JPH0763943A - Multiplexer - Google Patents

Multiplexer

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JPH0763943A
JPH0763943A JP5235602A JP23560293A JPH0763943A JP H0763943 A JPH0763943 A JP H0763943A JP 5235602 A JP5235602 A JP 5235602A JP 23560293 A JP23560293 A JP 23560293A JP H0763943 A JPH0763943 A JP H0763943A
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light
laser
prism
dielectric multilayer
incident
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Michihiko Sakurai
道彦 桜井
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Abstract

PURPOSE:To realize miniaturization by reducing the number of parts. CONSTITUTION:Dielectric multilayer film mirrors 17 and 18 are formed on the different surfaces of one optical prism 22, and laser diodes 14 to 16 for making laser beams 11 to 13 having different wavelength incident on the mirrors 17 and 18 are arranged. The laser beams 11 to 13 transmitted or reflected by the mirrors 17 and 18 are multiplexed to be one multiplex light beam. Since the plural mirrors 17 and 18 are provided on one optical prism 22 in such a way, the number of parts is reduced and the miniaturization is realized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本願の発明は、互いに異なる波長
の光を合波するための合波装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multiplexing device for multiplexing lights of different wavelengths.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は、レーザディスプレイの光源等と
して使用される、3波長のレーザ光を合波する合波装置
の一従来例を示している。この一従来例は、波長λ1
λ2 、λ3 が夫々例えば480nm、525nm、63
0〜670nmである青色光、緑色光及び赤色光として
のレーザ光11〜13を放射するレーザダイオード14
〜16を有している。
2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a conventional example of a multiplexer for multiplexing laser light of three wavelengths, which is used as a light source of a laser display. This one conventional example has a wavelength λ 1 ,
λ 2 and λ 3 are, for example, 480 nm, 525 nm and 63, respectively.
A laser diode 14 that emits laser light 11 to 13 as blue light, green light, and red light of 0 to 670 nm.
-16.

【0003】この一従来例は、また、レーザ光11、1
2を入射させる誘電体多層膜ミラー17とレーザ光11
〜13を入射させる誘電体多層膜ミラー18とを有して
いる。これらの誘電体多層膜ミラー17、18は、図6
に示すP偏光透過スペクトル特性を有している。従っ
て、誘電体多層膜ミラー18からは、波長λ1 、λ2
λ3 のレーザ光11〜13を含む合波光が取り出され
る。
In this conventional example, laser beams 11 and 1 are also used.
2. Dielectric multilayer mirror 17 and laser light 11 for making 2 incident
And a dielectric multilayer mirror 18 which makes 13 to 13 incident. These dielectric multilayer mirrors 17 and 18 are shown in FIG.
It has a P-polarized transmission spectrum characteristic shown in FIG. Therefore, from the dielectric multilayer mirror 18, the wavelengths λ 1 , λ 2 ,
The combined light including the laser lights 11 to 13 of λ 3 is extracted.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、図5に示した
一従来例は、個別部品としてのレーザダイオード14〜
16及び誘電体多層膜ミラー17、18で構成されてい
るので、部品点数が多くて、小型化が困難であった。
However, in the conventional example shown in FIG. 5, the laser diode 14 as an individual component is used.
Since it is composed of 16 and the dielectric multilayer mirrors 17 and 18, the number of parts is large, and downsizing is difficult.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項1の合波装置で
は、透過反射特性が互いに異なる波長依存性を有する複
数の膜17、18が一つのプリズム22の互いに異なる
面に設けられており、互いに異なる波長分布を有する複
数の光源14〜16が前記複数の膜17、18と対応し
ており、前記複数の光源14〜16から放射されて前記
複数の膜17、18に入射した複数の光11〜13を合
波する。
According to a first aspect of the present invention, a plurality of films 17 and 18 having different transmission / reflection characteristics and wavelength dependences are provided on different surfaces of a prism 22. A plurality of light sources 14 to 16 having different wavelength distributions correspond to the plurality of films 17 and 18, and a plurality of lights emitted from the plurality of light sources 14 to 16 and incident on the plurality of films 17 and 18. 11 to 13 are combined.

【0006】請求項2の合波装置では、前記光源14〜
16がレーザダイオードである。
In the multiplexing device of claim 2, the light sources 14 to
16 is a laser diode.

【0007】請求項3の合波装置では、前記光源14〜
16が発光ダイオードである。
In the multiplexing device of claim 3, the light sources 14 to
16 is a light emitting diode.

【0008】請求項4の合波装置では、前記光11〜1
3が入射する前記プリズム22の面がこの光11〜13
の入射方向に対して垂直になっている。
In the multiplexer of claim 4, the light beams 11 to 1
The surface of the prism 22 on which light 3 is incident is the light 11 to 13
Is perpendicular to the incident direction of.

【0009】請求項5の合波装置では、コリメータレン
ズ31〜33が前記光源14〜16と前記プリズム22
との間に配置されている。
In the multiplexing device of the fifth aspect, the collimator lenses 31 to 33 include the light sources 14 to 16 and the prism 22.
It is located between and.

【0010】[0010]

【作用】本願の発明による合波装置では、互いに異なる
波長の光11〜13を合波するための複数の膜17、1
8が一つのプリズム22に設けられているので、部品点
数が少ない。また、光11〜13が入射するプリズム2
2の面をこの光11〜13の入射方向に対して垂直にす
れば、非点収差及びコマ収差を除去することが可能であ
る。更にまた、コリメータレンズ31〜33を光源14
〜16とプリズム22との間に配置すれば、平行光をプ
リズム22に入射させることができる。
In the multiplexing device according to the present invention, a plurality of films 17 and 1 for multiplexing lights 11 to 13 having different wavelengths from each other.
Since 8 is provided in one prism 22, the number of parts is small. In addition, the prism 2 on which the light 11 to 13 is incident
Astigmatism and coma can be removed by making the surface No. 2 perpendicular to the incident direction of the lights 11 to 13. Furthermore, the collimator lenses 31 to 33 are connected to the light source 14
The parallel light can be made incident on the prism 22 by arranging the parallel light beams between 16 and 16.

【0011】[0011]

【実施例】以下、レーザディスプレイの光源等として使
用される、3波長のレーザ光を合波する合波装置に適用
した本願の発明の第1及び第2実施例並びにこれらの変
形例を、図1〜4を参照しながら説明する。なお、図5
に示した一従来例と同一の構成部分には、同一の符号を
付してある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The first and second embodiments of the present invention applied to a multiplexing device for multiplexing laser light of three wavelengths used as a light source of a laser display, etc. This will be described with reference to 1 to 4. Note that FIG.
The same components as in the conventional example shown in FIG.

【0012】図1、2が、第1実施例を示している。こ
の第1実施例では、Si等の半導体やCu等の金属から
成る平坦なベースプレート21上に、光学ガラスから成
る平行六面体の光学プリズム22が固定されている。こ
の光学プリズム22の一対の斜面である側面には誘電体
多層膜ミラー17、18が形成されており、他の一つの
側面の一部には無反射コート23が形成されている。
1 and 2 show a first embodiment. In the first embodiment, a parallelepiped optical prism 22 made of optical glass is fixed on a flat base plate 21 made of a semiconductor such as Si or a metal such as Cu. Dielectric multilayer mirrors 17 and 18 are formed on a pair of inclined side surfaces of the optical prism 22, and a non-reflective coating 23 is formed on a part of the other side surface.

【0013】レーザダイオード14はサブマウント24
に取り付けられており、レーザダイオード14から放射
されたレーザ光11の光軸が光学プリズム22の長辺と
平行な状態でこのレーザ光11が誘電体多層膜ミラー1
7に入射する様に、サブマウント24がベースプレート
21に固定されている。
The laser diode 14 is a submount 24.
The laser light 11 emitted from the laser diode 14 is attached to the dielectric multilayer mirror 1 in a state where the optical axis of the laser light 11 is parallel to the long side of the optical prism 22.
The submount 24 is fixed to the base plate 21 so that the submount 24 is incident on the base plate 21.

【0014】レーザダイオード15はサブマウント25
に取り付けられており、レーザダイオード15から放射
されて無反射コート23に入射し誘電体多層膜ミラー1
7で反射されたレーザ光12の光軸がレーザ光11の光
軸と一致する様に、サブマウント25がベースプレート
21に固定されている。
The laser diode 15 is a submount 25.
Is attached to the dielectric multi-layer film mirror 1, which is emitted from the laser diode 15 and is incident on the antireflection coat 23.
The submount 25 is fixed to the base plate 21 so that the optical axis of the laser light 12 reflected by 7 coincides with the optical axis of the laser light 11.

【0015】レーザダイオード16はサブマウント26
に取り付けられており、レーザダイオード16から放射
されて誘電体多層膜ミラー18に入射しこの誘電体多層
膜ミラー18で反射されたレーザ光13の光軸がレーザ
光11、12の光軸と一致する様に、サブマウント26
がベースプレート21に固定されている。
The laser diode 16 is a submount 26.
The optical axis of the laser beam 13 radiated from the laser diode 16, incident on the dielectric multilayer mirror 18 and reflected by the dielectric multilayer mirror 18 coincides with the optical axes of the laser beams 11 and 12. So that the submount 26
Are fixed to the base plate 21.

【0016】レーザダイオード14〜16は、GaAl
As系やGaAlInP系のIII−V族化合物半導体
やII−VI族化合物半導体で形成されており、サブマ
ウント24〜26はSi等の半導体やCu等の金属から
成っている。レーザダイオード14〜16と光学プリズ
ム22との間のベースプレート21上には、コリメータ
レンズ31〜33が固定されている。
The laser diodes 14 to 16 are made of GaAl.
The submounts 24 to 26 are made of an As-based or GaAlInP-based III-V group compound semiconductor or a II-VI group compound semiconductor, and the submounts 24 to 26 are made of a semiconductor such as Si or a metal such as Cu. Collimator lenses 31 to 33 are fixed on the base plate 21 between the laser diodes 14 to 16 and the optical prism 22.

【0017】レーザダイオード16から放射された時点
のレーザ光13の光軸の延長線上で且つ光学プリズム2
2の残りの側面側のベースプレート21上には、フォト
ダイオード34が取り付けられているブロック35が、
フォトダイオード34の受光面の法線をレーザ光13の
光軸に対して僅かに傾斜させた状態で固定されている。
但し、フォトダイオード34は必ずしも必要ではない。
そして、以上の構成が一つのパッケージ内に組み込まれ
ている。
On the extension line of the optical axis of the laser light 13 at the time of being emitted from the laser diode 16 and on the optical prism 2.
A block 35 having a photodiode 34 mounted on the base plate 21 on the remaining side surface of 2
It is fixed in a state where the normal line of the light receiving surface of the photodiode 34 is slightly inclined with respect to the optical axis of the laser light 13.
However, the photodiode 34 is not always necessary.
And the above-mentioned composition is built in one package.

【0018】レーザダイオード14から放射された発散
性のレーザ光11は、コリメータレンズ31で平行光に
変換されてから、誘電体多層膜ミラー17に入射する。
また、レーザダイオード15から放射された発散性のレ
ーザ光12は、コリメータレンズ32で平行光に変換さ
れ、無反射コート23及び光学プリズム22を透過して
から、誘電体多層膜ミラー17に入射する。誘電体多層
膜ミラー17は、レーザ光11を透過させると共にレー
ザ光12を反射させて、波長λ1 、λ2 のレーザ光1
1、12を含む合波光を誘電体多層膜ミラー18に入射
させる。
The divergent laser light 11 emitted from the laser diode 14 is converted into parallel light by the collimator lens 31, and then enters the dielectric multilayer film mirror 17.
Further, the divergent laser light 12 emitted from the laser diode 15 is converted into parallel light by the collimator lens 32, passes through the antireflection coat 23 and the optical prism 22, and then enters the dielectric multilayer film mirror 17. . The dielectric multilayer film mirror 17 transmits the laser light 11 and reflects the laser light 12 so that the laser light 1 having the wavelengths λ 1 and λ 2 is emitted.
The combined light including 1 and 12 is made incident on the dielectric multilayer mirror 18.

【0019】一方、レーザダイオード16から放射され
た発散性のレーザ光13は、コリメータレンズ33で平
行光に変換されてから、誘電体多層膜ミラー18に入射
する。誘電体多層膜ミラー18は、レーザ光11、12
を透過させると共にレーザ光13を反射させる。従っ
て、誘電体多層膜ミラー18からは、波長λ1 、λ2
λ3 のレーザ光11〜13を含む合波光が取り出され
る。
On the other hand, the divergent laser light 13 emitted from the laser diode 16 is converted into parallel light by the collimator lens 33 and then enters the dielectric multilayer film mirror 18. The dielectric multilayer film mirror 18 uses the laser beams 11, 12
And transmits the laser light 13. Therefore, from the dielectric multilayer mirror 18, the wavelengths λ 1 , λ 2 ,
The combined light including the laser lights 11 to 13 of λ 3 is extracted.

【0020】合波光の一部はフォトダイオード34に入
射するので、このフォトダイオード34は、まず、サブ
マウント24〜26をベースプレート21に固定する時
の光軸調整用として用いられる。この光軸調整を行うた
めには、例えば、フォトダイオード34を円周方向に9
等分し、円周方向に120°間隔で配置されている3個
ずつの受光部でレーザ光11〜13を受光し、9個の受
光部の受光量が総て等しくなる様にする。
Since a part of the combined light is incident on the photodiode 34, the photodiode 34 is first used for adjusting the optical axis when fixing the submounts 24 to 26 to the base plate 21. In order to perform this optical axis adjustment, for example, the photodiode 34 is moved in the circumferential direction by 9
The laser beams 11 to 13 are equally divided and received by three light receiving portions arranged at intervals of 120 ° in the circumferential direction so that the light receiving amounts of the nine light receiving portions are all equal.

【0021】フォトダイオード34は、また、動作時の
各波長毎の光出力モニタ用としても用いられる。但し、
サブマウント24〜26が半導体から成っている場合
は、これらのサブマウント24〜26にフォトダイオー
ドを形成し、これらのフォトダイオードをレーザダイオ
ード14〜16毎の光出力モニタ用としてもよい。
The photodiode 34 is also used as an optical output monitor for each wavelength during operation. However,
When the submounts 24-26 are made of a semiconductor, photodiodes may be formed on these submounts 24-26, and these photodiodes may be used for monitoring the optical output of each of the laser diodes 14-16.

【0022】以上の様な第1実施例では、全体が一つの
パッケージ内に組み込まれているので、レーザダイオー
ド14〜16とコリメータレンズ31〜33とを近接さ
せて開口数を大きくすることによって、合波効率を高め
ることができる。また、共通の平坦なベースプレート2
1上にサブマウント24〜26が固定されているので、
合波光の偏光面もベースプレート21の表面に平行にな
っており、偏光を利用する応用が可能である。
In the first embodiment as described above, since the whole is incorporated in one package, the laser diodes 14 to 16 and the collimator lenses 31 to 33 are brought close to each other to increase the numerical aperture. The multiplexing efficiency can be increased. Also, a common flat base plate 2
Since the submounts 24 to 26 are fixed on 1,
The polarization plane of the combined light is also parallel to the surface of the base plate 21, and it is possible to use the polarization.

【0023】図3は、第2実施例を示している。この第
2実施例は、光学プリズム22及びコリメータレンズ3
1〜33を位置決めするための凹部36がベースプレー
ト21に形成されていることを除いて、図1、2に示し
た第1実施例と実質的に同様の構成を有している。この
様な第2実施例では、光学プリズム22及びコリメータ
レンズ31〜33の位置決め精度が第1実施例よりも高
い。
FIG. 3 shows a second embodiment. In the second embodiment, the optical prism 22 and the collimator lens 3 are used.
It has substantially the same configuration as that of the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 except that the recess 36 for positioning 1 to 33 is formed in the base plate 21. In the second example as described above, the positioning accuracy of the optical prism 22 and the collimator lenses 31 to 33 is higher than that in the first example.

【0024】なお、以上の第1及び第2実施例は、3波
長のレーザ光を合波する合波装置に本願の発明を適用し
たものであるが、本願の発明は、3波長以外のレーザ光
を合波する合波装置にも適用することができ、また、光
源として発光ダイオード等を用いる合波装置にも適用す
ることができる。
In the first and second embodiments, the invention of the present application is applied to a multiplexer for multiplexing laser light of three wavelengths. However, the invention of the present application is not limited to lasers of three wavelengths. The present invention can be applied to a multiplexer that combines lights, and can also be applied to a multiplexer that uses a light emitting diode or the like as a light source.

【0025】また、以上の第1及び第2実施例では光学
プリズム22が平行六面体であるが、図4(a)に示す
様に光学プリズム22を直方体にすれば、レーザ光11
〜13を光学プリズム22に垂直に入射させることがで
きて、非点収差及びコマ収差を除去することができる。
また、第1及び第2実施例では誘電体多層膜ミラー1
7、18同士が平行であるが、図4(b)に示す様に誘
電体多層膜ミラー17、18同士を非平行にしてもよ
い。
In the first and second embodiments described above, the optical prism 22 is a parallelepiped, but if the optical prism 22 is a rectangular parallelepiped as shown in FIG.
˜13 can be vertically incident on the optical prism 22, and astigmatism and coma can be removed.
Further, in the first and second embodiments, the dielectric multilayer film mirror 1 is used.
Although 7 and 18 are parallel to each other, the dielectric multilayer mirrors 17 and 18 may be non-parallel to each other as shown in FIG.

【0026】更に、第1及び第2実施例ではコリメータ
レンズ31〜33を用いてレーザ光11〜13を平行光
にしているが、レーザ光11〜13を平行光にせずに、
合波光を取り出す位置から互いに等しい光学距離の位置
にレーザダイオード14〜16を配置してもよい。
Furthermore, in the first and second embodiments, the collimator lenses 31 to 33 are used to make the laser beams 11 to 13 parallel rays. However, the laser beams 11 to 13 are not made parallel rays, but
The laser diodes 14 to 16 may be arranged at positions having the same optical distance from the position where the combined light is extracted.

【0027】[0027]

【発明の効果】本願の発明による合波装置では、部品点
数が少ないので、小型化が可能である。また、非点収差
及びコマ収差を除去することが可能であるので、合波光
を一点に収束させることができる。更にまた、平行光を
プリズムに入射させることができるので、所望の特性の
合波光を得ることができる。
The multiplexing device according to the invention of the present application has a small number of parts and can be miniaturized. Further, astigmatism and coma can be removed, so that the combined light can be converged to one point. Furthermore, since parallel light can be made incident on the prism, it is possible to obtain combined light having desired characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本願の発明の第1実施例の模式的な平面図であ
る。
FIG. 1 is a schematic plan view of a first embodiment of the present invention.

【図2】第1実施例の概略的な斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of the first embodiment.

【図3】第2実施例の概略的な斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view of a second embodiment.

【図4】第1及び第2実施例における光学プリズムの変
形例の平面図である。
FIG. 4 is a plan view of a modified example of the optical prism in the first and second examples.

【図5】本願の発明の一従来例の模式的な平面図であ
る。
FIG. 5 is a schematic plan view of a conventional example of the present invention.

【図6】本願の発明の第1及び第2実施例並びに一従来
例で用いられている誘電体多層膜ミラーのP偏光透過ス
ペクトル特性を示すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing P-polarized light transmission spectrum characteristics of dielectric multilayer mirrors used in the first and second embodiments of the present invention and one conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 レーザ光 12 レーザ光 13 レーザ光 14 レーザダイオード 15 レーザダイオード 16 レーザダイオード 17 誘電体多層膜ミラー 18 誘電体多層膜ミラー 22 光学プリズム 31 コリメータレンズ 32 コリメータレンズ 33 コリメータレンズ 11 Laser Light 12 Laser Light 13 Laser Light 14 Laser Diode 15 Laser Diode 16 Laser Diode 17 Dielectric Multilayer Film Mirror 18 Dielectric Multilayer Film Mirror 22 Optical Prism 31 Collimator Lens 32 Collimator Lens 33 Collimator Lens

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透過反射特性が互いに異なる波長依存性
を有する複数の膜が一つのプリズムの互いに異なる面に
設けられており、 互いに異なる波長分布を有する複数の光源が前記複数の
膜と対応しており、 前記複数の光源から放射されて前記複数の膜に入射した
複数の光を合波する合波装置。
1. A plurality of films having transmission-reflection characteristics having different wavelength dependences are provided on different surfaces of one prism, and a plurality of light sources having different wavelength distributions correspond to the plurality of films. And a multiplexing device that multiplexes a plurality of lights emitted from the plurality of light sources and incident on the plurality of films.
【請求項2】 前記光源がレーザダイオードである請求
項1記載の合波装置。
2. The multiplexing device according to claim 1, wherein the light source is a laser diode.
【請求項3】 前記光源が発光ダイオードである請求項
1記載の合波装置。
3. The multiplexing device according to claim 1, wherein the light source is a light emitting diode.
【請求項4】 前記光が入射する前記プリズムの面がこ
の光の入射方向に対して垂直になっている請求項1記載
の合波装置。
4. The multiplexing device according to claim 1, wherein a surface of the prism on which the light is incident is perpendicular to an incident direction of the light.
【請求項5】 コリメータレンズが前記光源と前記プリ
ズムとの間に配置されている請求項1記載の合波装置。
5. The multiplexing device according to claim 1, wherein a collimator lens is arranged between the light source and the prism.
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