plate 21 through which air flows, an air outlet 22 for sending clean air toward the work plate 21 by a fan attached to the upper part of the work plate, and an air blower attached to the lower part of the work plate. A clean room provided with a dust receiving port 23 provided opposite to the outlet 22, and an air supply pipe 19 which contains a filter 24 provided between the air outlet 22 and the fan and supplies clean air. In the workbench, the cleanroom workbench is installed in the workroom 2 of the cleanroom 1, and the workbench is provided at the lower end of the cleanroom workbench 18 so that the work can be carried out by freely moving in the workroom 2. A fan for supporting the fan is provided, and wheels are attached to the stand to construct the fan.
The air supply pipe 19 in which a telescopic arm 17 is attached around the flexible pipe between the air outlet 20 and the air outlet 22.
A mobile clean room workbench equipped with a moving device having a.
板21下部の前記受塵口には排気ファンを内蔵する排気ノ
ズル36が前記クリーンルームの床下通風路４に向けて配
置されていることを特徴とする移動式クリーンルーム作
業台。6. The exhaust nozzle 36 having a built-in exhaust fan is disposed in the dust receiving port below the work plate 21 toward the underfloor ventilation passage 4 in the clean room according to claim 5. Mobile clean room workbench characterized by.
て、前記エアー吹出口22にはフィルタ24を介し前記作業
室内のクリーンエアーを直接給気するファン20が取り付
けられていることを特徴とする移動式クリーンルーム作
業台。7. The fan according to claim 5 or 6, wherein the air outlet 22 is provided with a fan 20 for directly supplying clean air into the working chamber through a filter 24. A mobile clean room workbench to be used.
て、前記クリーンルーム作業板上部の前記エアー吹出口
へクリーンエアーを供給するためのファン20を前記クリ
ーンルームの側部通風路内に取り付け、このファン20と
前記エアー吹出口22とをフレキシブルパイプ19で接続し
てなることを特徴とする移動式クリーンルーム作業台。8. A fan 20 for supplying clean air to the air outlet at the upper part of the clean room work plate according to claim 5 or 6, wherein the fan 20 is installed in a side ventilation passage of the clean room. A mobile clean room workbench characterized in that the fan 20 and the air outlet 22 are connected by a flexible pipe 19.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61000575A JPH0788953B2 (en) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | Mobile clean room workbench |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61000575A JPH0788953B2 (en) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | Mobile clean room workbench |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62158933A JPS62158933A (en) | 1987-07-14 |
| JPH0788953B2 true JPH0788953B2 (en) | 1995-09-27 |
Family
ID=11477508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61000575A Expired - Lifetime JPH0788953B2 (en) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | Mobile clean room workbench |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0788953B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7013902B2 (en) | 2003-02-07 | 2006-03-21 | Applied Materials, Inc. | Wet cleaning mobile workbench |
| JP6390383B2 (en) * | 2014-11-27 | 2018-09-19 | 大日本印刷株式会社 | Glove changing method in clean room, glove changing box for clean room, and manufacturing method of optical film or semiconductor related member |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831845U (en) * | 1971-08-21 | 1973-04-18 |
-
1986
- 1986-01-08 JP JP61000575A patent/JPH0788953B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62158933A (en) | 1987-07-14 |
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