JPH0783777A - Differential pressure measuring device - Google Patents
Differential pressure measuring deviceInfo
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- JPH0783777A JPH0783777A JP22569893A JP22569893A JPH0783777A JP H0783777 A JPH0783777 A JP H0783777A JP 22569893 A JP22569893 A JP 22569893A JP 22569893 A JP22569893 A JP 22569893A JP H0783777 A JPH0783777 A JP H0783777A
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- seal diaphragm
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、測定ラインから差圧測
定装置を取外す事無く、シールダイアフラムの漏洩を自
己診断出来る差圧測定装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a differential pressure measuring device capable of self-diagnosing leakage of a seal diaphragm without removing the differential pressure measuring device from a measuring line.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５は従来より一般に使用されている従
来例の構成説明図で、例えば、特開昭５９―５６１３７
号の第１図に示されている。図において、ハウジング１
の両側にフランジ２、フランジ３が嵌合い組み立てられ
溶接等によって固定されており、両フランジ２，３には
測定せんとする圧力ＰHの高圧流体の導入口５、圧力ＰL
の低圧流体の導入口４が設けられている。2. Description of the Related Art FIG. 5 is an explanatory view of the configuration of a conventional example which has been generally used, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 59-56137.
It is shown in FIG. In the figure, the housing 1
Flanges 2 and 3 are fitted and assembled on both sides of and are fixed by welding or the like. Both flanges 2 and 3 are provided with a high-pressure fluid inlet 5 of pressure P H to be measured and pressure P L.
The low-pressure fluid inlet 4 is provided.
【０００３】ハウジング１内に圧力測定室６が形成され
ており、この圧力測定室６内にセンタダイアフラム７と
シリコンダイアフラム８が設けられている。シリコンダ
イアフラム８は、単結晶のシリコン基板８１に凹部８２
を形成して形成される。A pressure measuring chamber 6 is formed in the housing 1, and a center diaphragm 7 and a silicon diaphragm 8 are provided in the pressure measuring chamber 6. The silicon diaphragm 8 has a recess 82 in a single crystal silicon substrate 81.
Is formed.
【０００４】センタダイアフラム７とシリコンダイアフ
ラム８はそれぞれ別個に圧力測定室６の壁に固定されて
おり、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８
の両者でもって圧力測定室６を２分している。センタダ
イアフラム７と対向する圧力測定室６の壁には、バック
プレ―ト６Ａ，６Ｂが形成されている。センタダイアフ
ラム７は周縁部をハウジング１に溶接されている。The center diaphragm 7 and the silicon diaphragm 8 are separately fixed to the wall of the pressure measuring chamber 6, and the center diaphragm 7 and the silicon diaphragm 8 are separately fixed.
The pressure measuring chamber 6 is divided into two parts by both. Back plates 6A and 6B are formed on the wall of the pressure measuring chamber 6 facing the center diaphragm 7. The center diaphragm 7 has a peripheral edge portion welded to the housing 1.
【０００５】シリコン基板８１の一方の面にボロン等の
不純物を選択拡散して４っのストレンゲ―ジ９１を形成
する。４っのストレインゲ―ジ９１は、シリコンダイア
フラム８が差圧ΔＰを受けてたわむ時、２つが引張り、
２つが圧縮を受けるようになっており、これらがホイ―
トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧Δ
Ｐの変化として検出される。Impurities such as boron are selectively diffused on one surface of the silicon substrate 81 to form four strain gauges 91. The four strain gages 91 are pulled when the silicon diaphragm 8 bends under the pressure difference ΔP,
Two are to be compressed and these are
Connected to Toston bridge circuit, resistance change is differential pressure Δ
It is detected as a change in P.
【０００６】９２は、ストレインゲ―ジ９１に一端が取
付けられたリ―ドである。９３は、リ―ド９２の他端が
接続されたハ―メチック端子である。９４は、ストレイ
ンゲ―ジ９１の近くに設けられた温度センサである（図
示せず）。支持体９は、ハ―メチック端子を備えてお
り、支持体９の圧力測定室６側端面に低融点ガラス接続
等の方法でシリコンダイアフラム８が接着固定されてい
る。Reference numeral 92 is a lead whose one end is attached to the strain gauge 91. 93 is a hermetic terminal to which the other end of the lead 92 is connected. A temperature sensor 94 is provided near the strain gauge 91 (not shown). The support 9 is provided with a hermetic terminal, and the silicon diaphragm 8 is adhesively fixed to the end surface of the support 9 on the pressure measurement chamber 6 side by a method such as low-melting glass connection.
【０００７】ハウジング１とフランジ２、およびフラン
ジ３との間に、圧力導入室１０，１１が形成されてい
る。この圧力導入室１０，１１内に第１，第２シールダ
イアフラム１３，１２を設け、このシールダイアフラム
１２，１３と対向するハウジング１の壁１０Ａ，１１Ａ
にシールダイアフラム１２，１３と類似の形状のバック
プレ―トが形成されている。Pressure introducing chambers 10 and 11 are formed between the housing 1 and the flange 2 and the flange 3. First and second seal diaphragms 13 and 12 are provided in the pressure introducing chambers 10 and 11, and walls 10A and 11A of the housing 1 facing the seal diaphragms 12 and 13 are provided.
A back plate having a shape similar to that of the seal diaphragms 12 and 13 is formed on the.
【０００８】シールダイアフラム１２，１３とバックプ
レ―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される空間と、圧力測定
室６は、連通孔１４，１５を介して導通している。そし
て、シールダイアフラム１２，１３間にシリコンオイル
等の封入液１０１，１０２が満たされ、この封入液が連
通孔１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下
面にまで至っている、封入液１０１，１０２はセンタダ
イアフラム７とシリコンダイアフラム８とによって２分
されているが、その量が、ほぼ均等になるように配慮さ
れている。The space formed by the seal diaphragms 12 and 13 and the back plates 10A and 11A and the pressure measuring chamber 6 are in communication with each other through communication holes 14 and 15. Filling liquids 101 and 102 such as silicon oil are filled between the seal diaphragms 12 and 13, and the filling liquids reach the upper and lower surfaces of the silicon diaphragm 8 through the communication holes 16 and 17. It is divided into two by the center diaphragm 7 and the silicon diaphragm 8, and it is taken into consideration that the amounts are almost equal.
【０００９】以上の構成において、高圧側から圧力が作
用した場合、シールダイアフラム１３に作用する圧力が
封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達さ
れる。一方、低圧側から圧力が作用した場合、シールダ
イアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。In the above structure, when pressure is applied from the high pressure side, the pressure acting on the seal diaphragm 13 is transmitted to the silicon diaphragm 8 by the enclosed liquid 102. On the other hand, when pressure acts from the low pressure side, the pressure acting on the seal diaphragm 12 is transmitted to the silicon diaphragm 8 by the enclosed liquid 101.
【００１０】この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応
じてシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がスト
レインゲ―ジ９１に因って電気的に取出され、差圧の測
定が行なわれる。As a result, the silicon diaphragm 8 is distorted according to the pressure difference between the high pressure side and the low pressure side, and the strain amount is electrically taken out by the strain gauge 91, and the differential pressure is measured. .
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、何らかの原因で、シールダイアフラ
ム１２，１３から封入液１０１，１０２が漏洩しだした
場合、漏れは、僅かづつ、しかも徐々に漏れるので、出
力がはっきりと異常になり、故障となるまで発見できな
かった。However, in such a device, when the sealed liquids 101 and 102 start to leak from the seal diaphragms 12 and 13 for some reason, the leaks are small and gradually leak. Therefore, the output was clearly abnormal and could not be detected until it became a failure.
【００１２】例えば、シールダイアフラム１２，１３が
ハウジング１にくっついてしまい、入力が加わっても、
出力が変わらなくなるとかで、初めて発見される。ある
いは、入力テストをして、入力異常から、故障個所を調
べて初めて発見される。For example, even if the seal diaphragms 12 and 13 are stuck to the housing 1 and an input is applied,
It is discovered for the first time when the output does not change. Alternatively, it is not discovered until an input test is performed and the faulty part is examined from the input abnormality.
【００１３】加えるに、シールダイアフラム１２，１３
に、封入液１０１，１０２の漏れが生じた場合には、差
圧測定装置そのものの特性に直接影響があり、プロセス
の自動制御に支障をきたすことになる。In addition, the sealing diaphragms 12, 13
In addition, when the leakage of the filled liquids 101 and 102 occurs, the characteristics of the differential pressure measuring device itself are directly affected, and the automatic control of the process is hindered.
【００１４】本発明は、この問題点を、解決するもので
ある。本発明の目的は、測定ラインから差圧測定装置を
取外す事無く、シールダイアフラムの漏洩を自己診断出
来る差圧測定装置を提供するにある。The present invention solves this problem. An object of the present invention is to provide a differential pressure measuring device capable of self-diagnosing leakage of a seal diaphragm without removing the differential pressure measuring device from a measurement line.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）差圧センサと、温度センサと、高圧側と低圧側と
のシールダイアフラムにより２個の封入液室が形成され
る差圧測定装置において、前記それぞれのシールダイア
フラムに設けられた歪検出素子と、前記差圧センサ出力
と温度センサ出力と前記歪検出素子出力との関係をメモ
リーするメモリー手段と、自己診断時の差圧センサ出力
値と温度センサ出力値とから該メモリー手段にメモリー
されている該当歪検出素子出力値を呼び出し前記自己診
断時の実際の前記歪検出素子出力値と比較してその差が
所定値を越えた場合に前記シールダイアフラムが漏洩し
ていると判断するＣＰＵとを具備したことを特徴とする
差圧測定装置。 （２）ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた第１，
第２シールダイアフラムと、該第１，第２シールダイア
フラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検出素子
とを具備する差圧測定装置において、前記第１シールダ
イアフラムを覆って設けられ該第１シールダイアフラム
と第３シールダイアフラム室を構成する第３シールダイ
アフラムと、前記第２ールダイアフラムを覆って設けら
れ該第２シールダイアフラムと第４シールダイアフラム
室を構成する第４シールダイアフラムとを具備したこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の差圧測定装置
を構成したものである。In order to achieve this object, the present invention provides (1) two sealed liquid chambers with a differential pressure sensor, a temperature sensor, and a high-pressure side and a low-pressure side sealing diaphragm. In the formed differential pressure measuring device, a strain detecting element provided on each of the seal diaphragms, a memory means for storing the relationship between the differential pressure sensor output, the temperature sensor output, and the strain detecting element output, and self-diagnosis. From the differential pressure sensor output value and the temperature sensor output value at the time, the corresponding strain detection element output value stored in the memory means is called and the difference is compared with the actual strain detection element output value at the time of the self-diagnosis. A differential pressure measuring device comprising: a CPU that determines that the seal diaphragm is leaking when a predetermined value is exceeded. (2) First and first provided on both sides of the housing
In a differential pressure measuring device comprising a second seal diaphragm and a detection element for detecting a differential pressure applied to the first and second seal diaphragms via an enclosed liquid, the differential pressure measuring device is provided to cover the first seal diaphragm. A first seal diaphragm and a third seal diaphragm forming a third seal diaphragm chamber; and a second seal diaphragm covering the second seal diaphragm and a fourth seal diaphragm forming a fourth seal diaphragm chamber. The differential pressure measuring device according to claim 1 is configured.
【００１６】[0016]
【作用】以上の構成において、高圧側から圧力が作用し
た場合、シールダイアフラムに作用する圧力が封入液に
よってシリコンダイアフラムに伝達される。一方、低圧
側から圧力が作用した場合、シールダイアフラムに作用
する圧力が封入液によってシリコンダイアフラムに伝達
される。In the above construction, when pressure is applied from the high pressure side, the pressure acting on the seal diaphragm is transmitted to the silicon diaphragm by the enclosed liquid. On the other hand, when pressure acts from the low pressure side, the pressure acting on the seal diaphragm is transmitted to the silicon diaphragm by the enclosed liquid.
【００１７】従って、高圧側と低圧側との圧力差に応じ
てシリコンダイアフラムが歪み、この歪み量がストレイ
ンゲ―ジに因って電気的に取出され、差圧の測定が行な
われる。Therefore, the silicon diaphragm is distorted according to the pressure difference between the high pressure side and the low pressure side, and the strain amount is electrically taken out by the strain gauge, and the differential pressure is measured.
【００１８】次に、自己診断時においては、ＣＰＵにお
いて、自己診断時の差圧センサ出力値と温度センサ出力
値とから、メモリー手段にメモリーされている該当歪検
出素子出力値を呼び出し、自己診断時の実際の歪検出素
子出力値と比較して、その差が所定値を越えた場合にシ
ールダイアフラムが漏洩していると判断する。以下、実
施例に基づき詳細に説明する。Next, at the time of self-diagnosis, the CPU calls the output value of the corresponding strain detection element stored in the memory means from the output value of the differential pressure sensor and the output value of the temperature sensor at the time of self-diagnosis to perform self-diagnosis. When compared with the actual output value of the strain detection element at that time, if the difference exceeds a predetermined value, it is determined that the seal diaphragm is leaking. Hereinafter, detailed description will be given based on examples.
【００１９】[0019]
【実施例】図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で
ある。図において、図５と同一記号の構成は同一機能を
表わす。以下、図５と相違部分のみ説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is an explanatory view of the essential structure of an embodiment of the present invention. In the figure, the same symbols as those in FIG. 5 represent the same functions. Only parts different from FIG. 5 will be described below.
【００２０】２１は、それぞれのシールダイアフラム１
２，１３に設けられた歪検出素子である。歪み検出素子
２１は、図２に示す如く、以下の如くして形成する。 （１）スパッタリングでシールダイアフラム１２，１３
の表面に絶縁膜としての酸化シリコン膜２２を形成す
る。Reference numeral 21 denotes each seal diaphragm 1
2 and 13 are strain detecting elements. The strain detection element 21 is formed as follows, as shown in FIG. (1) Sealing diaphragms 12, 13 by sputtering
A silicon oxide film 22 as an insulating film is formed on the surface of the.
【００２１】（２）スパッタリングで酸化シリコン膜２
２の表面に歪み検出素子２１としてのクロム膜を形成す
る。 （３）金蒸着によりリード線用の端子２３を形成する。 ３１は、図３に示す如く、差圧センサ出力と温度センサ
出力と歪検出素子２１出力との関係をメモリーするメモ
リー手段である。(2) Silicon oxide film 2 formed by sputtering
A chromium film as the strain detecting element 21 is formed on the surface of 2. (3) The lead wire terminal 23 is formed by gold vapor deposition. As shown in FIG. 3, reference numeral 31 is a memory means for storing the relationship among the differential pressure sensor output, the temperature sensor output, and the strain detection element 21 output.
【００２２】３２は、図３に示す如く、自己診断時の差
圧センサ出力値と温度センサ出力値とから、メモリー手
段３１にメモリーされている該当歪検出素子出力値を呼
び出し、自己診断時の実際の歪検出素子出力値と比較し
て、その差が所定値を越えた場合に、シールダイアフラ
ム１２（１３）が漏洩していると判断するＣＰＵであ
る。As shown in FIG. 3, the reference numeral 32 calls the output value of the corresponding strain sensing element stored in the memory means 31 from the output value of the differential pressure sensor and the output value of the temperature sensor at the time of self-diagnosis, and the self-diagnosis time This is a CPU that determines that the seal diaphragm 12 (13) is leaking when the difference between the actual strain detection element output value and a predetermined value exceeds a predetermined value.
【００２３】なお、メモリー手段３１とＣＰＵ３２は、
この場合は、変換部ケース内のアンプに収納されてい
る。（図示せず）The memory means 31 and the CPU 32 are
In this case, it is stored in the amplifier in the converter case. (Not shown)
【００２４】以上の構成において、高圧側から圧力が作
用した場合、シールダイアフラム１３に作用する圧力が
封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達さ
れる。In the above structure, when pressure is applied from the high pressure side, the pressure acting on the seal diaphragm 13 is transmitted to the silicon diaphragm 8 by the enclosed liquid 102.
【００２５】一方、低圧側から圧力が作用した場合、シ
ールダイアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１に
よってシリコンダイアフラム８に伝達される。従って、
高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラ
ム８が歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ９１に因っ
て電気的に取出され、差圧の測定が行なわれる。On the other hand, when the pressure acts from the low pressure side, the pressure acting on the seal diaphragm 12 is transmitted to the silicon diaphragm 8 by the enclosed liquid 101. Therefore,
The silicon diaphragm 8 is distorted according to the pressure difference between the high pressure side and the low pressure side, and the strain amount is electrically taken out by the strain gauge 91, and the differential pressure is measured.
【００２６】次に、自己診断時においては、ＣＰＵ３２
において、自己診断時の差圧センサ出力値と温度センサ
出力値とから、メモリー手段３１にメモリーされている
該当歪検出素子出力値を呼び出し、自己診断時の実際の
歪検出素子出力値と比較して、その差が所定値を越えた
場合にシールダイアフラムが漏洩していると判断する。Next, at the time of self-diagnosis, the CPU 32
In the above, from the differential pressure sensor output value and the temperature sensor output value at the time of self-diagnosis, the corresponding strain detection element output value stored in the memory means 31 is called and compared with the actual strain detection element output value at the time of self-diagnosis. If the difference exceeds a predetermined value, it is determined that the seal diaphragm is leaking.
【００２７】以下、具体的な自己診断動作に就いて説明
する。 （１）校正時 差圧測定装置の測定特性の校正方法は、数カ所の温度に
おける入出力特性を測定し、そのデータをもとに、コン
ピュータ処理を行い、差圧測定装置の出力値ｍはThe specific self-diagnosis operation will be described below. (1) At the time of calibration The method for calibrating the measurement characteristics of the differential pressure measuring device is to measure the input / output characteristics at several temperatures and perform computer processing based on the data to determine the output value m of the differential pressure measuring device.
【００２８】ｍ＝ｆ（Ｒ，Ｔ） Ｒ ：ストレインゲージ９１の出力 Ｔ ：温度センサ９４の出力 となる関数ｍを求める。M = f (R, T) R: output of strain gauge 91 T: function m which becomes the output of the temperature sensor 94 is obtained.
【００２９】一方、この校正時と同時に、歪み検出素子
２１の出力を測定し、 高圧側歪み検出素子２１の出力値ＲHは ＲH＝ｆgH（Ｒ，Ｔ） 低圧側歪み検出素子２１の出力値ＲLは ＲL＝ｆgL（Ｒ，Ｔ） となる関数ＲH、ＲLを求めておく。At the same time as this calibration, the output of the strain detecting element 21 is measured, and the output value R H of the high voltage side strain detecting element 21 is RH = f gH (R, T) For the output value RL, the functions RH and RL for which RL = fgL (R, T) are obtained.
【００３０】（２）自己診断時 差圧が印加され、Ｒ´，Ｔ´の値のとき、ｍ＝ｆ（Ｒ
´，Ｔ´）が演算されて測定差圧が測定される。同時
に、ＲH＝ｆgH（Ｒ´，Ｔ´）、ＲL＝ｆgL（Ｒ´，Ｔ
´）をメモリー手段３１で演算し、自己診断時の実際の
歪み検出素子２１の出力値ＲH´、ＲL´とＣＰＵ３２で
比較する。(2) During self-diagnosis When differential pressure is applied and the values of R'and T'are, m = f (R
′, T ′) is calculated and the measured differential pressure is measured. At the same time, R H = f gH (R ′, T ′), R L = f gL (R ′, T)
′) Is calculated by the memory means 31, and the actual output values R H ′, R L ′ of the strain detection element 21 at the time of self-diagnosis are compared with the CPU 32.
【００３１】ＲH´−ｆgH（Ｒ´，Ｔ´）又はＲL´−ｆ
gL（Ｒ´，Ｔ´）の差が、設定した許容範囲をオーバー
した場合には、シールダイアフラム１２又は１３に異常
が発生し、正常な動作をしていないとＣＰＵ３２で判断
する。この場合は、アラーム信号を発する。[0031] R H '-f gH (R' , T') or R L'-f
When the difference between gL (R ', T') exceeds the set allowable range, the CPU 32 determines that the seal diaphragm 12 or 13 is abnormal and does not operate normally. In this case, an alarm signal is emitted.
【００３２】シールダイアフラム１２，１３が完全に腐
食され、孔があいた場合には、ストレインゲージ９１に
差圧は伝達されるものの、シールダイアフラム１２，１
３は変形しなくなり、歪み検出素子２１の出力ＲH´、
ＲL´は≒０になる。When the seal diaphragms 12 and 13 are completely corroded and have holes, the differential pressure is transmitted to the strain gauge 91, but the seal diaphragms 12 and 1 are transmitted.
3 does not deform, and the output R H ′ of the strain detection element 21
R L ′ becomes ≈0.
【００３３】この結果、封入液１０１，１０２の漏洩が
僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動作する事に基
づき、装置が完全にダウンして初めて、封入液１０１，
１０２の漏洩に気付く様な恐れがなく、封入液１０１，
１０２の漏洩を容易に早期に検知することができる。ま
た、装置のダウンする前にダウンの予知診断ができる。As a result, even if there is a slight leakage of the sealed liquids 101 and 102, the differential pressure measuring device of the present invention operates, so that the sealed liquids 101 and 102 can be operated only when the device is completely down.
There is no fear that the leak of 102 will be noticed,
The leakage of 102 can be detected easily and early. In addition, predictive diagnosis of down can be performed before the device goes down.
【００３４】更に、測定流体の流れを止めることなく、
自己診断が可能であるので、プロセスの流れを乱すこと
がない差圧測定装置が得られる。図４は本発明の他の実
施例の要部構成説明図である。図において、図５と同一
記号の構成は同一機能を表わす。以下、図５と相違部分
のみ説明する。Furthermore, without stopping the flow of the measuring fluid,
Since self-diagnosis is possible, a differential pressure measuring device that does not disturb the process flow can be obtained. FIG. 4 is an explanatory view of the main configuration of another embodiment of the present invention. In the figure, the same symbols as those in FIG. 5 represent the same functions. Only parts different from FIG. 5 will be described below.
【００３５】４１は、第１シールダイアフラム１３を覆
って設けられ、第１シールダイアフラム１３と第３シー
ルダイアフラム室４２を構成する第３シールダイアフラ
ムである。４３は、第２シールダイアフラム１２を覆っ
て設けられ、第２シールダイアフラム１２と第４シール
ダイアフラム室４４を構成する第４シールダイアフラム
である。Reference numeral 41 is a third seal diaphragm which is provided to cover the first seal diaphragm 13 and constitutes the first seal diaphragm 13 and the third seal diaphragm chamber 42. Reference numeral 43 is a fourth seal diaphragm which is provided to cover the second seal diaphragm 12 and constitutes the second seal diaphragm 12 and the fourth seal diaphragm chamber 44.
【００３６】４５は、第１シールダイアフラム１３と第
３シールダイアフラム３１との間に設けられたボディで
ある。４６は、第２シールダイアフラム１２と第４シー
ルダイアフラム３３との間に設けられたボディである。
１０３は、第３シールダイアフラム室４２に満たされた
封入液である。１０４は、第４シールダイアフラム室４
４に満たされた封入液である。Reference numeral 45 is a body provided between the first seal diaphragm 13 and the third seal diaphragm 31. 46 is a body provided between the second seal diaphragm 12 and the fourth seal diaphragm 33.
103 is a fill liquid filled in the third seal diaphragm chamber 42. 104 is the fourth seal diaphragm chamber 4
Filled liquid filled with 4.
【００３７】本実施例においては、封入液１０３，１０
４の漏洩が僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動作
する事に基づく、装置が完全にダウンして初めて、封入
液１０３，１０４の漏洩に気付く様な恐れがなく、封入
液１０３，１０４の漏洩を容易に早期に検知することが
できる。また、装置のダウンする前にダウンの予知診断
ができる。In this embodiment, the fill liquid 103, 10
Even if there is a slight leak of No. 4, the differential pressure measuring device of the present invention operates, and there is no fear that the leak of the filled liquids 103 and 104 will be noticed until the device is completely down. , 104 can be easily and early detected. In addition, predictive diagnosis of down can be performed before the device goes down.
【００３８】加えるに、第１シールダイアフラム１３を
覆って設けられ、第１シールダイアフラム１３と第３シ
ールダイアフラム室３２を構成する第３シールダイアフ
ラム３１と、第２ールダイアフラム１２を覆って設けら
れ、第２シールダイアフラム１２と第４シールダイアフ
ラム室３４を構成する第４シールダイアフラム３３とが
設けられ、第３シールダイアフラム室３２と第４シール
ダイアフラム室３４とに、封入液１０３，１０４が満た
されている。In addition, the first seal diaphragm 13 is provided so as to cover the third seal diaphragm 31, which constitutes the first seal diaphragm 13 and the third seal diaphragm chamber 32, and the second seal diaphragm 12. The second seal diaphragm 12 and the fourth seal diaphragm 33 forming the fourth seal diaphragm chamber 34 are provided, and the third seal diaphragm chamber 32 and the fourth seal diaphragm chamber 34 are filled with the filled liquids 103 and 104. .
【００３９】従って、腐食性の測定液等により封入液１
０３，１０４が漏れたとしても、封入液１０１，１０２
は漏れることが無いので、差圧測定装置としての機能が
全く損ぜられることがない装置が得られる。Therefore, the filled liquid 1 is filled with the corrosive measuring liquid or the like.
Even if 03 and 104 leak, the filled liquid 101 and 102
Since there is no leakage, a device can be obtained in which the function as a differential pressure measuring device is not impaired at all.
【００４０】また、前述の実施例においては、差圧測定
装置に就いて説明したが、これに限ることはなく、圧力
測定装置でも良い。圧力測定装置は差圧測定装置の一方
の圧力を大気圧或いは真空にしたものであり、実質的に
差圧測定装置であるからである。尚この場合は、測定圧
側を大気圧或いは真空にして零点をチェックすることに
なる。Further, although the differential pressure measuring device has been described in the above embodiment, the present invention is not limited to this, and a pressure measuring device may be used. This is because the pressure measuring device is one in which the pressure of the differential pressure measuring device is set to atmospheric pressure or vacuum, and is essentially a differential pressure measuring device. In this case, the measurement pressure side is set to atmospheric pressure or vacuum to check the zero point.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、 （１）差圧センサと、温度センサと、高圧側と低圧側と
のシールダイアフラムにより２個の封入液室が形成され
る差圧測定装置において、前記それぞれのシールダイア
フラムに設けられた歪検出素子と、前記差圧センサ出力
と温度センサ出力と前記歪検出素子出力との関係をメモ
リーするメモリー手段と、自己診断時の差圧センサ出力
値と温度センサ出力値とから該メモリー手段にメモリー
されている該当歪検出素子出力値を呼び出し前記自己診
断時の実際の前記歪検出素子出力値と比較してその差が
所定値を越えた場合に前記シールダイアフラムが漏洩し
ていると判断するＣＰＵとを具備したことを特徴とする
差圧測定装置。 （２）ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた第１，
第２シールダイアフラムと、該第１，第２シールダイア
フラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検出素子
とを具備する差圧測定装置において、前記第１シールダ
イアフラムを覆って設けられ該第１シールダイアフラム
と第３シールダイアフラム室を構成する第３シールダイ
アフラムと、前記第２ールダイアフラムを覆って設けら
れ該第２シールダイアフラムと第４シールダイアフラム
室を構成する第４シールダイアフラムとを具備したこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の差圧測定装置
を構成した。As described above, the present invention provides: (1) Differential pressure measurement in which two sealed liquid chambers are formed by the differential pressure sensor, the temperature sensor, and the high-pressure side and low-pressure side sealing diaphragms. In the device, a strain sensing element provided on each of the seal diaphragms, a memory means for storing the relationship among the differential pressure sensor output, the temperature sensor output, and the strain sensing element output, and the differential pressure sensor output during self-diagnosis. When the corresponding strain sensing element output value stored in the memory means is called from the value and the temperature sensor output value and compared with the actual strain sensing element output value at the time of the self-diagnosis, and the difference exceeds a predetermined value. A differential pressure measuring device, further comprising: a CPU that determines that the seal diaphragm is leaking. (2) First and first provided on both sides of the housing
In a differential pressure measuring device comprising a second seal diaphragm and a detection element for detecting a differential pressure applied to the first and second seal diaphragms via an enclosed liquid, the differential pressure measuring device is provided to cover the first seal diaphragm. A first seal diaphragm and a third seal diaphragm forming a third seal diaphragm chamber; and a second seal diaphragm covering the second seal diaphragm and a fourth seal diaphragm forming a fourth seal diaphragm chamber. The differential pressure measuring device according to claim 1 is configured.
【００４２】この結果、第１請求項の構成によれば、封
入液の漏洩が僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動
作するので、装置が完全にダウンして初めて封入液の漏
洩に気付く様な恐れがなく、封入液の漏洩を容易に早期
に検知することができる。また、装置のダウンする前に
ダウンの予知診断ができる。As a result, according to the structure of the first aspect, the differential pressure measuring device of the present invention operates even if there is a slight leakage of the enclosed liquid, so that the enclosed liquid does not leak until the device is completely down. It is possible to easily and early detect the leakage of the enclosed liquid without the risk of being noticed. In addition, predictive diagnosis of down can be performed before the device goes down.
【００４３】更に、測定流体の流れを止めることなく、
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は容易
であり、プロセスの流れを乱すことがない差圧測定装置
が得られる。Furthermore, without stopping the flow of the measuring fluid,
It is easy to equalize the high pressure side and the low pressure side of the differential pressure measuring device, and a differential pressure measuring device that does not disturb the process flow can be obtained.
【００４４】加えるに、第２請求項の構成によれば、腐
食性の測定液等により測定液の接液側の封入液が漏れた
としても、センサ本体側の封入液は漏れることが無いの
で、差圧測定装置としての機能が全く損ぜられることが
ない装置が得られる。従って、本発明によれば、測定ラ
インから差圧測定装置を取外す事無く、封入液の漏洩を
自己診断出来る。更に加えるに、差圧測定装置としての
機能は全く影響を受けない差圧測定装置を実現すること
が出来る。In addition, according to the configuration of the second aspect, even if the filled liquid on the liquid contact side of the measuring liquid leaks due to the corrosive measuring liquid or the like, the filled liquid on the sensor body side does not leak. Thus, it is possible to obtain a device in which the function as the differential pressure measuring device is not impaired at all. Therefore, according to the present invention, the leakage of the enclosed liquid can be self-diagnosed without removing the differential pressure measuring device from the measurement line. In addition, it is possible to realize a differential pressure measuring device whose function as a differential pressure measuring device is not affected at all.
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a main part configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】図１の要部詳細説明図である。FIG. 2 is a detailed explanatory diagram of a main part of FIG.
【図３】図１の要部詳細説明図である。FIG. 3 is a detailed explanatory view of a main part of FIG.
【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a main part configuration of another embodiment of the present invention.
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a configuration of a conventional example that is generally used in the past.
１…ハウジング ２…フランジ ３…フランジ ４…導入口 ５…導入口 ６…圧力測定室 ６Ａ…バックプレ―ト ６Ｂ…バックプレ―ト ７…センターダイアフラム ８…シリコンダイアフラム ９…支持体 １０…圧力導入室 １０Ａ…バックプレ―ト １１…圧力導入室 １１Ａ…バックプレ―ト １２…シールダイアフラム １３…シールダイアフラム １４…連通孔 １５…連通孔 １６…連通孔 １７…連通孔 ２１…歪み検出素子 ２２…絶縁膜 ２３…金端子 ３１…メモリー手段 ３２…ＣＰＵ ４１…第３シールダイアフラム ４２…第３シールダイアフラム室 ４３…第４シールダイアフラム ４４…第４シールダイアフラム室 ４５…ボディ ４６…ボディ ８１…シリコン基板 ８２…凹部 ９１…ストレインゲ―ジ ９２…リード ９３…ハーメチック端子 １０１…封入液 １０２…封入液 １０３…封入液 １０４…封入液 1 ... Housing 2 ... Flange 3 ... Flange 4 ... Inlet port 5 ... Inlet port 6 ... Pressure measuring chamber 6A ... Back plate 6B ... Back plate 7 ... Center diaphragm 8 ... Silicon diaphragm 9 ... Support 10 ... Pressure introduction Chamber 10A ... Back plate 11 ... Pressure introducing chamber 11A ... Back plate 12 ... Seal diaphragm 13 ... Seal diaphragm 14 ... Communication hole 15 ... Communication hole 16 ... Communication hole 17 ... Communication hole 21 ... Strain detection element 22 ... Insulation Membrane 23 ... Gold terminal 31 ... Memory means 32 ... CPU 41 ... Third seal diaphragm 42 ... Third seal diaphragm chamber 43 ... Fourth seal diaphragm 44 ... Fourth seal diaphragm chamber 45 ... Body 46 ... Body 81 ... Silicon substrate 82 ... Recessed portion 91 ... Strain gauge 92 ... Lead 93 ... Hermetic terminal 10 1 ... filled liquid 102 ... filled liquid 103 ... filled liquid 104 ... filled liquid
Claims (2)
圧側とのシールダイアフラムにより２個の封入液室が形
成される差圧測定装置において、 前記それぞれのシールダイアフラムに設けられた歪検出
素子と、 前記差圧センサ出力と温度センサ出力と前記歪検出素子
出力との関係をメモリーするメモリー手段と、 自己診断時の差圧センサ出力値と温度センサ出力値とか
ら該メモリー手段にメモリーされている該当歪検出素子
出力値を呼び出し前記自己診断時の実際の前記歪検出素
子出力値と比較してその差が所定値を越えた場合に前記
シールダイアフラムが漏洩していると判断するＣＰＵと
を具備したことを特徴とする差圧測定装置。1. A differential pressure measuring device in which two sealed liquid chambers are formed by a differential pressure sensor, a temperature sensor, and a high pressure side and a low pressure side seal diaphragm, and strains provided on the respective seal diaphragms. A detection element, a memory means for storing the relationship among the differential pressure sensor output, the temperature sensor output, and the strain detection element output, and a memory means for storing the differential pressure sensor output value and the temperature sensor output value at the time of self-diagnosis in the memory means. A CPU that calls the corresponding output value of the corresponding strain sensing element and compares it with the actual output value of the strain sensing element at the time of the self-diagnosis and determines that the seal diaphragm is leaking when the difference exceeds a predetermined value. A differential pressure measuring device comprising:
第１，第２シールダイアフラムと、該第１，第２シール
ダイアフラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検
出素子とを具備する差圧測定装置において、 前記第１シールダイアフラムを覆って設けられ該第１シ
ールダイアフラムと第３シールダイアフラム室を構成す
る第３シールダイアフラムと、 前記第２ールダイアフラムを覆って設けられ該第２シー
ルダイアフラムと第４シールダイアフラム室を構成する
第４シールダイアフラムとを具備したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の差圧測定装置。2. A differential comprising a first and a second seal diaphragms respectively provided on both side surfaces of a housing and a detection element for detecting a differential pressure applied to the first and the second seal diaphragms via a filled liquid. In the pressure measuring device, a third seal diaphragm which is provided to cover the first seal diaphragm and constitutes the first seal diaphragm and a third seal diaphragm chamber, and a second seal diaphragm which is provided to cover the second seal diaphragm The differential pressure measuring device according to claim 1, further comprising a fourth seal diaphragm forming a fourth seal diaphragm chamber.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22569893A JPH0783777A (en) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | Differential pressure measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22569893A JPH0783777A (en) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | Differential pressure measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0783777A true JPH0783777A (en) | 1995-03-31 |
Family
ID=16833399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22569893A Pending JPH0783777A (en) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | Differential pressure measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0783777A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014089171A (en) * | 2012-10-05 | 2014-05-15 | Hitachi Ltd | Transmitting device, and transmitting method |
| CN104215392A (en) * | 2014-09-12 | 2014-12-17 | 天津博益气动股份有限公司 | Device and method for detecting sensing coefficient of differential pressure sensor |
| CN112729674A (en) * | 2020-12-16 | 2021-04-30 | 华能伊敏煤电有限责任公司 | Oil outlet filter screen differential pressure high pressure control calibration equipment |
-
1993
- 1993-09-10 JP JP22569893A patent/JPH0783777A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014089171A (en) * | 2012-10-05 | 2014-05-15 | Hitachi Ltd | Transmitting device, and transmitting method |
| CN104215392A (en) * | 2014-09-12 | 2014-12-17 | 天津博益气动股份有限公司 | Device and method for detecting sensing coefficient of differential pressure sensor |
| CN112729674A (en) * | 2020-12-16 | 2021-04-30 | 华能伊敏煤电有限责任公司 | Oil outlet filter screen differential pressure high pressure control calibration equipment |
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