JPH0745708B2 - Complex mixed multilayer film - Google Patents
Complex mixed multilayer filmInfo
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- JPH0745708B2 JPH0745708B2 JP63109479A JP10947988A JPH0745708B2 JP H0745708 B2 JPH0745708 B2 JP H0745708B2 JP 63109479 A JP63109479 A JP 63109479A JP 10947988 A JP10947988 A JP 10947988A JP H0745708 B2 JPH0745708 B2 JP H0745708B2
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は複合混合多層膜に関するものである。さらに
詳しくは、この発明は、装飾性、機能性等に優れた金ま
たはその合金と有機物との複合混合膜を配設した多層膜
に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a composite mixed multilayer film. More specifically, the present invention relates to a multilayer film provided with a composite mixed film of gold or its alloy and an organic substance, which is excellent in decorativeness and functionality.
（従来の技術） 金属、ガラス、セラミック、プラスチック等の基板の表
面に、金属、無機物、あるいは有機ポリマーなどの蒸着
薄膜を形成し、絶縁膜、反射膜、光学薄膜、表示素子、
電子デバイスなどとして用いることは、これまでにも広
く行われてる。そのための反応プロセスとして、真空蒸
着、スパッタリング、イオンプレーティング、CVD、MOC
VD、MBEなどの様々なものが知られてもいる。(Prior Art) A vapor-deposited thin film of a metal, an inorganic substance, or an organic polymer is formed on the surface of a substrate of metal, glass, ceramic, plastic, etc., and an insulating film, a reflective film, an optical thin film, a display element
It has been widely used as an electronic device and the like. As a reaction process for that purpose, vacuum deposition, sputtering, ion plating, CVD, MOC
Various things such as VD and MBE are also known.
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、このような従来の薄膜形成方法、そして
薄膜においては、所望の特性、機能性を持った薄膜を製
造するためには、いまだに改善すべき課題があり、ま
た、薄膜の利用についても様々な見地からの検討が必要
とされている現状にある。(Problems to be solved by the invention) However, in such a conventional thin film forming method, and in the thin film, in order to produce a thin film having desired characteristics and functionality, there are still problems to be solved, In addition, there is a need to study the use of thin films from various viewpoints.
このような課題のひとつとして、色調に優れ、耐食性、
密着性、耐摩耗性等の機能性も良好で、時計や装身具等
に有用な外装品に用いることのできる金色の複合膜はこ
れまでは実現されておらず、しかも従来の方法によって
これを形成するには、高価な金またはその合金からなる
層を作製することが必要であり、機能性に優れ、かつ安
価な複合膜を形成することが難しいという課題があっ
た。As one of these issues, excellent color tone, corrosion resistance,
Adhesiveness, wear resistance, and other functionalities are good, and gold-colored composite films that can be used for exterior parts useful for watches and accessories have not been realized so far, and they are formed by conventional methods. In order to do so, it is necessary to prepare a layer made of expensive gold or its alloy, and there is a problem that it is difficult to form a composite film which is excellent in functionality and inexpensive.
また、金またはその合金からなる層をTiN層と多層化す
ることも知られているが、この場合にはどうしても色調
が劣り、また耐摩耗性、層間密着性の点において満足で
きるものとなっていなかった。It is also known to make a layer made of gold or its alloy into a multilayer with a TiN layer, but in this case, the color tone is inevitably deteriorated, and abrasion resistance and interlayer adhesion are satisfactory. There wasn't.
この発明は、このような課題を解決するためになされた
ものであり、金またはその合金と有機物からなる複合混
合多層膜を形成することで前記の課題を解決しようとす
るものである。The present invention has been made in order to solve the above problems, and aims to solve the above problems by forming a composite mixed multilayer film made of gold or an alloy thereof and an organic substance.
（課題を解決するための手段） この発明の複合混合多層膜は、基板上に、プラズマ励起
により蒸着したTiN膜と、金またはその合金と、有機物
とを同時にプラズマ励起により気相蒸着した複合混合膜
とを配設してなることを特徴としている。(Means for Solving the Problem) The composite mixed multilayer film of the present invention is a composite mixture obtained by vapor-depositing a TiN film deposited by plasma excitation on a substrate, gold or its alloy, and an organic substance at the same time by plasma excitation. It is characterized in that it is provided with a membrane.
この場合の有機物としては、ポリカーボネート、ポリア
クリレート、ポリシロキサン、ポリエステル、ポリオレ
フィン、ポリエチレンなどを用いる。In this case, polycarbonate, polyacrylate, polysiloxane, polyester, polyolefin, polyethylene or the like is used as the organic substance.
通常、気相蒸着による薄膜形成においては、金属粒子や
無機物による密度の増大は難しく、薄膜にはピンホール
が発生しやすい。そして、耐摩耗性の向上も難しい課題
となる。また、表面平滑性が得られにくいため、多層化
した場合には層間の密着性に問題が生じやすい。しか
し、この発明のように、プラズマ励起により成膜し、し
かも、有機物と金またはその合金とを複合混合膜とする
ことにより、ピンホールの発生を抑え、耐摩耗性を向上
させるとともに、表面平滑性が確保されるため、層間密
着性を向上させることができる。Usually, in forming a thin film by vapor deposition, it is difficult to increase the density due to metal particles or inorganic substances, and pinholes are likely to occur in the thin film. Further, improvement of wear resistance is also a difficult subject. Further, since it is difficult to obtain the surface smoothness, a problem tends to occur in the adhesion between the layers when the layers are formed. However, as in the present invention, by forming a film by plasma excitation and forming a composite mixed film of an organic substance and gold or an alloy thereof, the occurrence of pinholes is suppressed, wear resistance is improved, and the surface smoothness is improved. Since the property is secured, the interlayer adhesion can be improved.
そして、より重要なことであるが、金色の色調が良好に
保たれ、TiNとの多層化により、高価な金の使用量を低
減することができる。And, more importantly, the gold color tone is kept good, and the amount of expensive gold used can be reduced by multilayering with TiN.
そして、この発明では、複合混合多層膜を形成する基板
の材質や各層の膜厚などにより、複合混合膜の下層にプ
ラズマ励起による透明プラズマ重合膜を一体配設するこ
ともできる。これにより、層間の密着性はより向上し、
色調も損われることはない。Further, according to the present invention, a transparent plasma polymerized film by plasma excitation can be integrally provided under the composite mixed film depending on the material of the substrate forming the composite mixed multilayer film and the film thickness of each layer. This improves the adhesion between the layers,
The color tone is not damaged.
またこの発明の多層膜の最外表面には、各種の透明性の
無機薄膜や有機膜をプラズマ励起により配設し、さら
に、表面の耐摩耗性、色調の維持、向上を図ることもで
きる。Further, various transparent inorganic thin films and organic films may be provided on the outermost surface of the multilayer film of the present invention by plasma excitation, and further, abrasion resistance and color tone of the surface can be maintained and improved.
金またはその合金と有機物との複合混合膜を形成するプ
ラズマ励起による気相蒸着の方法としては、金またはそ
の合金と有機物とを蒸発させ、蒸発粒子を同時にプラズ
マ励起し、イオン化粒子、中性粒子、あるいはラジカル
の状態において蒸着させることにより形成する方法、あ
るいは有機物は、モノマーガスとして導入し、同様にプ
ラズマ励起により金またはその合金と同時に蒸着させる
方法等が採用される。色調および密着強度の点からは励
起状態において同時に蒸着することが欠かせない。As a method of vapor phase vapor deposition by plasma excitation to form a composite mixed film of gold or its alloy and an organic substance, gold or its alloy and an organic substance are vaporized, and the vaporized particles are simultaneously plasma-excited to produce ionized particles and neutral particles. Alternatively, a method of forming by vapor deposition in a radical state, or a method of introducing an organic substance as a monomer gas and similarly performing vapor deposition simultaneously with gold or its alloy by plasma excitation is adopted. From the viewpoint of color tone and adhesion strength, simultaneous vapor deposition in an excited state is indispensable.
この場合、蒸発させた粒子は、真空反応装置内において
グロー放電によって励起し、プラズマ・イオン化する。
この際のプラズマ・イオン化の手段としては、ホローカ
ソード方式、高周波励起方式等のイオンプレーティン
グ、プラズマCVD等の手段を採用することができる。In this case, the evaporated particles are excited by glow discharge in the vacuum reactor to be plasma-ionized.
At this time, as a means for plasma ionization, a hollow cathode method, an ion plating method such as a high frequency excitation method, a plasma CVD method, or the like can be adopted.
イオンプレーティング法による場合には、たとえば真空
反応装置内の圧力を10-2〜10-5Torr程度の真空状態と
し、アルゴン等の不活性ガスを導入してもよい。基板の
温度は、室温〜400℃程度の範囲とすることができる。
また、TiN膜については、窒素ガス、アンモニアガスの
導入による反応性イオンプレーティングによって蒸着す
ることができる。この場合のガス圧は、10-4Torr以上と
するのが好ましい。In the case of using the ion plating method, for example, the pressure in the vacuum reactor may be set to a vacuum state of about 10 −2 to 10 −5 Torr and an inert gas such as argon may be introduced. The temperature of the substrate can be in the range of room temperature to about 400 ° C.
Further, the TiN film can be deposited by reactive ion plating by introducing nitrogen gas or ammonia gas. In this case, the gas pressure is preferably 10 −4 Torr or higher.
以上の通りこの発明によって、色調並びに耐摩耗性、耐
食性等に優れ、密着強度が良好な複合混合多層膜を実現
することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to realize a composite mixed multilayer film which is excellent in color tone, abrasion resistance, corrosion resistance, etc. and has good adhesion strength.
次にこの発明の実施例を示し、さらに詳しくこの発明の
構成および効果について説明する。もちろん、この発明
は以下の実施例によって限定されるものではない。Next, examples of the present invention will be shown, and the configuration and effects of the present invention will be described in more detail. Of course, the present invention is not limited to the examples below.
実施例１ 高周波励起方式によるイオンプレーティング装置を用い
て複合混合多層膜を形成した。第１図はこの例について
示したものである。すなわち、基板（１）としてはステ
ンレス板を用い、５×10-5Torrのアルゴンガスを導入し
て、ステンレス板のボンバード処理を行い、次いで８×
10-4Torrの条件下に窒素ガスと蒸発Ti粒子との反応性イ
オンプレーティングにより、TiNの薄膜（２）を蒸着形
成した。放電電力300W、基板温度100℃の条件下、３分
間の反応によって薄膜0.2μｍのTiN薄膜（２）を形成し
た。Example 1 A composite mixed multilayer film was formed using an ion plating apparatus using a high frequency excitation method. FIG. 1 shows this example. That is, a stainless steel plate was used as the substrate (1), argon gas of 5 × 10 −5 Torr was introduced, the stainless steel plate was bombarded, and then 8 ×
A TiN thin film (2) was formed by vapor deposition by reactive ion plating of nitrogen gas and evaporated Ti particles under the condition of 10 −4 Torr. A TiN thin film (2) having a thin film thickness of 0.2 μm was formed by a reaction for 3 minutes under the conditions of a discharge power of 300 W and a substrate temperature of 100 ° C.
次いで４×10-3Torrのアルゴン圧の条件下に、金とポリ
カーボネートの蒸発粒子を高周波励起によりプラズマイ
オン化して、複合混合膜（３）を基板に蒸着形成した。
この結果金の色調と変わらぬ複合混合膜（３）が得ら
れ、耐摩耗性は基板上に金の薄膜を蒸着させた場合の約
２倍であり、密着強度については90゜の折り曲げテスト
で剥離もみられず、耐食性にも優れたものであった。Then, under an argon pressure of 4 × 10 −3 Torr, evaporated particles of gold and polycarbonate were plasma-ionized by high frequency excitation to form a composite mixed film (3) on the substrate by vapor deposition.
As a result, a composite mixed film (3) with the same color tone of gold was obtained, the wear resistance was about twice as high as when a thin gold film was vapor-deposited on the substrate, and the adhesion strength was 90 ° in the bending test. No peeling was observed, and the corrosion resistance was excellent.
実施例２ 実施例１と同様に、第２図に示したように窒化チタンの
薄膜（２）を形成した後に、４×10-3Torrのアルゴン圧
の条件下に、ポリカーボネートの蒸発粒子をプラズマイ
オン化して基板上にプラズマ重合膜を蒸着させてアンダ
ーコート（４）を形成した。Example 2 As in Example 1, after forming the titanium nitride thin film (2) as shown in FIG. 2, plasma evaporation particles of polycarbonate were formed under the condition of an argon pressure of 4 × 10 −3 Torr. An undercoat (4) was formed by ionizing and depositing a plasma polymerized film on the substrate.
その後、ポリカーボネートの蒸発と合せて金・クロム合
金（クロム含有２％）を同時に蒸発し、ポリカーボネー
トと金・クロム合金の複合混合膜（３）を約0.2μｍ厚
さでポリカーボネート重合膜の上に形成した。Then, the gold / chromium alloy (chromium content 2%) is evaporated at the same time as the evaporation of the polycarbonate, and a composite mixed film (3) of the polycarbonate and the gold / chromium alloy is formed on the polycarbonate polymer film with a thickness of about 0.2 μm did.
このものは、金・クロム合金の色調と変わらず、密着性
もすぐれ90゜の折り曲げテストで剥離もみられず、耐磨
耗性、耐食性にも優れたものであった。This product had the same color tone as that of the gold-chromium alloy, had excellent adhesion, did not show peeling in a 90 ° bending test, and was excellent in abrasion resistance and corrosion resistance.
実施例３ 実施例１と同様に、第４図に示したように、窒化チタン
薄膜（２）を形成した後に、４×10-3Torrのアルゴン圧
の条件下に、ポリカーボネートの蒸発粒子をプラズマイ
オン化して基板上にアンダーコート（４）としてプラズ
マ重合膜を蒸着させた。Example 3 As in Example 1, as shown in FIG. 4, after forming the titanium nitride thin film (2), plasma evaporation particles of polycarbonate were formed under the condition of an argon pressure of 4 × 10 −3 Torr. Ionization was performed to deposit a plasma polymerized film as an undercoat (4) on the substrate.
その後、ポリカーボネートの蒸発と合わせて金・クロム
合金（クロム含有２％）を同時に蒸発し、ポリカーボネ
ートと金・クロム合金の複合混合膜（３）を約0.2μｍ
厚さでポリカーボネート重合膜のアンダーコート（４）
上に形成した。次いで、金・クロム合金の蒸発を止め、
トップコート（５）としてポリカーボネートのみの重合
膜を約0.2μｍの厚さで複合混合膜の上に蒸着させた。After that, the gold / chromium alloy (chromium content 2%) is evaporated at the same time as the evaporation of the polycarbonate, and the composite mixed film (3) of the polycarbonate and the gold / chromium alloy is about 0.2 μm.
Undercoat of polycarbonate polymer film with thickness (4)
Formed on. Then, stop the evaporation of gold-chromium alloy,
As the top coat (5), a polymerized film of only polycarbonate was vapor-deposited on the composite mixed film in a thickness of about 0.2 μm.
得られた複合混合多層膜は、金・クロム合金の色調と変
わらず、密着性もすぐれ90゜の折り曲げテストで剥離も
みられず、耐磨耗性、耐食性にも優れたものであった。The obtained composite mixed multilayer film had a color tone similar to that of the gold-chromium alloy, excellent adhesion, and showed no peeling in the 90 ° bending test, and was excellent in abrasion resistance and corrosion resistance.
実施例４ 実施例１で得た複合混合膜（３）の表面に、第３図に示
したように、４×10-3Torrのアルゴン圧の条件下に、ト
ップコート（５）としてポリカーボネートプラズマ重合
膜を蒸着させた。これにより硬質の透明重合膜が得られ
た。この複合混合多層膜は金の色調と変わらず、光沢の
あるものとなり、格調の高いものとなった。また、この
透明重合膜は複合混合膜の保護性に優れ、密着性、耐磨
耗性、耐食性も実施例１と同様に優れたものであった。Example 4 Polycarbonate plasma was used as a top coat (5) on the surface of the composite mixed film (3) obtained in Example 1 under the condition of an argon pressure of 4 × 10 −3 Torr as shown in FIG. A polymer film was deposited. As a result, a hard transparent polymer film was obtained. This composite mixed multilayer film was as glossy as the color tone of gold and had a high quality. Further, this transparent polymerized film was excellent in the protective property of the composite mixed film, and the adhesiveness, abrasion resistance and corrosion resistance were excellent as in Example 1.
実施例５ 第５図に示したように、実施例４で得た複合混合多層膜
の表面に、ITOを蒸発源とし、酸素ガス３×10-4Torr、
放電電力300W、基板温度30℃において、0.3μｍ厚のITO
の透明導電膜（６）を形成した。この場合の複合混合多
層膜も金の色調と変わらず、光沢のある格調の高いもの
であって、複合混合膜の保護性はさらに増加し、密着
性、耐摩耗性、耐食性も実施例１と同様に優れたもので
あり、かつ表面導電性（抵抗,200Ω／□）の複合混合多
層膜を得た。Example 5 As shown in FIG. 5, on the surface of the composite mixed multilayer film obtained in Example 4, using ITO as an evaporation source and oxygen gas of 3 × 10 −4 Torr,
0.3μm thick ITO at 300W discharge power and 30 ℃ substrate temperature
Transparent conductive film (6) was formed. The composite mixed multilayer film in this case also has the same glossy and high tone as the color tone of gold, and the protective property of the composite mixed film is further increased, and the adhesion, abrasion resistance, and corrosion resistance are the same as those of Example 1. Similarly, a composite mixed multilayer film having excellent surface conductivity (resistance, 200Ω / □) was obtained.
（発明の効果） 以上詳しく説明したように、金またはその合金と有機物
を同時にプラズマ励起により気相蒸着し、TiN層ととも
に複合混合多層膜を形成し、必要によりトップコート、
アンダーコート又はトップコートとアンダーコートを併
用するように構成したことにより、下記の通りの優れた
効果が得られた。(Effects of the Invention) As described in detail above, vapor deposition of gold or an alloy thereof and an organic substance at the same time by plasma excitation is performed to form a composite mixed multilayer film with a TiN layer, and if necessary, a top coat,
By using the undercoat or the topcoat together with the undercoat, the following excellent effects were obtained.
1.金色の色調を変えることなく、高価な金の使用量を経
らすことができる。1. It is possible to spend expensive gold without changing the color tone of gold.
2.有機物との複合混合膜を配設しているため、摩擦係数
を小さくすることができ、耐磨耗性を向上させることが
できる。2. Since a composite mixed film with an organic substance is provided, the friction coefficient can be reduced and the abrasion resistance can be improved.
3.金またはその合金のみで形成した薄膜、さらには、そ
れとTiNとの多層膜ではピンホールの発生などにより耐
食性が変る場合もあるが、この発明の複合混合多層膜で
は耐食性を著しく向上させることができる。3. The corrosion resistance of a thin film formed only of gold or its alloy, and the multilayer film of TiN and TiN may change due to the occurrence of pinholes, etc., but the composite mixed multilayer film of the present invention significantly improves the corrosion resistance. You can
4.直接肌に触れる品物にこの発明の複合混合多層膜を配
設することにより、金属、合金または無機物に触れた場
合の冷たさは少い。4. By arranging the composite mixed multilayer film of the present invention on an item that comes into direct contact with the skin, a metal, an alloy or an inorganic substance is less cold.
5.複合混合多層膜の表面に導電性等の機能を持たすこと
ができる。5. The surface of the composite mixed multilayer film can have a function such as conductivity.
このような利点は、装飾品又は時計、メガネ等の実用品
に適用すると特に効果があり、さまざまな色調をデザイ
ンの一部とした表示素子、その他応用の範囲も極めて広
い。Such an advantage is particularly effective when applied to a decorative item or a practical item such as a watch and glasses, and a display element having various color tones as a part of its design, and the range of other applications are extremely wide.
第１図は、この発明の一実施例を示したものであり、金
属複合混合膜をあらかじめTiNを積層した基板に蒸着し
た例を示した部分断面図である。 第２図は、この発明の他の実施例を示したものであり、
基板に積層したTiNの上にアンダーコートを施し、さら
にアンダーコートの上に金色複合混合膜を形成した例を
示した部分断面図である。 第３図は、この発明のさらに他の実施例を示したもので
あり、基板に積層したTiNの上に金色複合混合膜を形成
し、さらにその上にトップコートを蒸着した例を示した
部分断面図である。第４図は、基板に積層したTiNの上
にアンダーコートを施し、その上に金色複合混合膜を形
成し、さらにその上にトップコートを蒸着した例を示し
た部分断面図である。 第５図は、第３図に示す複合混合多層膜の表面に、透明
導電膜を形成した例を示した部分断面図である。 第６図は、第３図に示し複合混合多層膜の上に、さらに
複合混合膜を形成した例を示した部分断面図である。 １……基板 ２……TiN薄膜 ３……複合混合膜 ４……アンダーコート ５……トップコート ６……透明導電膜FIG. 1 shows an embodiment of the present invention and is a partial cross-sectional view showing an example in which a metal composite mixed film is vapor-deposited on a substrate on which TiN is laminated in advance. FIG. 2 shows another embodiment of the present invention,
FIG. 3 is a partial cross-sectional view showing an example in which an undercoat is applied on TiN laminated on a substrate, and a gold-colored composite mixed film is further formed on the undercoat. FIG. 3 shows still another embodiment of the present invention, which shows an example in which a gold-colored composite mixed film is formed on TiN laminated on a substrate and a top coat is vapor-deposited thereon. FIG. FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing an example in which an undercoat is applied on TiN laminated on a substrate, a gold-colored composite mixed film is formed thereon, and a topcoat is vapor-deposited thereon. FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing an example in which a transparent conductive film is formed on the surface of the composite mixed multilayer film shown in FIG. FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing an example in which a composite mixed film is further formed on the composite mixed multilayer film shown in FIG. 1 ... Substrate 2 ... TiN thin film 3 ... Composite mixed film 4 ... Undercoat 5 ... Topcoat 6 ... Transparent conductive film
Claims (2)
N膜と、金またはその合金と有機物とを同時にプラズマ
励起により気相蒸着した複合混合膜とを配設してなるこ
とを特徴とする複合混合多層膜。1. Ti deposited on a substrate by plasma excitation
A composite mixed multilayer film comprising an N film and a composite mixed film obtained by vapor-depositing gold or its alloy and an organic substance simultaneously by plasma excitation.
ート、ポリシロキサン、ポリエステル、ポリオレフィン
である請求項１記載の複合混合多層膜。2. The composite mixed multilayer film according to claim 1, wherein the organic substance is polycarbonate, polyacrylate, polysiloxane, polyester, or polyolefin.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52116896A (en) * | 1976-03-29 | 1977-09-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electrode plate and its preparation |
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