JPH0778497A - Testing method for dynamic ram - Google Patents

Testing method for dynamic ram

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JPH0778497A
JPH0778497A JP6081286A JP8128694A JPH0778497A JP H0778497 A JPH0778497 A JP H0778497A JP 6081286 A JP6081286 A JP 6081286A JP 8128694 A JP8128694 A JP 8128694A JP H0778497 A JPH0778497 A JP H0778497A
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勝博 下東
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Katsutaka Kimura
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Abstract

PURPOSE:To realize the shortening of a testing time without increasing external terminals by a combination in which a row address strobe signal, a column address strobe signal and a write enabling signal are combined and which is not present in a normal mode. CONSTITUTION:In a timming when the row address strobe signal RASB is fallen from a high level to a low level, the column address strobe signal CASB and the write enabling signal WEB are turned to the low level. In this way, an operating mode is identified in a timming generating circuit TG and a high level signal is supplied to a latching circuit FF. In the latching circuit, the circuit is set by the signal to make a test signal TE to be the high level and testing circuits of the output side and input side included in multiplexers MPX1, 2 and data outputting circuit DOB are made to be in operating states. Thus, the starting-up/releasing of a testing mode is made possible without increasing numbers of external control signals.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、ダイナミックRAM
(ランダム・アクセス・メモリ)のテスト方法に関し、
例えば、約4Mビットのような大記憶容量を持つものに
利用して有効な技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a dynamic RAM.
Regarding the test method of (random access memory),
For example, the present invention relates to a technique effectively used for a device having a large storage capacity of about 4 Mbits.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体技術の進展により、約1Mビット
のような大記憶容量を持つダイナミックRAMが開発さ
れている。このような大記憶容量化に伴い、そのテスト
時間が増加してしまう。そこで、RAM内部にテスト用
回路を設けて、メモリアレイに×4ビットの単位で同じ
信号を書き込んでおいて、メモリアレイから読み出され
た×4ビットの信号のうち、いずれか1ビットでも不一
致のものがあれば、出力端子をハイインピーダンス状態
にするものである。なお、上記×4ビットの読み出し信
号が全てハイレベル又はロウレベルなら、上記出力端子
からハイレベル又はロウレベルの信号を出力させるもの
である。(三菱電機(株)1985年発行「三菱技報」
Vol.59、No.9参照)。
2. Description of the Related Art With the progress of semiconductor technology, a dynamic RAM having a large storage capacity of about 1 Mbit has been developed. The test time increases as the storage capacity increases. Therefore, a test circuit is provided inside the RAM, the same signal is written in the memory array in units of x4 bits, and any one bit of the x4 bit signals read from the memory array does not match. If there is one, it puts the output terminal in a high impedance state. If all the x4 bit read signals are high level or low level, a high level or low level signal is output from the output terminal. (Mitsubishi Electric Co., Ltd., 1985 issue "Mitsubishi Technical Report"
Vol. 59, No. 9).

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記テスト方式にあっ
ては、18ピンのパッケージのうち、1つの空きピンを
利用して、ノーマルモードとテストモードの識別を行
い、上記テスト回路を動作状態にするものである。した
がって、約4Mビットのような大記憶容量の記憶容量を
持つダイナミックRAMを上記18ピンのパッケージに
実装するしようとすると、上記空きピンをアドレス端子
として使用することになるため、上記テスト方式を使用
できない。
In the above test method, one empty pin of the 18-pin package is used to distinguish between the normal mode and the test mode, and the test circuit is set to the operating state. To do. Therefore, if a dynamic RAM having a large storage capacity of about 4 Mbits is mounted on the 18-pin package, the empty pins will be used as address terminals. Therefore, the test method is used. Can not.

【0004】この発明の目的は、外部端子数を増加させ
ることなく、テスト時間の短縮化を実現したダイナミッ
クRAMのテスト方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a dynamic RAM test method which realizes a reduction in test time without increasing the number of external terminals.

【0005】この発明の前記ならびにそのほかの目的と
新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明ら
かになるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本願において、開示され
る発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
In the present application, a brief description will be given to the outline of the representative one of the disclosed inventions.
It is as follows.

【0007】すなわち、ロウアドレスストローブ信号を
受ける第1外部端子と、カラムアドレスストローブ信号
を受ける第2外部端子と、ライトイネーブル信号を受け
る第3外部端子とをもつアドレスマルチプレクスされた
ダイナミックRAMのテスト方法において、上記第2及
び第3外部端子に論理ロウレベルの信号を供給している
時に、上記第1外部端子に供給する信号を論理ハイレベ
ルから論理ロウレベルに変化させることに応じて通常動
作モードからテストモードに入るステップと、上記テス
トモードに入った状態で上記第1外部端子に供給する信
号を論理ハイレベルから論理ロウレベルに変化させるこ
とに応じてロウデコーダに供給されるロウアドレス信号
と、上記第2外部端子に供給する信号を論理ハイレベル
から論理ロウレベルに変化させることに応じてカラムデ
コーダに供給されるカラムアドレス信号とに基づいて複
数のテストされるメモリセルを選択し、該選択された複
数のメモリセルに互いに同一の論理値をもつデータを書
き込むステップと、上記テストモードに入った状態で上
記第1外部端子に供給する信号を論理ハイレベルから論
理ロウレベルに変化させることに応じてロウデコーダに
供給されるロウアドレス信号と、上記第2外部端子に供
給する信号を論理ハイレベルから論理ロウレベルに変化
させることに応じてカラムデコーダに供給されるカラム
アドレス信号とに基づいて複数のテストされるメモリセ
ルを選択し、該選択された上記複数のメモリセルからそ
れぞれデータを読み出し、該読み出されたデータが一致
しているかどうかを検証するステップと、検証結果を上
記外部端子へ出力するステップとを含むダイナミックR
AMのテスト方法であって、上記第2外部端子に論理ロ
ウレベルの信号を供給し、かつ上記第3外部端子に論理
ハイレベルの信号を供給しているときに、上記第1外部
端子に供給する信号を論理ハイレベルから論理ロウレベ
ルに変化させることに応じて上記通常動作モードに戻る
ステップを含むようにする。
That is, a test of an address multiplexed dynamic RAM having a first external terminal for receiving a row address strobe signal, a second external terminal for receiving a column address strobe signal, and a third external terminal for receiving a write enable signal. In the method, in response to changing a signal supplied to the first external terminal from a logical high level to a logical low level while supplying a logical low level signal to the second and third external terminals, the normal operation mode is changed. A step of entering a test mode; a row address signal supplied to a row decoder in response to changing a signal supplied to the first external terminal from a logic high level to a logic low level in the test mode; The signal supplied to the second external terminal is changed from logic high level to logic low level. A plurality of memory cells to be tested based on the column address signal supplied to the column decoder in response to the change to the above, and write the data having the same logical value to the selected plurality of memory cells. A step, a row address signal supplied to a row decoder in response to changing a signal supplied to the first external terminal from a logic high level to a logic low level in the test mode, and the second external terminal. Select a plurality of memory cells to be tested based on a column address signal supplied to a column decoder in response to changing a signal supplied to the column from a logic high level to a logic low level, and select the plurality of memory cells. Steps for reading data from each cell and verifying whether the read data match When dynamic R a verification result and outputting to the external terminal
An AM test method, wherein a logical low level signal is supplied to the second external terminal and a logical high level signal is supplied to the third external terminal, and the signal is supplied to the first external terminal. A step of returning to the normal operation mode in response to changing the signal from the logic high level to the logic low level is included.

【0008】[0008]

【作用】上記した手段によれば、通常の動作において必
要とされる外部制御信号の組み合わせによって、テスト
モードとすることができるから、外部端子数を増加させ
ることなくテスト時間の短縮化を図ることができる。
According to the above means, the test mode can be set by the combination of the external control signals required in the normal operation. Therefore, the test time can be shortened without increasing the number of external terminals. You can

【0009】[0009]

【実施例】図2には、この発明に係るダイナミックRA
Mの一実施例のブロック図が示されている。同図におけ
る各回路素子および回路ブロックは、公知のCMOS
(相補型MOSFET)型半導体集積回路の製造技術に
よって、特に制限されないが、P−型単結晶シリコンの
ような1個の半導体基板上に形成される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 2 shows a dynamic RA according to the present invention.
A block diagram of one embodiment of M is shown. Each circuit element and circuit block in FIG.
Although not particularly limited, the (complementary MOSFET) type semiconductor integrated circuit is formed on one semiconductor substrate such as P − type single crystal silicon by a manufacturing technique thereof.

【0010】1ビットのメモリセルMCが、情報記憶キ
ャパシタCsと、これに直列に接続されたアドレス選択
用のNチャンネルMOSFETQmとからなり、論理”
1”,”0”の情報はキャパシタCsに電荷の形で記憶
される。キャパシタCsの一方の電極には固定電位VG
(=1/2Vcc)が印加される。
A 1-bit memory cell MC is composed of an information storage capacitor Cs and an N-channel MOSFET Qm for address selection which is connected in series to the information storage capacitor Cs.
Information of "1" and "0" is stored in the capacitor Cs in the form of electric charges. The fixed potential VG is applied to one electrode of the capacitor Cs.
(= 1/2 Vcc) is applied.

【0011】メモリアレイM−ARYは、特に制限され
ないが、folded bit line方式とされ
る。図2には、その一対の行が具体的に示されている。
一対の平行に配置された相補データ線DL,DLBに、
複数のメモリセルMCのそれぞれの入出力ノードが、所
定の規則性をもって配分されて、結合されている。ここ
で、ロウアクティブの信号線(信号)を以下、B(バ
ー)を付して示す。
The memory array M-ARY is of the folded bit line type, although not particularly limited thereto. The pair of rows is specifically shown in FIG.
To the pair of complementary data lines DL, DLB arranged in parallel,
The respective input / output nodes of the plurality of memory cells MC are distributed and coupled with a predetermined regularity. Here, the row active signal line (signal) is shown with B (bar) attached.

【0012】プリチャージ回路PCは、代表として示さ
れたMOSFETQ1のように、相補データ線DL,D
LB間に設けられたNチャンネル型のスイッチMOSF
ETにより構成される。前の読み出し又は書き込みサイ
クルの結果、センスアンプSAによって、相補データ線
の一方の電位は電源電圧Vccに、他方の電位は接地電
位Vssにされる。次のサイクルに先立って、タイミン
グ発生回路TGで形成されたプリチャージ信号PCのハ
イレベルによって、相補データ線DL,DLBはMOS
FETQ1を通して短絡される。これにより、データ線
DL,DLBのプリチャージレベルVcc/2が得られ
る。
The precharge circuit PC has complementary data lines DL and D like the MOSFET Q1 shown as a representative.
N-channel type switch MOSF provided between LB
It is composed of ET. As a result of the previous read or write cycle, one potential of the complementary data line is set to the power supply voltage Vcc and the other potential is set to the ground potential Vss by the sense amplifier SA. Prior to the next cycle, the complementary data lines DL and DLB are turned on by the high level of the precharge signal PC formed by the timing generation circuit TG.
It is short-circuited through the FET Q1. As a result, the precharge level Vcc / 2 of the data lines DL and DLB is obtained.

【0013】センスアンプSAは、代表として示された
PチャンネルMOSFETQ2,Q3とNチャンネルM
OSFETQ4,Q5とからなる。すなわち、センスア
ンプSAは、MOSFETQ2とQ4からなるCMOS
インバータと、MOSFETQ3とQ5からなるCMO
Sインバータとの入出力を互いに結合して構成されるC
MOSラッチ回路で構成され、その一対の入出力ノード
が上記相補データ線DL,DLBに結合されている。ま
た、上記ラッチ回路には、特に制限されないが並列形態
のPチャンネルMOSFETQ6,Q7を通して電源電
圧Vccが供給され、並列形態のNチャンネルMOSF
ETQ8,Q9を通して回路の接地電圧Vssが供給さ
れる。これらのパワースイッチMOSFETQ6,Q7
及びMOSFETQ8,Q9は、同じメモリマット内の
他の同様な行に設けられたラッチ回路に対して共通に用
いられる。言い換えるならば、同じメモリマット内のラ
ッチ回路におけるPチャンネルMOSFETとNチャン
ネルMOSFETとはそれぞれのソースが共通接続され
る。
The sense amplifier SA includes P-channel MOSFETs Q2 and Q3 and an N-channel M which are representatively shown.
It is composed of OSFETs Q4 and Q5. That is, the sense amplifier SA is a CMOS composed of MOSFETs Q2 and Q4.
Inverter and CMO consisting of MOSFETs Q3 and Q5
C configured by connecting the input and output with the S inverter to each other
It is composed of a MOS latch circuit, and its pair of input / output nodes are coupled to the complementary data lines DL and DLB. Although not particularly limited, the latch circuit is supplied with the power supply voltage Vcc through parallel P-channel MOSFETs Q6 and Q7, and the parallel N-channel MOSF.
The circuit ground voltage Vss is supplied through ETQ8 and Q9. These power switch MOSFETs Q6, Q7
, And MOSFETs Q8 and Q9 are commonly used for latch circuits provided in other similar rows in the same memory mat. In other words, the sources of the P-channel MOSFET and the N-channel MOSFET in the latch circuit in the same memory mat are commonly connected.

【0014】上記MOSFETQ8,Q6のゲートに
は、動作サイクルではセンスアンプSAを活性化させる
相補タイミングパルスφpa1,φpa1Bが印加さ
れ、MOSFETQ9,Q7のゲートには、上記タイミ
ングパルスφpa1,φpa1Bより遅れた、相補タイ
ミングパルスφpa2,φpa2Bが印加される。この
ようにすることによって、センスアンプSAの動作は2
段階に分けられる。タイミングパルスφpa1,φpa
1Bが発生されたとき、すなわち第1段階においては、
比較的小さいコンダクタンスを持つMOSFETQ8及
びQ6による電流制限作用によって、メモリセルからの
一対のデータ線間に与えられた微小読み出し電圧は不所
望なレベル変動を受けることなく増幅される。上記セン
スアンプSAでの増幅動作によって相補データ線電位の
差が大きくされた後、タイミングパルスφpa2,φp
a2Bが発生されると、すなわち第2段階に入ると、比
較的大きなコンダクタンスを持つMOSFETQ9,Q
7がオン状態にされる。センスアンプSAの増幅動作
は、MOSFETQ9,Q7がオン状態にされることに
よって、速くされる。このように2段階に分けて、セン
スアンプSAの増幅動作を行わせることによって、相補
データ線の不所望なレベル変化を防止しつつ、データの
高速読み出しを行うことができる。
Complementary timing pulses φpa1 and φpa1B for activating the sense amplifier SA in the operation cycle are applied to the gates of the MOSFETs Q8 and Q6, and gates of the MOSFETs Q9 and Q7 are delayed from the timing pulses φpa1 and φpa1B. Complementary timing pulses φpa2 and φpa2B are applied. By doing so, the operation of the sense amplifier SA is 2
It is divided into stages. Timing pulse φpa1, φpa
When 1B is generated, that is, in the first stage,
Due to the current limiting action of the MOSFETs Q8 and Q6 having a relatively small conductance, the minute read voltage applied between the pair of data lines from the memory cell is amplified without undergoing an undesired level fluctuation. After the difference between the complementary data line potentials is increased by the amplifying operation of the sense amplifier SA, the timing pulses φpa2 and φp
When a2B is generated, that is, when the second stage is entered, MOSFETs Q9, Q having a relatively large conductance are generated.
7 is turned on. The amplifying operation of the sense amplifier SA is accelerated by turning on the MOSFETs Q9 and Q7. By thus performing the amplifying operation of the sense amplifier SA in two stages, high-speed data reading can be performed while preventing an undesired level change of the complementary data line.

【0015】メモリセルMCからデータ線DLに与えら
れた電位がプリチャージ電圧Vcc/2より高い(低
い)場合、センスアンプSAはその電位を電源電位Vc
c(接地電位Vss)とする。センスアンプSAの差動
的な増幅動作の結果、最終的に、相補データ線DL,D
LBの電位は、一方が電源電位Vcc,他方が接地電位
Vssとされる。
When the potential applied from memory cell MC to data line DL is higher (lower) than precharge voltage Vcc / 2, sense amplifier SA sets the potential to power supply potential Vc.
c (ground potential Vss). As a result of the differential amplification operation of the sense amplifier SA, finally, the complementary data lines DL, D
Regarding the potential of LB, one is the power supply potential Vcc and the other is the ground potential Vss.

【0016】ロウアドレスデコーダR−DCRは、1本
のワード線を選択するための選択信号を形成してメモリ
セルのアドレッシングを行う。すなわち、ロウアドレス
デコーダR−DCRは、後述するロウアドレスバッファ
R−ADBから供給される内部相補アドレス信号ax0
〜axn−1を解読し、ワード線選択タイミング信号φ
xに同期して所定のワード線の選択動作を行う。このワ
ード線選択タイミング信号φxは、後述するタイミング
発生回路TGにより形成される。
The row address decoder R-DCR forms a selection signal for selecting one word line to address a memory cell. That is, the row address decoder R-DCR has an internal complementary address signal ax0 supplied from a row address buffer R-ADB described later.
~ Axn-1 is decoded and word line selection timing signal φ
A predetermined word line selection operation is performed in synchronization with x. The word line selection timing signal φx is formed by the timing generation circuit TG described later.

【0017】ロウアドレスバッファR−ADBは、ロウ
アドレスストローブ信号RASBに基づいてタイミング
発生回路TGにおいて形成されたタイミング信号φar
に同期して外部端子A0〜Anから供給されたロウアド
レス信号AX0〜AXnを取り込む。アドレス信号AX
0〜AXnから、ロウアドレスバッファR−ADBは、
アドレス信号AX0〜AXnと同相の内部アドレス信号
と、逆相の内部アドレス信号(これらを合わせて内部相
補アドレス信号ax0〜axnという)とを形成する。
このことは、他の内部アドレス信号に関し、以下の説明
及び図面においても同様である。
The row address buffer R-ADB has a timing signal φar formed in the timing generation circuit TG based on the row address strobe signal RASB.
The row address signals AX0 to AXn supplied from the external terminals A0 to An are fetched in synchronism with. Address signal AX
From 0 to AXn, the row address buffer R-ADB is
An internal address signal having the same phase as the address signals AX0 to AXn and an internal address signal having the opposite phase (these are collectively referred to as internal complementary address signals ax0 to axn) are formed.
This also applies to other internal address signals in the following description and drawings.

【0018】カラムスイッチC−SWは、代表として示
されているMOSFETQ10,Q11のように、相補
データ線DL,DLBと共通相補データ線CD,CDB
を選択的に結合させる。これらのMOSFETQ10,
Q11のゲートには、カラムデコーダC−DCRからの
選択信号が供給される。
The column switch C-SW has complementary data lines DL and DLB and common complementary data lines CD and CDB like MOSFETs Q10 and Q11 shown as representative.
Are selectively combined. These MOSFET Q10,
A selection signal from the column decoder C-DCR is supplied to the gate of Q11.

【0019】カラムデコーダC−DCRは、1本のデー
タ線を選択するためのデータ線選択信号を形成し、カラ
ムスイッチCWに供給する。すなわち、カラムアドレス
デコーダC−DCRは、後述するカラムアドレスバッフ
ァC−ADBから供給される内部相補アドレス信号ay
0〜ayn−1を解読し、データ線選択タイミング信号
φyに同期して所定のデータ線の選択動作を行う。
The column decoder C-DCR forms a data line selection signal for selecting one data line and supplies it to the column switch CW. That is, the column address decoder C-DCR has an internal complementary address signal ay supplied from a column address buffer C-ADB described later.
0 to ayn-1 are decoded, and a predetermined data line selection operation is performed in synchronization with the data line selection timing signal φy.

【0020】カラムアドレスバッファC−ADBは、カ
ラムアドレスストローブ信号CASBに基づいてタイミ
ング発生回路TGにおいて形成されたタイミング信号φ
acに同期して外部端子A0〜Anから供給されたカラ
ムアドレス信号AY0〜AYnを取り込む。アドレス信
号AY0〜AYnから、カラムアドレスバッファC−A
DBは、内部相補アドレス信号ay0〜aynを形成す
る。
The column address buffer C-ADB has a timing signal φ generated in the timing generation circuit TG based on the column address strobe signal CASB.
The column address signals AY0 to AYn supplied from the external terminals A0 to An are fetched in synchronization with ac. The column address buffer CA from the address signals AY0 to AYn
DB forms internal complementary address signals ay0 to ayn.

【0021】この実施例では、特に制限されないが、メ
モリアレイM−ARYは、4つからなる。各メモリアレ
イは、それぞれが約1Mビットの記憶容量を持つように
される。したがって、この実施例のダイナミックRAM
は、全体で約4Mビットのような大記憶容量を持つよう
にされる。特に制限されないが、上記4つのメモリアレ
イに対応した4対の相補データ線が一組とされ、一つの
データ線選択信号に対応させられる。上記4対の相補デ
ータ線は、カラムスイッチ回路C−SWを介して、縦方
向に平行に走る4対の共通相補データ線CD0,CD
1,CD2及びCD3に結合される。なお、非反転共通
データ線CD0と反転共通データ線CD0Bとを合わせ
て共通相補データ線CD0と表す。
In this embodiment, although not particularly limited,
The moly array M-ARY consists of four. Each memory array
B) Each has a storage capacity of about 1 Mbit.
To be done. Therefore, the dynamic RAM of this embodiment is
Has a large storage capacity of about 4 Mbits in total.
To be Although not particularly limited, the above four memory arrays
4 pairs of complementary data lines corresponding to a are set as one set, and
It is made to correspond to the data line selection signal. The above four pairs of complementary data
The data line runs vertically through the column switch circuit C-SW.
4 pairs of common complementary data lines running parallel to each otherCD0,CD
1,CD2 andCDCombined with 3. In addition, non-inverted common
Align the data line CD0 with the inverted common data line CD0B
Common complementary data lineCDRepresented as 0.

【0022】相補アドレス信号ax0〜axn,ay0
〜aynの夫々の特定のビット,例えば最上位ビットの
信号axnとaynは、デコーダ回路DECに供給され
る。このデコーダ回路DECは、信号axnとaynか
ら後述する信号の入力回路と出力回路にそれぞれ設けら
れるマルチプレクサMPX1,MPX2に供給する選択
信号を形成する。
Complementary address signals ax0-axn, ay0
Each specific bit of ayn to ayn, for example, the most significant bit signals axn and ayn are supplied to the decoder circuit DEC. The decoder circuit DEC forms a selection signal supplied from the signals axn and ayn to multiplexers MPX1 and MPX2 provided in an input circuit and an output circuit of a signal described later.

【0023】上記共通相補データ線CD0〜CD3は、
それぞれメインアンプMA0〜MA3の入力端子に結合
される。これらのメインアンプMA0〜MA3は、タイ
ミング発生回路TGにより形成されたメインアンプ動作
タイミング信号(図示しないによって動作状態にされ共
通相補データ線CD0〜CD3の信号を増幅する。これ
らのメインアンプMA0〜MA3の相補出力信号は、上
記デコーダ回路DECにより形成される選択信号により
制御される出力選択回路であるマルチプレクサMPX1
を通してデータ出力回路DOBの一つの入力端子に伝え
られる。マルチプレクサMPX1は、テスト信号TEが
ロウレベルである通常動作において、デコーダ回路DE
Cの出力信号に従って、メインアンプMA0〜MA3の
出力信号を択一的に選択する。マルチプレクサMPX1
によって選択された1つの相補信号は、データ出力回路
DOBを構成する出力回路OCの入力端子(データ出力
回路DOBの一つの入力端子)に伝えられる。出力回路
OCタイミング信号φrwBにより動作状態にされ、そ
の入力信号を増幅して外部端子Doutへ送出させる。
これによって、1ビットの単位での読み出し動作が行わ
れる。タイミング信号φrwBは、タイミング制御回路
TCにおいて、ライトイネーブル信号WEBがハイレベ
ルにされる、読み出し動作のときに発生される。書き込
み動作において、出力回路OCつまりデータ出力回路D
OBの出力は、信号φrwBによりハイインピーダンス
状態にされる。
[0023] the common complementary data lines CD 0~ CD 3 is,
Each is coupled to the input terminals of main amplifiers MA0-MA3. These main amplifiers MA0~MA3 amplifies the signal of the common complementary data lines CD 0 to CD 3 is in the operating state by not the main amplifier operation timing signal (shown formed by the timing generator TG. These main amplifiers MA0 The complementary output signals of -MA3 are multiplexer MPX1 which is an output selection circuit controlled by the selection signal formed by the decoder circuit DEC.
Through one input terminal of the data output circuit DOB. The multiplexer MPX1 receives the decoder circuit DE during the normal operation in which the test signal TE is at the low level.
According to the output signal of C, the output signals of the main amplifiers MA0 to MA3 are alternatively selected. Multiplexer MPX1
The one complementary signal selected by is transmitted to the input terminal (one input terminal of the data output circuit DOB) of the output circuit OC forming the data output circuit DOB. The output circuit OC is activated by the timing signal φrwB, and the input signal is amplified and sent to the external terminal Dout.
As a result, the read operation is performed in units of 1 bit. The timing signal φrwB is generated in the timing control circuit TC during the read operation in which the write enable signal WEB is set to the high level. In the write operation, the output circuit OC, that is, the data output circuit D
The output of OB is brought to a high impedance state by the signal φrwB.

【0024】上記共通相補データ線CD0〜CD3は、
入力選択回路としてのマルチプレクサMPX2を介して
データ入力回路DIBの出力端子に結合される。このマ
ルチプレクサMPX2は、通常動作において、上記デコ
ーダ回路DECにより形成される選択信号により制御さ
れ、上記データ入力回路DIBの相補出力信号を択一的
に対応する共通相補データ線CD0〜CD3に伝える。
これによって1ビットの単位での書き込み動作が行なわ
れる。データ入力回路DIBは、タイミング信号φrw
により動作状態にされ、外部端子Dinから供給された
書き込み信号を上記マルチプレクサMPX2を介して対
応する一対の共通相補データ線CD0〜CD3に伝え
る。データ入力回路DIBは、タイミング信号φrwに
より動作状態にされ、外部端子Dinから供給された書
き込み信号を上記マルチプレクサMPX2を介して対応
する一対の共通相補データ線CD0〜CD3に伝える。
これによって、1ビットの単位での書き込み動作が行わ
れる。タイミング信号φrwは、ライトイネーブル信号
WEBがロウレベルの書き込み動作において、特に制限
されないが、上記メインアンプMAの動作タイミング信
号より遅れて、タイミング発生回路TGにおいて、発生
される。読み出し動作において、データ入力回路DIB
の出力は、信号φrwによりハイインピーダンス状態に
される。
[0024] the common complementary data lines CD 0~ CD 3 is,
It is coupled to the output terminal of the data input circuit DIB via the multiplexer MPX2 as the input selection circuit. The multiplexer MPX2 is in normal operation, it is controlled by a selection signal formed by the decoder circuit DEC, transmitted to the common complementary data lines CD 0 to CD 3 which alternatively corresponding complementary output signal of the data input circuit DIB .
As a result, the write operation is performed in units of 1 bit. The data input circuit DIB has a timing signal φrw.
By being operational, transmitting the write signal supplied from an external terminal Din to the pair of common complementary data lines CD 0 to CD 3 which corresponds via the multiplexer MPX2. The data input circuit DIB is activated by the timing signal φrw and transmits the write signal supplied from the external terminal Din to the corresponding pair of common complementary data lines CD 0 to CD 3 via the multiplexer MPX2.
As a result, the write operation is performed in units of 1 bit. The timing signal φrw is generated in the timing generation circuit TG after the operation timing signal of the main amplifier MA, although it is not particularly limited in the write operation in which the write enable signal WEB is low level. In the read operation, the data input circuit DIB
The output of is brought to a high impedance state by the signal φrw.

【0025】タイミング発生回路TGは、3つの外部制
御信号RASB(ロウアドレスストローブ信号),CA
SB(カラムアドレスストローブ信号)及びWEB(ラ
イトイネーブル信号)を受けて、メモリ動作に必要な上
記各種タイミング信号を形成して送出する。
The timing generation circuit TG has three external control signals RASB (row address strobe signal) and CA.
Upon receiving SB (column address strobe signal) and WEB (write enable signal), the above various timing signals necessary for the memory operation are formed and transmitted.

【0026】この実施例では、上記のような大記憶容量
からなるダイナミックRAMのテスト時間を短縮化する
ため、テスト用回路が内蔵される。
In this embodiment, a test circuit is incorporated in order to shorten the test time of the dynamic RAM having a large storage capacity as described above.

【0027】データ入力側のテスト回路は、この実施例
では、マルチプレクサMPX2に含まれる。テスト信号
TEがハイレベルのテスト期間又はテスト動作におい
て、テスト回路は、マルチプレクサMPX2を全て選択
状態にして外部端子Dinから供給される書き込み信号
を上記共通相補データ線CD0〜CD3に伝える。これ
によって、上記メモリアレイM−ARYの選択状態にさ
れた4つのメモリセルには、同じ信号が同時に書き込ま
れる。すなわち、テストモードのときには、見かけ上4
ビットの単位で書き込みが行われる。
The test circuit on the data input side is included in the multiplexer MPX2 in this embodiment. In the test period or test operation of the test signal TE is at a high level, the test circuit conveys a write signal supplied from an external terminal Din to all selected multiplexer MPX2 to the common complementary data lines CD 0 to CD 3. As a result, the same signal is simultaneously written in the four memory cells in the selected state of the memory array M-ARY. That is, in the test mode, it is apparently 4
Writing is done in bit units.

【0028】このテスト回路は、例えば、マルチプレク
サMPX2の各単位回路に並列に設けられた、テスト信
号TEのハイレベルで導通するスイッチ回路(例えばM
OSFET)であってもよい。また、テストモードにお
いて、マルチプレクサMPX2の各単位回路は非動作状
態とされてよい。
This test circuit is, for example, a switch circuit (for example, M, which is provided in parallel with each unit circuit of the multiplexer MPX2 and which conducts at a high level of the test signal TE).
OSFET). Moreover, in the test mode, each unit circuit of the multiplexer MPX2 may be in a non-operating state.

【0029】データ出力側のテスト回路は、マルチプレ
クサMPX1及びデータ出力回路DOBに含まれる。テ
スト信号TEがハイレベルのテスト期間又はテスト動作
において、マルチプレクサMPX1のテスト回路はマル
チプレクサMPX1を全て選択状態にしてメインアンプ
MA0〜MA3の出力信号を判定回路JCに伝える。
The test circuit on the data output side is included in the multiplexer MPX1 and the data output circuit DOB. In the test period or the test operation in which the test signal TE is at the high level, the test circuit of the multiplexer MPX1 sets all the multiplexer MPX1 to the selected state and transmits the output signals of the main amplifiers MA0 to MA3 to the determination circuit JC.

【0030】このテスト回路は、例えば、マルチプレク
サMPX1の各単位回路に並列に設けられた、テスト信
号TEのハイレベルで導通するスイッチ回路(例えばM
OSFET)であってもよい。また、テストモードにお
いて、マルチプレクサMPX1の各単位回路は非動作状
態とされ、マルチプレクサMPX1の出力回路OCへの
出力はハイインピーダンス状態とされる。
This test circuit is, for example, a switch circuit (for example, M, which is provided in parallel with each unit circuit of the multiplexer MPX1 and which conducts at a high level of the test signal TE).
OSFET). In the test mode, each unit circuit of the multiplexer MPX1 is in a non-operating state, and the output of the multiplexer MPX1 to the output circuit OC is in a high impedance state.

【0031】判定回路JCは、データ出力回路DOCに
含まれるテスト回路であり、データ出力回路DOCを構
成する。判定回路JCは、テストモードにおいてテスト
信号TEにより動作状態とされ、特に制限されないが、
上記各メインアンプMA0ないしMA3の出力信号を受
けて、その一致/不一致を検出し(判定し)、検出結果
に応じた出力信号を形成して出力回路OCを通して外部
端子Doutへ送出する。これによって、見かけ上4ビ
ットの単位での読み出し動作を行うことができる。
The judgment circuit JC is a test circuit included in the data output circuit DOC and constitutes the data output circuit DOC. The determination circuit JC is activated by the test signal TE in the test mode and is not particularly limited.
Receiving the output signals of the respective main amplifiers MA0 to MA3, detecting (determining) the coincidence / non-coincidence thereof, forming an output signal according to the detection result and transmitting the output signal to the external terminal Dout through the output circuit OC. As a result, the read operation can be performed in units of 4 bits.

【0032】特に制限されないが、判定回路JCは、排
他的OR(又はNOR)回路によって構成される。メイ
ンアンプMA0とMA1の出力及びメインアンプMA2
とMA3の出力が、夫々、第1及び第2の排他的OR回
路において比較され、さらに、第1及び第2排他的OR
回路の出力が第3の排他的OR回路において比較され
る。判定回路JCは、第3の排他的OR回路の出力に基
づいた出力信号を、出力回路OCに送出する。これによ
り、出力回路OCは、メインアンプMA0〜MA3から
の4ビットの読み出し信号がハイレベル又はロウレベル
で一致したなら、ハイレベル又はロウレベルの出力信号
を形成する。上記4ビットからなる読み出し信号のう
ち、1ビットでも不一致のものがあると、出力端子Do
utをハイインピーダンスにする。
Although not particularly limited, the judgment circuit JC is composed of an exclusive OR (or NOR) circuit. Outputs of main amplifiers MA0 and MA1 and main amplifier MA2
And the outputs of MA3 are compared in the first and second exclusive OR circuits, respectively, and further the first and second exclusive OR circuits are provided.
The outputs of the circuits are compared in a third exclusive OR circuit. The determination circuit JC sends an output signal based on the output of the third exclusive OR circuit to the output circuit OC. As a result, the output circuit OC forms a high-level or low-level output signal if the 4-bit read signals from the main amplifiers MA0 to MA3 match at high level or low level. If even one bit of the read signal consisting of 4 bits does not match, the output terminal Do
Set ut to high impedance.

【0033】なお、上記4ビットのメモリセルの全てに
おいて、その蓄積データを反転するような不良又はエラ
ーが生じる場合、不良又はエラーが無いものとして、ハ
イレベル又はロウレベルが出力される。このため、テス
ターに書き込みデータを期待値として保持し、期待値と
読み出し信号とを比較することが望ましい。
When a defect or an error that inverts the stored data occurs in all the 4-bit memory cells, it is determined that there is no defect or error, and a high level or a low level is output. Therefore, it is desirable to hold the write data as an expected value in the tester and compare the expected value with the read signal.

【0034】上記のようなテスト回路の起動と解除は、
タイミング発生回路TGに含まれる動作モード識別出力
により、セット/リセットが行われるラッチ回路FFの
出力から得られるテスト信号TEにより制御される。例
えば、テスト信号TEがハイレベルなら、上記各テスト
回路が動作状態にされ、上記テスト信号TEがロウレベ
ルなら上記各テスト回路が非動作状態にされる。これに
よってテストモードとノーマルモードの切り換えが行わ
れる。
The activation and deactivation of the test circuit as described above are
The operation mode identification output included in the timing generation circuit TG is controlled by the test signal TE obtained from the output of the latch circuit FF which is set / reset. For example, if the test signal TE is at high level, each of the test circuits is activated, and if the test signal TE is at low level, each of the test circuits is deactivated. As a result, the test mode and the normal mode are switched.

【0035】上記テストモードの起動/解除を図1に示
したタイミング図を参照して次に説明する。
The activation / cancellation of the test mode will be described below with reference to the timing chart shown in FIG.

【0036】ロウアドレスストローブ信号RASBがハ
イレベルからロウレベルに立ち下がるタイミングにおい
て、カラムアドレスストローブ信号CASBとライトイ
ネーブル信号WEBをロウレベルにする。タイミング発
生回路TGは、これを識別してハイレベル信号をラッチ
回路FFに供給する。これにより、ラッチ回路FFのセ
ットが行われ、テスト信号TEがハイレベルにされる。
すなわち、このメモリサイクルTESTではテストモー
ドの設定のみが行われる。
At the timing when the row address strobe signal RASB falls from the high level to the low level, the column address strobe signal CASB and the write enable signal WEB are set to the low level. The timing generation circuit TG identifies this and supplies a high level signal to the latch circuit FF. As a result, the latch circuit FF is set and the test signal TE is set to the high level.
That is, only the test mode is set in this memory cycle TEST.

【0037】例えば、ダイナミックRAMがCASビフ
ォワーRASリフレッシュ方式の自動リフレッシュ回路
を内蔵する場合、上記アドレスストローブ信号RAS
B,CASBとの関係から、上記テストモードの設定と
並行してリフレッシュ動作が行なわれる。このようなテ
ストモードの設定とリフレッシュモードとが並行して行
われることは、上記ライトイネーブル信号WEBのロウ
レベルによって、上記リフレッシュモードを禁止するこ
とによって避けてもよい。
For example, when the dynamic RAM has an internal refresh circuit of CAS before RAS refresh system, the address strobe signal RAS is used.
Due to the relationship between B and CASB, the refresh operation is performed in parallel with the setting of the test mode. The parallel setting of the test mode and the refresh mode may be avoided by prohibiting the refresh mode by the low level of the write enable signal WEB.

【0038】実際のテストのための書き込み/読み出し
動作のため、信号RASB,CASBを一旦ハイレベル
にしてダイナミックRAMをリセット状態にする。この
後、ノーマルモード(通常の読み出し/書き込み動作)
が行われる。ロウアドレスストローブ信号RASBをロ
ウレベルにしてロウアドレス信号AX0〜AXnが取り
込まれ、この後カラムアドレスストローブ信号CASB
をロウレベルにしカラムアドレス信号AYが取り込まれ
る。信号φarに遅れて、信号φx,φpa(φpa1
及びφpa1B,φpa2及びφpa2B)及びメイン
アンプの動作信号が、順に、所定のタイミングで発生さ
れる。一方、信号φacに遅れて、信号φyが発生され
る。これにより、アドレス信号ax0〜axn−1とa
y0〜ayn−1に対応する4つのメモリセルが、共通
データ線CD0〜CD3に接続される。
For the write / read operation for the actual test, the signals RASB and CASB are once set to the high level to put the dynamic RAM in the reset state. After this, normal mode (normal read / write operation)
Is done. The row address strobe signal RASB is set to the low level to capture the row address signals AX0 to AXn, and then the column address strobe signal CASB.
To low level and the column address signal AY is taken in. After the signal φar, the signals φx and φpa (φpa1
And φpa1B, φpa2 and φpa2B) and the operation signal of the main amplifier are sequentially generated at a predetermined timing. On the other hand, the signal φy is generated after the signal φac. As a result, the address signals ax0 to axn-1 and a
four memory cells corresponding to y0~ayn-1 is connected to the common data line CD 0 to CD 3.

【0039】このとき、テストデータの書き込みのた
め、ライトイネーブル信号WEBが、図示のタイミング
でロウレベルとされる。これにより発生された信号φr
w及びφrwBが、データ入力回路DIBを動作状態と
し、出力回路OCを非動作状態とする。テスト信号TE
がハイレベルなので、外部端子Dinに供給された信号
に応じた相補信号が、データ入力回路DIBから、全選
択されたマルチプレクサMPX2を通して、共通データ
CD0〜CD3に伝えられる。これにより、1つのデ
ータが4つのメモリセルに書き込まれる。つまり、見か
け上、4ビット単位での書き込みが行われる。なお、メ
インアンプの動作による相補信号の電位差は、例えば約
200mVであり、データ入力回路DIBによるそれは
約5Vと大きい。従って、メインアンプの動作に係ら
ず、外部端子Dinのデータがメモリセルに書き込まれ
る。
At this time, since the test data is written, the write enable signal WEB is set to the low level at the timing shown. The signal φr generated by this
w and φrwB activate the data input circuit DIB and deactivate the output circuit OC. Test signal TE
There so high, complementary signal corresponding to the signal supplied to the external terminal Din is, from the data input circuit DIB, through multiplexer MPX2 which is all selected, is transmitted to the common data line CD 0 to CD 3. Thereby, one data is written in four memory cells. That is, apparently, writing is performed in units of 4 bits. The potential difference of the complementary signals due to the operation of the main amplifier is, for example, about 200 mV, and that of the data input circuit DIB is as large as about 5V. Therefore, the data of the external terminal Din is written in the memory cell regardless of the operation of the main amplifier.

【0040】次に、メモリセルに書き込んだテストデー
タが読み出される。
Next, the test data written in the memory cell is read.

【0041】前述したと同様に、ノーマルモードによ
り、アドレス信号ax0〜axn−1とay0〜ayn
−1に対応する4つのメモリセルが、共通データ線CD
0〜CD3に接続される。
As described above, the address signals ax0 to axn-1 and ay0 to ayn are set in the normal mode.
The four memory cells corresponding to -1 are common data lines CD
0 to CD3 are connected.

【0042】このとき、テストデータの読み出しのた
め、ライトイネーブル信号WEBが、図1に点線で示す
ように、ハイレベルとされる。これにより発生された信
号φrw及びφrwBが、データ入力回路DIBを非動
作状態とし、出力回路OCを動作状態とする。テスト信
号TEがハイレベルなので、マルチプレクサMPX1
は、メインアンプMA0〜MA3の出力信号を判定回路
JCに伝え、かつ択一的な出力をハイインピーダンス状
態とする。テスト信号TEのハイレベルにより、判定回
路は4ビットの信号が一致しているか否かを判定する。
これに応じて、出力回路OCは、外部端子Doutをハ
イレベル又はロウレベル又はハイインピーダンス状態と
する。これにより、見かけ上、4ビット単位での読み出
しが行われる。また、選択された4つのメモリセルにお
いて、不良ビットが存在するか否かを知ることができ
る。
At this time, the write enable signal WEB is set to the high level as shown by the dotted line in FIG. 1 for reading the test data. The signals φrw and φrwB thus generated make the data input circuit DIB inactive and the output circuit OC active. Since the test signal TE is high level, the multiplexer MPX1
Transmits the output signals of the main amplifiers MA0 to MA3 to the judgment circuit JC and puts the alternative output in the high impedance state. Based on the high level of the test signal TE, the determination circuit determines whether the 4-bit signals match.
In response to this, the output circuit OC sets the external terminal Dout to a high level, a low level, or a high impedance state. As a result, it is apparent that reading is performed in units of 4 bits. Further, it is possible to know whether or not there are defective bits in the selected four memory cells.

【0043】テスト信号TEをハイレベルにした状態で
のメモリサイクルTESTは、特に制限されないが、テ
スト信号TEをロウレベルにすることなく、繰返し行わ
れる。4ビット単位でテストデータの書き込みの後、読
み出しを繰返し行ってもよい。又、全ビット又は1つの
メモリアレイの全ビットにテストデータを書き込んだ
後、これらのビットのデータの読み出しを行ってもよ
い。
The memory cycle TEST with the test signal TE at the high level is not particularly limited, but is repeatedly performed without setting the test signal TE at the low level. After writing the test data in units of 4 bits, reading may be repeated. Further, after writing test data to all bits or all bits of one memory array, data of these bits may be read.

【0044】テストの終了後、テストモードが解除され
る。このため、ロウアドレスストローブ信号RASBが
ハイレベルからロウレベルに立ち下がるタイミングにお
いて、カラムアドレスストローブ信号CASBとライト
イネーブル信号WEBを夫々ロウレベルとハイレベルに
する。タイミング発生回路TGは、これを識別してロウ
レベルの信号をラッチ回路FFに供給する。これによ
り、ラッチ回路FFのリセットが行われ、テスト信号T
Eがロウレベルにされる。すなわち、このメモリサイク
ルRESETではテストモードの解除のみが行われる。
After the test is completed, the test mode is released. Therefore, at the timing when the row address strobe signal RASB falls from the high level to the low level, the column address strobe signal CASB and the write enable signal WEB are set to the low level and the high level, respectively. The timing generation circuit TG identifies this and supplies a low level signal to the latch circuit FF. As a result, the latch circuit FF is reset and the test signal T
E is set to low level. That is, in this memory cycle RESET, only the test mode is released.

【0045】例えば、ダイナミックRAMがCASビフ
ォワーRASリフレッシュ方式の自動リフレッシュ回路
を内蔵する場合、上記アドレスストローブ信号RASB
とCASBとの関係から、上記テストモードの解除と並
行して、リフレッシュ動作が行われる。
For example, when the dynamic RAM has an internal refresh circuit of the CAS before RAS refresh system, the address strobe signal RASB is used.
And CASB, the refresh operation is performed in parallel with the release of the test mode.

【0046】これにより、テスト信号TEをロウレベル
にできるから、以後の動作をノーマルモードとすること
ができる。このため、信号RASB,CASBがハイレ
ベルとされ、ダイナミックRAMがリセットされる。
As a result, the test signal TE can be set to the low level, and the subsequent operation can be set to the normal mode. Therefore, the signals RASB and CASB are set to the high level, and the dynamic RAM is reset.

【0047】上記の実施例から得られる効果は、下記の
通りである。
The effects obtained from the above embodiment are as follows.

【0048】(1)ロウアドレスストローブ信号とカラ
ムアドレスストローブ信号及びライトイネーブル信号の
ノーマルモードにない組み合わせによって、外部制御信
号数を増加させること無くテストモードの起動/解除を
行わせることができる。
(1) By combining the row address strobe signal, the column address strobe signal, and the write enable signal which are not in the normal mode, the test mode can be activated / released without increasing the number of external control signals.

【0049】(2)上記(1)により、約4Mビットの
ような大記憶容量を持つダイナミックRAMを18ピン
のパッケージに収めることができる。これによって、テ
スト機能を付加しつつ1Mビットの記憶容量を持つダイ
ナミックRAMとの整合性を図ることができる。
(2) By the above (1), a dynamic RAM having a large storage capacity of about 4 Mbits can be accommodated in an 18-pin package. As a result, it is possible to add a test function and achieve consistency with a dynamic RAM having a storage capacity of 1 Mbit.

【0050】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、この発明は上記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.

【0051】例えば、テストモードの設定と解除のため
に、信号RASB,CASB及びWEBの組み合わせ
に、さらにアドレス信号をつけ加えることができる。
For example, an address signal can be added to the combination of the signals RASB, CASB and WEB to set and release the test mode.

【0052】図2に点線で示すように、ラッチ回路FF
に特定のアドレス入力用外部端子Aiから信号aiが供
給される。タイミング発生回路TGは、ロウアドレスス
トローブ信号RASBがハイレベルからロウレベルに立
ち下がるタイミングにおいて、カラムアドレスストロー
ブ信号CASBとライトイネーブル信号WEBをロウレ
ベルに応じて1ショットパルスを送出する。ラッチ回路
FFは、この1ショットパルスに応じて、そのときの特
定のアドレス端子からの信号の取り込みを行う。例え
ば、図3に示すように、アドレス端子Aiから供給され
る信号がハイレベルなら、上記テストモードの設定を行
う、つまり、テスト信号TEをハイレベルとする。信号
aiは、特に制限されないが、ロウアドレスバッファR
−ADBから供給される。
As indicated by the dotted line in FIG. 2, the latch circuit FF
Is supplied with a signal ai from a specific address input external terminal Ai. The timing generation circuit TG sends a one-shot pulse for the column address strobe signal CASB and the write enable signal WEB according to the low level at the timing when the row address strobe signal RASB falls from the high level to the low level. The latch circuit FF takes in a signal from a specific address terminal at that time in response to the one-shot pulse. For example, as shown in FIG. 3, when the signal supplied from the address terminal Ai is at high level, the test mode is set, that is, the test signal TE is set at high level. The signal ai is not particularly limited, but the row address buffer R
-Supplied from ADB.

【0053】上記テストモード設定のためのメモリサイ
クルSET終了後、テストサイクルTESTが繰返され
る。
After the end of the memory cycle SET for setting the test mode, the test cycle TEST is repeated.

【0054】テスト終了後、テストモードの解除のため
のメモリサイクルRESETが、次のように行われる。
タイミング発生回路TGは、図3に示すように、メモリ
サイクルSETと同じ信号RASB,CASB,WEB
の組み合わせに応じて1ショットパルスを送出する。ラ
ッチ回路FFは、この1ショットパルスに応じて、アド
レス端子Aiのロウレベル信号を取り込む。これによ
り、テスト信号TEがロウレベルとされる。つまりテス
トモードが解除される。
After the test is completed, the memory cycle RESET for releasing the test mode is performed as follows.
The timing generation circuit TG, as shown in FIG. 3, has the same signals RASB, CASB, WEB as the memory cycle SET.
One shot pulse is transmitted according to the combination of. The latch circuit FF fetches the low level signal of the address terminal Ai in response to this one shot pulse. As a result, the test signal TE is set to the low level. That is, the test mode is released.

【0055】テストモードの起動/解除の他、例えば、
データ出力回路DOBにおいて、不一致の出力信号をハ
イインピーダンスと、中間レベル(電源電圧Vccと回
路の接地電位Vssの中間の電位、1/2Vcc)の2
つの出力機能を持たせておいて、それを選択するもので
あってもよい。上記出力機能の選択機能を付加すること
によって、使用するテスターに応じて不一致出力信号を
切り換えることができる。例えば、ダイナミックRAM
がメモリボードに実装状態にされた場合には、上記出力
端子Doutがボード上のデータバスによってワイヤー
ドオア構成で接続される。このデータバスには、前の動
作サイクルでの信号が残っていることから、上記出力ハ
イインピーダンスによって不一致出力を送出したのでは
その識別が難しくなる。そこで、上記メモリボード上で
のダイナミックRAMのテストでは、上記中間レベル出
力に切り換えるようにすればよい。
In addition to starting / releasing the test mode, for example,
In the data output circuit DOB, the output signals that do not coincide with each other have a high impedance and an intermediate level (a potential intermediate between the power supply voltage Vcc and the ground potential Vss of the circuit, 1/2 Vcc).
One output function may be provided and selected. By adding the selection function of the above output functions, it is possible to switch the mismatch output signals according to the tester used. For example, dynamic RAM
Is mounted on a memory board, the output terminal Dout is connected by a data bus on the board in a wired OR configuration. Since the signal in the previous operation cycle remains on this data bus, it is difficult to identify if the mismatch output is sent by the output high impedance. Therefore, in the test of the dynamic RAM on the memory board, the intermediate level output may be switched.

【0056】出力機能の選択は、アドレス信号を用いて
行うことができる。すなわち、図3のメモリサイクルS
ETにおいて、点線で示すように、外部端子Ai−1に
与えられた信号(アドレス信号)が、ラッチ回路(図示
せず)にラッチされる。外部端子Ai−1の信号は、メ
モリサイクルSET及びRESETにおいて、外部端子
Aiの信号がハイレベルであるときのみ、有効とされ
る。このラッチ回路の出力がハイレベル及びロウレベル
のとき、出力回路OCは、不一致信号を夫々、ハイイン
ピーダンス及び中間レベルとする。
The output function can be selected by using the address signal. That is, the memory cycle S of FIG.
At ET, as shown by the dotted line, the signal (address signal) given to the external terminal Ai-1 is latched by the latch circuit (not shown). The signal of the external terminal Ai-1 is valid only when the signal of the external terminal Ai is at the high level in the memory cycles SET and RESET. When the output of the latch circuit is high level and low level, the output circuit OC sets the mismatch signal to high impedance and intermediate level, respectively.

【0057】データ出力回路DOBの出力機能の選択
は、出力回路OCの最終段の出力部が、電源電圧Vcc
及び接地電位Vssと外部端子Doutとの間に接続さ
れた第1及び第2のNチャンネルMOSFETからなる
場合、次のようになる。
To select the output function of the data output circuit DOB, the output section at the final stage of the output circuit OC selects the power supply voltage Vcc.
And the first and second N-channel MOSFETs connected between the ground potential Vss and the external terminal Dout are as follows.

【0058】通常モードの出力の時、出力回路OC内の
第1回路により、第1と第2のMOSFETのゲートに
は相補信号が供給される。第1回路は、テスト信号TE
のハイレベル及びロウレベルに応じて、夫々、非動作状
態及び動作状態とされる。テストモードにおける一致信
号(ハイレベル又はロウレベル)の出力の時、出力回路
OC内の第2回路により、第1と第2のMOSFETの
ゲートには相補信号が供給される。一方、テストモード
の不一致出力のため、第3及び第4回路が出力回路OC
内に設けられる。第3回路は、不一致信号が入力された
場合、第1と第2のMOSFETのゲートに、ロウレベ
ル信号を供給する。これにより、2つの出力MOSFE
TがOFFし、外部端子Doutはハイインピーダンス
状態となる。第4回路は、不一致信号が入力された場
合、第1と第2のMOSFETのゲートにハイレベル信
号を供給する。これにより、2つの出力MOSFETが
ONし、外部端子Doutは、2つの出力MOSFET
のコンダクタンス(gm)に応じた電位、例えば1/2
Vcc電位となる。
At the time of output in the normal mode, the first circuit in the output circuit OC supplies complementary signals to the gates of the first and second MOSFETs. The first circuit is the test signal TE
Are set to a non-operating state and an operating state, respectively. When the coincidence signal (high level or low level) is output in the test mode, the second circuit in the output circuit OC supplies complementary signals to the gates of the first and second MOSFETs. On the other hand, since the test modes do not match each other, the third and fourth circuits output the output circuit OC.
It is provided inside. The third circuit supplies a low level signal to the gates of the first and second MOSFETs when the mismatch signal is input. This allows two output MOSFE
T is turned off, and the external terminal Dout enters a high impedance state. The fourth circuit supplies a high level signal to the gates of the first and second MOSFETs when the mismatch signal is input. As a result, the two output MOSFETs are turned on, and the external terminal Dout is connected to the two output MOSFETs.
Potential according to the conductance (gm) of, for example, 1/2
It becomes the Vcc potential.

【0059】実際は、第2と第3回路及び第2と第4回
路が、夫々1つの回路として、構成される。これらの回
路は、テスト信号TEがハイレベルのとき、外部端子A
i−1の信号に従って、いずれか一方が動作状態とされ
る。
In practice, the second and third circuits and the second and fourth circuits are each configured as one circuit. These circuits have external terminals A when the test signal TE is at high level.
According to the signal i-1, either one of them is brought into the operating state.

【0060】特に制限されないが、アドレス端子Aiは
アドレス信号の最上位ビットを供給する端子、例えば、
1MbitのDRAMでは端子A10が用いられる。つ
まり、端子Aiは、この実施例では、内部信号axnを
与える端子Anとされる。このようにすることにより、
チップの機能変更が容易になる。例えば、1Mbitの
DRAMチップが256kwords×4bitsの構
成である場合、端子A10は不要となる。この場合に本
発明を適用すれば、端子A10については特に変更の必
要なく、端子A10をモード指定のみの端子として用い
ることができる。このとき、端子A10をハイインピー
ダンス状態とし、ロウレベルのとき、中間レベルとす
る。
Although not particularly limited, the address terminal Ai is a terminal for supplying the most significant bit of the address signal, for example,
The terminal A10 is used in a 1 Mbit DRAM. That is, the terminal Ai is the terminal An that supplies the internal signal axn in this embodiment. By doing this,
It is easy to change the function of the chip. For example, when the DRAM chip of 1 Mbit has a configuration of 256 kwords × 4 bits, the terminal A10 becomes unnecessary. If the present invention is applied to this case, the terminal A10 can be used as a terminal only for mode designation without any particular change. At this time, the terminal A10 is in a high impedance state, and when it is at a low level, it is at an intermediate level.

【0061】出力機能は、端子Ai−1の信号に応じ、
以下のように選択されても良い。つまり、端子Ai−1
にハイレベルの信号が与えられたとき、ハイレベル,ロ
ウレベル及びハイインピーダンス(又は中間レベル)の
いずれか1つが外部端子Doutに供給される。ロウレ
ベルの信号が与えられたときには、一致信号としてハイ
レベルの信号を、不一致信号としてロウレベルの信号
を、外部端子Doutに供給する。
The output function depends on the signal at the terminal Ai-1.
It may be selected as follows. That is, the terminal Ai-1
When a high level signal is applied to the external terminal Dout, one of a high level, a low level and a high impedance (or an intermediate level) is supplied to the external terminal Dout. When a low-level signal is given, a high-level signal as a match signal and a low-level signal as a mismatch signal are supplied to the external terminal Dout.

【0062】ロウアドレスストローブ信号とカラムアド
レスストローブ信号及びライトイネーブル信号にアドレ
ス信号を組み合わせることによって、テストモードの起
動/解除を簡単にできるとともに、複数モードからなる
テスト機能を付加することができる。
By combining the address signal with the row address strobe signal, the column address strobe signal, and the write enable signal, it is possible to easily activate / cancel the test mode and add a test function having a plurality of modes.

【0063】アドレス端子Ai,Ai−1の代わりに、
入力端子Din又は出力端子Doutを用いても良い。
Instead of the address terminals Ai and Ai-1,
The input terminal Din or the output terminal Dout may be used.

【0064】テストモードの解除は、1つのメモリサイ
クルにおいて、ロウアドレスストローブ信号RASBの
みがロウレベルとされることによって、行っても良い。
The test mode may be released by setting only the row address strobe signal RASB to the low level in one memory cycle.

【0065】上記ラッチ回路FFは、特に制限されない
が、、マスター/スレーブフリップフロップ回路を用い
た2進のカウンタ回路により構成しても良い。ロウアド
レスストローブ信号RASBがハイレベルからロウレベ
ルに立ち下がるタイミングにおいて、カラムアドレスス
トローブ信号CASBとライトイネーブル信号WEBを
ロウレベルにしてタイミング発生回路TGから1ショッ
トパルスを供給することにより、カウンタ回路が歩進さ
れる。カウンタ回路の出力によって、テストモード又は
ノーマルモードが選択される。この場合、ダイナミック
RAMの電源投入時に、テストモード又はノーマルモー
ドのいずれか一方となるように、カウンタ回路が構成さ
れることが望ましい。
The latch circuit FF is not particularly limited, but may be composed of a binary counter circuit using a master / slave flip-flop circuit. At the timing when the row address strobe signal RASB falls from the high level to the low level, the column address strobe signal CASB and the write enable signal WEB are set to the low level and the timing generating circuit TG supplies one shot pulse, whereby the counter circuit is stepped up. It The test mode or the normal mode is selected according to the output of the counter circuit. In this case, it is desirable that the counter circuit is configured so as to be in either the test mode or the normal mode when the power of the dynamic RAM is turned on.

【0066】この発明が適用されるダイナミックRAM
は、カラムアドレスストローブ信号に同期して変化され
る信号により、上記メモリアレイから複数ビットの単位
でパラレルに読み出した信号をシリアルに出力させると
いうニブルモード機能を持つものであってもよい。この
場合、図2のデコーダ回路DECに供給されるアドレス
信号をシフトレジスタ又はアドレスカウンタ回路により
変化させれば良い。また、メモリアレイM−ARYの具
体的構成は、そのワード線及び/又はデータ線に結合さ
れるメモリセルの数を減らして高速化とメモリセルから
の読み出し信号のレベルマージンを確保する等のため
に、複数のメモリマットから構成されるものであっても
良い。
Dynamic RAM to which the present invention is applied
May have a nibble mode function of serially outputting signals read in parallel from the memory array in units of a plurality of bits by a signal changed in synchronization with the column address strobe signal. In this case, the address signal supplied to the decoder circuit DEC of FIG. 2 may be changed by the shift register or the address counter circuit. Further, the specific configuration of the memory array M-ARY is to reduce the number of memory cells coupled to the word line and / or data line to increase the speed and to secure a level margin of a read signal from the memory cell. Further, it may be composed of a plurality of memory mats.

【0067】また、メモリアレイのアドレッシングによ
って選択されるメモリセルの数、言い換えるならば、共
通相補データ線の数は、上記4ビット分の他8ビット,
16ビット等のように複数ビットであれば何であっても
良い。さらに、この発明を約1Mビットや256kビッ
トの記憶容量を持つダイナミックRAMに適用して、空
きピンが生じた場合に、それを他の動作モードに使用す
るものであっても良い。
The number of memory cells selected by the addressing of the memory array, in other words, the number of common complementary data lines is 8 bits in addition to the above 4 bits.
Any number of bits may be used, such as 16 bits. Furthermore, the present invention may be applied to a dynamic RAM having a storage capacity of about 1 Mbits or 256 kbits, and when a vacant pin occurs, it may be used for another operation mode.

【0068】この発明は、テスト回路を内蔵するダイナ
ミックRAMに広く利用できる。
The present invention can be widely used for a dynamic RAM containing a test circuit.

【0069】[0069]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。すなわち、ロウアドレスストローブ
信号とカラムアドレスストローブ信号及びライトイネー
ブル信号のノーマルモードにない組合せによって、外部
制御信号数を増加させること無くテストモードの起動/
解除を行わせることができるものとなる。
The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows. That is, the combination of the row address strobe signal, the column address strobe signal, and the write enable signal, which is not in the normal mode, is used to activate / deactivate the test mode without increasing the number of external control signals.
It will be possible to cancel.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例を説明するためのタイミン
グ図。
FIG. 1 is a timing chart for explaining an embodiment of the present invention.

【図2】この発明が適用されたダイナミックRAMの一
実施例を示すブロック図。
FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment of a dynamic RAM to which the present invention is applied.

【図3】この発明の他の実施例を説明するためのタイミ
ング図。
FIG. 3 is a timing chart for explaining another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

SA・・・センスアンプ、M−ARY・・・メモリアレイ、C
−SW・・・カラムスイッチ回路、R−DCR・・・ロウアド
レスデコーダ、C−DCR・・・カラムアドレスデコー
ダ、MA0〜MA3・・・メインアンプ、MPX1,2・・・
マルチプレクサ、DIB・・・データ入力回路、DOB・・・
データ出力回路、TG・・・タイミング発生回路、FF・・・
ラッチ回路、TC・・・テスト制御回路、C−ADB・・・カ
ラムアドレスバッファ、R−ADB・・・ロウアドレスバ
ッファ、JC・・・判定回路、DEC・・・デコーダ
SA ... sense amplifier, M-ARY ... memory array, C
-SW ... Column switch circuit, R-DCR ... Row address decoder, C-DCR ... Column address decoder, MA0-MA3 ... Main amplifier, MPX1, 2 ...
Multiplexer, DIB ... Data input circuit, DOB ...
Data output circuit, TG ... Timing generation circuit, FF ...
Latch circuit, TC ... Test control circuit, C-ADB ... Column address buffer, R-ADB ... Row address buffer, JC ... Judgment circuit, DEC ... Decoder

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G11C 11/401 G11C 11/34 371 E (72)発明者 木村 勝高 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location G11C 11/401 G11C 11/34 371 E (72) Inventor Katsutaka Kimura 1-chome, Higashi Koikeku, Kokubunji, Tokyo No. 280, Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ロウアドレスストローブ信号を受ける第1
外部端子と、カラムアドレスストローブ信号を受ける第
2外部端子と、ライトイネーブル信号を受ける第3外部
端子とをもつアドレスマルチプレクスされたダイナミッ
クRAMのテスト方法において、 上記第2及び第3外部端子に論理ロウレベルの信号を供
給している時に、上記第1外部端子に供給する信号を論
理ハイレベルから論理ロウレベルに変化させることに応
じて通常動作モードからテストモードに入るステップ
と、 上記テストモードに入った状態で上記第1外部端子に供
給する信号を論理ハイレベルから論理ロウレベルに変化
させることに応じてロウデコーダに供給されるロウアド
レス信号と、上記第2外部端子に供給する信号を論理ハ
イレベルから論理ロウレベルに変化させることに応じて
カラムデコーダに供給されるカラムアドレス信号とに基
づいて複数のテストされるメモリセルを選択し、該選択
された複数のメモリセルに互いに同一の論理値をもつデ
ータを書き込むステップと、 上記テストモードに入った状態で上記第1外部端子に供
給する信号を論理ハイレベルから論理ロウレベルに変化
させることに応じてロウデコーダに供給されるロウアド
レス信号と、上記第2外部端子に供給する信号を論理ハ
イレベルから論理ロウレベルに変化させることに応じて
カラムデコーダに供給されるカラムアドレス信号とに基
づいて複数のテストされるメモリセルを選択し、該選択
された上記複数のメモリセルからそれぞれデータを読み
出し、該読み出されたデータが一致しているかどうかを
検証するステップと、 検証結果を上記外部端子へ出力するステップとを含むダ
イナミックRAMのテスト方法であって、 上記第2外部端子に論理ロウレベルの信号を供給し、か
つ上記第3外部端子に論理ハイレベルの信号を供給して
いるときに、上記第1外部端子に供給する信号を論理ハ
イレベルから論理ロウレベルに変化させることに応じて
上記通常動作モードに戻るステップを含むことを特徴と
するダイナミックRAMのテスト方法。
1. A first for receiving a row address strobe signal.
In a method of testing an address multiplexed dynamic RAM having an external terminal, a second external terminal for receiving a column address strobe signal, and a third external terminal for receiving a write enable signal, a logic is provided for the second and third external terminals. The step of entering the normal operation mode from the test mode in response to changing the signal supplied to the first external terminal from the logic high level to the logic low level while supplying the low level signal, and entering the test mode In this state, the row address signal supplied to the row decoder in response to changing the signal supplied to the first external terminal from the logical high level to the logical low level, and the signal supplied to the second external terminal from the logical high level. Columns supplied to the column decoder in response to changing to logical low level Selecting a plurality of memory cells to be tested based on the address signal and writing data having the same logical value to the selected plurality of memory cells; and the first mode in the test mode. In response to changing the signal supplied to the external terminal from the logical high level to the logical low level, the row address signal supplied to the row decoder and the signal supplied to the second external terminal are changed from the logical high level to the logical low level. Accordingly, a plurality of memory cells to be tested are selected based on the column address signal supplied to the column decoder, and data is read from each of the selected plurality of memory cells. A die including the steps of verifying whether they match and outputting the verification result to the external terminal. A method for testing a Mick RAM, comprising: supplying a logic low level signal to the second external terminal and a logic high level signal to the third external terminal while supplying the logic external high level signal to the first external terminal. A method of testing a dynamic RAM, comprising the step of returning to the normal operation mode in response to changing a signal to be applied from a logic high level to a logic low level.
【請求項2】ロウアドレスストローブ信号を受ける第1
外部端子と、カラムアドレスストローブ信号を受ける第
2外部端子と、ライトイネーブル信号を受ける第3外部
端子とをもつアドレスマルチプレクスされたダイナミッ
クRAMのテスト方法において、 上記第2及び第3外部端子に論理ロウレベルの信号を供
給している時に、上記第1外部端子に供給する信号を論
理ハイレベルから論理ロウレベルに変化させることに応
じて通常動作モードからテストモードに入るステップ
と、 上記テストモードに入った状態で上記第1外部端子に供
給する信号を論理ハイレベルから論理ロウレベルに変化
させることに応じてロウデコーダに供給されるロウアド
レス信号と、上記第2外部端子に供給する信号を論理ハ
イレベルから論理ロウレベルに変化させることに応じて
カラムデコーダに供給されるカラムアドレス信号とに基
づいて複数のテストされるメモリセルを選択し、該選択
された複数のメモリセルに互いに同一の論理値をもつデ
ータを書き込むステップと、 上記テストモードに入った状態で上記第1外部端子に供
給する信号を論理ハイレベルから論理ロウレベルに変化
させることに応じてロウデコーダに供給されるロウアド
レス信号と、上記第2外部端子に供給する信号を論理ハ
イレベルから論理ロウレベルに変化させることに応じて
カラムデコーダに供給されるカラムアドレス信号とに基
づいて複数のテストされるメモリセルを選択し、該選択
された上記複数のメモリセルからそれぞれデータを読み
出し、該読み出されたデータが一致しているかどうかを
検証するステップと、 検証結果を上記外部端子へ出力するステップとを含むダ
イナミックRAMのテスト方法であって、 上記第2及び第3外部端子に論理ハイレベルの信号を供
給しているときに、上記第1外部端子に供給する信号を
論理ハイレベルから論理ロウレベルに変化させることに
応じて上記通常動作モードに戻るステップを含むことを
特徴とするダイナミックRAMのテスト方法。
2. A first for receiving a row address strobe signal.
In a method of testing an address multiplexed dynamic RAM having an external terminal, a second external terminal for receiving a column address strobe signal, and a third external terminal for receiving a write enable signal, a logic is provided for the second and third external terminals. The step of entering the normal operation mode from the test mode in response to changing the signal supplied to the first external terminal from the logic high level to the logic low level while supplying the low level signal, and entering the test mode In this state, the row address signal supplied to the row decoder in response to changing the signal supplied to the first external terminal from the logical high level to the logical low level, and the signal supplied to the second external terminal from the logical high level. Columns supplied to the column decoder in response to changing to logical low level Selecting a plurality of memory cells to be tested based on the address signal and writing data having the same logical value to the selected plurality of memory cells; and the first mode in the test mode. In response to changing the signal supplied to the external terminal from the logical high level to the logical low level, the row address signal supplied to the row decoder and the signal supplied to the second external terminal are changed from the logical high level to the logical low level. Accordingly, a plurality of memory cells to be tested are selected based on the column address signal supplied to the column decoder, and data is read from each of the selected plurality of memory cells. A die including the steps of verifying whether they match and outputting the verification result to the external terminal. A method for testing a Mick RAM, wherein a signal supplied to the first external terminal is changed from a logical high level to a logical low level when a logical high level signal is supplied to the second and third external terminals. A method of testing a dynamic RAM, comprising the step of returning to the normal operation mode accordingly.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09128998A (en) * 1995-10-31 1997-05-16 Nec Corp Test circuit

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5960800A (en) * 1982-08-30 1984-04-06 シ−メンス・アクチエンゲゼルシヤフト Digital semiconductor circuit
JPS59207095A (en) * 1983-05-09 1984-11-24 Nec Corp Testing method of artificial static memory
JPS61292299A (en) * 1985-06-18 1986-12-23 Toshiba Corp Facilitating circuit for on-chip memory test
JPS6299773A (en) * 1985-10-28 1987-05-09 Oki Electric Ind Co Ltd Developing device
JPS63266695A (en) * 1987-04-24 1988-11-02 Hitachi Ltd Dynamic ram

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5960800A (en) * 1982-08-30 1984-04-06 シ−メンス・アクチエンゲゼルシヤフト Digital semiconductor circuit
JPS59207095A (en) * 1983-05-09 1984-11-24 Nec Corp Testing method of artificial static memory
JPS61292299A (en) * 1985-06-18 1986-12-23 Toshiba Corp Facilitating circuit for on-chip memory test
JPS6299773A (en) * 1985-10-28 1987-05-09 Oki Electric Ind Co Ltd Developing device
JPS63266695A (en) * 1987-04-24 1988-11-02 Hitachi Ltd Dynamic ram

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09128998A (en) * 1995-10-31 1997-05-16 Nec Corp Test circuit

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