JPH0772720B2 - 透光薄板の欠点検出装置 - Google Patents
透光薄板の欠点検出装置Info
- Publication number
- JPH0772720B2 JPH0772720B2 JP12964087A JP12964087A JPH0772720B2 JP H0772720 B2 JPH0772720 B2 JP H0772720B2 JP 12964087 A JP12964087 A JP 12964087A JP 12964087 A JP12964087 A JP 12964087A JP H0772720 B2 JPH0772720 B2 JP H0772720B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- defect
- transmitted
- glass plate
- detection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガラス板，プラスチック板など、少なくとも
光を透過する薄板（以下、透光薄板という）に光スポッ
トを走査して、透光薄板に存在する欠点を検出するフラ
イングスポット型の欠点検出装置に関する。
光を透過する薄板（以下、透光薄板という）に光スポッ
トを走査して、透光薄板に存在する欠点を検出するフラ
イングスポット型の欠点検出装置に関する。
透明ガラス板などに存在する欠点を検出する欠点検出装
置は、例えば、透明ガラス板の製造ラインにおいて、製
造される透明ガラス板に存在する欠点を検出し、その検
出結果を透明ガラス板製造工程へフィードバックさせて
欠点の発生をその発生箇所において防止し、製品の歩留
まりの向上を図るために必要とされるものである。
置は、例えば、透明ガラス板の製造ラインにおいて、製
造される透明ガラス板に存在する欠点を検出し、その検
出結果を透明ガラス板製造工程へフィードバックさせて
欠点の発生をその発生箇所において防止し、製品の歩留
まりの向上を図るために必要とされるものである。
従来の透明ガラス板の欠点検出装置には、例えば、特開
昭51−29988号公報で知られているように、照射光に対
し、反射光のみを受光器で検出することによってガラス
板に存在する欠点を知るもの、あるいは特開昭51−1184
号公報で知られるように、照射光に対し、透過光のみを
受光器で検出することによって、ガラス板に存在する欠
点を検出するものがある。
昭51−29988号公報で知られているように、照射光に対
し、反射光のみを受光器で検出することによってガラス
板に存在する欠点を知るもの、あるいは特開昭51−1184
号公報で知られるように、照射光に対し、透過光のみを
受光器で検出することによって、ガラス板に存在する欠
点を検出するものがある。
上述した特開昭51−29988号公報に開示されている欠点
検出装置は、ガラス表面上の欠点は検出できるが、ガラ
ス内部の欠点は検出できない。
検出装置は、ガラス表面上の欠点は検出できるが、ガラ
ス内部の欠点は検出できない。
逆に、特開昭51−1184号公報に開示されている欠点検出
装置は、ガラス内部の欠点を検出できるが、ガラス表面
上の欠点は検出が不可能か、または検出が非常に困難で
あるという問題点がある。
装置は、ガラス内部の欠点を検出できるが、ガラス表面
上の欠点は検出が不可能か、または検出が非常に困難で
あるという問題点がある。
また、上述のような欠点検出装置は、欠点の種類（異
物，泡，フシ，ドリップ等）を識別することはできず、
さらに、１個の受光器で、例えば泡，異物を同一のレベ
ルで検出するため、異物は見過ぎ、泡等は見落とすとい
うような欠点があった。
物，泡，フシ，ドリップ等）を識別することはできず、
さらに、１個の受光器で、例えば泡，異物を同一のレベ
ルで検出するため、異物は見過ぎ、泡等は見落とすとい
うような欠点があった。
このような欠点を改善する欠点検出装置として、本出願
人は欠点の種類を識別することのできる欠点検出装置を
提案している。以下、この既提案の欠点検出装置の概要
を説明する。
人は欠点の種類を識別することのできる欠点検出装置を
提案している。以下、この既提案の欠点検出装置の概要
を説明する。
例えば、ガラス板に存在する欠点としては、気泡がガラ
ス板内部に残ることにより形成される泡、異物がガラス
板内部に残ることにより形成される異物、ほとんど溶け
た異物がガラス板内部に尾を引いたような形で残ること
により形成されるフシ等がある。
ス板内部に残ることにより形成される泡、異物がガラス
板内部に残ることにより形成される異物、ほとんど溶け
た異物がガラス板内部に尾を引いたような形で残ること
により形成されるフシ等がある。
このような欠点がガラス板に存在する場合、欠点に光ス
ポットを投射すると、欠点の種類によって透過，透過散
乱，反射，反射散乱の状態が異なる。第２図に示すよう
に、透明ガラス板１に存在する欠点２に、法線に対し一
定の入射角αでもって光ビーム３を投射したとき、フ
シ，異物，泡は透過散乱光を生じさせ、特に、フシの場
合は透過光４の光軸に最も近接した近接近軸透過散乱光
５を生じ、異物の場合は透過光４の光軸に近い近軸透過
散乱光６を生じ、泡の場合は透過光４の光軸から離れた
遠軸透過散乱光７を生じる。また、泡，異物，フシとも
に透過光４の光量が減少する。
ポットを投射すると、欠点の種類によって透過，透過散
乱，反射，反射散乱の状態が異なる。第２図に示すよう
に、透明ガラス板１に存在する欠点２に、法線に対し一
定の入射角αでもって光ビーム３を投射したとき、フ
シ，異物，泡は透過散乱光を生じさせ、特に、フシの場
合は透過光４の光軸に最も近接した近接近軸透過散乱光
５を生じ、異物の場合は透過光４の光軸に近い近軸透過
散乱光６を生じ、泡の場合は透過光４の光軸から離れた
遠軸透過散乱光７を生じる。また、泡，異物，フシとも
に透過光４の光量が減少する。
したがって、透過光，近接近軸透過散乱光、近軸透過散
乱光，遠軸透過散乱光をそれぞれ個別に検出する受光器
を設け、透過光の光量変化、および近接近軸透過散乱
光，近軸透過散乱光，遠軸透過散乱光の有無を検出すれ
ば、欠点の種類を識別することが可能となる。
乱光，遠軸透過散乱光をそれぞれ個別に検出する受光器
を設け、透過光の光量変化、および近接近軸透過散乱
光，近軸透過散乱光，遠軸透過散乱光の有無を検出すれ
ば、欠点の種類を識別することが可能となる。
以上の関係をまとめたものを第１表に示す。なお、表中
の○印は、欠点の種類をどの光で識別できるかを示して
いる。
の○印は、欠点の種類をどの光で識別できるかを示して
いる。
既提案の欠点検出装置は、以上の事実に基づき、フライ
ングスポット型の欠点検出装置において、透過光，近接
近軸透過散乱光，近軸透過散乱光，遠軸透過散乱光をそ
れぞれ検出する複数個の受光器を設け，各受光器からの
光を電気信号に変換し、得られた電気信号を処理して欠
点の種類および大きさを表す情報を含む欠点データを生
成し、これら欠点データをさらに処理してガラス板の１
個の欠点に対応するビットパターンよりなる欠点パター
ンを作成し、このようにして得られた欠点パターンを、
予め作成されている欠点識別パターンテーブルと照合し
て、欠点の種類、大きさ等を判定するように構成されて
いる。
ングスポット型の欠点検出装置において、透過光，近接
近軸透過散乱光，近軸透過散乱光，遠軸透過散乱光をそ
れぞれ検出する複数個の受光器を設け，各受光器からの
光を電気信号に変換し、得られた電気信号を処理して欠
点の種類および大きさを表す情報を含む欠点データを生
成し、これら欠点データをさらに処理してガラス板の１
個の欠点に対応するビットパターンよりなる欠点パター
ンを作成し、このようにして得られた欠点パターンを、
予め作成されている欠点識別パターンテーブルと照合し
て、欠点の種類、大きさ等を判定するように構成されて
いる。
第３図および第４図は既提案の欠点検出装置の走査器お
よび受光器部分の斜視図および略側面図であり、受光器
を誇張して示してある。
よび受光器部分の斜視図および略側面図であり、受光器
を誇張して示してある。
走査器は、レーザ光を出射するレーザ光源11と、レーザ
光源11からのレーザ光12が入射し、透明ガラス板10が走
行する方向（以下、Ｙ軸方向とする）に平行な軸13を中
心に高速回転する回転多面鏡14と、透明ガラス板10が走
行するＹ軸方向と直角な方向、すなわちガラス板の幅方
向（以下、Ｘ軸方向とする）に平行な軸15を中心に回転
し角度を変えることのできる板厚補正用の平行ミラー16
とを備えている。なお、第４図に示されているレーザ光
源11の位置は、実際の位置と異なって示されているが、
これは図面が不明瞭になるのを避けたためである。以上
のような構成の走査器は、走行する透明ガラス板10の上
方に設置されている。
光源11からのレーザ光12が入射し、透明ガラス板10が走
行する方向（以下、Ｙ軸方向とする）に平行な軸13を中
心に高速回転する回転多面鏡14と、透明ガラス板10が走
行するＹ軸方向と直角な方向、すなわちガラス板の幅方
向（以下、Ｘ軸方向とする）に平行な軸15を中心に回転
し角度を変えることのできる板厚補正用の平行ミラー16
とを備えている。なお、第４図に示されているレーザ光
源11の位置は、実際の位置と異なって示されているが、
これは図面が不明瞭になるのを避けたためである。以上
のような構成の走査器は、走行する透明ガラス板10の上
方に設置されている。
走査器が設けられている側とは反対側、すなわち透明ガ
ラス板10の下方に、透過光を検出する１個の受光器D1
と、近接近軸透過散乱光を検出する２個の受光器D2A,D2
Bと、近軸透過散乱光を検出する２個の受光器D3A,D3
Bと、遠軸透過散乱光を検出する２個の受光器D4A,D4Bと
が配置されている。
ラス板10の下方に、透過光を検出する１個の受光器D1
と、近接近軸透過散乱光を検出する２個の受光器D2A,D2
Bと、近軸透過散乱光を検出する２個の受光器D3A,D3
Bと、遠軸透過散乱光を検出する２個の受光器D4A,D4Bと
が配置されている。
これら複数個の受光器は、基本的に同一構造をしてお
り、Ｘ軸方向に細長い線状の受光面を有している。以
下、代表的に受光器D1の構造を説明する。
り、Ｘ軸方向に細長い線状の受光面を有している。以
下、代表的に受光器D1の構造を説明する。
第５図は受光器D1の斜視図である。この受光器D1は、多
数本の光ファイバ21を配列してなるものであり、光ファ
イバ21の一端を、図示のように２列で配列して、樹脂な
どに埋め込み固定し、受光器本体22を構成する。配列さ
れた多数本の光ファイバの21の端面23が集合して、細長
い線状の受光面24を形成する。光ファイバの他端は束ね
られて、後述する光電子増倍管に接続されている。
数本の光ファイバ21を配列してなるものであり、光ファ
イバ21の一端を、図示のように２列で配列して、樹脂な
どに埋め込み固定し、受光器本体22を構成する。配列さ
れた多数本の光ファイバの21の端面23が集合して、細長
い線状の受光面24を形成する。光ファイバの他端は束ね
られて、後述する光電子増倍管に接続されている。
以上のような構造の透過光および透過散乱光を検出する
受光器D1、D2A,D2B、D3A,D3B、D4A,D4Bを配置する際、
第４図において透過光17の光軸を基準として、それぞれ
の有効受光角内に受光面が位置するように各受光器が配
置される。各受光器と有効受光器との関係の一例を第２
表に示す。
受光器D1、D2A,D2B、D3A,D3B、D4A,D4Bを配置する際、
第４図において透過光17の光軸を基準として、それぞれ
の有効受光角内に受光面が位置するように各受光器が配
置される。各受光器と有効受光器との関係の一例を第２
表に示す。
以上のような有効受光角内に受光面が位置するように配
置された受光器D1、D2A,D2B、D3A,D3B、D4A,D4Bを、受
光面側から見た状態を第６図に示す。各受光器の受光面
の長さ方向はＸ軸方向に平行である。
置された受光器D1、D2A,D2B、D3A,D3B、D4A,D4Bを、受
光面側から見た状態を第６図に示す。各受光器の受光面
の長さ方向はＸ軸方向に平行である。
受光器D1の光ファイバの他端は光電子増倍管PM1に接続
され、受光器D2A,D2Bの光ファイバの他端は束ねられて
光電子増倍管PM2に接続され、受光器D3A,D3Bの光ファイ
バの他端は束ねられて光電子増倍管PM3に接続され、受
光器D4A,D4Bの光ファイバの他端は束ねられて光電子増
倍管PM4に接続されている。
され、受光器D2A,D2Bの光ファイバの他端は束ねられて
光電子増倍管PM2に接続され、受光器D3A,D3Bの光ファイ
バの他端は束ねられて光電子増倍管PM3に接続され、受
光器D4A,D4Bの光ファイバの他端は束ねられて光電子増
倍管PM4に接続されている。
さて以上のような構成の走査器と受光器とを備える既提
案の欠点検出装置において、レーザ光源11より出射され
たレーザ光12は、高速回転する回転多面鏡14に入射さ
れ、回転多面鏡14によりレーザ光12はＸ軸方向に振ら
れ、平行ミラー16で反射された後、走行する透明ガラス
板10に投射され、ガラス板をＸ軸方向に走査する。回転
多面鏡14の回転によりその反射面が変わる毎に、レーザ
光12は、透明ガラス板10を繰返し走査する。透明ガラス
板10はＹ軸方向に走行しているから、ガラス板の全面が
レーザ光により走査されることとなる。
案の欠点検出装置において、レーザ光源11より出射され
たレーザ光12は、高速回転する回転多面鏡14に入射さ
れ、回転多面鏡14によりレーザ光12はＸ軸方向に振ら
れ、平行ミラー16で反射された後、走行する透明ガラス
板10に投射され、ガラス板をＸ軸方向に走査する。回転
多面鏡14の回転によりその反射面が変わる毎に、レーザ
光12は、透明ガラス板10を繰返し走査する。透明ガラス
板10はＹ軸方向に走行しているから、ガラス板の全面が
レーザ光により走査されることとなる。
なお、第４図に示されているように、レーザ光12は、透
明ガラス板10に対して、ガラス板面に垂直な法線に対し
Ｙ軸方向に入射角αをもって投射する。これは、透明ガ
ラス板10の裏面で反射され続いて表面で反射された光が
透過光と干渉することを防止するためである。
明ガラス板10に対して、ガラス板面に垂直な法線に対し
Ｙ軸方向に入射角αをもって投射する。これは、透明ガ
ラス板10の裏面で反射され続いて表面で反射された光が
透過光と干渉することを防止するためである。
透明ガラス板に欠点が存在する場合、この欠点にレーザ
光があたると欠点の種類（異物，泡，フシ）により、透
過光の光量に変化を生じ、同時に透過散乱光が発生す
る。
光があたると欠点の種類（異物，泡，フシ）により、透
過光の光量に変化を生じ、同時に透過散乱光が発生す
る。
例えば、欠点の種類がフシの場合、入射したレーザ光が
フシに当たると、透過光の光量が変化すると同時に、近
接近軸透過散乱光が発生する。透過光の光量の変化は、
受光器D1で検出され、光電子倍増管PM1へ送られ、電気
信号に変換される。一方、近接近軸透過散乱光は、受光
器D2A,D2Bの受光面に入射する。受光された近接近軸透
過散乱光は、光電子増倍管PM2に送られ、電気信号に変
換される。
フシに当たると、透過光の光量が変化すると同時に、近
接近軸透過散乱光が発生する。透過光の光量の変化は、
受光器D1で検出され、光電子倍増管PM1へ送られ、電気
信号に変換される。一方、近接近軸透過散乱光は、受光
器D2A,D2Bの受光面に入射する。受光された近接近軸透
過散乱光は、光電子増倍管PM2に送られ、電気信号に変
換される。
同様に、例えば欠点の種類が異物の場合、入射したレー
ザ光が異物に当たると、透過光の光量が変化すると同時
に、近軸透過散乱光が発生する。この透過散乱光は、受
光器D3A,T3Bで受光され、受光された光は光電子増倍管P
M3に送られ、電気信号に変換される。
ザ光が異物に当たると、透過光の光量が変化すると同時
に、近軸透過散乱光が発生する。この透過散乱光は、受
光器D3A,T3Bで受光され、受光された光は光電子増倍管P
M3に送られ、電気信号に変換される。
同様に、例えば欠点の種類が泡の場合、入射したレーザ
光が泡に当たると、透過光の光量が変化すると同時に、
遠軸透過散乱光が発生する。この遠軸透過散乱光は、受
光器D4A,D4Bで受光され、受光された光は光電子増倍管P
M4に送られ、電気信号に変換される。
光が泡に当たると、透過光の光量が変化すると同時に、
遠軸透過散乱光が発生する。この遠軸透過散乱光は、受
光器D4A,D4Bで受光され、受光された光は光電子増倍管P
M4に送られ、電気信号に変換される。
光電子増倍管からの電気信号は、処理部に送られ、欠点
の種類および大きさを表す情報を含む欠点データが生成
され、これら欠点データがさらに処理されてガラス板の
１個の欠点に対応するビットパターンよりなる欠点パタ
ーンが作成され、このようにして得られた欠点パターン
が、予め作成されている欠点識別パターンテーブルと照
合されて、欠点の種類、大きさ等が判定される。
の種類および大きさを表す情報を含む欠点データが生成
され、これら欠点データがさらに処理されてガラス板の
１個の欠点に対応するビットパターンよりなる欠点パタ
ーンが作成され、このようにして得られた欠点パターン
が、予め作成されている欠点識別パターンテーブルと照
合されて、欠点の種類、大きさ等が判定される。
処理部の構成は、本発明とは直接関係しないので、説明
は省略する。
は省略する。
既提案の欠点検出装置では、受光器の受光面の長さ方向
が、ガラス板の走行方向（Ｙ軸方向）に対して直角にな
るように配置されているので、次のような問題を生じ
る。
が、ガラス板の走行方向（Ｙ軸方向）に対して直角にな
るように配置されているので、次のような問題を生じ
る。
ガラス板が特に薄板の場合には、欠点の泡，フシはガラ
ス板の走行方向に引き延ばされて細長くなっている。例
えば、幅が0.2mmの、長さが0.5mmのようになる。このよ
うな細長い泡、フシに光スポットが投射された場合、散
乱光の大半はガラス板の幅方向、すなわちＸ軸方向に散
る。この状態を第７図に示す。
ス板の走行方向に引き延ばされて細長くなっている。例
えば、幅が0.2mmの、長さが0.5mmのようになる。このよ
うな細長い泡、フシに光スポットが投射された場合、散
乱光の大半はガラス板の幅方向、すなわちＸ軸方向に散
る。この状態を第７図に示す。
第７図はガラス薄板30の上方から受光器の受光面を見た
図であり、例えばガラス薄板30に細長い泡31が存在する
場合に、散乱光の大半は矢印32A,32Bで示すようにＸ軸
方向に散り、受光器D3A,D3Bにはほとんど入射しない。
また、細長いフシの場合にも、散乱光の大半はＸ軸方向
に散り、受光器D2A,D2Bにはほとんど入射しない。
図であり、例えばガラス薄板30に細長い泡31が存在する
場合に、散乱光の大半は矢印32A,32Bで示すようにＸ軸
方向に散り、受光器D3A,D3Bにはほとんど入射しない。
また、細長いフシの場合にも、散乱光の大半はＸ軸方向
に散り、受光器D2A,D2Bにはほとんど入射しない。
したがって、薄板の場合には既提案の欠点検出装置で
は、泡，フシの検出感度が悪くなるという問題点があ
る。
は、泡，フシの検出感度が悪くなるという問題点があ
る。
本発明の目的は、上述のような問題点を解決した欠点検
出装置を提供することにある。
出装置を提供することにある。
本発明は、長さ方向に走行する透光薄板を幅方向に光ス
ポットで走査し、少なくとも透過散乱光を受光して前記
透光薄板に存在する欠点を検出する欠点検出装置におい
て、 透過散乱光を受光する線状の受光面を有する複数個の受
光器を備え、 前記複数の受光器は、線状の受光面が平行になるよう
に、かつ、線状の受光面の長手方向が、前記光スポット
の走査方向に対して所定の角度をなすように配列されて
いることを特徴としている。
ポットで走査し、少なくとも透過散乱光を受光して前記
透光薄板に存在する欠点を検出する欠点検出装置におい
て、 透過散乱光を受光する線状の受光面を有する複数個の受
光器を備え、 前記複数の受光器は、線状の受光面が平行になるよう
に、かつ、線状の受光面の長手方向が、前記光スポット
の走査方向に対して所定の角度をなすように配列されて
いることを特徴としている。
次に、本発明の欠点検出装置の実施例について説明す
る。
る。
第１図は、一実施例の欠点検出装置の受光器の受光面を
ガラス薄板30の方から見た図である。本実施例の欠点検
出装置の構成は、第３図および第４図において説明した
既提案の欠点検出装置と基本的には同様であり、透過光
を検出する１個の受光器D1と、近接近軸透過散乱光を検
出する２個の受光器D2A,D2Bと、近軸透過散乱光を検出
する２個の受光器D3A,D3Bと、遠軸透過散乱光を検出す
る２個の受光器D4A,D4Bとを備えている。
ガラス薄板30の方から見た図である。本実施例の欠点検
出装置の構成は、第３図および第４図において説明した
既提案の欠点検出装置と基本的には同様であり、透過光
を検出する１個の受光器D1と、近接近軸透過散乱光を検
出する２個の受光器D2A,D2Bと、近軸透過散乱光を検出
する２個の受光器D3A,D3Bと、遠軸透過散乱光を検出す
る２個の受光器D4A,D4Bとを備えている。
これら受光器は、線状受光面が平行になるように配置さ
れており、かつ、光スポットの走査方向であるＸ軸に対
してθの角度をなすように配置されている。なお、角度
θは、５゜〜45゜の範囲内に設定される。
れており、かつ、光スポットの走査方向であるＸ軸に対
してθの角度をなすように配置されている。なお、角度
θは、５゜〜45゜の範囲内に設定される。
以上のように配列された複数の受光器を備える欠点検出
装置によれば、ガラス薄板30に細長いフシである欠点41
が存在し、これに光スポットが投射され、矢印42Aおよ
び42Bで示すように、近接近軸透過散乱光がＸ軸方向に
散ったとしても、受光器D2A,D2Bには近接近軸透過散乱
光が届くので、フシの存在を検出することができる。
装置によれば、ガラス薄板30に細長いフシである欠点41
が存在し、これに光スポットが投射され、矢印42Aおよ
び42Bで示すように、近接近軸透過散乱光がＸ軸方向に
散ったとしても、受光器D2A,D2Bには近接近軸透過散乱
光が届くので、フシの存在を検出することができる。
また、欠点41が細長い泡の場合には、泡に光スポットが
投射され、遠軸透過散乱光がＸ軸方向に散ったとして
も、受光器D4A,D4Bには遠軸透過散乱光が届くので、泡
の存在を検出することができる。
投射され、遠軸透過散乱光がＸ軸方向に散ったとして
も、受光器D4A,D4Bには遠軸透過散乱光が届くので、泡
の存在を検出することができる。
以上のように、本実施例によれば、ガラス薄板に存在す
る細長い泡およびフシを高感度に検出することが可能と
なる。
る細長い泡およびフシを高感度に検出することが可能と
なる。
以上の実施例では、被検査対象物がガラス薄板の場合に
ついて説明したが、本発明はガラス薄板のみならず、プ
ラスチック薄板などのように、少なくとも光を透過する
薄板であれば、いかなる材料の薄板にも適用できること
は明らかである。
ついて説明したが、本発明はガラス薄板のみならず、プ
ラスチック薄板などのように、少なくとも光を透過する
薄板であれば、いかなる材料の薄板にも適用できること
は明らかである。
以上説明したように本発明によれば、透光薄板に存在す
る細長い泡，フシなどの欠点を高感度で検出することの
できる欠点検出装置が得られる。
る細長い泡，フシなどの欠点を高感度で検出することの
できる欠点検出装置が得られる。
第１図は、本発明の欠点検出装置の一実施例の受光器の
配列を示す図、 第２図は、透過光および透過散乱光を示す図、 第３図は、既提案の欠点検出装置の斜視図、 第４図は、既提案の欠点検出装置の略側面図、 第５図は、受光器の斜視図、 第６図は、透過光および透過散乱光用の複数受光器の受
光面の平面図、 第７図は、既提案の欠点検出装置の問題点を説明するた
めの図である。 ４……透過光 ５……近接近軸透過散乱光 ６……近軸透過散乱光 ７……遠軸透過散乱光 10……透明ガラス板 D1……透過光用受光器 D2A,D2B……近接近軸透過散乱光用受光器 D3A,D3B……近軸透過散乱光用受光器 D4A,D4B……遠軸透過散乱光用受光器
配列を示す図、 第２図は、透過光および透過散乱光を示す図、 第３図は、既提案の欠点検出装置の斜視図、 第４図は、既提案の欠点検出装置の略側面図、 第５図は、受光器の斜視図、 第６図は、透過光および透過散乱光用の複数受光器の受
光面の平面図、 第７図は、既提案の欠点検出装置の問題点を説明するた
めの図である。 ４……透過光 ５……近接近軸透過散乱光 ６……近軸透過散乱光 ７……遠軸透過散乱光 10……透明ガラス板 D1……透過光用受光器 D2A,D2B……近接近軸透過散乱光用受光器 D3A,D3B……近軸透過散乱光用受光器 D4A,D4B……遠軸透過散乱光用受光器
フロントページの続き (72)発明者 宮野 光男 埼玉県入間市大字上藤沢字下原480番地 株式会社安川電機製作所東京工場内 (56)参考文献 特公 昭57−37023（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】長さ方向に走行する透光薄板を幅方向に光
スポットで走査し、少なくとも透過散乱光を受光して前
記透光薄板に存在する欠点を検出する欠点検出装置にお
いて、 透過散乱光を受光する線状の受光面を有する複数個の受
光器を備え、 前記複数の受光器は、線状の受光面が平行になるよう
に、かつ、線状の受光面の長手方向が、前記光スポット
の走査方向に対して所定の角度をなすように配列されて
いることを特徴とする透光薄板の欠点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12964087A JPH0772720B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 透光薄板の欠点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12964087A JPH0772720B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 透光薄板の欠点検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63295948A JPS63295948A (ja) | 1988-12-02 |
| JPH0772720B2 true JPH0772720B2 (ja) | 1995-08-02 |
Family
ID=15014504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12964087A Expired - Lifetime JPH0772720B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 透光薄板の欠点検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0772720B2 (ja) |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP12964087A patent/JPH0772720B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63295948A (ja) | 1988-12-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960012330B1 (ko) | 투광판재의 식별형 결점 검출 장치 | |
| CN101175986B (zh) | 玻璃检测系统及其使用方法 | |
| US5818062A (en) | Original edge detecting system and optical sensor using distance detecting light-receiving means | |
| KR920003534B1 (ko) | 핀홀 광탐지 장치 | |
| US5070237A (en) | Optical measurement and detection system | |
| KR101129430B1 (ko) | 적외선 스캔 방식의 터치스크린 장치 | |
| JP2004037377A (ja) | 反射型センサ、およびこれに用いられる反射型センサ用フィルタ、ならびにこのフィルタを用いた被検知物検出方法 | |
| JPH087161B2 (ja) | 識別型欠点検出装置の板厚補正装置 | |
| JPS6234097B2 (ja) | ||
| US5479274A (en) | Optical image scanning apparatus detecting sheet size and displacement | |
| JPH0772720B2 (ja) | 透光薄板の欠点検出装置 | |
| US6157457A (en) | Counting device for the remote counting of stacked objects in a stack of thin objects, as well as a counting method using a counting device | |
| US4914290A (en) | Method and apparatus for measuring of microdistances | |
| JP3078524B2 (ja) | 欠陥検出装置 | |
| JP2949853B2 (ja) | 試料の厚さ測定装置 | |
| GB2126716A (en) | Automatic checking of surfaces | |
| EP0481387B1 (en) | Photosensor device | |
| EP0628787A2 (en) | Optical sensing device | |
| JPH0445773B2 (ja) | ||
| US4317633A (en) | Device for detecting the surface unevenness of wire-shaped material | |
| JPS5860245A (ja) | 透明材料ストリツプの検査法及び検査装置 | |
| US7247841B2 (en) | Light scanning apparatus | |
| JPH0772722B2 (ja) | 識別型欠点検出装置の検出感度調整装置 | |
| JPH0778473B2 (ja) | 識別型欠点検出装置の透過散乱光用ａｇｃ装置 | |
| JPH0772721B2 (ja) | 識別型欠点検出装置の切板用ａｇｃ装置 |