JPH0748046B2 - Vibrating gyro - Google Patents

Vibrating gyro

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JPH0748046B2
JPH0748046B2 JP21868189A JP21868189A JPH0748046B2 JP H0748046 B2 JPH0748046 B2 JP H0748046B2 JP 21868189 A JP21868189 A JP 21868189A JP 21868189 A JP21868189 A JP 21868189A JP H0748046 B2 JPH0748046 B2 JP H0748046B2
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axis
fixing means
vibrator
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piezoelectric material
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厚吉 寺嶋
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赤井電機株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、角速度を検出する目的の下でコリオリの力
を検知する振動ジャイロに関するものである。
The present invention relates to a vibrating gyro that detects Coriolis force for the purpose of detecting angular velocity.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のこの種の振動ジャイロとしては、例えば第21図に
示すような圧電タイプのものがあり、これは、3次元座
標系内で、固定手段4の、Y軸と直交するそれぞれの面
に、圧電材料よりなるバイモルフ,ユニモルフその他の
振動子5の二枚を音叉状に固定し、そして、それらのそ
れぞれの振動子5の自由端に、これもまた圧電材料から
なるそれぞれの検知手段6を、各々の広幅面が振動子5
のそれと直交する方向に向く状態で固定することにより
構成されている。
As a conventional vibration gyro of this type, for example, there is a piezoelectric type as shown in FIG. 21, which has a three-dimensional coordinate system in which each surface of the fixing means 4 orthogonal to the Y axis is Two vibrators 5 made of a piezoelectric material, such as a bimorph, a unimorph and the like, are fixed in a tuning fork shape, and the free ends of the respective vibrators 5 are provided with respective detection means 6 also made of a piezoelectric material. Each wide surface is a transducer 5
It is configured by fixing in a state of facing in the direction orthogonal to that.

このような振動ジャイロの使用に際しては、はじめに、
振動子5に交流電圧を印加して振動子5を図の実線矢印
方向(Y軸方向)に対称振動させる。なお、かかる対称
振動をもたらす方法としては、両振動子5に交流電圧を
印加する方法の他、一方の振動子5だけに交流電圧を印
加し、他方の振動子5を振動モニターとして利用して振
動状態の制御を行い、これによって振動を安定させる方
法があるが、これらのいずれにおいても、後述するコリ
オリの力を強くすべく、振動子5を共振状態で振動させ
て、振動振幅を大きくすることとしている。
When using such a vibration gyro, first,
An alternating voltage is applied to the vibrator 5 to cause the vibrator 5 to vibrate symmetrically in the direction of the solid arrow (Y-axis direction). As a method of producing such symmetrical vibration, in addition to a method of applying an AC voltage to both vibrators 5, an AC voltage is applied to only one vibrator 5 and the other vibrator 5 is used as a vibration monitor. There is a method of stabilizing the vibration by controlling the vibration state. In any of these methods, in order to increase the Coriolis force described later, the vibrator 5 is vibrated in the resonance state to increase the vibration amplitude. I have decided.

次いで、振動子5の振動状態下で、振動ジャイロをZ軸
の周りに角速度ωで回動させることによって、検知手段
6に、それを図の破線矢印方向(X軸方向)に撓ませる
ように作用するコリオリの力Fcを生じさせ、この結果と
して、その検知手段6に設けた電極間に電圧を発生させ
る。
Then, under the vibrating state of the vibrator 5, the vibrating gyro is rotated about the Z axis at an angular velocity ω so that the detecting means 6 bends the vibrating gyro in the direction of the broken line arrow (X-axis direction). A Coriolis force Fc that acts is generated, and as a result, a voltage is generated between the electrodes provided in the detection means 6.

ここで、この発生電圧は、コリオリの力Fcの大きさに比
例することから、その発生電圧を測定することによっ
て、角速度ωの大きさに応じた電圧が得られる。
Here, since this generated voltage is proportional to the magnitude of the Coriolis force Fc, the voltage corresponding to the magnitude of the angular velocity ω can be obtained by measuring the generated voltage.

なお一般的には、固定手段4に支持棒7を設けて装置全
体を支持することによって効率を高める工夫がなされて
いる。
Incidentally, in general, the fixing means 4 is provided with a support rod 7 to support the entire apparatus to improve the efficiency.

〔発明が解決しようとする課題〕 ところが、このような従来技術にあっては、振動子5の
先端に検知手段6を連結する構造であることにより、装
置か大型化する他、振動子5に交流電流を供給するため
の配線、検知手段6から信号電圧を取り出すための配線
などが複雑になる欠点があり、とくには、検知手段6に
対する配線は、線材の引回しに苦労するところが大であ
った。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in such a conventional technique, since the detection unit 6 is connected to the tip of the vibrator 5, the size of the device is increased, and The wiring for supplying an alternating current, the wiring for taking out a signal voltage from the detection means 6, and the like are complicated, and in particular, the wiring for the detection means 6 has a great deal of difficulty in routing the wire rod. It was

すなわち、検知手段6が、常に大略数μm〜100μm程
度の振幅を有する振動下におかれており、信号電圧の取
出しのための線材の質量や弾性率、さらには変形状態そ
の他が、主には振動子5の振動に大きな影響を及ぼして
検知感度を変動させる要因となることから、その線材
を、振動子5の側面5′に接着させて、振動の小さい固
定手段4の付近まで延在させ、そこから所定の接続端子
まで引き出すこと、所定の接続端子を検知手段6の近傍
位置まで延在させて、線材の長さを短くすることにてそ
の線材の影響を低減することなどの手段が講じられてい
る。
That is, the detection means 6 is always under vibration having an amplitude of approximately several μm to 100 μm, and the mass and elastic modulus of the wire rod for extracting the signal voltage, and further the deformation state and the like are mainly Since it has a great influence on the vibration of the vibrator 5 and causes a change in the detection sensitivity, the wire is adhered to the side surface 5 ′ of the vibrator 5 and extended to the vicinity of the fixing means 4 with small vibration. Means for pulling out from there to a predetermined connection terminal, extending the predetermined connection terminal to a position in the vicinity of the detection means 6, and shortening the length of the wire rod to reduce the influence of the wire rod. Has been taken.

しかしながら、このことによれば、振動ジャイロの製造
作業効率の著しい低減が不可避であった。
However, according to this, a significant reduction in the manufacturing work efficiency of the vibration gyro was inevitable.

またこの一方において、振動子5の広幅面と、検知手段
6の広幅面とが正確に直交していない場合には、検知手
段6での検知信号中に、Y軸方向の振動成分が漏れ込む
ことになるとともに、検知精度それ自体が低下すること
になる。ところで、図示のように、振動子5の端面と検
知手段6の端面とを直接的に連結する構造の下において
は、それらを接着剤によって単に固定するだけでは十分
な連結精度を望み得べくもない。
On the other hand, when the wide surface of the vibrator 5 and the wide surface of the detecting means 6 are not exactly orthogonal to each other, a vibration component in the Y-axis direction leaks into the detection signal of the detecting means 6. At the same time, the detection accuracy itself decreases. By the way, as shown in the figure, under the structure in which the end face of the transducer 5 and the end face of the detection means 6 are directly connected, it is possible to obtain sufficient connection accuracy by simply fixing them with an adhesive. Absent.

そこで、第22図に示すような連結部材8を介して、振動
子5と検知手段6とを連結する方法が提案されており、
この連結部材8を用いる方法によれば、振動子5および
検知手段6のそれぞれの電極の一部を、連結部材8に設
けられて、相互に直交する方向に向く面のそれぞれに接
着することによって、振動子5と検知手段6とを、比較
的容易に、高い直角度をもって連結することが可能とな
る。ところがこの場合には、連結部材8の、振動子接着
面と検知手段接着面とが相互に直交する方向に向いてい
ることから、振動子5と検知手段6との連結部材8への
接着を同時に行うためには、接着剤が硬化するまで、振
動子5および検知手段6のそれぞれを、連結部材8に、
所定の相対関係の下で正確に位置決め保持するために必
要となる治具の構造が複雑になるとともに、治具が大型
化して作業性が悪くなり、また、このような接着作業を
二工程に分けて行うときには、作業工数が著しく嵩むこ
とになる。
Therefore, there has been proposed a method of connecting the vibrator 5 and the detection means 6 via a connecting member 8 as shown in FIG.
According to the method using the connecting member 8, a part of each electrode of the vibrator 5 and the detecting means 6 is provided on the connecting member 8 and adhered to each of the surfaces facing in the directions orthogonal to each other. The vibrator 5 and the detection means 6 can be connected relatively easily with a high perpendicularity. However, in this case, since the vibrator bonding surface and the detecting means bonding surface of the connecting member 8 are oriented in directions orthogonal to each other, the bonding of the vibrator 5 and the detecting means 6 to the connecting member 8 is performed. In order to carry out simultaneously, each of the vibrator 5 and the detecting means 6 is connected to the connecting member 8 until the adhesive is cured.
In addition to the complicated jig structure required for accurate positioning and holding under a predetermined relative relationship, the jig becomes large and the workability deteriorates, and such bonding work is performed in two steps. When the steps are performed separately, the work man-hours increase significantly.

〔背景技術〕[Background technology]

一般に、一端を片持ち固定した圧電体バイモルフ素子
に、第23図に示すような力Fを加えてそれを撓ませた場
合は、シリーズ型バイモルフ13を例にとると、近似的に
は、 V=(3g31・l・F)/(2t・w) g31:電圧出力係数 l :長さ t :厚み w :幅 で表される電圧Vを発生する。これに対し、第24図に示
すように、白抜矢印で示す方向に分極させるとともに、
上下面に図示しない電極を設けた、すべり振動子として
作用する圧電材料14に、力Fを加えて剪断変形させた場
合は、同様に、 V′=(t′・g15・F)/(l′・w′) g15 :電圧出力係数 l′:長さ t′:厚み w′:幅 で表される電圧V′を発生する。
In general, when a piezoelectric bimorph element whose one end is cantilevered is flexed by applying a force F as shown in FIG. 23, taking the series type bimorph 13 as an example, approximately = (3g 31 · l · F ) / (2t · w) g 31: voltage output factor l: length t: thickness w: generating a voltage V represented by width. On the other hand, as shown in FIG. 24, while polarizing in the direction shown by the white arrow,
When the piezoelectric material 14 having upper and lower surfaces provided with electrodes (not shown) and acting as a slip oscillator is subjected to shear deformation by applying force F, similarly, V ′ = (t ′ · g 15 · F) / ( l ′ · w ′) g 15 : voltage output coefficient l ′: length t ′: thickness w ′: width to generate a voltage V ′ represented by:

ここで、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)その他をもって
代表される圧電セラミック材料を例にとると、電圧出力
係数g31,g15は、比にしてg15/g313程度であり、加え
られた力に対し、電圧出力係数に関してはすべり振動子
の方が有利ではあるが、それぞれの圧電材料の厚みt,
t′,幅w,w′,長さl,l′を考慮すると、前記二式から
明らかなように、出力電圧としては、すべり振動子が常
に有利であるとはいえない。
Here, taking a piezoelectric ceramic material typified by lead zirconate titanate (PZT) and the like as an example, the voltage output coefficients g 31 and g 15 are about g 15 / g 31 3 in terms of the ratio and are added. Although the slip oscillator is more advantageous in terms of voltage output coefficient than the force, the thickness t,
Considering t ', width w, w', and length l, l ', it is clear from the above two equations that the slip oscillator is not always advantageous as the output voltage.

しかるに、第25図に示すように、固定手段4に駆動用振
動子5の一端部を連結し、その振動子5に交流電圧を印
加してY軸方向へ振動させながら、固定手段4をZ軸の
周りに角速度ωで回動させると、発生したコリオリの力
Fcは、固定手段4の、振動子5との連結部9に、破線矢
印で示す剪断応力の他に、実線矢印で示すねじりモーメ
ントMを作用させて、固定手段4を捩る方向の力を生じ
させる。従って、このねじりモーメントMを積極的に利
用してコリオリの力Fcを測定することにより、振動ジャ
イロの製造上の作業性を向上させることができるととも
に、それの小型化を実現することができ、しかも、高い
測定精度をもたらすことができる。
However, as shown in FIG. 25, one end of the driving vibrator 5 is connected to the fixing means 4, and an AC voltage is applied to the vibrator 5 to vibrate in the Y-axis direction while the fixing means 4 is moved to Z direction. The Coriolis force generated when rotating at an angular velocity ω around the axis
Fc applies a torsional moment M indicated by a solid arrow to the connecting portion 9 of the fixing means 4 with the vibrator 5 in addition to the shear stress indicated by a dashed arrow to generate a force in the direction of twisting the fixing means 4. Let Therefore, by positively utilizing this twisting moment M to measure the Coriolis force Fc, it is possible to improve the workability in manufacturing the vibration gyro and to realize its miniaturization. Moreover, high measurement accuracy can be brought about.

この発明は、かかる点に着目してなされたものであり、
従来にない新規な振動ジャイロを提供するものである。
The present invention was made with attention to such points,
The present invention provides a novel vibration gyro that has never existed before.

これをさらに詳述すると、第26図に示すように、基台10
とアーム12とを、第27図に示すような、長辺長さがa、
短辺長さがbの長方形輪郭を有する中間部材11を介して
連結した場合に、アーム12の先端にX軸方向の力Fを加
えると、中間部材11には、剪断応力τ=F/a・bととも
に、Y軸を回転軸とするねじりモーメントM=F・L′
が作用し、このねじりモーメントMによって、中間部材
11に、座標軸X,Y,Zの交点Oを中心とするねじり剪断応
力τ′が生じる。このねじり剪断応力τ′は、第27図に
示す中間部材11の、長辺の中点Aにおいて最大となり、
その値は、 τ′max=F・L′/α・a・b2 α:長辺と短辺の長さの比a/bによって定まる定数 となる。
More specifically, as shown in FIG. 26, the base 10
And the arm 12 as shown in FIG. 27, the long side length is a,
When a force F in the X-axis direction is applied to the tip of the arm 12 when the intermediate member 11 having a rectangular contour with a short side length of b is connected, the shear stress τ = F / a is applied to the intermediate member 11.・ Along with b, the torsional moment with the Y axis as the axis of rotation M = F ・ L '
Acts, and this torsional moment M causes the intermediate member
At 11, a torsional shear stress τ'is generated centering on the intersection O of the coordinate axes X, Y, Z. This torsional shear stress τ ′ becomes maximum at the midpoint A of the long side of the intermediate member 11 shown in FIG. 27,
The value is a constant determined by τ′max = F · L ′ / α · a · b 2 α: the ratio a / b of the lengths of the long side and the short side.

このτ′maxはτに対し、τ′max/τ=L′/a・bの相
対関係を有することから、ねじり剪断応力τ′を測定す
ることは極めて効果的である。
Since τ'max has a relative relationship of τ'max / τ = L '/ a · b with respect to τ, it is extremely effective to measure the torsional shear stress τ'.

なお、ここでは、説明を容易ならしめるべく、中間部材
11を、a>bの長方形輪郭形状としたが、第27図におい
てa<bであれば、中点Bに最大ねじり剪断応力が作用
することになり、a=bであれば、両中点A,Bに最大ね
じり剪断応力が作用することになる。ところで、ねじり
剪断応力τ′で、中間部材11の中心Oと四隅において零
となり、辺の中点において高い値となる分布を示す。
In addition, here, in order to facilitate the explanation, the intermediate member
Although 11 has a rectangular outline shape of a> b, if a <b in FIG. 27, the maximum torsional shear stress acts on the midpoint B, and if a = b, both midpoints are applied. The maximum torsional shear stress acts on A and B. By the way, with the torsional shear stress τ ′, the distribution becomes zero at the center O and the four corners of the intermediate member 11 and becomes high at the midpoint of the side.

以上に述べたように、中間部材11には、剪断応力τの
他、ねじり剪断応力τ′が作用する結果、その中間部材
11は、第28図に示すように、剪断応力τによる剪断歪γ
と、ねじり剪断応力τ′による剪断歪γ′とを生じるこ
とになる。
As described above, the intermediate member 11 is subjected to not only the shear stress τ but also the torsional shear stress τ ′, so that
As shown in FIG. 28, 11 is the shear strain γ due to the shear stress τ.
And a shear strain γ ′ due to the torsional shear stress τ ′.

ここで、引張および剪断応力と電気変位との関連につい
てみるに、圧電材料に応力Tと電界Eが加わった場合に
発生する電気変位Dを式にて表現すると、 となり、圧電材料としてチタン酸ジルコン酸鉛を例にと
ると、応力Tだけが加わった場合の電気変位は、 で表される。なお、ここにおいては、加わる応力T1〜T6
は、第29図および第30図で示される方向に作用している
ものとし、圧電材料は白抜矢印で示すように、第3軸方
向に分極されているものとする。
Here, regarding the relationship between the tensile and shear stresses and the electric displacement, when the electric displacement D generated when the stress T and the electric field E are applied to the piezoelectric material is expressed by an equation, If lead zirconate titanate is used as an example of the piezoelectric material, the electric displacement when only the stress T is applied is It is represented by. In this case, the applied stresses T 1 to T 6
Is acting in the direction shown in FIG. 29 and FIG. 30, and the piezoelectric material is assumed to be polarized in the direction of the third axis as indicated by the white arrow.

以上のことから、第1軸と直交する面に電極を設けた場
合には、応力による第1軸方向の電気変位D1は、 D1=d15・T5 となり、これは第2軸の周りの剪断応力T5に対して電気
変位を発生するすべり振動子となる。
From the above, when the electrode is provided on the surface orthogonal to the first axis, the electric displacement D 1 in the first axis direction due to stress is D 1 = d 15 · T 5 , which is It becomes a sliding oscillator that generates electrical displacement with respect to the surrounding shear stress T 5 .

次に、第31図に示すように、X軸と直交する平面x1,x2
と、Y軸と直交する平面y1,y2と、Z軸と直交する平面z
1,z2とで形成される直六面体の圧電材料14に、その中心
を通るY軸の周りのねじりモーメントMにより、Y軸と
直交する面内にねじり剪断応力τ′が作用することで発
生する電気変位を考える。
Next, as shown in FIG. 31, planes x 1 and x 2 orthogonal to the X axis
And the planes y 1 and y 2 orthogonal to the Y axis and the plane z orthogonal to the Z axis.
It occurs when a torsional shearing stress τ'acts in the plane orthogonal to the Y-axis due to the torsional moment M about the Y-axis passing through the center of the rectangular parallelepiped piezoelectric material 14 formed by 1 and z 2. Consider electrical displacement.

ねじりモーメントMによって、Y軸と直交する面内にね
じり剪断応力τ′が生じると、このねじり剪断応力と直
交する面上に、大きさが等しくモーメントが逆の直交剪
断応力が共存するようになる。
When the torsional shearing stress τ ′ is generated in the plane orthogonal to the Y-axis by the torsional moment M, the orthogonal shearing stress having the same magnitude and the opposite moment coexists on the surface orthogonal to the torsional shearing stress. .

すなわち、Y軸方向に分極した圧電材料14の平面y2上の
点P2に作用する、図に破線矢印で示すねじり剪断応力
τ′p2の方向がX軸に対してβの角度をなすとすると、
平面y1上の、点P2と対抗する点P1には、そのねじり剪断
応力τ′p2と大きさが等しく方向が逆のねじり剪断応力
が作用し、点P1,P2を結ぶ領域で、ねじり剪断応力τ′p
2に直交する面、いいかえれば、Y軸を含んでX軸と
(β+π/2)の角度をなす面に、図に実線矢印で示すよ
うな直交剪断応力τ′p2が作用することになる。
That is, acting on the point P 2 on the plane y 2 of the piezoelectric material 14 is polarized in the Y-axis direction, the direction of the shear stress Tau'p 2 torsion indicated by a dotted arrow in the figure an angle of β with respect to the X axis Then,
On the plane y 1, the point P 1 against the point P 2, the torsional shear stress Tau'p 2 and equal and direction acts the opposite torsional shear stress, connecting the points P 1, P 2 Region, torsional shear stress τ′p
The orthogonal shear stress τ'p 2 as shown by the solid arrow in the figure acts on the plane orthogonal to 2 or in other words, the plane that includes the Y axis and makes an angle of (β + π / 2) with the X axis. .

従って、領域P1,P2での、Y軸と直交し、X軸と角度α
をなす方向への電気変位は、 Dp=d15τ′p2cos(α−β) となる。また、Y軸に対し、点P2とは軸対称の位置にあ
る点P2′においては、P2に作用するねじり剪断応力と大
きさが等しく方向が逆のねじり剪断応力が、そして、
P2′と対抗するP1′には、その点P2′に作用する剪断応
力と大きさが等しく方向が逆のねじり剪断応力がそれぞ
れ作用することから、点P1′,点P2′を結ぶ領域にもま
た同様の直交剪断応力τ′p2が作用し、領域P1′,P2
での、Y軸と直交し、X軸とαの角度をなす方向への電
気変位は、 Dp′=d15τ′p2cos(α−β−π) =−d15τ′p2cos(α−β) となる。
Therefore, in the regions P 1 and P 2 , the Y axis is orthogonal to the X axis and the angle α
The electric displacement in the direction of is Dp = d 15 τ'p 2 cos (α-β). Further, at a point P 2 ′ that is axially symmetrical to the point P 2 with respect to the Y-axis, a torsional shear stress acting on P 2 is equal in magnitude and opposite in direction, and
The 'P 1 against the' P 2, 'since the torsional shear stress shear stress and magnitude equal direction opposite that acts on acts respectively, the point P 1' the point P 2, the point P 2 ' the versa orthogonal shear stress Tau'p 2 acts in the region connecting the regions P 1 ', P 2'
The electric displacement in the direction orthogonal to the Y-axis at an angle of α with the X-axis is Dp ′ = d 15 τ′p 2 cos (α−β−π) = −d 15 τ′p 2 cos (Α-β).

このように、領域P1,P2と領域P1′,P2′には、大きさ
が等しく極性が異なる電気変位が発生するので、例え
ば、角度αが零、すなわち、平面x1と平面x2のそれぞれ
の全面に電極を設けても、発生した電荷が相互に打ち消
し合うことにより、電極間にはねじりモーメントMの作
用に基づく電圧が発生することがなく、たとえ、第26図
に示した中間部材11を、そのような構成のすべり振動子
として用いても、ねじり剪断応力τ′は検出されず、単
純剪断応力τだけが電圧として検出されるので、検出応
力が小さく、高い検出感度を得ることができない。
Thus, since electric displacements having the same magnitude and different polarities are generated in the regions P 1 and P 2 and the regions P 1 ′ and P 2 ′, for example, the angle α is zero, that is, the plane x 1 and the plane Even if electrodes are provided on the entire surface of each x 2 , the generated charges cancel each other out, so that no voltage based on the action of the torsion moment M is generated between the electrodes. Even when the intermediate member 11 is used as a sliding oscillator having such a configuration, the torsional shear stress τ ′ is not detected and only the simple shear stress τ is detected as a voltage, so the detected stress is small and the detection sensitivity is high. Can't get

そこで、この発明は、特定の電気変位を優先的に取り出
す構成とすることによって、ねじりモーメントMの、高
い感度での検出を可能ならしめるとともに、小型で、生
産性に優れた高精度の振動ジャイロを提供する。
Therefore, according to the present invention, the configuration in which the specific electric displacement is preferentially taken out enables the detection of the torsion moment M with high sensitivity, and is small in size and highly vibrating with high accuracy. I will provide a.

〔課題を解決するための手段〕[Means for Solving the Problems]

この発明の振動ジャイロは、とくに、圧電材料を、三次
元座標系のY軸方向に分極させるとともに、その圧電材
料の、Y軸と平行をなす、少なくとも相対抗する二面に
電極を形成してなるすべり振動子を、駆動用振動子の一
端部を固定する固定手段の少なくとも一部として配設
し、そのすべり振動子の、相対抗する電極の少なくとも
一方の電極を、ねじりモーメントによる電気変位が打ち
消されないように、それの一部において欠落させ、圧電
材料の対抗面にそれぞれ形成した電極相互間の差動出力
に基づいて前記コリオリの力を検出するように構成した
ものである。
The vibrating gyroscope of the present invention, in particular, polarizes the piezoelectric material in the Y-axis direction of the three-dimensional coordinate system, and forms electrodes on at least two opposing surfaces of the piezoelectric material parallel to the Y-axis. The slip oscillator is arranged as at least a part of the fixing means for fixing one end of the driving oscillator, and at least one of the electrodes opposed to each other of the slide oscillator is electrically displaced by a torsion moment. The Coriolis force is detected based on the differential output between the electrodes formed on the opposing surface of the piezoelectric material so that the Coriolis force cannot be canceled out.

なおここで、少なくとも一方の電極の一部を欠落させる
代わりに、相対抗する電極の少なくとも一方の電極をY
軸を含む面で複数に分割すること、または、すべり振動
子それ自体を、Y軸を含む面で複数に分割することも可
能である。
Here, instead of omitting a part of at least one of the electrodes, at least one of the opposing electrodes is set to Y.
It is also possible to divide it into a plurality of planes including the axis, or to divide the sliding oscillator itself into a plurality of planes including the Y axis.

また好ましくは、一の固定手段に、二枚の振動子を音叉
状に取付ける。
Further, preferably, two vibrators are attached to one fixing means in a tuning fork shape.

〔作用〕[Action]

この振動ジャイロでは、コリオリの力を、すべり振動子
に作用する単純剪断応力と、そのコリオリの力によって
発生するねじりモーメントに基づく、すべり振動子のね
じり剪断応力との双方をもって検知することにより、従
来技術におけるように、検知手段6の撓み力を検知する
場合に比し、検知感度を大きく向上させることができ、
このことは、相対抗する電極の少なくとも一方の電極の
一部を欠落させた場合、対抗電極の少なくとも一方の電
極もしくはすべり振動子それ自体を複数に分割した場合
のいずれにおいても同様である。
This vibration gyro detects the Coriolis force by both the simple shear stress acting on the slip oscillator and the torsion shear stress of the slip oscillator based on the torsion moment generated by the Coriolis force. The detection sensitivity can be greatly improved as compared with the case where the bending force of the detection means 6 is detected as in the technology.
This is the same in the case where at least one of the opposing electrodes is partially omitted, or in the case where at least one of the opposing electrodes or the slip oscillator itself is divided into a plurality of parts.

また、駆動用の二枚の振動子を固定手段に音叉状に取付
けた振動ジャイロでは、検知感度を倍増させることがで
きるとともに、外部の振動ノイズに対するS/N比を向上
させることができる。
Further, in the vibration gyro in which the two vibrators for driving are attached to the fixing means in a tuning fork shape, the detection sensitivity can be doubled and the S / N ratio with respect to external vibration noise can be improved.

一方において、この振動ジャイロでは、すべり振動子
を、駆動用振動子の固定手段の少なくとも一部として配
設することにより、従来技術で述べた検知手段6を不要
ならしめて、装置を十分に小型化することができる他、
電極を固定手段の近傍に集中させることにより、線材の
引き回しに伴う不都合を有効に取り除くことができる。
On the other hand, in this vibrating gyro, the slide oscillator is provided as at least a part of the fixing means of the driving oscillator, so that the detecting means 6 described in the prior art is not necessary and the apparatus is sufficiently miniaturized. In addition, you can
By concentrating the electrodes in the vicinity of the fixing means, it is possible to effectively eliminate the inconvenience associated with the wiring of the wire.

しかも、ここでは、振動ジャイロの組み立てに際し、駆
動用振動子の一端部を、固定手段に面接着することがで
きるので、それら両者の位置決めおよび精度保持が極め
て容易であり、それ故に、性能のばらつきが小さく、安
定した性能の振動ジャイロを、安価にしかも大量に供給
することが可能となる。
Moreover, here, when assembling the vibrating gyro, one end of the driving vibrator can be surface-bonded to the fixing means, which makes it extremely easy to position and accurately maintain both of them, and therefore variations in performance are caused. It is possible to supply a large amount of vibration gyro with small and stable performance at low cost.

〔実施例〕〔Example〕

以下にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は、この発明の要部であるすべり振動子を例示す
る斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view illustrating a slide oscillator which is a main part of the present invention.

これは、平面x1,x2,y1,y2,z1,z2で構成される直六面体
の圧電材料14をY軸と平行をなす方向へ分極させるとと
もに、平面x1,x2のそれぞれに、図に斜線で示すように
電極15a,16aを形成し、平面x1上の任意の点をQ1、平面x
2の上の、それと対抗する点をQ2としたときに、少なく
とも一方の電極、図に示すところでは、電極16aの点Q2
部分を局部的に欠落させたすべり振動子1を示す。
This is to polarize the rectangular parallelepiped piezoelectric material 14 composed of the planes x 1 , x 2 , y 1 , y 2 , z 1 , z 2 in a direction parallel to the Y axis, and at the same time the planes x 1 , x 2 Electrodes 15a and 16a are formed on each of the lines as indicated by the diagonal lines in the figure, and an arbitrary point on the plane x 1 is Q 1 and the plane x
Over 2 therewith points to counter when the Q 2, at least one electrode, where shown in the figures, the point of the electrode 16a Q 2
1 shows a slip oscillator 1 in which a portion is locally missing.

このようなすべり振動子1は、たとえば第4図に示すよ
うに、それを基台2の、Y軸と直交する一方の面に取付
けることによって固定手段3を構成する。そして、かか
る固定手段3への振動子5の連結は、一枚の振動子5の
一端部、図では下端部を、接着剤その他によって、すべ
り振動子1に固着することによって行うことができる。
Such a sliding oscillator 1 constitutes the fixing means 3 by attaching it to one surface of the base 2 orthogonal to the Y axis, as shown in FIG. 4, for example. The vibrator 5 can be connected to the fixing means 3 by fixing one end of the vibrator 5, which is the lower end in the figure, to the sliding vibrator 1 with an adhesive or the like.

ここで、振動子5に交流電圧を印加して、それをY軸方
向に強制振動させるとともに、固定手段3をZ軸の周り
に角速度ωで回動させてコリオリの力Fcを発生させる
と、圧電材料14には、ねじりモーメントMにより、Y軸
と直交する面内のねじり剪断応力と、このねじり剪断応
力に応じた大きさの直交剪断応力が作用し、電極15a,16
a間には、点Q1,Q2間に発生した電気変位によって打ち消
されることのない電気変位が発生し、それが両電極間の
電圧として検出される このような電極構成において、ねじりモーメントMに対
する検出感度が高く、実用性の高い構成は、平面x1,x2
の少なくとも一方の面における電極が、それらの面の半
分にのみ形成されており、しかも、半分の電極の欠落辺
縁がY軸と平行になるよう構成したもの、または、平面
z1,z2の少なくとも一方の面における電極が、それらの
面の半分にのみ形成され、かつ、半分の電極の欠落辺縁
がY軸と平行になるように構成したものであり、第2図
および第3図にその構成例を示す。
Here, when an AC voltage is applied to the vibrator 5 to force it to vibrate in the Y-axis direction and the fixing means 3 is rotated around the Z-axis at an angular velocity ω to generate the Coriolis force Fc, Due to the torsion moment M, an in-plane torsional shear stress and an orthogonal shearing stress having a magnitude corresponding to this torsional shearing stress act on the piezoelectric material 14, and the electrodes 15a, 16
An electrical displacement that is not canceled by the electrical displacement generated between points Q 1 and Q 2 is generated between points a and is detected as a voltage between both electrodes. The configuration with high detection sensitivity and high practicality is for planes x 1 and x 2
In which electrodes on at least one of the surfaces are formed only on half of those surfaces, and the missing edges of the half of the electrodes are parallel to the Y axis, or a flat surface
The electrodes on at least one of the surfaces z 1 and z 2 are formed only on half of those surfaces, and the missing edges of the half electrodes are parallel to the Y axis. An example of the configuration is shown in FIGS.

第2図に示す構成は、平面x2上の電極16bを、その平面x
2の半分の面積とすると共に、電極16bの欠落辺縁17bを
Y軸と平行にしたものであり、また、第3図に示す構成
は、両平面x1,x2上の各電極15c,16cをともに、それらの
平面x1,x2の半分の面積として相互に対抗させ、併せて
それぞれの欠落辺縁17c,17dをY軸と平行にしたもので
ある。
In the configuration shown in FIG. 2 , the electrode 16b on the plane x 2 is replaced by the plane x
With the two half areas are those missing edge 17b of the electrode 16b and parallel to the Y axis, also, the configuration shown in FIG. 3, the both planes x 1, x 2 on the electrodes 15c, 16c together mutually to oppose the area of half of their plane x 1, x 2, together in which each of the missing edge 17c, 17d, and parallel to the Y axis.

第5,6,7図は、それぞれ、すべり振動子の他の適用例、
言い換えればこの発明の他の実施例を示す斜視図であ
る。
5, 6 and 7 are other application examples of the sliding oscillator,
In other words, it is a perspective view showing another embodiment of the present invention.

第5図は、基台2の、Y軸と直交する二面にすべり振動
子1を取付けて固定手段3を構成するとともに、二枚の
振動子5を、その下端部で、固定手段3のすべり振動子
1に音叉状に取付けたものであり、第6図に示す例は、
一枚のすべり振動子1を基台間に挟み込むことによって
固定手段3を構成し、各基台2の、Y軸と直交するそれ
ぞれの面に、二枚の振動子5の各下端部を音叉状に固定
したものである。そして、第7図に示す例は、すべり振
動子1だけで固定手段3を構成したものである。
FIG. 5 shows that the slide oscillator 1 is attached to two surfaces of the base 2 which are orthogonal to the Y-axis to form the fixing means 3, and two vibrators 5 are attached at the lower end portions of the fixing means 3. It is attached to the sliding oscillator 1 like a tuning fork, and the example shown in FIG.
The fixing means 3 is configured by sandwiching one slide vibrator 1 between the bases, and the lower ends of the two vibrators 5 are respectively arranged on the respective surfaces of the bases 2 orthogonal to the Y axis. It is fixed in a shape. In the example shown in FIG. 7, the fixing means 3 is composed of only the sliding oscillator 1.

ここで、たとえば第5図に示す振動ジャイロにあって
は、第8図に例示するような検出回路を構成することに
より、二個の圧電材料14の出力電圧を差動的に取出すこ
とができ、外部の振動ノイズに対するS/N比を向上させ
ることができるとともに、コリオリの力Fcの検出感度を
倍増させることができる。
Here, for example, in the vibration gyro shown in FIG. 5, the output voltage of the two piezoelectric materials 14 can be taken out differentially by configuring the detection circuit as illustrated in FIG. , The S / N ratio with respect to external vibration noise can be improved, and the detection sensitivity of the Coriolis force Fc can be doubled.

また、第9図に示すように、固定手段3に取付けた支持
棒7によって全体を支持した場合には、振動子5の強制
振動を安定させて、共振下での効率のよい作動を担保す
ることができる。
Further, as shown in FIG. 9, when the whole is supported by the support rod 7 attached to the fixing means 3, the forced vibration of the vibrator 5 is stabilized and the efficient operation under resonance is ensured. be able to.

なお、第3図に示すようなすべり振動子1を用いる場合
には、電極を形成しない部分は、そこで発生した電気変
位を信号として利用し得ないことから必ずしも必要では
ないので、第10図に示すように、電極15c,16cに挟まれ
ない部分を、他の間隔部材18にて構成することができ、
その間隔部材18を基台2に一体成形することもできる。
When the slip oscillator 1 as shown in FIG. 3 is used, the portion where electrodes are not formed is not always necessary because the electric displacement generated there cannot be used as a signal. As shown, the portion not sandwiched by the electrodes 15c, 16c can be configured by another spacing member 18,
The spacing member 18 may be integrally formed with the base 2.

第11図は、他のすべり振動子を例示する図であり、第3
図に示すすべり振動子において、電極15c,16cを形成し
ていない部分に発生する電気変位を有効に利用すべく、
分極方向をY軸方向とするとともに、平面x1上の電極お
よび平面x2上の電極のそれぞれを、Y軸と平行な抜きパ
ターン19a,19bのそれぞれによって分割して、電極15dと
16dおよび電極15eと16eとを相互に対抗させ、同様に平
面z1上の電極を抜きパターン19cによって電極15f,15g
に、平面z2上の電極を抜きパターン19dによって電極16
f,16gにそれぞれ分割して、電極15fと16f及び電極15eと
16eとを相互に対抗させたものである。
FIG. 11 is a diagram illustrating another slip oscillator, and FIG.
In the sliding oscillator shown in the figure, in order to effectively use the electric displacement generated in the portion where the electrodes 15c and 16c are not formed,
The polarization direction is the Y-axis direction, and each of the electrodes on the plane x 1 and the plane x 2 is divided by the punching patterns 19a and 19b parallel to the Y-axis to form the electrodes 15d.
16d and electrodes 15e and 16e are opposed to each other, and similarly, the electrode on plane z 1 is punched out to form electrodes 15f and 15g by pattern 19c.
Then, the electrode on the plane z 2 is removed and the electrode 16 is formed by the pattern 19d.
f and 16g are divided into electrodes 15f and 16f and electrodes 15e and
It is a mutual opposition to 16e.

なお、圧電材料14の各隅部20,21,22,23にては、隣接す
る電極は相互に絶縁されている。
At the corners 20, 21, 22, 23 of the piezoelectric material 14, adjacent electrodes are insulated from each other.

このすべり振動子1では、そこにねじりモーメントMが
作用すると、対抗する電極間において、電極15e,15f,16
d,16gに向けた電気変位は同極性となるので、たとえば
第12図に示すような検出回路を構成することにより、ね
じりモーメントMによる発生電荷量を増加させることが
できるとともに、振動ノイズに対するS/N比を向上させ
ることができる。従って、このすべり振動子によって第
4〜7図に示すような振動ジャイロを構成することによ
り、優れた性能を発揮させることができる。
In this sliding oscillator 1, when a torsional moment M acts on the sliding oscillator 1, the electrodes 15e, 15f, 16 are placed between the opposing electrodes.
Since the electric displacements toward d and 16g have the same polarity, it is possible to increase the amount of electric charge generated by the torsion moment M by configuring a detection circuit as shown in FIG. The / N ratio can be improved. Therefore, by constructing a vibrating gyro as shown in FIGS. 4 to 7 with this slide oscillator, excellent performance can be exhibited.

なおここで、抜きパターンの位置や数は、検出効率の良
い一例を示したにすぎないので、図示例のみに限定され
ることなく、種々に変更し得ることはもちろんである。
また、平面x1もしくは平面x2のいずれか一方、または/
および平面z1もしくは平面z2のいずれか一方の面上の電
極を分割しないままとすることも可能である。
It should be noted that the positions and the number of the extraction patterns are merely examples of good detection efficiency, and needless to say, can be variously changed without being limited to the illustrated examples.
Also, either plane x 1 or plane x 2 , or /
It is also possible to leave the electrodes on either the plane z 1 or the plane z 2 undivided.

第13図は、さらに他のすべり振動子を例示する斜視図で
あり、これは、分極方向をY軸方向とし、座標原点位置
で、Z軸と直交する面にて二分割された二個の圧電材料
14の、それぞれの平面x1,平面x2に、電極15h,15iおよ
び16h,16iを形成したものである。
FIG. 13 is a perspective view exemplifying still another sliding oscillator. This is a polarization oscillator having a Y-axis as a polarization direction, and at a coordinate origin position, it is divided into two parts on a plane orthogonal to the Z-axis. Piezoelectric material
Electrodes 15h, 15i and 16h, 16i are formed on the respective planes x 1 and x 2 of 14.

このすべり振動子1は、たとえば、第14図、第15図に示
すような回路構成の下で、逆極性の電気変位を有効に取
り出すことにより、ねじりモーメントMによる発生電荷
量を増加し、振動ノイズに対するS/N比を良好ならしめ
ることができる。
The slip oscillator 1 increases the amount of electric charge generated by the torsion moment M by effectively taking out the electric displacement of the opposite polarity under the circuit configuration as shown in FIGS. A good S / N ratio for noise can be achieved.

ところで、このすべり振動子1の分割の位置および角度
などは、所要に応じて適宜に変更することができる。な
お、分割は、両平面y1,y2を横切る面をもって、Y軸と
直交する面内で行うことが必要である。
By the way, the position and angle of division of the slide oscillator 1 can be appropriately changed as required. In addition, it is necessary to perform the division in a plane orthogonal to the Y axis with a plane crossing both planes y 1 and y 2 .

第16図は、その一例を示す図であり、Y軸方向に分極さ
せた圧電材料14を、Y軸を含み、X軸に対して+π/4お
よび−π/4をなすそれぞれの面によって、Y軸と直交す
る面内で四個に分割したものである。
FIG. 16 is a diagram showing an example thereof, in which the piezoelectric material 14 polarized in the Y-axis direction includes the Y-axis and the respective surfaces forming + π / 4 and −π / 4 with respect to the X-axis, It is divided into four in a plane orthogonal to the Y axis.

第17〜20図は、それぞれ、上述したような分割すべり振
動子、ここでは第13図に示した振動子の適用例を示す図
であり、これらのいずれの振動ジャイロによっても、優
れた性能をもたらすことができる。
FIGS. 17 to 20 are views each showing an application example of the above-mentioned split slip oscillator, here the oscillator shown in FIG. 13, and excellent performance can be obtained by any of these vibration gyros. Can bring

なお、以上に述べたところでは、説明を簡単にするため
に、圧電材料14の基本形状を直六面体形状としたが、そ
の他の形状であってもこの発明の所期した作用効果を達
成し得ることはもちろんである。また、圧電材料とし
て、チタン酸鉛、チタン酸バリウムなどを用いても同様
の作用効果をもたらすことができる。
Incidentally, in the above description, the basic shape of the piezoelectric material 14 is a rectangular parallelepiped shape for the sake of simplicity of explanation, but other shapes can achieve the intended effect of the present invention. Of course. Further, even if lead titanate, barium titanate or the like is used as the piezoelectric material, the same effect can be obtained.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

かくしてこの発明によれば、検知感度を大きく向上させ
ることができる他、振動ジャイロの十分なる小型化およ
びそれの生産性の向上を実現することができ、さらに
は、品質の安定化と精度の向上とをもたらすことができ
る。
Thus, according to the present invention, the detection sensitivity can be greatly improved, the vibration gyro can be sufficiently miniaturized and the productivity thereof can be improved, and further, the quality can be stabilized and the accuracy can be improved. And can bring.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1〜3図はそれぞれ、この発明に係るすべり振動子を
例示する斜視図、 第4〜7図および第9,10図はそれぞれ、この発明の振動
ジャイロを例示する斜視図、 第8図は、検出回路を例示する図、 第11図は、他のすべり振動子を例示する斜視図、 第12図は、コリオリの力の他の検出回路を例示する斜視
図、 第13図は、さらに他のすべり振動子を例示する斜視図、 第14,15図はそれぞれ、さらに他の検出回路を例示する
斜視図、 第16図は、圧電材料の分割例を示す斜視図、 第17〜20図はそれぞれ、分割タイプのすべり振動子を用
いた振動ジャイロを例示する斜視図、 第21図は、従来技術を例示する斜視図、 第22図は、従来の連結部材を例示する斜視図、 第23〜31図はそれぞれ、この発明の作用を説明するため
の図である。 1……すべり振動子、2……基台、3……固定手段、5
……振動子、14……圧電材料、15a〜15i,16a〜16i……
電極、17b〜17d……欠落辺縁、19a〜19d……抜きパター
ン。
FIGS. 1 to 3 are perspective views illustrating a slide oscillator according to the present invention, FIGS. 4 to 7 and FIGS. 9 and 10 are perspective views illustrating a vibration gyro of the present invention, and FIG. , A diagram illustrating a detection circuit, FIG. 11 is a perspective view illustrating another sliding oscillator, FIG. 12 is a perspective view illustrating another detection circuit of Coriolis force, and FIG. 14 is a perspective view illustrating another detection circuit, FIG. 16 is a perspective view illustrating an example of division of the piezoelectric material, and FIGS. Each is a perspective view illustrating a vibrating gyroscope using a split type sliding oscillator, FIG. 21 is a perspective view illustrating a conventional technique, FIG. 22 is a perspective view illustrating a conventional connecting member, and FIG. FIG. 31 is a diagram for explaining the operation of the present invention. 1 ... Slip vibrator, 2 ... base, 3 ... fixing means, 5
…… Vibrator, 14 …… Piezoelectric material, 15a to 15i, 16a to 16i ……
Electrodes, 17b to 17d ... missing edges, 19a to 19d ... punching pattern.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】振動子の一端部を、三次元座標系内で、固
定手段の、Y軸と直交する面に固定してなり、その振動
子のY軸方向への振動下での、前記固定手段の、Z軸の
周りでの回動運動によって、X軸方向に生じるコリオリ
の力を検知する振動ジャイロにおいて、 圧電材料をY軸方向に分極させるとともに、その圧電材
料の、Y軸と平行をなす、少なくとも相対抗する二面に
電極を形成してなるすべり振動子を、前記固定手段の少
なくとも一部として配設し、そのすべり振動子の相対抗
する電極の少なくとも一方の電極を、ねじりモーメント
による電気変位が打ち消されないように、それの一部に
おいて欠落させ、圧電材料の両面にそれぞれ形成した電
極相互間の差動出力に基づいて前記コリオリの力を検出
するように構成したことを特徴とする振動ジャイロ。
1. A vibrator, wherein one end of the vibrator is fixed to a surface of a fixing means orthogonal to the Y axis in a three-dimensional coordinate system, and the vibrator is vibrated in the Y axis direction. In a vibrating gyroscope that detects the Coriolis force generated in the X-axis direction by the rotational movement of the fixing means around the Z-axis, the piezoelectric material is polarized in the Y-axis direction and parallel to the Y-axis of the piezoelectric material. A sliding oscillator formed by forming electrodes on at least two opposing surfaces, which is formed as at least a part of the fixing means, and at least one of the opposing electrodes of the sliding oscillator is twisted. In order to prevent the electric displacement due to the moment from being canceled, a part of it is omitted, and the Coriolis force is detected based on the differential output between the electrodes formed on both surfaces of the piezoelectric material. Features and Vibrating gyro to do.
【請求項2】振動子の一端部を、三次元座標系内で、固
定手段の、Y軸と直交する面に固定してなり、その振動
子のY軸方向への振動下での、前記固定手段の、Z軸の
周りでの回動運動によって、X軸方向に生じるコリオリ
の力を検知する振動ジャイロにおいて、 圧電材料をY軸方向に分極させるとともに、その圧電材
料の、Y軸と平行をなす、少なくとも相対抗する二面に
電極を形成してなるすべり振動子を、前記固定手段の少
なくとも一部として配設し、そのすべり振動子の相対抗
する電極の少なくとも一方の電極を、Y軸を含む面で複
数に分割し、圧電材料の対抗面にそれぞれ形成した電極
相互間の差動出力に基づいて前記コリオリの力を検出す
るようにしたことを特徴とする振動ジャイロ。
2. One end of the vibrator is fixed to a plane of a fixing means orthogonal to the Y-axis in a three-dimensional coordinate system, and the vibrator is vibrated in the Y-axis direction. In a vibrating gyroscope that detects the Coriolis force generated in the X-axis direction by the rotational movement of the fixing means around the Z-axis, the piezoelectric material is polarized in the Y-axis direction and parallel to the Y-axis of the piezoelectric material. A sliding oscillator formed by forming electrodes on at least two opposing surfaces of the sliding oscillator is disposed as at least a part of the fixing means, and at least one electrode of the opposing electrodes of the sliding oscillator is A vibrating gyroscope characterized in that the Coriolis force is detected on the basis of a differential output between electrodes formed respectively on opposing surfaces of a piezoelectric material by dividing the surface into a plurality of surfaces including an axis.
【請求項3】振動子の一端部を、三次元座標系内で、固
定手段の、Y軸と直交する面に固定してなり、その振動
子のY軸方向への振動下での、前記固定手段の、Z軸の
周りでの回動運動によって、X軸方向に生じるコリオリ
の力を検知する振動ジャイロにおいて、 圧電材料をY軸方向に分極させるとともに、その圧電材
料の、Y軸と平行をなす、少なくとも相対抗する二面に
電極を形成してなるすべり振動子を、前記固定手段の少
なくとも一部として配設し、そのすべり振動子を、Y軸
を含む面で複数に分割し、各分割体の対抗面に形成した
電極相互間の差動出力に基づいて前記コリオリの力を検
出するようにしたことを特徴とする振動ジャイロ。
3. One end of a vibrator is fixed to a plane of a fixing means orthogonal to the Y-axis in a three-dimensional coordinate system, and the vibrator is vibrated in the Y-axis direction. In a vibrating gyroscope that detects the Coriolis force generated in the X-axis direction by the rotational movement of the fixing means around the Z-axis, the piezoelectric material is polarized in the Y-axis direction and parallel to the Y-axis of the piezoelectric material. A sliding oscillator formed by forming electrodes on at least two surfaces opposed to each other, is provided as at least a part of the fixing means, and the sliding oscillator is divided into a plurality of planes including the Y axis, A vibrating gyroscope characterized in that the Coriolis force is detected based on a differential output between electrodes formed on the opposing surface of each divided body.
【請求項4】前記振動子の二枚を、固定手段に音叉状に
取付けてなる請求項1〜3のいずれかに記載の振動ジャ
イロ。
4. A vibrating gyroscope according to claim 1, wherein two of said vibrators are attached to a fixing means in a tuning fork shape.
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