JPH0786112A - Production control method - Google Patents

Production control method

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Publication number
JPH0786112A
JPH0786112A JP5189446A JP18944693A JPH0786112A JP H0786112 A JPH0786112 A JP H0786112A JP 5189446 A JP5189446 A JP 5189446A JP 18944693 A JP18944693 A JP 18944693A JP H0786112 A JPH0786112 A JP H0786112A
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JP
Japan
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processing
manufacturing
lot
time
name
Prior art date
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Pending
Application number
JP5189446A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keiichi Kawasaki
恵一 川崎
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Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0786112A publication Critical patent/JPH0786112A/en
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Abstract

PURPOSE:To provide a production control method in which a worker can select the processing order easily and the productivity can be enhanced through efficient transfer. CONSTITUTION:An average processing time is calculated in a production system for a preceding lot and a previously measured processing time. An average waiting time is then calculated in production system for the preceding lot and a previously measured waiting time. Subsequently, a critical value is determined based on the average values thus calculated. Upon finishing the processing of lots, a production unit having a smallest processing number stored in a production information file is selected among those which can be processed in the following step and a device is transferred to a corresponding warehouse.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、製品をロット単位で製
造処理装置へ搬送し、製造工程順に処理を進めて製品を
完成させる間の生産管理方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a production management method during which a product is transported to a manufacturing processing apparatus in units of lots and processed in the order of manufacturing steps to complete the product.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置等の製造工程では、ウエハか
ら成る材料を25枚程度収納できるカセットに入れた状
態で搬送しており、製造処理装置には、このカセットを
搬入してまとめて処理を行ういわゆるバッチ処理装置
や、カセットから1枚ずつ取り出して個々に処理を行う
いわゆる枚葉処理装置がある。このような製造処理装置
を備えた製造工場では数十種類の品種から成る製品を生
産しており、それぞれの品種に応じて製造工程の順序
(工程フロー)が設定されている。この品種に応じた工
程フローや、製造工程で用いる製造処理装置の処理条件
等のデータは、管理の単位(以下、ロットとする)毎に
データベースに記憶されており、全ての工程フローにお
いてロット単位で処理が進められることになる。
2. Description of the Related Art In a manufacturing process of a semiconductor device or the like, a material which is made of wafers is transferred in a cassette which can store about 25 sheets. There is a so-called batch processing apparatus which performs the processing, and a so-called single-wafer processing apparatus which takes out one by one from a cassette and performs processing individually. A manufacturing factory equipped with such a manufacturing processing apparatus manufactures products of several tens of kinds, and the order of manufacturing processes (process flow) is set according to each kind. The process flow corresponding to this product type and the data such as the processing conditions of the manufacturing processing device used in the manufacturing process are stored in the database for each management unit (hereinafter, referred to as a lot), and the lot unit is used for all process flows. Will proceed with.

【0003】図9は、従来の生産管理装置の構成図であ
り、生産管理装置は主として生産管理、工程管理を行う
ためのホストコンピュータ1と、回線11を介して接続
されるデータベース10と、通信回線20とターミナル
サーバー40とを介してホストコンピュータ1と接続さ
れる複数の端末4とから構成されるものである。
FIG. 9 is a block diagram of a conventional production control apparatus. The production control apparatus mainly communicates with a host computer 1 for production control and process control, a database 10 connected via a line 11, and a communication. It is composed of a plurality of terminals 4 connected to the host computer 1 via the line 20 and the terminal server 40.

【0004】データベース10は、例えばハードディス
クから成る記憶手段に記憶されているものであり、図1
0に示すようなテーブル形式の工程情報ファイルから構
築されている。工程情報ファイルは、製品名10fに対
応して、処理順毎の工程名(工程フロー)10cとその
処理条件10i、処理可能な製造装置名10jとが記録
されたものであり、各製品名10f単位で記憶されてい
る。
The database 10 is stored in a storage means such as a hard disk, and is shown in FIG.
It is constructed from a process information file in a table format as shown in 0. In the process information file, a process name (process flow) 10c for each processing order, its processing condition 10i, and a processable manufacturing apparatus name 10j are recorded corresponding to the product name 10f, and each product name 10f. It is stored in units.

【0005】このため、作業者が図9に示す端末4から
所望の製品名10fと工程名10cを入力することによ
り、それに対応する製造装置名10jや処理条件10i
をホストコンピュータ1が検索し、そのデータを通信回
線20を介して端末4のディスプレイに表示させること
ができる。このような製造工場において、作業者が担当
する製造装置で処理できる製品は複数の品種や多数の製
造工程にわたっており、これらの処理順を決めることは
容易でない。
Therefore, when the worker inputs the desired product name 10f and process name 10c from the terminal 4 shown in FIG. 9, the corresponding manufacturing apparatus name 10j and processing condition 10i are entered.
Can be retrieved by the host computer 1 and the data can be displayed on the display of the terminal 4 via the communication line 20. In such a manufacturing factory, the products that can be processed by the manufacturing apparatus in charge of the workers are in a plurality of types and a large number of manufacturing processes, and it is not easy to determine the processing order of these products.

【0006】そこで、この処理順を決定する指標の一つ
としてクリティカリティ値と呼ばれるものがある。図1
1は、このクリティカリティ値を説明する図であり、こ
れに基づいてある品種の工程フローにおけるクリティカ
リティ値の算出方法を説明する。すなわち、投入工程か
ら出来工程まで複数の工程があり、ある時点(現在の仕
掛り工程)におけるクリティカリティ値を算出するに
は、先ず、現在の日時から指定納期である出来指定日ま
での残りの時間(単位:日)を求める。次に、現在の仕
掛り工程から出来工程までの各設定サイクルタイムの総
和を求め、先に算出した残りの時間をこの設定サイクル
タイムの総和で割る。
Therefore, one of the indexes for determining the processing order is called a criticality value. Figure 1
FIG. 1 is a diagram for explaining this criticality value, and a method for calculating the criticality value in the process flow of a certain product based on this is described. That is, there are multiple processes from the input process to the finished process, and in order to calculate the criticality value at a certain time (current work-in-process), first, the remaining time from the current date and time to the designated work date which is the designated delivery date is calculated. Calculate the time (unit: day). Next, the sum of each set cycle time from the current work-in-process to the finished process is obtained, and the remaining time calculated previously is divided by the sum of the set cycle times.

【0007】設定サイクルタイム(Ti )とは、各工程
毎に予め設定された処理待ち時間と処理時間との和から
求められるものである。例えば、全工程フローを出来指
定日までに完了できなかった場合には、クリティカリテ
ィ値が「負」の値となり、また、ある工程での完了予定
と一致した処理が成されるとクリティカリティ値は
「1」の値となる。また、完了予定より処理が遅れてい
る場合にはクリティカリティ値が「0〜1」の間とな
り、反対に完了予定より処理が進んでる場合にはクリテ
ィカリティ値が「1」よりも大きい値となる。
The set cycle time (T i ) is obtained from the sum of the processing waiting time and the processing time preset for each process. For example, if the entire process flow cannot be completed by the specified date, the criticality value will be a “negative” value, and if a process that matches the completion schedule of a certain process is performed, the criticality value will be obtained. Is a value of "1". If the processing is delayed from the scheduled completion, the criticality value is between "0 and 1". Conversely, if the processing is advanced from the scheduled completion, the criticality value is larger than "1". Become.

【0008】したがって、このクリティカリティ値の順
に製品を並べることにより、どの製品の工程が遅れてい
るか、または進んでいるかが容易に分かることになり、
作業者が処理順を決定するうえでの参考となる。
[0008] Therefore, by arranging the products in the order of the criticality values, it becomes easy to know which product has a delayed process or is advanced.
It will be helpful for the worker to decide the processing order.

【0009】一方、半導体装置の製造工場において、ウ
エハから成る材料をカセットに収納して搬送する場合、
ウエハへのダストの付着防止という観点から作業者とウ
エハとをなるべく隔離するために搬送の自動化が推進さ
れている。近年では、製造工場内に有軌道式の天井走行
型リニアモータ駆動搬送車が備えられており、ウエハ等
の製品をカセット単位で保管用の倉庫から各製造工程に
おける製造処理装置に自動搬送できるようになってい
る。このような製造工場では、これらの製造処理装置と
コンピュータとを通信回線を介して接続し、各種の情報
を交換したり情報管理を行うことにより製造工程におけ
る自動搬送を制御することで生産管理を行っている。
On the other hand, in a semiconductor device manufacturing factory, when a wafer material is stored in a cassette and is transported,
From the viewpoint of preventing dust from adhering to the wafer, automation of transportation is being promoted in order to isolate the operator from the wafer as much as possible. In recent years, an orbit-type overhead traveling linear motor-driven transfer vehicle has been installed in the manufacturing plant so that wafers and other products can be automatically transferred in cassette units from a warehouse for storage to a manufacturing processing device in each manufacturing process. It has become. In such a manufacturing factory, these manufacturing processing devices and a computer are connected via a communication line, various types of information are exchanged, and information management is performed to control automatic transportation in the manufacturing process to control production. Is going.

【0010】図12は、このような生産管理を行う場合
の各種のファイルを説明する図である。すなわち、これ
らの各種のファイルは、図9に示すホストコンピュータ
1と接続されたデータベース10内に記憶されており、
図12(a)に示すよう工程情報ファイルには、各製品
名12fに応じて工程順に記載された工程名(工程フロ
ー)12cや処理条件12i、製品が保管されている倉
庫名12sが記憶されている。
FIG. 12 is a diagram for explaining various files for performing such production control. That is, these various files are stored in the database 10 connected to the host computer 1 shown in FIG.
As shown in FIG. 12A, the process information file stores a process name (process flow) 12c described in the order of processes corresponding to each product name 12f, processing conditions 12i, and a warehouse name 12s in which the product is stored. ing.

【0011】また、図12(b)に示すように、製造工
場内に存在する全ての製品(ロット単位)の現段階にお
ける仕掛り情報ファイルとして、ロット名12aと仕掛
り工程名12k、製品名12f、数量(枚数)12mが
記憶されている。これらのファイルに基づいて、各倉庫
間の自動搬送や製品の保管管理を行っている。
Further, as shown in FIG. 12B, a lot name 12a, a work-in-process name 12k, a product name as work-in-progress information files of all products (lot units) existing in the manufacturing plant at the present stage. 12f and the quantity (number of sheets) 12m are stored. Based on these files, automatic transfer between warehouses and storage management of products are performed.

【0012】つまり、あるロットを投入して倉庫内にそ
のロットが入庫されると、そのロット名およびそれに付
随する情報が図9に示すホストコンピュータ1に送信さ
れ、ホストコンピュータ1は、接続されたデータベース
10の仕掛り情報ファイルを検索する。そして、その図
12(b)に示す仕掛り情報ファイルの中から、送信さ
れたロット名12aに対応する現時点での仕掛り工程名
12kを抽出する。続いて、その仕掛り工程名12kに
基づいて、図12(a)に示す工程情報ファイルを検索
し、先に抽出された仕掛り工程名12kに対応する工程
名12cを抽出し、その工程名12cに対応する倉庫名
12sと次の処理順に記載された工程名12cとを抽出
する。
In other words, when a lot is put into the warehouse and the lot is stored in the warehouse, the lot name and its accompanying information are transmitted to the host computer 1 shown in FIG. 9, and the host computer 1 is connected. The in-process information file of the database 10 is searched. Then, the in-process step name 12k at the present time corresponding to the transmitted lot name 12a is extracted from the in-process information file shown in FIG. 12 (b). Then, based on the in-process step name 12k, the process information file shown in FIG. 12A is searched, the process name 12c corresponding to the previously-processed in-process step name 12k is extracted, and the process name The warehouse name 12s corresponding to 12c and the process name 12c described in the following processing order are extracted.

【0013】この時点でホストコンピュータ1からの指
示により、抽出された倉庫名12sと工程名12kを指
定して、処理の終了後その倉庫名12sの示す倉庫へ一
旦製品を格納する。そして、次の工程名12kにおける
製造処理装置からの要求により、保管された倉庫から製
品を搬送して要求元の製造処理装置へセットする。この
搬送と同時に、工程情報ファイルに記載された処理条件
12iをその製造処理装置へ送り込み、所定の処理を行
う。処理が終了した時点で、そのロット名12aがホス
トコンピュータ1へ送信されると、仕掛り情報ファイル
のそのロット名12aに対応する仕掛り工程名12kを
次の工程名12cに更新する。このような動作を繰り返
すことにより最終工程までの生産管理を行う。
At this point, the extracted warehouse name 12s and process name 12k are designated by the instruction from the host computer 1, and after the processing is completed, the product is temporarily stored in the warehouse indicated by the warehouse name 12s. Then, in response to a request from the manufacturing processing apparatus in the next process name 12k, the product is transported from the stored warehouse and set in the requesting manufacturing processing apparatus. Simultaneously with this transportation, the processing condition 12i described in the process information file is sent to the manufacturing processing apparatus to perform a predetermined processing. When the lot name 12a is transmitted to the host computer 1 when the processing is completed, the in-process step name 12k corresponding to the lot name 12a in the in-process information file is updated to the next process name 12c. By repeating such operations, production control up to the final process is performed.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな生産管理方法には次のような問題がある。すなわ
ち、作業者が処理順の決定の参考とするクリティカリテ
ィ値を算出するためには多数の工程における設定サイク
ルタイムを求める必要があり多大な労力を強いられるこ
とになる。また、設定サイクルタイムのうちの処理待ち
時間は製造処理装置の稼働状況や中間在庫等の生産環境
によって様々であり、同一の品種、工程においても一律
のものとは限らない。このため、予め定められた設定サ
イクルタイムに基づいて算出したクリティカリティ値の
有効性が損なわれてしまうとともに、作業者が現実的な
データを求めて設定サイクルタイムを算出するには非常
な困難を伴うことになる。
However, such a production control method has the following problems. That is, in order for the worker to calculate the criticality value that is used as a reference for determining the processing order, it is necessary to find the set cycle time in a large number of steps, which requires a great deal of labor. Further, the processing waiting time of the set cycle time varies depending on the operating conditions of the manufacturing processing apparatus and the production environment such as intermediate stock, and is not necessarily uniform even in the same product type and process. Therefore, the validity of the criticality value calculated based on the preset set cycle time is impaired, and it is very difficult for the operator to calculate the set cycle time by obtaining realistic data. Will be accompanied.

【0015】また、自動搬送による製造工場での生産管
理を行う場合、先に述べた工程情報ファイルには工程名
と対応した倉庫名が記載されているだけであり、同一の
工程で複数の製造処理装置が備えられていると、その工
程内に製品を搬送する倉庫が登録されることで各製造処
理装置に効率良く製品を搬送するのが困難となる。ま
た、同一の工程における複数の製造処理装置に対して、
各製造処理装置に特有な特徴を加味した処理条件を設定
することが不可能であり、精密な処理制御を施しにくい
ものとなる。よって、本発明は作業者が容易に処理順を
選択でき、しかも効率の良い搬送により製品の生産性を
向上できる生産管理方法を提供することを目的とする。
Further, in the case of performing production management in a manufacturing factory by automatic transportation, only the warehouse name corresponding to the process name is described in the above-mentioned process information file, and a plurality of manufacturing processes are performed in the same process. When the processing device is provided, it is difficult to efficiently transfer the product to each manufacturing processing device because the warehouse for transferring the product is registered in the process. In addition, for multiple manufacturing processing equipment in the same process,
It is impossible to set the processing conditions in consideration of the characteristics peculiar to each manufacturing processing apparatus, which makes it difficult to perform precise processing control. Therefore, it is an object of the present invention to provide a production management method in which a worker can easily select a processing order and can improve product productivity by efficient transportation.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決するために成された生産管理方法である。すなわ
ち、ロット単位で製造処理装置に投入し、決められた各
製造工程に沿って設定納期までに順次製品を製造してい
く生産管理方法において、一のロットに対する処理が製
造処理装置により実際に行われた処理時間と、その製造
処理装置による処理の一つ前の製造工程の処理が終了し
てから製造処理装置による処理が開始されるまでの処理
待ち時間とを各製造工程毎に計測する。
The present invention is a production control method that has been made to solve such problems. In other words, in a production management method in which products are sequentially input to the manufacturing processing device in lot units and the products are sequentially manufactured by the set delivery date along each of the determined manufacturing processes, the processing for one lot is actually performed by the manufacturing processing device. The determined processing time and the processing waiting time from the end of the processing of the manufacturing process immediately before the processing by the manufacturing processing device to the start of the processing by the manufacturing processing device are measured for each manufacturing process.

【0017】そして、一のロット以前のロットの製造処
理装置における処理時間と先に計測した処理時間との平
均値を算出するとともに、この一のロット以前のロット
の製造処理装置における処理待ち時間と先に計測した処
理待ち時間との平均値を算出する。このロットの所定時
点における処理の進捗状況を、所定時点以降の各製造工
程における処理時間の平均値と処理待ち時間の平均値と
の総和時間に対する所定時点から設定納期までの残り時
間の割合により表すようにしたものである。
Then, an average value of the processing time in the manufacturing processing apparatus of the lot before the one lot and the processing time measured previously is calculated, and the processing waiting time in the manufacturing processing apparatus of the lot before the one lot is calculated. The average value with the previously measured processing waiting time is calculated. The progress of processing at a predetermined time of this lot is expressed by the ratio of the remaining time from the predetermined time to the set delivery time with respect to the total time of the average value of the processing time and the average value of the processing waiting time in each manufacturing process after the predetermined time. It was done like this.

【0018】また、所定の製造工程における製品のロッ
ト単位の処理が終了した時点で搬送手段を介して製品を
所定の倉庫に格納し、倉庫から次の製造工程における処
理が可能な製造処理装置へ製品を搬送するように生産の
管理を行う生産管理方法においては、予め、製品を製造
するための複数の製造工程を工程順に記憶しておくとと
もに、各製造工程における処理が可能な製造処理装置の
装置名を少なくとも1つ以上記憶した工程情報ファイル
を作成し、さらに、製造処理装置へ搬入する製品を一時
的に格納しておく倉庫の倉庫名と、製造処理装置におけ
る処理を待機しているロット数から成る処理待ち数とを
各製造処理装置毎に記憶しておく装置情報ファイルを作
成しておく。
Further, when the processing of the product in units of lots in a predetermined manufacturing process is completed, the products are stored in a predetermined warehouse via the transport means, and from the warehouse to a manufacturing processing apparatus capable of processing in the next manufacturing process. In a production management method for managing production so that a product is transported, a plurality of manufacturing processes for manufacturing a product are stored in advance in the order of processes, and a manufacturing processing apparatus capable of performing processing in each manufacturing process is stored. A process information file that stores at least one device name is created, and a warehouse name of a warehouse for temporarily storing products to be carried into the manufacturing processing device and a lot waiting for the processing in the manufacturing processing device. An apparatus information file is created in which the number of processing waits consisting of numbers is stored for each manufacturing processing apparatus.

【0019】そして、所定の製造工程によるロットの処
理が終了した時点で、工程情報ファイルに記憶された製
造工程の次の製造工程を読み出すとともに、次の製造工
程における処理が可能な製造処理装置のうちの製造情報
ファイルに記憶された処理待ち数が最も少ないものを選
択し、かつ、選択された製造処理装置に対応する倉庫の
倉庫名を製造情報ファイルから読み出す。このロットの
処理を終了した製造処理装置から読み出された倉庫名が
示す倉庫へ製品を搬送し、その倉庫から次の製造工程に
おける処理が可能な製造処理装置へ製品を搬入するよう
にしたものである。
Then, at the time when the processing of the lot by the predetermined manufacturing process is completed, the manufacturing process next to the manufacturing process stored in the process information file is read out and the manufacturing processing apparatus capable of performing the process in the next manufacturing process. The one having the smallest number of processing waits stored in the manufacturing information file is selected, and the warehouse name of the warehouse corresponding to the selected manufacturing processing apparatus is read from the manufacturing information file. Products that have been transported from the manufacturing processing equipment that has finished processing this lot to the warehouse indicated by the warehouse name, and from that warehouse to the manufacturing processing equipment that can process the next manufacturing process Is.

【0020】[0020]

【作用】ロット単位で製造処理装置に投入し、決められ
た製造工程に沿って設定納期までに順次製品を製造する
生産管理方法においては、一のロットに対する製造処理
装置での処理が実際に行われた処理時間と、一つ前の製
造工程の処理が終了してからその処理が開始されるまで
の処理待ち時間とを各製造工程毎に計測することによ
り、正確な設定サイクルタイムを得ることができる。さ
らに、一のロット以前のロットの製造処理装置における
処理時間と先に計測した処理時間との平均値を算出する
とともに、一のロット以前のロットの製造処理装置にお
ける処理待ち時間と先に計測した処理待ち時間との平均
値を求めることで、数多くのロットが処理されるたびに
平均的な設定サイクルタイムを得ることができる。この
ようにして得た設定サイクルタイムに基づいて所定時点
以降の各製造工程の処理時間と処理待ち時間との総和時
間に対する所定時点から設定納期までの残り時間の割合
を表すことで正確なクリティカリティ値を得ることがで
きる。
[Operation] In the production management method, in which each lot is put into the manufacturing processing device and the products are sequentially manufactured by the set delivery date according to the determined manufacturing process, the processing by the manufacturing processing device is actually performed for one lot. Accurate set cycle time is obtained by measuring the processing time that has been cut and the processing waiting time from the end of the processing of the previous manufacturing process to the start of the processing for each manufacturing process. You can Further, an average value of the processing time in the manufacturing processing device of the lot before the one lot and the processing time measured previously is calculated, and the processing waiting time in the manufacturing processing device of the lot before the one lot and the processing time are measured first. By obtaining the average value with the processing waiting time, an average set cycle time can be obtained every time a lot of lots are processed. Accurate criticality by expressing the ratio of the remaining time from the specified time to the set delivery time with respect to the total time of the processing time and the processing waiting time of each manufacturing process after the specified time based on the set cycle time thus obtained. You can get the value.

【0021】また、所定の製造工程における製品のロッ
ト単位の処理が終了した時点で搬送手段を介して製品を
所定の倉庫に格納し、その倉庫から次の製造工程におけ
る処理が可能な製造処理装置へ製品を搬送するように生
産の管理を行う生産管理方法においては、予め、製品に
応じた複数の製造工程を工程順に記憶しておくととも
に、各製造工程における処理が可能な製造処理装置の装
置名を少なくとも1つ以上記憶した工程情報ファイルを
作成することで、同一工程で処理可能な複数の製造処理
装置に対応した処理条件を設定できるようになる。さら
に、これら複数の製造処理装置による処理を待機してい
るロット数を記憶しておき、待ち数の最も少ないものに
製品を搬送するようにして効率的な搬送を行う。
Further, at the time when the processing of the product in units of lots in a predetermined manufacturing process is completed, the product is stored in a predetermined warehouse via the transporting means, and the manufacturing processing apparatus capable of performing the process in the next manufacturing process from the warehouse. In a production management method for managing production so as to convey a product to a device, a plurality of manufacturing processes corresponding to the product are stored in advance in a process order, and a device of a manufacturing processing apparatus capable of performing processing in each manufacturing process. By creating a process information file in which at least one name is stored, it becomes possible to set processing conditions corresponding to a plurality of manufacturing processing devices that can process in the same process. Further, the number of lots waiting for the processing by the plurality of manufacturing processing apparatuses is stored, and the product is carried to the one having the smallest waiting number, so that the product is efficiently carried.

【0022】[0022]

【実施例】以下に、本発明の生産管理方法の実施例を図
に基づいて説明する。図1は本発明の生産管理方法の要
部を説明する流れ図、図2は本発明の生産管理方法を行
うための生産管理装置の構成図である。先ず、本発明の
生産管理方法の説明に先立ち、生産管理装置の説明を行
う。図2に示すように、この生産管理装置は、生産管理
および工程管理の機能をもつホストコンピュータ1と、
ホストコンピュータ1に回線11を介して接続されたハ
ードディスクから成るデータベース10と、LAN等の
通信回線20を介して製造装置群や同一のライン、エリ
ア毎に接続された複数のローカルコンピュータ2と、通
信回線20とターミナルサーバー40とを介して接続さ
れた端末4とから構成されている。
Embodiments of the production control method of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a flow chart for explaining a main part of the production management method of the present invention, and FIG. 2 is a configuration diagram of a production management device for carrying out the production management method of the present invention. First, prior to the description of the production management method of the present invention, the production management device will be described. As shown in FIG. 2, the production control apparatus includes a host computer 1 having functions of production control and process control,
A database 10 including a hard disk connected to a host computer 1 via a line 11 and a plurality of local computers 2 connected to a manufacturing device group, the same line, or area via a communication line 20 such as a LAN. It is composed of a terminal 4 connected via a line 20 and a terminal server 40.

【0023】ローカルコンピュータ2には、通信回線2
0aを介して直接つながるオンライン製造装置31が接
続されたものや、通信回線20bと情報入出力端末であ
る例えばハンディターミナル30を介してつながるオフ
ライン製造装置32が接続されたものがある。このロー
カルコンピュータ2は、通信回線20を介してホストコ
ンピュータ1に種々の形態で収集された情報を定型化し
て送信したり、データベース10内の情報を読み出して
オンライン製造装置31やオフライン製造装置32に提
供する役割を果たす。
The local computer 2 has a communication line 2
Some are connected to an online manufacturing apparatus 31 directly connected via 0a, and some are connected to a communication line 20b and an offline manufacturing apparatus 32 connected via a handy terminal 30, which is an information input / output terminal. This local computer 2 stylizes and transmits information collected in various forms to the host computer 1 via the communication line 20, or reads information in the database 10 to the online manufacturing apparatus 31 or the offline manufacturing apparatus 32. Play a role in providing.

【0024】また、端末4は、ホストコンピュータ1の
情報入出力端末であり、生産管理装置の起動、停止や部
分的な停止時において、情報収集のバックアップを行う
ために使用するものであり、ターミナルサーバー40お
よび通信回線20を介してホストコンピュータ1、各ロ
ーカルコンピュータ2と接続されている。
The terminal 4 is an information input / output terminal of the host computer 1 and is used for backing up information collection when the production control apparatus is started, stopped or partially stopped. The host computer 1 and each local computer 2 are connected via a server 40 and a communication line 20.

【0025】ホストコンピュータ1により管理されるデ
ータベース10には、図3に示すような各種のファイル
が記憶されている。すなわち、図3(a)は製造処理履
歴ファイルを示したものであり、あるロット名3aのロ
ットに対して処理が成された時刻3b、工程名3c、処
理サイズ3d(バッチ処理装置による処理には「B」、
枚葉処理装置による処理には「E」)、処理内容3e
(「処理開始」や「処理終了」等)がオンライン製造装
置31やオフライン製造装置32と各ローカルコンピュ
ータ2との相互の通信の実行によって各ロット毎に記録
されている。
The database 10 managed by the host computer 1 stores various files as shown in FIG. That is, FIG. 3A shows a manufacturing process history file, which shows a time 3b when a lot of a certain lot name 3a is processed, a process name 3c, and a process size 3d (for processing by a batch processor). Is "B",
“E” for processing by the single-wafer processing apparatus, processing content 3e
(“Processing start”, “Processing end”, etc.) is recorded for each lot by executing mutual communication between the online manufacturing apparatus 31 or the offline manufacturing apparatus 32 and each local computer 2.

【0026】また、図3(b)は工程情報ファイルを示
したものであり、製品名3fに応じた工程名3c、処理
サイズ3d、後述する待ち時間3gと処理時間3hとか
ら成るサイクルタイム、処理条件3i、処理可能な製造
装置名3jが各製品名3f毎に記録されている。さら
に、図3(c)は仕掛り情報ファイルを示したものであ
り、ロット名3aに対する現在の仕掛り工程名3kと、
製品名3f、数量3m、出来指示日3n、処理状態3
p、図11に示すクリティカリティ値3qとが記憶され
ている。
Further, FIG. 3B shows a process information file, which includes a process name 3c corresponding to the product name 3f, a processing size 3d, a cycle time composed of a waiting time 3g and a processing time 3h, which will be described later, A processing condition 3i and a processable manufacturing apparatus name 3j are recorded for each product name 3f. Further, FIG. 3C shows a work-in-progress information file, in which the current work-in-process step name 3k for the lot name 3a,
Product name 3f, quantity 3m, work order date 3n, processing status 3
p and the criticality value 3q shown in FIG. 11 are stored.

【0027】次に、この生産管理装置と先に説明した各
種のファイルとを用いた生産管理方法を説明する。先
ず、ロットを投入する時点で、オンライン装置31ある
いはオフライン装置32のハンディターミナル30を操
作することにより、「処理開始問い合わせ」をローカル
コンピュータ2を介してホストコンピュータ1へ送信す
る。この際の「処理開始問い合わせ」には、これから処
理を行うロット名3aとそのロットの処理に使用する製
造装置名3jとが含まれている。この通知をホストコン
ピュータ1が受けた段階で、ホストコンピュータ1はデ
ータベース10内の仕掛り情報ファイルを参照し、通知
されたロット名3aに対応する仕掛り工程名3kと製品
名3fとを読み出す。
Next, a production management method using this production management apparatus and the various files described above will be described. First, when the lot is loaded, the handy terminal 30 of the online device 31 or the offline device 32 is operated to transmit a “processing start inquiry” to the host computer 1 via the local computer 2. The “processing start inquiry” at this time includes the lot name 3a to be processed and the manufacturing apparatus name 3j used for processing the lot. When the host computer 1 receives this notification, the host computer 1 refers to the in-process information file in the database 10 and reads out the in-process step name 3k and the product name 3f corresponding to the notified lot name 3a.

【0028】続いて、工程情報ファイルを参照し、読み
出した製品名3fと工程名3cとに対応する処理可能な
製造装置名3jが、「処理開始問い合わせ」を送信して
きた処理装置と一致するかをチェックし、合致すればホ
ストコンピュータ1からローカルコンピュータ2へ「処
理開始指示」を送信する。また、同時に工程情報ファイ
ルから処理サイズ3dのデータを読み出して、製造処理
履歴ファイルの対応するロット名3aの時刻3bの欄に
処理開始時刻と、工程名3cと、処理サイズ3d、処理
内容3eとを記録する。
Next, referring to the process information file, whether the processable manufacturing device name 3j corresponding to the read product name 3f and process name 3c matches the processing device that has transmitted the "process start inquiry". Is checked, and if they match, a “processing start instruction” is transmitted from the host computer 1 to the local computer 2. At the same time, the data of the process size 3d is read from the process information file, and the process start time, the process name 3c, the process size 3d, the process content 3e are displayed in the column of the time 3b of the corresponding lot name 3a in the manufacturing process history file. To record.

【0029】そして、処理が完了した時点で、「処理完
了」が上述と同様な経路によりホストコンピュータ1に
通知されるが、この通知のデータ内容には実績としての
ロット名3aと、使用装置名、数量3mが含まれてい
る。これらのデータに基づいて、仕掛り情報ファイル、
工程情報ファイルの順に参照していき、該当するロット
に関する情報を読み出して、最終的には仕掛り情報ファ
イルの処理状態3pを「処理待」とし、製造処理履歴フ
ァイルの処理内容3eを処理終了としてその時刻3bを
記録する。なお、処理の途中で中断があった場合や、そ
の中断が解除されて処理が再開した場合には、それぞれ
の処理内容3e(「処理中断」や「処理再開」)とその
時刻3bを記録しておく。
When the processing is completed, "processing completed" is notified to the host computer 1 through the same route as described above. The data content of this notification includes the actual lot name 3a and the used device name. , Quantity of 3m is included. Based on these data, in-process information file,
By sequentially referring to the process information file, the information regarding the corresponding lot is read out, and finally the processing state 3p of the work-in-progress information file is set to “waiting for processing”, and the processing content 3e of the manufacturing processing history file is set as the processing end. The time 3b is recorded. If there is an interruption in the middle of the processing, or if the interruption is canceled and the processing is restarted, each processing content 3e (“processing interruption” or “processing restart”) and its time 3b are recorded. Keep it.

【0030】次に、「処理終了」のデータを記録した後
に、図1に示す流れ図に基づいてこの品種のサイクルタ
イムの再設定を行う。すなわち、ロットの処理が完了し
た時点で(ステップ1a)、製造処理履歴ファイルから
のデータ抽出を行い(ステップ1b)、あるロットの所
定工程における処理が完了した時点で(1)式に示す処
理時間(Time(A))を計測する。
Next, after recording the data "processing completed", the cycle time of this product type is reset based on the flow chart shown in FIG. That is, when processing of a lot is completed (step 1a), data is extracted from the manufacturing process history file (step 1b), and when processing in a predetermined process of a lot is completed, the processing time shown in the equation (1) is reached. (Time (A)) is measured.

【数1】 これにより、処理が中断していた時間を除く実際の稼働
時間が計測できる。
[Equation 1] As a result, it is possible to measure the actual operating time excluding the time when the processing was interrupted.

【0031】同様に、(2)式に示す処理待ち(Tim
e(B))を計測する。
Similarly, the process wait (Tim
e (B)) is measured.

【数2】 そして、この処理時間(Time(A))と処理待ち
(Time(B))との和からサイクルタイムを得る。
また、ステップ1cの判断により枚葉処理装置であると
判断された場合には、ステップ1dに進んで計測した処
理時間(Time(A))を(3)式を用いて基準枚数
処理時の値に換算しておく。
[Equation 2] Then, the cycle time is obtained from the sum of the processing time (Time (A)) and the processing waiting time (Time (B)).
When it is determined in step 1c that the device is the single-wafer processing apparatus, the processing time (Time (A)) measured in step 1d is calculated by using the formula (3). Converted to.

【数3】 [Equation 3]

【0032】次に、これらの処理時間と処理待ち時間と
を用いて、工程毎のサイクルタイムを求め(ステップ1
e)、(4)式を用いて処理時間、処理待ち時間それぞ
れの実績平均値を算出する。
Next, using these processing time and processing waiting time, the cycle time for each process is calculated (step 1
The actual results average values of the processing time and the processing waiting time are calculated using e) and (4).

【数4】 [Equation 4]

【0033】これにより、一のロット以前のロットの製
造処理装置における各処理時間と、そのロットでの処理
時間との平均値が得られるとともに、一のロット以前の
ロットの製造処理装置における各処理待ち時間と、その
ロットでの処理待ち時間との平均値が得られることにな
る。ここで得られた処理時間を工程情報ファイルの処理
時間3hの欄に記載し、処理待ち時間を同様に処理待ち
時間3gの欄に記載する。つまり、第1ロットに関して
は、計測されたサイクルタイムがそのまま記載され、第
2ロット以降に関しては、それ以前のサイクルタイムを
合わせた全ロットのデータの平均値が平等に加味されて
更新されることになる。
As a result, an average value of each processing time in the manufacturing processing apparatus of the lot before the one lot and the processing time in the lot is obtained, and each processing in the manufacturing processing apparatus of the lot before the one lot is obtained. An average value of the waiting time and the processing waiting time for the lot will be obtained. The processing time obtained here is described in the processing time 3h column of the process information file, and the processing waiting time is similarly described in the processing waiting time 3g column. In other words, for the first lot, the measured cycle time is written as it is, and for the second and subsequent lots, the average value of the data of all lots including the cycle time before it is equally updated and updated. become.

【0034】なお、ロットの処理の途中で製造処理装置
のトラブル等が発生して処理が中断したり、その後に復
旧して再び処理が再開した場合にも、製造処理履歴ファ
イルに各処理に対応した時刻3bが記録されているた
め、上記のサイクルタイムの算出にはこれらのデータが
加味されたものとなる。
Even if a trouble occurs in the manufacturing processing apparatus during the processing of the lot and the processing is interrupted, or if the processing is restored and the processing is restarted, the manufacturing processing history file corresponds to each processing. Since the time 3b is recorded, these data are taken into consideration in the calculation of the cycle time.

【0035】そして、このように記載されたサイクルタ
イムに基づいて、図11に示すようなクリティカリティ
値を算出し、仕掛り情報ファイルのクリティカリティ値
3qの欄に記載する。作業者は、この仕掛り情報ファイ
ルのクリティカリティ値3qの大小によってソーティン
グしたリストを作成し、これに基づいて処理の優先順位
等の情報を得ることができるようになる。
Then, a criticality value as shown in FIG. 11 is calculated based on the cycle time described in this way, and is written in the column of the criticality value 3q in the work-in-progress information file. The worker can create a sorted list based on the magnitude of the criticality value 3q of this work-in-progress information file, and can obtain information such as the priority order of processing based on this.

【0036】次に、半導体装置等の生産工場において、
ウエハから成る製品をカセットに収納して搬送する場合
の生産管理方法について説明する。図5は、工場内の搬
送路を説明する図であり、生産工場21内には複数の製
造装置33が配置され、これらの製造装置33は、数台
で同一の工程の処理を行える例えばA群と、他の数台で
構成されるB群とに区分けされている。製品を搬送する
ための搬送路としては、各同一工程内で製品を搬送する
ための工程内搬送路24と、各工程間を搬送するための
工程間搬送路27とから構成されている。さらに、各工
程内搬送路24には、製造装置33へ搬送する製品を一
時的に保管するための倉庫25a〜25dがそれぞれ備
えられている。
Next, in a semiconductor device production factory,
A production control method when a product made of wafers is housed in a cassette and conveyed will be described. FIG. 5 is a diagram for explaining the transport path in the factory. A plurality of manufacturing apparatuses 33 are arranged in the production factory 21, and these manufacturing apparatuses 33 can perform the same process in several units, for example, A It is divided into a group and a group B composed of several other units. The transport path for transporting the product includes an intra-process transport path 24 for transporting the product in each same process, and an inter-process transport path 27 for transporting each process. Further, the in-process transport path 24 is provided with warehouses 25a to 25d for temporarily storing the products transported to the manufacturing apparatus 33, respectively.

【0037】このような生産工場21内の搬送路を用い
て製品を搬送しながら生産管理を行うには、図4に示す
ような搬送装置を用いる。すなわち、この搬送装置はホ
ストコンピュータ1により統括管理されるものであり、
各製造ラインに配置された複数の製造装置33と、各自
動倉庫コントローラ25、工程内搬送路24を制御する
ための工程内搬送制御コンピュータ26とが通信回線2
0a、20b…を介してローカルコンピュータ2と接続
されたものである。
In order to carry out production management while transporting products using the transport path in the production factory 21, a transport device as shown in FIG. 4 is used. That is, this transport device is managed by the host computer 1,
The communication line 2 includes a plurality of manufacturing apparatuses 33 arranged on each manufacturing line, an automatic warehouse controller 25, and an in-process transfer control computer 26 for controlling the in-process transfer path 24.
It is connected to the local computer 2 via 0a, 20b ....

【0038】ローカルコンピュータ2は、各製造装置3
3から送信されてくる各種データを定型化してホストコ
ンピュータ1に送り、あるいは、製造装置33からの要
求によってホストコンピュータ1の管理するデータベー
ス10内の各種情報を各製造装置33に提供する機能を
持つ。さらに、ローカルコンピュータ2は、同一製造ラ
イン内に位置する各製造装置33間、および製造装置3
3と自動倉庫コントローラ25との間の自動搬送を制御
する工程内搬送制御コンピュータ26に対して搬送指示
を発生させる。
The local computer 2 is connected to each manufacturing apparatus 3
3 has a function of stylizing various data transmitted from the computer 3 to the host computer 1 or providing various information in the database 10 managed by the host computer 1 to each manufacturing device 33 in response to a request from the manufacturing device 33. . Further, the local computer 2 is provided between the manufacturing apparatuses 33 located in the same manufacturing line, and between the manufacturing apparatuses 3
3 issues a transfer instruction to the in-process transfer control computer 26 that controls automatic transfer between the automatic transfer controller 3 and the automatic warehouse controller 25.

【0039】このような搬送装置を用いて生産管理を行
うには、ホストコンピュータ1が管理するデータベース
10内に図6に示すような工程情報ファイルや、装置情
報ファイル、仕掛り情報ファイルに基づいて行う。すな
わち、図6(a)に示す工程情報ファイルでは、各製品
名6f毎に、その製品を製造するための工程名6cが工
程順に並べられ、各工程名6cを処理するための処理可
能な製造装置名6jが少なくとも1つ以上記載されてい
る。また、各製造装置名6jに記載された製造装置33
に対応した処理条件6iがそれぞれ記載されており、各
製造装置33に合わせて登録できるようになっている。
In order to perform production management using such a carrier device, based on a process information file, a device information file, and a work-in-progress information file as shown in FIG. 6 in the database 10 managed by the host computer 1. To do. That is, in the process information file shown in FIG. 6A, for each product name 6f, the process name 6c for manufacturing the product is arranged in the order of processes, and the processable manufacturing for processing each process name 6c is performed. At least one device name 6j is described. In addition, the manufacturing device 33 described in each manufacturing device name 6j
The processing conditions 6i corresponding to the above are respectively described, and can be registered according to each manufacturing apparatus 33.

【0040】また、図6(b)に示す装置情報ファイル
には、各製造装置名6jに対する稼働状態6rと、その
製造装置名6jが示す製造装置33につながる倉庫名6
sと、その製造装置33による処理を待っている製品数
を示す処理待ち数6tとが記載されている。また、図6
(c)に示す仕掛り情報ファイルでは、工場内に仕掛り
中の全製品について、そのロット名6aと仕掛り工程名
6kと製品名6fと数量6mと処理状態6pと処理予定
装置名6uとが記載されている。なお、処理状態6pに
は、処理が開始する以前を「処理待」の状態とし、処理
が開始されてから完了するまでを「処理中」の状態とし
てその旨を記載する。
In the apparatus information file shown in FIG. 6B, the operating state 6r for each manufacturing apparatus name 6j and the warehouse name 6 connected to the manufacturing apparatus 33 indicated by the manufacturing apparatus name 6j.
s and a processing waiting number 6t indicating the number of products waiting for processing by the manufacturing apparatus 33 are described. In addition, FIG.
In the in-process information file shown in (c), the lot name 6a, the in-process step name 6k, the product name 6f, the quantity 6m, the processing state 6p, and the scheduled processing device name 6u of all products in process in the factory. Is listed. In the processing state 6p, the state before the processing is set to the “processing waiting” state and the state from the start to the completion of the processing is set to the “processing in progress” state.

【0041】次に、このような各種のファイルに基づい
て生産管理方法を図7、図8の流れ図、および図4、図
5、図6を参照しながら順に説明する。例えば、A群の
製造装置33による処理が終了したロットが、工程内搬
送路24を介して倉庫25aに戻されたとすると、この
時点で図7に示す流れ図に基づいて管理される。すなわ
ち、このロット名が自動倉庫コントローラ25からロー
カルコンピュータ2を介してホストコンピュータ1に通
知されると、ホストコンピュータ1はデータベース10
内の仕掛り情報ファイルを検索し(ステップ7a)、そ
のロット名6aに対応する製品名6fと現在仕掛り中で
ある仕掛り工程名6kとを読み出す。
Next, a production management method based on such various files will be described in order with reference to the flowcharts of FIGS. 7 and 8 and FIGS. 4, 5 and 6. For example, if a lot that has been processed by the manufacturing apparatus 33 of Group A is returned to the warehouse 25a via the in-process transport path 24, it is managed at this point based on the flowchart shown in FIG. That is, when this lot name is notified from the automatic warehouse controller 25 to the host computer 1 via the local computer 2, the host computer 1 will send the database 10
The in-process information file is searched (step 7a), and the product name 6f corresponding to the lot name 6a and the in-process name 6k currently in process are read.

【0042】次に、工程情報ファイルを検索して(ステ
ップ7b)、先に読み出した製品名6fと工程名6kと
の組合せに該当する処理可能な複数の製造装置名6jを
読み出す。そして、装置情報ファイルを検索し(ステッ
プ7c)、先に読み出された製造装置名6jの中から稼
働状態6rが「up」で、しかも処理待ち数6tが最小
となるものを選びだし、これに対応する倉庫名6sを読
み出す。それと同時に製造装置名6jに対応する処理待
ち数6tをインクリメントする。
Next, the process information file is searched (step 7b), and a plurality of processable manufacturing apparatus names 6j corresponding to the combination of the previously read product name 6f and process name 6k are read out. Then, the apparatus information file is searched (step 7c), and from the manufacturing apparatus names 6j read out earlier, the one having the operating state 6r of "up" and the minimum number of processing waits 6t is selected. The warehouse name 6s corresponding to is read. At the same time, the process waiting number 6t corresponding to the manufacturing apparatus name 6j is incremented.

【0043】さらに、選ばれた製造装置名6jを仕掛り
情報ファイルの搬送対象となるロットのロット名6aに
対応する処理予定装置名6u内に記載する(ステップ7
d)。そして、先のステップで読み出された倉庫名6s
の示す倉庫をこのロットの搬送先として工程間搬送制御
コンピュータ26に対して搬送指示を通知し(ステップ
7e)、工程間搬送の指示発生の処理を完了する。
Further, the selected manufacturing apparatus name 6j is described in the scheduled processing apparatus name 6u corresponding to the lot name 6a of the lot to be the target of the in-process information file conveyance (step 7).
d). And the warehouse name 6s read in the previous step
The inter-process transfer control computer 26 is notified of the transfer instruction with the warehouse indicated by as the transfer destination of this lot (step 7e), and the process for generating the inter-process transfer instruction is completed.

【0044】この指示により工程間搬送路27を介して
ロットを行き先の倉庫へ搬送し一時的に格納する。これ
により、各倉庫25a〜25dに対して複数の処理可能
な製造装置33が備えられていても、しかも複数の生産
ラインにまたがっていても(B群での処理を次に行うよ
うな場合)、対象となる製造装置群の中から最も適切な
状況にある製造装置33を選択することになり、いずれ
の製造ラインの製造装置33にもロットが供給できるよ
うになる。
According to this instruction, the lot is transported to the destination warehouse via the inter-process transport path 27 and temporarily stored. As a result, even if each of the warehouses 25a to 25d is provided with a plurality of manufacturing apparatuses 33 capable of processing, and even if the warehouses straddle a plurality of production lines (in the case where the processing in the group B is performed next). Then, the manufacturing apparatus 33 in the most appropriate condition is selected from the target manufacturing apparatus group, and the lot can be supplied to the manufacturing apparatus 33 of any manufacturing line.

【0045】次に、倉庫25a〜25dに格納された製
品を同一工程を構成する製造装置33へ搬送する、いわ
ゆる工程内搬送を行う方法を説明する。すなわち、この
搬送は図8の流れ図に基づいて行うものであり、先ず、
前の工程から搬送されたロットが一時的に倉庫25a〜
25dに格納されている状態で、製造装置33からのロ
ットの搬入要求がローカルコンピュータ2を介してホス
トコンピュータ1に通知あると、ホストコンピュータ1
はデータベース10内の仕掛り情報ファイルを検索し
(ステップ8a)、ロットの要求によって通知された製
造装置名が処理予定装置名6uと一致するロットを選択
し、そのロットの製品名6fおよび仕掛り工程名6kを
読み出す。
Next, a method of carrying out so-called in-process carrying, in which the products stored in the warehouses 25a to 25d are carried to the manufacturing apparatus 33 which constitutes the same process, will be described. That is, this transportation is performed based on the flowchart of FIG.
The lot transported from the previous process is temporarily stored in the warehouse 25a-
In the state of being stored in 25d, when the host computer 1 is notified of a lot loading request from the manufacturing apparatus 33 via the local computer 2, the host computer 1
Searches the work-in-progress information file in the database 10 (step 8a), selects the lot whose manufacturing device name notified by the lot request matches the planned processing device name 6u, and selects the product name 6f and work-in-process of that lot. Read process name 6k.

【0046】次に、工程情報ファイルにおける製品名6
fと工程名6cと製造装置名6jが前の処理で読み出し
たものと一致する組合せに対応する処理条件6iを読み
出す(ステップ8b)。ここで読み出したロット名6a
がホストコンピュータ1からローカルコンピュータ2を
介して自動倉庫コントローラ25に送られ、またロット
名6aと先に読み出された処理条件6iとが要求元の製
造装置33へ送られる。そして、要求元の製造装置33
を示す製造装置名6jが工程内搬送制御コンピュータ2
6へ送られる(ステップ8c)。
Next, the product name 6 in the process information file
The processing condition 6i corresponding to the combination in which f, the process name 6c, and the manufacturing apparatus name 6j match the one read in the previous processing is read (step 8b). Lot name 6a read here
Is sent from the host computer 1 to the automatic warehouse controller 25 via the local computer 2, and the lot name 6a and the previously read processing condition 6i are sent to the requesting manufacturing apparatus 33. Then, the requesting manufacturing apparatus 33
Is a manufacturing device name 6j indicating the in-process transfer control computer 2
6 (step 8c).

【0047】この時点で、工程内搬送路24を介して倉
庫25a〜25dから要求元の製造装置33へ製品を搬
入することになる(ステップ8d)。この製造装置33
には処理条件が設定されているため、処理の準備が整っ
た段階で所定の処理を開始し(ステップ8e)、これと
同時に製造装置33からローカルコンピュータ2を介し
てホストコンピュータ1へその「処理開始」を通知す
る。この「処理開始」の通知により、装置情報ファイル
の該当する製造装置名6jにおける処理待ち数6tをデ
クリメントする(ステップ8f)。
At this point, the product is carried in from the warehouses 25a to 25d to the requesting manufacturing apparatus 33 through the in-process transportation path 24 (step 8d). This manufacturing device 33
Since the processing conditions are set in step 1, predetermined processing is started when the processing is ready (step 8e), and at the same time, the manufacturing apparatus 33 sends the "processing" to the host computer 1 via the local computer 2. "Start" is notified. By the notification of "start of processing", the number 6t of waiting processing in the corresponding manufacturing apparatus name 6j of the apparatus information file is decremented (step 8f).

【0048】その後、製造装置33内のロットにおける
処理が完了した場合には(ステップ8g)、その完了を
ローカルコンピュータ2を介してホストコンピュータ1
へ送る。ここで、ホストコンピュータ1は通知されたロ
ット名に基づいて仕掛り情報ファイルを検索し(ステッ
プ8h)、そのロットの製品名6fと仕掛り工程名6k
とを読み出す。
After that, when the processing for the lot in the manufacturing apparatus 33 is completed (step 8g), the completion is processed by the host computer 1 via the local computer 2.
Send to. Here, the host computer 1 searches the in-process information file based on the notified lot name (step 8h), and the product name 6f and the in-process name 6k of the lot.
And read out.

【0049】次に、先のステップにて読み出した製品名
6fと仕掛り工程名6kとにより、工程情報ファイルを
検索し(ステップ8i)、現在の仕掛り工程名6kの次
の工程名6cを抽出し、仕掛り情報ファイルの仕掛り工
程名6kにその工程名6cをセットして更新する(ステ
ップ8j)。そして、このロット名6aをローカルコン
ピュータ2を介して自動倉庫コントローラ25および工
程内搬送制御コントローラ26へ通知し(ステップ8
k)、その後、工程内搬送路27を介して製品を倉庫2
5a〜25dに格納する。以上のようなステップを繰り
返すことにより、ロットの処理を順次進めていく。
Next, the process information file is searched by the product name 6f and work-in-process name 6k read in the previous step (step 8i), and the process name 6c next to the current work-in-process name 6k is retrieved. The process name 6c is extracted and set to the in-process process name 6k of the in-process information file and updated (step 8j). Then, the lot name 6a is notified to the automatic warehouse controller 25 and the in-process transfer control controller 26 via the local computer 2 (step 8).
k), then the product is transferred to the warehouse 2 via the in-process transportation path 27.
5a to 25d. By repeating the above steps, the lot processing is sequentially advanced.

【0050】なお、本実施例において、生産管理を行う
対象として半導体装置の製造を例として説明したが、本
発明はこれに限定されず製造ラインにより製造されるも
のであればどんな製品の生産管理にも適用できる。
In this embodiment, the production of semiconductor devices has been described as an example of production control, but the present invention is not limited to this, and the production control of any product can be performed by a production line. Can also be applied to.

【0051】[0051]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の生産管理
方法を用いれば次のような効果がある。すなわち、各ロ
ットの処理に対する現実の実績データに基づいてサイク
ルタイムを自動的に設定し、このサイクルタイムに基づ
いたクリティカリティ値を得ることができるため、製品
の出来日の予想の精度を上げることが可能となる。ま
た、サイクルタイムやクリティカリティ値を現実に近い
数値で、しかもリアルタイムで参照可能となり、作業者
による処理順に決定が容易に行えることになる。
As described above, the production management method of the present invention has the following effects. That is, the cycle time can be automatically set based on the actual performance data for the processing of each lot, and the criticality value based on this cycle time can be obtained. Is possible. Further, the cycle time and the criticality value can be referred to in real time and in real time, and the operator can easily determine the processing order.

【0052】また、同一の工程で複数の製造処理装置が
備えられていても、各製造処理装置の処理待ち数に応じ
て搬送先の倉庫を決定できるため、同一工程の製造処理
装置の存在する全てのラインに連結する倉庫へ効率よく
ロットを供給することが可能となる。しかも、製造処理
装置の稼働状態に応じてロットの供給を行えるため、全
体としてバランスよく供給することが可能となる。これ
らのことから、製品の生産性を向上させることが可能と
なる。
Further, even if a plurality of manufacturing processing apparatuses are provided in the same process, the warehouse of the transfer destination can be determined according to the number of processing waiting of each manufacturing processing apparatus, so that the manufacturing processing apparatuses of the same process exist. Lots can be efficiently supplied to the warehouses connected to all lines. Moreover, since the lots can be supplied according to the operating state of the manufacturing processing apparatus, it is possible to supply them in a well-balanced manner as a whole. From these things, it becomes possible to improve the productivity of the product.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の生産管理方法の要部を説明する流れ図
である。
FIG. 1 is a flowchart illustrating a main part of a production management method of the present invention.

【図2】生産管理装置の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a production management device.

【図3】各種のファイルを説明する図で、(a)は製造
処理履歴ファイル、(b)は工程情報ファイル、(c)
は仕掛り情報ファイルである。
3A to 3C are diagrams for explaining various files, where FIG. 3A is a manufacturing process history file, FIG. 3B is a process information file, and FIG.
Is an in-process information file.

【図4】搬送装置の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of a transfer device.

【図5】工場内の搬送路を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a transportation path in a factory.

【図6】各種ファイルを説明する図で、(a)は工程情
報ファイル、(b)は装置情報ファイル、(c)は仕掛
り情報ファイルである。
FIG. 6 is a diagram illustrating various files, (a) is a process information file, (b) is an apparatus information file, and (c) is a work-in-progress information file.

【図7】工程間搬送の流れ図である。FIG. 7 is a flowchart of inter-process transportation.

【図8】工程内搬送の流れ図である。FIG. 8 is a flowchart of in-process transportation.

【図9】従来例を説明する構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram illustrating a conventional example.

【図10】従来の工程情報ファイルを説明する図であ
る。
FIG. 10 is a diagram illustrating a conventional process information file.

【図11】クリティカリティ値を説明する図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a criticality value.

【図12】従来の各種ファイルを説明する図で、(a)
は工程情報ファイル、(b)は仕掛り情報ファイルであ
る。
FIG. 12 is a diagram for explaining various conventional files, (a)
Is a process information file, and (b) is an in-process information file.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ホストコンピュータ 2 ローカルコンピュータ 3 工程間搬送制御コンピュータ 4 端末 10 データベース 20 通信回線 25 自動倉庫コントローラ 26 工程内搬送制御コンピュータ 33 製造装置 1 Host Computer 2 Local Computer 3 Inter-process Transfer Control Computer 4 Terminal 10 Database 20 Communication Line 25 Automatic Warehouse Controller 26 In-process Transfer Control Computer 33 Manufacturing Equipment

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ロット単位で製造処理装置に投入し、決
められた各製造工程に沿って設定納期までに順次製品を
製造していく生産管理方法において、 一のロットに対する処理が前記製造処理装置により実際
に行われた処理時間と、該製造処理装置による処理の一
つ前の製造工程の処理が終了してから該製造処理装置に
よる処理が開始されるまでの処理待ち時間とを前記各製
造工程毎に計測し、 前記一のロット以前のロットの前記製造処理装置におけ
る処理時間と計測した前記処理時間との平均値を算出す
るとともに、前記一のロット以前のロットの該製造処理
装置における処理待ち時間と計測した前記処理待ち時間
との平均値を算出し、 ロットの所定時点における処理の進捗状況を、該所定時
点以降の各製造工程における前記処理時間の平均値と前
記処理待ち時間の平均値との総和時間に対する該所定時
点から前記設定納期までの残り時間の割合により表すよ
うにしたことを特徴とする生産管理方法。
1. A production control method in which a lot is put into a manufacturing processing apparatus and products are sequentially manufactured by a set delivery date along each of the determined manufacturing processes. The processing time actually performed by the manufacturing processing apparatus and the processing waiting time from the end of the processing of the manufacturing step immediately before the processing by the manufacturing processing apparatus to the start of the processing by the manufacturing processing apparatus are described above. Measured for each process, calculating an average value of the processing time and the measured processing time in the manufacturing processing apparatus of the lot before the one lot, and processing in the manufacturing processing apparatus of the lot before the one lot. An average value of the waiting time and the measured processing waiting time is calculated, and the progress status of the processing at a predetermined time point of the lot is calculated as an average of the processing time in each manufacturing process after the predetermined time point. A production management method characterized in that it is represented by a ratio of a remaining time from the predetermined time to the set delivery date with respect to a total time of a value and an average value of the processing waiting time.
【請求項2】 所定の製造工程における製品のロット単
位の処理が終了した時点で搬送手段を介して該製品を所
定の倉庫に格納し、該倉庫から次の製造工程における処
理が可能な製造処理装置へ該製品を搬送するように生産
の管理を行う生産管理方法において、 予め、前記製品を製造するための複数の製造工程を工程
順に記憶しておくとともに、前記複数の製造工程の各々
における処理が可能な製造処理装置の装置名を少なくと
も1つ以上記憶した工程情報ファイルを作成し、 さらに、前記製造処理装置へ搬入する製品を一時的に格
納しておく倉庫の倉庫名と、該製造処理装置における処
理を待機しているロット数から成る処理待ち数とを各製
造処理装置毎に記憶しておく装置情報ファイルを作成し
ておき、 所定の前記製造工程による前記ロットの処理が終了した
時点で、前記工程情報ファイルに記憶された該製造工程
の次の製造工程を読み出すとともに、該次の製造工程に
おける処理が可能な製造処理装置のうちの前記製造情報
ファイルに記憶された処理待ち数が最も少ないものを選
択し、かつ、選択された前記製造処理装置に対応する倉
庫の倉庫名を該製造情報ファイルから読み出し、 前記ロットの処理が終了した製造処理装置から前記倉庫
名が示す倉庫へ前記製品を搬送し、該倉庫から前記次の
製造工程における処理が可能な製造処理装置へ該製品を
搬入するようにしたことを特徴とする生産管理方法。
2. A manufacturing process in which a product is stored in a predetermined warehouse via a transportation means at the time when the processing of a product in lot units in a predetermined manufacturing process is completed, and the process can be performed in the next manufacturing process from the warehouse. In a production management method for managing production so as to convey the product to an apparatus, a plurality of manufacturing processes for manufacturing the product are stored in advance in a process order, and a process in each of the plurality of manufacturing processes is performed. A process information file in which at least one device name of a manufacturing processing device that can be used is stored, and further, a warehouse name of a warehouse for temporarily storing products to be carried into the manufacturing processing device, and the manufacturing process. An apparatus information file is created for storing, for each manufacturing processing apparatus, the number of processing waits consisting of the number of lots waiting for processing in the apparatus, and At the end of the process, the manufacturing information file stored in the process information file is read out of the manufacturing process next to the manufacturing process, and the manufacturing information file of the manufacturing processing apparatus capable of performing the process in the next manufacturing process. Select the one with the smallest number of processing waits stored in, and read the warehouse name of the warehouse corresponding to the selected manufacturing processing apparatus from the manufacturing information file, and from the manufacturing processing apparatus that has finished processing the lot. A production management method, comprising: transporting the product to a warehouse indicated by the warehouse name, and loading the product from the warehouse to a manufacturing processing apparatus capable of processing in the next manufacturing process.
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