JPH077595B2 - Magnetic memory element - Google Patents
Magnetic memory elementInfo
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- JPH077595B2 JPH077595B2 JP61290887A JP29088786A JPH077595B2 JP H077595 B2 JPH077595 B2 JP H077595B2 JP 61290887 A JP61290887 A JP 61290887A JP 29088786 A JP29088786 A JP 29088786A JP H077595 B2 JPH077595 B2 JP H077595B2
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は不揮発性の超高密度固体磁気記憶素子に関す
る。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a nonvolatile ultra-high density solid-state magnetic memory element.
(従来の技術) この磁気記憶素子は情報読み出し手段と情報書き込み手
段と情報蓄積手段を備え、膜面に垂直な方向を磁化容易
方向とする強磁性体(フェリ磁性体膜を含む)に存在す
るストライプドメインの周辺のブロッホ磁壁の中に作っ
た相隣合う垂直ブロッホライン(以下、VBLと称す)を
対としてブロッホ磁壁内で保持、転送する手段を有す
る。例えば、素子構成をメイジャライン・マイナループ
構成とする場合、メイジャラインでは、バブルを情報担
体とし、マイナループをストライプドメインで構成し、
その周辺のブロッホ磁壁内に存在するVBL対を情報担体
とする。全体の情報の流れを示すと、まず、バブル発生
器で書き込まれた情報(バブルの有無)は書き込みメイ
ジャラインを移動する。1頁分ずつの情報を順次マイナ
ループに記憶させるため、バブルの有無で示されたメイ
ジャライン上の情報をマイナループへVBL対の形でトラ
ンスファ出来るように、マイナループをVBL対を保持で
きるブロッホ磁壁で構成することが本発明の特徴であ
り、記憶容量の飛躍的向上の重要な鍵になっている。書
き込みライントランスファゲートにより、マイナループ
へトランスファされた情報(VBL対)はマイナループを
構成するストライプドメイン磁壁上を移動させることが
できる。マイナループから読み出し、メイジャラインへ
の情報トランスファはVBL対からバブルへの変換を伴
う。変換されたバブルの有無の列をバブル検出器で読み
取る。このように、マイナループをバブル材料に存在す
るストライプドメインで構成し、マイナループ上での情
報担体としてバブルの代わりにVBL対を用いることによ
り、バブル素子と比較して約2桁の記憶密度の向上を達
成できる。(Prior Art) This magnetic memory element includes an information reading unit, an information writing unit, and an information storage unit, and is present in a ferromagnetic material (including a ferrimagnetic material film) having a direction perpendicular to the film surface as an easy magnetization direction. It has means for holding and transferring, in the Bloch domain wall, pairs of adjacent vertical Bloch lines (hereinafter referred to as VBLs) formed in the Bloch domain wall around the stripe domain. For example, when the element configuration is a major line / minor loop configuration, in the major line, the bubble is an information carrier and the minor loop is a stripe domain,
The VBL pair existing in the Bloch domain wall around it is used as an information carrier. In the flow of information as a whole, first, the information (whether or not there is a bubble) written by the bubble generator moves on the write major line. Because the information for each page is stored in the minor loop in sequence, the minor loop is a Bloch domain wall that can hold the VBL pair so that the information on the major line indicated by the presence of bubbles can be transferred to the minor loop in the form of a VBL pair. The constitution is a feature of the present invention, and is an important key to dramatically improve the storage capacity. By the write line transfer gate, the information (VBL pair) transferred to the minor loop can be moved on the stripe domain domain wall forming the minor loop. Reading from the minor loop, the information transfer to the major line involves the conversion of VBL pairs to bubbles. Read the converted bubble presence / absence column with the bubble detector. In this way, by configuring the minor loop with the stripe domain existing in the bubble material and using the VBL pair instead of the bubble as the information carrier on the minor loop, the storage density can be improved by about two digits compared to the bubble element. Can be achieved.
この素子においては多数本の磁気ドメインを安定性よく
配列することが重要な技術である。In this device, it is an important technique to arrange a large number of magnetic domains with good stability.
これに対する一つの方法は、ストライプドメイン磁壁を
溝掘り部境界膜厚段差部の外側にもっていくことである
(特願昭60−079658)。この理由は溝掘り部およびその
境界の外側を含むようにストライプドメインを設定する
と、溝掘り部境界の膜厚段差は境界外側にある磁壁が膜
厚段差部に近づくのを妨げる反磁界を生じる。他方、溝
掘り部内にストライプドメインを閉じ込めると、膜厚段
差はそのストライプドメインが溝掘り境界の外へ出るこ
とを強く抑える反磁界を生じる。したがって、溝掘り境
界段差から磁壁がこの段差に近づけないようにする反磁
界を生じさせるためには、ストライプドメイン磁壁が溝
掘り部境界膜厚段差部の外側にくるように、、ストライ
プドメインを初期設定する必要がある。One method to deal with this is to bring the stripe domain domain wall outside the groove thickness boundary film thickness step (Japanese Patent Application No. 60-079658). The reason for this is that if the stripe domain is set so as to include the grooved portion and the outside of the boundary thereof, the film thickness step at the boundary of the grooved portion causes a demagnetizing field that prevents the domain wall outside the boundary from approaching the film thickness stepped portion. On the other hand, if the stripe domain is confined in the grooved portion, the film thickness step causes a demagnetizing field that strongly suppresses the stripe domain from going out of the grooved boundary. Therefore, in order to generate a demagnetizing field that prevents the domain wall from approaching this step from the groove step boundary step, the stripe domain domain wall is placed outside the groove step boundary film thickness step section, and the stripe domain is initially set. Must be set.
第7図(a)にその構造の主要部を示している。ドメイ
ンを配置したい領域の中心部4をくり抜き、それを取り
囲むように閉じたドメイン磁壁を配置するための形成技
術の例は1986年4月の国際応用磁気学会(Intermag′8
6)DD-05において報告されている。しかし、実際してみ
るとこの方法では溝掘り部が平行に並んでいる領域と溝
掘り部がない領域とではバブルドメインがストライプド
メインに変化するバイアス磁界の大きさにかなり違いが
あり、溝掘り部領域では他の領域に比べてバイアス磁界
をもっと低くしないとドメインが伸長しない欠点がある
ことがわかった。溝掘り部を含む領域で、ドメインを溝
と溝との間の領域を伸張するまでバイアス磁界を下げる
と、溝掘り領域の内のどれか一箇所を伸びてバブル発生
器19がある側と反対側、つまりドメイン結合用の導体パ
ターン20がある領域に出た途端にそのドメインが広がっ
て20がある領域全面に迷図状ドメインができてしまう。
このため、いま伸びたドメインにおくれて溝掘り領域を
伸びてきたドメインは迷図状ドメインに邪魔されてドメ
イン接合用の導体パターン20の下を横切るところまで伸
び出せない。FIG. 7 (a) shows the main part of the structure. An example of the forming technique for hollowing out the central portion 4 of the region where the domain is to be arranged and arranging the closed domain domain wall so as to surround it is the International Society for Applied Magnetics (Intermag'8) in April 1986.
6) Reported in DD-05. However, in actual practice, with this method, there is a considerable difference in the magnitude of the bias magnetic field at which the bubble domain changes to the stripe domain between the region where the trenches are arranged in parallel and the region where there are no trenches. It was found that the domain does not expand in the partial region unless the bias magnetic field is made lower than in other regions. In the area including the grooved portion, when the bias magnetic field is lowered until the domain extends in the area between the grooves, it extends in any one of the grooved areas and is opposite to the side where the bubble generator 19 is located. On the side, that is, as soon as it comes out to the region where the conductor pattern 20 for domain coupling exists, the domain spreads and a stray pattern domain is formed on the entire region where 20 exists.
For this reason, the domain which has been delayed in the domain which has just been extended and which has been extended in the grooved region cannot be extended to a position where it crosses below the conductor pattern 20 for domain bonding because of being disturbed by the staggered domain.
いま1つの問題は溝掘り部4の外側を磁壁が取り囲むド
メインを安定化した後、ドメインの先端部が外部からド
メイン安定化用に加えているバイアス磁界10の変動ある
いはチップの温度変化に伴い、任意に伸び出してしまう
確率が高かった。Another problem is that after stabilizing the domain surrounded by the domain wall on the outside of the grooved portion 4, the tip of the domain is changed from the outside with the variation of the bias magnetic field 10 or the variation of the chip temperature. There was a high probability that it would grow arbitrarily.
(本発明が解決しようとする問題点) この方法は多数本の磁気ドメインを安定性よく配列する
ためには問題であった。本発明ではこれらの欠点を取り
除き、ストライプドメインを安定性よく配列するための
外部印加条件を単純化できるようにした超高密度固体磁
気記憶素子を提供することにある。(Problems to be Solved by the Present Invention) This method has been a problem in order to arrange a large number of magnetic domains with good stability. An object of the present invention is to provide an ultrahigh-density solid-state magnetic memory element that eliminates these drawbacks and can simplify external application conditions for arranging stripe domains with good stability.
(問題点を解決するための手段) 本発明は膜面に垂直方向を磁化容易方向とする強磁性体
膜に存在するストライプドメイン境界のブロッホ磁壁中
に作った相隣合う2本のVBLからなるVBL対を記憶担体と
して用いる磁気記憶素子に於いて、前記ストライプドメ
インを安定化したい領域に亘って選択的に保持層を削っ
て溝(第1の溝)を作り、溝を中心にしてその周囲にド
メイン磁壁を安定化させる方法において、該溝の長手方
向に沿って該溝とは分離して補助用の溝(第2の溝)を
設け、かつストライプドメインを安定化用の溝の両端に
ドメイン発生器および局所磁界印加手段を与えて所要ド
メインの形成を容易にした。ストライプドメイン安定化
用の溝掘り部(第1の溝)を長手方向に沿って、補助用
の第2の溝と相対していない側に、該第1の溝とは分離
した領域を挟んで該第1の溝の中間に相当する位置に第
3の溝掘り部を作ることにより、ストライプドメイン安
定化用溝掘り領域をのび出したドメインに対するポテン
シャルウエルが急激に深くなることを防ぎ、目的とする
溝掘部長手方向に沿って所定の位置までストライプドメ
インを安定性よく伸ばすことができるようになった。以
下、構成の詳細な説明をする。第1図は本発明に於ける
ストライプドメイン保持層のマイナループ部の主要部の
構成図である。第1図(a)は本発明の方法を用いたと
きのストライプドメイン保持層の主要部である。第1図
(b)は第1図(a)の一点鎖線部のチップ断面であ
る。ストライプドメイン保持層1上のドメインを保持し
たい領域に溝4をまたこの溝に沿って分離した領域を挟
んで補助用の溝7を形成する。これは例えばストライプ
ドメイン保持層の溝掘り部をエッチングすることによっ
て得られる。そして、その溝4の両端部にドメイン発生
器および局所面内磁界発生用手段8,9を配置している。
なお、8,9には第2図の11で示す形状のドメインを制御
性よく発生できるように第6図に示す形状のドメイン発
生器を用いた。第6図に示した数字は各部の寸法比であ
る。(Means for Solving the Problems) The present invention comprises two VBLs adjacent to each other formed in the Bloch domain wall at the stripe domain boundary existing in the ferromagnetic film having the direction of easy magnetization perpendicular to the film surface. In a magnetic memory element using a VBL pair as a memory carrier, a holding layer is selectively shaved over a region where the stripe domain is to be stabilized to form a groove (first groove), and the groove is centered around the groove. In the method for stabilizing a domain domain wall, an auxiliary groove (second groove) is provided separately from the groove along the longitudinal direction of the groove, and stripe domains are provided on both ends of the stabilizing groove. A domain generator and means for applying a local magnetic field were provided to facilitate the formation of the required domain. The grooved portion (first groove) for stabilizing the stripe domain is arranged along the longitudinal direction on the side not facing the second groove for auxiliary with a region separated from the first groove interposed therebetween. By forming the third grooved portion at a position corresponding to the middle of the first groove, it is possible to prevent the potential well for the domain extending from the grooved region for stabilizing the stripe domain from being suddenly deepened, and to achieve the purpose. The stripe domain can be stably extended to a predetermined position along the longitudinal direction of the grooved portion. A detailed description of the configuration will be given below. FIG. 1 is a configuration diagram of a main portion of a minor loop portion of a stripe domain holding layer according to the present invention. FIG. 1 (a) is a main part of the stripe domain holding layer when the method of the present invention is used. FIG. 1B is a cross section of the chip taken along the alternate long and short dash line in FIG. A groove 4 is formed in a region on the stripe domain holding layer 1 where a domain is desired to be held, and an auxiliary groove 7 is formed with a region separated along the groove sandwiched therebetween. This is obtained, for example, by etching the grooved portion of the stripe domain holding layer. A domain generator and local in-plane magnetic field generating means 8 and 9 are arranged at both ends of the groove 4.
A domain generator of the shape shown in FIG. 6 was used for 8 and 9 so that the domain of the shape shown by 11 in FIG. 2 could be generated with good controllability. The numbers shown in FIG. 6 are the dimensional ratios of the respective parts.
(作用) 第2図から第5図までを使ってストライプドメイン安定
化の動作を説明する。まず、ストライプドメイン保持層
の磁化をバイアス磁界を加えることによって4の周囲に
安定化するドメイン内の磁化と同じ向きに飽和させてお
く。その後、ドメイン発生器8に矢印の向きに電流を与
えてその磁界によって第2図に11で示すドメインを発生
する。このような形状のドメインを作るためにはまず8
の上側のエッジ12に沿ってドメインが発生し、さらに8
の電流を強くするとノッチ13のなかでドメインが発生す
るように発生器8の形状を設計する必要がある。その具
体的形状の一例が第6図である。その後、バイアス磁界
の絶対値を小さくしていき、ドメインが第3図に示すよ
うに溝掘り部を通り越して補助溝7がある領域まで伸長
する。その後、ドメイン発生器9に第4図に示す矢印の
向きの電流を与え、第4図(a)に示すようなドメイン
を形成する。これらの磁界によってドメイン11は溝掘り
部の両方の端部で互いに接合し、逆に溝掘り部を取り囲
む閉磁壁に囲まれたドメイン14が形成される。外部印加
電圧磁界を零にし、さらにその向きを逆にし、10で示す
向きにして磁界の強さを増加していくと、第5図に示す
ように溝を取り囲む磁壁を持つドメインが形成される。
このドメインがVBL対保持用に使われる。他方、補助溝
にくっついていたドメインはこのバイアス磁界変化によ
って完全に消去される。(Operation) The operation of stabilizing the stripe domain will be described with reference to FIGS. 2 to 5. First, the magnetization of the stripe domain holding layer is saturated in the same direction as the magnetization in the domain stabilized around 4 by applying a bias magnetic field. Then, a current is applied to the domain generator 8 in the direction of the arrow to generate the domain indicated by 11 in FIG. 2 by the magnetic field. To make a domain with such a shape, first 8
Domains along the upper edge 12 of the
It is necessary to design the shape of the generator 8 so that a domain is generated in the notch 13 when the current of 1 is increased. An example of the specific shape is FIG. After that, the absolute value of the bias magnetic field is decreased, and the domain passes through the grooved portion and extends to the region where the auxiliary groove 7 is present, as shown in FIG. After that, a current in the direction of the arrow shown in FIG. 4 is applied to the domain generator 9 to form a domain as shown in FIG. 4 (a). Due to these magnetic fields, the domains 11 are joined to each other at both ends of the grooved portion, and conversely, the domain 14 surrounded by the closed magnetic wall that surrounds the grooved portion is formed. When the externally applied voltage magnetic field is set to zero, the direction is reversed, and the magnetic field strength is increased in the direction indicated by 10, a domain having a domain wall surrounding the groove is formed as shown in FIG. .
This domain is used for holding VBL pairs. On the other hand, the domain attached to the auxiliary groove is completely erased by this change in the bias magnetic field.
このようにして4の周囲を取り囲む磁壁によって囲まれ
たドメインを安定化できたが、8の側のポテンシャルウ
エルは依然として深いまま残されており、導体電流によ
る局所バイアス磁界をドメイン先端部に付加できるよう
にしておかないと、チップの温度変化等によってドメイ
ン先端部が伸び出してしまう危険性が取り除かれていな
い。In this way, the domain surrounded by the domain wall surrounding 4 can be stabilized, but the potential well on the 8 side is still left deep, and the local bias magnetic field due to the conductor current can be added to the domain tip. If this is not done, there is a risk that the tip of the domain may be extended due to temperature change of the chip.
そこで、本発明では第1図に16で示す溝を新たに設け、
その周辺のポテンシャルウエルを浅くし、ドメイン先端
部の任意の伸び出しを防止するようにした。この溝はプ
ロッホラインメモリに必要なプロッホライン対一バブル
変換ゲート部17の動作時にドメインが4の長手方向に一
致した向きでゲート17の中へ伸び出していくことも助け
る。メイジャライン18のポテンシャルウエルは導体電流
磁界によって動作時のみかさ上げすることで充分であ
る。Therefore, in the present invention, a groove 16 is newly provided in FIG.
The potential well around it was made shallow to prevent any extension of the domain tip. This groove also helps the domain to extend into the gate 17 in a direction coinciding with the longitudinal direction of 4 when the Ploch line-to-one bubble conversion gate unit 17 required for the Ploch line memory operates. It is sufficient to raise the potential well of the major line 18 only by the conductor current magnetic field during operation.
(実施例) Gd3Ga5O12(111)基板上に4μmバブル材料(YSmLuC
a)3(FeGe)5O12ガーネット膜を2μmの厚さLPE成長
した。第1図の構造の溝は(幅3μm、配置周期12μ
m)は溝を掘りたい部分に選択的にイオン注入をした後
リン酸と硫酸との混合液を使い、エッチングして形成し
た。できた溝の深さは2.1μmであった。その上にSiO2
スペーサー0.5μmを介して、第6図に示す形状のドメ
イン発生器を配置して上述のドメイン発生から始まる一
連の動作により、第5図に示す溝掘り部4を取り囲む閉
磁壁を持つドメイン14を形成できた。(Example) On a Gd 3 Ga 5 O 12 (111) substrate, a 4 μm bubble material (YSmLuC
a) A 3 (FeGe) 5 O 12 garnet film was grown by LPE to a thickness of 2 μm. The groove of the structure of Fig. 1 is (width 3μm, arrangement period 12μ
m) was formed by selectively ion-implanting a portion to be dug and then etching using a mixed solution of phosphoric acid and sulfuric acid. The depth of the formed groove was 2.1 μm. SiO2 on it
A domain generator having the shape shown in FIG. 6 is arranged through a spacer of 0.5 μm, and a series of operations starting from the above-mentioned domain generation causes a domain 14 having a closed magnetic domain wall surrounding the grooved portion 4 shown in FIG. I was able to form.
(発明の効果) 本発明により、従来問題になっていたドメイン配置の安
定性、信頼性が格段に改善される。(Effect of the Invention) According to the present invention, the stability and reliability of domain arrangement, which has been a problem in the past, is significantly improved.
第1図は本発明におけるドメインを保持するための主要
構造の例を示す図、第2〜5図は本発明のドメイン形成
過程を示す図、第6図は本発明に用いたドメイン発生器
の例を示す図、第7図は溝掘り部を取り囲む閉磁壁を持
つドメイン安定化法の従来法の一例を示す図。 図において、 1.ドメイン保持層、2.基板、3.スペーサー、4.ドメイン
保持層くり抜き部、5.くり抜き部エッジ、6.ガード用ド
メイン保持層くり抜き部、7.補助用のドメイン保持層く
り抜き部、8,9.ドメイン発生用導体パターン、10.バイ
アス磁界、11.ドメイン発生器8により発生した磁気ド
メイン、12.ドメイン発生器用導体パターンのエッジ、1
3.ドメイン発生用導体パターンのノッチ、14.中抜きド
メイン、15.ドメイン外周磁壁、16.ドメイン14の伸び出
し防止およびドメインのゲート部へのガイド用溝、17.
ブロッホライン対とバブルとの間の変換ゲート、18.メ
イジャライン、19.バブルドメイン発生器用導体パター
ン、20.ドメイン結合用の導体パターン。FIG. 1 is a diagram showing an example of a main structure for holding a domain in the present invention, FIGS. 2 to 5 are diagrams showing a domain forming process of the present invention, and FIG. 6 is a diagram showing a domain generator used in the present invention. FIG. 7 is a diagram showing an example, and FIG. 7 is a diagram showing an example of a conventional domain stabilization method having a closed magnetic domain wall surrounding a grooved portion. In the figure, 1. domain retaining layer, 2. substrate, 3. spacer, 4. domain retaining layer hollow portion, 5. hollowed-out edge, 6. guard domain retaining layer hollow portion, 7. auxiliary domain retaining layer hollow portion Part, 8,9. Conductor pattern for domain generation, 10. Bias magnetic field, 11. Magnetic domain generated by domain generator 8, 12. Edge of conductor pattern for domain generator, 1
3.Notch of the domain generating conductor pattern, 14. Hollow-out domain, 15. Domain outer domain wall, 16. Domain 14 extension prevention and groove for guiding the gate of the domain, 17.
Conversion gate between Bloch line pair and bubble, 18. Major line, 19. Conductor pattern for bubble domain generator, 20. Conductor pattern for domain coupling.
Claims (1)
び情報蓄積手段を有し、かつ膜面に垂直な方向を磁化容
易方向とする強磁性体(フェリ磁性体を含む)膜に存在
するストライプドメインの境界のブロッホ磁壁中に作っ
た相隣る2つの垂直ブロッホラインからなる対をブロッ
ホ磁壁内で保持、転送する手段を有する磁気記憶素子に
於いて、ストライプドメインを配置したい領域に亘って
ストライプドメイン保持層に第1の溝が設けられ、かつ
該第1の溝の長手方向に沿って該第1の溝形成領域とは
分離した領域に補助用の第2の溝を配置し、また、補助
用の第2の溝と相対していない側の第1の溝の先端部領
域に該第1の溝長手方向に沿って相隣る該第1の溝の中
間に相当する位置に新たに第3の溝を配置し、第1の溝
の先端部領域にドメイン発生および局所磁界発生の手段
を備えていることを特徴とする磁気記憶素子。1. A stripe domain existing in a ferromagnetic (including ferrimagnetic) film having an information reading means, an information writing means, and an information storage means and having a direction easy to magnetize in a direction perpendicular to the film surface. In a magnetic memory device having a means for holding and transferring a pair of two adjacent vertical Bloch lines formed in a boundary Bloch domain wall in the Bloch domain wall, a stripe domain holding is performed over a region where a stripe domain is desired to be arranged. The layer is provided with a first groove, and the auxiliary second groove is arranged in a region separated from the first groove formation region along the longitudinal direction of the first groove, and the auxiliary groove is provided. Of the first groove on the side of the first groove on the side not facing the second groove, the third groove is newly formed at a position corresponding to the middle of the first grooves adjacent to each other along the longitudinal direction of the first groove. Groove, and place it in the tip region of the first groove. Magnetic memory device characterized in that it comprises means in development and local magnetic field generator.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61290887A JPH077595B2 (en) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | Magnetic memory element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61290887A JPH077595B2 (en) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | Magnetic memory element |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63144487A JPS63144487A (en) | 1988-06-16 |
JPH077595B2 true JPH077595B2 (en) | 1995-01-30 |
Family
ID=17761793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61290887A Expired - Lifetime JPH077595B2 (en) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | Magnetic memory element |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH077595B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04313883A (en) * | 1991-02-21 | 1992-11-05 | Hitachi Ltd | Information storing and reproducing device |
-
1986
- 1986-12-05 JP JP61290887A patent/JPH077595B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63144487A (en) | 1988-06-16 |
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