JPH0755562A - 迷光除去機能をもつ分光器 - Google Patents
迷光除去機能をもつ分光器Info
- Publication number
- JPH0755562A JPH0755562A JP5228297A JP22829793A JPH0755562A JP H0755562 A JPH0755562 A JP H0755562A JP 5228297 A JP5228297 A JP 5228297A JP 22829793 A JP22829793 A JP 22829793A JP H0755562 A JPH0755562 A JP H0755562A
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- Japan
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- light
- slit
- spectroscope
- incident
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 分光器１１のスリット６から出射された光を
反射手段７で反射して同じスリット６から再入射させ、
分光器１１を２度透過させる分散型分光器において、迷
光を除去する。 【構成】 モータ９Ｂは光チョッパ９Ａを回転させる。
光変調器９はスリット６から出射する１段目出力光を一
定周期で断続することにより変調をかける。検波回路１
０は、光検出器８の電気出力から光変調器９の変調周波
数と等しい周波数成分のみを取り出す。
反射手段７で反射して同じスリット６から再入射させ、
分光器１１を２度透過させる分散型分光器において、迷
光を除去する。 【構成】 モータ９Ｂは光チョッパ９Ａを回転させる。
光変調器９はスリット６から出射する１段目出力光を一
定周期で断続することにより変調をかける。検波回路１
０は、光検出器８の電気出力から光変調器９の変調周波
数と等しい周波数成分のみを取り出す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、測定光を分光器に２
回透過する分散型分光器において、迷光除去機能をもつ
分光器についてのものである。
回透過する分散型分光器において、迷光除去機能をもつ
分光器についてのものである。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術による分散型分光器の構
成を図３により説明する。図３の１は光源、２と６はス
リット、３と５は凹面鏡、４は回折格子、７は反射手
段、８は光検出器である。図３では、分光器１１はスリ
ット２・６と凹面鏡３・５と回折格子４で構成し、反射
手段７はレンズ７Ａとレンズ７Ｂと直角プリズム７Ｃで
構成する。
成を図３により説明する。図３の１は光源、２と６はス
リット、３と５は凹面鏡、４は回折格子、７は反射手
段、８は光検出器である。図３では、分光器１１はスリ
ット２・６と凹面鏡３・５と回折格子４で構成し、反射
手段７はレンズ７Ａとレンズ７Ｂと直角プリズム７Ｃで
構成する。
【０００３】図３では、光源１の出射光はスリット２の
中心より下から入射する。スリット２の下段に入射した
光は凹面鏡３で反射して回折格子４を照射する。回折格
子４は前記照射光を波長により異なる角度に反射させ
る。回折格子４は分光器１１への入射光のうち、回折格
子４の垂直軸に対する角度によって決まる特定の波長成
分だけの光を凹面鏡５へ出射し、凹面鏡５は反射光をス
リット６の中心より上に出射する。
中心より下から入射する。スリット２の下段に入射した
光は凹面鏡３で反射して回折格子４を照射する。回折格
子４は前記照射光を波長により異なる角度に反射させ
る。回折格子４は分光器１１への入射光のうち、回折格
子４の垂直軸に対する角度によって決まる特定の波長成
分だけの光を凹面鏡５へ出射し、凹面鏡５は反射光をス
リット６の中心より上に出射する。
【０００４】スリット６の上段から出射した光はレンズ
７Ａで平行光となり、直角プリズム７Ｃに入射する。直
角プリズム７Ｃで平行光は反射し、レンズ７Ｂに入射す
る。レンズ７Ｂの入射光は、スリット６の中心より下に
再入射する。
７Ａで平行光となり、直角プリズム７Ｃに入射する。直
角プリズム７Ｃで平行光は反射し、レンズ７Ｂに入射す
る。レンズ７Ｂの入射光は、スリット６の中心より下に
再入射する。
【０００５】分光器１１に再入射した光は凹面鏡５で反
射され、回折格子４を再照射し、前記再照射光は前記特
定波長の成分だけの光を凹面鏡３で反射してスリット２
の上段に入射する。スリット２からの出射光は、分光器
１１を２回透過しているので、分光器を１段だけ使用し
た場合に比べて単色性の高いスペクトルが得られる。す
なわち、図３の２段式分光器はより高い波長分解能を得
ることができる。なお、図３は特願平5−32607号の図１
と技術的に同じものである。
射され、回折格子４を再照射し、前記再照射光は前記特
定波長の成分だけの光を凹面鏡３で反射してスリット２
の上段に入射する。スリット２からの出射光は、分光器
１１を２回透過しているので、分光器を１段だけ使用し
た場合に比べて単色性の高いスペクトルが得られる。す
なわち、図３の２段式分光器はより高い波長分解能を得
ることができる。なお、図３は特願平5−32607号の図１
と技術的に同じものである。
【０００６】図３では、スリット２からの出射光は、光
検出器８で電気信号に変換され、出力を得る。出射光は
光源１から特定の波長成分だけをとりだしたものである
ので、光検出器８の出力レベルは、光源１の波長成分の
パワーを示している。回折格子４の溝に平行な軸に沿っ
て回転させ、出射光の波長を順次変化させながら出力の
レベルを測定することで、光源１の光スペクトル特性を
知ることができる。
検出器８で電気信号に変換され、出力を得る。出射光は
光源１から特定の波長成分だけをとりだしたものである
ので、光検出器８の出力レベルは、光源１の波長成分の
パワーを示している。回折格子４の溝に平行な軸に沿っ
て回転させ、出射光の波長を順次変化させながら出力の
レベルを測定することで、光源１の光スペクトル特性を
知ることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図４は回折格子４の拡
大図である。図４では、回折格子４の表面精度の誤差な
どにより、回折格子４から散乱する光成分４１が存在す
る。光成分４１のうち、凹面鏡の方向に散乱する成分４
２が、凹面鏡３によって反射され、スリット２から出力
される。散乱光４１は回折格子４の角度に対する依存性
が低いため、散乱光４２は、回折格子４がどの角度であ
っても出力される。
大図である。図４では、回折格子４の表面精度の誤差な
どにより、回折格子４から散乱する光成分４１が存在す
る。光成分４１のうち、凹面鏡の方向に散乱する成分４
２が、凹面鏡３によって反射され、スリット２から出力
される。散乱光４１は回折格子４の角度に対する依存性
が低いため、散乱光４２は、回折格子４がどの角度であ
っても出力される。
【０００８】また、図５のように、回折格子４からの回
折光のうち、凹面鏡３の方向に回折する波長成分４３が
存在する。この波長成分４３は、凹面鏡３によって反射
され、スリット２から出力される。散乱成分４２や波長
成分４３は、分光しようとする波長成分と同じ経路をた
どるため、分離することができない。
折光のうち、凹面鏡３の方向に回折する波長成分４３が
存在する。この波長成分４３は、凹面鏡３によって反射
され、スリット２から出力される。散乱成分４２や波長
成分４３は、分光しようとする波長成分と同じ経路をた
どるため、分離することができない。
【０００９】散乱成分４２や波長成分４３があるため、
図３の分光器で単一波長の光源を測定した場合の光スペ
クトル特性は図６の実線のようになる。光源の本来の光
スペクトル特性は図６の点線のように一つのピークＰ1
しかもたないが、測定されたスペクトルは散乱成分４２
のためにオのように底部が持ち上がり、波長成分４３の
ためにピークＰ2 が観測される。
図３の分光器で単一波長の光源を測定した場合の光スペ
クトル特性は図６の実線のようになる。光源の本来の光
スペクトル特性は図６の点線のように一つのピークＰ1
しかもたないが、測定されたスペクトルは散乱成分４２
のためにオのように底部が持ち上がり、波長成分４３の
ためにピークＰ2 が観測される。
【００１０】この発明は、２段式分光器の１段目出力と
２段目入力との間に光変調器を配置し、１段目出力光に
強度変調をかけ、２段目出力光を電気信号に変換した後
に、変調周波数と等しい周波数成分を取り出してその強
度を測定することにより、迷光を除去し、光源の光スペ
クトル特性を正しく測定する分散型分光器の提供を目的
とする。
２段目入力との間に光変調器を配置し、１段目出力光に
強度変調をかけ、２段目出力光を電気信号に変換した後
に、変調周波数と等しい周波数成分を取り出してその強
度を測定することにより、迷光を除去し、光源の光スペ
クトル特性を正しく測定する分散型分光器の提供を目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、光源１の出射光をスリット２に入射
し、前記スリット２に入射する光を凹面鏡３で反射して
回折格子４に照射し、回折格子４は前記照射光のうち回
転角度により特定の波長成分だけの光を凹面鏡５で反射
してスリット６に入射し、前記スリット６に入射する光
を反射手段７でスリット６に再入射し、前記スリット６
に入射する光を凹面鏡５で反射して回折格子４に再照射
し、前記再照射光は前記特定波長の成分だけの光を凹面
鏡３で反射してスリット２に入射し、前記スリット２に
入射した光を光検出器８で受光する分散型分光器におい
て、凹面鏡５で反射して反射手段７に入射する光を一定
周期で断続する光変調器９と、光検出器８の電気出力か
ら光変調器９の変調周波数に等しい周波数成分を検出す
る検波回路１０とを備える。
め、この発明は、光源１の出射光をスリット２に入射
し、前記スリット２に入射する光を凹面鏡３で反射して
回折格子４に照射し、回折格子４は前記照射光のうち回
転角度により特定の波長成分だけの光を凹面鏡５で反射
してスリット６に入射し、前記スリット６に入射する光
を反射手段７でスリット６に再入射し、前記スリット６
に入射する光を凹面鏡５で反射して回折格子４に再照射
し、前記再照射光は前記特定波長の成分だけの光を凹面
鏡３で反射してスリット２に入射し、前記スリット２に
入射した光を光検出器８で受光する分散型分光器におい
て、凹面鏡５で反射して反射手段７に入射する光を一定
周期で断続する光変調器９と、光検出器８の電気出力か
ら光変調器９の変調周波数に等しい周波数成分を検出す
る検波回路１０とを備える。
【００１２】
【作用】次に、この発明による分光器の構成を図１によ
り説明する。図１の９は光チョッパ９Ａとモータ９Ｂで
構成される光変調器、１０は光検出器８と接続する検波
回路であり、その他は図３と同じものである。すなわ
ち、図１は図３に光変調器９と検波回路１０を追加した
ものである。
り説明する。図１の９は光チョッパ９Ａとモータ９Ｂで
構成される光変調器、１０は光検出器８と接続する検波
回路であり、その他は図３と同じものである。すなわ
ち、図１は図３に光変調器９と検波回路１０を追加した
ものである。
【００１３】図１では、光チョッパ９Ａはモータ９Ｂで
回転し、光チョッパ９Ａはスリット６の上段から出射す
る光を一定周期で断続することにより前記出射光に変調
をかける。検波回路１０は光検出器８の電気出力から、
光変調器９の変調周波数と等しい周波数成分のみを取り
出す。
回転し、光チョッパ９Ａはスリット６の上段から出射す
る光を一定周期で断続することにより前記出射光に変調
をかける。検波回路１０は光検出器８の電気出力から、
光変調器９の変調周波数と等しい周波数成分のみを取り
出す。
【００１４】図１では光変調器９は分光器１１の第１の
透過光と第２の透過光の間に配置されているので、光源
１の出射光のうち、回折格子４により凹面鏡５の方向に
回折する波長成分だけが、スリット６を透過し、光変調
器９で変調される。
透過光と第２の透過光の間に配置されているので、光源
１の出射光のうち、回折格子４により凹面鏡５の方向に
回折する波長成分だけが、スリット６を透過し、光変調
器９で変調される。
【００１５】一方、回折格子４からの散乱光成分や、回
折格子４から凹面鏡３の方向に回折する波長成分は、光
変調器９を経由しないため、変調を受けない。したがっ
て、これらの迷光成分が光検出器８で検出されたとして
も、迷光成分は直流成分となり、検波回路１０を透過し
ないため、出力には現れない。
折格子４から凹面鏡３の方向に回折する波長成分は、光
変調器９を経由しないため、変調を受けない。したがっ
て、これらの迷光成分が光検出器８で検出されたとして
も、迷光成分は直流成分となり、検波回路１０を透過し
ないため、出力には現れない。
【００１６】このため、図１の分光器で単一波長の光源
を測定した場合の光スペクトル特性は、図２の実線のよ
うになり、底部の持ち上がりやピークがなく、図２の点
線で示した光源自身のスペクトルに近い形となる。した
がって、光源自身の光スペクトル特性を正しく知ること
ができる。
を測定した場合の光スペクトル特性は、図２の実線のよ
うになり、底部の持ち上がりやピークがなく、図２の点
線で示した光源自身のスペクトルに近い形となる。した
がって、光源自身の光スペクトル特性を正しく知ること
ができる。
【００１７】
【実施例】検波回路１０にはバンドパスフィルタや同期
検波回路を用いることができる。また光変調器は、光チ
ョッパとモータによる構成の他に、音叉や液晶シャッタ
などを用いることができる。
検波回路を用いることができる。また光変調器は、光チ
ョッパとモータによる構成の他に、音叉や液晶シャッタ
などを用いることができる。
【００１８】
【発明の効果】この発明は、２段式分光器の１段目出力
と２段目入力との間に光変調器を配置し、１段目出力光
に強度変調をかけ、２段目出力光を電気信号に変換した
後に、変調周波数と等しい周波数成分を取り出してその
強度を測定することにより、回折格子の散乱光成分や、
凹面鏡の方向に回折する波長成分による迷光が除去さ
れ、光源の光スペクトル特性を正しく測定することがで
きる。
と２段目入力との間に光変調器を配置し、１段目出力光
に強度変調をかけ、２段目出力光を電気信号に変換した
後に、変調周波数と等しい周波数成分を取り出してその
強度を測定することにより、回折格子の散乱光成分や、
凹面鏡の方向に回折する波長成分による迷光が除去さ
れ、光源の光スペクトル特性を正しく測定することがで
きる。
【図１】この発明による分光器の構成図である。
【図２】図１の分光器で単一波長の光源を測定した場合
の光スペクトル特性図である。
の光スペクトル特性図である。
【図３】従来技術による分光器の構成図である。
【図４】図３の回折格子４の散乱光を示す図である。
【図５】図３の回折格子４の回折光を示す図である。
【図６】図３の分光器で単一波長の光源を測定した場合
の光スペクトル特性図である。
の光スペクトル特性図である。
１ 光源 ２ スリット ３ 凹面鏡 ４ 回折格子 ５ 凹面鏡 ６ スリット ７ 反射手段 ７Ａ レンズ ７Ｂ レンズ ７Ｃ 直角プリズム ８ 光検出器 ９ 光変調器 ９Ａ 光チョッパ ９Ｂ モータ １０ 検波回路 １１ 分光器
Claims (1)
- 【請求項１】 光源(1) の出射光を第１のスリット(2)
に入射し、前記第１のスリット(2) に入射する光を第１
の凹面鏡(3) で反射して回折格子(4) に照射し、回折格
子(4) は前記照射光のうち回転角度により特定の波長成
分だけの光を第２の凹面鏡(5) で反射して第２のスリッ
ト(6) に入射し、前記第２のスリット(6) に入射する光
を反射手段(7) で第２のスリット(6) に再入射し、前記
第２のスリット(6) に入射する光を第２の凹面鏡(5) で
反射して回折格子(4) に再照射し、前記再照射光は前記
特定波長の成分だけの光を第１の凹面鏡(3) で反射して
第１のスリット(2) に入射し、前記第１のスリット(2)
に入射した光を光検出器(8) で受光する分散型分光器に
おいて、 第２の凹面鏡(5) で反射して反射手段(7) に入射する光
を一定周期で断続する光変調器(9) と、 光検出器(8) の電気出力から光変調器(9) の変調周波数
に等しい周波数成分を検出する検波回路(10)とを備える
ことを特徴とする迷光除去機能をもつ分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5228297A JPH0755562A (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | 迷光除去機能をもつ分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5228297A JPH0755562A (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | 迷光除去機能をもつ分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755562A true JPH0755562A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16874261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5228297A Pending JPH0755562A (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | 迷光除去機能をもつ分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755562A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6132027A (en) * | 1996-07-30 | 2000-10-17 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Ink-jet type image forming apparatus |
| EP1081473A2 (de) * | 1999-09-04 | 2001-03-07 | Wavetek Wandel Goltermann Eningen GmbH & Co. | Optischer Spektrumanalysator |
-
1993
- 1993-08-20 JP JP5228297A patent/JPH0755562A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6132027A (en) * | 1996-07-30 | 2000-10-17 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Ink-jet type image forming apparatus |
| EP1081473A2 (de) * | 1999-09-04 | 2001-03-07 | Wavetek Wandel Goltermann Eningen GmbH & Co. | Optischer Spektrumanalysator |
| EP1081473A3 (de) * | 1999-09-04 | 2003-10-01 | Acterna Eningen GmbH | Optischer Spektrumanalysator |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050913 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050920 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20051101 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060307 |