JPH0785835A - 質量分析方法および装置 - Google Patents
質量分析方法および装置Info
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- JPH0785835A JPH0785835A JP23215693A JP23215693A JPH0785835A JP H0785835 A JPH0785835 A JP H0785835A JP 23215693 A JP23215693 A JP 23215693A JP 23215693 A JP23215693 A JP 23215693A JP H0785835 A JPH0785835 A JP H0785835A
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- mass
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- ions
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置構成の複雑化、大型化を招くことなく、
高精度の質量分析を行うことが可能な質量分析技術を提
供する。 【構成】 イオン源１０と、差動排気部２０と、検出部
３０と、差動排気部２０における第１スリット１１と第
２スリット２１との間にドリフト電圧を印加するドリフ
ト電源５０と、検出部３０における測定結果に基づいて
ドリフト電源５０を制御することにより、キャリアガス
と同一の質量と電荷の比をもつ試料物質を原子レベルに
解離させる最適なドリフト電圧を設定する制御計算機４
２とからなる質量分析装置である。
高精度の質量分析を行うことが可能な質量分析技術を提
供する。 【構成】 イオン源１０と、差動排気部２０と、検出部
３０と、差動排気部２０における第１スリット１１と第
２スリット２１との間にドリフト電圧を印加するドリフ
ト電源５０と、検出部３０における測定結果に基づいて
ドリフト電源５０を制御することにより、キャリアガス
と同一の質量と電荷の比をもつ試料物質を原子レベルに
解離させる最適なドリフト電圧を設定する制御計算機４
２とからなる質量分析装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、質量分析技術に関し、
特に、極微量の物質の高精度な定量測定等に適用して有
効な技術に関するものである。
特に、極微量の物質の高精度な定量測定等に適用して有
効な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】質量分析技術の一つとして、大気圧イオ
ン化質量分析計（ＡＰＩＭＳ）が知られている。すなわ
ち、イオン源に導入された試料を電子衝撃法等でイオン
化した後、四重極形マスフィルタに送り込み、電場の状
況下でのイオンの走行軌跡が、質量と電荷の比に依存し
て一義的に決定されることを利用して、電子増倍管等に
特定の試料物質イオンを選択的に捕捉して検出するもの
である。
ン化質量分析計（ＡＰＩＭＳ）が知られている。すなわ
ち、イオン源に導入された試料を電子衝撃法等でイオン
化した後、四重極形マスフィルタに送り込み、電場の状
況下でのイオンの走行軌跡が、質量と電荷の比に依存し
て一義的に決定されることを利用して、電子増倍管等に
特定の試料物質イオンを選択的に捕捉して検出するもの
である。
【０００３】ところで、前述のような従来の質量分析技
術では、イオン化された試料物質を分析部に導く際に印
加されるドリフト電圧は、キャリアガスイオンおよびキ
ャリアガスクラスタイオンの検出レベルが均一になる程
度に一定に制御している。
術では、イオン化された試料物質を分析部に導く際に印
加されるドリフト電圧は、キャリアガスイオンおよびキ
ャリアガスクラスタイオンの検出レベルが均一になる程
度に一定に制御している。
【０００４】一方、原理上、キャリアガスイオンと目的
の試料物質イオンとの質量と電荷の比が等しい場合には
両者を弁別することはできないため、従来では、マスフ
ィルタを多段に配置することで、この問題を回避してい
た。
の試料物質イオンとの質量と電荷の比が等しい場合には
両者を弁別することはできないため、従来では、マスフ
ィルタを多段に配置することで、この問題を回避してい
た。
【０００５】なお、質量分析技術については、たとえ
ば、社団法人、日本分析機器工業会、平成４年１０月１
日発行、「分析機器の手引き（第４版）」Ｐ６７、等の
文献に記載されている。
ば、社団法人、日本分析機器工業会、平成４年１０月１
日発行、「分析機器の手引き（第４版）」Ｐ６７、等の
文献に記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなマスフィ
ルタを多段に配置する構成では、装置が複雑化、大型化
するばかりでなく、目的の試料物質イオンの損失量も大
きくなる、という問題があった。
ルタを多段に配置する構成では、装置が複雑化、大型化
するばかりでなく、目的の試料物質イオンの損失量も大
きくなる、という問題があった。
【０００７】本発明の目的は、装置構成の複雑化、大型
化を招くことなく、高精度の質量分析を行うことが可能
な質量分析技術を提供することにある。
化を招くことなく、高精度の質量分析を行うことが可能
な質量分析技術を提供することにある。
【０００８】本発明の他の目的は、分析操作の省力化を
実現することが可能な質量分析技術を提供することにあ
る。
実現することが可能な質量分析技術を提供することにあ
る。
【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００１１】請求項１記載の発明は、キャリアガス中の
試料物質をイオン化した後、質量分析部に導き、質量と
電荷の比に基づいて試料物質イオン（クラスタイオンを
含む）を弁別して定量する分析方法において、質量分析
部の前段においてキャリアガスイオンおよび試料物質イ
オンに印加されるドリフト電圧を制御し、試料物質イオ
ンおよびキャリアガスイオンの少なくとも一方を衝突解
離させ、キャリアガスイオンおよび試料物質イオンの各
々における質量と電荷の比が異なる状態にして分析操作
を行うものである。
試料物質をイオン化した後、質量分析部に導き、質量と
電荷の比に基づいて試料物質イオン（クラスタイオンを
含む）を弁別して定量する分析方法において、質量分析
部の前段においてキャリアガスイオンおよび試料物質イ
オンに印加されるドリフト電圧を制御し、試料物質イオ
ンおよびキャリアガスイオンの少なくとも一方を衝突解
離させ、キャリアガスイオンおよび試料物質イオンの各
々における質量と電荷の比が異なる状態にして分析操作
を行うものである。
【００１２】請求項２記載の発明は、キャリアガス中の
試料物質をイオン化するイオン源と、質量分析手段を備
えた検出部と、イオン源から検出部にキャリアガスイオ
ンおよび試料物質イオンを導く差動排気部とを備えた分
析装置において、差動排気部を通過する試料物質イオン
に印加されるドリフト電圧を任意の値に制御するドリフ
ト電圧制御部と、このドリフト電圧制御部および検出部
を制御する主制御部とを設け、主制御部は、種々のドリ
フト電圧において検出部で得られた目的の試料物質イオ
ンの検出レベルを記録し、試料物質イオンとキャリアガ
スイオンの各々における質量と電荷の比が異なる特定の
ドリフト電圧の値を自動的に算出および設定する動作を
行うようにしたものである。
試料物質をイオン化するイオン源と、質量分析手段を備
えた検出部と、イオン源から検出部にキャリアガスイオ
ンおよび試料物質イオンを導く差動排気部とを備えた分
析装置において、差動排気部を通過する試料物質イオン
に印加されるドリフト電圧を任意の値に制御するドリフ
ト電圧制御部と、このドリフト電圧制御部および検出部
を制御する主制御部とを設け、主制御部は、種々のドリ
フト電圧において検出部で得られた目的の試料物質イオ
ンの検出レベルを記録し、試料物質イオンとキャリアガ
スイオンの各々における質量と電荷の比が異なる特定の
ドリフト電圧の値を自動的に算出および設定する動作を
行うようにしたものである。
【００１３】請求項３記載の発明は、請求項２記載の質
量分析装置において、主制御部は、特定のドリフト電圧
の値に設定した状態で検量線の作成を自動的に行うよう
にしたものである。
量分析装置において、主制御部は、特定のドリフト電圧
の値に設定した状態で検量線の作成を自動的に行うよう
にしたものである。
【００１４】請求項４記載の発明は、請求項２または３
記載の質量分析装置において、質量分析手段は四重極形
マスフィルタからなり、イオン源は大気圧下で試料物質
のイオン化を行うようにしたものである。
記載の質量分析装置において、質量分析手段は四重極形
マスフィルタからなり、イオン源は大気圧下で試料物質
のイオン化を行うようにしたものである。
【００１５】
【作用】上記した本発明の質量分析方法によれば、イオ
ン源において生成されるキャリアガスイオンと目的の試
料物質イオンとにおける質量と電荷の比が等しい場合で
も、当該試料物質イオンがキャリアガスイオンとは異な
る質量と電荷の比を有する開裂状態となるようにドリフ
ト電圧を設定するので、マスフィルタを多段にする等の
複雑な構造を用いることなく、的確に目的の試料物質の
測定を行うことができる。
ン源において生成されるキャリアガスイオンと目的の試
料物質イオンとにおける質量と電荷の比が等しい場合で
も、当該試料物質イオンがキャリアガスイオンとは異な
る質量と電荷の比を有する開裂状態となるようにドリフ
ト電圧を設定するので、マスフィルタを多段にする等の
複雑な構造を用いることなく、的確に目的の試料物質の
測定を行うことができる。
【００１６】また、本発明の質量分析装置によれば、主
制御部は、ドリフト電圧を種々変化させた時に検出され
る目的の試料物質イオンの強度を記録し、試料物質イオ
ンとキャリアガスイオンの各々における質量と電荷の比
が異なる特定の前記ドリフト電圧の値を自動的に見いだ
して設定する動作を行うので、たとえば、目的の試料物
質とキャリアガスの組み合わせに応じた最適のドリフト
電圧を自動的に得られるので、操作者による分析操作の
介入頻度が減少し、分析操作における省力化を実現でき
る。
制御部は、ドリフト電圧を種々変化させた時に検出され
る目的の試料物質イオンの強度を記録し、試料物質イオ
ンとキャリアガスイオンの各々における質量と電荷の比
が異なる特定の前記ドリフト電圧の値を自動的に見いだ
して設定する動作を行うので、たとえば、目的の試料物
質とキャリアガスの組み合わせに応じた最適のドリフト
電圧を自動的に得られるので、操作者による分析操作の
介入頻度が減少し、分析操作における省力化を実現でき
る。
【００１７】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明す
る。
る。
【００１８】図１は、本発明の一実施例である質量分析
方法が実施される質量分析装置の構成の一例を示す概念
図であり、図２および図３は、その作用の一例を示す線
図、また図４および図５は、その作用の一例を示すフロ
ーチャートである。
方法が実施される質量分析装置の構成の一例を示す概念
図であり、図２および図３は、その作用の一例を示す線
図、また図４および図５は、その作用の一例を示すフロ
ーチャートである。
【００１９】図１に例示されるように、本実施例の質量
分析装置は、イオン源１０，差動排気部２０，検出部３
０を同軸に接続した構成となっている。
分析装置は、イオン源１０，差動排気部２０，検出部３
０を同軸に接続した構成となっている。
【００２０】イオン源１０は、第１スリット１１の開口
部１１ａに対向して配置された針電極１２と、この針電
極１２の周囲に、目的の試料物質ガスｇを含むキャリア
ガスを給排する試料導入管１３等を備えており、針電極
１２と第１スリット１１との間のコロナ放電によってキ
ャリアガスおよび試料物質ガスの大気圧下でのイオン化
が行われる。
部１１ａに対向して配置された針電極１２と、この針電
極１２の周囲に、目的の試料物質ガスｇを含むキャリア
ガスを給排する試料導入管１３等を備えており、針電極
１２と第１スリット１１との間のコロナ放電によってキ
ャリアガスおよび試料物質ガスの大気圧下でのイオン化
が行われる。
【００２１】差動排気部２０は、後段の検出部３０との
間に設けられた第２スリット２１の開口部２１ａと同軸
に配置されたイオンレンズ２２と、図示しない真空ポン
プ等に接続される排気管２３とを備えている。第２スリ
ット２１とイオンレンズ２２との間には、たとえば、５
Ｐａ程度の真空度の下で、当該イオンレンズ２２の側が
正電位となるように、図示しない直流電源から直流電圧
が印加されている。
間に設けられた第２スリット２１の開口部２１ａと同軸
に配置されたイオンレンズ２２と、図示しない真空ポン
プ等に接続される排気管２３とを備えている。第２スリ
ット２１とイオンレンズ２２との間には、たとえば、５
Ｐａ程度の真空度の下で、当該イオンレンズ２２の側が
正電位となるように、図示しない直流電源から直流電圧
が印加されている。
【００２２】検出部３０は、たとえば、第２スリット２
１の開口部２１ａに同軸に配置された四重極形マスフィ
ルタ３１、この四重極形マスフィルタ３１の後段に配置
された第３スリット３２、第３スリット３２の開口部３
２ａの出口に配置されたディフレクタ３３、当該ディフ
レクタ３３の一方の側面に配置された反射板３４、反射
板３４とディフレクタ３３との間隙に開口部を向けて配
置された電子増倍管３５等で構成されている。また、検
出部３０の内部空間は、図示しない真空ポンプ等に接続
された排気管３６によって、たとえば、４×１０-4Ｐａ
程度の真空度に排気される。
１の開口部２１ａに同軸に配置された四重極形マスフィ
ルタ３１、この四重極形マスフィルタ３１の後段に配置
された第３スリット３２、第３スリット３２の開口部３
２ａの出口に配置されたディフレクタ３３、当該ディフ
レクタ３３の一方の側面に配置された反射板３４、反射
板３４とディフレクタ３３との間隙に開口部を向けて配
置された電子増倍管３５等で構成されている。また、検
出部３０の内部空間は、図示しない真空ポンプ等に接続
された排気管３６によって、たとえば、４×１０-4Ｐａ
程度の真空度に排気される。
【００２３】ディフレクタ３３には、図示しない電源か
ら、当該ディフレクタ３３が正電位となるように直流電
圧が印加されている。四重極形マスフィルタ３１から第
３スリット３２を介して到来する粒子群のうち、正電荷
をもつイオンはディフレクタ３３から反発力をうけて反
射板３４の側に導かれ、電荷を持たない中性粒子は、そ
のまま直進してディフレクタ３３に衝突し、電子増倍管
３５に到達することがなく、これにより、中性粒子等が
電子増倍管３５に到達してノイズの原因となることが回
避される。
ら、当該ディフレクタ３３が正電位となるように直流電
圧が印加されている。四重極形マスフィルタ３１から第
３スリット３２を介して到来する粒子群のうち、正電荷
をもつイオンはディフレクタ３３から反発力をうけて反
射板３４の側に導かれ、電荷を持たない中性粒子は、そ
のまま直進してディフレクタ３３に衝突し、電子増倍管
３５に到達することがなく、これにより、中性粒子等が
電子増倍管３５に到達してノイズの原因となることが回
避される。
【００２４】電子増倍管３５には、増幅器４１を介して
制御計算機４２およびプリンタ，プロッタ等のデータ出
力装置４３が接続されている。制御計算機４２は、増幅
器４１を介して得られる測定データの処理を行い、必要
に応じて測定結果をデータ出力装置４３に出力するとと
もに、装置全体の制御動作も行う。
制御計算機４２およびプリンタ，プロッタ等のデータ出
力装置４３が接続されている。制御計算機４２は、増幅
器４１を介して得られる測定データの処理を行い、必要
に応じて測定結果をデータ出力装置４３に出力するとと
もに、装置全体の制御動作も行う。
【００２５】この場合、差動排気部２０の両端に位置す
る第１スリット１１と、第２スリット２１との間には、
直流電源５１および電圧可変機構５２からなるドリフト
電源５０が接続されており、電圧可変機構５２は、制御
計算機４２からの指令によって、当該第１スリット１１
と、第２スリット２１との間に印加されるドリフト電圧
を所望の値に設定する構成となっている。
る第１スリット１１と、第２スリット２１との間には、
直流電源５１および電圧可変機構５２からなるドリフト
電源５０が接続されており、電圧可変機構５２は、制御
計算機４２からの指令によって、当該第１スリット１１
と、第２スリット２１との間に印加されるドリフト電圧
を所望の値に設定する構成となっている。
【００２６】また、制御計算機４２は、電圧可変機構５
２によって設定される種々のドリフト電圧下において検
出部３０から得られる測定データを監視し、後述のよう
な一連の動作によって、所望の試料物質に応じた最適の
ドリフト電圧を自動的に決定する制御論理を備えてい
る。
２によって設定される種々のドリフト電圧下において検
出部３０から得られる測定データを監視し、後述のよう
な一連の動作によって、所望の試料物質に応じた最適の
ドリフト電圧を自動的に決定する制御論理を備えてい
る。
【００２７】以下、本実施例の質量分析方法および装置
の作用の一例を説明する。
の作用の一例を説明する。
【００２８】なお、以下の説明では、キャリアガスおよ
び試料物質の組み合わせの一例として、窒素ガス
（Ｎ2 ）および一酸化炭素ガス（ＣＯ）の場合について
説明する。
び試料物質の組み合わせの一例として、窒素ガス
（Ｎ2 ）および一酸化炭素ガス（ＣＯ）の場合について
説明する。
【００２９】まず、制御計算機４２は、キャリアガスで
あるＮ2 のイオンＮ2 + （ｍ／ｅ＝２８）およびクラス
タイオンＮ4 + （ｍ／ｅ＝５６）の検出レベルがほぼ等
しくなるように、ドリフト電圧としてＶＤ０を設定する
（本実施例の場合、ＶＤ０≒２６Ｖ）（ステップ６
１）。
あるＮ2 のイオンＮ2 + （ｍ／ｅ＝２８）およびクラス
タイオンＮ4 + （ｍ／ｅ＝５６）の検出レベルがほぼ等
しくなるように、ドリフト電圧としてＶＤ０を設定する
（本実施例の場合、ＶＤ０≒２６Ｖ）（ステップ６
１）。
【００３０】次に、キャリアガスのイオンと目的の試料
物質のイオンにおけるｍ／ｅが同じか否かを判定する
（ステップ６２）。本実施例の場合、試料物質のイオン
ＣＯ+のｍ／ｅ＝２８であり、Ｎ2 + のｍ／ｅと等しい
ので、そのままでは、ＣＯの分離定量ができない。
物質のイオンにおけるｍ／ｅが同じか否かを判定する
（ステップ６２）。本実施例の場合、試料物質のイオン
ＣＯ+のｍ／ｅ＝２８であり、Ｎ2 + のｍ／ｅと等しい
ので、そのままでは、ＣＯの分離定量ができない。
【００３１】そこで、本実施例の場合は、ドリフト電圧
を大きくして試料物質の衝突解離を促進し、ＣＯ分子を
原子レベルのＣとＯに解離させて分析できるように、最
適なドリフト電圧を以下のようにして求める。
を大きくして試料物質の衝突解離を促進し、ＣＯ分子を
原子レベルのＣとＯに解離させて分析できるように、最
適なドリフト電圧を以下のようにして求める。
【００３２】まず、ドリフト電圧を前記ＶＤ０の値から
徐々に上昇させつつ、試料物質であるＣＯを構成する炭
素イオンＣ+ （ｍ／ｅ＝１２）の検出レベルをサンプリ
ングして記録する（ステップ６３）。この時の記録結果
の一例が図２である。同図に例示されるように、従来の
ドリフト電圧である２６Ｖのままでは、ｍ／ｅが２８と
５６（キャリアガスＮ2 のクラスタイオンＮ4 + ）のも
のしか検出されず、ｍ／ｅが２８で等しいＮ2 + とＣＯ
+ は弁別できないが、ドリフト電圧の上昇によって、Ｎ
2 が解離して生じたＮ+ （ｍ／ｅ＝１４）およびＣＯが
解離して生じたＣ+ が検出され、このＣ+ の量からＣＯ
を定量にできることが知られる。
徐々に上昇させつつ、試料物質であるＣＯを構成する炭
素イオンＣ+ （ｍ／ｅ＝１２）の検出レベルをサンプリ
ングして記録する（ステップ６３）。この時の記録結果
の一例が図２である。同図に例示されるように、従来の
ドリフト電圧である２６Ｖのままでは、ｍ／ｅが２８と
５６（キャリアガスＮ2 のクラスタイオンＮ4 + ）のも
のしか検出されず、ｍ／ｅが２８で等しいＮ2 + とＣＯ
+ は弁別できないが、ドリフト電圧の上昇によって、Ｎ
2 が解離して生じたＮ+ （ｍ／ｅ＝１４）およびＣＯが
解離して生じたＣ+ が検出され、このＣ+ の量からＣＯ
を定量にできることが知られる。
【００３３】次に、目的の試料物質ＣＯ（Ｃ）の検出レ
ベルが最大または飽和となるドリフト電圧を前記記録結
果から求める（ステップ６４）。本実施例の場合には、
図２からドリフト電圧がほぼ８０Ｖ以上の領域で、Ｃ+
の検出レベルが飽和しているので、この値約８０Ｖが、
Ｎ2 中のＣＯの検出に最適のドリフト電圧であることが
知られる。
ベルが最大または飽和となるドリフト電圧を前記記録結
果から求める（ステップ６４）。本実施例の場合には、
図２からドリフト電圧がほぼ８０Ｖ以上の領域で、Ｃ+
の検出レベルが飽和しているので、この値約８０Ｖが、
Ｎ2 中のＣＯの検出に最適のドリフト電圧であることが
知られる。
【００３４】そして、実際の分析時のドリフト電圧ＶＤ
Ｘとして８０Ｖを設定する（ステップ６５）。
Ｘとして８０Ｖを設定する（ステップ６５）。
【００３５】次に、上述のようにして得られたドリフト
電圧ＶＤＸにより、ＣＯ濃度が既知のＮ2 ガスと、高純
度のＮ2 ガスを、マスフローコントローラ等によって精
密に所望の比率で混合した標準ガスを試料導入管１３に
流して、実際の分析操作に供される検量線を作成する。
電圧ＶＤＸにより、ＣＯ濃度が既知のＮ2 ガスと、高純
度のＮ2 ガスを、マスフローコントローラ等によって精
密に所望の比率で混合した標準ガスを試料導入管１３に
流して、実際の分析操作に供される検量線を作成する。
【００３６】まず、検量線の濃度範囲を設定する。本実
施例の場合、０ｐｐｂ〜５００ｐｐｂの範囲とする（ス
テップ７１）。
施例の場合、０ｐｐｂ〜５００ｐｐｂの範囲とする（ス
テップ７１）。
【００３７】次に、ドリフト電圧ＶＤＸの下で、下限濃
度値である０ｐｐｂから測定を開始し（ステップ７
２）、取得されたＣ+ イオンの検出データで検量線の演
算を行う（ステップ７３）。この演算では例えば最小二
乗法等を用いることができる。
度値である０ｐｐｂから測定を開始し（ステップ７
２）、取得されたＣ+ イオンの検出データで検量線の演
算を行う（ステップ７３）。この演算では例えば最小二
乗法等を用いることができる。
【００３８】この操作を、逐次ＣＯの濃度を増加させつ
つ、濃度上限の５００ｐｐｂまで繰り返す（ステップ７
４，ステップ７５）。
つ、濃度上限の５００ｐｐｂまで繰り返す（ステップ７
４，ステップ７５）。
【００３９】最後に、得られたＣ+ の検量線のデータを
出力する（ステップ７６）。
出力する（ステップ７６）。
【００４０】そして、未知の濃度のＣＯを含むＮ2 の分
析を行う場合には、ドリフト電圧ＤＶＸを８０Ｖに設定
し、ＣＯが衝突解離して発生したＣ+ を前述のＣ+ （ｍ
／ｅ＝１２）の検量線を用いて定量することにより、目
的のＣＯを精密に定量できる。
析を行う場合には、ドリフト電圧ＤＶＸを８０Ｖに設定
し、ＣＯが衝突解離して発生したＣ+ を前述のＣ+ （ｍ
／ｅ＝１２）の検量線を用いて定量することにより、目
的のＣＯを精密に定量できる。
【００４１】このように、本実施例の質量分析方法およ
び装置によれば、キャリアガスと試料物質、あるいは試
料物質同士で質量と電荷の比が等しい場合でも、目的の
試料物質が衝突解離する範囲に自動的にドリフト電圧を
設定して分析を行うので、たとえば、従来のようにマス
フィルタを多段にするなど、装置構成の複雑化、大型化
を招くことなく、また、目的の試料物質のイオンの損失
を大きくすることなく、簡単な構成で、精密な分析を行
うことができる。
び装置によれば、キャリアガスと試料物質、あるいは試
料物質同士で質量と電荷の比が等しい場合でも、目的の
試料物質が衝突解離する範囲に自動的にドリフト電圧を
設定して分析を行うので、たとえば、従来のようにマス
フィルタを多段にするなど、装置構成の複雑化、大型化
を招くことなく、また、目的の試料物質のイオンの損失
を大きくすることなく、簡単な構成で、精密な分析を行
うことができる。
【００４２】また、最適なドリフト電圧が自動的に決定
されるので、分析操作における省力化を実現できる。
されるので、分析操作における省力化を実現できる。
【００４３】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４４】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００４５】すなわち、本発明の質量分析方法によれ
ば、装置構成の複雑化、大型化を招くことなく、高精度
の質量分析を行うことができる、という効果が得られ
る。また、分析操作の省力化を実現することができる、
という効果が得られる。
ば、装置構成の複雑化、大型化を招くことなく、高精度
の質量分析を行うことができる、という効果が得られ
る。また、分析操作の省力化を実現することができる、
という効果が得られる。
【００４６】また、本発明の質量分析装置によれば、装
置構成の複雑化、大型化を招くことなく、高精度の質量
分析を行うことができる、という効果が得られる。ま
た、分析操作の省力化を実現することができる、という
効果が得られる。
置構成の複雑化、大型化を招くことなく、高精度の質量
分析を行うことができる、という効果が得られる。ま
た、分析操作の省力化を実現することができる、という
効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例である質量分析方法が実施さ
れる質量分析装置の構成の一例を示す概念図である。
れる質量分析装置の構成の一例を示す概念図である。
【図２】その作用の一例を示す線図である。
【図３】その作用の一例を示す線図である。
【図４】その作用の一例を示すフローチャートである。
【図５】その作用の一例を示すフローチャートである。
１０ イオン源 １１ 第１スリット １１ａ 開口部 １２ 針電極 １３ 試料導入管 ２０ 差動排気部 ２１ 第２スリット ２１ａ 開口部 ２２ イオンレンズ ２３ 排気管 ３０ 検出部 ３１ 四重極形マスフィルタ ３２ 第３スリット ３２ａ 開口部 ３３ ディフレクタ ３４ 反射板 ３５ 電子増倍管 ３６ 排気管 ４１ 増幅器 ４２ 制御計算機 ４３ データ出力装置 ５０ ドリフト電源 ５１ 直流電源 ５２ 電圧可変機構
Claims (4)
- 【請求項１】 キャリアガス中の試料物質をイオン化し
た後、質量分析部に導き、質量と電荷の比に基づいて試
料物質イオンを弁別して定量する分析方法であって、前
記質量分析部の前段において前記キャリアガスイオンお
よび前記試料物質イオンに印加されるドリフト電圧を制
御し、前記試料物質イオンおよび前記キャリアガスイオ
ンの少なくとも一方を衝突解離させ、前記キャリアガス
イオンおよび前記試料物質イオンの各々における質量と
電荷の比が異なる状態にして分析操作を行うことを特徴
とする質量分析方法。 - 【請求項２】 キャリアガス中の試料物質をイオン化す
るイオン源と、質量分析手段を備えた検出部と、前記イ
オン源から前記検出部に前記キャリアガスイオンおよび
前記試料物質イオンを導く差動排気部とを備えた分析装
置であって、前記差動排気部を通過する前記試料物質イ
オンに印加されるドリフト電圧を任意の値に制御するド
リフト電圧制御部と、このドリフト電圧制御部および前
記検出部を制御する主制御部とを設け、前記主制御部
は、種々の前記ドリフト電圧において前記検出部で得ら
れた目的の試料物質イオンの検出レベルを記録し、前記
試料物質イオンと前記キャリアガスイオンの各々におけ
る質量と電荷の比が異なる特定の前記ドリフト電圧の値
を自動的に算出および設定する動作を行うことを特徴と
する質量分析装置。 - 【請求項３】 前記主制御部は、特定の前記ドリフト電
圧の値に設定した状態で検量線の作成を自動的に行うこ
とを特徴とする請求項２記載の質量分析装置。 - 【請求項４】 前記質量分析手段は四重極形マスフィル
タからなり、前記イオン源は大気圧下で前記試料物質の
イオン化を行うことを特徴とする請求項２または３記載
の質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23215693A JPH0785835A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 質量分析方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23215693A JPH0785835A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 質量分析方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0785835A true JPH0785835A (ja) | 1995-03-31 |
Family
ID=16934877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23215693A Pending JPH0785835A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 質量分析方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785835A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1086974C (zh) * | 1996-09-24 | 2002-07-03 | 松下电器产业株式会社 | 控制电阻焊机焊接条件的方法及装置 |
-
1993
- 1993-09-20 JP JP23215693A patent/JPH0785835A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1086974C (zh) * | 1996-09-24 | 2002-07-03 | 松下电器产业株式会社 | 控制电阻焊机焊接条件的方法及装置 |
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