JPH0741963U - Excimer lamp discharge device - Google Patents
Excimer lamp discharge deviceInfo
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ガス圧力が６０ｔｏｒｒ以上のエキシマ・ラ
ンプでも容易に励起させ、紫外線を発生させることがで
きるエキシマ・ランプを提供することを目的とする。
【構成】エキシマ・ランプ１と、エキシマ・ランプが配
置されるマイクロ波共振器２と、連続したマイクロ波を
発生するマグネトロン５と、該マグネトロンが発生した
マイクロ波電力をエキシマ・ランプに結合するアンテナ
４と、パルス波形のマイクロ波を発生するパルス用マグ
ネトロン１１と、該パルス用マグネトロンで発生したパ
ルス波形のマイクロ波を該エキシマ・ランプに結合する
結合用スリット１３を備えた構成とした。
(57) [Summary] (Correction) [Purpose] An object of the present invention is to provide an excimer lamp that can easily excite an excimer lamp having a gas pressure of 60 torr or more to generate ultraviolet rays. [Structure] Excimer lamp 1, microwave resonator 2 in which excimer lamp is arranged, magnetron 5 for generating continuous microwaves, and antenna for coupling microwave power generated by the magnetron to the excimer lamp 4, a pulse magnetron 11 for generating a pulse-wave microwave, and a coupling slit 13 for coupling the pulse-wave microwave generated by the pulse magnetron to the excimer lamp.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、発光材料（ガス）が封入された無電極放電管の当該発光材料をマイ クロ波照射にて励起させて紫外線を発光させる無電極放電管装置に係り、特にエ キシマ・ランプを放電させるエキシマ・ランプ放電装置に関するものである。 The present invention relates to an electrodeless discharge tube device which emits ultraviolet light by exciting the light emitting material of an electrodeless discharge tube filled with a light emitting material (gas) by microwave irradiation, and particularly discharges an excimer lamp. The present invention relates to an excimer lamp discharge device for making an excimer lamp discharge.
【０００２】[0002]
紫外線、特に２００ｎｍ〜３５０ｎｍの紫外線は、そのエネルギーが大きく、 物質に強く作用するため、産業や医療の分野で多く利用されている。既に、印刷 や塗装等に広範囲に応用され、超ＬＳＩや半導体を始めとした電子材料の加工に も用いられてきている。また、薬品の残留、蓄積のない殺菌手段としても活用が 進んでおり、その他の生物分野や、ビタミンの合成などの化学工業でも採用され てきている。 Ultraviolet rays, especially ultraviolet rays of 200 nm to 350 nm, have large energy and strongly act on substances, and are therefore widely used in the fields of industry and medicine. It has already been widely applied to printing and painting, and has also been used for processing electronic materials such as VLSI and semiconductors. It is also being used as a sterilization method that does not leave or accumulate chemicals, and has also been used in other biological fields and in the chemical industry such as vitamin synthesis.
【０００３】 紫外線発生装置としては、従来より水銀等の発光材料が封入された放電管にマ イクロ波を照射して、発光材料を励起させる無電極放電管装置が利用されている 。この光源として、水銀ランプが用いられており、水銀蒸気の放電発光を用いた もので点燈時の蒸気圧によって、低圧、高圧及び超高圧の水銀ランプに分けられ る。この中で低圧水銀ランプが最も多く利用されているが、波長当たりの出力が 小さくかつ限られた複数の発光波長しか得られなかった。As an ultraviolet ray generator, an electrodeless discharge tube device has conventionally been used which excites a light emitting material by irradiating a discharge tube containing a light emitting material such as mercury with a microwave. A mercury lamp is used as this light source, which uses discharge emission of mercury vapor and can be divided into low-pressure, high-pressure, and ultra-high-pressure mercury lamps depending on the vapor pressure during lighting. Among these, low-pressure mercury lamps are most widely used, but they have a small output per wavelength and can obtain only a limited number of emission wavelengths.
【０００４】 また、非常に大きな出力で波長を選べる単色の光源として、エキシマ・レーザ などの各種のレーザがある。このエキシマ・レーザは、レーザ媒質自体が光に吸 収されるために、レーザ発振させるには発振のしきい値を越えるに充分な利得が 必要であり、数１０００ｔｏｒｒの高圧力のレーザガスを数Ｍ ｗ／ｃｍ3の高励 起密度で励起することが要求される。Various types of lasers such as an excimer laser are available as monochromatic light sources that can select a wavelength with a very large output. Since the excimer laser absorbs the laser medium itself into the light, a sufficient gain to exceed the oscillation threshold is required for laser oscillation, and a high pressure laser gas of several 1000 torr is required for several M. Excitation at a high excitation density of w / cm 3 is required.
【０００５】 そのため、エキシマ・レーザの放電励起には、大電流密度放電、及び予備電離 技術などの高度で複雑な励起技術が不可欠であり、更に高価なエキシマ・レーザ 共振器用光学系が必要である。また、レーザ発振は、１００ｎｓｅｃ以下の短い パルス幅でしか出力できず、最大平均出力は４０Ｗ程度であり、照射面積は２７ ｍｍ×１０ｍｍと狭く、また、連続動作の光源とはなり得なかった。ちなみに、 発光効率は高くても１％程度である。Therefore, high current density discharge and advanced and complicated excitation techniques such as preionization technique are indispensable for discharge excitation of excimer laser, and further expensive excimer laser resonator optical system is required. . Further, laser oscillation can be output only with a short pulse width of 100 nsec or less, the maximum average output is about 40 W, the irradiation area is as narrow as 27 mm × 10 mm, and it cannot be used as a continuous operation light source. By the way, the luminous efficiency is about 1% at the highest.
【０００６】 このため、適切なコストで波長の選択できる簡便な紫外線照射の強い光源が工 業的に求められていた。エキシマ・ランプは上記の要求に見合うものとして、開 発が進められているもので、エキシマ・レーザほどの放射光のエネルギーは無い が、照射面積が広く、連続動作が可能であるという特徴を有する。For this reason, there has been an industrial demand for a simple light source with strong ultraviolet irradiation, which can select a wavelength at an appropriate cost. Excimer lamps are being developed in order to meet the above requirements. Although they do not have the energy of synchrotron radiation as excimer lasers, they have the characteristics that they have a large irradiation area and are capable of continuous operation. .
【０００７】 また、エキシマ・ランプは発光のしきい値がないため入力電力の励起密度を大 幅に下げることができる。ランプ媒質であり発光材料であるガスの低圧力動作方 式を選択したことにより、発光効率を高めたのがエキシマ・ランプである。エキ シマ・ランプにおいては、ランプ媒質であるガスをエキシマ・レーザに比べて低 圧力にすることで電子温度を上げてエキシマの生成効率を高くしようとしている 。さらに低圧力としたことで、従来の水銀ランプのような一般的な低圧力放電技 術が使用可能となった。Further, since the excimer lamp has no threshold for light emission, the excitation density of input power can be greatly reduced. The excimer lamp improves the luminous efficiency by selecting the low pressure operation method of the gas which is the lamp medium and the light emitting material. In excimer lamps, the gas used as the lamp medium is made to have a lower pressure than in excimer lasers, thereby raising the electron temperature and increasing the excimer generation efficiency. The lower pressure made it possible to use general low-pressure discharge technology such as conventional mercury lamps.
【０００８】 図２にこの種の従来のエキシマ・ランプ放電装置の概略を示す。この装置では 、主に水銀ランプの発光に用いられた低圧力用放電装置をエキシマ・ランプ放電 用に活用したものであり、図に示したランプハウス及び送風装置の他に図示して いない電源部の３つの部分よりなる。図において、１は無電極放電管であるエキ シマ・ランプ、２はマイクロ波空胴を形成するマイクロ波共振器、３はエキシマ ・ランプ１で発光させた紫外線を一定方向に反射させる誘電体ミラー、４は第１ のマイクロ波結合器であるアンテナ、５は連続したマイクロ波を発生させる第１ のマイクロ波発生器であるマグネトロン、６は導波管、７はマイクロ波空胴の一 壁を形成している金属メッシュ、８は上記のような構成からなるランプハウスを 通孔（図示せず）を通して冷却するための送風装置である。FIG. 2 schematically shows a conventional excimer lamp discharge device of this type. In this device, a discharge device for low pressure, which was mainly used for light emission of a mercury lamp, was used for discharge of an excimer lamp. In addition to the lamp house and the air blower shown in the figure, a power source not shown It consists of three parts. In the figure, 1 is an electrodeless discharge tube, an excimer lamp, 2 is a microwave resonator that forms a microwave cavity, and 3 is a dielectric mirror that reflects the ultraviolet light emitted by the excimer lamp 1 in a certain direction. 4 is an antenna that is a first microwave coupler, 5 is a magnetron that is a first microwave generator that generates continuous microwaves, 6 is a waveguide, and 7 is a wall of the microwave cavity. The metal mesh 8 formed is an air blower for cooling the lamp house having the above-mentioned structure through a through hole (not shown).
【０００９】 このような構成となっており、マグネトロン５より発せられる連続したマイク ロ波電力を導波管６、アンテナ４を介して、マイクロ波共振器２に供給し、その マイクロ波電力がエキシマ・ランプ１に封入した発光材料（ガス）を励起し、プ ラズマ放電によって、光放出を行なうものである。With such a configuration, continuous microwave power generated by the magnetron 5 is supplied to the microwave resonator 2 via the waveguide 6 and the antenna 4, and the microwave power is supplied to the excimer. The light emitting material (gas) enclosed in the lamp 1 is excited to emit light by plasma discharge.
【００１０】 この紫外線は四方に放射されるが、誘電体ミラー３は放物面形状をしており、 金属メッシュ７の方向に集光される。金属メッシュ７はマイクロ波に対して、カ ットオフ特性となるように金属のメッシュで構成され、マイクロ波空胴内のマイ クロ波を外部にリークする事無く、放出光のみを透過し、この紫外線を外部に放 出する。この金属メッシュの前方に被処理物を配置することにより、硬化、殺菌 等の処理が即座に行なわれる。The ultraviolet rays are emitted in all directions, but the dielectric mirror 3 has a parabolic shape and is condensed in the direction of the metal mesh 7. The metal mesh 7 is composed of a metal mesh so as to have a cut-off characteristic with respect to microwaves, and transmits only emitted light without leaking the microwave inside the microwave cavity to the outside. To the outside. By arranging the object to be processed in front of this metal mesh, processing such as hardening and sterilization can be performed immediately.
【００１１】 このエキシマ・ランプ放電装置の性能を具体的に述べる。マグネトロン５は発 振周波数ｆｏ＝２４５０ＭＨｚの電子レンジ用のマグネトロンを２個使用してお り、このマグネトロン単体で１．５ｋＷまでのマイクロ波電力が得られる。図２ に示すように棒状のエキシマ・ランプを均一に放電させるため、マグネトロン５ は２つに分けられている。このエキシマ・ランプの大きさは直径×長さが８ｍｍ ×２５０ｍｍであり、個々のマグネトロン５にマイクロ波電力Ｐ＝０．７５Ｗを 加えたとき、つまり投入するマイクロ波電力が１．５Ｗで、エキシマ・ランプの ガス圧が５０ｔｏｒｒのものは、照射面積が１０ｍｍ×２５０ｍｍであり、最大 平均出力は３０Ｗの光出力を得ている。The performance of this excimer lamp discharge device will be specifically described. The magnetron 5 uses two magnetrons for microwave ovens with an oscillation frequency fo = 2450 MHz, and this magnetron alone can obtain microwave power up to 1.5 kW. As shown in FIG. 2, the magnetron 5 is divided into two in order to uniformly discharge the rod-shaped excimer lamp. The size of this excimer lamp is diameter × length 8 mm × 250 mm, and when microwave power P = 0.75 W is applied to each magnetron 5, that is, the microwave power to be input is 1.5 W, -When the gas pressure of the lamp is 50 torr, the irradiation area is 10 mm x 250 mm, and the maximum average output is 30 W.
【００１２】 また、マイクロ波電力を良好にエキシマ・ランプに供給するため、マイクロ波 結合器としては波形状のアンテナを用いている。単に結合するためには結合用の スリットでよいが、このアンテナを用いることにより、エキシマ・ランプ近傍を 選択的に励起することが容易となり、強い光出力が得られている。Further, in order to supply microwave power to the excimer lamp well, a wave-shaped antenna is used as the microwave coupler. Although a slit for coupling may be used for simple coupling, by using this antenna, it becomes easy to selectively excite the vicinity of the excimer lamp, and a strong optical output is obtained.
【００１３】[0013]
【考案が解決しようとする課題】 さて、このようなエキシマ・ランプ放電装置を用いるエキシマ・ランプにおい て、発光材料として封入するランプ媒質はハロゲンガス、（ＣＬ、Ｂｒ、Ｉ、Ｆ ）と、希ガス（キセノンガス、クリプトンガス、アルゴンガス等の不活性ガス） およびバッファガス（ヘリウムガス、ネオンガス、およびアルゴンガス）を使用 している。このランプ媒質の混合比や組み合わせを変えることで、可視領域から 真空紫外線領域にわたる様々な中心波長を与えるランプとなる。DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention In an excimer lamp using such an excimer lamp discharge device, the lamp medium enclosed as a light emitting material is a halogen gas, (CL, Br, I, F) or a rare gas. Gas (inert gas such as xenon gas, krypton gas, argon gas) and buffer gas (helium gas, neon gas, and argon gas) are used. By changing the mixing ratio and combination of these lamp media, it becomes a lamp that gives various center wavelengths from the visible region to the vacuum ultraviolet region.
【００１４】 本考案者は、このランプ媒質の混合比や組み合わせを変えて種々の実験を行な い、そのときの紫外線の光出力を測定した。図３はランプ媒質として、キセノン ガスとＣＬ2 ガスを用いて、マイクロ波電力を投入したときの特性図である。キ セノンガスとＣＬ2 ガスを用いたエキシマ・ランプ（以下、ＸｅＣＬランプと言 う）はガスの全圧力が５０ｔｏｒｒのものを用いたときの、ＸｅＣＬランプのマ イクロ波電力と光出力（Ａ）、及びマイクロ波電力と発光効率（Ｂ）の関係を示 している。The inventor carried out various experiments by changing the mixing ratio and combination of the lamp media, and measured the light output of ultraviolet rays at that time. FIG. 3 is a characteristic diagram when microwave power is input using xenon gas and CL 2 gas as the lamp medium. The excimer lamp using Xenon gas and CL 2 gas (hereinafter referred to as “XeCL lamp”) uses the microwave power and optical output (A) of the XeCL lamp when the total gas pressure is 50 torr. And the relationship between the microwave power and the luminous efficiency (B).
【００１５】 図３より、明らかなように、マイクロ波電力の投入により 光出力は増加して いる。しかし、発光効率は投入するマイクロ波電力が大きくなるに従い、悪くな っており、より強い光出力を得るために、単純にマイクロ波電力を投入すればよ いものではない。As is apparent from FIG. 3, the optical output is increased by the input of microwave power. However, the luminous efficiency becomes worse as the input microwave power increases, and it is not enough to simply input the microwave power in order to obtain a stronger optical output.
【００１６】 従って、やはり、強い光出力を得るためにはＸｅＣＬランプのガス圧力、及び 組成比を最適化することでより強い光出力が得られる。１００ｔｏｒｒ以下の低 圧力域において、ランプのガス圧力を変化したところ、ＸｅＣＬランプのガス圧 力が６０ｔｏｒｒ以上では従来のエキシマ・ランプ放電装置を用いるとエキシマ の放電開始が難しく、紫外線が発生しないものであった。Therefore, again, in order to obtain a strong light output, a stronger light output can be obtained by optimizing the gas pressure and composition ratio of the XeCL lamp. When the gas pressure of the lamp was changed in the low pressure range of 100 torr or less, when the gas pressure of the XeCL lamp was 60 torr or more, it was difficult to start the discharge of the excimer using the conventional excimer lamp discharge device, and ultraviolet rays were not generated. there were.
【００１７】 本考案は、上記のような問題を解決するためになされたもので、簡単な構成で 、強い光出力が得られるガス圧力の高いエキシマ・ランプを励起するためのエキ シマ・ランプ放電装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and has an easy structure and excimer lamp discharge for exciting an excimer lamp having a high gas pressure and a strong light output. The purpose is to provide a device.
【００１８】[0018]
発光材料が封入された棒状の無電極放電管と、該無電極放電管が配置されるマ イクロ波共振器と、連続したマイクロ波を発生させる第１のマイクロ波発生器と 、該第１のマイクロ波発生器で発生させたマイクロ波電力を該無電極放電管に結 合する第１のマイクロ波結合器と、パルス波形のマイクロ波を発生させる第２の マイクロ波発生器と、該第２のマイクロ波発生器で発生させたパルス波形のマイ クロ波を該無電極放電管に結合する第２のマイクロ波結合器とを備えた構成とし た。 A rod-shaped electrodeless discharge tube in which a light-emitting material is enclosed, a microwave resonator in which the electrodeless discharge tube is arranged, a first microwave generator for generating continuous microwaves, and a first microwave generator A first microwave coupler for coupling microwave power generated by a microwave generator to the electrodeless discharge tube; a second microwave generator for generating a microwave having a pulse waveform; And a second microwave coupler for coupling the microwave of the pulse waveform generated by the microwave generator to the electrodeless discharge tube.
【００１９】[0019]
以下に本考案の実施例について説明する。本考案の構成は、従来のエキシマ・ ランプ放電装置に、パルス波形のマイクロ波を発生させる第２のマイクロ波発生 器と、この第２のマイクロ波発生器で発生させたパルス波形のマイクロ波を無電 極放電管に結合する第２のマイクロ波結合器を設けたものである。 An embodiment of the present invention will be described below. According to the configuration of the present invention, the conventional excimer / lamp discharge device is provided with a second microwave generator for generating a microwave having a pulse waveform and a microwave having a pulse waveform generated by the second microwave generator. A second microwave coupler that is coupled to the non-electrolytic discharge tube is provided.
【００２０】 図１に本考案における実施例の概要を示す。図において、図２と同一符号は同 一又は相当するものを示し、１１はパルス波形のマイクロ波を発生する第２のマ イクロ波発生器であるパルス用マグネトロン、１２は導波管、１３はパルス用マ グネトロン１１により発生させたパルス波形のマイクロ波をエキシマ・ランプ１ に結合させるための第２のマイクロ波結合器の結合用スリットである。FIG. 1 shows an outline of an embodiment of the present invention. In the figure, the same reference numerals as those in FIG. 2 indicate the same or corresponding ones, 11 is a pulse magnetron which is a second microwave generator for generating a microwave having a pulse waveform, 12 is a waveguide, and 13 is It is a coupling slit of the second microwave coupler for coupling the microwave of the pulse waveform generated by the pulse magnetron 11 to the excimer lamp 1.
【００２１】 このような構成になっているので、パルス用マグネトロン１１より発生された パルス波形のマイクロ波は、導波管１２と結合用スリット１３を介して、マイク ロ波共振器に供給され、そのパルス波形のマイクロ波によってエキシマ・ランプ １に封入した発光材料を高い放電電圧によって励起し、励起トリガ用信号として 動作する。With such a configuration, the microwave of the pulse waveform generated by the pulse magnetron 11 is supplied to the microwave resonator via the waveguide 12 and the coupling slit 13. The microwave of the pulse waveform excites the light emitting material enclosed in the excimer lamp 1 with a high discharge voltage and operates as an excitation trigger signal.
【００２２】 また、連続波を発生させるマグネトロン５と、パルス波を発生させるパルス用 マグネトロン１１は、発振周波数を異ならせているので個々の結合部等において 、相互に干渉する事無く、独立な動作モードを有している。また、本考案に関す る実験においては結合用スロットによる結合にて良好な特性が得られたが、アン テナによる結合とすることにより、さらに結合がよくなることは言うまでもない 。Further, since the magnetron 5 for generating a continuous wave and the pulse magnetron 11 for generating a pulse wave have different oscillating frequencies, they do not interfere with each other at individual coupling parts and operate independently. Have a mode. In addition, in the experiment related to the present invention, good characteristics were obtained by the coupling with the coupling slot, but it goes without saying that the coupling with the antenna improves the coupling.
【００２３】 連続波を発生させるマグネトロン５、及びパルス波を発生させるパルス用マグ ネトロン１１によりエキシマ・ランプ１を励起する。そして、励起トリガ用信号 のパルス用マグネトロン１１のパルス波形は放電開始電圧が高いエキシマ・ラン プにおいても、励起が効率よく行なわれるようになる。そしてエキシマ・ランプ １に封入した発光材料がより高いレベルにて励起されるので、ガス圧力が高くて も放電開始が容易に行なわれ強い光出力の紫外線が発生するようになる。The excimer lamp 1 is excited by the magnetron 5 that generates a continuous wave and the pulse magnetron 11 that generates a pulse wave. Further, the pulse waveform of the excitation magnetron pulse magnetron 11 enables efficient excitation even in an excimer lamp having a high discharge start voltage. Then, since the light-emitting material enclosed in the excimer lamp 1 is excited at a higher level, even if the gas pressure is high, the discharge can be easily started and ultraviolet rays with a strong light output are generated.
【００２４】 本考案の実験にて使用したパルス用マグネトロン１１は、発振周波数ｆｏ＝３ ０５０ＭＨｚ、パルス出力Ｐｐｅａｋ＝５０ｋＷ、パルス幅ｔｒ＝１μｓｅｃ、 繰り返し周期ｔｓ＝１ｍｓｅｃである。このときの光出力の特性を図４に示す。 図において、従来の５０ｔｏｒｒのＸｅＣＬランプではマイクロ波電力が１．５ ｋＷのときの光出力は３０Ｗであった（Ｄ）。そして、本考案の装置を用いて、 マイクロ波電力が１．５ｋＷのとき、上記に示した仕様のパルス波を加えると７ ５ｔｏｒｒのＸｅＣＬランプが容易に励振され、そのときの光出力は４５Ｗが得 られた（Ｃ）。The pulse magnetron 11 used in the experiment of the present invention has an oscillation frequency fo = 3,050 MHz, a pulse output Ppeak = 50 kW, a pulse width tr = 1 μsec, and a repetition period ts = 1 msec. The optical output characteristics at this time are shown in FIG. In the figure, in the conventional 50 torr XeCL lamp, the light output was 30 W when the microwave power was 1.5 kW (D). Then, when the microwave power is 1.5 kW using the device of the present invention, when the pulse wave of the above-mentioned specifications is applied, the XeCL lamp of 75 torr is easily excited, and the optical output at that time is 45 W. Obtained (C).
【００２５】 このようにすることで、従来装置では紫外線の発生がなかった６０ｔｏｒｒ以 上のエキシマ・ランプでも励振できることが確認された。更に、ガスの混合成分 、結合方法等を調整することにより、より高い光出力が得られることは明らかで ある。By doing so, it was confirmed that excimer lamps of 60 torr or more, which did not generate ultraviolet rays in the conventional device, could be excited. Furthermore, it is clear that higher light output can be obtained by adjusting the gas mixture components, the coupling method, and the like.
【００２６】[0026]
以上説明したように、本考案は、エキシマ・ランプを放電させるためのパルス 波を発生させるパルス用マグネトロンと、結合用スリットを設けるような、簡単 な構成にて６０ｔｏｒｒ以上のガス圧力のエキシマ・ランプでも紫外線を発生さ せることができるようになる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention is an excimer lamp having a gas pressure of 60 torr or more with a simple structure such as a pulse magnetron for generating a pulse wave for discharging an excimer lamp and a coupling slit. However, it becomes possible to generate ultraviolet rays.
【図１】本考案の実施例の概要を示した説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing an outline of an embodiment of the present invention.
【図２】従来のエキシマ・ランプ放電装置の説明図であ
る。FIG. 2 is an explanatory view of a conventional excimer lamp discharge device.
【図３】光出力とマイクロ波電力の関係を示した特性図
である。FIG. 3 is a characteristic diagram showing the relationship between optical output and microwave power.
【図４】本考案の光出力を示した特性図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing an optical output of the present invention.
１、エキシマ・ランプ ２、マイクロ波共振器 ３、誘電体ミラー ４、アンテナ ５、マグネトロン ６、導波管 ７、金属メッシュ ８、送風装置 １１、パルス用マグネトロン １２、導波管 １３、結合用スリット 1, Excimer Lamp 2, Microwave Resonator 3, Dielectric Mirror 4, Antenna 5, Magnetron 6, Waveguide 7, Metal Mesh 8, Blower 11, Pulse Magnetron 12, Waveguide 13, Coupling Slit
Claims (1)
管と、該無電極放電管が配置されるマイクロ波共振器
と、連続したマイクロ波を発生させる第１のマイクロ波
発生器と、該第１のマイクロ波発生器で発生させたマイ
クロ波電力を該無電極放電管に結合する第１のマイクロ
波結合器と、パルス波形のマイクロ波を発生させる第２
のマイクロ波発生器と、該第２のマイクロ波発生器で発
生させたパルス波形のマイクロ波を該無電極放電管に結
合する第２のマイクロ波結合器とを備えてなることを特
徴とするエキシマ・ランプ放電装置。1. A rod-shaped electrodeless discharge tube in which a luminescent material is sealed, a microwave resonator in which the electrodeless discharge tube is arranged, and a first microwave generator for generating continuous microwaves. A first microwave coupler for coupling the microwave power generated by the first microwave generator to the electrodeless discharge tube, and a second microwave coupler for generating a microwave having a pulse waveform.
And a second microwave coupler that couples the pulse-wave microwave generated by the second microwave generator to the electrodeless discharge tube. Excimer lamp discharge device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993073330U JP2604051Y2 (en) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | Excimer lamp discharger |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993073330U JP2604051Y2 (en) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | Excimer lamp discharger |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0741963U true JPH0741963U (en) | 1995-07-21 |
| JP2604051Y2 JP2604051Y2 (en) | 2000-04-10 |
Family
ID=13515056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993073330U Expired - Lifetime JP2604051Y2 (en) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | Excimer lamp discharger |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2604051Y2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003510773A (en) * | 1999-09-20 | 2003-03-18 | ノードソン コーポレーション | Apparatus and method for generating ultraviolet light |
| JP2011090851A (en) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Luxim Corp | Electrodeless plasma lamp, and method of generating light with use of electrodeless plasma lamp |
| JP2021002526A (en) * | 2014-08-11 | 2021-01-07 | ノードソン コーポレーションＮｏｒｄｓｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | Ultraviolet systems and methods for irradiating a substrate |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP1993073330U patent/JP2604051Y2/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2604051Y2 (en) | 2000-04-10 |
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