JPH0737931A - Tape carrier type semiconductor device - Google Patents

Tape carrier type semiconductor device

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JPH0737931A
JPH0737931A JP5176745A JP17674593A JPH0737931A JP H0737931 A JPH0737931 A JP H0737931A JP 5176745 A JP5176745 A JP 5176745A JP 17674593 A JP17674593 A JP 17674593A JP H0737931 A JPH0737931 A JP H0737931A
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JP
Japan
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tape carrier
electrodes
semiconductor device
type semiconductor
lsi
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Application number
JP5176745A
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Japanese (ja)
Inventor
Ichiro Miyano
一郎 宮野
Shozo Nakamura
省三 中村
Koji Serizawa
弘二 芹沢
Akio Hasebe
昭男 長谷部
Toshiharu Ishida
寿治 石田
Kazuma Miura
一真 三浦
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PURPOSE:To make it possible to reduce cost and simplify wiring work by connecting different kinds of tape carriers to electrodes having the same function, which respectively constitute common wiring portions, thereby permitting common wiring portions of LSI where a plurality of electrodes having the same function can exist at the central part only by the one surface of the tape carriers. CONSTITUTION:Different kinds of tape carriers 7 constituting common wiring portions 3 are respectively connected to a plurality of electrodes having the same function which exist on LSI4. For example, partial common wiring tape carriers 7 are used at the common wiring portions 3 when electrodes 22 are arranged on a straight line in the central part of the surface of LSI4 and a 16-Mbit DRAM having ground electrodes and power supply electrodes at plural side is modified to a tape carrier type semiconductor device. This common wiring tape carrier 7 is made as thin as possible so as to prohibit the occurrence of configurational interference with the tape carriers 5 not connected to a plurality of electrodes requiring common wiring on the LSI chip 4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、テープキャリア型LS
Iパッケージに係わり、特に、LSI上の電極配置等に
影響されずに、外部引き出し用の電極並びに同一機能を
持つLSI上の電極に対する共通化配線部を設けること
を可能にし、幅広い種類のLSIを薄型で高機能なテー
プキャリア型半導体装置化するのに好適なテープキャリ
ア型半導体装置に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a tape carrier type LS.
With regard to the I package, it is possible to provide a common wiring section for electrodes for external extraction and electrodes on the LSI having the same function, without being affected by the electrode arrangement on the LSI, and thus a wide variety of LSIs can be provided. The present invention relates to a tape carrier type semiconductor device suitable for being a thin and highly functional tape carrier type semiconductor device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、LSIをテープキャリア型半導体
装置化する場合に、LSI上の複数の各種電極が、該L
SIの周辺を取り囲むように配置されるならば、LSI
と接続するためのテープキャリア上の各電極は、LSI
を搭載するための穿孔部周辺に配置することで、両者の
接続を容易に行うことができた。しかし、LSI上の回
路の集積度の増大にともない、配線による素子形成不能
面をできるだけ省くという回路パターンの設計上の制約
から、LSI上の電極の配置は、LSI周辺部からLS
Iの中心部へと移り変わっている。特に、メモリーLS
Iの場合、該LSI上のメモリセルを集めた各ユニット
ごとに電源電極およびグランド電極が必要となり、外部
引出し電極の数を節約するために、これら複数の同一機
能電極を共通の配線で接続する共通化配線部を設ける必
要が生じている。
2. Description of the Related Art Conventionally, when an LSI is formed into a tape carrier type semiconductor device, a plurality of various electrodes on the LSI are connected to the L
If it is arranged so as to surround the periphery of SI, LSI
Each electrode on the tape carrier for connection with
By arranging around the perforation part for mounting, it was possible to easily connect the both. However, with the increase in the degree of integration of the circuits on the LSI, the electrodes on the LSI are arranged from the peripheral portion of the LS because of the design constraint of the circuit pattern that the surface on which the elements cannot be formed is eliminated as much as possible.
It has moved to the center of I. Especially memory LS
In the case of I, a power electrode and a ground electrode are required for each unit in which the memory cells on the LSI are collected, and in order to save the number of external extraction electrodes, these plural functional electrodes are connected by a common wiring. It has become necessary to provide a common wiring section.

【0003】従来技術ではこのような電極配置のLSI
に対して、所定の電極間での共通配線化およびテープキ
ャリア化は行われておらず、ワイヤーボンディング法を
用いて、共通化配線部が形成されたFe−Ni系のリー
ドフレームに対する3次元的なワイヤーの引き回しによ
り、必要な部分での電気的絶縁を確保しながら接続し、
レジンモールドを施す構成が主流であった。
In the prior art, an LSI having such an electrode arrangement is used.
On the other hand, a common wiring and a tape carrier have not been performed between predetermined electrodes, and the wire bonding method is used to form a three-dimensional structure for the Fe-Ni-based lead frame in which the common wiring portion is formed. By connecting various wires, connect while ensuring electrical insulation in the necessary parts,
The structure in which a resin mold is applied was the mainstream.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記中央部に
電極が存在するLSIを、共通化配線部を形成し、かつ
テープキャリア化するには、該テープの形状から2次元
的な配線しか行うことができないテープキャリアの性質
上、共通化配線部とそれ以外の電極間での電気的絶縁を
はかるために、テープキャリアの表裏両面に配線層を設
ける必要が有った。そのため、製作コストが2倍以上に
増加する問題があり、また、このテープキャリアの表裏
両面の配線間で電気的接続を得るには、プリント基板の
ようにスルーホールを設けることが必要で、テープキャ
リアの表裏両面への配線の作成と合わせて技術上の課題
を有していた。
However, in order to form a common wiring portion and a tape carrier for an LSI having an electrode at the central portion, only two-dimensional wiring is performed from the shape of the tape. Due to the nature of the tape carrier, it is necessary to provide wiring layers on both front and back surfaces of the tape carrier in order to electrically insulate between the common wiring part and the other electrodes. Therefore, there is a problem that the manufacturing cost is more than doubled, and it is necessary to provide through holes like a printed circuit board to obtain electrical connection between the wirings on the front and back surfaces of the tape carrier. There was a technical problem with the creation of wiring on both the front and back sides of the carrier.

【0005】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、
中央部に複数の同一機能の電極が存在するLSIの共通
化配線部を、テープキャリアの片面のみで可能にしてコ
ストの低減と配線作業の簡単化を図るとともに、LSI
上の電極配置に制約されることなく各種LSIのテープ
キャリア化を達成し、また、パッケージ内での電気的ノ
イズを低減して、1パッケージ内に複数のLSIを内蔵
可能な薄型で高機能のテープキャリア型半導体装置を提
供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems of the prior art.
The common wiring part of the LSI having a plurality of electrodes having the same function in the central part can be formed on only one side of the tape carrier to reduce the cost and simplify the wiring work.
Achieves tape carrier for various LSIs without being restricted by the above electrode layout, reduces electrical noise in the package, and is a thin and highly functional device that can incorporate multiple LSIs in one package. An object is to provide a tape carrier type semiconductor device.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】LSI上には大きく分類
して信号電極、グランド電極、電源電極が存在する。こ
れらの配線はLSIの高集積化にともない近接した状態
でLSIチップ中心に配置される様に成ってきた。また
グランド電極、電源電極が複数個LSI上に存在する場
合では、外部への引出し用配線の数を節約し、搭載基板
上の配線設計を簡略化する目的で、これらの間で共通化
配線を行うことが必要になる。この共通化配線を行う目
的で部分的なテープキャリアを使用する。この共通化配
線用のテープキャリアはLSI上の所定の同一機能電極
に先に接続されてのち、残りの電極に外部への引出し配
線となるテープキャリアを接続し完成させる方法と、ま
たあらかじめ双方を接続接着してテープキャリアを完成
させた後にLSIと接続する方法を採る。
There are roughly classified signal electrodes, ground electrodes, and power supply electrodes on an LSI. These wirings have come to be arranged in the center of the LSI chip in a close state with the high integration of the LSI. When multiple ground electrodes and power supply electrodes are present on the LSI, common wiring is used between them for the purpose of saving the number of wirings for drawing out to the outside and simplifying the wiring design on the mounting board. It will be necessary to do. A partial tape carrier is used for the purpose of this common wiring. This common wiring tape carrier is first connected to a predetermined electrode having the same function on the LSI, and then the remaining electrodes are connected to a tape carrier to be an external wiring, which is completed. A method is used in which the tape carrier is completed by connecting and adhering and then connecting to the LSI.

【0007】共通配線化を行う同一機能電極に、部分的
テープキャリアを用いる代わりとして、銅箔のみを所定
の形状に成型してなるパターンを接続した後、LSI全
体からの引き出し電極となるテープキャリアを接続す
る。この銅箔線に関しても先にテープキャリアに接続し
てからLSIとの接続を行う方法も考えられる。共通化
配線を行う同一機能電極にのみ部分的にワイヤーボンデ
ィングを施す方法も採用できる。
As an alternative to using a partial tape carrier for a common-function electrode for common wiring, a tape carrier which becomes a lead electrode from the entire LSI after connecting a pattern formed by molding only a copper foil into a predetermined shape Connect. Regarding this copper foil wire, a method of connecting it to the tape carrier first and then connecting it to the LSI is also conceivable. It is also possible to employ a method in which wire bonding is partially performed only on the electrodes having the same function that perform common wiring.

【0008】更には異方性導電シートを用いてテープキ
ャリア上に共通配線部分を接続しテープキャリア上で共
通化配線が必要な電極とそれ以外の電極を電気的に絶縁
して接続する方法を採る。
Further, a method of connecting a common wiring portion on a tape carrier by using an anisotropic conductive sheet and electrically insulating and connecting an electrode requiring common wiring and another electrode on the tape carrier. take.

【0009】共通化配線部分のテープキャリア上での配
置により、テープキャリアのそれぞれ左右に外部への引
出し配線と共通化配線部分を偏在させる構造を採ること
もできる。
By arranging the common wiring portion on the tape carrier, it is also possible to adopt a structure in which the lead wiring to the outside and the common wiring portion are unevenly distributed on the left and right of the tape carrier, respectively.

【0010】以上のようにして構成した薄型のテープキ
ャリアの応用技術として、テープキャリアに搭載された
LSI部分が複数個積層される位置で一つのリードフレ
ームに接続した後にエポキシ系レジンによりモールド
し、複数のLSIを一つのパッケージに内蔵された高機
能化パッケージを構成する。
As an application technology of the thin tape carrier configured as described above, after connecting to one lead frame at a position where a plurality of LSI parts mounted on the tape carrier are laminated, molding is performed with an epoxy resin, A high-performance package that includes a plurality of LSIs in one package is configured.

【0011】尚、共通化配線部は設計により電源ノイ
ズ、信号ノイズを低減させることが可能となり更に本発
明の効果を助長できる。
By designing the common wiring portion, power supply noise and signal noise can be reduced, and the effect of the present invention can be further promoted.

【0012】[0012]

【作用】LSI上に複数存在する同一機能電極の共通化
配線部を設ける際に、テープキャリアの片側にのみ銅箔
等により構成された電極を持つテープキャリアを用いる
ことが可能になることで、テープキャリアの両面に配線
部分を設け加えてスルーホールを設けた両面配線のテー
プキャリアを用いることによるコストの増加を抑制する
ことが可能となる。さらにこのようにしてLSIを薄型
テープキャリア化することにより、従来のワイヤーボン
ディング法とレジンモールドを用いるパッケージと比較
して全体を薄型化できるため高集積化実装を実現でき
る。LSIをテープキャリア型半導体の状態として、こ
れらを複数個一つのリードフレームに積層される位置で
接続し、全外周部をレジンモールドすることで1つのパ
ッケージ内に複数個のLSIが搭載された高機能化パッ
ケージの作成が可能となる。またテープキャリア上に3
次元的配線を容易に形成できるため、その構成によって
は電気的ノイズを低減する構造とすることも可能とな
る。
When a common wiring portion for a plurality of identical-function electrodes existing on the LSI is provided, it becomes possible to use a tape carrier having an electrode made of copper foil or the like on only one side of the tape carrier. It is possible to suppress an increase in cost due to the use of a double-sided wiring tape carrier in which wiring portions are provided on both surfaces of the tape carrier and through holes are provided. Further, by forming the LSI into a thin tape carrier in this manner, it is possible to reduce the thickness as a whole as compared with the conventional package using the wire bonding method and the resin mold, so that highly integrated mounting can be realized. The LSI is a tape carrier type semiconductor, these are connected at a position where they are stacked on one lead frame, and the entire outer peripheral portion is resin-molded, so that multiple LSIs are mounted in one package. It is possible to create a functionalized package. Also on the tape carrier 3
Since the three-dimensional wiring can be easily formed, the structure can reduce the electrical noise depending on the structure.

【0013】[0013]

【実施例】[第1の実施例]請求項1から請求項9に記
載される構造のテープキャリアについて、以下にその実
施例を示す。次世代の記憶容量をもつ16MbitDR
AM(Dynamic Randam Access Memoryの省略)を、テー
プキャリア型半導体装置化する場合について説明する。
16MbitDRAMでは、各メモリーセルの集積度を
高めた結果、LSIチップ上に蒸着されたAl配線によ
る素子形成面積の制約をできるだけ減少させる目的で、
電極がLSI表面の中央部に直線状に整列させて配置さ
れている。また、このLSIでは決まったメモリー容量
ごとにユニット化された部分を、複数個寄せ集めた形式
を取っているため、各ユニットごとに電源及びグランド
に対応する電極が形成されている。特にグランド電極に
ついては、チップ面積自体の増加と、低消費電力化を目
標とした動作電圧の低減に伴い、耐ノイズ性を向上させ
る必要から1ユニットに対して複数個が配置されてい
る。このように複数個の電源電極及びグランド電極をも
つLSIを用いてテープキャリアパッケージを構成する
場合には、それぞれ同一な機能をもつ電極間に共通化配
線を施し、外部への引き出し電極の数を低減させること
が必要となる。さらに、これら電源電極共通化配線およ
びグランド電極共通化配線を、それ以外の配線から電気
的に独立させた位置に配置することで、配線内部の電磁
誘導により引き起こされるノイズを低減させる配慮がな
されている。以上の傾向は、64MDRAMさらには2
56MDRAMでも同様であり、ASIC LSIにつ
いても同様である。
EXAMPLES [First Example] Examples of the tape carrier having the structure described in claims 1 to 9 will be described below. 16MbitDR with next generation storage capacity
A case where AM (abbreviation of Dynamic Randam Access Memory) is made into a tape carrier type semiconductor device will be described.
In the 16 Mbit DRAM, as a result of increasing the degree of integration of each memory cell, the limitation of the element formation area due to the Al wiring deposited on the LSI chip is reduced as much as possible.
The electrodes are arranged in a straight line at the center of the LSI surface. Further, since this LSI has a form in which a plurality of unitized portions for each predetermined memory capacity are gathered together, electrodes corresponding to the power supply and the ground are formed for each unit. In particular, a plurality of ground electrodes are arranged for each unit because it is necessary to improve noise resistance with an increase in chip area itself and a reduction in operating voltage aiming at low power consumption. When a tape carrier package is formed by using an LSI having a plurality of power supply electrodes and ground electrodes in this way, common wiring is provided between electrodes having the same function to reduce the number of lead-out electrodes to the outside. It is necessary to reduce it. Further, by arranging the power electrode common wiring and the ground electrode common wiring at positions electrically independent from other wiring, consideration is given to reduce noise caused by electromagnetic induction inside the wiring. There is. The above tendency is due to 64M DRAM and further 2
The same applies to the 56M DRAM, and the same applies to the ASIC LSI.

【0014】図19に従来技術であるLOC(Lead
On Chip)構造のプラスチックパッケージの配線
例を示す。40はLSIチップ、41は外部引出し端
子、42はワイヤーボンディングのワイヤー、43はL
SIチップ40上に横たわるように配置されているグラ
ンド電極と電源電極に対する共通化配線部で、リードフ
レームの一部ともなっている。44はモールドレジンで
ある。
FIG. 19 shows a conventional LOC (Lead).
An example of wiring of a plastic package having an On Chip structure is shown. 40 is an LSI chip, 41 is an external lead terminal, 42 is a wire for wire bonding, and 43 is L
The common wiring portion for the ground electrode and the power electrode arranged so as to lie on the SI chip 40 is also a part of the lead frame. 44 is a mold resin.

【0015】本実施例では、図1に示すように共通化配
線部3に部分的な共通化配線用のテープキャリア7を使
用してLSIチップ4との接続を行うこととする。この
共通化配線用のテープキャリア7については、その厚さ
をできるだけ薄くしておき、LSIチップ4上の共通化
配線が必要な複数の電極と接続されないテープキャリア
5との間で形状的な干渉が起きないようにしておく。例
えば、共通化配線用のテープキャリア7の厚さを75μ
mとし、共通化配線されない残りの電極と接続されるテ
ープキャリア5の厚さを125μmとすることにより、
両者がLSIチップ4上の電極に接続されるとき共通化
配線用のテープキャリア7がよりしなやかであるため
に、形状的な干渉を避けやすくすることができる。
In this embodiment, as shown in FIG. 1, a tape carrier 7 for partial common wiring is used in the common wiring portion 3 to connect to the LSI chip 4. The tape carrier 7 for the common wiring is made as thin as possible so that the plurality of electrodes on the LSI chip 4 which require the common wiring and the tape carrier 5 not connected are geometrically interfered with each other. Keep it from happening. For example, the thickness of the tape carrier 7 for common wiring is 75 μm.
m, and the thickness of the tape carrier 5 connected to the remaining electrodes that are not shared wiring is 125 μm,
When both of them are connected to the electrodes on the LSI chip 4, the tape carrier 7 for the common wiring is more flexible, so that it is possible to easily avoid the geometrical interference.

【0016】前記形状的な干渉は、図2(a)および図
2(a)の要部拡大図である図2(b)に示すように、
共通化配線用のキャリアテープ7(図2(b)に斜線で
示す部分)と重なる部分のテープキャリア5を、成型加
工(打ち抜き加工)することで完全に避けることができ
る。そして、テープキャリア5,7の素材をポリイミド
系樹脂とすることで、LSIチップ4上の電極22とテ
ープキャリア5,7の熱圧着時の耐熱性を確保すること
ができる。
As shown in FIG. 2 (a) and FIG. 2 (b), which is an enlarged view of a main part of FIG.
It is possible to completely avoid the portion of the tape carrier 5 that overlaps with the carrier tape 7 for common wiring (the portion shown by hatching in FIG. 2B) by molding (punching). By using a polyimide resin as the material of the tape carriers 5 and 7, heat resistance during thermocompression bonding of the electrodes 22 on the LSI chip 4 and the tape carriers 5 and 7 can be ensured.

【0017】LSIチップ4とテープキャリア5,7の
接続は、LSIチップ4上に設けられたAuの突起状の
電極22と、Auめっきの施されたテープキャリア5,
7上の所定の電極との間で、500℃〜600℃の温度
で数秒間、この部分のテープキャリア5,7上の電極が
わずかに変形する程度の圧力で圧着する。加熱ツールに
よる圧着では、所定のLSIチップ4上の電極22のみ
を選択的に圧着できるような形状に加熱ツールを加工し
ておくこともできる。テープキャリア5,7上の配線
は、35μm程度のCu箔とし、その成型には例えばフ
ォトエッチング法を用いることで、複雑な配線パターン
の成型を高精度に行うことが可能になる。共通化配線用
のテープキャリア7上の配線は、テープキャリア5の介
在で、その他の電極に接続されるテープキャリア5上の
配線と電気的に絶縁可能となる位置関係であれば、LS
Iチップ4のパターン形成面に接触する側であろうと反
対の側であろうと構わない。そして、組み合わされるも
う一方のテープキャリア7上の配線も、それに対応して
電気的な絶縁が両者間で図られるならば特に制限はな
い。仮に、両者が直接接触する位置関係となっても、ど
ちらか一方のテープキャリア7上の配線に対してソルダ
ーレジストなどによる電気的な絶縁対策が施されていれ
ばよい。
The LSI chip 4 and the tape carriers 5, 7 are connected to each other by the Au-shaped protruding electrode 22 provided on the LSI chip 4 and the Au-plated tape carrier 5, 5.
It is pressure-bonded to a predetermined electrode on 7 at a temperature of 500 ° C. to 600 ° C. for several seconds with a pressure such that the electrode on the tape carrier 5, 7 in this portion is slightly deformed. In the crimping with the heating tool, the heating tool can be processed into a shape such that only the electrode 22 on the predetermined LSI chip 4 can be selectively crimped. The wiring on the tape carriers 5 and 7 is made of Cu foil with a thickness of about 35 μm, and by using, for example, a photo-etching method, a complicated wiring pattern can be molded with high accuracy. The wiring on the tape carrier 7 for common wiring is LS as long as it has a positional relationship such that it can be electrically insulated from the wiring on the tape carrier 5 connected to other electrodes by interposing the tape carrier 5.
It does not matter whether it is on the side in contact with the pattern forming surface of the I-chip 4 or on the opposite side. The wiring on the other tape carrier 7 to be combined is also not particularly limited as long as electrical insulation can be achieved between the two correspondingly. Even if the two are in direct contact with each other, it suffices that an electrical insulation measure such as a solder resist is applied to the wiring on either one of the tape carriers 7.

【0018】上記構成は、図3(b)(テープキャリア
5側を示す図3(a)より分解したLSIチップ4を示
す図)に示すように共通化配線用のテープキャリア7だ
けを、予めLSIチップ4上の電極22に接続、もしく
は位置合わせ接着しておき、それ以外の電極に対してテ
ープキャリア5とともに接続する方法でもよく、また、
図4(a)および図4(a)の要部拡大図である図4
(b)に示すように、先にテープキャリア5,7の2つ
のテープキャリア間を、両者の重なり部23(図にクロ
ス斜線で示す)の接着または溶着により接合し、さらに
図5(a),(b),(c)に示すように、各テープキ
ャリア5,7上の電極間を接続する目的で設けた共通化
配線部3とテープキャリア5上の配線との接続部8(図
に斜線で示す)で、各テープキャリア5,7上の電極ど
うしを接続して複合テープキャリアを構成しておき、そ
の後に、LSIチップ4上の電極22と一括して接続す
る方法をとっても、LSIチップ4と各テープキャリア
5,7との接続を行うことができる。特に、LSIチッ
プ4上の電極に対する各テープキャリア5,7との高精
度な位置あわせが必要な場合は、LSIチップ4に対し
て各々のテープキャリア5,7を接続する方法が有利で
ある。
In the above structure, as shown in FIG. 3B (a view showing the LSI chip 4 disassembled from FIG. 3A showing the tape carrier 5 side), only the tape carrier 7 for the common wiring is previously prepared. A method may be used in which the electrodes 22 on the LSI chip 4 are connected or aligned and bonded, and then the other electrodes are connected together with the tape carrier 5.
FIG. 4A is an enlarged view of an essential part of FIG. 4A and FIG.
As shown in FIG. 5B, first, the two tape carriers of the tape carriers 5 and 7 are joined by adhesion or welding of the overlapping portion 23 (shown by cross hatched lines in the figure) of the two, and further, FIG. , (B), (c), the common wiring portion 3 provided for the purpose of connecting the electrodes on each tape carrier 5, 7 and the connection portion 8 (in the figure) for the wiring on the tape carrier 5 are provided. (Indicated by diagonal lines), the electrodes on the tape carriers 5 and 7 are connected to each other to form a composite tape carrier, and then the electrodes 22 on the LSI chip 4 are collectively connected. The chip 4 and each tape carrier 5, 7 can be connected. In particular, when highly accurate alignment with the tape carriers 5 and 7 with respect to the electrodes on the LSI chip 4 is required, the method of connecting the tape carriers 5 and 7 to the LSI chip 4 is advantageous.

【0019】また、請求項7と請求項8に示すように、
これら複数種類のテープキャリア間では、外部に引き出
す電極を一つのテープキャリアに集中させる方法とし
て、図5(a)に示すテープキャリア5上及び適当なL
SIチップ4上の電極位置で、各電極に施されためっ
き、もしくは高温はんだ等による図6に示すような熱圧
着の利用や、インピーダンス・接続部の電気抵抗等に関
して特に敏感でなければ、異方性導電シートを利用して
接続する方法、共通化配線用のテープキャリア7と外部
電極引出し用のテープキャリア5とを電気的に接続する
目的のLSI上に特に設けた電極を用いる方法等が考え
られる。なお、図6は図5(c)のVI−VI矢視図で、
図中、9は熱圧着ステージ、10は接続部8において共
通化配線部3とテープキャリア5上配線とを接続する接
続用ツール、11はLSIチップ4とテープキャリア
5,7とを接続する接続用ツールである。
Further, as shown in claims 7 and 8,
Among these plural types of tape carriers, as a method of concentrating the electrodes to be drawn to the outside on one tape carrier, on the tape carrier 5 shown in FIG.
If the electrodes on the SI chip 4 are not particularly sensitive to the use of plating applied to each electrode or thermocompression bonding such as high temperature soldering as shown in FIG. There are methods such as a method of connecting by using an anisotropic conductive sheet, a method of using an electrode especially provided on an LSI for the purpose of electrically connecting the tape carrier 7 for common wiring and the tape carrier 5 for drawing out an external electrode. Conceivable. In addition, FIG. 6 is a VI-VI arrow view of FIG.
In the figure, 9 is a thermocompression bonding stage, 10 is a connection tool for connecting the common wiring part 3 and the wiring on the tape carrier 5 at the connection part 8, and 11 is a connection for connecting the LSI chip 4 and the tape carriers 5, 7. Is a tool for.

【0020】また、図7(a),(b)に示す様に、そ
れぞれ独立に各テープキャリアから電極を引き出す構成
にしてもよい。何れにせよ共通化配線部3の配線幅を、
できるだけ広くしておくことでパッケージ内部のノイズ
低減が可能になる。これら各テープキャリア5,7とL
SIチップ4との接続が終了した後は、LSIチップ4
と重なるテープキャリア部分と、LSIチップ4上の電
極22と各テープキャリア5,7の接続部とに対して、
エポキシ系レジンによりポッティングがなされ、機械的
な補強と、耐湿性を向上させる。
Further, as shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b), the electrodes may be independently drawn out from each tape carrier. In any case, the wiring width of the common wiring section 3 is
Noise inside the package can be reduced by making it as wide as possible. These tape carriers 5, 7 and L
After the connection with the SI chip 4 is completed, the LSI chip 4
The tape carrier portion that overlaps with the connection portion of the electrodes 22 on the LSI chip 4 and the tape carriers 5 and 7,
Potting is made with epoxy resin to improve mechanical resistance and moisture resistance.

【0021】請求項1から請求項4までは、共通化配線
の必要な電極に対して部分的な共通化配線用のテープキ
ャリア7を利用する方法であったが、共通化配線用のテ
ープキャリア7をもたないか、またはほんの僅かに配線
部の保持を目的とするテープ部分を残したCu箔のみに
よる配線を利用する構成にすることも可能である。
In the first to fourth aspects, the tape carrier 7 for the partial common wiring is used for the electrodes requiring the common wiring, but the tape carrier for the common wiring is used. It is also possible to adopt a configuration in which the wiring using only Cu foil, which does not have 7 or only slightly leaves the tape portion for the purpose of holding the wiring portion, is used.

【0022】これは図8(a),(b)に示す様に、当
初、テープキャリアの形態でCu箔による配線パターン
12を共通化配線の必要な位置の電極に対して接続して
おく方法を用いるか、または、Cu箔を適当な形状の短
冊状に成形しておき、この共通化配線用のCu箔をLS
Iチップ4上の共通配線が必要な電極に対して位置合わ
せ及び熱圧着し、不要なテープ部分を切断して、出来上
がった共通配線付LSIに対して外部への電極引き出し
を目的とするテープキャリア5を、図9のようにやはり
熱圧着する方法を用いるか、どちらでも構わない。図8
に示す13は共通化配線用の配線パターン12とテープ
キャリア上の配線との接続部である。
As shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b), this is a method of initially connecting the wiring pattern 12 made of Cu foil in the form of a tape carrier to the electrode at the position where the common wiring is required. Or a Cu foil is formed into a strip shape of an appropriate shape, and the Cu foil for the common wiring is LS
A tape carrier for the purpose of aligning and thermocompression-bonding the electrodes on the I-chip 4 on which common wiring is necessary, cutting unnecessary tape portions, and drawing out electrodes to the finished LSI with common wiring. It does not matter whether the method of 5 is also thermocompression bonded as shown in FIG. Figure 8
Reference numeral 13 indicates a connection portion between the wiring pattern 12 for common wiring and the wiring on the tape carrier.

【0023】LSIチップ4上の共通化配線の必要な電
極25を、共通化配線と外部引出し用のテープキャリア
の2つの電極の熱圧着に対応するだけの面積に確保して
おくか、もしくは2つの電極どうしが干渉しあわない位
置まで引き回した共通化配線接続のためのLSIチップ
4上の電極25を用いるか、どちらの方法も採ることが
できる。
The electrode 25 required for the common wiring on the LSI chip 4 is secured in an area sufficient for thermocompression bonding of the two electrodes of the common wiring and the tape carrier for external drawing, or 2 Either method of using the electrode 25 on the LSI chip 4 for connecting the common wiring, which is drawn to a position where the two electrodes do not interfere with each other, can be adopted.

【0024】テープキャリア5上のパターンが形成され
た面とは逆の面からみて、共通化配線を施す配線が剥き
出しとなるようにテープキャリア5の一部を穴あけもし
くは切除加工しておき、この部分に配線が形成された面
とは逆の側から共通化配線部を、表面に施されためっき
を利用してシングルポイントボンディング等による熱圧
着もしくは高温はんだ等の利用で接続する。この位置で
はテープの介在により共通化配線が必要な配線以外との
電気的な絶縁を図ることができる。
A part of the tape carrier 5 is punched or cut so that the wiring to which the common wiring is applied is exposed as seen from the surface opposite to the surface on which the pattern is formed on the tape carrier 5. The common wiring portion is connected from the side opposite to the surface on which the wiring is formed, by thermocompression bonding such as single point bonding using the plating applied to the surface, or by using high temperature solder. At this position, by interposing the tape, it is possible to electrically insulate the wiring other than the wiring requiring the common wiring.

【0025】この場合、外部電極引出し用のテープキャ
リア5と共通化配線部3を熱圧着もしくは異方性導電シ
ート等の介在により接続して電極引き出しを一つのテー
プキャリアからにするか、またはCu箔配線部の外周に
機械的補強と各電極の保持を目的とした電極部保持用テ
ープキャリア14をごく僅かに残して図10(b)に示
す形態としておき、共通化配線部3を図10(a)に示
すテープキャリア5上の外部引出し端子6と独立して、
外部に直接電極を引き出すかのどちらでも構わない。図
10(c)に示す各テープキャリア及び銅箔による共通
化配線部3の接続終了後は、LSI接続部にはエポキシ
系レジンによるポッティングを施しておく。
In this case, the tape carrier 5 for pulling out the external electrode and the common wiring part 3 are connected by thermocompression bonding or the interposition of an anisotropic conductive sheet or the like so that the electrode can be pulled out from one tape carrier or Cu. An electrode part holding tape carrier 14 for the purpose of mechanical reinforcement and holding of each electrode is left on the outer periphery of the foil wiring part in the form shown in FIG. 10B, and the common wiring part 3 is formed as shown in FIG. Independently of the external lead-out terminal 6 on the tape carrier 5 shown in (a),
It does not matter whether the electrode is directly pulled out to the outside. After the connection of the common wiring section 3 using the tape carriers and the copper foil shown in FIG. 10C is completed, the LSI connection section is potted with an epoxy resin.

【0026】[第2の実施例]請求項9から請求項12
に関する実施例を以下に示す。前記第1の実施例では、
LSIチップ4上の電極22に対する共通化配線にテー
プキャリヤまたは銅箔を主体としたものを利用していた
が、第2の実施例においては、共通化配線用のテープキ
ャリア7の替わりにワイヤーボンディング法によるAu
細線からなるワイヤー21を用いる。
[Second Embodiment] Claims 9 to 12
An example relating to this will be shown below. In the first embodiment,
Although a tape carrier or a copper foil is mainly used as the common wiring for the electrodes 22 on the LSI chip 4, in the second embodiment, wire bonding is used instead of the tape carrier 7 for the common wiring. Au by law
A wire 21 made of a thin wire is used.

【0027】図11(a)および図11(a)の要部拡
大図である図11(b)に示すように、テープキャリア
5上に共通化配線に対応した電極15を設けておく。こ
の共通化配線のワイヤーボンディングが行なわれる電極
15では複数回の接続が行われるため、各段階でのボン
ディング位置が重なりあわないようにそれに見合った電
極15の幅を確保しておく。共通化配線が必要となるL
SIチップ4上の電極22及びそれ以外の電極とテープ
キャリアを、LSIチップ4上のAu突起状電極とAu
めっきの施されたテープキャリア上の電極の熱圧着によ
り接続する。このあと共通化配線用のワイヤー21のワ
イヤーボンディングを施すテープキャリア5上の電極1
5を用いて、出来るだけワイヤー21の引きまわしでの
アーチ高さを低くしてワイヤーボンディングを施し、共
通化配線を完成する。
As shown in FIG. 11A and FIG. 11B, which is an enlarged view of a main part of FIG. 11A, an electrode 15 corresponding to a common wiring is provided on the tape carrier 5. Since the electrode 15 on which the common wiring is wire-bonded is connected a plurality of times, the width of the electrode 15 corresponding to the bonding position is ensured so that the bonding positions do not overlap at each stage. L that requires common wiring
The electrode 22 on the SI chip 4 and the other electrodes and the tape carrier are connected to the Au protruding electrodes on the LSI chip 4 and the tape carrier.
Connection is made by thermocompression bonding of electrodes on a plated tape carrier. After that, the electrode 1 on the tape carrier 5 to which the wire 21 for the common wiring is wire-bonded
5, the arch height of the wire 21 is reduced as much as possible to perform wire bonding to complete the common wiring.

【0028】ワイヤーボンディングを行うことでLSI
チップ4上の回路パターンへダメージが生じたり、LS
Iチップ4の割れ等の問題を引き起こすのであれば、こ
の共通化配線はテープキャリア5をLSIチップ4と接
続する以前に、テープキャリア5のみの状態で図12に
示すように行ってもよい。この場合には共通化配線用の
ワイヤー21は、他の配線との電気的絶縁を確保するた
めテープキャリア5の配線パターンの形成された面とは
反対の面に構成することになる。このときワイヤーボン
ディングを行う電極15は、テープキャリア5に穴をあ
けテープキャリアが取り除かれた状態として、テープキ
ャリア5の配線面とは逆の面からみて、銅箔による配線
が剥き出しとなる形態にしておく。
LSI by wire bonding
Damage to the circuit pattern on the chip 4 or LS
If a problem such as cracking of the I-chip 4 is caused, this common wiring may be performed before the tape carrier 5 is connected to the LSI chip 4 and only with the tape carrier 5 as shown in FIG. In this case, the common wiring wire 21 is formed on the surface of the tape carrier 5 opposite to the surface on which the wiring pattern is formed in order to ensure electrical insulation from other wiring. At this time, the electrode 15 for wire bonding has a form in which the wiring made of copper foil is exposed when viewed from the surface opposite to the wiring surface of the tape carrier 5 with the tape carrier 5 removed and the tape carrier removed. Keep it.

【0029】上記ワイヤーボンディングはテープキャリ
ア5の熱変形があまり起こらない程度の温度である15
0℃〜200℃の予熱状態で行なう。このワイヤーボン
ディングが行われる部分及びテープキャリアは、ワイヤ
ーボンディングを行う際に、キャピラリーによる超音波
加圧接続が行なえるだけの剛性を確保できる状態で、ス
テージ上へ平面に保持しておく。尚、以上のLSIチッ
プ4とテープキャリア5との接続および共通化配線の作
業は、すべてテープキャリア5がリール状態にあるとき
に行うことでその生産性を向上できる。この時ワイヤボ
ンディングが施された部分の機械的補強と保護が必要に
なる場合には、保護テープなどをワイヤーボンディング
部分に貼付ておくとよい。
The wire bonding is carried out at a temperature at which the tape carrier 5 is not so much thermally deformed.
It is performed in a preheated state of 0 ° C to 200 ° C. The portion on which the wire bonding is performed and the tape carrier are held flat on the stage in a state where the rigidity for ultrasonic pressure connection by the capillary can be ensured during the wire bonding. The productivity of the connection between the LSI chip 4 and the tape carrier 5 and the common wiring can be improved by performing all the operations when the tape carrier 5 is in the reel state. At this time, if it is necessary to mechanically reinforce and protect the portion to which the wire bonding is applied, it is preferable to attach a protective tape or the like to the wire bonding portion.

【0030】ワイヤー21により共通化配線を施す部分
は、テープキャリア上5でなくとも構わない。例えば、
図13(a),(b)に示すようにLSIチップ4上の
電極が比較的広い間隔で配置されている場合、共通化配
線をあとで行う必要のあるLSI上電極16に関してワ
イヤーボンディングを行うに見合った電極面積を確保
し、テープキャリア5の形状もワイヤーボンディング部
分との干渉を避けられる形状としておき、LSIチップ
4とテープキャリア5との接続終了後に、それぞれ異な
る種類の共通化配線部分、及びテープキャリア5上の電
極との接触を避けた位置で、ワイヤーボンディングを行
こともできる。この時はワイヤーボンディングが施され
る共通化配線を行う目的のLSIチップ4上の電極16
を、その他のテープキャリアとの接続及びワイヤーボン
ディングを行う際に、干渉が起きない位置までLSIチ
ップ4上のAl配線により引き回しておき、この部分に
LSIチップ4とテープキャリア5の接続後ワイヤーボ
ンディングを行うことも考えられるが、そのためには専
用のLSIチップを製作する必要がある。LSI上にワ
イヤーボンディング用の電極を設ける場合には、テープ
キャリアとの接続以前にワイヤーボンディングを施した
共通化配線部付きLSIの状態としておくことも考えら
れる。この時テープキャリアには形状的な干渉を避ける
設計が成されるか、またはソルダーレジスト、保護テー
プなどを用いて必要個所に対して電気的な絶縁がはかれ
るようにしておく。
The portion where the common wiring is provided by the wire 21 does not have to be 5 on the tape carrier. For example,
When the electrodes on the LSI chip 4 are arranged at relatively wide intervals as shown in FIGS. 13A and 13B, wire bonding is performed on the LSI upper electrode 16 for which common wiring needs to be performed later. , The tape carrier 5 has a shape capable of avoiding interference with the wire bonding portion, and after the connection of the LSI chip 4 and the tape carrier 5 is completed, different types of common wiring portions, Also, wire bonding can be performed at a position avoiding contact with the electrodes on the tape carrier 5. At this time, the electrodes 16 on the LSI chip 4 for the purpose of performing common wiring to which wire bonding is applied
Is laid out by Al wiring on the LSI chip 4 to a position where interference does not occur when connecting to another tape carrier and wire bonding, and after connecting the LSI chip 4 and the tape carrier 5 to this portion, wire bonding However, it is necessary to manufacture a dedicated LSI chip for this purpose. When an electrode for wire bonding is provided on the LSI, it may be considered that the LSI with the common wiring portion is wire-bonded before the connection with the tape carrier. At this time, the tape carrier is designed to avoid geometrical interference, or a solder resist, a protective tape, or the like is used to electrically insulate the necessary parts.

【0031】以上のワイヤーボンディングにより共通化
配線を行うテープキャリアにおいては、ワイヤーボンデ
ィングに用いるワイヤー21の表面に、絶縁性の塗料に
より被覆を施したものを用いることもできる。これによ
れば、テープキャリアの接続が完成した後、LSIチッ
プ4の上面部分に機械的な補強と耐湿性等の信頼性を向
上させる目的で、エポキシ系のレジンが塗布される場
合、もしくはテープキャリア型半導体とされた全体をエ
ポキシ系のレジンによりモールドし単体のプラスチック
パッケージとする場合に、各ワイヤー間及び電極間での
電気的絶縁を確実にすることが可能となるので、テープ
キャリア上の共通化配線位置の設計上の自由度が増大す
る。例えば配線面にワイヤーボンディングを行なうこと
ができるので、テープキャリア上に穴を明ける等の加工
をほどこす必要が無くなるため生産性が向上する。
In the above tape carrier for performing common wiring by wire bonding, it is possible to use a tape having a surface of the wire 21 used for wire bonding coated with an insulating paint. According to this, after the connection of the tape carrier is completed, an epoxy resin is applied to the upper surface portion of the LSI chip 4 for the purpose of improving mechanical reliability and reliability such as moisture resistance, or when the tape is used. When the entire carrier type semiconductor is molded with epoxy resin to form a single plastic package, it is possible to ensure electrical insulation between each wire and between electrodes. The degree of freedom in designing common wiring positions increases. For example, since wire bonding can be performed on the wiring surface, it is not necessary to perform processing such as making a hole on the tape carrier, which improves productivity.

【0032】[第3の実施例]請求項13に記載される
共通化配線部をテープキャリア上に設ける際に、異方性
導電シートを用いる場合の実施例について以下に示す。
[Third Embodiment] An embodiment in which an anisotropic conductive sheet is used when the common wiring portion described in claim 13 is provided on a tape carrier will be described below.

【0033】テープキャリア単体の状態で共通化配線を
行う場合には、図14(a)に示すようにテープキャリ
ア上の共通化配線が必要となる電極部分と見合った形状
に銅箔による共通化配線部17を構成しておく。これを
図14(c)に示す両方のテープキャリア5上の接続が
必要な電極間に選択的に図14(b)に示す異方性導電
シート18をはさんで重ねあわせる。この後加熱ツール
により両者を熱圧着する。もしくは電気的に絶縁を図る
必要のある場合には、ソルダーレジストをその電極上に
塗布しておき、異方性導電シート18を短冊状にして電
極全体と接触するように介在させることも考えられる。
このようにして構成した図14(d)に示すような形状
のテープキャリアでは、LSIチップ4上の電極との接
続の際に、以上の共通化配線部17の存在しない面をL
SIチップ4の表面側に向けて接続を行うことで、異方
性導電シート18と銅箔による共通化配線部17との厚
さの増大に関係なく接続を行うことが可能となる。
When the common wiring is carried out in the state of the tape carrier alone, as shown in FIG. 14 (a), the common common wiring is formed by the copper foil into a shape corresponding to the electrode portion requiring the common wiring on the tape carrier. The wiring part 17 is configured. The anisotropic conductive sheet 18 shown in FIG. 14 (b) is selectively sandwiched between the electrodes on both the tape carriers 5 shown in FIG. 14 (c) that require connection. After this, both are thermocompression bonded by a heating tool. Alternatively, when it is necessary to electrically insulate the electrode, a solder resist may be applied on the electrode, and the anisotropic conductive sheet 18 may be formed in a strip shape and interposed so as to come into contact with the entire electrode. .
In the tape carrier having the shape as shown in FIG. 14D configured in this way, when connecting the electrodes on the LSI chip 4, the surface on which the common wiring portion 17 does not exist is L
By connecting toward the front surface side of the SI chip 4, the anisotropic conductive sheet 18 and the common wiring portion 17 made of copper foil can be connected regardless of the increase in thickness.

【0034】テープキャリア5とLSIチップ4を接続
した後で共通化配線部分を接続する方法も採ることがで
きる。この場合にはテープキャリア5上の配線が形成さ
れた面を、LSIチップ4の表面とは逆の面にして各部
電極での接続を行っておく。その後共通化配線が必要な
部分に見合った形状の配線部を用意しておき、まずLS
Iチップ4と接続されたテープキャリア5上に異方性導
電シート18を所定の形状で位置合わせ接着し、この後
用意した共通化配線部17を接続する。この異方性導電
シート18の接続で加えられる温度は250℃以下であ
り、また、加熱される時間も短いため、LSIチップ4
上のAu電極とテープキャリア5上に施されたAuめっ
きで接続された、LSIとテープキャリア接続部分の強
度劣化を起こさせることは無い。
A method of connecting the common wiring portion after connecting the tape carrier 5 and the LSI chip 4 can also be adopted. In this case, the surface of the tape carrier 5 on which the wiring is formed is made the surface opposite to the surface of the LSI chip 4, and the connection is made at the respective electrodes. After that, prepare a wiring part with a shape that matches the part that requires common wiring, and
The anisotropic conductive sheet 18 is aligned and bonded in a predetermined shape on the tape carrier 5 connected to the I-chip 4, and then the prepared common wiring portion 17 is connected. The temperature applied by the connection of the anisotropic conductive sheet 18 is 250 ° C. or lower, and the heating time is short, so that the LSI chip 4
There is no deterioration of the strength of the LSI and the tape carrier connecting portion, which is connected by the Au electrode above and the Au plating applied on the tape carrier 5.

【0035】異方性導電シート18を利用した接続では
接着強度の問題が無いのであれば、接続が必要な部分に
選択的に加圧接続する方法も採ることができる。この場
合には加圧されない部分では異方性導電シート18の性
質上電気的な絶縁が保たれるので、共通化配線が必要の
無い配線部分にも異方性導電シート18がかかる様な短
冊形状のものを利用することができる。加圧ツールの先
端形状の工夫で複数点を一括して接続することも、ま
た、小さな先端の加圧ツールを用いて一点づつ接続する
こともできる。
If there is no problem with the adhesive strength in the connection using the anisotropic conductive sheet 18, a method of selectively pressurizing and connecting to a portion where the connection is required can be adopted. In this case, electrical insulation is maintained in the non-pressurized portion due to the property of the anisotropic conductive sheet 18, so that the anisotropic conductive sheet 18 is applied to the wiring portion where common wiring is not required. A shape can be used. It is possible to connect a plurality of points at once by devising the tip shape of the pressure tool, or to connect one point at a time using a pressure tool with a small tip.

【0036】[第4の実施例]請求項15及び請求項1
6に対する実施例を以下に示す。本実施例では、テープ
キャリア上の裏か表のどちらか一方の面に銅箔による配
線層を設けたもの5´を用いる。このときLSIチップ
4上の共通化配線の必要な電極と接続される部分を左右
のどちらか一方に偏在させ図15のようなパターンを構
成しておく。テープキャリア型半導体装置の外部引出し
電極となる部分は、テープキャリア上の左右どちらか一
方の、共通化配線部3のパターンが構成された部分とは
逆の側に偏在させて形成する。ただしこの共通化配線部
3は、その構造上LSIチップ4上の1種類の同一機能
電極に対してのみしか配線を行うことができない。
[Fourth Embodiment] Claims 15 and 1
An example for No. 6 is shown below. In this embodiment, a tape carrier 5'provided with a wiring layer made of copper foil on either the back surface or the front surface is used. At this time, the portion connected to the required electrode of the common wiring on the LSI chip 4 is unevenly distributed on one of the left and right sides to form a pattern as shown in FIG. The part that serves as the external lead electrode of the tape carrier type semiconductor device is formed so as to be unevenly distributed on the side opposite to the part where the pattern of the common wiring part 3 is formed on either the left or right side of the tape carrier. However, the common wiring section 3 can perform wiring only to one kind of the same function electrode on the LSI chip 4 due to its structure.

【0037】共通化配線の必要なLSIチップ4上の電
極が2種類ある場合には左右それぞれ1つずつ、2種の
異なるテープキャリア5a,5bを用いて共通化配線を
行うこととなる。この時のテープキャリアの構造及び配
置は図16のような形状とする。テープキャリア5a,
5bとLSIチップ4上の電極との接続は、この場合左
右それぞれのテープキャリアごとに2回接続を行うか、
もしくは両者を位置合わせした後にLSIチップ4上へ
接着し、一度で熱圧着するどちらかの方法が採れる。
When there are two types of electrodes on the LSI chip 4 that require common wiring, one for each of the left and right sides and two different types of tape carriers 5a, 5b are used for the common wiring. At this time, the tape carrier has a structure and arrangement as shown in FIG. Tape carrier 5a,
In this case, the connection between 5b and the electrodes on the LSI chip 4 is performed twice for each of the left and right tape carriers, or
Alternatively, either of them may be aligned and then bonded onto the LSI chip 4 and thermocompression bonded at once.

【0038】2度の接続を行なう場合、先に接続された
部分での再加熱による接続部分の劣化を防止するため、
加熱ツールは各段階のボンディング位置を選択的に熱圧
着できるような形状に加工しておく。またテープキャリ
ア5a,5bについてもそれぞれの電極とLSIチップ
4の熱圧着の際に形状的な干渉を生じない形状としてお
く。
When connecting twice, in order to prevent deterioration of the connected portion due to reheating in the previously connected portion,
The heating tool is processed in such a shape that the bonding position at each stage can be selectively subjected to thermocompression bonding. Further, the tape carriers 5a and 5b are also shaped so as not to cause geometrical interference during thermocompression bonding of the respective electrodes and the LSI chip 4.

【0039】2種類以上の共通配線が必要なLSIチッ
プ4に対して本実施例を応用する場合には、それぞれの
共通化配線に対応するテープキャリアを左右さらには縦
方向で分割して用意する。ただし、このとき共通化配線
部3とテープキャリア半導体装置の外部引出し配線とな
る部分は、左右どちらか一方に偏在させておき、それぞ
れのテープキャリアから外部への配線を独立して引き出
すこととなる。
When the present embodiment is applied to the LSI chip 4 which requires two or more kinds of common wiring, the tape carriers corresponding to the respective common wirings are prepared by dividing the tape carrier in the left and right and further in the vertical direction. . However, at this time, the common wiring portion 3 and the portion serving as the external lead wiring of the tape carrier semiconductor device are unevenly distributed on one of the left and right sides, and the wiring from each tape carrier to the outside is independently drawn. .

【0040】[第5の実施例]請求項17に対する実施
例を以下に示す。請求項1から請求項9までに示される
形状のテープキャリア型半導体装置を用いる場合には、
それぞれのテープキャリアにおいて外部引出し端子6
を、図17に示すようにそれぞれクランク型の形状に折
り返し、積層状態で各テープキャリアを配置する場合
に、それぞれLSI搭載部分どうしが接触しないような
形態とする。これらテープキャリアを接続するリードフ
レーム19上には、テープキャリアが接続される部分2
6にSnめっきを施しておき、Auめっきの施されたテ
ープキャリア上の電極と350℃〜400℃の範囲で、
加熱ツールを使用した熱圧着を行う。
[Fifth Embodiment] An embodiment for claim 17 will be described below. When the tape carrier type semiconductor device having the shape shown in claims 1 to 9 is used,
External lead-out terminal 6 on each tape carrier
When each tape carrier is folded back into a crank shape as shown in FIG. 17 and the tape carriers are arranged in a stacked state, the LSI mounting portions are not in contact with each other. On the lead frame 19 for connecting these tape carriers, a portion 2 to which the tape carrier is connected
6 is Sn-plated in advance, and the Au-plated electrode on the tape carrier is in the range of 350 ° C to 400 ° C.
Perform thermocompression bonding using a heating tool.

【0041】リードフレーム19の材質は、通常のFe
−Niからなる42アロイを用いるが、Cuを材質とす
るものを用いることも可能である。このときテープキャ
リアに加えられる荷重は、テープキャリア上Cuを材質
とする電極が、わずかに変形する程度の荷重としてお
く。各々のテープキャリアは、LSIチップ4との接続
部分にエポキシ系のレジン20によるポッティングを施
しておき、これにより機械的補強と耐湿性等の信頼性さ
らには電気的絶縁性を向上させるものであるが、請求項
16に示される構造では、外周部全体をエポキシ系のレ
ジン20によりモールドするものであるため、各層のL
SIチップ4の裏面とテープキャリア上の電極や配線に
対して接触防止などの電気的絶縁がとくに必要になる場
合以外は、LSIチップ4上にレジンポッティングを施
す必要は無くなる。
The material of the lead frame 19 is ordinary Fe.
A 42 alloy made of —Ni is used, but a material made of Cu can also be used. At this time, the load applied to the tape carrier is set so that the electrode made of Cu on the tape carrier is slightly deformed. Each tape carrier is potted with an epoxy resin 20 at the connection portion with the LSI chip 4 to improve mechanical reliability, reliability such as moisture resistance, and electrical insulation. However, in the structure shown in claim 16, since the entire outer peripheral portion is molded with the epoxy resin 20, the L of each layer is
There is no need to perform resin potting on the LSI chip 4 unless electrical insulation such as contact prevention is particularly required for the back surface of the SI chip 4 and the electrodes and wiring on the tape carrier.

【0042】請求項10から請求項14に記載されるワ
イヤーボンディングによる共通化配線を用いて構成した
テープキャリアを積層配置する場合には、各層にワイヤ
ーボンディングによるワイヤー21のアーチが形成され
ているため、これとLSIチップ4裏面との接触を防止
することが必須となる。ワイヤー21とLSIチップ4
のパターンが構成されていない裏面との電気的接触を防
止する目的で、図18のようにLSIチップ4裏面にポ
リイミドテープ27等を貼付ておき、電気的な絶縁を図
ることがかんがえられる。また、テープキャリア上の外
部引出し端子6をクランク型に折り曲げる際に、その折
り返し高さがワイヤー21のアーチ高さよりも高くなる
状態としておき、これによりそれぞれのLSIチップ4
とワイヤー21の接触を避ける。400milサイズの
プラスチックパッケージであれば、2層程度の積層状態
で構成することができるが、LSIチップ4自体の薄さ
や、ワイヤー21のアーチ部の高さの設定により、これ
以上の数のLSIチップ4を積層配置によりパッケージ
におさめることも可能となる。
When the tape carriers constructed by using the common wiring by wire bonding according to the tenth to fourteenth aspects are stacked and arranged, the arch of the wire 21 by wire bonding is formed in each layer. It is essential to prevent contact between this and the back surface of the LSI chip 4. Wire 21 and LSI chip 4
For the purpose of preventing electrical contact with the back surface on which the pattern is not formed, it is possible to attach a polyimide tape 27 or the like to the back surface of the LSI chip 4 as shown in FIG. 18 to achieve electrical insulation. Further, when the external lead-out terminal 6 on the tape carrier is bent in a crank shape, the folded back height thereof is set to be higher than the arch height of the wire 21.
Avoid contact between wire 21 and. A plastic package of 400 mil size can be formed in a stacked state of about two layers. However, depending on the thinness of the LSI chip 4 itself and the height of the arch portion of the wire 21, more LSI chips can be formed. It is also possible to store 4 in a package by stacking them.

【0043】ワイヤーボンディング部分が向き合う位置
でリードフレーム19に対して接続されるか、それぞれ
パッケージの外側に向けて接続されるかは自由である。
またLSIチップ4すべてを同じ方向に向けて接続する
方法も可能である。このときテープキャリア型半導体
を、リードフレーム19に対して上下の面に振り分けて
接続するか、もしくはリードフレーム19上の同一の側
に接続するかは設計上の問題であり自由である。
It is arbitrary whether the wire bonding portions are connected to the lead frame 19 at positions facing each other or to the outside of the package.
A method of connecting all the LSI chips 4 in the same direction is also possible. At this time, whether the tape carrier type semiconductor is connected to the lead frame 19 by allocating it to the upper and lower surfaces or connecting to the same side on the lead frame 19 is a design problem and is free.

【0044】[0044]

【発明の効果】LSIチップの中心部分に電極が集中す
る配置を採り、さらに複数の電極間で共通化配線を行う
場合に本発明を用いるならば、テープキャリアの片側の
面のみに銅箔を所定の形状で切除してなる配線を構成し
たテープキャリアを用いて、LSI上の電極配置に左右
されること無く、テープキャリア型半導体とすることが
可能となる。このため、テープキャリアの両面に配線を
設けたテープキャリアを用いる場合と比較して、特にテ
ープキャリアの作製において大きなコストの低下を図る
ことが可能となる。また、共通化配線の引き回しを工夫
することで、信号ノイズ又は電源ノイズを低減すること
の出来る回路をテープキャリア上に構成することが出来
る。さらに、このテープキャリアを用いて外部引出しお
よび共通化配線を行ったLSIパッケージのきわめて薄
い外形を活かして、複数個を積層配置しこれらを一つの
リードフレームに接続し、1つのパッケージ内に複数の
LSIチップを内蔵したパッケージを容易に構成するこ
とが可能となる。
If the present invention is used when the electrodes are concentrated in the central portion of the LSI chip and the common wiring is performed between a plurality of electrodes, a copper foil is provided on only one surface of the tape carrier. By using a tape carrier having wiring formed by cutting in a predetermined shape, a tape carrier type semiconductor can be obtained without being influenced by the electrode arrangement on the LSI. Therefore, compared with the case of using a tape carrier in which wiring is provided on both sides of the tape carrier, it is possible to significantly reduce the cost particularly in manufacturing the tape carrier. Further, by devising the routing of the common wiring, a circuit capable of reducing signal noise or power supply noise can be formed on the tape carrier. Furthermore, taking advantage of the extremely thin outer shape of the LSI package in which the tape carrier is used for external drawing and common wiring, a plurality of layers are stacked and connected to one lead frame, and a plurality of packages are formed in one package. It is possible to easily configure a package including an LSI chip.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の概要構成説明図である。FIG. 1 is a schematic configuration explanatory diagram of the present invention.

【図2】テープキャリアの形状で共通化配線部との形状
的干渉を避けた状態の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a state in which the shape of the tape carrier avoids geometrical interference with a common wiring portion.

【図3】共通化配線部を予めLSIに接続しておく方法
の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a method of connecting a common wiring section to an LSI in advance.

【図4】テープキャリアを接着し共通化配線部分と複合
化する方法の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a method of adhering a tape carrier to form a composite with a common wiring portion.

【図5】テープどうしを電気的にも接続して複合化する
方法の説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a method of electrically connecting tapes together to form a composite.

【図6】テープキャリアどうしの接続とLSIとテープ
キャリアの接続を同時に行う場合の概念図である。
FIG. 6 is a conceptual diagram in the case where the tape carriers are connected to each other and the LSI and the tape carrier are simultaneously connected.

【図7】共通化配線部及びその他の電極と接続されるテ
ープキャリアから独立して電極を引出す方法の説明図で
ある。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a method of independently pulling out an electrode from a tape carrier connected to a common wiring portion and other electrodes.

【図8】Cu箔のみを用いた共通化配線を先に接続した
テープキャリアを用いる方法の説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram of a method of using a tape carrier to which a common wiring using only Cu foil is connected first.

【図9】予め共通化配線部のCu箔をLSI上に熱圧着
しておく方法の説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram of a method of thermocompression-bonding a Cu foil of a common wiring part on an LSI in advance.

【図10】共通化配線用のCu箔から独立に外部接続用
の電極を引出す方法の説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram of a method of independently extracting electrodes for external connection from a Cu foil for common wiring.

【図11】 ワイヤーボンディングを用いてテープキャ
リア上に共通化配線部を作る方法の説明図である。
FIG. 11 is an explanatory diagram of a method of forming a common wiring section on a tape carrier by using wire bonding.

【図12】テープ上で予めワイヤーボンディングを行な
い共通化配線を作る方法の説明図である。
FIG. 12 is an explanatory diagram of a method of forming a common wiring by performing wire bonding in advance on the tape.

【図13】LSI上電極の工夫でワイヤーボンディング
による共通化配線部を作る方法の説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram of a method of forming a common wiring portion by wire bonding by devising electrodes on the LSI.

【図14】異方性導電シートにより共通化配線部をテー
プキャリア上に構成する方法の説明図である。
FIG. 14 is an explanatory diagram of a method of forming a common wiring portion on a tape carrier with an anisotropic conductive sheet.

【図15】テープキャリアの片側に共通配線部を偏在さ
せた構造を示す図である。
FIG. 15 is a diagram showing a structure in which a common wiring portion is unevenly distributed on one side of a tape carrier.

【図16】2種類以上の共通化配線が必要な場合の構造
説明図である。
FIG. 16 is a structural explanatory diagram when two or more types of common wiring are required.

【図17】1パッケージ内に複数個のLSIを内蔵させ
る場合のテープキャリアリードの成形とリードフレーム
に接続する場合の位置関係を示す図である。
FIG. 17 is a diagram showing a positional relationship in the case where a plurality of LSIs are built in one package and the tape carrier leads are molded and connected to a lead frame.

【図18】ワイヤーボンディングを併用したテープキャ
リアを使用する場合の構造説明図である。
FIG. 18 is a structural explanatory view when using a tape carrier combined with wire bonding.

【図19】従来技術であるリードフレームとワイヤーボ
ンディングをもちいたプラスチックパッケージの構造を
示す斜視図である。
FIG. 19 is a perspective view showing a structure of a plastic package using a lead frame and wire bonding, which is a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,44…モールドレジン、3,43…共通化配線部、
4,40…LSIチップ、5,5´…テープキャリア、
5a…片側に共通化配線部及び外部引出電極を配置した
テープキャリア(右)、5b…片側に共通化配線部及び
外部引出電極を配置したテープキャリア(左)、6,4
1…外部引出し端子、7…共通化配線用のテープキャリ
ア、8…共通化配線とテープキャリア上配線の接続部、
9…熱圧着ステージ、10…共通化配線とテープキャリ
ア上配線の接続用ツール、11…LSIとテープキャリ
アの接続用ツール、12…銅箔のみの共通化配線、13
…銅箔のみの共通化配線とテープキャリア上配線の接続
部、14…電極部保持用のテープキャリア、15…ワイ
ヤーボンディングによる共通化配線用の電極、16…L
SI上のワイヤーボンディングによる共通化配線用に改
良された電極、17…異方性導電シートにより接続され
る共通化配線部、18…異方性導電シート、19…リー
ドフレーム、20…ポッティング用レジン、21,42
…ワイヤーボンディングによる共通化配線用のワイヤ
ー、22…LSI上の電極、23…テープキャリアどう
しの接続部、25…LSI上の共通化配線の必要な電
極、27…ポリイミドテープ。
1,44 ... Molded resin, 3,43 ... Common wiring section,
4, 40 ... LSI chip, 5, 5 '... tape carrier,
5a ... Tape carrier having common wiring section and external lead electrode arranged on one side (right), 5b ... Tape carrier having common wiring section and external lead electrode arranged on one side (left), 6, 4
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... External lead-out terminal, 7 ... Tape carrier for common wiring, 8 ... Connection part of common wiring and tape carrier upper wiring,
9 ... Thermocompression bonding stage, 10 ... Tool for connecting common wiring and wiring on tape carrier, 11 ... Tool for connecting LSI and tape carrier, 12 ... Common wiring of copper foil only, 13
... Connecting part of common wiring only with copper foil and wiring on tape carrier, 14 ... Tape carrier for holding electrode part, 15 ... electrode for common wiring by wire bonding, 16 ... L
Electrodes improved for common wiring by wire bonding on SI, 17 ... Common wiring portion connected by anisotropic conductive sheet, 18 ... Anisotropic conductive sheet, 19 ... Lead frame, 20 ... Resin for potting 21, 42
... Wires for common wiring by wire bonding, 22 ... Electrodes on LSI, 23 ... Connection parts between tape carriers, 25 ... Electrodes required for common wiring on LSI, 27 ... Polyimide tape.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷部 昭男 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 石田 寿治 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 三浦 一真 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Akio Hasebe, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa, Ltd.Hitachi, Ltd., Institute of Industrial Science (72) Inventor, Hisashi Ishida 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa Production Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Kazuma Miura, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture Production Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd.

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 LSI上に複数存在する同一機能の電極
に、それぞれ共通化配線部を構成する種類の異なるテー
プキャリアを接続したことを特徴とするテープキャリア
型半導体装置。
1. A tape carrier type semiconductor device characterized in that a plurality of electrodes having the same function existing on an LSI are connected to different types of tape carriers constituting a common wiring section.
【請求項2】 請求項1記載のテープキャリア型半導体
装置において、同一機能電極に接続されるテープキャリ
アとその他の電極に接続されるテープキャリアとを、接
着または電気回路的に接続し、複合テープキャリアを構
成した後にLSI上の電極と接続することを特徴とした
テープキャリア型半導体装置。
2. The tape carrier type semiconductor device according to claim 1, wherein the tape carrier connected to the same functional electrode and the tape carrier connected to the other electrode are connected by an adhesive or an electric circuit. A tape carrier type semiconductor device characterized in that it is connected to electrodes on an LSI after a carrier is formed.
【請求項3】 請求項1記載のテープキャリア型半導体
装置において、同一機能電極に接続されるテープキャリ
アを先にLSI上の電極と接続し、後にその他の電極に
該その他の電極に接続されるテープキャリアを接続し、
さらにそれぞれのテープキャリアの間で電気回路的な接
続を行い、該接続された一種類のテープキャリアからま
とめて外部電極を引き出すことを特徴としたテープキャ
リア型半導体装置。
3. The tape carrier type semiconductor device according to claim 1, wherein the tape carrier connected to the same function electrode is connected to an electrode on the LSI first, and then connected to another electrode to the other electrode. Connect the tape carrier,
A tape carrier type semiconductor device characterized in that an electric circuit is further connected between the respective tape carriers, and external electrodes are collectively pulled out from the one kind of connected tape carriers.
【請求項4】 請求項1記載のテープキャリア型半導体
装置において、テープキャリアをLSI上の電極と接続
した後、それぞれのテープキャリアから独立に外部電極
を引き出すことを特徴とするテープキャリア型半導体装
置。
4. The tape carrier type semiconductor device according to claim 1, wherein after the tape carrier is connected to the electrodes on the LSI, external electrodes are independently pulled out from each tape carrier. .
【請求項5】 LSI上に存在する複数の同一機能の電
極に、テープキャリア上に接着された所定の形状に切除
してなる銅箔により共通化配線部を構成することを特徴
としたテープキャリア型半導体装置。
5. A tape carrier characterized in that a common wiring portion is constituted by a copper foil formed by cutting a plurality of electrodes having the same function existing on an LSI on a tape carrier into a predetermined shape, which is adhered onto the tape carrier. Type semiconductor device.
【請求項6】 請求項5記載のテープキャリア型半導体
装置において、LSI上に設けた電極に対して先に共通
化配線用の銅箔を接続しておき、その後共通化配線の必
要のない部分に対してテープキャリアを接続して構成す
ることを特徴とするテープキャリア型半導体装置。
6. The tape carrier type semiconductor device according to claim 5, wherein a copper foil for common wiring is first connected to an electrode provided on an LSI, and thereafter, a portion where common wiring is not required. A tape carrier type semiconductor device characterized in that it is configured by connecting a tape carrier to.
【請求項7】 請求項5記載のテープキャリア型半導体
装置において、銅箔による共通化配線部の成型及びLS
I上電極との位置合わせと接続にテープキャリアの工程
を用いたことを特徴とするテープキャリア型半導体装
置。
7. The tape carrier type semiconductor device according to claim 5, wherein the common wiring portion is formed of copper foil and the LS is formed.
I A tape carrier type semiconductor device characterized by using a tape carrier process for alignment and connection with an upper electrode.
【請求項8】 請求項1ないし請求項7のいずれかに記
載のテープキャリア型半導体装置において、LSIチッ
プ上に共通配線用のテープキャリアを接続する一部形状
を変更もしくは拡大した電極を形成し、該電極を用いて
共通配線用のテープキャリアとそれ以外のテープキャリ
アを電気回路的に接続することを特徴としたテープキャ
リア型半導体装置。
8. The tape carrier type semiconductor device according to claim 1, wherein an electrode having a partially modified or enlarged shape for connecting a tape carrier for common wiring is formed on an LSI chip. A tape carrier type semiconductor device characterized in that a tape carrier for common wiring and a tape carrier other than the common wiring are electrically connected to each other by using the electrodes.
【請求項9】 請求項1ないし請求項7のいずれかに記
載のテープキャリア型半導体装置において、LSIチッ
プ上の同一機能電極に対してLSI上の配線により各電
極との干渉を避けられるだけ離れた位置で共用化配線用
のテープキャリアと外部配線引出用のテープキャリアを
接続する電極を形成しておき、これらの電極を利用して
両者を電気的に接続したことを特徴とするテープキャリ
ア型半導体装置。
9. The tape carrier type semiconductor device according to claim 1, wherein the electrodes having the same function on the LSI chip are separated from each other by wiring on the LSI so as to avoid interference with each electrode. Tape carrier type characterized in that electrodes for connecting the tape carrier for shared wiring and the tape carrier for drawing out the external wiring are formed at different positions, and both are electrically connected using these electrodes. Semiconductor device.
【請求項10】 請求項5記載のテープキャリア型半導
体装置において、銅箔による共通化配線の代わりに、L
SI上の所定の同一機能電極にワイヤーボンディング法
による配線を用い、必要な個所に対してこれらワイヤー
ボンディング部分との電気的絶縁処理を施したテープキ
ャリアを用いて、残りのLSI上の電極と接続すること
を特徴とするテープキャリア型半導体装置。
10. The tape carrier type semiconductor device according to claim 5, wherein L is used instead of the common wiring made of copper foil.
Wiring by the wire bonding method is used for the electrodes of the same function on SI, and the tape carrier that has been electrically insulated from these wire bonding parts is used to connect to the remaining electrodes on the LSI. A tape carrier type semiconductor device characterized in that.
【請求項11】 請求項10記載のテープキャリア型半
導体装置において、必要な個所に電気的絶縁を施し加え
てワイヤーボンディング用の電極を設けたテープキャリ
アをLSI上の電極に接続し、後にテープキャリア上ま
たはLSI上の所定の電極にワイヤーボンディング法に
より、LSI上の同一機能電極用の共通化配線部分を設
けることを特徴とするテープキャリア型半導体装置。
11. The tape carrier type semiconductor device according to claim 10, wherein a tape carrier, which is provided with an electrode for wire bonding in addition to electrical insulation at a necessary portion, is connected to an electrode on an LSI, and then the tape carrier. A tape carrier type semiconductor device, characterized in that a common wiring portion for electrodes having the same function on the LSI is provided on a predetermined electrode on the LSI or on the LSI by a wire bonding method.
【請求項12】 請求項10または請求項11記載のテ
ープキャリア型半導体装置において、共通化配線のため
のワイヤーボンディングを行う際、電気的絶縁作用を持
つ被覆が施されたワイヤーを用いたことを特徴とするテ
ープキャリア型半導体装置。
12. The tape carrier type semiconductor device according to claim 10 or 11, wherein a wire coated with an electrically insulating function is used when performing wire bonding for common wiring. Characteristic tape carrier type semiconductor device.
【請求項13】 請求項10ないし請求項12のいずれ
かに記載のテープキャリア型半導体装置において、ワイ
ヤーボンディングによる配線部分とテープキャリアの接
続が、LSI上に両者を同じ電極に接続可能に、面積を
拡大し、もしくは両者を同じ位置に接続しても形状的に
干渉が起きない形状とした電極を設けておき、そこで両
者の電気的接続を行うことを特徴とするテープキャリア
型半導体装置。
13. The tape carrier type semiconductor device according to claim 10, wherein the wiring portion and the tape carrier are connected by wire bonding so that both can be connected to the same electrode on the LSI. The tape carrier type semiconductor device is characterized in that electrodes are formed in a shape that does not cause interference even if they are enlarged or connected at the same position, and the electrodes are electrically connected there.
【請求項14】 LSI上の複数の電極に対して共通化
配線が必要なLSIをテープキャリア型半導体装置とす
る際に、共通化配線部をテープキャリアに接続する際に
異方性導電シートを用いることで、共通化配線部分とそ
れ以外の電極に接続される配線部分との電気的な絶縁を
得ることを特徴とするテープキャリア型半導体装置。
14. An anisotropic conductive sheet is used when connecting a common wiring part to a tape carrier when a LSI that requires common wiring for a plurality of electrodes on the LSI is used as a tape carrier type semiconductor device. A tape carrier type semiconductor device characterized in that by using it, electrical insulation is obtained between a common wiring portion and a wiring portion connected to other electrodes.
【請求項15】 LSIをテープキャリア型半導体装置
とする際に、テープキャリア上に構成するLSI上の同
一機能電極に対する共通化配線部を、LSI表面の電極
に対して左右どちらか一方に偏在させておき、他方テー
プキャリア上の共通化配線部の存在しない側に外部への
引き出し電極を集中することを特徴とするテープキャリ
ア型半導体装置。
15. When the LSI is used as a tape carrier type semiconductor device, a common wiring portion for the same function electrode on the LSI formed on the tape carrier is unevenly distributed on one side of the electrodes on the surface of the LSI. On the other hand, a tape carrier type semiconductor device in which lead-out electrodes to the outside are concentrated on the side of the other tape carrier where the common wiring portion does not exist.
【請求項16】 請求項15記載のテープキャリア型半
導体装置において、搭載されるLSI上の電極に対して
2種類の共通化配線部が必要な場合に、共通化配線部と
外部への引出配線を左右にそれぞれ振り分けたテープキ
ャリアを2種類用意し、それぞれを外部引出し配線が左
右に分かれるような向きでLSI上の電極と相次いで接
続し構成したことを特徴とするテープキャリア型半導体
装置。
16. The tape carrier type semiconductor device according to claim 15, wherein when two types of common wiring portions are required for the electrodes on the LSI to be mounted, the common wiring portion and the lead-out wiring to the outside. A tape carrier type semiconductor device characterized in that two kinds of tape carriers are separately distributed to the left and right, and each of them is successively connected to electrodes on an LSI in such a direction that external lead wires are divided into the left and right.
【請求項17】 請求項1ないし請求項16記載のいず
れかのテープキャリア型半導体装置を、複数個用いてそ
れを同一のリードフレームに接続し、さらに外周部分を
樹脂により封止することにより1パッケージ内に複数個
のLSIチップを内蔵したことを特徴とするテープキャ
リア型半導体装置。
17. A tape carrier type semiconductor device according to claim 1, wherein a plurality of the tape carrier type semiconductor devices are connected to the same lead frame, and the outer peripheral portion is sealed with a resin. A tape carrier type semiconductor device having a plurality of LSI chips incorporated in a package.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09306940A (en) * 1996-05-16 1997-11-28 Nec Corp Semiconductor device
US6711815B2 (en) 1998-09-22 2004-03-30 Kabushiki Kaisha Toshiba Fabricating method of semiconductor devices

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