JPH0750252A

JPH0750252A - 位置決めステージ装置およびこれを用いた露光装置

Info

Publication number: JPH0750252A
Application number: JP21099993A
Authority: JP
Inventors: Nobushige Korenaga; 伸茂是永
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-08-03
Filing date: 1993-08-03
Publication date: 1995-02-21
Anticipated expiration: 2015-07-31
Also published as: JP3072212B2

Abstract

(57)【要約】【目的】微動調節用のリニアモータのコイルを複数に
する必要のない位置決めステージ装置およびこれを用い
た露光装置を実現する。【構成】ｘステージ２はｘ電動シリンダ５によってｘ
方向へ移動され、ｙステージ３はｘステージ２に支持さ
れ、ｙ電動シリンダ７によってｙ方向へ移動する。ｘス
テージ２の微動調節を行うｘリニアモータ６の可動子６
ｂはｘステージ２と一体であり、固定子６ａはｘ電動シ
リンダ５のロッド５ａと一体である突当て板５ｃと一体
的に設けられており、ｘ電動シリンダ５が駆動されたと
きはｘステージ２とともに移動するため、ｘリニアモー
タ６のコイルを複数にする必要はない。ｙリニアモータ
８についても同様である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体露光装置、精密
工作機械および精密測定器等に用いられる位置決めステ
ージ装置およびこれを用いた露光装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体露光装置、精密工作機械および精
密測定器等においては、露光されるウエハ等基板や、被
加工物あるいは被測定物を高精度で位置決めすることが
要求される。このために、基板や被加工物等を保持する
保持盤とこれを案内する案内面の間を静圧軸受装置によ
って非接触に保つとともに、保持盤を移動させる駆動装
置にリニアモータを用いることで、位置決めの精度およ
び速度を向上させた位置決めステージ装置が開発され
た。このような位置決めステージ装置の従来例を図８に
示す。

【０００３】図８の位置決めステージ装置Ｅ₀ は、シン
クロトロン放射光等のＸ線を露光光とするＸ線露光装置
に用いられる縦型の位置決めステージ装置であって、ベ
ース１０１と一体であるｘガイド１０２ａに案内されて
水平面内の一方向（以下、「ｘ方向」という。）に往復
移動自在であるｘステージ１０２と、ｘステージ１０２
と一体であるｙガイド１０３ａに案内されて垂直方向
（以下、「ｙ方向」という。）に往復移動自在であるｙ
ステージ１０３と、ｙステージ１０３に設けられたウエ
ハチャック１０４と、ｘステージ１０２をｘ方向に移動
させるｘ電動シリンダ１０５と、ｘステージ１０２をｘ
方向に微小量だけ移動させるｘリニアモータ１０６と、
ｙステージ１０３をｙ方向に移動させるｙ電動シリンダ
１０７と、ｙステージ１０３をｙ方向に微小量だけ移動
させるｙリニアモータ１０８と、ｙステージ１０３の重
量を張力によって相殺する定張力バネ１０９からなり、
ｘ電動シリンダ１０５のロッド１０５ａはｘすき間継手
１０５ｂを介してｘステージ１０２に連結され、ｙ電動
シリンダ１０７のロッド１０７ａはｙすき間継手１０７
ｂを介してｙステージ１０３に連結されている。

【０００４】ｘすき間継手１０５ｂは、ｘ電動シリンダ
１０５のロッド１０５ａの自由端に一体的に設けられた
突当て板１０５ｃと、ｘステージ１０２の側面から突出
する一対のＬ形部材１０５ｄからなり、突当て板１０５
ｃは、ｘステージ１０２の側面とこれに対向する各Ｌ形
部材１０５ｄの係止部１０５ｅの間に形成されたすき間
に遊合され、該すき間の寸法は数ミクロンないし数１０
ミクロンである。図示しない指令ラインの指令信号を受
けてｘ電動シリンダ１０５のロッド１０５ａが前進する
ときは、突当て板１０５ｃがｘステージ１０２に当接さ
れてこれを前進させ、ｘ電動シリンダ１０５のロッド１
０５ａが後退するときは突当て板１０５ｃが各Ｌ形部材
１０５ｄの係止部１０５ｅに係合してｘステージ１０２
を後退させる。これによって、ｘステージ１０２を、前
記指令信号に基づくｘ方向指令位置まで数ミクロンを残
すところへ移動させる。ｙすき間継手１０７ｂについて
も同様に構成されている。

【０００５】また、ｘリニアモータ１０６は、ベース１
０１と一体である固定子１０６ａと、ｘステージ１０２
と一体である小型の可動子１０６ｂからなり、ｙリニア
モータ１０８も同様にｘステージ１０２と一体である固
定子１０８ａと、ｙステージ１０３と一体である小型の
可動子１０８ｂからなる。各固定子１０６ａ，１０８ａ
は、図９に示すように、多数のコイルＣ₀ を長尺のコイ
ル保持体Ｈ₀ に保持させたものであり、各コイルＣ₀ に
電流が供給されたときの磁場の変化によって各可動子１
０６ｂ，１０８ｂに推力を発生するもので、前述のよう
にｘ電動シリンダ１０５やｙ電動シリンダ１０７の駆動
によってｘステージ１０２やｙステージ１０３が移動
し、これらとともに各可動子１０６ｂ，１０８ｂが移動
したとき、各可動子１０６ｂ，１０８ｂの新たな位置を
検出して所定のコイルに電流を供給する電流切換装置を
備えている。

【０００６】ウエハチャック１０４は垂直な吸着面１０
４ａを有し、吸着面１０４ａは真空吸着力によってウエ
ハＷ₀ を吸着する。ウエハチャック１０４のｘ方向の位
置は、ｙステージ１０３に設けられた図示しないｘミラ
ーの反射光を受光するｘ干渉計によってモニタされ、そ
の出力は図示しないｘサーボ演算器に負帰還され、ｘサ
ーボ演算器は指令ラインから送信される指令信号とｘ干
渉計の出力の差に基づいてｘリニアモータ１０６を駆動
し、ｘステージ１０２を微小量だけ移動させる。また、
ウエハチャック１０４のｙ方向の位置は、ｙステージ１
０３に設けられたｙミラーの反射光を受光する図示しな
いｙ干渉計によってモニタされ、その出力は図示しない
ｙサーボ演算器に負帰還され、ｙサーボ演算器はｙリニ
アモータ１０８を駆動してｙステージ１０３を微小量だ
け移動させる。このようなｘリニアモータ１０６および
ｙリニアモータ１０８による微動調節は、前述のよう
に、ｘステージ１０２、ｙステージ１０３がそれぞれの
指令信号に基づく指令位置まで数ミクロンを残すところ
へｘ電動シリンダ１０５、ｙ電動シリンダ１０７によっ
て移動されたのちに行われるもので、これによってｙス
テージ１０３は最終的に位置決めされる。

【０００７】なお、ｘ電動シリンダ１０５およびｙ電動
シリンダ１０７は、それぞれ図１０に示すように、ウォ
ータジャケット付きのモータＭと、ギヤ列Ｇと、軸受Ｂ
によって回転自在に支持されたねじ棒Ｒと、これによっ
て軸方向に移動されるナットＮからなり、ナットＮは、
ｘ電動シリンダ１０５、ｙ電動シリンダ１０７のそれぞ
れのロッド１０５ａ，１０７ａに一体的に設けられたも
のであり、モータＭの回転をギヤ列Ｇを介してねじ棒Ｒ
に伝達し、ねじ棒Ｒの回転によってナットＮを進退させ
るように構成されている。モータＭは前述のようにウォ
ータージャケット付きであるため、その発熱によってｘ
ステージ１０２やｙステージ１０３の温度が上昇するお
それはない。また、ｘリニアモータ１０６およびｙリニ
アモータ１０８は位置決めサーボにのみ用いられ、ステ
ージの加減速はしないので、発熱量は極めて小さく、前
述のように小型の設計が可能である。位置決めステージ
装置Ｅ₀ は、このようにｘステージ１０２およびｙステ
ージ１０３の駆動装置の発熱による位置決めの精度の低
下を極力防ぐとともに、リニアモータによる高精度で応
答性の高い位置決めを実現するものである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、各リニアモータの固定
子が多数のコイルを有し、各電動シリンダの駆動によっ
て各リニアモータの可動子が新たな位置へ移動したとき
に各可動子の位置を検出して所定のコイルを選択し、こ
れに電流を供給する必要があるため、可動子の位置を検
出する位置センサや、その出力に基づいてコイルを選択
して電流を供給するための複雑な電流切換装置を設けな
ければならず、位置決めステージ装置全体が大型化かつ
複雑化するのを避けることができない。

【０００９】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、微動調節用のリニアモー
タのコイルを複数にする必要のない位置決めステージ装
置を提供することを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の位置決めステージ装置は、案内手段に沿っ
て所定の軸方向に往復移動自在である移動台と、該移動
台を前記軸方向へ移動させる第１の駆動手段と、前記移
動台を前記軸方向へ微小量だけ移動させるリニアモータ
からなる第２の駆動手段を有し、前記リニアモータの可
動子と固定子のうちの一方が前記移動台と一体的に設け
られており、他方が、前記第１の駆動手段によって前記
移動台が移動するときにこれとともに移動するように構
成されていることを特徴とする。

【００１１】

【作用】上記装置によれば、第１の駆動手段によって移
動台を目的位置の近くまで移動させたうえで、第２の駆
動手段によって微動調節を行う。移動台が第１の駆動手
段によって移動されるとき、これとともにリニアモータ
の可動子と固定子も移動するため、リニアモータのコイ
ルを複数にする必要がない。その結果、コイルを選択す
るための位置センサや電流切換装置を必要としない。

【００１２】

【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

【００１３】図１は第１実施例による位置決めステージ
装置を示す模式斜視図であって、本実施例の露光装置
は、シンクロトロン放射光等のＸ線を露光光とする露光
手段を有するＸ線露光装置である。図１に示す縦型の位
置決めステージ装置Ｅ−１は、ベース１と一体である案
内手段であるｘガイド２ａに案内されて水平面内の一方
向（以下、「ｘ方向」という。）に往復移動自在である
移動台であるｘステージ２と、ｘステージ２と一体であ
る案内手段であるｙガイド３ａに案内されて垂直方向
（以下、「ｙ方向」という。）に往復移動自在である移
動台であるｙステージ３と、ｙステージ３に設けられた
ウエハチャック４と、ｘステージ２をｘ方向に移動させ
る第１の駆動手段であるｘ電動シリンダ５と、ｘステー
ジ２をｘ方向に微小量だけ移動させる第２の駆動手段で
あるｘリニアモータ６と、ｙステージ３をｙ方向に移動
させる一対の第１の駆動手段であるｙ電動シリンダ７
と、ｙステージ３をｙ方向に微小量だけ移動させる一対
の第２の駆動手段であるｙリニアモータ８と、ｙステー
ジ３の重量を張力によって相殺する定張力バネ９からな
り、ｘ電動シリンダ５のロッド５ａはｘすき間継手５ｂ
を介してｘステージ２に連結され、各ｙ電動シリンダ７
のロッド７ａはｙすき間継手７ｂを介してｙステージ３
に連結されている。

【００１４】ｘすき間継手５ｂは、ｘ電動シリンダ５の
ロッド５ａの自由端に一体的に設けられた当接手段であ
る突当て板５ｃと、ｘステージ２の側面から突出する一
対のＬ形部材５ｄからなり、突当て板５ｃは、ｘステー
ジ２の側面とこれに対向する各Ｌ形部材５ｄの係止部５
ｅの間に形成されたすき間に遊合され、該すき間の寸法
は数ミクロンないし数１０ミクロンである。図示しない
指令ラインの指令信号を受けてｘ電動シリンダ５のロッ
ド５ａが前進するときは、突当て板５ｃがｘステージ２
に当接されてこれを前進させ、ｘ電動シリンダ５のロッ
ド５ａが後退するときは突当て板５ｃがＬ形部材５ｄの
係止部５ｅに係合してｘステージ２を後退させる。ｘ電
動シリンダ５はこのようにしてｘステージ２を前記指令
信号に基づくｘ方向指令位置まで数ミクロンを残すとこ
ろへ移動させる。

【００１５】各ｙすき間継手７ｂもこれと同様であり、
当接手段である突当て板７ｃと一対のＬ形部材７ｄから
構成されている。

【００１６】ｘリニアモータ６は、ｘすき間継手５ｂの
突当て板５ｃと一体である固定子６ａと、ｘステージ２
と一体である小型の可動子６ｂからなり、各ｙリニアモ
ータ８も同様にｙすき間継手７ｂの突当て板７ｃと一体
である固定子８ａと、ｙステージ３と一体である小型の
可動子８ｂからなる。

【００１７】ｘリニアモータ６の固定子６ａは、図２に
拡大して示すように、１個のコイルＣ₁ をｘすき間継手
５ｂの突当て板５ｃと一体的に結合させたものであり、
前述のようにｘ電動シリンダ５の駆動によってｘステー
ジ２が移動したとき、これとともに移動する。各ｙリニ
アモータ８の固定子８ｂも同様に１個のコイルをｙすき
間継手７ｂの突当て板７ｃと一体的に結合させたもので
あり、各ｙ電動シリンダ７の駆動によってｙステージ３
が移動したとき、これとともに移動する。すなわち、多
数のコイルを直列に配設した従来例の固定子と異なり、
本実施例の各固定子６ａ，８ａは１個のコイルからな
り、ｘ電動シリンダ５およびｙ電動シリンダ７が駆動さ
れたとき、該コイルが、各可動子６ｂ，８ｂとともに、
ｘステージ２、ｙステージ３のそれぞれの指令位置に数
ミクロンを残すところまで移動するように構成されてい
るため、可動子６ｂ，８ｂの位置を検出する位置センサ
やコイルを選択励磁するための電流切換装置を必要とせ
ず、従って、各可動子６ｂ，８ｂとともに各固定子６
ａ，８ｂを大幅に小形化することができるうえに、装置
の簡略化に大きく貢献するものである。

【００１８】なお、ウエハチャック４は垂直な吸着面４
ａを有し、吸着面４ａは真空吸着力によってウエハＷを
吸着する。ウエハチャック４のｘ方向の位置は、ｙステ
ージ３に設けられた図示しないｘミラーの反射光を受光
するｘ干渉計によってモニタされ、その出力は図示しな
いｘサーボ演算器に負帰還され、ｘサーボ演算器は指令
ラインから送信される指令信号とｘ干渉計の出力の差に
基づいてｘリニアモータ６を駆動し、ｘステージ２を移
動させる。また、ウエハチャック４のｙ方向の位置は、
ｙステージ３に設けられたｙミラーの反射光を受光する
図示しないｙ干渉計によってモニタされ、その出力は図
示しないｙサーボ演算器に負帰還され、ｙサーボ演算器
は各ｙリニアモータ８を駆動してｙステージ３を移動さ
せる。

【００１９】また、ｘ電動シリンダ５および各ｙ電動シ
リンダ７は、それぞれ従来例と同様に、図示しないウォ
ータジャケット付きのモータと、ギヤ列と、軸受によっ
て回転自在に支持されたねじ棒と、これによって軸方向
に移動されるナットからなり、ナットは、ｘ電動シリン
ダ５、両ｙ電動シリンダ７のそれぞれのロッド５ａ，７
ａに一体的に設けられており、モータの回転をギヤ列を
介してねじ棒に伝達し、ねじ棒の回転によってナットを
進退させるように構成されており、モータの発熱によっ
てｘステージ２やｙステージ３の温度が上昇するおそれ
はない。また、ｘリニアモータ６および各ｙリニアモー
タ８は位置決めサーボにのみ用いられ、ステージの加減
速はしないので、発熱量は極めて小さく、前述のように
小型の設計ができる。位置決めステージ装置Ｅ−１は、
このようにｘステージおよびｙステージの駆動装置の発
熱による位置決めの精度の低下を極力防ぎ、リニアモー
タによる高精度で応答性の高い位置決めを実現するとと
もに、各リニアモータの固定子の小形化や位置センサや
電流切換装置の省略によって、位置決めステージ装置全
体の小形化および簡略化を大幅に促進するものである。

【００２０】図３は第２実施例を示すもので、本実施例
の位置決めステージ装置Ｅ−２は、第１実施例の一対の
ｙ電動シリンダ７の替わりに、より大形のｙ電動シリン
ダ１７を１個用いてそのロッド１７ａをｙすき間継手１
７ｂによってｙステージ３に連結するとともに、微動調
節用のｘリニアモータ６の替わりにリニアモータである
ボイスコイルモータ１８を設け、ボイスコイルモータ１
８の固定子１８ｂおよびｙリニアモータ８の固定子８ｂ
をそれぞれｘ方向およびｙ方向へ移動させるための第３
の駆動手段であるｘ補助シリンダ１９およびｙ補助シリ
ンダ２０を用いたものである。ｘ補助シリンダ１９はｘ
電動シリンダ５と同期して同方向に同量だけ駆動され、
ｙ補助シリンダ２０はｙ電動シリンダ１７と同期して同
方向に同量だけ駆動される。ベース１、ｘステージ２、
ｙステージ３、ウエハチャック４、ｘ電動シリンダ５、
そのロッド５ａ、ｘすき間継手５ｂ、ｙリニアモータ
８、定張力バネ９については第１実施例と同様であるの
で同一符号で表わし、説明は省略する。本変形例はｙリ
ニアモータ８およびボイスコイルモータ１８の可動子の
取付位置を限定する必要がないため、ｙリニアモータ８
やボイスコイルモータ１８の駆動時の防振効果等を考慮
して最適な取付位置を選ぶことができる。

【００２１】図４は第２実施例の一変形例を示すもの
で、これは、第２実施例のｘ電動シリンダ５のロッド５
ａをｘステージ２に連結するｘすき間継手５ｂおよびｙ
電動シリンダ１７のロッド１７ａをｙステージ３に連結
するｙすき間継手１７ｂの替わりに、それぞれ、一対の
平行バネからなるｘバネ継手２５ｂおよびｙバネ継手２
７ｂを用いたものである。すなわち、ｘバネ継手２５ｂ
はｘ電動シリンダ５のロッド５ａの自由端を挟持する一
対の平行バネ２８ａ，２８ｂからなり、これらはｘステ
ージ２に保持されており、ｘ電動シリンダ５のロッド５
ａは平行バネ２８ａ，２８ｂの弾力性の許す範囲内にお
いてｘステージ２に対してｘ方向へ往復微動できるよう
に構成されている。ｙバネ継手２７ｂも同様に一対の平
行バネ２９ａ，２９ｂからなり、ｙ電動シリンダ１７の
ロッド１７ａはこれらの弾力性の許す範囲内においてｙ
ステージ３に対してｙ方向へ往復微動できるように構成
されている。

【００２２】図５は第３実施例による位置決めステージ
装置を示すもので、本実施例の露光装置は、図示しない
ウエハ等基板を水平に保持して露光する露光手段を有す
る縮小投影型の露光装置（ステッパ）である。図５の位
置決めステージ装置Ｅ−３は、水平な案内面３１ａとこ
れに沿って所定の方向（以下、「Ｘ方向」という。）に
のびる一対の案内手段であるガイド３１ｂを有するベー
ス３１と、図示しない静圧軸受によって案内面３１ａ上
に非接触で支持され、ガイド３１ｂに沿って往復移動自
在である移動台であるＸステージ３２と、Ｘステージ３
２の案内手段である案内面に沿ってＸ方向と直交するＹ
方向へ往復移動自在である移動台であるＹステージ３３
からなり、ウエハ等基板はＹステージ３３の上面に設け
られた吸着面に吸着される。Ｘステージ３２は、交互に
または互に逆方向に駆動される一対の第１の駆動手段で
あるＸ電動シリンダ３４によってＸ方向に移動される。
すなわち、各Ｘ電動シリンダ３４の当接手段であるロッ
ド３４ａはＸステージ３２のＸ方向の各端面に当接され
ており、Ｘステージ３２は、一方のＸ電動シリンダ３４
の駆動力によってＸ方向へ前進し、他方のＸ電動シリン
ダ３４の駆動力によって後退するように構成されてい
る。また、Ｙステージ３３を、Ｘステージ３２によって
Ｙ方向へ移動させる駆動装置は、Ｙステージ３３のＹ方
向の各端面に当接される一対の当接手段である突当て棒
３５ｃを有し、各突当て棒３５ｃは、ねじ棒３５ａの回
転によってＹ方向へ移動し、両ねじ棒３５ａは互に逆方
向に回転駆動される第１の駆動手段であるＹモータ３５
によって回転される。すなわち、Ｙステージ３３は、一
方のＹモータ３５の駆動力によってＹ方向に前進し、他
方のＹモータ３５の駆動力によって後退する。

【００２３】Ｘステージ３２およびＹステージ３３はそ
れぞれ微動調節用に一対ずつ設けられた第２の駆動手段
であるＸリニアモータ３６、Ｙリニアモータ３８の可動
子３６ｂ，３８ｂを保持しており、各Ｘリニアモータ３
６の固定子３６ａは１個のコイルからなり、各Ｘ電動シ
リンダ３４と同期して駆動される第３の駆動手段である
Ｘ補助モータ３９によってＸステージ３２の移動ととも
に同方向に同量だけ移動するように構成され、各Ｙリニ
アモータ３８の固定子３８ａも同様に１個のコイルから
なり、各Ｙモータ３５と同期して駆動される第３の駆動
手段であるＹ補助モータ４０によってＹステージ３３の
移動とともに同方向に同量だけ移動するように構成され
ている。

【００２４】図６は一方のＸリニアモータ３６の固定子
３６ａのみを拡大して示すもので、固定子３６ａはＸ補
助モータ３９によって回転されるねじ棒３９ａに螺合す
るナット部材３９ｂと一体であり、ナット部材３９ｂ
は、ねじ棒３９ａと平行に配設された案内棒３９ｃに沿
って摺動する。各Ｙリニアモータ３８の固定子３８ａに
ついても同様にＹ補助モータ４０によって回転されるね
じ棒４０ａに螺合し、案内棒４０ｃに沿って移動するナ
ット部材４０ｂと一体である。

【００２５】第１実施例と同様にＸリニアモータ３６お
よびＹリニアモータ３８は、Ｘステージ３２およびＹス
テージ３３が所定の指令信号に基づくＸ電動シリンダ３
４およびＹモータ３５の駆動によってそれぞれの指令位
置まで数ミクロンを残す位置まで移動したのちに駆動さ
れ、最終的な微動調節を行う。各Ｘリニアモータ３６お
よびＹリニアモータ３８の固定子３６ａ，３８ａはＸス
テージ３２およびＹステージ３３とそれぞれ同期して同
方向に同量だけ移動するため、従来例のようにコイルを
複数設ける必要がない。

【００２６】図７は本実施例の一変形例を示すもので、
これは、各Ｙリニアモータ３８の固定子３８ａを一方の
Ｙモータ３５によって駆動される突当て棒３５ｃに一体
的に設けるとともに、各Ｘリニアモータ３６の固定子３
６ａを各Ｘ電動シリンダ３４のロッド３４ａと一体的に
設けたものである。本変形例は各固定子３６ａ，３８ａ
を駆動するための補助モータを必要としないが、各固定
子３６ａ，３８ａのＸステージ３２、Ｙステージ３３に
対する取付位置が極めて狭い範囲に限定され、Ｘステー
ジ３２をＸ方向へ駆動する両Ｘ電動シリンダ３４をＸス
テージ３２の両側へ分散して配設する必要がある等の制
約を有する。

【００２７】

【発明の効果】本発明は、上述のように構成されている
ので、以下に記載するような効果を奏する。

【００２８】微動調節用のリニアモータに複数のコイル
を必要とせず、従って、前記リニアモータのコイルを選
択するための位置センサや電流切換装置を設ける必要が
ない。その結果、位置決めステージ装置の小形化や簡略
化を促進できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例による位置決めステージ装置を示す
斜視図である。

【図２】図１の装置のｘリニアモータの固定子とその連
結部分を拡大して示す拡大部分斜視図である。

【図３】第２実施例による位置決めステージ装置を示す
斜視図である。

【図４】第２実施例による位置決めステージ装置の一変
形例を示す斜視図である。

【図５】第３実施例による位置決めステージ装置を示す
斜視図である。

【図６】図５の装置のＸリニアモータの固定子とその連
結部分を拡大して示す拡大部分斜視図である。

【図７】第３実施例による位置決めステージ装置の一変
形例を示す斜視図である。

【図８】従来例を示す斜視図である。

【図９】従来例の固定子の一部分を拡大して示す拡大部
分斜視図である。

【図１０】電動シリンダを説明する説明図である。

【符号の説明】

１，３１ベース２ｘステージ３ｙステージ４ウエハチャック５ｘ電動シリンダ５ｂｘすき間継手６ｘリニアモータ６ａ，８ａ，３６ａ固定子６ｂ，８ｂ，３６ｂ可動子７，１７ｙ電動シリンダ７ｂ，１７ｂｙすき間継手８ｙリニアモータ１８ボイスコイルモータ１９ｘ補助シリンダ２０ｙ補助シリンダ３２Ｘステージ３３Ｙステージ３４Ｘ電動シリンダ３５Ｙモータ３６Ｘリニアモータ３８Ｙリニアモータ３９Ｘ補助モータ４０Ｙ補助モータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】案内手段に沿って所定の軸方向に往復移
動自在である移動台と、該移動台を前記軸方向へ移動さ
せる第１の駆動手段と、前記移動台を前記軸方向へ微小
量だけ移動させるリニアモータからなる第２の駆動手段
を有し、前記リニアモータの可動子と固定子のうちの一
方が前記移動台と一体的に設けられており、他方が、前
記第１の駆動手段によって前記移動台が移動するときに
これとともに移動するように構成されていることを特徴
とする位置決めステージ装置。
【請求項２】可動子が移動台と一体的に設けられてお
り、第１の駆動手段が前記移動台に設けられた一対の互
に逆向きの当接面に交互に当接される当接手段を有し、
該当接手段に固定子が一体的に設けられていることを特
徴とする請求項１記載の位置決めステージ装置。
【請求項３】可動子が移動台と一体的に設けられてお
り、固定子が第３の駆動手段によって移動するように構
成されていることを特徴とする請求項１記載の位置決め
ステージ装置。
【請求項４】請求項１ないし３いずれか１項記載の位
置決めステージ装置と、これに支持された基板を露光す
る露光手段を有することを特徴とする露光装置。