JPH0783033B2 - Semiconductor element fixing plate sheet and method of using the same - Google Patents

Semiconductor element fixing plate sheet and method of using the same

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JPH0783033B2
JPH0783033B2 JP63303257A JP30325788A JPH0783033B2 JP H0783033 B2 JPH0783033 B2 JP H0783033B2 JP 63303257 A JP63303257 A JP 63303257A JP 30325788 A JP30325788 A JP 30325788A JP H0783033 B2 JPH0783033 B2 JP H0783033B2
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semiconductor element
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frame
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芳規 鈴木
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、発熱性のパワー半導体等を金属製の放熱板に
固着した半導体素子固着板状体を有するシートとその使
用方法に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a sheet having a semiconductor element fixing plate-like body in which a heat-generating power semiconductor or the like is fixed to a metal heat dissipation plate, and a method of using the same.

[従来の技術] ハイブリットICやパワートランジスタのような出力素子
は、負荷短絡等異常負荷により破壊の起こる可能性があ
る。そのため、大容量のものでは、保護回路を除くこと
はできない。このとき、保護回路の時間設定をするため
に、素子自体に熱強度をもたせるような設計をすること
は重要なことである。このため、一般的に半導体素子で
発生する熱や、熱伝導が悪く熱抵抗の大きい電気的絶縁
層の部分の熱抵抗を下げるために、放熱効果を持つ熱伝
導良好な銅板等からなる放熱板(ヒートシンク)を回路
内に取り付ける。
[Prior Art] An output element such as a hybrid IC or a power transistor may be destroyed by an abnormal load such as a load short circuit. Therefore, the protection circuit cannot be removed with a large capacity. At this time, in order to set the time of the protection circuit, it is important to design the element itself to have thermal strength. Therefore, in order to reduce the heat generally generated in the semiconductor element and the heat resistance of the portion of the electrical insulation layer where the heat conduction is poor and the heat resistance is large, a heat dissipation plate made of a copper plate or the like having good heat dissipation has a heat dissipation effect. Install the (heat sink) in the circuit.

このような役割を果たしているヒートシンクとこれを取
り付けたパワー半導体の形成方法として、従来、第2図
で示すように、以下のような工程で製造されている。
As a method of forming a heat sink that plays such a role and a power semiconductor to which the heat sink is attached, conventionally, as shown in FIG. 2, the heat sink is manufactured through the following steps.

まず、金属製の板状体シートaをヒートシンク2として
使用される部分と使用されない部分に区分するため、圧
延加工して中央部に凸状帯部を設ける。
First, in order to divide the metal plate sheet a into a portion used as the heat sink 2 and a portion not used as the heat sink 2, rolling is performed to provide a convex band portion in the central portion.

続いて、金属製の板状体シートaの使用されない部分の
一方の側辺、または両側辺に沿って、一定の間隔で送り
孔4を穿設する。その後、上記送り孔4を有する連続し
たフレーム1となる部分と、ヒートシンク2として使用
される部分と、これらを結ぶリード5となる部分とを除
いて、それ以外の不要な部分を除去する。その後、この
板状体シートaにメッキを施す。
Subsequently, the feed holes 4 are formed at regular intervals along one side or both sides of the unused portion of the metal plate sheet a. After that, unnecessary portions other than the above are removed except for the portion which becomes the continuous frame 1 having the feed hole 4, the portion which is used as the heat sink 2, and the portion which becomes the lead 5 connecting these. Then, the plate-shaped sheet a is plated.

次に、ヒートシンク2として使用される部分にシート状
半田を施し、その上に半導体素子3を実装する。この状
態を第2図に示す。半導体素子3をヒートシンク2上に
実装するにあたり、ヒーターを有する加熱金型を下方向
から、300〜320℃の温度で圧接、加熱することによっ
て、安定的に固定される。
Next, a sheet-shaped solder is applied to the portion used as the heat sink 2, and the semiconductor element 3 is mounted thereon. This state is shown in FIG. When mounting the semiconductor element 3 on the heat sink 2, a heating die having a heater is pressed and heated from below at a temperature of 300 to 320 ° C. to be stably fixed.

このようにして半導体素子3を実装したヒートシンク2
をリード5の接続部分から切断し、回路基板上にマウン
トしてパワー半導体を実装していた。
The heat sink 2 having the semiconductor element 3 mounted in this way
Was cut from the connection portion of the lead 5 and mounted on a circuit board to mount a power semiconductor.

[発明が解決しようとする課題] しかし、第2図のような従来の方法では、半導体素子3
を実装したヒートシンク2とリード5との厚みを変えな
いと、ヒートシンク2とリード5の接続部分を切断する
際、切断応力が大きくなり、実装した半導体素子3に大
きなストレスが生じ、悪影響を及ぼすことになる。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional method as shown in FIG.
If the thickness of the heat sink 2 and the leads 5 mounted is not changed, the cutting stress becomes large when the connecting portion between the heat sink 2 and the leads 5 is cut, and a large stress is generated in the mounted semiconductor element 3 to have an adverse effect. become.

このため、ヒートシンクとして使用される金属製の板状
体シートaを特別に圧延加工し、予め前記のような帯状
部を形成する必要があり、材料加工単価が割高となって
しまう。
For this reason, it is necessary to specially roll the metal plate-like sheet a used as the heat sink to previously form the band-shaped portion as described above, which makes the unit cost of material processing expensive.

また、上記のように金属製の板状体シートaを厚みの異
なるように圧延加工を施しても、半導体素子3を実装し
てからヒートシンク2とリード5の接続部分を切断する
に当っては、半導体素子3にストレスが生じる。このた
め、半導体素子3に生じるストレスを最小限に押え、そ
の影響を受けないようにするため、取扱いに十分な注意
が必要となる。
Even when the metal plate sheet a is rolled so as to have different thicknesses as described above, when the semiconductor element 3 is mounted and the connection portion between the heat sink 2 and the lead 5 is cut, The semiconductor element 3 is stressed. Therefore, in order to minimize the stress generated in the semiconductor element 3 and prevent it from being affected by it, it is necessary to handle it with sufficient care.

さらに、ヒートシンク2と、送り孔4を有するフレーム
1を接続させるリード5が必要となるため、金属製の板
状体シートに不使用部分が多くなり、材料の使用効率が
悪い。
Further, since the leads 5 for connecting the heat sink 2 and the frame 1 having the feed holes 4 are required, the metal plate sheet has a large number of unused portions, resulting in poor material usage efficiency.

そこで、本発明は、上記の問題点を解決するために、材
料として特別に圧延加工された金属製の板状体シートを
使用することなく、しかもヒートシンクとして使用され
る部分の割合を多くすることによって、材料の使用効率
を高め、さらには、ヒートシンクの切断時、実装された
半導体素子に悪影響を与えない半導体素子固着板状体シ
ートとその使用方法を提供することを目的とする。
Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, the present invention does not use a specially rolled metal plate sheet as a material, and increases the proportion of a portion used as a heat sink. Therefore, it is an object of the present invention to provide a semiconductor element-fixed plate-like sheet which does not adversely affect the mounted semiconductor element when the heat sink is cut and a method of using the same.

[課題を解決するための手段] すなわち、本発明による半導体素子固着板状体シート
は、一方の側辺または両側辺に沿って一定の間隔で送り
孔4が設けられた長尺な金属製シートaから、一定の間
隔で半導体素子固着用のヒートシンク2が打ち抜かれ、
この打ち抜かれたヒートシンク2が金属製シートaの打
ち抜き孔bに嵌め込まれて仮止めされ、さらに仮止めさ
れたヒートシンク2の表面に半導体素子3が固着されて
いることを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] That is, the semiconductor element fixing plate-shaped sheet according to the present invention is a long metal sheet having feed holes 4 provided at regular intervals along one side or both sides. From a, the heat sinks 2 for fixing the semiconductor element are punched out at regular intervals,
The punched out heat sink 2 is fitted into the punched hole b of the metal sheet a and temporarily fixed, and the semiconductor element 3 is fixed to the surface of the temporarily fixed heat sink 2.

さらに本発明による半導体素子固着板状体シートの使用
方法は、一方の側辺または両側辺に沿って一定の間隔で
送り孔4が設けられた長尺な金属製シートaから、一定
の間隔で半導体素子固着用のヒートシンク2が打ち抜か
れ、この打ち抜かれたヒートシンク2が金属製シートa
の打ち抜き孔bに嵌め込まれて仮止めされ、さらに仮止
めされたヒートシンク2の表面に半導体素子3が固着さ
れている半導体素子固着板状体シートを用い、上記半導
体素子3が固着されたヒートシンク2を上記金属製シー
トaから再分離することにより、半導体素子3が固着さ
れたヒートシンクを得ることを特徴とする。
Furthermore, the method of using the semiconductor element fixing plate-shaped sheet according to the present invention is such that a long metal sheet a having feed holes 4 provided at regular intervals along one side or both sides of the sheet is fixed at regular intervals. The heat sink 2 for fixing the semiconductor element is punched out, and the punched out heat sink 2 is the metal sheet a.
A heat sink 2 having the semiconductor element 3 fixed thereto is used by using a semiconductor element fixing plate member sheet in which the semiconductor element 3 is fixed on the surface of the heat sink 2 which is fitted into the punching hole b of FIG. Is separated from the metal sheet a to obtain a heat sink to which the semiconductor element 3 is fixed.

[作用] 上記本発明による半導体素子固着板状体シート及びその
使用方法によれば、第1図のように、ヒートシンク2と
して使用される金属製の板状体シートaを特別に圧延加
工する必要がなくなり、材料単価が割安となる。
[Operation] According to the semiconductor element fixing plate-shaped sheet and the method of using the same according to the present invention, it is necessary to specially roll-process the metal plate-shaped sheet a used as the heat sink 2 as shown in FIG. The price of material will be cheaper.

さらに、ヒートシンク2をプレス加工で金属製の板状体
シートaから一度抜き、再度フレーム1として使用され
る金属製板状体シートaの打ち抜き孔bに挿入し、さら
にこのヒートシンク2に半導体素子3をマウントして使
用するため、第2図の従来例のように、送り孔4を有す
るフレーム1とヒートシンク2とを接続させるリード5
の部分が不要となる。従って、金属製の板状体シートa
の全体の中でヒートシンク2として使用される部分の割
合が多くなり、材料の使用効率が良くなる。なお、ヒー
トシンク2として使用されない部分も、送り孔4を有す
るヒートシンク2の搬送用のフレーム1として使用され
るので、第2図のような従来例のフレーム1と同等のマ
ウント位置精度を確保することができる。
Further, the heat sink 2 is punched out from the metal plate-like sheet a once by pressing, and is again inserted into the punching hole b of the metal plate-like sheet a used as the frame 1, and the semiconductor element 3 is further attached to the heat sink 2. As shown in FIG. 2, the lead 5 for connecting the frame 1 having the feed hole 4 and the heat sink 2 to each other is mounted and used.
Is unnecessary. Therefore, the metal sheet a
The ratio of the portion used as the heat sink 2 in the whole is increased, and the use efficiency of the material is improved. Since the portion not used as the heat sink 2 is also used as the frame 1 for carrying the heat sink 2 having the feed holes 4, it is necessary to ensure the same mount position accuracy as that of the conventional frame 1 as shown in FIG. You can

また、一度プレス抜き加工したヒートシンク2を、再度
フレーム1に圧入して仮止めしておくため、ヒートシン
ク2を回路基板に実装する際に、ヒートシンク2をフレ
ーム1から抜き出す時の加圧が2〜3kg/cm2と低い力で
済み、ヒートシンク2にマウントされている半導体素子
3にストレスを与えず、ストレスによる悪影響を及ぼす
ことがない。
Further, since the heat sink 2 that has been press-pressed once is press-fitted into the frame 1 again and temporarily fixed, when the heat sink 2 is mounted on a circuit board, the pressure applied when the heat sink 2 is pulled out from the frame 1 is 2 to 2. The force is as low as 3 kg / cm 2, and the semiconductor element 3 mounted on the heat sink 2 is not stressed, and the stress does not adversely affect the semiconductor element 3.

以上のような作用を奏する半導体素子固着板状体シート
は、プレス加工で金属製の板状体シートaからヒートシ
ンク2を一度抜き、ヒートシンク2をフレーム1として
使用される金属製板状体シートaの打ち抜き孔bに再度
挿入し、さらにこのヒートシンク2に半導体素子3をマ
ウントするという手段により得られる。従って、比較的
簡単に製造することができ、しかもその使用方法は、従
来の搬送シートを使用するのに比べて、特別多くの工程
を必要としない。
The semiconductor element-fixed plate-like sheet having the above-described operation is a metal plate-like sheet a in which the heat sink 2 is once removed from the metal plate-like sheet a by press working and the heat sink 2 is used as the frame 1. It is obtained by means of reinserting into the punching hole b, and mounting the semiconductor element 3 on the heat sink 2. Therefore, it is relatively easy to manufacture and its method of use does not require extra steps compared to using conventional carrier sheets.

[実施例] 図面を参照にしながら、本発明の実施例を工程に従って
説明する。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described according to steps with reference to the drawings.

まず、第3図(a)のように、均一の厚さの金属製の板
状体シートaに上方金型6をプレスしてヒートシンク2
を打ち抜き、下方金型7で受ける。続いて第3図(b)
のように、打ち抜かれて下方金型7上に保持されたヒー
トシンク2を、下方金型7によって上記金属製の板状体
シートaの打ち抜き孔bに圧入して嵌め込み、仮止めす
る。これで、金属製の板状体シートaの不使用部分から
なるフレーム1に仮止めされた半導体素子固着板状体シ
ートが得られる。
First, as shown in FIG. 3 (a), the upper die 6 is pressed against the metal sheet a having a uniform thickness to heat sink 2
Punched out and received by the lower die 7. Then, Fig. 3 (b)
As described above, the heat sink 2 punched out and held on the lower mold 7 is press-fitted into the punching hole b of the metal plate sheet a by the lower mold 7 and fitted and temporarily fixed. As a result, a semiconductor element-fixed plate-like sheet temporarily fixed to the frame 1 composed of the unused part of the metal plate-like sheet a is obtained.

次に第3図(c)のように、この半導体素子固着板状体
シートを用いて、ヒートシンク2上にシート状半田8を
載せ、さらにこの上に半導体素子3をマウントし、上記
シート状半田8を下方加熱金型10によって300〜320℃の
温度で圧接、加熱することにより、半導体素子3を安定
的に固定する。こうして半導体素子3をマウントしたヒ
ートシンク2を仮止めした状態の半導体素子固着板状体
シートの平面を示したのが第1図である。第1図(a)
からわかるように、従来の搬送シートに必要であったリ
ード部分がないため、シートの単位面積当りにヒートシ
ンク2を多く設けることができ、不使用部分の一方の側
辺または両側辺には、これに沿って一定の間隔で送り孔
4が設けられ、搬送用に用いられる。さらに、第1図
(b)のように、半導体素子3をマウントしたヒートシ
ンク2は、すでにフレーム1から切断されており、打ち
抜き孔bに仮止めされているため、次に述べる工程にお
いて従来例のようにフレーム1から切断される時のよう
な荷重がかからない。
Next, as shown in FIG. 3 (c), using this semiconductor element-fixed plate-like sheet, a sheet-shaped solder 8 is placed on the heat sink 2, and the semiconductor element 3 is mounted thereon, and the sheet-shaped solder is attached. The semiconductor element 3 is stably fixed by pressing and heating 8 by the lower heating die 10 at a temperature of 300 to 320 ° C. FIG. 1 shows the plane of the semiconductor element-fixed plate-like sheet in the state where the heat sink 2 on which the semiconductor element 3 is mounted is temporarily fixed in this manner. Fig. 1 (a)
As can be seen from the above, since there is no lead portion required for the conventional conveying sheet, many heat sinks 2 can be provided per unit area of the sheet, and one side or both sides of the unused portion can be Feed holes 4 are provided at regular intervals along and are used for conveyance. Further, as shown in FIG. 1B, the heat sink 2 on which the semiconductor element 3 is mounted is already cut from the frame 1 and is temporarily fixed to the punching hole b. As in the case of being cut from the frame 1, no load is applied.

この後、第3図(d)のように、仮止めされていたフレ
ーム1から、真空チャック11と下方金型12を用いて半導
体素子3がマウントされたヒートシンク2を押し上げて
分離し、第3図(e)のように、回路基板14の回路電極
15上に、半導体素子3がマウントされたヒートシンク2
を実装して、金属製の放熱板を有するパワー半導体を回
路基板14上に実装することができる。
After that, as shown in FIG. 3D, the heat sink 2 on which the semiconductor element 3 is mounted is pushed up from the temporarily fixed frame 1 by using the vacuum chuck 11 and the lower mold 12 to separate the frame 1. As shown in Figure (e), the circuit electrodes on the circuit board 14
Heat sink 2 with semiconductor element 3 mounted on 15
Can be mounted to mount a power semiconductor having a metal heat sink on the circuit board 14.

[発明の効果] 以上説明した通り、本発明の半導体素子固着板状体シー
トとその使用方法によれば、ヒートシンク2とフレーム
1とに使用される金属製の板状体シートaを、厚さの異
なる異形材とする必要がなくなり、材料コストの低減が
可能となる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the semiconductor element fixing plate-shaped sheet and the method of using the same of the present invention, the metal plate-shaped sheet a used for the heat sink 2 and the frame 1 has a thickness of It is not necessary to use different profiled materials, and the material cost can be reduced.

さらに、従来例のように、送り孔4を有するフレーム1
とヒートシンク2とを接続させるリード5部分が不要と
なるため、板状体シートaの単位面積当り、多数のヒー
トシンク2を取り出すことができ、材料の使用効率が良
くなる。しかも、不使用部分として残されるフレーム1
も、ヒートシンク2の搬送用として使用でき、従来例の
フレーム1と同等のマウント位置精度を確保することが
できる。
Further, as in the conventional example, the frame 1 having the feed hole 4
Since the part of the lead 5 for connecting the heat sink 2 and the heat sink 2 is not necessary, a large number of heat sinks 2 can be taken out per unit area of the plate-shaped sheet a, and the material usage efficiency is improved. Moreover, the frame 1 left as an unused part
Can also be used for transporting the heat sink 2 and can secure mount position accuracy equivalent to that of the conventional frame 1.

また、一度プレス抜き加工したヒートシンク2を、再度
フレーム1に圧入して打ち抜き孔bに仮止めしておくだ
けのため、半導体素子3をマウントしてからヒートシン
ク2を回路基板に実装する際に、ヒートシンク2をフレ
ーム1から抜き出す時のプレス圧力として、半導体素子
3に影響を及ぼすほど大きな力が必要とされず、製品の
不良低減をもたらす。
Further, since the heat sink 2 that has been press-pressed once is simply press-fitted into the frame 1 again and temporarily fixed in the punching hole b, when mounting the semiconductor element 3 and then mounting the heat sink 2 on the circuit board, As a pressing pressure when pulling out the heat sink 2 from the frame 1, a large force that affects the semiconductor element 3 is not required, which leads to reduction of product defects.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図(a)は、本発明の半導体素子固着板状体シート
の概要を示す平面図、第1図(b)は、前記のA−A断
面図、第2図(a)は、従来の半導体素子固着板状体シ
ートの概要を示す平面図、第2図(b)は、前記のB−
B断面図、第3図(a)〜(e)は、本発明による半導
体素子固着板状体シートを形成並びに使用してパワー半
導体を作製する工程を示した断面図である。 1…フレーム、2…ヒートシンク、3…半導体素子、4
…送り孔、13…回路基板、a…金属製板状体シート、b
…打ち抜き孔
FIG. 1 (a) is a plan view showing an outline of a semiconductor element-fixed plate-shaped sheet of the present invention, FIG. 1 (b) is the above-mentioned AA cross-sectional view, and FIG. FIG. 2 (b) is a plan view showing an outline of the semiconductor element fixing plate-shaped sheet of FIG.
FIGS. 3A to 3E are sectional views showing a step of forming and using a semiconductor element fixing plate sheet according to the present invention to produce a power semiconductor. 1 ... Frame, 2 ... Heat sink, 3 ... Semiconductor element, 4
... Feed hole, 13 ... Circuit board, a ... Metal plate sheet, b
... punched holes

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】一方の側辺または両側辺に沿って一定の間
隔で送り孔が設けられた長尺な金属製シートから、一定
の間隔で半導体素子固着用のヒートシンクが打ち抜か
れ、この打ち抜かれたヒートシンクが金属製シートの打
ち抜き孔に嵌め込まれて仮止めされ、さらに仮止めされ
たヒートシンクの表面に半導体素子が固着されているこ
とを特徴とする半導体素子固着板状体シート。
1. A heat sink for fixing semiconductor elements is punched out at regular intervals from a long metal sheet having feed holes provided at regular intervals along one side or both sides, and this punching is performed. A semiconductor element fixing plate-shaped sheet, wherein a heat sink is fitted into a punched hole of a metal sheet and temporarily fixed, and a semiconductor element is fixed to the surface of the temporarily fixed heat sink.
【請求項2】一方の側辺または両側辺に沿って一定の間
隔で送り孔が設けられた長尺な金属製シートから、一定
の間隔で半導体素子固着用のヒートシンクが打ち抜か
れ、この打ち抜かれたヒートシンクが金属製シートの打
ち抜き孔に嵌め込まれて仮止めされ、さらに仮止めされ
たヒートシンクの表面に半導体素子が固着されているて
いる半導体素子固着板状体シートを用い、上記半導体素
子が固着されたヒートシンクを上記金属製シートから再
分離することにより、半導体素子が固着されたヒートシ
ンクを得ることを特徴とする半導体素子固着板状体シー
トの使用方法。
2. A heat sink for fixing semiconductor elements is punched out at regular intervals from an elongated metal sheet having feed holes provided at regular intervals along one side or both sides, and this punching is performed. The heat sink is fitted into the punched hole of the metal sheet and temporarily fixed, and the semiconductor element is fixed to the surface of the heat sink that is temporarily fixed. A method of using a semiconductor element-fixed plate-shaped sheet, characterized in that a heat sink to which a semiconductor element is fixed is obtained by re-separating the formed heat sink from the metal sheet.
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