JPH0752393A - Manufacture for inkjet head - Google Patents

Manufacture for inkjet head

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Publication number
JPH0752393A
JPH0752393A JP16170593A JP16170593A JPH0752393A JP H0752393 A JPH0752393 A JP H0752393A JP 16170593 A JP16170593 A JP 16170593A JP 16170593 A JP16170593 A JP 16170593A JP H0752393 A JPH0752393 A JP H0752393A
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JP
Japan
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plate
plates
flow path
ink
ink flow
Prior art date
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Pending
Application number
JP16170593A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiyomitsu Suga
清光 須賀
Yukiharu Shimizu
幸春 清水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seikosha KK
Original Assignee
Seikosha KK
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0752393A publication Critical patent/JPH0752393A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To easily mount many independent metallic vibration plates which promote a vibration effect of a.piezoelectric element at an inkjet head and never bring about a crosstalk. CONSTITUTION:A path board 3 is layered at the front face of a lid plate 2. An ink path 5 with pressure chambers 5b at the middle part thereof is defined between the plates 2 and 3. A metallic plate unit 9 is made previously, which has vibration plate parts 9d via coupling parts 9c formed along an inner peripheral edge 9b of a ring body 9a. The metallic plate unit 9 is registered and bonded to the front face of the path board 3 in a manner that each vibration plate part 9d confronts to the corresponding pressure chamber 5b. A part of each coupling part 9c (at a position of a drill hole 3b) is cut by a multiple spindle drilling machine or the like to separate the ring body 9a, whereby metallic vibration plates 6 are left independently. A piezoelectric element is mounted to the front face of each metallic vibration plate 6 and further, a flexible cable is fitted thereon. An inkjet head is thus manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an ink jet head.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、インクジェット式プリンタに用い
るオンデマンド型のインクジェットヘッドには、多数の
インク流路を放射状に設けた流路基板の上面にインクジ
ェットヘッドを実装し、インク流路内に供給されたイン
クに圧電素子(PZT)からエネルギーを与えて、イン
クをノズルから噴射させるようにしたものがある。
2. Description of the Related Art Conventionally, an on-demand type ink jet head used in an ink jet printer has an ink jet head mounted on an upper surface of a flow path substrate having a large number of ink flow paths radially provided and supplied into the ink flow path. There is a method in which energy is applied to the ink from a piezoelectric element (PZT) and the ink is ejected from a nozzle.

【0003】上記したオンデマンド型インクジェットヘ
ッドのうち、圧電素子による振動をインク流路に効果的
に及ぼさせる手段として、流路基板または蓋板の上面と
圧電素子との間に金属振動板を介在させるようにしたも
のが多く採用されている。金属振動板を介在させるため
の方法としては、個々に独立した金属振動板を接合する
方法が採用されている。
In the above-mentioned on-demand type ink jet head, a metal vibrating plate is interposed between the upper surface of the flow path substrate or the cover plate and the piezoelectric element as a means for effectively applying vibration by the piezoelectric element to the ink flow path. The ones that are designed to be used are often adopted. As a method of interposing a metal diaphragm, a method of joining independent metal diaphragms is adopted.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記した金属振動板の
接合方法ではクロストークの問題は生じないが、多数の
各圧電素子ごとに独立した金属振動板と圧電素子を積層
しなければならないので、手間がかかりコスト高の原因
になっている。
The above-described method of joining metal diaphragms does not cause the problem of crosstalk, but since a large number of individual piezoelectric elements must be laminated with independent metal diaphragms. This is time-consuming and causes high costs.

【0005】そこで本発明の目的は、組立ての段階まで
は多数の金属振動板をリング体を介して一体とすること
により装着を容易とし、その後は、各金属振動板同志が
独立した状態となるようにして、クロストークを起すお
それのないインクジェットヘッドを容易に製造可能にす
ることにある。
Therefore, an object of the present invention is to facilitate mounting by assembling a large number of metal vibrating plates through a ring body until the assembly stage, and thereafter, the respective metal vibrating plates become independent. In this way, it is possible to easily manufacture an inkjet head that does not cause crosstalk.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の製造方法は、流路基板と蓋板とを積層
し、両板の対接面に実質的に放射状になるように複数の
インク流路を設け、これらの各インク流路の中間にそれ
ぞれ設けられた各加圧室に対向するように、両板の一方
に金属振動板を設け、各金属振動板の上面にそれぞれ圧
電素子を積層する工程を含むインクジェットヘッドの製
造方法において、金属振動板を設ける工程は、各加圧室
とそれぞれ対向可能に設けられた複数の振動板部と、複
数のインク流路の各外端部よりも外側に位置してインク
流路を取り囲むように配設可能なリング体と、このリン
グ体の内周縁と各振動板部とを連結する複数の連結部を
一体的に形成してなる金属板ユニットを製作し、この金
属板ユニットを、各振動板部が各加圧室とそれぞれ対向
するように、両板のうちのどちらか一方に接合し、この
ような接合状態において、各インク流路の外側で各連結
部を切断して、振動板部とリング体とを分離し、流路基
板または蓋板上からリング体を剥離するとともに、振動
板部を残留させるものである。
In order to achieve the above object, the manufacturing method of the present invention comprises stacking a flow path substrate and a cover plate so that the contact surfaces of both plates are substantially radial. A plurality of ink flow paths are provided in each of the ink flow paths, and a metal vibrating plate is provided on one of both plates so as to face each pressure chamber provided in the middle of each of these ink flow paths. In the method of manufacturing an inkjet head including the step of stacking piezoelectric elements, the step of providing the metal vibrating plate includes a plurality of vibrating plate portions provided so as to be able to face each pressurizing chamber and a plurality of ink flow paths. A ring body that is located outside the outer end portion and that can be disposed so as to surround the ink flow path, and a plurality of connecting portions that connect the inner peripheral edge of the ring body and each vibration plate portion are integrally formed. The metal plate unit that consists of The plate is joined to either one of the plates so that the moving plate faces the pressurizing chambers respectively, and in such a joined state, each connecting part is cut outside the ink flow path to vibrate. The plate portion and the ring body are separated, the ring body is separated from the flow path substrate or the lid plate, and the vibrating plate portion is left.

【0007】[0007]

【作用】各振動板部と各加圧室とが対向するように、流
路基板または蓋板の一方に金属板ユニットを接合し、各
連結部を切断して各振動板部とリング体とを分離し、こ
のリング体を流路基板または蓋板から剥離するととも
に、各振動板部を加圧室との対向面に残留させることに
よりすべての金属振動板の装着が容易に完了する。
The metal plate unit is joined to one of the flow path substrate and the cover plate so that each diaphragm portion and each pressure chamber face each other, and each connecting portion is cut to form each diaphragm portion and the ring body. By separating the ring body from the flow path substrate or the lid plate and leaving each of the vibrating plate portions on the surface facing the pressurizing chamber, the mounting of all the metal vibrating plates is easily completed.

【0008】[0008]

【実施例】以下本発明の一実施例について説明する。本
発明は、インクジェットヘッドの製造方法に関するもの
であるが、その説明に先立って、これを実現するための
インクジェットヘッドの構成について説明する。
EXAMPLE An example of the present invention will be described below. The present invention relates to a method of manufacturing an inkjet head, but prior to the description thereof, a configuration of an inkjet head for realizing this will be described.

【0009】図2に示すように、本実施例に係るインク
ジェットヘッドは、インクプール基板1の前面(図2上
側)に蓋板2を積層し、さらにその前面に流路基板3を
積層したものを基本的構成としている。インクプール基
板1と蓋板2との対接面には、共通インク室4が区画形
成され、蓋板2と流路基板3との対接面には、複数のイ
ンク流路5が区画形成してある。インクプール基板1の
中央部には、インク供給パイプ(図示略)と共通インク
室4とを連通するインク供給口1aが設けてある。
As shown in FIG. 2, the ink jet head according to this embodiment has a lid plate 2 laminated on the front surface (upper side of FIG. 2) of an ink pool substrate 1, and a flow path substrate 3 laminated on the front surface thereof. Is the basic configuration. A common ink chamber 4 is partitioned and formed on the contact surface between the ink pool substrate 1 and the lid plate 2, and a plurality of ink flow paths 5 are partitioned and formed on the contact surface between the lid plate 2 and the flow path substrate 3. I am doing it. At the center of the ink pool substrate 1, there is provided an ink supply port 1a that connects an ink supply pipe (not shown) to the common ink chamber 4.

【0010】蓋板2には、共通インク室4の外周部寄り
の位置に24個のインク供給孔2aが円形状に配設して
ある。各インク供給孔2aは、共通インク室4と、各イ
ンク流路5とを連通し、各インク流路にインクを供給可
能である。
In the cover plate 2, 24 ink supply holes 2a are arranged in a circular shape at positions near the outer periphery of the common ink chamber 4. Each ink supply hole 2a communicates the common ink chamber 4 with each ink flow path 5, and can supply ink to each ink flow path.

【0011】図3に示すように、流路基板3の背面に
は、24本のインク流路5をなす溝が実質的に放射状に
形成してある。各インク流路5の外端部5aは、蓋板の
インク供給孔2aと対向するインク受け部となってお
り、この部分はやや広幅に形成してある。外端部5aの
内方には、広幅に形成した加圧室5bが設けてある。加
圧室5bの内方は、幅を狭くしながら中心部に向かって
延長し、中心部近傍で直角に方向変更して前方にノズル
孔を有するノズル5cとしてある。各インク流路5の内
端部に設けられた24個のノズル5cは、中心部近傍で
実質的に菱形に配設してある。このような流路基板3と
蓋板2とが接合されることによりインク流路5が区画形
成されている。
As shown in FIG. 3, on the back surface of the flow path substrate 3, grooves forming 24 ink flow paths 5 are formed substantially radially. The outer end portion 5a of each ink flow path 5 is an ink receiving portion that faces the ink supply hole 2a of the lid plate, and this portion is formed to have a slightly wider width. A pressurizing chamber 5b having a wide width is provided inside the outer end portion 5a. The inside of the pressurizing chamber 5b is a nozzle 5c that extends toward the center while narrowing its width, changes its direction at a right angle in the vicinity of the center, and has a nozzle hole in the front. Twenty-four nozzles 5c provided at the inner end of each ink flow path 5 are arranged substantially in the shape of a rhombus near the center. The ink flow path 5 is defined by joining the flow path substrate 3 and the cover plate 2 as described above.

【0012】次に本実施例におけるインクジェットヘッ
ドの製造方法について説明する。
Next, a method of manufacturing the ink jet head in this embodiment will be described.

【0013】インクジェットヘッドの組み立て順序の例
として、以下のような工程がある。まず、インクプール
基板1の前面に蓋板2を積層し、両板を接着剤で接合す
る。次に、蓋板2の前面に流路基板3を位置合わせして
積層し、同様に接着剤で接合する。これらの接合により
インクプール基板1と蓋板2との対接面に共通インク室
4が、そして蓋板2と流路基板3との対接面にインク流
路5が区画形成してある。共通インク室4と各インク流
路5とは、それぞれインク供給孔2aを介して連通して
おり、インク流路の外端部5aの内側には加圧室5bが
設けられている。
As an example of the order of assembling the ink jet head, there are the following steps. First, the lid plate 2 is laminated on the front surface of the ink pool substrate 1, and both the plates are bonded with an adhesive. Next, the flow path substrate 3 is aligned and laminated on the front surface of the lid plate 2 and similarly bonded with an adhesive. Due to these connections, a common ink chamber 4 is formed on the contact surface between the ink pool substrate 1 and the cover plate 2, and an ink flow path 5 is formed on the contact surface between the cover plate 2 and the flow path substrate 3. The common ink chamber 4 and each ink flow path 5 communicate with each other through the ink supply holes 2a, and a pressure chamber 5b is provided inside the outer end portion 5a of the ink flow path.

【0014】次に図1に示すように、流路基板3の前面
に金属板ユニット9を積層する。
Next, as shown in FIG. 1, a metal plate unit 9 is laminated on the front surface of the flow path substrate 3.

【0015】金属板ユニット9は、厚さ0.2mm程度
のりん青銅板または黄銅板をプレス加工により、リング
体9aの内周縁9bから連結部9cを介してそれぞれ内
方に向けてくし歯状に振動板部9dを配設した形状に打
ち抜き加工してある。振動板部9dは、加圧室5bとほ
ぼ同じ形状、大きさに形成してある。連結部9c及び振
動板部9dは、リング体9aの内周縁9bに沿って、実
質的にリング状になるように24個が等間隔で配設され
ている。
The metal plate unit 9 is formed by pressing a phosphor bronze plate or brass plate having a thickness of about 0.2 mm toward the inside from the inner peripheral edge 9b of the ring body 9a through the connecting portion 9c to form a comb-like shape. It is punched into a shape in which the vibration plate portion 9d is arranged. The diaphragm portion 9d is formed to have substantially the same shape and size as the pressurizing chamber 5b. Twenty-four connecting portions 9c and diaphragm portions 9d are arranged at equal intervals along the inner peripheral edge 9b of the ring body 9a so as to have a substantially ring shape.

【0016】流路基板3の前面への金属板ユニット9の
接合は、加圧室5bの対向面と振動板部9dとが一致す
るように位置合わせしてから接着剤を介して接合する
(図1参照)。
The metal plate unit 9 is bonded to the front surface of the flow path substrate 3 by aligning the facing surface of the pressure chamber 5b and the vibrating plate portion 9d so that they are bonded to each other, and then bonding them with an adhesive ( (See FIG. 1).

【0017】次に金属板ユニット9の連結部9cのリン
グ体9a寄りの位置で切り離し、振動板部9dと連結部
9cの一部分とからなる個々に独立した金属振動板6を
流路基板3の前面に残留させる(図4参照)。リング体
9の切り離しは、多軸ボール盤によって、24本のドリ
ルの位置を各連結部9cの切断位置に合わせて同時に切
断する。このとき、ドリルの径は、連結部9cの幅より
もやや太いものを用いる。なお、切断位置は、流路基板
3の前面にドリル孔3eが残ってもインク流路5を損傷
しないように、インク流路の外側に位置させる(図2参
照)。
Next, the connecting portion 9c of the metal plate unit 9 is separated at a position close to the ring body 9a, and the independent metal vibrating plates 6 including the vibrating plate portion 9d and a part of the connecting portion 9c are attached to the flow path substrate 3. Remain on the front (see Figure 4). The ring body 9 is cut off at the same time by using a multi-axis drilling machine so that the positions of the 24 drills are aligned with the cutting positions of the connecting portions 9c. At this time, the diameter of the drill is slightly thicker than the width of the connecting portion 9c. The cutting position is located outside the ink flow path so that the ink flow path 5 is not damaged even if the drill hole 3e remains on the front surface of the flow path substrate 3 (see FIG. 2).

【0018】次に、各金属振動板6の前面に圧電素子7
を接合し、さらにその前面にフレキシブルケーブル8を
通電可能に接合することによりインクジェットヘッドが
でき上る。
Next, the piezoelectric element 7 is provided on the front surface of each metal vibrating plate 6.
And the flexible cable 8 is connected to the front surface of the flexible cable 8 so that the ink can be conducted.

【0019】本実施例では、インク流路その他の数を2
4としてあるが,これらの数には限定されず、すべての
数のものに適用可能であり、また、流路基板の前面に金
属振動板及び圧電素子を実装するようにしてあるが、こ
れを蓋板に実装するようにしたものについても同様の結
果が得られる。
In this embodiment, the number of ink flow paths and the like is set to 2
However, the present invention is not limited to these numbers and can be applied to all numbers, and the metal diaphragm and the piezoelectric element are mounted on the front surface of the flow path substrate. Similar results can be obtained with the one mounted on the cover plate.

【0020】なお、流路基板3への金属振動板6の接合
は、インクプール基板1及び蓋板2を接合する前の工程
で行ってもよい。
The metal vibrating plate 6 may be joined to the flow path substrate 3 in a step before joining the ink pool substrate 1 and the lid plate 2.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明によれば、複数の加圧室の対向面
へそれぞれ独立した金属振動板を金属板ユニットによっ
て同時に接合することができるため、クロストークを生
じない独立した多数の金属振動板を、流路基板または蓋
板に同時に接合することができるので、インクジェット
ヘッドの製造工数の節減に寄与する。
According to the present invention, since independent metal vibrating plates can be simultaneously joined to the facing surfaces of a plurality of pressurizing chambers by the metal plate unit, a large number of independent metal vibrating plates that do not cause crosstalk. Since the plate can be bonded to the flow path substrate or the cover plate at the same time, the number of manufacturing steps of the inkjet head can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】流路基板の前面に金属板ユニットを当接した状
態を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing a state where a metal plate unit is in contact with a front surface of a flow path substrate.

【図2】本実施例におけるインクジェットヘッドの完成
状態の要部を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a main part of a completed state of the inkjet head in this embodiment.

【図3】流路基板の背面図である。FIG. 3 is a rear view of the flow path substrate.

【図4】図1の状態から金属板ユニットのリング体を切
り離した状態を示す正面図である。
FIG. 4 is a front view showing a state in which the ring body of the metal plate unit is separated from the state of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 蓋板 3 流路基板 5 インク流路 5b 加圧室 6 金属振動板 7 圧電素子 9 金属板ユニット 9a リング体 9b 内周縁 9c 連結部 9d 振動板部 2 lid plate 3 flow path substrate 5 ink flow path 5b pressurizing chamber 6 metal vibrating plate 7 piezoelectric element 9 metal plate unit 9a ring body 9b inner peripheral edge 9c connecting portion 9d vibrating plate portion

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 流路基板と蓋板とを積層し、両板の対接
面に実質的に放射状になるように複数のインク流路を設
け、上記各インク流路の中間にそれぞれ設けられた各加
圧室に対向するように上記両板の一方に金属振動板を設
け、上記各金属振動板の上面にそれぞれ圧電素子を積層
する工程を含むインクジェットヘッドの製造方法におい
て、 上記金属振動板を設ける工程は、 上記各加圧室とそれぞれ対向可能に設けられた複数の振
動板部と、上記複数のインク流路の各外端部よりも外側
に位置して上記インク流路を取り囲むように配設可能な
リング体と、上記リング体の内周縁と上記各振動板部と
を連結する複数の連結部とを一体的に形成してなる金属
板ユニットを製作し、 上記金属板ユニットを、上記各振動板部が上記各加圧室
とそれぞれ対向するように、上記両板の一方に接合し、 上記接合状態において、上記各インク流路の外側で上記
各連結部を切断して上記振動板部と上記リング体とを分
離し、上記流路基板または上記蓋板上から上記リング体
を剥離するとともに、上記振動板部を残留させるもので
あることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。
1. A flow path substrate and a cover plate are laminated, a plurality of ink flow paths are provided on the opposing surfaces of both plates so as to be substantially radial, and each ink flow path is provided in the middle of each ink flow path. In the method of manufacturing an ink jet head, including a step of providing a metal vibrating plate on one of the both plates so as to face each pressurizing chamber and laminating a piezoelectric element on the upper surface of each of the metal vibrating plates. In the step of providing, the plurality of vibrating plate portions provided so as to be able to respectively face the pressurizing chambers and the outer end portions of the plurality of ink flow passages are located outside the ink flow passages so as to surround the ink flow passages. And a plurality of connecting portions that connect the inner peripheral edge of the ring body and each of the vibrating plate portions to each other are integrally formed to manufacture the metal plate unit. , Each of the vibrating plate parts is paired with each of the pressurizing chambers. The plates are joined to one of the plates so that they face each other, and in the joined state, the connecting parts are cut outside the ink flow paths to separate the vibrating plate part and the ring body from each other. A method for manufacturing an inkjet head, characterized in that the ring body is peeled off from the road substrate or the lid plate, and the vibrating plate portion is left.
JP16170593A 1993-06-30 1993-06-30 Manufacture for inkjet head Pending JPH0752393A (en)

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