JPH076952B2 - Ultrasonic microscope - Google Patents
Ultrasonic microscopeInfo
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- JPH076952B2 JPH076952B2 JP60194132A JP19413285A JPH076952B2 JP H076952 B2 JPH076952 B2 JP H076952B2 JP 60194132 A JP60194132 A JP 60194132A JP 19413285 A JP19413285 A JP 19413285A JP H076952 B2 JPH076952 B2 JP H076952B2
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- acoustic lens
- stop position
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は超音波顕微鏡に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an ultrasonic microscope.
従来、音響レンズを加振器によりＸ方向に微小に振動さ
せると共に、試料を載置したＸ−ＹステージをＹ方向に
移動させることにより試料を二次元的に走査してその超
音波像を得るようにした超音波顕微鏡は種々提案されて
いる。Conventionally, the acoustic lens is slightly vibrated in the X direction by a vibrator, and the XY stage on which the sample is mounted is moved in the Y direction to scan the sample two-dimensionally and obtain an ultrasonic image thereof. Various ultrasonic microscopes have been proposed.
しかしながら、従来の超音波顕微鏡にあっては、ステー
ジのＸおよびＹ方向の停止位置は正確に制御できるが、
音響レンズのＸ方向の停止位置は、その振動が高速であ
ると共に、一般には音響レンズが弾性部材を介してＸ方
向に移動可能に固定部に取り付けられているため、加振
駆動の停止時における慣性力によって一定位置とはなら
なかった。このため、Ｘ−Ｙステージおよび音響レンズ
をＸおよびＹ方向と直交するＺ方向に相対的に移動させ
て、走査によって得られた超音波像から所望の位置にお
けるV(Z)曲線を得るにあたっては、その位置出しを精度
良く行うことができず、所望の位置に正確に対応するV
(Z)曲線を得ることが困難であった。However, in the conventional ultrasonic microscope, although the stop position of the stage in the X and Y directions can be accurately controlled,
At the stop position of the acoustic lens in the X direction, the vibration is high speed, and generally, the acoustic lens is attached to the fixed portion so as to be movable in the X direction via the elastic member. The inertial force did not result in a fixed position. Therefore, in order to obtain the V (Z) curve at a desired position from the ultrasonic image obtained by scanning, the X-Y stage and the acoustic lens are relatively moved in the Z direction orthogonal to the X and Y directions. , The position cannot be accurately determined, and V that accurately corresponds to the desired position
It was difficult to obtain the (Z) curve.
この発明は、このような従来の問題点に着目してなされ
たもので、音響レンズを加振器による加振方向の所望の
設定位置に正確に停止できるように適切に構成した超音
波顕微鏡を提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of such conventional problems, and an ultrasonic microscope appropriately configured so that the acoustic lens can be accurately stopped at a desired setting position in the vibration direction by the vibration exciter. It is intended to be provided.
上記目的を達成するため、この発明では、音響レンズ
を、その超音波軸と直交する平面内における所定の一軸
方向に加振器により加振させるようにした超音波顕微鏡
において、 前記音響レンズの加振方向の所望の停止位置を設定する
停止位置設定手段と、この停止位置設定手段により設定
された停止位置に前記音響レンズを停止させる停止手段
と、 を備える。In order to achieve the above-mentioned object, in the present invention, in an ultrasonic microscope in which an acoustic lens is excited by an exciter in a predetermined uniaxial direction in a plane orthogonal to the ultrasonic axis thereof, A stop position setting means for setting a desired stop position in the shaking direction; and a stop means for stopping the acoustic lens at the stop position set by the stop position setting means.
第１図はこの発明の第１実施例の要部を示す図である。
音響レンズ１は保持部材２に保持し、この保持部材２を
加振器３に連結して走査制御装置４の制御の下にＸ方向
に加振させる。この実施例では、保持部材２にLED等の
発光素子５を設けると共に、この発光素子５からの光を
受光し得るように図示しない固定部材にＸ方向に延在し
てPSDやラインセンサ等の受光素子６を設け、その出力
を走査制御装置４に供給する。また、音響レンズ１の所
望の停止位置はＸ座標指定回路７で設定し、その位置情
報を走査制御装置４に供給する。FIG. 1 is a diagram showing a main part of a first embodiment of the present invention.
The acoustic lens 1 is held by a holding member 2, and the holding member 2 is connected to a vibrator 3 to vibrate in the X direction under the control of the scanning controller 4. In this embodiment, a light emitting element 5 such as an LED is provided on the holding member 2, and a fixing member (not shown) extends in the X direction so that light from the light emitting element 5 can be received. A light receiving element 6 is provided and its output is supplied to the scanning control device 4. The desired stop position of the acoustic lens 1 is set by the X coordinate designating circuit 7, and the position information is supplied to the scanning control device 4.
このようにして、この実施例では走査制御装置４におい
て受光素子６の出力に基づいて音響レンズ１の駆動停止
時における位置を検出すると共に、この停止位置とＸ座
標指定回路７で設定された所望の停止位置とを比較し、
受光素子６の出力から検出される停止位置がＸ座標指定
回路７における所望の停止位置となるよう、走査制御装
置４により加振器３をフィードバック制御する。In this way, in this embodiment, the scanning controller 4 detects the position of the acoustic lens 1 when the driving is stopped based on the output of the light receiving element 6, and the stop position and the desired position set by the X coordinate designating circuit 7 are set. Compare with the stop position of
The vibration controller 3 is feedback-controlled by the scanning control device 4 so that the stop position detected from the output of the light receiving element 6 becomes a desired stop position in the X coordinate designating circuit 7.
このようにすれば、音響レンズ１の加振器３による加振
方向（Ｘ方向）での停止位置を、Ｘ座標指定回路７で設
定した所望の停止位置に常に正確に位置決めすることが
できる。なお、この実施例では受光素子６の出力から音
響レンズ１の位置情報を得ることができるので、その位
置やＸ座標指定回路７で設定した所望の停止位置を表示
させるようにすることもできる。With this configuration, the stop position of the acoustic lens 1 in the vibration direction (X direction) of the vibrator 3 can always be accurately positioned at the desired stop position set by the X coordinate designating circuit 7. In this embodiment, since the position information of the acoustic lens 1 can be obtained from the output of the light receiving element 6, that position or the desired stop position set by the X coordinate designating circuit 7 can be displayed.
ここで、上述した第１実施例において、停止位置設定手
段は、Ｘ座標指定回路７である。また、停止手段は、少
なくとも加振器３及び走査制御装置４から構成され、詳
しくは、発光素子５及び受光素子６を含むものである。Here, in the above-described first embodiment, the stop position setting means is the X coordinate designation circuit 7. The stopping means is composed of at least the vibrator 3 and the scanning control device 4, and specifically includes the light emitting element 5 and the light receiving element 6.
第２図はこの発明の第２実施例の要部を示す図である。
この実施例では、音響レンズ１を保持する保持部材２に
凹部2aを形成し、この凹部2aにボール11を選択的に係合
させることによって、音響レンズ１を所望の設定位置に
機械的に位置決めするようにしたものである。ボール11
はソレノイド12に連結し、このソレノイド12を走査制御
装置４により駆動制御する。すなわち、走査制御装置４
により加振器３を介して音響レンズ１をＸ方向に加振さ
せる際には、ソレノイド12を付勢または減勢してボール
11を保持部材２の凹部2aから離間させ、加振終了時には
ソレノイド12を減勢または付勢してボール11を保持部材
２に押圧してその凹部2aに係合させることにより音響レ
ンズ１を所望の設定位置に再現性良く、機械的に位置決
めする。FIG. 2 is a diagram showing a main part of a second embodiment of the present invention.
In this embodiment, a recess 2a is formed in a holding member 2 for holding the acoustic lens 1, and a ball 11 is selectively engaged with the recess 2a to mechanically position the acoustic lens 1 at a desired setting position. It is something that is done. Ball 11
Is connected to a solenoid 12 and the scanning controller 4 drives and controls the solenoid 12. That is, the scanning control device 4
When vibrating the acoustic lens 1 in the X direction via the vibration exciter 3, the solenoid 12 is energized or deenergized to
The acoustic lens 1 is desired by separating 11 from the recess 2a of the holding member 2 and depressing or urging the solenoid 12 at the end of vibration to press the ball 11 against the holding member 2 and engage the recess 2a. Positions mechanically with good reproducibility.
ここで、上述した第２実施例において、停止位置設定手
段は、保持部材２に形成された凹部2aである。また、停
止手段は、少なくとも加振器３及び走査制御装置４から
構成され、詳しくは、ボール11及びソレノイド12を含む
ものである。Here, in the above-described second embodiment, the stop position setting means is the recess 2a formed in the holding member 2. The stopping means is composed of at least the vibrator 3 and the scanning control device 4, and specifically includes the ball 11 and the solenoid 12.
なお、この発明は上述した実施例にのみ限定されるもの
ではなく、幾多の変形又は変更が可能である。例えは、
光学顕微鏡を組込み、超音波顕微鏡による超音波像と同
一部分の光学像を得るようにしたものにおいては、音響
レンズの所望の設定位置を光学顕微鏡の光軸上の位置と
することができる。このようにすれば、光学像の中心位
置でのV(Z)曲線を得ることができる。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made. For example,
In the case where an optical microscope is incorporated and an optical image of the same portion as the ultrasonic image obtained by the ultrasonic microscope is obtained, a desired setting position of the acoustic lens can be set to a position on the optical axis of the optical microscope. By doing so, the V (Z) curve at the center position of the optical image can be obtained.
以上述べたように、この発明によれば音響レンズを加振
器による加振方向の所望の設定位置に正確に停止させる
ことができるので、走査によって得られた超音波像から
所望の位置に正確に対応するV(Z)曲線を容易に得ること
ができる。また、音響レンズの所定の停止位置と、光学
顕微鏡の光軸とを一致させることにより、光学像の中心
位置でのV(Z)曲線を得ることができる。As described above, according to the present invention, since the acoustic lens can be accurately stopped at the desired setting position in the vibration direction by the vibration exciter, the ultrasonic image obtained by scanning can be accurately moved to the desired position. The V (Z) curve corresponding to can be easily obtained. Further, by matching the predetermined stop position of the acoustic lens with the optical axis of the optical microscope, the V (Z) curve at the center position of the optical image can be obtained.
第１図はこの発明の第１実施例の要部を示す図。 第２図は同じく第２実施例の要部を示す図。 １……音響レンズ、２……保持部材 2a……凹部、３……加振器 ４……走査制御装置、５……発光素子 ６……受光素子、７……Ｘ座標指定回路 11……ボール、12……ソレノイド FIG. 1 is a diagram showing a main part of a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view showing the essential parts of the second embodiment of the same. 1 ... Acoustic lens, 2 ... Holding member 2a ... Recessed portion, 3 ... Vibrator, 4 ... Scan control device, 5 ... Light emitting element, 6 ... Light receiving element, 7 ... X coordinate designating circuit ... Ball, 12 ... solenoid
Claims (1)
面内における所定の一軸方向に加振器により加振させる
ようにした超音波顕微鏡において、 前記音響レンズの加振方向の所望の停止位置を設定する
停止位置設定手段と、 この停止位置設定手段により設定された停止位置に前記
音響レンズを停止させる停止手段と、 を備えることを特徴とする超音波顕微鏡。1. An ultrasonic microscope in which an acoustic lens is vibrated by a vibrating device in a predetermined uniaxial direction in a plane orthogonal to the ultrasonic axis of the acoustic lens. An ultrasonic microscope comprising: a stop position setting means for setting a position; and a stop means for stopping the acoustic lens at the stop position set by the stop position setting means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60194132A JPH076952B2 (en) | 1985-09-03 | 1985-09-03 | Ultrasonic microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60194132A JPH076952B2 (en) | 1985-09-03 | 1985-09-03 | Ultrasonic microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6254157A JPS6254157A (en) | 1987-03-09 |
| JPH076952B2 true JPH076952B2 (en) | 1995-01-30 |
Family
ID=16319439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60194132A Expired - Lifetime JPH076952B2 (en) | 1985-09-03 | 1985-09-03 | Ultrasonic microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076952B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10155082B2 (en) | 2002-04-10 | 2018-12-18 | Baxter International Inc. | Enhanced signal detection for access disconnection systems |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6098362A (en) * | 1983-11-02 | 1985-06-01 | Olympus Optical Co Ltd | Protective device of ultrasonic microscope |
| JPS6097259A (en) * | 1983-11-02 | 1985-05-31 | Olympus Optical Co Ltd | Vibration applying apparatus of ultrasonic microscope |
-
1985
- 1985-09-03 JP JP60194132A patent/JPH076952B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6254157A (en) | 1987-03-09 |
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