JPH0785354B2 - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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JPH0785354B2
JPH0785354B2 JP60097483A JP9748385A JPH0785354B2 JP H0785354 B2 JPH0785354 B2 JP H0785354B2 JP 60097483 A JP60097483 A JP 60097483A JP 9748385 A JP9748385 A JP 9748385A JP H0785354 B2 JPH0785354 B2 JP H0785354B2
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bit line
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sense amplifier
bit
semiconductor memory
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正昭 吉田
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は半導体メモリに関する。The present invention relates to a semiconductor memory.

(従来技術とその問題点) 半導体メモリは、これまで幾何学的寸法の縮小によって
大容量化、高性能化が達成されてきた。幾何学的寸法の
縮小を水平方向と垂直方向とに同一の割合で施すと、配
線抵抗が幾何学的寸法の縮小率の逆数に比例して増大
し、性能の劣化(遅延時間の増大)を招く。又、エレク
トロマイグレーションに関しても厳しくなり素子の信頼
性上問題となる。又、層間絶縁膜を薄くするとピンホー
ル等による配線間短絡の危険性が増大する。そこで、一
般には垂直方向は殆ど縮小せずに、水平方向のみを縮小
するという方式が採用されている。この方式でさらに縮
小を続けていき、配線断面の縦、横の寸法が同程度の大
きさになってくると、隣接配線間の相互容量が総配線容
量に占める割合が急激に大きくなってくる。すると、隣
接配線の電位変動が大きな影響を与えることになる。半
導体メモリの場合、この問題は特にビット線において顕
著になる。あるワード線が選択され、ビット線にメモリ
セルの情報が読み出された時に、隣接するビット線の電
位変化の影響を受けてビット線の信号量が低下し、動作
マージンの減少となるからである。これを防ぐ為には、
あるビット線に情報が読み出された時に、隣接するビッ
ト線の電位が変化しなければよい。つまり、1本置きの
ビット線が活性化される様にすれば良い。
(Prior Art and Problems Thereof) Semiconductor memories have achieved large capacity and high performance due to reduction of geometrical dimensions. If the geometrical dimension reduction is performed in the same ratio in the horizontal and vertical directions, the wiring resistance increases in proportion to the reciprocal of the geometrical dimension reduction rate, resulting in performance degradation (increase in delay time). Invite. In addition, electromigration becomes strict, which causes a problem in device reliability. Further, if the interlayer insulating film is thinned, the risk of short circuit between wirings due to pinholes or the like increases. Therefore, generally, a method is adopted in which the vertical direction is hardly reduced and only the horizontal direction is reduced. If the vertical and horizontal dimensions of the wiring cross section become the same size as this method continues to shrink further, the mutual capacitance between adjacent wirings will rapidly increase in the total wiring capacitance. . Then, the potential fluctuation of the adjacent wiring has a great influence. In the case of a semiconductor memory, this problem becomes particularly noticeable in the bit line. When a certain word line is selected and the information of the memory cell is read to the bit line, the signal amount of the bit line is reduced due to the influence of the potential change of the adjacent bit line, and the operation margin is reduced. is there. To prevent this,
It is sufficient that the potential of the adjacent bit line does not change when information is read out to a certain bit line. In other words, every other bit line may be activated.

従来、この様な観点からではなく、CB/CSを小さくする
という観点からビット線を分割した第2図の様な半導体
メモリが知られている(電子材料Vol.23,No.3,1981,P15
7)。この公知例においては2組のビット線対BL1とBL4
及びBL2とBL3をトランスファーゲートT1,T2,T3,T4を介
して共通のセンスアンプ2に接続し、ワード線WL1が選
択された時にはトランスファーゲートT1,T4が導通し、
ビット線対BL1,BL4がセンスアンプ2に接続され、ビッ
ト線対BL1,BL4の情報が増幅され、ワード線WL2が選択さ
れた時にはトランスファーゲートT2,T3が導通し、ビッ
ト線対BL2,BL3がセンスアンプ2に接続され、ビット線
対BL2,BL3の情報が増幅され、選択されなかったビット
線対はセンスアンプ2から切り離されている。
Conventionally, a semiconductor memory as shown in FIG. 2 in which the bit line is divided is known from the viewpoint of reducing C B / C S , not from such a viewpoint (Electronic Material Vol.23, No.3, 1981, P15
7). In this known example, two pairs of bit lines BL1 and BL4 are used.
And BL2 and BL3 are connected to a common sense amplifier 2 via transfer gates T1, T2, T3, T4, and when the word line WL1 is selected, the transfer gates T1, T4 are conductive,
The bit line pair BL1, BL4 is connected to the sense amplifier 2, the information of the bit line pair BL1, BL4 is amplified, and when the word line WL2 is selected, the transfer gates T2, T3 become conductive and the bit line pair BL2, BL3 becomes The information of the bit line pair BL2, BL3 connected to the sense amplifier 2 is amplified, and the unselected bit line pair is separated from the sense amplifier 2.

この公知例ではワード線が立ち上がる前にビット線プリ
チャージ信号φPがオフとなるので選択されなかったビ
ット線対は定電圧源VCCから切り離されフローティング
状態になる。従って公知例に於ては、ビット線を1本置
きに活性化していても、活性化されなかったビット線が
フローティング状態にあるから、シールド効果が少な
く、1本隔てたビット線の電位変化の影響を受けて、信
号電圧が減少するという問題点を有する。しかも公知例
に於てはI/OバスA,Bを片側に配置しているから、新たな
問題を生じる。例えばワード線WL1が選択されメモリセ
ル1に“1"が記憶されている場合を考える。センスアン
プ活性化信号φSEを低電位にすることによりセンスアン
プ2が動作するとビット線BL1は高電位のまま保たれ、
対となるビット線BL4は接地レベルとなる。ここでトラ
ンスファーゲートT2を開いてビット線BL2を経由してト
ランスファーゲートT5及びトランスファーゲートT6の制
御信号φIを高電位にしてI/OバスA,Bに情報を伝達す
る。従ってプリチャージレベルにあるビット線BL2は接
地レベルになるわけで、この電位変化の影響を高電位に
あるビット線BL1は受け、電位が低下してしまう。即
ち、隣接ビット線間の相互容量が大きな場合、この公知
のメモリでは誤動作となり、極めて重大な問題である。
In this known example, since the bit line precharge signal φ P is turned off before the word line rises, the unselected bit line pair is disconnected from the constant voltage source V CC and becomes a floating state. Therefore, in the known example, even if every other bit line is activated, the bit line that is not activated is in a floating state, so that the shield effect is small and the potential change of the bit lines separated by one line is suppressed. As a result, there is a problem that the signal voltage decreases. Moreover, since the I / O buses A and B are arranged on one side in the known example, a new problem occurs. For example, consider the case where the word line WL1 is selected and "1" is stored in the memory cell 1. When the sense amplifier 2 operates by setting the sense amplifier activation signal φ SE to a low potential, the bit line BL1 is kept at a high potential,
The paired bit line BL4 is at the ground level. Here, the transfer gate T2 is opened, and the control signal φ I of the transfer gate T5 and the transfer gate T6 is set to a high potential via the bit line BL2 to transfer information to the I / O buses A and B. Therefore, the bit line BL2 at the precharge level becomes the ground level, and the bit line BL1 at a high potential receives the influence of this potential change, and the potential drops. That is, when the mutual capacitance between adjacent bit lines is large, this known memory malfunctions, which is a very serious problem.

上述の様に公知の半導体メモリでは隣接ビット線間の相
互容量が相対的に大きくなったときに動作マージンが減
少し、情報の反転が生じるという問題を有している。
As described above, the known semiconductor memory has a problem that when the mutual capacitance between adjacent bit lines becomes relatively large, the operation margin decreases and the inversion of information occurs.

そこで、本発明の目的は、隣接ビット線間の相互容量が
ビット線の総配線容量に占める割合が大きくなった場合
にも、動作マージンが十分にあり、情報の反転のおそれ
の少ない半導体メモリを提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory that has a sufficient operation margin and is less likely to invert information even when the mutual capacitance between adjacent bit lines is large in the total wiring capacitance of the bit lines. To provide.

(問題点を解決するための手段) 前述の問題点を解決するために本題の第1の発明が提供
する手段は、第1のビット線対が第1のスイッチ回路を
介してセンスアンプに接続され、第2のビット線対が第
2のスイッチ回路を介して前記センスアンプに接続さ
れ、前記第1のビット線対に接続されたメモリセルが選
択された時には前記第1のスイッチ回路が開いて前記第
1のビット線対と前記センスアンプとを導通状態にし、
前記第2のビット線対に接続されたメモリセルが選択さ
れた時には前記第2のスイッチ回路が開いて前記第2の
ビット線対と前記センスアンプとを導通状態にする半導
体メモリであって、前記各ビット線対をなす2本のビッ
ト線は前記センスアンプを挾んで互いに反対側に配置し
てあり、前記第1のビット線対をプリチャージする第1
のプリチャージ信号の入力回路と前記第2のビット線対
をプリチャージする第2のプリチャージ信号の入力回路
とが備えてあり、選択されなかったメモリセルが接続さ
れた前記ビット線対は読み出し期間中プリチャージ状態
に保持されることを特徴とする。
(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned problems, the first invention of the present subject provides means for connecting a first bit line pair to a sense amplifier via a first switch circuit. The second bit line pair is connected to the sense amplifier via the second switch circuit, and the first switch circuit is opened when the memory cell connected to the first bit line pair is selected. To bring the first bit line pair and the sense amplifier into a conductive state,
A semiconductor memory in which the second switch circuit is opened to bring the second bit line pair and the sense amplifier into a conductive state when a memory cell connected to the second bit line pair is selected, The two bit lines forming each bit line pair are arranged on opposite sides of the sense amplifier, and the first bit line pair precharges the first bit line pair.
A precharge signal input circuit and a second precharge signal input circuit for precharging the second bit line pair are provided, and the bit line pair to which unselected memory cells are connected is read. It is characterized in that it is held in a precharged state during the period.

(作用) 本発明は前述の手段により、公知技術の問題点を改善し
た。
(Operation) The present invention has solved the problems of the known art by the means described above.

つまり、本発明は、隣接するビット線の電位を固定し
て、隣接ビット線間容量の影響をなくすというアイデア
に基づいている。即ち、1本おきのビット線を活性化す
る分割ビット線方式で、隣接するビット線を別々にプリ
チャージ出来る様にし、また全てのビット線をI/Oバス
に接続出来る様にすることにより、選択されなかったビ
ット線の電位を読み出し期間中プリチャージレベルに保
持し、シールド線としての効果を持たせたのである。
That is, the present invention is based on the idea of fixing the potentials of adjacent bit lines to eliminate the influence of the capacitance between adjacent bit lines. In other words, by using the divided bit line method that activates every other bit line, it is possible to precharge adjacent bit lines separately and connect all bit lines to the I / O bus. The potential of the unselected bit line is held at the precharge level during the read period, and the effect as a shield line is provided.

(実施例) 以下、本願発明の実施例を図面を参照して説明する。(Example) Hereinafter, the Example of this invention is described with reference to drawings.

第1図は、本発明の典型的な一実施例の構成を示す図で
ある。なお、本実施例ではダミーセルは省略している
が、ダミーセルは、メモリセルからの情報を読み出した
ビット線に付加したものでもよいし、従来広く用いられ
ている情報を読み出したビット線と対になるビット線に
付加したものでも良い。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a typical embodiment of the present invention. Although the dummy cell is omitted in this embodiment, the dummy cell may be added to the bit line from which the information from the memory cell is read, or may be paired with the bit line from which information has been widely used in the past. It may be added to the bit line.

第1図において、ワード線WL1が選択された場合を考え
てみよう。まず、ワード線WL1が高電位になる前に、ビ
ット線BL1及びビット線BL4を定電圧源VCCに接続するプ
リチャージ信号φP1を低電位とし、ビット線BL1及びビ
ット線BL4を定電圧源VCCから切り離す。一方、ビット線
BL2及びビット線BL3のプリチャージ信号φP2は高電位の
ままでビット線BL2及びビット線BL3はプリチャージ状態
に保持される。また、ビット線BL1をセンスアンプ2に
接続するトランスファーゲートT1及びビット線BL4をセ
ンスアンプ2に接続するトランスファーゲートT4の制御
信号φT1は高電位となり、ビット線BL1及びビット線BL4
をセンスアンプ2に接続する。ビット線BL2をセンスア
ンプ2に接続するトランスファーゲートT2及びビット線
BL3をセンスアンプに接続するトランスファーゲートT3
の制御信号φT2は低電位でビット線BL2及びビット線BL3
はセンスアンプ2から切り離された状態になる。この状
態でワード線WL1が高電位となりメモリセル1の情報が
ビット線BL1に読み出される。この時、前述の様にビッ
ト線BL2は定電位に固定されており、電位変化はない。
Consider the case where word line WL1 is selected in FIG. First, before the word line WL1 becomes high potential, the precharge signal φ P1 connecting the bit line BL1 and bit line BL4 to the constant voltage source V CC is made low potential, and the bit line BL1 and bit line BL4 are made constant voltage source. Disconnect from V CC . Meanwhile, the bit line
The precharge signal φ P2 of BL2 and the bit line BL3 remains at the high potential, and the bit lines BL2 and BL3 are held in the precharged state. Further, the control signal φ T1 of the transfer gate T1 that connects the bit line BL1 to the sense amplifier 2 and the transfer gate T4 that connects the bit line BL4 to the sense amplifier 2 becomes high potential, and the bit line BL1 and the bit line BL4.
Is connected to the sense amplifier 2. Transfer gate T2 and bit line connecting bit line BL2 to sense amplifier 2
Transfer gate T3 connecting BL3 to the sense amplifier
The control signal φ T2 of the bit line BL2 and the bit line BL3
Is separated from the sense amplifier 2. In this state, the word line WL1 has a high potential, and the information in the memory cell 1 is read to the bit line BL1. At this time, as described above, the bit line BL2 is fixed at a constant potential and the potential does not change.

第1図ではセンスアンプ1つ分を示しているが、実際に
は多数のセンスアンプが並んでおり、第1図と同じ様に
ビット線を配置すれば、活性化されているビット線の両
隣りには必ず定電位に固定されたビット線が存在し、こ
の定電位のビット線がシールド線の役目を果し、活性化
されているビット線相互の容量カップリングは無視し得
る。即ち、メモリセルからの情報読み出し時における隣
接配線間の相互容量による信号電圧の損失は大幅に軽減
される。
Although FIG. 1 shows one sense amplifier, a large number of sense amplifiers are actually arranged, and if the bit lines are arranged in the same manner as in FIG. 1, both of the activated bit lines are shown. There is always a bit line fixed to a constant potential next to it, and this constant potential bit line serves as a shield line, and the capacitive coupling between the activated bit lines can be ignored. That is, the loss of the signal voltage due to the mutual capacitance between the adjacent wirings at the time of reading information from the memory cell is significantly reduced.

又、本実施例においては、センスアンプ2でビット線BL
1及びビット線BL4の信号を増幅した後、トランスファー
ゲートT5及びトランスファーゲートT8の制御信号φI1
高電位にすることによりI/OバスA及びI/OバスBにビッ
ト線BL1及びビット線BL4の情報をそれぞれ出力する。し
たがって第2図に示した公知例の様に活性化されなかっ
たビット線を使用して出力しないので、出力時の容量カ
ップリングの影響も受けない。ワード線WL2が選択され
た時にはビット線BL2及びビット線BL3が活性化され、ビ
ット線BL1及びビット線BL4はプリチャージ状態のままと
なり前述と同様の動作となる。
In addition, in the present embodiment, the sense amplifier 2 serves as the bit line BL.
After amplifying the signals of 1 and the bit line BL4, the control signals φ I1 of the transfer gate T5 and the transfer gate T8 are set to a high potential, so that the I / O bus A and the I / O bus B are connected to the bit line BL1 and the bit line BL4. The information of each is output. Therefore, unlike the known example shown in FIG. 2, since the bit line which is not activated is not used for output, there is no influence of capacitive coupling at the time of output. When the word line WL2 is selected, the bit line BL2 and the bit line BL3 are activated, the bit line BL1 and the bit line BL4 remain in the precharged state, and the same operation as described above is performed.

(発明の効果) 以上述べた様に、本発明によれば、隣接ビット線間の相
互容量が大きい場合でも、ビット線の信号データの損失
が少なく、従って動作マージンが十分にあり情報の反転
のおそれの少ない半導体メモリが得られる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, even when the mutual capacitance between adjacent bit lines is large, the loss of signal data of the bit lines is small, and therefore the operation margin is sufficient and the inversion of information can be performed. A semiconductor memory with less fear can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の典型的な一実施例の構成を示す図、第
2図は公知の半導体メモリの構成を示す図である。 WL1,WL2,WL3,WL4……ワード線、BL1,BL2,BL3,BL4……ビ
ット線、T1,T2、T3,T4,T5,T6,T7,T8……トランスファー
ゲート、φT1,φT2,φI,φI1,φI2……制御信号、
φP,φP1、φP2……プリチャージ信号、φSE……セン
スアンプ活性化信号、A,B……I/Oバス、VCC……定電圧
源、1……メモリセル、2……センスアンプ。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a typical embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing the configuration of a known semiconductor memory. WL1, WL2, WL3, WL4 …… Word line, BL1, BL2, BL3, BL4 …… Bit line, T1, T2, T3, T4, T5, T6, T7, T8 …… Transfer gate, φ T1 , φ T2 , φ I , φ I1 , φ I2 ...... Control signal,
φ P , φ P1 , φ P2 …… Precharge signal, φ SE …… Sense amplifier activation signal, A, B …… I / O bus, V CC …… Constant voltage source, 1 …… Memory cell, 2… ... sense amplifier.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】第1のビット線対が第1のスイッチ回路を
介してセンスアンプに接続され、第2のビット線対が第
2のスイッチ回路を介して前記センスアンプに接続さ
れ、前記第1のビット線対に接続されたメモリセルが選
択された時には前記第1のスイッチ回路が開いて前記第
1のビット線対と前記センスアンプとを導通状態にし、
前記第2のビット線対に接続されたメモリセルが選択さ
れた時には前記第2のスイッチ回路が開いて前記第2の
ビット線対と前記センスアンプとを導通状態にする半導
体メモリにおいて、前記各ビット線対をなす2本のビッ
ト線は前記センスアンプを挾んで互いに反対側に配置し
てあり、前記第1のビット線対をプリチャージする第1
のプリチャージ信号の入力回路と前記第2のビット線対
をプリチャージする第2のプリチャージ信号の入力回路
とが備えてあり、選択されなかったメモリセルが接続さ
れた前記ビット線対は読み出し期間中プリチャージ状態
に保持されることを特徴とする半導体メモリ。
1. A first bit line pair is connected to a sense amplifier via a first switch circuit, and a second bit line pair is connected to the sense amplifier via a second switch circuit. When a memory cell connected to one bit line pair is selected, the first switch circuit is opened to bring the first bit line pair and the sense amplifier into a conductive state,
In the semiconductor memory, when the memory cell connected to the second bit line pair is selected, the second switch circuit opens to bring the second bit line pair and the sense amplifier into a conductive state. Two bit lines forming a bit line pair are arranged on opposite sides of the sense amplifier, and the first bit line pair precharges the first bit line pair.
A precharge signal input circuit and a second precharge signal input circuit for precharging the second bit line pair are provided, and the bit line pair to which unselected memory cells are connected is read. A semiconductor memory, which is held in a precharged state for a period.
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JPS61255591A JPS61255591A (en) 1986-11-13
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