JPH0749039Y2 - Turbo molecular pump - Google Patents
Turbo molecular pumpInfo
- Publication number
- JPH0749039Y2 JPH0749039Y2 JP1987123099U JP12309987U JPH0749039Y2 JP H0749039 Y2 JPH0749039 Y2 JP H0749039Y2 JP 1987123099 U JP1987123099 U JP 1987123099U JP 12309987 U JP12309987 U JP 12309987U JP H0749039 Y2 JPH0749039 Y2 JP H0749039Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- annular permanent
- rotor
- permanent magnets
- holding cylinder
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、ターボ分子ポンプに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial field of application) The present invention relates to a turbo molecular pump.
（従来の技術） 従来のターボ分子ポンプを第６、７、８図により説明す
ると、第６図の（01）がケーシングで、同ケーシング
（01）の上部には、吸気口（02）が設けられ、同ケーシ
ング（01）の側壁下部には、排気口（03）が設けられ、
同ケーシング（01）の内周面からは、複数の静翼（04）
が突設している。また（010）が同ケーシング（01）内
に立設した保持筒で、同保持筒（010）の下部内には、
油溜が形成されて、同油溜に後記滑り軸受（011）の潤
滑油（012）が貯えられている。また（07）が回転軸、
（06）が同回転軸（07）の上端部に一体的に連結したロ
ータで、同ロータ（06）の外周面からは、上記各静翼
（04）に対応して複数の動翼（05）が突設している。ま
た（08）が上記ロータ（06）の中心部に取付けた回転側
の環状永久磁石、（09）が上記保持筒（010）の上端部
に取付けた非回転側の環状永久磁石で、同回転側の環状
永久磁石（08）と同非回転側の環状永久磁石（09）とが
半径方向と対向し、且つ、第７図または第８図に示すよ
うに同極（ＳとＳまたはＮとＮ）が対向して、ロータ
（06）及び回転軸（07）を磁気反発により回転可能に支
持する非接触の上記軸受が構成されている。また第６図
の（011）が回転軸（07）の軸方向と水平方向（軸方向
と直交した方向）とに負荷負担能力を有する滑り軸受
（下部軸受）で、同滑り軸受（011）が、回転軸（07）
の下端部から下方へ延びた細径軸部（011a）と、同細径
回転部（011a）を取り囲む軸受皿（011b）とにより構成
されている。また（013）が上記軸受皿（011b）を支持
する軸受支持部材、（014）が上記回転軸（07）と上記
保持筒（010）との間に配設したモータで、同モータ（0
14）が、上記回転軸（07）に取付けたモータロータ（01
4a）と、上記保持筒（010）に取付けたモータステータ
（014b）とにより構成されている。(Prior Art) A conventional turbo molecular pump will be described with reference to FIGS. 6, 7, and 8. (01) of FIG. 6 is a casing, and an intake port (02) is provided in the upper part of the casing (01). An exhaust port (03) is provided at the lower part of the side wall of the casing (01),
From the inner peripheral surface of the casing (01), a plurality of vanes (04)
Is protruding. Further, (010) is a holding cylinder standing upright in the casing (01), and in the lower part of the holding cylinder (010),
An oil reservoir is formed, and the lubricating oil (012) of the slide bearing (011) described later is stored in the oil reservoir. Also, (07) is the rotation axis,
Reference numeral (06) is a rotor integrally connected to the upper end of the rotary shaft (07), and from the outer peripheral surface of the rotor (06), a plurality of moving blades (05 ) Is protruding. Further, (08) is a rotating-side annular permanent magnet attached to the center of the rotor (06), and (09) is a non-rotating-side annular permanent magnet attached to the upper end of the holding cylinder (010). Side annular permanent magnet (08) and the same non-rotating side annular permanent magnet (09) face each other in the radial direction, and, as shown in FIG. 7 or FIG. N) face each other, and the non-contact bearings that rotatably support the rotor (06) and the rotating shaft (07) by magnetic repulsion are configured. Further, (011) in FIG. 6 is a sliding bearing (lower bearing) having a load bearing capability in the axial direction and the horizontal direction (direction orthogonal to the axial direction) of the rotary shaft (07), and the sliding bearing (011) is , Rotating shafts (07)
And a bearing disc (011b) surrounding the small diameter rotating portion (011a). Further, (013) is a bearing support member that supports the bearing tray (011b), and (014) is a motor arranged between the rotating shaft (07) and the holding cylinder (010).
14) is a motor rotor (01) attached to the rotary shaft (07).
4a) and a motor stator (014b) attached to the holding cylinder (010).
前記第６、７、８図に示す従来のターボ分子ポンプにお
いて、動翼（05）を有するロータ（06）と同ロータ（0
6）に一体的に連結した回転軸（07）とをモータ（014）
により高速回転させると、気体分子が矢印A1→A2方向に
流れて、吸気口（02）側が高真空になり、排気口（03）
側が低真空になる。In the conventional turbo molecular pump shown in FIGS. 6, 7, and 8, the rotor (06) having the rotor blade (05) and the rotor (0
6) The motor (014) with the rotary shaft (07) integrally connected to
When rotated at a high speed by, the gas molecules flow in the direction of arrow A 1 → A 2 , the suction port (02) side becomes a high vacuum, and the exhaust port (03)
The side has a low vacuum.
（考案が解決しようとする課題） 前記第６、７、８図に示す従来のターボ分子ポンプで
は、上部軸受がロータ（06）の中心部に取付けた回転側
の環状永久磁石（08）と保持筒（010）の上端部に取付
けた非回転側の環状永久磁石（09）とにより構成されて
おり、同各環状永久磁石（08）（09）が非接触で、オイ
ルレスのため、劣化が少ない。矢印A1→A2方向に流
れる気体を汚染しない。振動、騒音が少ないという利
点がある反面、回転側の環状永久磁石（08）と非回転側
の環状永久磁石（09）とが軸方向に１段のため、負荷負
担能力が小さくて、ロータ（06）と回転軸（07）とが安
定的に支持され難いという問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) In the conventional turbo-molecular pump shown in FIGS. 6, 7, and 8, the upper bearing has a ring-shaped permanent magnet (08) mounted on the center of the rotor (06) and a holding member. It is composed of a non-rotating side annular permanent magnet (09) attached to the upper end of the cylinder (010). Since the annular permanent magnets (08) (09) are not in contact with each other and no oil is used, deterioration does not occur. Few. Does not contaminate the gas flowing in the direction of arrow A 1 → A 2 . Although it has the advantage of less vibration and noise, the rotating permanent magnet (08) and the non-rotating permanent magnet (09) have a single axial stage, so the load bearing capacity is small and the rotor ( There was a problem that it was difficult to stably support 06) and the rotating shaft (07).
本考案の目的とする処は、ロータ及び回転軸に対するダ
ンピング効果を増大できるターボ分子ポンプを供する点
にある。The object of the present invention is to provide a turbo-molecular pump capable of increasing the damping effect on the rotor and the rotating shaft.
（課題を解決するための手段） 上記の目的を解決するために、本考案は、上部に吸気口
を、側壁下部に排気口を、それぞれ設け且つ内周面に複
数の静翼を突設したケーシングと、同ケーシング内に立
設した下部内に油溜を形成した保持筒と、上記各静翼に
対応して外周面に複数の動翼を突設し且つ同保持筒と同
保持筒内に嵌挿したロータの回転軸とにより回転可能に
支持されたロータと、上記回転軸と上記保持筒との間に
設けたモータとを具えているターボ分子ポンプにおい
て、前記保持筒の軸方向に複数個の環状永久磁石を取付
け、前記ロータに上記各環状永久磁石に対して半径方向
に間隙を置いて対向するように複数個の環状永久磁石を
取付けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構成
するとともに、前記各環状永久磁石を軸方向に同極を対
向させて配置し、磁石の端部間に磁性リングを配設し、
前記保持筒に取付けた非回転側の環状永久磁石を電気抵
抗の小さいダンパカバーにより被覆している。(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned object, the present invention provides an intake port on the upper part, an exhaust port on the lower part of the side wall, and a plurality of stationary vanes on the inner peripheral surface. A casing, a holding cylinder in which an oil sump is formed in a lower portion erected in the casing, and a plurality of moving blades projecting from the outer peripheral surface corresponding to each of the above stationary vanes, and the holding cylinder and the same holding cylinder. In a turbo molecular pump comprising a rotor rotatably supported by a rotating shaft of a rotor fitted in and a motor provided between the rotating shaft and the holding cylinder, in the axial direction of the holding cylinder. A bearing that mounts a plurality of annular permanent magnets, and mounts a plurality of annular permanent magnets on the rotor so as to face each of the annular permanent magnets with a gap in the radial direction, and rotatably supports the rotor. And the respective annular permanent magnets are axially arranged. The same poles are arranged opposite to each other, and a magnetic ring is arranged between the ends of the magnet,
The non-rotating annular permanent magnet attached to the holding cylinder is covered with a damper cover having a low electric resistance.
（作用） 本考案のターボ分子ポンプでは、次の作用が達成され
る。即ち、 （ａ）保持筒に軸方向に複数個の環状永久磁石を取付
け、ロータに上記各環状永久磁石に対して半径方向に間
隔を置いて対向するように複数個の環状永久磁石を取付
けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構成する
とともに、前記各環状永久磁石を軸方向に同極を対向さ
せて配置しているので、磁石間の磁性リング近傍のダン
パカバー部の磁束密度が増加する。一般に減衰数と磁束
密度との間には、 Ｃ∝B2 … の関係があるため、減衰定数も増加する。(Operation) The turbo molecular pump of the present invention achieves the following operation. That is, (a) a plurality of ring-shaped permanent magnets are attached to the holding cylinder in the axial direction, and a plurality of ring-shaped permanent magnets are attached to the rotor so as to face each of the ring-shaped permanent magnets at radial intervals. Since the bearing that rotatably supports the rotor is arranged and the annular permanent magnets are arranged with the same poles facing each other in the axial direction, the magnetic flux density of the damper cover portion near the magnetic ring between the magnets is To increase. Generally, there is a relationship of C∝B 2 ... Between the attenuation number and the magnetic flux density, so that the attenuation constant also increases.
（ｂ）さらに上記各環状永久磁石の端部間に磁性リング
を配設しており、第９図に示すように磁性リングないし
の場合に比べて２倍程度の減衰定数が得られる。(B) Further, a magnetic ring is arranged between the end portions of each of the annular permanent magnets, and as shown in FIG. 9, a damping constant about twice that of the magnetic ring or not is obtained.
以上（ａ）（ｂ）の複合効果により、ロータ及び回転軸
に対するダンピング効果が増大する。Due to the combined effects of (a) and (b) above, the damping effect on the rotor and the rotating shaft is increased.
（実施例） 次に本考案のターボ分子ポンプを第１、２図に示す一実
施例により説明すると、第２図の（１）がケーシング
で、同ケーシング（１）の上部には、吸気口（２）が設
けられ、同ケーシング（１）の側壁下部には、排気口
（３）が設けられ、同ケーシング（１）の内周面から
は、複数の静翼（４）が突設している。また（10）が同
ケーシング（１）内に立設した保持筒で、同保持筒（1
0）の下部内には、油溜が形成されて、同油溜に後記滑
り軸受（11）の潤滑油（12）が貯えられている。また
（７）が回転軸、（６）が同回転軸（７）の上端部に一
体的に連結したロータで、同ロータ（６）の外周面から
は、上記各静翼（４）に対応して複数の静翼（５）が突
設している。また（８）が上記ロータ（６）の中心部に
取付けた回転側の環状永久磁石（９）が上記保持筒（1
0）の上端部に取付けた非回転側の環状永久磁石（11）
が回転軸（７）の軸方向と水平方向（軸方向と直交した
方向）とに負荷負担能力を有する滑り軸受（下部軸受）
で、同滑り軸受（11）が、回転軸（７）の下端部から下
方へ延びた細径軸部（11a）と、同細径回転部（11a）を
取り囲む軸受皿（11b）とにより構成されている。また
（13）が上記軸受皿（11b）を支持する軸受支持部材、
（14）が上記回転軸（７）と上記保持筒（10）との間に
配設したモータで、同モータ（14）が、上記回転軸
（７）に取付けたモータロータ（14a）と、上記保持筒
（10）に取付けたモータステータ（14b）とにより構成
されており、動翼（５）を有するロータ（６）と同ロー
タ（６）に一体的に連結した回転軸（７）とをモータ
（14）により高速回転させると、気体分子が矢印A1→A2
方向に流れて、吸気口（２）側が高真空になり、排気口
（３）側が低真空になる。(Embodiment) Next, a turbo molecular pump of the present invention will be described with reference to an embodiment shown in FIGS. 1 and 2. (1) in FIG. 2 is a casing, and an intake port is provided at the upper part of the casing (1). (2) is provided, an exhaust port (3) is provided in the lower part of the side wall of the casing (1), and a plurality of vanes (4) are provided so as to project from the inner peripheral surface of the casing (1). ing. Further, (10) is a holding cylinder that is erected in the casing (1).
An oil reservoir is formed in the lower part of (0), and the lubricating oil (12) of the slide bearing (11) described later is stored in the oil reservoir. Further, (7) is a rotating shaft, and (6) is a rotor integrally connected to the upper end of the rotating shaft (7), and from the outer peripheral surface of the rotor (6) corresponds to each of the above vanes (4). Then, a plurality of stationary blades (5) are projected. Further, (8) is a rotating-side annular permanent magnet (9) attached to the center of the rotor (6), and
Non-rotating side annular permanent magnet (11) attached to the upper end of (0)
Is a plain bearing (lower bearing) having load bearing capacity in the axial direction of the rotary shaft (7) and in the horizontal direction (direction orthogonal to the axial direction).
The slide bearing (11) includes a small-diameter shaft portion (11a) extending downward from the lower end of the rotary shaft (7) and a bearing disc (11b) surrounding the small-diameter rotary portion (11a). Has been done. Further, (13) is a bearing support member for supporting the bearing dish (11b),
(14) is a motor disposed between the rotating shaft (7) and the holding cylinder (10), and the motor (14) includes a motor rotor (14a) attached to the rotating shaft (7), A rotor (6) having a rotor blade (5) and a rotary shaft (7) integrally connected to the rotor (6). When it is rotated at high speed by the motor (14), the gas molecules move from arrow A 1 to A 2
Flowing in the direction, and the suction port (2) side has a high vacuum, and the exhaust port (3) side has a low vacuum.
次に上記回転側の環状永久磁石（８）及び非回転側の環
状永久磁石（９）を第１図により具体的に説明すると、
（８）（８）が２個の回転側環状永久磁石、（９）
（９）が２個の非回転側環状永久磁石で、同環状永久磁
石（８）（８）と同環状永久磁石（９）（９）とが半径
方向に間隔を置いて対向し、同環状永久磁石（８）
（８）が軸方向に間隔を置いて配設され、同環状永久磁
石（９）（９）が軸方向に間隔を置いて配設されてい
る。また同回転側の環状永久磁石（８）（８）が電気抵
抗の大きい磁石カバー（15）により被覆され、同環状永
久磁石（８）（８）の各端部に磁性リング（16）が配設
されて、同磁石カバー（15）が上記ロータ（６）及び上
記回転軸（７）に取付けられている。また上記非回転軸
の環状永久磁石（９）（９）が電気抵抗の小さいダンパ
カバー（17）により被覆され、同環状永久磁石（９）
（９）の各端部に磁性リング（16）が配設されて、同ダ
ンパカバー（17）が保持筒（10）の上端部に取付けられ
ている。また上記環状永久磁石（８）（８）と上記環状
永久磁石（９）（９）との同極（ＳとＳ、ＮとＮ）が対
向して、非接触の上部軸受が構成さている。Next, the annular permanent magnet (8) on the rotating side and the annular permanent magnet (9) on the non-rotating side will be specifically described with reference to FIG.
(8) (8) is two rotating side annular permanent magnets, (9)
(9) is two non-rotation side annular permanent magnets, and the annular permanent magnets (8) and (8) and the annular permanent magnets (9) and (9) face each other with a radial interval. Permanent magnets (8)
(8) are arranged at intervals in the axial direction, and the annular permanent magnets (9) and (9) are arranged at intervals in the axial direction. Further, the annular permanent magnets (8) (8) on the same rotation side are covered with a magnet cover (15) having a large electric resistance, and a magnetic ring (16) is arranged at each end of the annular permanent magnets (8) (8). The magnet cover (15) is attached to the rotor (6) and the rotary shaft (7). Further, the non-rotating shaft annular permanent magnets (9) (9) are covered with a damper cover (17) having a small electric resistance,
A magnetic ring (16) is arranged at each end of (9), and the damper cover (17) is attached to the upper end of the holding cylinder (10). Further, the same poles (S and S, N and N) of the annular permanent magnets (8) and (8) and the annular permanent magnets (9) and (9) face each other to form a non-contact upper bearing.
次に前記第１、２図に示すターボ分子ポンプの作用を具
体的に説明する。保持筒（10）及びロータ（６）に複
数個の環状永久磁石（８）（８）及び（９）（９）が軸
方向に間隔を置いて取付けられており、ロータ（６）の
回転軸（７）を回転可能に支持する磁力が増大する。
また回転側の環状永久磁石（８）（８）と非回転側の環
状永久磁石（９）（９）と同各環状環状永久磁石（８）
（８）及び（９）（９）の端部に配設した磁性リング
（16）とで形成される磁気回路により、ロータ（６）の
回転軸（７）が軸中心からの偏心量に対応した反発力を
受けて、ロータ（６）の回転中心が保持筒の中心に一致
する。また磁性リング（16）の近傍で磁束が変化し、
それに伴い非回転側の環状永久磁石（９）（９）を被覆
している電気抵抗の小さいダンパカバー（17）に渦電流
損が生じて、ダンピング効果（振動抑制効果）が得られ
る。ここで保持筒及びロータの複数個の環状永久磁石
は、同極が対向するように配置されているので、極間で
の磁束密度はきわめて大きくとれ、極間に配置されてい
る磁性リング近傍での磁束の変化が大きくなり、きわめ
て大きなダンピング効果が得られる。さらに回転側の
環状永久磁石（８）（８）が電気抵抗の大きい磁石カバ
ー（15）により被覆されており、同回転側の環状永久磁
石（８）（８）に渦電流損が生じ難い。従ってロータ
（６）及び回転軸（７）が安定的に回転支持される。Next, the operation of the turbo molecular pump shown in FIGS. 1 and 2 will be specifically described. A plurality of annular permanent magnets (8), (8), (9) and (9) are attached to the holding cylinder (10) and the rotor (6) at intervals in the axial direction, and the rotary shaft of the rotor (6). The magnetic force that rotatably supports (7) increases.
Further, the annular permanent magnets (8) and (8) on the rotating side, the annular permanent magnets (9) and (9) on the non-rotating side, and the respective annular annular permanent magnets (8).
(8) and (9) The magnetic circuit formed by the magnetic rings (16) arranged at the ends of (9) corresponds to the amount of eccentricity of the rotating shaft (7) of the rotor (6) from the shaft center. Due to the repulsive force, the rotation center of the rotor (6) coincides with the center of the holding cylinder. Also, the magnetic flux changes near the magnetic ring (16),
As a result, an eddy current loss occurs in the damper cover (17) that covers the non-rotating side annular permanent magnets (9) (9) and has a low electric resistance, and a damping effect (vibration suppressing effect) is obtained. Here, since the holding cylinder and the plurality of annular permanent magnets of the rotor are arranged so that the same poles face each other, the magnetic flux density between the poles is extremely large, and in the vicinity of the magnetic ring arranged between the poles. The change in the magnetic flux becomes large, and a very large damping effect can be obtained. Further, the ring-shaped permanent magnets (8) (8) on the rotating side are covered with the magnet cover (15) having a large electric resistance, so that the eddy current loss hardly occurs on the ring-shaped permanent magnets (8) (8) on the rotating side. Therefore, the rotor (6) and the rotary shaft (7) are stably rotatably supported.
また第３図は、回転側の環状永久磁石（８）及び非回転
側の環状永久磁石（９）の他の実施例を示している。同
第３図において、（８）が１個の回転側環状永久磁石、
（９）（９）が２個の非回転側環状永久磁石で、同環状
永久磁石、（９）（９）が軸方向に間隔を置いて配設さ
れている。また上記回転側の環状永久磁石（８）が電気
抵抗の大きい磁石カバー（15）により被覆され、同磁石
カバー（15）が保持筒（10）の上端部よりも外側のロー
タ（６）部分に取付けられている。また上記非回転側の
環状永久磁石（９）（９）が電気抵抗の小さいダンパカ
バー（17）により被覆され、同環状永久磁石（９）
（９）の各端部に磁性リング（16）が配設されて、同ダ
ンパカバー（17）が保持筒（10）の上端部に取付けられ
ている。また上記環状環状永久磁石（８）と上記環状永
久磁石（９）（９）との同極（ＳとＳ、ＮとＮ）が対向
し、非接触の上部軸受が構成されており、この実施例で
も、前記第１、２図に示すターボ分子ポンプと同様の作
用が奏せられる。Further, FIG. 3 shows another embodiment of the rotating permanent magnet (8) and the non-rotating permanent magnet (9). In FIG. 3, (8) is one rotating side annular permanent magnet,
(9) and (9) are two non-rotating side annular permanent magnets, and the annular permanent magnets (9) and (9) are arranged at intervals in the axial direction. The annular permanent magnet (8) on the rotating side is covered with a magnet cover (15) having a large electric resistance, and the magnet cover (15) is provided on the rotor (6) outside the upper end of the holding cylinder (10). Installed. Further, the non-rotating side annular permanent magnets (9) (9) are covered with a damper cover (17) having a small electric resistance, and the annular permanent magnets (9) are provided.
A magnetic ring (16) is arranged at each end of (9), and the damper cover (17) is attached to the upper end of the holding cylinder (10). Moreover, the same poles (S and S, N and N) of the ring-shaped annular permanent magnet (8) and the ring-shaped permanent magnets (9) and (9) face each other to form a non-contact upper bearing. Even in the example, the same action as the turbo-molecular pump shown in FIGS.
第４図は、回転側の環状永久磁石（８）及び非回転側の
環状永久磁石（９）の他の実施例を示している。同第４
図において、（10′）が第２図に示すケーシング（１）
の吸気口（２）側の配設した保持筒、（８）が１個の回
転側環状永久磁石、（９）（９）が２個の非回転側環状
永久磁石で、同環状永久磁石（９）（９）が軸方向に間
隔を置いて配設されている。また上記回転側の環状永久
磁石（８）が電気抵抗の大きい磁石カバー（15）により
被覆され、同環状永久磁石（８）の両端部に磁性リング
（16）が配設されて、同磁石カバー（15）が保持筒（1
0′）の下端部よりも外側のロータ（６）部分に取付け
られている。また上記非回転側の環状永久磁石（９）
（９）が電気抵抗の小さいダンパカバー（17）により被
覆され、同環状永久磁石（９）（９）の各端部に磁性リ
ング（16）が配設され、同ダンパカバー（17）が保持筒
（10′）の下端部に取付けられている。また上記環状永
久磁石（８）と上記環状永久磁石（９）（９）との同極
（ＳとＳ、ＮとＮ）が対向して、非接触の上部軸受が構
成されており、この実施例でも、前記第１図に示すター
ボ分子ポンプと同様の作用が奏せられる。FIG. 4 shows another embodiment of the rotating permanent magnet (8) and the non-rotating permanent magnet (9). Same 4th
In the figure, (10 ') is the casing (1) shown in FIG.
Of the holding cylinder disposed on the intake port (2) side, (8) is one rotating side annular permanent magnet, and (9) and (9) are two non-rotating side annular permanent magnets. 9) (9) are arranged at intervals in the axial direction. The rotating permanent magnet (8) is covered with a magnet cover (15) having a large electric resistance, and magnetic rings (16) are arranged at both ends of the permanent magnet (8). (15) is holding cylinder (1
It is attached to the rotor (6) portion outside the lower end of (0 '). In addition, the non-rotating side annular permanent magnet (9)
(9) is covered with a damper cover (17) having a small electric resistance, and magnetic rings (16) are arranged at each end of the annular permanent magnets (9) and (9) to hold the damper cover (17). It is attached to the lower end of the tube (10 '). The same poles (S and S, N and N) of the annular permanent magnet (8) and the annular permanent magnets (9) and (9) face each other to form a non-contact upper bearing. Even in the example, the same action as the turbo-molecular pump shown in FIG. 1 is exhibited.
また第５図は、回転側の環状永久磁石（８）及び非回転
側の環状永久磁石（９）のさらに他の実施例を示してい
る。同第５図において、（８）が１個の回転側環状永久
磁石、（９）（９）が２個の非回転側環状永久磁石で、
同環状永久磁石（９）（９）が軸方向に間隔を置いて配
設されている。また上記回転側の環状永久磁石（８）が
電気抵抗の大きい磁石カバー（15）により被覆され、同
環状永久磁石（８）の両端部に磁性リング（16）が配設
されて、同磁石カバー（15）が保持筒（10）の上端部よ
りも外側のロータ（６）部分に取付けられている。また
上記非回転側の環状永久磁石（９）（９）が電気抵抗の
小さいダンパカバー（17）により被覆され、同環状永久
磁石（９）（９）の各端部に磁性リング（16）が配設さ
れて、同ダンパカバー（17）が保持筒（10）の上端部に
取付けられている。また上記環状永久磁石（８）と上記
環状永久磁石（９）（９）との同極（ＳとＳ、ＮとＮ）
が対向して、非接触の上部軸受が構成されており、この
実施例でも、前記第１図に示すターボ部分ポンプと同様
の作用が奏せられる。FIG. 5 shows still another embodiment of the rotating permanent magnet (8) and the non-rotating permanent magnet (9). In FIG. 5, (8) is one rotating side annular permanent magnet, (9) and (9) are two non-rotating side annular permanent magnets,
The annular permanent magnets (9) (9) are arranged at intervals in the axial direction. The rotating permanent magnet (8) is covered with a magnet cover (15) having a large electric resistance, and magnetic rings (16) are arranged at both ends of the permanent magnet (8). (15) is attached to the rotor (6) portion outside the upper end of the holding cylinder (10). Further, the non-rotating side annular permanent magnets (9) (9) are covered with a damper cover (17) having a small electric resistance, and a magnetic ring (16) is provided at each end of the annular permanent magnets (9) (9). The damper cover (17) is provided and attached to the upper end of the holding cylinder (10). Further, the same polarity (S and S, N and N) of the annular permanent magnet (8) and the annular permanent magnets (9) and (9).
Are opposed to each other to form a non-contact upper bearing, and this embodiment also has the same effect as the turbo partial pump shown in FIG.
（考案の効果） 本考案のターボ分子ポンプでは、次の効果を達成でき
る。即ち （ａ）保持筒に軸方向に複数個の環状永久磁石を取付
け、ロータに上記各環状永久磁石に対して半径方向に間
隔を置いて対向するように複数個の環状永久磁石を取付
けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構成する
とともに、前記各環状永久磁石を軸方向に同極を対向さ
せて配置しているので、磁石間の磁性リング近傍のダン
パカバー部の磁束密度が増加する。一般に減衰数と磁束
密度との間には、 Ｃ∝B2 … の関係があるため、減衰定数も増加する。(Effect of the Invention) The turbo molecular pump of the present invention can achieve the following effects. That is, (a) a plurality of annular permanent magnets are attached to the holding cylinder in the axial direction, and a plurality of annular permanent magnets are attached to the rotor so as to face each of the annular permanent magnets at radial intervals. Since a bearing that rotatably supports the rotor is configured and the annular permanent magnets are arranged with the same poles facing each other in the axial direction, the magnetic flux density of the damper cover portion near the magnetic ring between the magnets increases. To do. Generally, there is a relationship of C∝B 2 ... Between the attenuation number and the magnetic flux density, so that the attenuation constant also increases.
（ｂ）さらに上記各環状永久磁石の端部間に磁性リング
を配設しており、第９図に示すように磁性リングなしの
場合に比べて２倍程度の減衰定数が得られる。(B) Further, a magnetic ring is arranged between the end portions of the above-mentioned annular permanent magnets, and as shown in FIG. 9, a damping constant of about double that obtained without a magnetic ring is obtained.
以上（ａ）（ｂ）の複合効果により、ロータ及び回転軸
に対するダンピング効果が増大できる効果がある。Due to the combined effects of (a) and (b) above, there is an effect that the damping effect on the rotor and the rotating shaft can be increased.
第１図は本考案に係わるターボ分子ポンプの一実施例の
軸受部分を示す縦断側面図、第２図は同ターボ分子ポン
プの全体を示す縦断側面図、第３図乃至第５図は軸受部
分の他の実施例を示す縦断側面図、第６図は従来のター
ボ分子ポンプを示す縦断側面図、第７、８図は同従来の
ターボ分子ポンプの軸受部分を示す縦断側面図、第９図
は本考案のターボ分子ポンプの効果を示す説明図であ
る。 （１）……ケーシング、（２）……吸気口、（３）……
排気口、（４）……静翼、（５）……動翼、（６）……
ロータ、（７）……ロータ（６）の回転軸、（８）……
回転側の環状永久磁石、（９）……非回転側の環状永久
磁石、（10）……保持筒、（14）……モータ、（15）…
…磁石カバー、（16）……磁性リング、（17）……ダン
パカバー。FIG. 1 is a vertical sectional side view showing a bearing portion of an embodiment of a turbo molecular pump according to the present invention, FIG. 2 is a vertical sectional side view showing the entire turbo molecular pump, and FIGS. 3 to 5 are bearing portions. FIG. 6 is a vertical sectional side view showing another example of the conventional turbo molecular pump, and FIGS. 7 and 8 are vertical sectional side views showing bearing portions of the conventional turbo molecular pump. FIG. 3 is an explanatory view showing the effect of the turbo molecular pump of the present invention. (1) …… Casing, (2) …… Intake port, (3) ……
Exhaust port, (4) …… Static vane, (5) …… Motor blade, (6) ……
Rotor, (7) …… Rotary shaft of rotor (6), (8) ……
Rotating-side annular permanent magnet, (9) …… Non-rotating side annular permanent magnet, (10) …… Holding cylinder, (14) …… Motor, (15)…
… Magnet cover, (16) …… Magnetic ring, (17) …… Damper cover.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−79695（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−41295（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−93995（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−120724（ＪＰ，Ａ) 実開 昭48−97540（ＪＰ，Ｕ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-58-79695 (JP, A) JP-A-58-41295 (JP, A) JP-A-59-93995 (JP, A) JP-A-57- 120724 (JP, A) Actual development Sho-48-97540 (JP, U)
Claims (1)
れぞれ設け且つ内周面に複数の静翼を突設したケーシン
グと、同ケーシング内に立設して下部内に油溜を形成し
た保持筒と、上記各静翼に対応して外周面に複数の動翼
を突設し且つ同保持筒と同保持筒内に嵌挿したロータの
回転軸とにより回転可能に支持されたロータと、上記回
転軸と上記保持筒との間に設けたモータとを具えている
ターボ分子ポンプにおいて、前記保持筒の軸方向に複数
個の環状永久磁石を取付け、前記ロータに上記各環状永
久磁石に対して半径方向に間隔を置いて対向するように
複数個の環状永久磁石を取付けて、前記ロータを回転可
能に支持する軸受を構成するとともに、前記各環状永久
磁石を軸方向に同極を対向させて配置し、磁石の端部間
に磁性リングを配設し、前記保持筒に取付けた非回転側
の環状永久磁石を電気抵抗の小さいダンパカバーにより
被覆したことを特徴とするターボ分子ポンプ。1. A casing in which an intake port is provided at an upper portion, an exhaust port is provided at a lower portion of a side wall, and a plurality of stator blades are provided on an inner peripheral surface of the casing, and an oil reservoir is provided in a lower portion of the casing. It is rotatably supported by the formed holding cylinder and a plurality of moving blades projecting from the outer peripheral surface corresponding to each of the above-mentioned stationary blades and the rotation shaft of the rotor fitted in the same holding cylinder. In a turbo molecular pump including a rotor and a motor provided between the rotating shaft and the holding cylinder, a plurality of annular permanent magnets are attached in the axial direction of the holding cylinder, and each of the annular permanent magnets is attached to the rotor. A plurality of annular permanent magnets are attached so as to face the magnets at intervals in the radial direction to form a bearing that rotatably supports the rotor, and each annular permanent magnet has the same pole in the axial direction. Are placed facing each other and a magnetic ring is placed between the ends of the magnet. And turbo-molecular pump, characterized in that covering the non-rotating side of the annular permanent magnet mounted on the holding cylinder by a small damper cover electrical resistance.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123099U JPH0749039Y2 (en) | 1987-08-13 | 1987-08-13 | Turbo molecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123099U JPH0749039Y2 (en) | 1987-08-13 | 1987-08-13 | Turbo molecular pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6429289U JPS6429289U (en) | 1989-02-21 |
| JPH0749039Y2 true JPH0749039Y2 (en) | 1995-11-13 |
Family
ID=31371639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987123099U Expired - Lifetime JPH0749039Y2 (en) | 1987-08-13 | 1987-08-13 | Turbo molecular pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749039Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020112080A (en) * | 2019-01-10 | 2020-07-27 | エドワーズ株式会社 | Vacuum pump |
| JP7147976B2 (en) * | 2019-05-24 | 2022-10-05 | 株式会社島津製作所 | Vacuum pump and magnetic bearing integrated motor |
-
1987
- 1987-08-13 JP JP1987123099U patent/JPH0749039Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6429289U (en) | 1989-02-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2870604B2 (en) | Vacuum pump | |
| JP2005237192A (en) | Magnetic bearing motor and bearing structure thereof | |
| JP2003532838A (en) | Magnet bearing with damping part | |
| JP2005504930A (en) | Machine with magnetic bearings, preferably vacuum pump | |
| JPH07217653A (en) | Magnetic bearing | |
| JPS62261696A (en) | Turbo-molecular pumping plant | |
| KR930700999A (en) | Quiet Spin Motors for Disk Drives | |
| JPH0749039Y2 (en) | Turbo molecular pump | |
| JP3090449U (en) | Brushless DC motor | |
| JPS5883552A (en) | Rotary machine | |
| JP2871108B2 (en) | High-speed rotary vacuum pump | |
| EP4136361A1 (en) | Passive magnetic bearing | |
| JP2527245Y2 (en) | Turbo molecular pump | |
| JPS62218692A (en) | Turbo-molecular pump device | |
| JPH0216390A (en) | Turbo molecular drag pump | |
| EA200000478A1 (en) | GENERATOR WITH PERMANENT MAGNET | |
| KR100570539B1 (en) | Spindle motor with magnetic thrust bearing and hydrodynamic journal bearing | |
| JP2601803Y2 (en) | Turbo molecular pump | |
| JP2003329037A (en) | Bearing device | |
| KR100267696B1 (en) | A motor for disk driving | |
| JPH04337110A (en) | Magnetic bearing | |
| JPH0670440B2 (en) | Turbo molecular pump | |
| GB2621346A (en) | Vacuum pump | |
| JPH03237296A (en) | Turbo-molecular pump | |
| KR910700561A (en) | Disk Drive Spin Motors Mounted Under Hubs |