JPH0772408A - Scanning optical system - Google Patents
Scanning optical systemInfo
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- JPH0772408A JPH0772408A JP24624693A JP24624693A JPH0772408A JP H0772408 A JPH0772408 A JP H0772408A JP 24624693 A JP24624693 A JP 24624693A JP 24624693 A JP24624693 A JP 24624693A JP H0772408 A JPH0772408 A JP H0772408A
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はレーザープリンタ、レー
ザーFAX等に使用される走査光学系に係わり、特に、
走査方向に対してのみパワーを有する曲面ミラーを採用
することにより、f・θレンズを使用する必要がなく、
組立も容易となる安価で高精度な走査光学系に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning optical system used for laser printers, laser fax machines, etc.
By adopting a curved mirror that has power only in the scanning direction, it is not necessary to use an f · θ lens,
The present invention relates to an inexpensive and highly accurate scanning optical system that can be easily assembled.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、レーザープリンター等のビームス
キャナーに一般的に使用されている走査光学系は、半導
体レーザー等からなる光源と、この光源からの光を等角
速度で走査面に走査するためのポリゴンミラー等からな
る偏光器と、f・θレンズとから構成されていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a scanning optical system generally used for a beam scanner of a laser printer or the like is a light source composed of a semiconductor laser or the like and a light source for scanning the light from the light source on a scanning surface at an equal angular velocity. It was composed of a polarizer such as a polygon mirror and an f · θ lens.
【0003】f・θレンズは、走査速度差を補正するた
めのものである。もしf・θレンズ等を使用しない場合
には、ポリゴンミラー100により等角速度で走査され
た光は、図7に示す様に、走査面200までの距離が同
一とならず、主走査方向中心部と両端部では(デルタ
z)の距離の差が生じる。この距離の差により、像面上
の主走査方向中心部から両端部に渡って像面湾曲が生
じ、スポット径の大きさがばらつき、均質な像が得られ
ないことになる。また、この光スポットは偏向反射面近
傍を中心として等角速度で走査されているが、像面上で
の速度は、走査域中心から両端にいく程上昇する走査速
度差が生じてしまう。The f.theta. Lens is for correcting the difference in scanning speed. If the f.theta. Lens or the like is not used, the light scanned by the polygon mirror 100 at a constant angular velocity does not have the same distance to the scanning surface 200 as shown in FIG. And a difference in distance of (delta z) occurs at both ends. Due to this difference in distance, field curvature occurs from the central portion in the main scanning direction on the image surface to both ends, the size of the spot diameter varies, and a uniform image cannot be obtained. Further, this light spot is scanned at a constant angular velocity around the deflecting and reflecting surface, but the velocity on the image plane has a difference in scanning velocity that increases from the center of the scanning region to both ends.
【0004】この像面湾曲及び走査速度差を補正し、走
査面上で光を等速度で走査させるのがf・θレンズであ
る。しかしながらf・θレンズは、走査速度差の補正、
主走査方向の像面湾曲の補正並びに副走査方向の像面湾
曲の補正を行うため、多数の凸レンズ及び凹レンズを組
み合わせなければならず、研磨面数が増加して加工精度
の向上も困難となり、コスト高となるという問題も生じ
ていた。The f.theta. Lens corrects the curvature of field and the difference in scanning speed and scans the scanning surface with light at a constant speed. However, the f.theta.
In order to correct the field curvature in the main scanning direction and the field curvature in the sub scanning direction, it is necessary to combine a large number of convex lenses and concave lenses, the number of polishing surfaces increases, and it becomes difficult to improve the processing accuracy. There was also the problem of high costs.
【0005】そこでf・θレンズを使用しない走査光学
系が提案されている。例えば図8(a)及び図8(b)
に示す様に、2枚のミラー300、301を用意し、こ
のミラー300、301で走査光を多数回反射させるこ
とにより、光路長を延長させて(デルタz)を減少させ
る方法が存在していた。Therefore, a scanning optical system that does not use an f.theta. Lens has been proposed. For example, FIG. 8 (a) and FIG. 8 (b)
As shown in FIG. 3, there is a method of preparing two mirrors 300 and 301 and reflecting the scanning light a number of times by these mirrors 300 and 301 to extend the optical path length and reduce (delta z). It was
【0006】また図9(a)及び図9(b)に示す様
に、曲面ミラー400を採用することにより、f・θレ
ンズを省略するものも存在していた。As shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b), some curved mirrors 400 are used to omit the f.theta. Lens.
【0007】更に図10に示す様に、曲面ミラー400
の副走査方向の曲率中心を走査平面から移動させたもの
や、図11に示す様に、曲面ミラー400を副走査方向
に傾けるものが存在していた。Further, as shown in FIG. 10, a curved mirror 400
There are those in which the center of curvature in the sub-scanning direction is moved from the scanning plane, and as shown in FIG. 11, the curved mirror 400 is tilted in the sub-scanning direction.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記図8
(a)及び図8(b)に示す様な2枚のミラー300、
301を使用した従来例では、光学系全体が大型化する
上、2枚のミラー300、301で何度も反射するた
め、取付角度の誤差許容値が小さく組立作業が極めて困
難であるという問題点があった。However, the above-mentioned FIG.
Two mirrors 300 as shown in FIGS. 8A and 8B,
In the conventional example using 301, the size of the entire optical system becomes large and the mirrors are repeatedly reflected by the two mirrors 300 and 301, so the error tolerance of the mounting angle is small and the assembly work is extremely difficult. was there.
【0009】また図9(a)及び図9(b)に示す様
に、曲面ミラー400を採用した従来例では、曲面ミラ
ー400への入射走査面と射出走査面とが同一平面にあ
るため、走査面上に光を導くためには、ハーフミラー等
で光を分割する必要がある。このため、光量の低下を避
けることができないという問題点があった。Further, as shown in FIGS. 9A and 9B, in the conventional example in which the curved mirror 400 is adopted, the incident scanning surface and the exit scanning surface of the curved mirror 400 are on the same plane. In order to guide the light onto the scanning surface, it is necessary to split the light with a half mirror or the like. For this reason, there is a problem in that the reduction of the light amount cannot be avoided.
【0010】更に図10及び図11に示す従来例は、ハ
ーフミラーを省略することはできるが、光学素子を主走
査方向及び副走査方向の両方に関して、正確に位置決め
しなればならず、角度及び位置の調整が面倒であり、組
立が困難となるという問題点があった。特に図11に示
す曲面ミラー400を副走査方向に傾ける方法は、像面
上における走査線が弓なりに湾曲してしまう。この湾曲
を補正して走査面上に走査させるためには、2枚以上の
曲面ミラー400、401に入射する光の方向及び位置
を調整する必要があり、取付調整が更に複雑化し困難と
なるという深刻な問題点があった。Further, in the conventional example shown in FIGS. 10 and 11, the half mirror can be omitted, but the optical element must be accurately positioned in both the main scanning direction and the sub scanning direction, and the angle and There is a problem that the adjustment of the position is troublesome and the assembling becomes difficult. Particularly, in the method of tilting the curved mirror 400 shown in FIG. 11 in the sub-scanning direction, the scanning line on the image plane is curved in a bow. In order to correct this curvature and scan on the scanning surface, it is necessary to adjust the direction and position of the light incident on the two or more curved mirrors 400 and 401, which makes mounting adjustment more complicated and difficult. There was a serious problem.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
案出されたもので、光源部と、この光源部からの光を回
転偏向器に導くためのリレー光学系と、このリレー光学
系からの光を等角速度で走査面を走査するための回転偏
向器と、この回転偏向器と該走査面の間に配置された曲
面ミラーとから構成されており、前記リレー光学系は、
走査面に対して所定の角度をなしながら前記回転偏向器
に光を入射させ、前記曲面ミラーは、主走査方向に対し
てのみパワーを有する様に構成されている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems, and includes a light source section, a relay optical system for guiding light from the light source section to a rotary deflector, and the relay optical system. A rotary deflector for scanning the scanning surface with light at a constant angular velocity, and a curved mirror arranged between the rotary deflector and the scanning surface.
Light is incident on the rotary deflector while forming a predetermined angle with respect to the scanning surface, and the curved mirror is configured to have power only in the main scanning direction.
【0012】また本発明は、前記リレー光学系及び、前
記走査面と前記曲面ミラーとの間には、副走査方向にパ
ワーを有するレンズを設けることもできる。Further, according to the present invention, a lens having power in the sub-scanning direction may be provided between the relay optical system and the scanning surface and the curved mirror.
【0013】更に本発明は、曲面ミラーの反射面が、非
球面とすることもできる。Further, in the present invention, the reflecting surface of the curved mirror may be an aspherical surface.
【0014】[0014]
【作用】以上の様に構成された本発明は、リレー光学系
が、光源部からの光を回転偏向器に導き、回転偏向器
が、リレー光学系からの光を等角速度で走査面を走査
し、曲面ミラーを、回転偏向器と走査面の間に配置する
様になっており、リレー光学系が、走査面に対して所定
の角度をなしながら回転偏向器に光を入射させ、曲面ミ
ラーは、主走査方向に対してのみパワーを有する様にな
っている。In the present invention configured as described above, the relay optical system guides the light from the light source section to the rotary deflector, and the rotary deflector scans the light from the relay optical system on the scanning surface at a constant angular velocity. Then, the curved mirror is arranged between the rotary deflector and the scanning surface, and the relay optical system makes the light incident on the rotary deflector while forming a predetermined angle with respect to the scanning surface, and the curved mirror Have power only in the main scanning direction.
【0015】そして本発明は、リレー光学系及び、走査
面と曲面ミラーとの間に、副走査方向にパワーを有する
レンズを設けることもできる。In the present invention, a relay optical system and a lens having power in the sub-scanning direction can be provided between the scanning surface and the curved mirror.
【0016】更に本発明は、曲面ミラーの反射面を非球
面にすることもできる。Further, according to the present invention, the reflecting surface of the curved mirror may be an aspherical surface.
【0017】[0017]
【0018】本発明の走査光学系の実施例を図面に基づ
いて説明する。An embodiment of the scanning optical system of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0019】本実施例の走査光学系は、レーザープリン
タ、レーザーFAX、ディジタルコピー等に使用される
ビームスキャナー装置であり、何れもf・θレンズを省
略することのできる走査光学系である。The scanning optical system of this embodiment is a beam scanner device used for laser printers, laser fax machines, digital copying machines, etc., and all of them are scanning optical systems in which the f.theta. Lens can be omitted.
【0020】「第1実施例」"First embodiment"
【0021】図1は、第1実施例の走査光学系を示すも
のであり、半導体レーザー1と、集光レンズ2と、ポリ
ゴンミラー3と、曲面ミラー4と、走査面5とから構成
されている。FIG. 1 shows a scanning optical system according to the first embodiment, which comprises a semiconductor laser 1, a condenser lens 2, a polygon mirror 3, a curved mirror 4 and a scanning surface 5. There is.
【0022】半導体レーザー1は光源部に該当するもの
で、レーザー光を照射するためのものである。半導体レ
ーザー1は適宜の駆動手段に接続されており、半導体レ
ーザー1を強度変調させることにより、画像情報等を載
せた発散光束を照射させることができる。なお光源部は
半導体レーザー1に限ることなく、他のレーザー発生手
段や点光源等を採用することもできる。The semiconductor laser 1 corresponds to a light source section, and is for irradiating laser light. The semiconductor laser 1 is connected to an appropriate driving means, and by irradiating the semiconductor laser 1 with an intensity modulation, a divergent light flux carrying image information and the like can be emitted. The light source section is not limited to the semiconductor laser 1, and other laser generating means, point light source, or the like can be adopted.
【0023】集光レンズ2は、半導体レーザー1からの
光をポリゴンミラー3に導くためのリレー光学系に該当
するものであり、半導体レーザー1からの発散光束を集
束光束にすることができる。そして集光レンズ2は、こ
の集束光束を走査面に対して所定の角度をなしながらポ
リゴンミラー3に入射させる様に構成されている。The condenser lens 2 corresponds to a relay optical system for guiding the light from the semiconductor laser 1 to the polygon mirror 3, and can convert the divergent light flux from the semiconductor laser 1 into a focused light flux. Then, the condenser lens 2 is configured to make the focused light flux enter the polygon mirror 3 while forming a predetermined angle with respect to the scanning surface.
【0024】ポリゴンミラー3は回転偏向器に該当する
もので、曲面ミラー4と組み合わせることにより、走査
面5上で光スポットを等速走査させることができる。こ
のポリゴンミラー3の支軸には、適宜のモータ等からな
る回転駆動手段が連結されている。この回転駆動手段に
よりポリゴンミラー3は、等角速度で回転される。なお
回転偏向器はポリゴンミラー3に限ることなく、光束を
一平面に走査させることができるものであれば、何れの
ものを採用することができる。The polygon mirror 3 corresponds to a rotary deflector, and when combined with the curved mirror 4, the light spot can be scanned at a constant speed on the scanning surface 5. A rotation driving means including an appropriate motor or the like is connected to a support shaft of the polygon mirror 3. The polygon mirror 3 is rotated at a constant angular velocity by this rotation driving means. The rotary deflector is not limited to the polygon mirror 3, and any one can be adopted as long as it can scan a light beam on one plane.
【0025】曲面ミラー4は図1及び図2に示す様に、
ポリゴンミラー3からの偏向光束を反射して走査面5上
に集光させるためのものである。曲面ミラー4は、ポリ
ゴンミラー3と走査面5の間に配置されており、反射面
41は非球面となっている。そして曲面ミラー4は、主
走査方向に対してのみパワーを有し、副走査方向にはパ
ワーを有しない様に構成されている。なお主走査方向と
は、ポリゴンミラー3により走査される方向であり、副
走査方向とは、主走査方向に直交する方向である。なお
一般に副走査方向は、走査面5がドラム状である場合に
は、ドラムの駆動方向となる。The curved mirror 4 is, as shown in FIGS. 1 and 2,
It is for reflecting the deflected light flux from the polygon mirror 3 and condensing it on the scanning surface 5. The curved mirror 4 is arranged between the polygon mirror 3 and the scanning surface 5, and the reflecting surface 41 is an aspherical surface. The curved mirror 4 has a power only in the main scanning direction and has no power in the sub scanning direction. The main scanning direction is the direction scanned by the polygon mirror 3, and the sub-scanning direction is the direction orthogonal to the main scanning direction. Generally, the sub-scanning direction is the driving direction of the drum when the scanning surface 5 has a drum shape.
【0026】走査面5は、集光された光スポットが等速
走査される面である。半導体レーザー1が、画像信号に
より変調された光ビームを照射している場合には、走査
面5には画像が形成される。The scanning surface 5 is a surface on which the condensed light spot is scanned at a constant speed. When the semiconductor laser 1 emits a light beam modulated by an image signal, an image is formed on the scanning surface 5.
【0027】以上の様に構成された第1実施例は、半導
体レーザー1から発散光束が照射されると、集光レンズ
2により集束光束に変換され、この集束光束をポリゴン
ミラー3に導く様になっている。この集束光束は図3に
示す様に、走査面に対して所定の角度をなしながらポリ
ゴンミラー3に入射させる様になっている。In the first embodiment constructed as described above, when a divergent light beam is emitted from the semiconductor laser 1, it is converted into a convergent light beam by the condenser lens 2, and the converged light beam is guided to the polygon mirror 3. Has become. As shown in FIG. 3, the focused light flux is made to enter the polygon mirror 3 while forming a predetermined angle with respect to the scanning surface.
【0028】そして等角速度回転されたポリゴンミラー
3により、光ビームは、曲面ミラー4に向けて走査され
る。曲面ミラー4上では、走査された光ビームに走査速
度差が生じている。しかしながら曲面ミラー4には、主
走査方向に対してパワーを備えているので、走査速度差
及び像面湾曲を補正する様に光ビームを走査面5に反射
させることができる。Then, the light beam is scanned toward the curved mirror 4 by the polygon mirror 3 rotated at a constant angular velocity. On the curved mirror 4, a scanning speed difference occurs in the scanned light beam. However, since the curved mirror 4 has power in the main scanning direction, the light beam can be reflected on the scanning surface 5 so as to correct the difference in scanning speed and the curvature of field.
【0029】この結果、ポリゴンミラー3により走査さ
れた光ビームは、曲面ミラー4で反射され、走査速度差
を補正されて走査面5で等速走査される様になってい
る。As a result, the light beam scanned by the polygon mirror 3 is reflected by the curved mirror 4, the scanning speed difference is corrected, and the scanning surface 5 is scanned at a constant speed.
【0030】以上の様に第1実施例は、f・θレンズを
使用することなく、曲面ミラー4を使用することで、走
査面5上で等速走査を行うことができるという効果があ
る。そして図7及び図8に見られる様な像面湾曲(デル
タz)も補正されるので、高精細な画像を形成すること
ができる。同時に回転偏向器の回転軸と、リレー光学系
による入射光の光軸とが垂直でない故に生じる副走査面
内での走査線の湾曲も、副走査方向に対しパワーのない
曲面ミラー4により補正される為、副走査方向への位置
調整が不要となるという効果がある。また曲面ミラー4
は、主走査方向に対してのみパワーを有する様に構成さ
れているので、反射面形状が単純化される。これらのこ
とから、組立の手間が少なく、各光学部品の加工費用を
安価にすることができるという効果がある。As described above, the first embodiment has an effect that constant-speed scanning can be performed on the scanning surface 5 by using the curved mirror 4 without using the f.theta. Lens. Since the field curvature (delta z) as seen in FIGS. 7 and 8 is also corrected, a high-definition image can be formed. At the same time, the curve of the scanning line in the sub-scanning plane caused by the fact that the rotation axis of the rotary deflector and the optical axis of the incident light from the relay optical system are not perpendicular is also corrected by the curved mirror 4 having no power in the sub-scanning direction. Therefore, there is an effect that position adjustment in the sub-scanning direction becomes unnecessary. Also curved mirror 4
Is configured to have power only in the main scanning direction, the shape of the reflecting surface is simplified. From these, there is an effect that the labor of assembling is small and the processing cost of each optical component can be made low.
【0031】「第2実施例」"Second embodiment"
【0032】図4は、第2実施例の走査光学系を示すも
のであり、半導体レーザー1と、集光レンズ2と、第1
の円柱レンズ21と、ポリゴンミラー3と、曲面ミラー
4と、走査面5と、第2の円柱レンズ6とから構成され
ている。FIG. 4 shows the scanning optical system of the second embodiment, which includes a semiconductor laser 1, a condenser lens 2, and a first lens.
The cylindrical lens 21, the polygon mirror 3, the curved mirror 4, the scanning surface 5, and the second cylindrical lens 6.
【0033】集光レンズ2と第1の円柱レンズ21と
は、半導体レーザー1からの光をポリゴンミラー3に導
くためのリレー光学系に該当するものである。第1の円
柱レンズ21は、主走査方向に対して長い線像とするた
めのレンズである。第2の円柱レンズ6は、曲面ミラー
4と走査面5との間に挿入されている。この第2の円柱
レンズ6は、ポリゴンミラー3と走査面5とを略共役と
するためのものである。第1の円柱レンズ21と第2の
円柱レンズ6とにより、面倒れの補正を行うことができ
る。なお、第1の円柱レンズ21と第2の円柱レンズ6
とが、副走査方向にパワーを有するレンズに該当する。The condenser lens 2 and the first cylindrical lens 21 correspond to a relay optical system for guiding the light from the semiconductor laser 1 to the polygon mirror 3. The first cylindrical lens 21 is a lens for forming a long line image in the main scanning direction. The second cylindrical lens 6 is inserted between the curved mirror 4 and the scanning surface 5. The second cylindrical lens 6 is for making the polygon mirror 3 and the scanning surface 5 substantially conjugate. With the first cylindrical lens 21 and the second cylindrical lens 6, it is possible to correct surface tilt. The first cylindrical lens 21 and the second cylindrical lens 6
And correspond to a lens having power in the sub-scanning direction.
【0034】以上の様に構成された第2実施例は、第2
実施例は、f・θレンズを使用することなく、曲面ミラ
ー4を使用することで、走査面5上で等速走査を行うこ
とができると共に、面倒れ補正を行うことができるとい
う卓越した効果がある。なおその他の構成・作用は、第
1実施例と同様であるから説明を省略する。The second embodiment constructed as described above is the second embodiment.
In the embodiment, by using the curved mirror 4 without using the f.theta. Lens, it is possible to perform the uniform velocity scanning on the scanning surface 5 and to perform the surface tilt correction. There is. The rest of the configuration / operation is the same as that of the first embodiment, so the explanation is omitted.
【0035】「曲面ミラー4について」"About curved mirror 4"
【0036】曲面ミラー4の反射面41は、非球面とす
ることもでき、この場合には、以下の式を満たす曲面と
することができる。The reflecting surface 41 of the curved mirror 4 may be an aspherical surface, and in this case, it may be a curved surface satisfying the following formula.
【0037】[0037]
【数1】 [Equation 1]
【0038】更に曲面ミラー4の反射面41を2次曲面
とすることもでき、この場合には、以下の式を満たす曲
面とすることができる。Further, the reflecting surface 41 of the curved mirror 4 can be a quadratic curved surface, and in this case, a curved surface satisfying the following equation can be used.
【0039】[0039]
【数2】 [Equation 2]
【0040】ここでkはコーニック係数であり、k≧−
1 を満たす様になっている。Here, k is a conic coefficient, and k ≧ −
It is designed to satisfy 1.
【0041】「第1実施例の具体例」"Specific Example of First Embodiment"
【0042】次に第1実施例の具体例を表1に示し、そ
の特性データを図5(a)、図5(b)、図5(c)、
図5(d)に示すことにする。Next, a specific example of the first embodiment is shown in Table 1, and its characteristic data are shown in FIGS. 5 (a), 5 (b), 5 (c),
It will be shown in FIG.
【0043】[0043]
【表1】 [Table 1]
【0044】図5(a)は、歪曲収差を示すものであ
り、横軸が主走査方向の走査位置、縦軸が歪曲度となっ
ている。図5(b)は、副走査方向の走査位置を示すも
のであり、走査線の位置ずれである走査線の曲がりを表
している。横軸が主走査方向の走査位置となっており、
縦軸は副走査方向の集光位置となっている。図5(c)
は主走査方向の像面湾曲を示すものであり、横軸が主走
査方向の走査位置、縦軸が湾曲度を表している。図5
(d)は副走査方向の像面湾曲を示すものであり、横軸
が主走査方向の走査位置、縦軸が湾曲度を表している。FIG. 5A shows the distortion aberration, in which the horizontal axis represents the scanning position in the main scanning direction and the vertical axis represents the distortion degree. FIG. 5B shows the scanning position in the sub-scanning direction, and shows the bending of the scanning line, which is the positional deviation of the scanning line. The horizontal axis is the scanning position in the main scanning direction,
The vertical axis represents the light collecting position in the sub-scanning direction. FIG. 5 (c)
Represents the field curvature in the main scanning direction, the horizontal axis represents the scanning position in the main scanning direction, and the vertical axis represents the degree of curvature. Figure 5
(D) shows the field curvature in the sub-scanning direction, the horizontal axis represents the scanning position in the main scanning direction, and the vertical axis represents the degree of curvature.
【0045】「第2実施例の具体例」"Specific Example of Second Embodiment"
【0046】次に第2実施例の具体例を表2に示し、特
性データを図6(a)、図6(b)、図6(c)、図6
(d)に示すことにする。なお図の表示方法は、図5
(a)〜図5(d)と同様である。Next, a concrete example of the second embodiment is shown in Table 2, and characteristic data are shown in FIGS. 6 (a), 6 (b), 6 (c) and 6
It will be shown in (d). The display method of the figure is
It is similar to (a) to FIG. 5 (d).
【0047】[0047]
【表2】 [Table 2]
【0048】[0048]
【効果】以上の様に構成された本発明は、光源部と、こ
の光源部からの光を回転偏向器に導くためのリレー光学
系と、このリレー光学系からの光を等角速度で走査面を
走査するための回転偏向器と、この回転偏向器と該走査
面の間に配置された曲面ミラーとから構成されており、
前記リレー光学系は、走査面に対して所定の角度をなし
ながら前記回転偏向器に光を入射させ、前記曲面ミラー
は、主走査方向に対してのみパワーを有する様に構成さ
れているので、f・θレンズを使用することなく、曲面
ミラー4を使用することで、走査面5上で等速走査を行
うことができるという効果がある。そして曲面ミラー
は、主走査方向に対してのみパワーを有し、副走査方向
にはパワーを有しない様に構成されているので加工及び
組立が容易でコストの削減を実現することができ、安価
で高精細な走査光学ユニットを提供することができると
いう効果がある。According to the present invention configured as described above, the light source section, the relay optical system for guiding the light from the light source section to the rotary deflector, and the light from the relay optical system at the scanning surface at a constant angular velocity. And a curved mirror arranged between the rotary deflector and the scanning surface.
The relay optical system allows light to enter the rotary deflector while forming a predetermined angle with respect to the scanning surface, and the curved mirror is configured to have power only in the main scanning direction. By using the curved mirror 4 without using the f.theta. lens, it is possible to perform constant velocity scanning on the scanning surface 5. Since the curved mirror has a power only in the main scanning direction and no power in the sub-scanning direction, it is easy to process and assemble, and cost reduction can be realized. Therefore, there is an effect that a high-definition scanning optical unit can be provided.
【0049】更に本発明は、図7及び図8に見られる様
な像面湾曲(デルタz)も補正されるので、高精細な画
像を形成することができる。同時に回転偏向器の回転軸
と、リレー光学系による入射光の光軸とが垂直でない故
に生じる走査線の湾曲も、曲面ミラーにより補正される
為、副走査方向への位置調整が不要となるという効果が
ある。また曲面ミラーは、主走査方向に対してのみパワ
ーを有する様に構成されているので、反射面形状が単純
化される。これらのことから、組立の手間が少なく、各
光学部品の加工費用を高精細ながら安価にすることがで
きるという卓越した効果がある。Further, according to the present invention, the field curvature (delta z) as shown in FIGS. 7 and 8 is also corrected, so that a high definition image can be formed. At the same time, since the curved mirror corrects the curvature of the scanning line caused by the fact that the rotation axis of the rotary deflector and the optical axis of the incident light from the relay optical system are not perpendicular, the position adjustment in the sub-scanning direction becomes unnecessary. effective. Further, since the curved mirror is configured to have power only in the main scanning direction, the shape of the reflecting surface is simplified. From these things, there is an outstanding effect that the labor of assembling is small and the processing cost of each optical component can be made high-definition and inexpensive.
【0050】更に本発明のリレー光学系及び、前記走査
面と前記曲面ミラーとの間には、副走査方向にパワーを
有するレンズが設けることもできるので、面倒れ補正を
行うことも可能である。Further, since the relay optical system of the present invention and a lens having a power in the sub-scanning direction can be provided between the scanning surface and the curved mirror, surface tilt correction can be performed. .
【0051】[0051]
【図1】本発明の第1実施例の構成を示す斜視図であ
る。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a first embodiment of the present invention.
【図2】本第1実施例の構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the first embodiment.
【図3】本第1実施例の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the first embodiment.
【図4】本発明の第2実施例の構成を示す斜視図であ
る。FIG. 4 is a perspective view showing a configuration of a second exemplary embodiment of the present invention.
【図5(a)】本第1実施例の特性データを示す図であ
る。FIG. 5A is a diagram showing characteristic data of the first embodiment.
【図5(b)】本第1実施例の特性データを示す図であ
る。FIG. 5B is a diagram showing characteristic data of the first embodiment.
【図5(c)】本第1実施例の特性データを示す図であ
る。FIG. 5C is a diagram showing characteristic data of the first embodiment.
【図5(d)】本第1実施例の特性データを示す図であ
る。FIG. 5 (d) is a diagram showing characteristic data of the first embodiment.
【図6(a)】本第2実施例の特性データを示す図であ
る。FIG. 6 (a) is a diagram showing characteristic data of the second embodiment.
【図6(b)】本第2実施例の特性データを示す図であ
る。FIG. 6 (b) is a diagram showing characteristic data of the second embodiment.
【図6(c)】本第2実施例の特性データを示す図であ
る。FIG. 6C is a diagram showing characteristic data of the second embodiment.
【図6(d)】本第2実施例の特性データを示す図であ
る。FIG. 6 (d) is a diagram showing characteristic data of the second embodiment.
【図7】従来技術をを説明する図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a conventional technique.
【図8(a)】従来技術をを説明する図である。FIG. 8A is a diagram illustrating a conventional technique.
【図8(b)】従来技術をを説明する図である。FIG. 8B is a diagram illustrating a conventional technique.
【図9(a)】従来技術をを説明する図である。FIG. 9A is a diagram illustrating a conventional technique.
【図9(b)】従来技術をを説明する図である。FIG. 9B is a diagram illustrating a conventional technique.
【図10】従来技術をを説明する図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a conventional technique.
【図11】従来技術をを説明する図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a conventional technique.
1 半導体レーザー 2 集光レンズ 21 第1の円柱レンズ 3 ポリゴンミラー 4 曲面ミラー 41 反射面 5 走査面 6 第2の円柱レンズ 1 Semiconductor Laser 2 Condensing Lens 21 First Cylindrical Lens 3 Polygon Mirror 4 Curved Mirror 41 Reflecting Surface 5 Scanning Surface 6 Second Cylindrical Lens
Claims (3)
向器に導くためのリレー光学系と、このリレー光学系か
らの光を等角速度で走査面を走査するための回転偏向器
と、この回転偏向器と該走査面の間に配置された曲面ミ
ラーとから構成されており、前記リレー光学系は、走査
面に対して所定の角度をなしながら前記回転偏向器に光
を入射させ、前記曲面ミラーは、主走査方向に対しての
みパワーを有する様に構成されていることを特徴とする
走査光学系。1. A light source unit, a relay optical system for guiding light from the light source unit to a rotary deflector, and a rotary deflector for scanning light from the relay optical system at a constant angular velocity on a scanning surface. , The rotary optical deflector and a curved mirror arranged between the scanning planes, and the relay optical system allows light to enter the rotary deflector while forming a predetermined angle with respect to the scanning plane. The curved optical mirror is configured to have power only in the main scanning direction.
記曲面ミラーとの間には、副走査方向にパワーを有する
レンズが設けられている請求項1記載の走査光学系。2. The scanning optical system according to claim 1, wherein a lens having power in the sub-scanning direction is provided between the relay optical system and the scanning surface and the curved mirror.
いる請求項1〜2記載の走査光学系。3. The scanning optical system according to claim 1, wherein the reflecting surface of the curved mirror is an aspherical surface.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24624693A JPH0772408A (en) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | Scanning optical system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24624693A JPH0772408A (en) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | Scanning optical system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0772408A true JPH0772408A (en) | 1995-03-17 |
Family
ID=17145681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24624693A Pending JPH0772408A (en) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | Scanning optical system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0772408A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007041513A (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Toshiba Corp | Optical scanner |
JP2014098871A (en) * | 2012-11-16 | 2014-05-29 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Optical scanning apparatus |
-
1993
- 1993-09-06 JP JP24624693A patent/JPH0772408A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007041513A (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Toshiba Corp | Optical scanner |
JP2014098871A (en) * | 2012-11-16 | 2014-05-29 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Optical scanning apparatus |
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